JPH1194533A - プローブ座標系駆動装置 - Google Patents

プローブ座標系駆動装置

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JPH1194533A
JPH1194533A JP9267785A JP26778597A JPH1194533A JP H1194533 A JPH1194533 A JP H1194533A JP 9267785 A JP9267785 A JP 9267785A JP 26778597 A JP26778597 A JP 26778597A JP H1194533 A JPH1194533 A JP H1194533A
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Tetsuo Kimura
哲郎 木村
Takashi Noda
孝 野田
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Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/41—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by interpolation, e.g. the computation of intermediate points between programmed end points to define the path to be followed and the rate of travel along that path

Abstract

(57)【要約】 【課題】 座標測定機においてプローブの姿勢と合致し
た方向にプローブを駆動できるようにして、ジョイステ
ィック操作によるプローブ駆動操作を簡易化する。 【解決手段】 仰角αと旋回角βを設定してプローブの
姿勢を自在に変更可能なプローブヘッドと、この設定さ
れた角度に基づいてプローブの姿勢に合致するプローブ
座標系の各軸を表わす単位方向ベクトルを算出する。作
業者の操作によりジョイスティック操作手段から出力さ
れる３つの電気信号と前記３つの単位方向ベクトルとの
スカラー積を求めて得られたベクトルを合成して駆動ベ
クトルを算出して、この駆動ベクトルに応じて前記座標
測定機を駆動制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、座標測定機の駆動
をジョイスティックで操作する駆動装置に関し、特にプ
ローブの向きに合致するプローブ座標系に沿ってプロー
ブを移動可能なプローブ座標系駆動装置に関する。
【０００２】
【背景技術】定盤に載置された被測定物表面の座標や形
状を測定する装置として、コンピュータ駆動制御可能な
座標測定機が周知である。図６にこの座標測定機システ
ムの外観を示す。通常、座標測定機は各々直交するＸ，
Ｙ，Ｚ駆動軸機構を有し、かつＺ駆動軸機構先端に球状
の測定子を有すると共に、この測定子と被測定物との接
触を検知してタッチ信号を発信するプローブを備えたプ
ローブヘッドが取り付けられている。
【０００３】特に図２に示すようなプローブヘッド１１
Ａ（例えば英国レニーショウ社製のプローブヘッド、商
品名：ＰＨ９）はプローブ１１Ｂの装着部における仰角
αおよびプローブヘッド１１Ａ下部の旋回角βをモータ
駆動により自由に変更設定できるので、プローブの姿勢
を任意に設定可能である。例えば、斜面を有する被測定
物を測定する場合、この斜面に対してプローブの姿勢が
略垂直になるような角度にこのプローブヘッド１１Ａの
仰角αおよび旋回角βを設定してから測定をすることが
できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、通常、図４に
示すようなジョイスティック操作盤４０のジョイスティ
ック（４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ）を操作してプローブを
移動させられる方向は、座標測定機のＸ，Ｙ，Ｚ駆動軸
機構の駆動方向のみに限られているので、上記のように
プローブの姿勢を被測定物の斜面に略垂直に設定した場
合、ジョイスティックの操作によるプローブの移動方向
