JPS58101403A - 薄膜バリスタの製造方法 - Google Patents

薄膜バリスタの製造方法

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JPS58101403A JP56200439A JP20043981A JPS58101403A JP S58101403 A JPS58101403 A JP S58101403A JP 56200439 A JP56200439 A JP 56200439A JP 20043981 A JP20043981 A JP 20043981A JP S58101403 A JPS58101403 A JP S58101403A
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JP
Japan
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varistor
film
zno
thin film
substrate
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陽之 江口
江田　和生
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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