JPH1173229A

JPH1173229A - 楕円振動装置

Info

Publication number: JPH1173229A
Application number: JP24607397A
Authority: JP
Inventors: Kazumichi Kato; 一路加藤; Kyoji Murakishi; 恭次村岸; Yutaka Kurita; 裕栗田
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1997-08-27
Filing date: 1997-08-27
Publication date: 1999-03-16
Anticipated expiration: 2017-08-27
Also published as: JP3988060B2

Abstract

(57)【要約】【課題】固有周波数付近の周波数を有する外乱の影響
を抑え、所望の制御を確実に行える楕円振動装置を提供
すること。【解決手段】楕円振動装置２６の第１機械振動系３２
の変位Ｘを、第１コントローラ３９及び第２コントロー
ラ３４に供給する。第１コントローラ３９は指令信号ｒ
₁ を出力し、これを第１電力増幅器４０を介して第１振
動駆動源４１に伝達し、水平方向の加振力を発生させて
第１機械振動系３２を振動させる。第２コントローラ３
４は指令信号ｒ₂ を出力し、これを第２電力増幅器３５
を介して第２振動駆動源３６に伝達し、垂直方向の加振
力を発生させて、第２機械振動系３７を振動させる。更
に、この第２機械振動系３７の振動速度ｄＹ／ｄｔを検
出し、これにゲインＫ_C で増幅した値を第２コントロー
ラ３４の出力に負帰還し、第２機械振動系３７の疑似減
衰率を大きくして、第２機械振動系３７の固有周波数ｆ
₂ 付近での伝達率Ｙ／ｒ₂ を小さくする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば振動により
部品を供給する楕円振動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１２において、楕円振動装置である楕
円振動パーツフィーダは全体として１で示され、楕円振
動が行われるボウル２を備えている。ボウル２の内周面
にはスパイラル状のトラックが形成され、この下流側の
適所にワイパーが設けられている。このワイパーはすで
に周知であるので図を省略するが、平板を折り曲げて成
り、その下端とトラックの移送面との距離は整送すべき
部品ｍ（平板状とする）の厚さよりは大きいが、この倍
よりは小さい。トラックの排出端には姿勢保持手段が設
けられ、ここを通って所望の姿勢の部品（例えば長辺を
移送方向に向けた部品ｍ）が図示しない直線式振動フィ
ーダに供給される。

【０００３】ボウル２は図１３に明示される十字状の上
側可動フレーム７に固定されており、この上側可動フレ
ーム７に、図１４に明示されるやはり十字状の下側可動
フレーム８が直立した４組の重ね板ばね９により結合さ
れている。すなわち、上側可動フレーム７の４つの端部
７ａに重ね板ばね９の上端部がボルトにより固定され、
下側可動フレーム８の４つの端部８ａに重ね板ばね９の
下端がボルトにより固定されている。なお、端部７ａ、
８ａは上下方向に整列している。

【０００４】上側可動フレーム７の下面には水平駆動電
磁石１４ａ、１４ｂに対向して水平可動コア１６ａ、１
６ｂが固定されている。更に、上側可動フレーム７の下
面の中央部には、垂直可動コア１３が固定されており、
これに対向して固定フレーム１０の中央部には垂直駆動
電磁石１１が固定されている。なお、図において１２
は、垂直駆動電磁石１１に巻装されているコイルであ
る。また、固定フレーム１０の相対向する側壁部には垂
直駆動電磁石１１を挟んで対照的に一対の水平駆動電磁
石１４ａ、１４ｂが固定され、これら電磁石１４ａ、１
４ｂにはそれぞれコイル１５ａ、１５ｂが巻装されてい
る。

【０００５】固定フレーム１０にはこれと一体的に４個
の脚部１７が形成され、これら脚部１７が防振ゴム１８
を介して基台上に支持されている。脚部１７には横方向
に延在するばね取付部１７ａが一体的に形成され、これ
らばね取付部１７ａに図１４に示されるように垂直駆動
用の重ね板ばね１９が両端部で４組、ボルトにより固定
されている。重ね板ばね１９は図に示されるようにスペ
ーサ２０を介して重ねられ、これらの中央部分が下側可
動フレーム８にボルトにより固定されている。