とプローブの向きとが合致していないため、作業者は操
作上違和感があり操作しづらいという問題がある。
【０００５】また、オペレータが斜面に沿ってプローブ
を滑らかに移動させるようにジョイスティックを操作す
ることは難しく熟練を要する作業であった。従って斜面
や斜面上に空けられた孔等の測定は、平面部分の測定に
比べ極端に測定効率が悪く、また、誤ってプローブと被
測定物とを衝突させて高価なプローブヘッドやプローブ
を破壊してしまう危険性がある。そのため衝突させない
ためにゆっくりとプローブを移動させるようにジョイス
ティックを操作せざるを得なかった。
【０００６】上記のような問題点に鑑みなされた発明と
して、特願昭６０−２１０７４６号があるが、この発明
では最初に斜面に合致したワーク座標系をコンピュータ
内部に構築するために斜面を測定する必要がある。この
時のジョイスティック操作でプローブを移動させられる
方向は、依然として座標測定機のＸ，Ｙ，Ｚ駆動軸機構
の駆動方向のみに限られている。従ってワーク座標系構
築のための測定には、従来と変わりなく難しく熟練を要
するジョイスティック操作が必要であり、この部分の作
業が簡易化されることはなかった。
【０００７】また、別の発明としてそれぞれのジョイス
ティックに対してプローブの駆動方向を単位方向ベクト
ルにより割り当てるようにした特願平７ー１３２７７０
号があるが、この発明においても、この単位方向ベクト
ルを設定するためには、事前に測定を行ってベクトルを
求める等の作業が必要であった。
【０００８】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたもので、座標測定機におけるジョイスティッ
ク操作によるプローブの駆動操作を簡易化することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、モーターにより駆動可能な互いに直交す
る複数の駆動軸機構を備えた座標測定機と、この座標測
定機のいずれかの駆動軸機構に取り付けられると共に被
測定物との接触を検知するプローブと、このプローブを
保持すると共にこのプローブの姿勢を自在に変更設定可
能に構成されたプローブヘッドと、前記座標測定機の駆
動を操作するために１つ以上のジョイスティックを備え
ると共にこのジョイスティック操作に応じた３つの電気
信号を出力するジョイスティック操作手段と、前記プロ
ーブの姿勢に合致するプローブ座標系のＸ，Ｙ，Ｚ各軸
方向を示す３つの単位方向ベクトルを算出するステップ
を備えたＣＰＵと、前記ジョイスティック操作手段から
出力される３つの電気信号と前記３つの単位方向ベクト
ルとのスカラー積を求めて得られたベクトルを合成して
駆動ベクトルを算出する駆動ベクトル積和演算回路と、
この駆動ベクトルに応じて前記座標測定機の各駆動軸機
構に備えられたモータを駆動制御するモータ駆動回路
と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】また、本発明は上記手段に加え、前記ジョ
イスティック操作手段から出力される電気信号をデジタ
ル信号に変換するＡＤ変換器と、前記駆動ベクトル積和
演算回路から算出される駆動ベクトルをアナログ信号に
変換するＤＡ変換器と、を備えることにより構成するこ
とも可能である。
【００１１】また、本発明は上記手段に加え、前記プロ
ーブヘッドは仰角及び旋回角を自在に設定可能な回転式
プローブヘッドを備えることにより構成することも可能
である。
【００１２】ジョイスティックのレバー操作によりプロ
ーブを移動させる方向をプローブの姿勢に一致させるこ
とで、斜面を有する被測定物の測定作業を簡易化するこ
とができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を用いた好適な実施
の形態について図面を用いて説明する。なお、全図中に
おいて同一符号を付したものは同一構成要素を表わして
いる。図１に本発明を用いた好適な実施の形態に係るブ
ロック構成図を示す。図４に示すジョイスティック操作
盤４０のジョイスティック４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃに繋
がるレバー４３，４４を作業者が傾動操作すると、この
