JPH1196384A - 測定画像文書作成装置及び記憶媒体 - Google Patents

測定画像文書作成装置及び記憶媒体

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JPH1196384A
JPH1196384A JP25822697A JP25822697A JPH1196384A JP H1196384 A JPH1196384 A JP H1196384A JP 25822697 A JP25822697 A JP 25822697A JP 25822697 A JP25822697 A JP 25822697A JP H1196384 A JPH1196384 A JP H1196384A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定画像データ、付随するテキストデータを
組み合わせて容易に測定画像文書を作成可能にする。 【解決手段】 作成した所定のフォルダに測定画像デー
タ、付随するテキストデータを書き込み、フォルダから
画像データ、付随するテキストデータを読みだして一覧
表示し、画像データ、付随するテキストデータを貼り込
むためのフォーマットを設定し、指定したデータに対し
て画像処理、テキスト変換処理を行い、処理手段で処理
された画像データ、付随するテキストデータを前記フォ
ーマットでレイアウトするようにしたことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は走査電子顕微鏡(S
EM)や、これに類似する装置等で測定された画像デー
タを編集し、測定条件等の画像に付随したデータを画像
と結合して報告書等の文書を作成する測定画像文書作成
装置及び記憶媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】従来からSEM等の類似装置のオペレー
タは、観察・測定して得られたデータ、主に走査像の写
真とその写真に付随的な測定条件等のデータを書き添え
て、一定のフォーマットに従って編集し、報告書の添付
データとして測定の依頼者に提出しているが、近年、コ
ンピュータやワープロの普及に伴い、このような添付デ
ータを編集するために、市販の画像データ編集プログラ
ムと、報告書作成プログラムを併用して、報告書内に、
画像やそれに付随したデータをはめ込む等の操作をして
報告書を作成している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方
法では、プログラムの内容があまりに一般的過ぎてSE
M等の装置固有のデータ扱いには、編集の作業効率が悪
く、その操作も煩雑であるという実用上の問題があっ
た。すなわち、画像データの収集に際して、一般のソフ
トでは、ファイル名やコメント行の使い方を工夫すれば
画像に付随するテキストデータ類の表示等に一応の目的
は達しないわけではないが、決まった内容でもいちいち
入力しなければならず、大変煩わしく、かつ、誤記も招
き易い。
【0004】或いはこれら付随的データは、画像ファイ
ルとは別にテキストファイルを用意し、SEMから自動
的に転送することもできるが、こうすると一つのデータ
に複数のファイルを組みとして扱わなければならなくな
る。したがって、編集に際しては、これらをそれぞれ別
個にはめ込むようにしなければならず、しかも一部の転
送データはそのままでは意味不明であったりするので、
ある種の変換作業を必要とし、これも大変煩わしく、か
つ、誤操作も起こし易い。
【0005】また、SEM等の報告書の付属の画像デー
タは、従来からの一定のフォーマット(用紙のレイアウ
ト)に従うほうが分かりやすく好まれる。しかも、それ
ら画像データに付随するテキストデータ類は、大抵決ま
りきった表示の仕方をする。このように、ここで作成の
目的とするところの付属データは、定型化されているに
もかかわらず、一般のソフトではいちいち同じような煩
わしい編集作業を繰り返さなければならない。
【0006】また、データの編集を依頼者が自分で行い
たいと希望する場合には、依頼者も手持ちのパソコンに
同様のソフトをインストールしておく必要がある。これ
に対し、データの記憶媒体(例えば書込み型のCD)に
記録したデータの余白に編集ソフトも記録しておき、こ
の記憶媒体をデータの依頼者に手渡せば、依頼者は手持
ちのパソコンで編集作業を行うという方法も考えられる
が、一般的な市販のソフトは、プログラムのボリューム
が大きく、他のプログラムとの関わりがあるため、技術
的にも困難であり、かつ、版権の問題もあり、簡単では
ない。
【0007】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、SEMやこれに類似する装置等の測定画像データ、
付随するテキストデータを組み合わせて編集処理し、容
易に測定画像文書を作成し、また、測定の依頼者自身で
