JPH1176723A - オイルミストトラップ - Google Patents

オイルミストトラップ

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JPH1176723A
JPH1176723A JP24104397A JP24104397A JPH1176723A JP H1176723 A JPH1176723 A JP H1176723A JP 24104397 A JP24104397 A JP 24104397A JP 24104397 A JP24104397 A JP 24104397A JP H1176723 A JPH1176723 A JP H1176723A
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JP
Japan
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oil
case
oil mist
baffle
baffles
Prior art date
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Application number
JP24104397A
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English (en)
Inventor
Sadanori Hirano
貞徳 平野
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Renesas Semiconductor Engineering Corp
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Renesas Semiconductor Engineering Corp
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 オイルミストを効果的に捕捉できると共に、
目詰りの恐のないメンテナンスフリーであり、捕捉した
オイルの量や劣化状況を外部から直接観察でき、かつ、
腐食性ガスに対応できるオイルミストトラップを提供す
る。 【解決手段】 オイルミストを含む被処理ガスの流入口
2及び流出口3を有する透明体のケース1と、該ケース
1に配設された複数のバッフル4とを備え、該バッフル
4は、切欠き部4Aを有すると共に複数の透孔4Bを有
しており、透明体のケース1内における被処理ガスの流
入口2と流出口3の間に間隔をおき、前記切欠き部4A
を下方にし、傾斜させて配設されたものであり、ミスト
状のオイルを効果的に捕捉でき、捕捉したオイルを容易
に観察でき、オイルの量及び劣化状況を的確に判断でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はオイルミストを含
有する排ガス設備等における排気側に設置するオイルミ
ストトラップに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は、例えば従来のオイルミストトラ
ップの断面図であり、11は金属製のケース、12はケ
ース11の下面に設けられた被処理ガスの流入口フラン
ジ、13はケース11の上面に設けられた被処理ガスの
排気フランジ、14は流入口フランジ12側に取付けら
れた脱着可能なフィルター、15はこのフィルター14
を上記ケース11内に固定するための上板を含む取付
具、16は上記ケース11内に蓄積されたオイルを外部
に排出するためのドレン口である。17は上記フィルタ
ー14を脱着するときに上記ケース11を2分割するフ
ランジである。
【0003】従来のオイルミストトラップは上記のよう
に構成され、例えば油回転真空ポンプ(図示せず)から
排出されたミスト状のオイルを含む排気が流入口フラン
ジ12よりケース11内に送気され、フィルター14を
通過させることにより、フィルター14に捕捉されてケ
ース11内の底部に蓄積され、この蓄積されたオイルは
ドレン抜き口16より外部に排出される。又、フィルタ
ー14は目詰まりや汚れによる性能低下が生じるので、
フランジ17よりケース1の上部を取り外しフィルター
14を定期的に取り替える。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のオイルミストト
ラップは以上のように構成されており、目詰まりや汚れ