傾動角度に略比例した電圧信号Ａ，Ｂ，Ｃがそれぞれ出
力される。レバー４３の左右方向の傾動はジョイスティ
ック４１Ａにより検知され電圧信号Ａが出力され、前後
方向の傾動はジョイスティック４１Ｂにより検知され電
圧信号Ｂが出力される。同様にレバー４４の前後方向の
傾動はジョイスティック４１Ｃにより検知され電圧信号
Ｃが出力される。
【００１４】次にこれらの信号Ａ，Ｂ，Ｃは各々ＡＤ変
換器４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃに入力されてデジタル信号
ａ，ｂ，ｃに変換された後、駆動制御装置２０へ入力さ
れる。この駆動制御装置２０には、各ジョイスティック
を操作したときにプローブを駆動させる方向を示す単位
方向ベクトルＶａ，Ｖｂ，Ｖｃが、メモリ２２Ａ，２２
Ｂ，２２Ｃに予め設定されている。通常、この単位方向
ベクトルＶａ，Ｖｂ，Ｖｃの初期状態は座標測定機の
Ｘ，Ｙ，Ｚ駆動軸機構の駆動方向に一致させるようにす
る。すなわち初期状態として
【００１５】Ｖａ＝（１，０，０），Ｖｂ＝（０，１，
０），Ｖｃ＝（０，０，１）
【００１６】が設定されている。従って、通常はこの状
態でジョイスティック操作するとプローブを各駆動軸機
構に対して平行に移動させるようになっている。
【００１７】次に前記ジョイスティック操作盤４０から
の出力信号ａ，ｂ，ｃは、積和演算回路において前記単
位方向ベクトルＶａ，Ｖｂ，Ｖｃとスカラー積が計算さ
れ、さらに各々のベクトルが加算されて、各駆動軸の駆
動ベクトルが算出される。この求められた駆動ベクトル
は次にそれぞれの成分毎にＤＡ変換器２４Ａ〜２４Ｃに
入力され、アナログ信号とされた後、それぞれ各軸モー
タ駆動回路２５Ａ〜２５Ｃへ入力される。次にこの各軸
モータ駆動回路２５Ａ〜２５Ｃから出力される電流は、
座標測定機１０の各軸駆動モータに入力されて座標測定
機を駆動させる。
【００１８】また、座標測定機１０の各軸の現在の座標
データすなわち各軸エンコーダ１３Ａ〜１３Ｃの読み取
り値はＣＰＵ２１へ絶えず入力されている。これによ
り、測定及びプローブ駆動位置決めの精密な制御を可能
としている。
【００１９】また、通常、座標測定機１０のＺ駆動軸先
端には図２に示すようなプローブヘッド１１Ａとさらに
このプローブヘッド１１Ａの先端にプローブ１１Ｂが備
えられている。このプローブ１１Ｂには被測定物と接触
するために例えばルビーのような硬い材質でできた球状
の測定子１１Ｃが備えられている。この測定子１１Ｃが
被測定物と接触すると、プローブ１１Ｂ内の検出機構が
接触を検知してタッチ信号を出力する。このタッチ信号
は図１に示すようにＣＰＵ２１へ入力され、ＣＰＵ２１
はこのタッチ信号を受信するとその瞬間における各軸エ
ンコーダ１３Ａ〜１３Ｃの読み取り値を測定データとし
て確保すると共に、必要に応じてメモリ（図示せず）内
部へ格納する。
【００２０】次に図２に基づいてプローブヘッド１１Ａ
について詳細に説明する。プローブヘッド１１Ａ（例え
ば英国レニーショウ社製のプローブヘッド、商品名：Ｐ
Ｈ９）の上部にはピンが備えられていて、通常このピン
を座標測定機１０のＺ駆動軸機構の最下端に挿入してね
じで締め付け、座標測定機１０が駆動してもガタが生じ
ないようにしっかりと接続固定するようにしている。こ
の取り付けの際に、座標測定機の向きとプローブヘッド
１１Ａの向きを予め決めておく必要がある。通常は旋回
角β＝０度のときの向きを座標測定機のＹ駆動軸機構の
マイナス方向に一致させるかまたはＸ駆動軸機構のプラ
ス方向に一致させるようにしている。プローブヘッド１
１Ａ上面に位置決め用のピン及び、座標測定機のＺ駆動
軸機構下端にピン受け治具を備えるように構成すること
も可能である。
【００２１】このプローブヘッド１１Ａは下部が上部に
対して７．５度きざみに±１８０度の範囲でモータ駆動
により回転できる機構を備え、すなわち旋回角βを設定
自在に構成されている。同様にプローブ１１Ｂの取り付
け部分は７．５度きざみに０〜１０５度の範囲でモータ
駆動により回転できる機構を備え、すなわち仰角αを設
定自在に構成されている。作業者がプローブヘッド姿勢
操作盤５０で指定した旋回角βと仰角αの角度の値は、
駆動制御装置２０を介してプローブヘッド１１Ａに入力
されて、モータ駆動により指定した角度にそれぞれ回転