も測定画像データ、付随するテキストデータを組み合わ
せて容易に編集できるようにすることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、測定画像デー
タとそれに付随するテキストデータを一つのデータのご
とくに扱い、編集に際しては、次々と画像データを選択
するだけで、予め定めたフォーマットに自動的に画像デ
ータとそれに付随したテキストデータをはめ込みプリン
トアウトし、測定時、編集時、プリントアウト時、オペ
レータが必要と感じた時点でメモ書きデータを入力する
こともでき、さらに、画像データを収めた記憶媒体(例
えば書込み形のCD)に本発明の専用プログラムも付属
させ、これを測定の依頼者に渡すことにより、依頼者は
手持ちのパソコンでプログラムのセットアップなしで自
由に望み通りの編集が可能であり、これによってオペレ
ータあるいは測定の依頼者が、データを極めて容易に編
集可能にしたことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図1は本発明の測定画像文書作成装置の概
念図である。SEM1には、制御用であるとともに、画
像データの取り込みや、転送する機能を有するコンピュ
ータ2が内蔵されており、SEM1で測定された画像デ
ータはコンピュータ2に取り込まれて画像メモリ3に格
納され、適宜読み出されてコンピュータ2からネットワ
ーク4を介して画像データ処理用のパソコン5に転送さ
れる。転送方法としては、測定画像データごとに、ある
いは測定した画像データを一部づづまとめて、あるいは
全体を一括して転送する等任意の方法でよい。転送され
たデータはRAM6に一時取り込まれた後、或いは直接
ハードディスク等の記憶装置7、或いは、駆動装置8で
駆動される書込み型のCDあるいはMO等の記憶媒体9
に書き込まれる。ハードディスク等の記憶装置7には測
定画像文書作成用の専用プログラム10がセットされて
いる。
【0010】図2は測定画像文書作成用の専用プログラ
ムを説明する図である。図2(a)に示すように、専用
プログラム10は、一組みの作業を扱うフォルダ群11
と、データを編集し、報告書を作成するためのプログラ
ムデータが格納された実行ファイル12から構成されて
いる。図2(b)に示すように、一組の作業を扱うフォ
ルダ11は、画像を扱う画像ファイル群111と、画像
ファイルと対になったテキストデータ(測定条件等のデ
ータ)を扱うテキストファイル群112と、一組の作業
全体について、オペレータが共通コメントとしてメモ書
きをするためのテキストファイル113と、オペレータ
が個々のデータに適宜ラベルを付けたり、コメントを付
けるためのテキストファイル114と、画像ファイル群
111をアイコン化して収めた画像ファイル115等か
らなる。
【0011】実行ファイル12にはデータ編集を行うプ
ログラムデータが格納されており、以下のようなモジュ
ール構成をしている。 フォルダ群11を予め生成し設定するためのモジュー
ル121、 ネットワーク3を経て転送されるデータを、適宜所定
のフォルダ11、画像ファイル111、テキストファイ
ル112、113及び画像ファイル114を開いてこれ
らに書き込むモジュール122、 任意のフォルダ11のデータを画像ファイル111と
テキストファイル112、113、114等と組み合わ
せて画像ファイル115を用いて一覧表示するモジュー
ル123、 画像データを処理し、テキストデータを適当な表示形
式に変換するモジュール124、 報告書の定型フォーマット(用紙のレイアウト)を設
定(選択あるいは作成)するモジュール125、 一覧表示した画像データからデータを選択して、定型
のフォーマットに順次貼り込み、出力するモジュール1
26、 任意の画像データを定型のフォーマットの任意の位置
にドラッグし、ドロップするモジュール127、 一覧表示、データの選択と貼り込み、出力等に際して
コメント等の追加修正をするモジュール128、 編集結果を記録として残したり、印刷出力するモジュ
ール129等を有している。
【0012】次に、専用プログラムによる各処理につい
て説明する。 〔データ収集〕図3はデータ収集処理のフローを説明す
る図であり、図4はデータ収集に際してのデータとこれ
が格納されるファイルとの関係を説明する図である。オ
ペレータは依頼者からの依頼内容を勘案して幾つかの組
みの作業として、幾つかのフォルダ群11をモジュール
121を用いて作成し設定する(ステップ21)。ある
組みの作業において、オペレータはその組全体を示す共
通のコメントを、機能122を用いてテキストファイル
113に、SEM組み込みコンピュータ2のキーボード
などから書き込む(ステップ22)。共通のコメント
は、例えば、図5に示すように、画像の説明、観察方法
等についての説明である。オペレータはSEMを操作
し、走査像を撮影し(ステップ23)、像撮影の度に一