による性能低下が生じたフィルター14を比較的高頻度
で取替えを要したがフランジ17をその都度取り外す必
要があり、煩雑であった。又、ケース11が金属ででき
ているため、フィルター14で捕捉されたオイルの量や
オイルの劣化状況が外部より観察できず、やはり、フラ
ンジ17をその都度取り外して観察する必要があった。
更に、排気中に半導体製造プロセスで使用される腐食性
ガスが混入しているとケース11が腐食し、捕捉したオ
イルが外部に漏れるなどの問題点があった。
【0005】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、ミスト状のオイルを効果的に
捕捉すると共に、メンテナンスフリー、かつ、捕捉され
たオイルの量やオイルの劣化状況を外部から直接観察で
き、かつ、腐食性ガスに対応できるオイルミストトラッ
プを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】第1の発明に係わるオイ
ルミストトラップは、オイルミストを含む被処理ガスの
流入口及び流出口を有するケースと、該ケース内におけ
る前記被処理ガスの流入口と流出口の間に配設されたバ
ッフルとを備えたものである。
【0007】第2の発明に係わるオイルミストトラップ
は、第1の発明に係わるオイルミストトラップにおい
て、複数のバッフルを備え、該複数のバッフルが切欠き
部を有すると共に複数の透孔を有しており、ケース内に
おける被処理ガスの流入口と流出口の間に間隔をおき、
前記切欠き部を下方に、略同一方向に傾斜させて配設さ
れたものである。
【0008】第3の発明に係わるオイルミストトラップ
は、第2の発明に係わるオイルミストトラップにおい
て、複数枚のバッフルにおける被処理ガスの流入口側に
配設されたバッフルから流出口側に配設されたバッフル
へ向けてバッフルの切欠き部が小さくなっているもので
ある。
【0009】第4の発明に係わるオイルミストトラップ
は、第1の発明に係わるオイルミストトラップにおい
て、複数枚のバッフルを備え、該複数のバッフルが切欠
き部を有すると共に複数の透孔を有しており、ケース内
における被処理ガスの流入口と流出口の間に、前記切欠
き部を下方に、かつ、交互に傾斜方向を変えて配設され
たものである。
【0010】第5の発明に係わるオイルミストトラップ
は、第1乃至第4のいずれかに記載の発明に係わるオイ
ルミストトラップにおいて、ケースの少なくとも一部の
面が透明であるものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.この発明の実施の形態1を図1に示した
断面図に基づき説明する。図において、1は透明体のケ
ースとしての塩化ビニル樹脂製の円筒状のケース、2は
ケース1の下部に設けたオイルミストを含有する被処理
ガスの流入口としての流入口フランジ、3はケース1の
上部に設けた被処理ガスの流出口としての排気フラン
ジ、4はケース1内において、流入口フランジ2と排気
フランジ3の間に配設されたバッフルであり、略楕円形
の板状をなし、長辺の片方の端部に切欠き部4Aが形成
されている。
【0012】尚、この実施の形態では1枚のバッフルが
ケース1内における流入口と流出口の間に切欠き部4A
を下方に傾斜させて配設されている。5はケース1の下
部に溜まったドレンを油回転真空ポンプへ自動的に排出
するオートドレン、6は手動のドレン抜き口である。
【0013】次に上記実施の形態1の作用について説明
する。図1において、ミスト状のオイルを含む油回転真
空ポンプの排気は円筒状のケース1に設けた流入口フラ
ンジ2を通してケース1の内部に送気され、バッフル4
に衝突し、切欠き部4Aを通過して排気フランジ3から
排出される。排気がバッフル4に衝突することにより、
排気中のミスト状のオイルは冷却されてバッフル4の表
面に捕捉され、このバッフル4が傾斜して配設されてい
るので、表面を伝って切欠き部4Aからケース1の下部
に滴下し、ドレンとして溜まる。
【0014】このように構成されたものにおいては、バ
ッフル4が円筒状のケース1と完全に密着若しくは一体
に固着されているため、バッフル4から円筒状のケース
1に至る熱伝導が比較的良好であり、バッフル4の冷却
効果を高めている。尚、ケース1内にオートドレン5を
設けたので、蓄積されたオイルを油回転真空ポンプ内に
戻す事ができ、油回転真空ポンプのオイル減少を抑制す
る効果がある。
【0015】実施の形態2.この発明の実施の形態2を
図2に示した断面図に基づき説明する。図において、4