して姿勢が変更される。これによりプローブ１１Ｂの姿
勢を作業者の意図する方向へ自在に設定可能である。
【００２２】実際の測定作業において、多くの場合、被
測定物の上面だけではなく鉛直な側面や斜面を測定する
機会があり、理想的には各測定箇所において、プローブ
１１Ｂを被測定物に対して垂直になるように毎回姿勢変
更して、さらにこの姿勢に一致する方向、すなわち測定
面に対して垂直な方向から被測定物に徐々にプローブ１
１Ｂを近づけて被測定物に接触させて測定すれば、接触
時に測定子１１Ｃが被測定物の表面を滑ることがなく、
従って最も精度劣化が少ないといわれている。
【００２３】通常、上記姿勢変更を行った後に次のよう
なプローブ補正作業を行う。座標測定機１０の定盤上に
載置されると共に予め直径値が精密に分かっている図示
されていない基準球（マスターボール）の最低４箇所以
上に、図４に示すジョイスティック４１Ａ〜４１Ｃを操
作して座標測定機１０を駆動させて測定子１１Ｃを接触
させる。この接触によりプローブ１１Ｂからタッチ信号
がＣＰＵ２１へ入力されると、その瞬間における各軸エ
ンコーダの読み取り値が確保されて所定のメモリ領域へ
測定座標値として格納される。次に測定されたこの４箇
所以上の測定座標値に対して最小自乗法等の幾何計算手
法により球形状をあてはめ計算して、求められた中心座
標値（上記基準球中心から測定子１１Ｃの中心までのベ
クトル）と直径値から逆算して測定子１１Ｃの直径値及
び中心座標値を求める。
【００２４】次に図３と図５に基づいて斜面を有する被
測定物の測定におけるプローブ座標系を用いた測定手順
について詳細に説明する。まず、ステップ１０において
被測定物の斜面にプローブ１１Ｂが略垂直な姿勢になる
ようにプローブヘッド姿勢操作盤５０を操作する。この
ときプローブ１１Ｂの姿勢は厳密に斜面に垂直である必
要はなく、目視でだいたいの仰角αと旋回角βを設定す
ればよい。例えば図３の場合は、仰角α＝４５度、旋回
角β＝０度のように設定する。このとき、多少プローブ
の姿勢が斜面に対して垂直な方向からずれていたとして
も、極めて細い溝等を測定する場合を除いて、実際の測
定においてはそれほど大きな問題ではなく支障なく測定
を行うことができる。
【００２５】仰角αと旋回角βの値がプローブヘッド姿
勢操作盤５０からＣＰＵ２１へ入力指定されると、直ち
にプローブヘッド１１Ａに角度変更の指令が出力され
て、プローブヘッド１１Ａ内の仰角、旋回角それぞれの
回転用に備えられたモータが駆動されて角度が変更設定
される。さらにこの仰角αと旋回角βの値はＣＰＵ２１
内部の所定メモリへ記録される。この値は後に、プロー
ブ座標系の各軸方向の単位方向ベクトル算出の時に使わ
れる。
【００２６】また、もしも一旦設定した仰角αと旋回角
βの角度が測定動作上、プローブ１１Ｂが移動中に測定
子１１Ｃ以外の部分、例えばスタイラス（枝）等の部分
が被測定物に干渉する支障があるようであれば、再度プ
ローブヘッド姿勢操作盤５０を使って角度を微調整すれ
ばよい。ただし、前記プローブヘッド１１Ａでは７．５
度とびでしか角度設定できないので、厳密に斜面に垂直
になるように設定することは難しい。しかし、前記プロ
ーブヘッド１１Ａとは別に無段階に角度を設定できるプ
ローブヘッドを使った場合は、厳密に斜面に垂直になる
ように設定することが可能である。この場合、プローブ
ヘッドの仰角αと旋回角βを０にしたまま、まず斜面上
の３箇所以上の点を測定して斜面の法線方向を求めて、
この法線方向にプローブ１１Ｂの姿勢が一致するように
設定する、すなわちプローブ１１Ｂの中心を通る軸と斜
面の法線方向を一致させるようにすれば、厳密に斜面に
対して垂直な方向にプローブ１１Ｂの姿勢及びプローブ
座標系６０を設定することができるので、精度劣化の少
ない測定が期待できる。
【００２７】また、予め設計値等により斜面の角度が分
かっている場合はこの値を基に仰角αと旋回角βを設定
することも可能であり、目視よりも正確にプローブの姿
勢を斜面に垂直にすることが可能である。
【００２８】次にステップ１１において、先ほど設定さ
れＣＰＵ２１内部の所定メモリへ記録されていた仰角α
と旋回角βに基づいて、図３に示すようなプローブ座標
系の各座標軸の単位方向ベクトルを計算により求める。
計算方法は、ごく一般的な座標変換（回転）の行列計算