つ一つのデータに適当なラベルなりコメントをSEM付
属のコンピュータ2のキーボードなどから入力する(ス
テップ24)。そして、モジュール122を用いてネッ
トワーク3を経て画像データとこれに付随する測定条
件、コメントなどのデータをパソコン4に転送し、所定
のフォルダ11の画像ファイル111とテキストファイ
ル112、114に書き込む(ステップ25)。以下、
このようにして所望のデータを全て取り終える(ステッ
プ26)。もちろん、画像データ等の転送は、SEM内
蔵の画像メモリ21に一時的に上記画像データ等を記憶
しておき、後で一括して行ってもよい。なお、パソコン
5側では、転送されて記憶媒体7に記憶したたデータ
は、後に記憶媒体9にコピーする。
【0013】〔データ編集〕図6はデータ編集処理フロ
ーを説明する図である。オペレータはパソコン4を用い
て編集作業を行う。まず、モジュール123を用いて、
データ編集を行う実行ファイル12と、所望のフォルダ
11を起動すると(ステップ31)、フォルダ11内の
画像ファイル群111の画像群と、それぞれの画像にテ
キストファイル114内のラベルやコメントを付けたも
のが一覧表示される(ステップ32)。図7は一覧表示
の例を示しており、画像にラベルやコメントが付されて
表示されている。この時、画像データは縮小してアイコ
ン化して画像ファイル115に収め、取り扱いを容易に
することができる。オペレータは、一覧表示された画像
を見ながら、所望のデータを順次カーソルで指定する
(ステップ33)。
【0014】一方、実行ファイル12には、SEM専用
のフォーマット(用紙のレイアウト)が幾つか用意され
ているので、モジュール125を用いて適当なフォーマ
ットを設定する(ステップ34)。次いで、モジュール
124を用いて、指定した画像に対して、画像枠のサイ
ズに合わせたり、輝度の調整を行うなどの画像処理を行
うとともに、テキストファイル112の測定条件等のデ
ータを、報告書の読み手によって分かりやすい形式に変
換するテキストフィルタ処理を行う(ステップ35)。
テキストフィルタ処理は、SEMから転送された測定条
件等のデータの大部分は、全ての情報を単に機械的に転
送されたままテキストファイル112に収めているの
で、図8に示すように、表示する項目を取捨選択すると
共に、略号等を分かりやすい言葉に変換する処理で、予
め変換テーブルを用意しておくことにより行う。次い
で、モジュール126によって、画像処理したデータ、
テキストフィルタ処理したデータ、テキストファイル1
14のラベルやコメント等のデータを設定したフォーマ
ットで順次貼り付けていく(ステップ36)。なお、上
記したように、画像データを指定された順に貼り付け
ず、モジュール127を用いて任意の画像データを用紙
のレイアウトの任意の位置に、ドラッグしていき、ドロ
ップするようにしてもよい。図9は設定したフォーマッ
トで貼り付けた画像データの例を示している。さらに、
モジュール128によってラベル内容の修正やコメント
等の追加等をする(ステップ37)。以上の処理を、指
定した全画像が終了するまで行う(ステップ38)。こ
うして編集の終了したデータをモジュール129を用い
て記録として残し、あるいはプリンタへ出力して印刷す
る。
【0015】なお、本発明の専用の編集プログラムは、
画像データに比べ十分に小さく、かつ、他のアプリケー
ションプログラムの関連を極力排除するようにしてい
る。そこで、図10に示すように、画像ファイルに書き
込まれた測定画像データ、テキストファイルに書き込ま
れた付随するテキストデータを記憶媒体9に格納し、こ
れら一連の画像データに本発明の専用の編集プログラム
を付属させても、容量的にも動作上問題ない。しかも、
このようにすれば依頼者は手持ちのパソコンを用いて、
このプログラムをセットアップすることも必要とせず
に、この記憶媒体9上から起動して、オペレータと同様
な編集作業を行うことができる。もちろん、若干の工夫
を追加することによって、このプログラムのコピー禁止
ないしコピーしたものでは正常には動作しないようにす
ることもできる。
【0016】また、上記説明では、主としてネットワー
クを介してパソコン等にデータを取り込むようにした
が、全体のシステムをSEM等類似装置に付属のコンピ
ュータで処理するようにしてもよく、また、ネットワー
クを介さず、リムーバブルな記憶媒体を介して処理する
ことも可能である。
【0017】
【発明の効果】本発明により、以下のような効果を達成
することができた。 データの取り込みが容易、かつ確実にできる。 データの貼り込みは、データの選択に従い、自動的に
極めて簡単、かつ、確実にできる。 データの貼り込みに際し、データは所定の変換が自動
的に行える。上記〜により、依頼者への報告書の作
成を極めて能率よく、簡便に行うことができる。 記憶媒体にデータと編集処理プログラムを一緒に入れ
込むことによって、任意のパソコンでプログラムのセッ