はケース1内において、流入口フランジ2と排気フラン
ジ3の間に配設されたバッフルであり、略楕円形の板状
をなし、長辺の片方の端部に切欠き部4Aが形成され、
板状面には複数の透孔(貫通孔)4Bが形成されてい
る。尚、この実施の形態では2枚のバッフルがケース1
内における流入口と流出口の間に間隔をおき、互いの透
孔4Bの中心をずらし、切欠き部4Aを下方に、同一方
向に傾斜させて配設されている。
【0016】次に、このように構成されたものの作用に
ついて説明する。図2において、ミスト状のオイルを含
む油回転真空ポンプの排気は円筒状のケース1に設けた
流入口フランジ2を通してケース1の内部に送気され、
下段のバッフル4に衝突し、バッフル4に設けた透孔4
Bを通過する。このバッフル4に衝突することにより、
排気中のミスト状のオイルは冷却されてバッフル4の表
面に捕捉され、このバッフル4が傾斜して配設されてい
るので、表面を伝って切欠き部4Aからケース1の下部
に滴下し、ドレンとして溜まる。溜まったドレンとして
のオイルはオートドレン5により油回転真空ポンプ内に
戻される。
【0017】下段のバッフル4で捕捉できなかった排気
中のミスト状のオイルは、上段のバッフル4に接触しそ
の表面に捕捉され、このバッフル4の表面を伝って切欠
き部4Aからケース1の下部に滴下し、ドレンとして溜
まる。ミスト状のオイルが除去された排気ガスは排気フ
ランジ3より外部に排出される。
【0018】このように構成されたものにおいては、バ
ッフル4に透孔4Bを設けたことで排気抵抗を低減しつ
つオイルミストを効果的に捕捉でき、又、複数設けたバ
ッフル4の互いの透孔4Bの位置をずらすことによりオ
イルミストの捕捉効果を、更に向上できる。尚、この実
施の形態2のバッフルは複数枚あればよく、2枚に限定
されるものではないことは言うまでもない。
【0019】実施の形態3.この発明の実施の形態3を
図3に示した断面図に基づき説明する。この実施の形態
3は3枚のバッフルからなる構成であるが、特徴は上方
のバッフル4から下方のバッフル42へ向かって、バッ
フルの切欠き部4Aが順番に大きく、即ち、バッフル
4、41、42の表面積が順番に小さく形成されている
ことにある。バッフルの切欠き部4Aが順番に大きく形
成されていることにより、ミスト状のオイルの捕捉効果
を維持しつつは背圧ロスの低減を図れる効果がある。
尚、この実施の形態3のバッフルは複数枚あればよく、
3枚に限定されるものではないことは言うまでもない。
【0020】実施の形態4.この発明の実施の形態4を
図4に示した断面図に基づき説明する。この発明の実施
の形態4は、4枚のバッフル板4を千鳥足状に交互に傾
斜させて配設した例であり、各バッフル4の透孔を通過
できずに、各切欠き部4Aを通過する排気の流路を長く
することにより、更に、オイルの捕捉効果を高めたもの
である。
【0021】実施の形態1〜4では、オイルミストトラ
ップのケース1の全体が透明体であるものを例示した
が、必ずしも、透明体である必要はない。外部より、ド
レン溜り及びバッフル4の一部が覗けれるように、少な
くとも、ケース壁面の一部が透明であれば、バッフル4
の汚れ状況や劣化したオイルの溜り状況を観察でき、取
り扱い上、至便である。
【0022】又、実施の形態1〜4では、平板状のバッ
フルを例示したが、オイルを冷却する面を増やす為にバ
ッフルを波板状にすること等により、放熱効果をより高
めることができる。又、実施の形態1〜4では、複数の
透孔が形成されたバッフルを複数枚用いた例を示した
が、透孔の大きさや数を適切に選定することにより放熱
効果を更に高めることができる。
【0023】尚、実施の形態1〜4では、ケース1とし
て円筒状のものを例示したが、ケース1は円筒状のもの
に限定されるものではなく、例えば、断面が多角形、又
は、楕円系等であっても同様な効果が得られる。
【0024】更に、実施の形態1〜4では、ケース1の
下部に流入口フランジ2を、上部に排気フランジ3を設
けたオイルミストトラップを例示したが、流入口フラン
ジ2と排気フランジ3が左右に存在しても、例えば、図
1〜図4に示したオイルミストトラップを、バッフル4
の切欠きが下方となるように横向きとしても同様な効果
が得られる。
【0025】又、ケース1の材質を透明な塩化ビニル樹
脂製としたが、塩化ビニル樹脂製に限定されるものでは
なく、ガラス製、又はポリエチレン、ポリカーボネート
等の透明樹脂製であってもよく、半導体プロセスで使用
される腐食性ガスが混入したミスト状のオイルが侵入し