によるものである。
【００２９】次にステップ１２において求められたそれ
ぞれのベクトルの値をメモリ２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに
格納してベクトルＶａ，Ｖｂ，Ｖｃの値を設定する。従
って、これ以降のジョイスティック４１Ａ，４１Ｂ，４
１Ｃによる操作で、プローブ１１Ｂを図３に示すような
プローブ座標系の方向に沿って移動させることができる
ようになる。
【００３０】すなわちレバー４３を左右方向に傾動させ
ると、プローブ１１Ｂをプローブ座標系６０のＸ軸方向
へ移動させることができる。また、同様にレバー４３を
前後方向へ傾動させると、プローブ１１Ｂをプローブ座
標系６０のＹ軸方向へ移動させることができる。また、
同様にレバー４４を前後方向へ傾動させると、プローブ
１１Ｂをプローブ座標系６０のＺ軸方向へ移動させるこ
とができる。
【００３１】次にステップ１３において、図示しない基
準球（マスターボール）を測定してプローブ補正を行
う。また、被測定物の形状によっては、同じ姿勢で同じ
測定子を使って所定箇所全部を測定できない場合、プロ
ーブの姿勢や測定子を交換する必要があり、この時に基
準球と測定子との位置関係を補正する必要がある。本
来、測定子１１Ｃの直径値はプローブ１１Ｂの姿勢を変
更しても変わることはないはずであるが、姿勢によって
はみかけの直径値が変化することもあるため、設定した
角度毎にプローブ補正作業が必要となる。なお、一度求
めた補正データはファイル等に記録してホストコンピュ
ータ３１内に記録しておけるので、次回、同じ仰角αと
旋回角βに設定した場合は、記録しておいたファイルか
ら補正データを呼び出して使うことが可能である。この
場合は補正作業が省略できるので作業が効率的である。
【００３２】次にステップ１４において、ジョイスティ
ック操作盤４０のレバー４３，４４を操作して被測定物
を測定する。例えば、図３のように斜面に空いた孔を測
定する場合は、レバー４３を左右方向に傾動させること
で、プローブ１１Ｂを斜面に沿って斜めに移動させるこ
とが可能である。従来、このようにプローブを斜めに移
動させる場合は最低２つのジョイスティックを同時に操
作する必要があり、操作が複雑で熟練を要していた。さ
らに、この孔に対して略垂直方向にプローブ１１Ｂを差
し入れる場合も、レバー４４のみを前後方向に傾動させ
ればよく、従来、ジョイスティックの操作ミスからしば
しば発生していたプローブと被測定物との衝突を防ぐこ
とが期待される。
【００３３】また、プローブ１１Ｂをレバー４４一本の
傾動操作により被測定物の斜面に対して略垂直でしかも
プローブ１１Ｂの姿勢に一致した方向に移動させること
ができるので、作業者に違和感を与えることなく、しか
も測定精度劣化の少ない測定ができる。また、当然のこ
とながらプローブ座標系駆動により、機械座標系または
ワーク座標系上に表現される測定データの座標値は一切
影響を受けることがない。
【００３４】以上、本発明について好適な実施の形態に
ついて実施例を挙げて説明したが、本発明は、この実施
例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない
範囲での変更が可能である。例えば、上記実施例では、
プローブ座標系に基づいたジョイスティックによる駆動
操作に限って説明したが、機械座標系（座標測定機本体
の各駆動軸機構と平行な座標系）やワーク座標系（被測
定物に基づき被測定物端面等に沿うように設定される座
標系）においても本発明を実施可能である。この場合も
それぞれの座標系の各軸の単位方向ベクトルを駆動制御
装置２０内部のメモリ２２Ａ〜２２Ｃ、すなわちベクト
ルＶａ，Ｖｂ，Ｖｃの値に設定するだけで容易に実施可
能である。
【００３５】また、上記実施例では、作業者が設定した
仰角αと旋回角βに基づいて、設定角度を変更する度に
プローブ座標系の各座標軸の単位方向ベクトルを計算に
より求めているが、前記プローブヘッドの取り得る角度
は無限にあるわけではなく、仰角αは０〜１０５度の範
囲で７．５度きざみで１５種類、−１８０度〜＋１８０
度の範囲で７．５度きざみで４９種類である。従って取
り得る角度の組み合わせは７３５種類となる。そこでそ
れぞれの角度の組み合わせが設定されたときのプローブ