トアップ無しに依頼者が自由に編集作業を行うことがで
きる。 編集結果は別途記憶でき、オリジナルデータはそのま
ま残すことができるので、再編集等も容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の測定画像編集装置の概念図である。
【図2】 画像編集用の専用プログラムを説明する図で
ある。
【図3】 データ収集処理のフローを説明する図であ
る。
【図4】 データ収集を説明する図である。
【図5】 共通のコメントの例を示す図である。
【図6】 データ編集処理フローを説明する図である。
【図7】 一覧表示の例を示す図である。
【図8】 テキストフィルタ処理を説明する図である。
【図9】 設定したフォーマットで貼り付けた画像デー
タの例を示す図である。
【図10】 記憶媒体に書き込まれた画像データに、編
集プログラムを付属させる例を示す図である。
【符号の説明】
1…SEM、2…コンピュータ、3…画像メモリ、4…
ネットワーク、5…パソコン、6…RAM、7…記憶装
置、8…駆動装置、9…記憶媒体、10…専用プログラ
ム。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定画像データとテキストデータとを組
    み合わせ、編集処理して測定画像文書を作成する装置で
    あって、 測定画像データ、付随するテキストデータを格納するフ
    ォルダを作成するフォルダ作成手段と、 所定のフォルダに測定画像データ、付随するテキストデ
    ータを書き込むデータ書き込み手段と、 フォルダから測定画像データ、付随するテキストデータ
    を読みだして一覧表示する一覧表示手段と、 測定画像データ、付随するテキストデータを貼り込むた
    めのフォーマットを設定するフォーマット設定手段と、 測定画像データ、付随するテキストデータを前記フォー
    マットでレイアウトする貼り込み手段とを備えた測定画
    像文書作成装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の装置において、測定画像
    データ、付随するテキストデータはネットワークを介し
    て転送されるデータであることを特徴とする測定画像文
    書作成装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載の装置において、指
    定したデータに対して画像処理を行う処理手段を備えた
    ことを特徴とする測定画像文書作成装置。
  4. 【請求項4】 請求項1又は2記載の装置において、指
    定したデータに対してテキスト変換処理を行う処理手段
    を備えたことを特徴とする測定画像文書作成装置。
  5. 【請求項5】 測定画像データ、付随するテキストデー
    タとともに、前記測定画像データと付随するテキストデ
    ータとを組み合わせ、編集処理して測定画像文書を作成
    するプログラムが格納された記憶媒体であって、 前記プログラムは、 測定画像データ、付随するテキストデータを格納するフ
    ォルダを作成するステップと、 所定のフォルダに測定画像データ、付随するテキストデ
    ータを書き込むステップと、 フォルダから測定画像データ、付随するテキストデータ
    を読みだして一覧表示するステップと、 測定画像データ、付随するテキストデータを貼り込むた
    めのフォーマットを設定するステップと、 測定画像データ、付随するテキストデータを前記フォー
    マットでレイアウトするステップと、 からなることを特徴とする記憶媒体。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の記憶媒体において、前記
    プログラムは、ネットワークを介して転送される測定画
    像データ、付随するテキストデータを書き込むステップ
    を有することを特徴とする記憶媒体。
  7. 【請求項7】 請求項5又は6記載の記憶媒体におい
    て、前記プログラムは、指定したデータに対して画像処
    理を行うステップを有することを特徴とする記憶媒体。
  8. 【請求項8】 請求項5又は6記載の記憶媒体におい
    て、前記プログラムは、指定したデータに対してテキス
    ト変換処理を行うステップを有することを特徴とする記
    憶媒体。
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JP2008294361A (ja) * 2007-05-28 2008-12-04 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥観察装置及び欠陥観察方法

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