てもケース1の腐食によるオイルの外部への漏れをなく
すことができる。
【0026】尚、ケース1内の構造が比較的簡単なた
め、洗浄液による洗浄が容易であり、例えば、ケース1
の内部が汚れて見えにくくなった場合には、ケース1を
装置から取り外し、両フランジに盲蓋をした状態でケー
ス1内に洗浄液を注入し、揺さぶる等にて容易に洗浄で
き、再利用できる。
【0027】
【発明の効果】第1の発明によれば、フィルターとして
バッフルを用い、新しい構造のフィルターとしたので、
フィルターの目詰り等のトラブルが発生せず、長期間、
安定したオイルの捕捉効果を維持できるオイルミストト
ラップが得られる。
【0028】又、第2の発明によれば、複数のバッフル
が切欠き部を有すると共に複数の透孔を有しており、ケ
ース内における被処理ガスの流入口と流出口の間に間隔
をおき、前記切欠き部を下方に、略同一方向に傾斜させ
て配設したので、更に、オイルの捕捉効果の優れたもの
が得られる。
【0029】又、第3の発明によれば、複数枚のバッフ
ルにおける被処理ガスの流入口側に配設されたバッフル
から流出口側に配設されたバッフルへ向けてバッフルの
切欠き部を小さくしたので、ミスト状のオイルの捕捉効
果を維持しつつは背圧ロスの低減を図れる効果がある。
【0030】又、第4の発明によれば、ケース内におけ
る被処理ガスの流入口と流出口の間に複数のバッフル
を、切欠き部を下方に、交互に傾斜方向を変えて配設し
たので、ミスト状のオイルの流路を長くでき、更に、オ
イルの捕捉効果を高めたものが得られる。
【0031】又、第5の発明によれば、オイルミストト
ラップのケースの少なくとも一部を透明体で構成したの
で、オイルを静止状態にて観察することができ、溜まっ
たオイル量やオイルの劣化状況を的確に判断することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の発明の実施の形態としてのオイルミス
トトラップの断面を示す図である。
【図2】 第2の発明の実施の形態としてのオイルミス
トトラップの断面を示す図である。
【図3】 第3の発明の実施の形態としてのオイルミス
トトラップの断面を示す図である。
【図4】 第4の発明の実施の形態としてのオイルミス
トトラップの断面を示す図である。
【図5】 従来のオイルミストトラップの断面を示す図
である。
【符号の説明】
1 ケース、2 流入口フランジ、3 排気フランジ、
4、41、42 バッフル、4A 切欠き部、4B 透
孔、5 オートドレン、6 ドレン抜き口

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 オイルミストを含む被処理ガスの流入口
    及び流出口を有するケースと、該ケース内における前記
    被処理ガスの流入口と流出口の間に配設されたバッフル
    とを備えたオイルミストトラップ。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のオイルミストトラップお
    いて、複数のバッフルを備え、該複数のバッフルは切欠
    き部を有すると共に複数の透孔を有しており、ケース内
    における被処理ガスの流入口と流出口の間に間隔をお
    き、前記切欠き部を下方に、略同一方向に傾斜させて配
    設されていることを特徴とするオイルミストトラップ。
  3. 【請求項3】 請求項2記載のオイルミストトラップお
    いて、複数枚のバッフルは、被処理ガスの流入口側に配
    設されたバッフルから流出口側に配設されたバッフルへ
    向けてバッフルの切欠き部が小さくなっていることを特
    徴とするオイルミストトラップ。
  4. 【請求項4】 請求項1記載のオイルミストトラップお
    いて、複数枚のバッフルを備え、該複数のバッフルは切
    欠き部を有すると共に複数の透孔を有しており、ケース
    内における被処理ガスの流入口と流出口の間に、前記切
    欠き部を下方に、かつ、交互に傾斜方向を変えて配設さ
    れていることを特徴とするオイルミストトラップ。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載
    のオイルミストトラップおいて、ケースは少なくとも一
    部の面が透明であることを特徴とするオイルミストトラ
    ップ。
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