座標系の各座標軸の単位方向ベクトルを予め計算して求
めておいて、駆動制御装置２０内部に記憶させておき、
作業者により仰角α、旋回角βが変更設定されたら、こ
の角度の組み合わせに対応する各座標軸の単位方向ベク
トルを読み出して、単位方向のメモリ２２Ａ，２２Ｂ，
２２Ｃに設定するように構成することも可能である。こ
の場合、設定角度が変更される度に計算する必要がない
ので、ＣＰＵ２１に余計な計算負荷を掛けることなくス
ムース動作させることが可能である。
【００３６】
【発明の効果】以上、本発明により、斜面を有する被測
定物の測定において、プローブを斜面に沿って斜めに移
動させるジョイスティック操作を簡易化できる。また、
斜面を有する被測定物であっても測定箇所に対して目視
により簡易にプローブの姿勢を略垂直な方向に設定でき
るので、測定に際しては測定箇所に対して略垂直な方向
からプローブを近づけて測定子を被測定物に接触させる
ことができる。従って斜めにプローブを近づけて接触さ
せて測定したときに比べて、測定誤差の発生を小さく抑
えることができる。さらに、プローブの姿勢と一致する
方向へプローブを簡単に移動させることができるので、
作業者が違和感なく操作でき、測定操作ミスが軽減され
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るブロック構成図である。
【図２】本発明に係るプローブヘッドの外観図である。
【図３】本発明に係る測定動作を示した図である。
【図４】本発明に係るジョイスティック操作盤の外観図
である。
【図５】本発明に係る測定手順を示したフロー図であ
る。
【図６】本発明に係る座標測定機の外観図である。
【符号の説明】
10 座標測定機 11A プローブヘッド 11B プローブ 11C 測定子 20 駆動制御装置 21 ＣＰＵ 22A,B,C 単位方向ベクトルのメモリ 23 積和演算回路 30 ホストコンピュータシステム 40 ジョイスティック操作盤 41A,B,C ジョイスティック 44,43 レバー 50 プローブヘッド姿勢操作盤 60 プローブ座標系

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 モーターにより駆動可能な互いに直交す
    る複数の駆動軸機構を備えた座標測定機と、 この座標測定機のいずれかの駆動軸機構に取り付けられ
    ると共に被測定物との接触を検知するプローブと、 このプローブを保持すると共にこのプローブの姿勢を自
    在に変更設定可能に構成されたプローブヘッドと、 前記座標測定機の駆動を操作するために１つ以上のジョ
    イスティックを備えると共にこのジョイスティック操作
    に応じた３つの電気信号を出力するジョイスティック操
    作手段と、 前記プローブの姿勢に合致するプローブ座標系のＸ，
    Ｙ，Ｚ各軸方向を示す３つの単位方向ベクトルを算出す
    るステップを備えたＣＰＵと、 前記ジョイスティック操作手段から出力される３つの電
    気信号と前記３つの単位方向ベクトルとのスカラー積を
    求めて得られたベクトルを合成して駆動ベクトルを算出
    する駆動ベクトル積和演算回路と、 この駆動ベクトルに応じて前記座標測定機の各駆動軸機
    構に備えられたモータを駆動制御するモータ駆動回路
    と、を備えたことを特徴とするプローブ座標系駆動装
    置。
  2. 【請求項２】 請求項１において、前記ジョイスティッ
    ク操作手段から出力される電気信号をデジタル信号に変
    換するＡＤ変換器と、 前記駆動ベクトル積和演算回路から算出される駆動ベク
    トルをアナログ信号に変換するＤＡ変換器と、を備えた
    ことを特徴とするプローブ座標系駆動装置。
  3. 【請求項３】 請求項１において、前記プローブヘッド
    は仰角及び旋回角を自在に設定可能な回転式プローブヘ
    ッドにより構成されたことを特徴とするプローブ座標系
    駆動装置。
JP26778597A 1997-09-12 1997-09-12 プローブ座標系駆動装置 Expired - Fee Related JP3439331B2 (ja)

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