【０００６】以上の構成において、水平駆動電磁石１４
ａ、１４ｂは、水平方向の加振力を発生させる第１振動
駆動源であり、これによって駆動される第１の振動系は
ボウル２、重ね板ばね９、水平可動コア１６ａ、１６ｂ
などから成る。すなわち、電流が供給されると水平駆動
電磁石１４ａ、１４ｂが、磁気吸引力を発生し、これに
より水平可動コア１６ａ、１６ｂが吸引されること、及
びこのとき引っ張られる重ね板ばね９の復元力により、
上側可動フレーム７は、水平方向に振動する。また、垂
直駆動電磁石１１は、垂直方向の加振力を発生させる第
２振動駆動源であり、これによって駆動される第２の振
動系はボウル２、重ね板ばね１９、垂直可動コア１３な
どから成る。すなわち、垂直駆動電磁石１１が、供給さ
れる電流によって、磁気吸引力を発生し、上側可動フレ
ーム７の垂直可動コア１３が吸引され、及びこのとき重
ね板ばね１９の下側可動フレーム８（これは上側可動フ
レーム７と重ね板ばね９を介して取り付けられている）
に接続されている部分が下方に引っ張られるので、この
重ね板ばね１９の復元力により上側可動フレーム７は、
垂直方向に振動する。すなわち、水平方向と垂直方向と
を独立に振動させ、その振動の間に位相差を持たせるこ
とにより、上側可動フレーム７及びこれに一体的に形成
されたボウル２は、楕円振動を行わせている。

【０００７】なお、この楕円振動において、重ね板ばね
１９の結合による水平方向の剛性が強いために下側可動
フレーム８は、水平方向にほとんど動かないが、固定さ
れてはいないので、例えば、上側可動フレーム７が水平
方向の振動を受けると、下側可動フレーム８は、その反
力を受ける。そのため、例えば、水平方向に振動を発生
しようとすると、その重ね板ばね９や下側可動フレーム
８によって、その反力が垂直方向に作用し、垂直方向の
振動をも発生する。

【０００８】特に、楕円振動機械では、効率を向上させ
るという面から、一般に、水平方向の固有振動数と垂直
方向の固有振動数とを近接するように（例えば、水平方
向の固有振動数より垂直方向の固有振動数より数パーセ
ント高くなるように）設定し、また垂直方向よりも振幅
を大きくしている水平方向の固有周波数に駆動周波数を
一致させている。そのため、水平方向を振動したことに
より、上述のように垂直方向の振動がわずかでも発生す
ると、この振動は、増幅されて大きな加振力となり、垂
直方向を振動させてしまう。すなわち、水平方向の振動
が垂直方向の振動に対して大きな外乱として作用するの
で、垂直方向の振幅制御や位相差制御（通常、水平方向
と垂直方向との位相差は６０度で最適条件、すなわちボ
ウル２内のトラック上の部品を最大の搬送速度で搬送で
きることが判明している。）に悪影響が生じ、所望の制
御ができなくなるという問題があった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の問題に
鑑みてなされ、例えば、水平方向の振動系（第１振動
系）又は垂直方向の振動系（第２振動系）を加振してい
る加振力が、他方の振動系に作用する場合など、振動系
の固有周波数付近の周波数を有する外乱が作用する場合
の楕円振動装置における外乱の影響を少なくし、楕円振
動装置の制御を従来よりも確実に行え得る楕円振動装置
を提供することを課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】以上の課題は、少なくと
も、水平方向に加振する第１加振力によって前記水平方
向に振動し、かつ垂直方向に加振する第２加振力によ
り、前記水平方向の振動と所定の位相差を有して、前記
垂直方向に振動することにより楕円振動を行う可動部を
有する楕円振動機（例えば、実施例の２６、３１、６
１；以下、同様）と、少なくとも増幅部（４３）を有す
る第１コントローラ（３９、６３）と、該第１コントロ
ーラ（３９、６３）の出力を電力増幅する第１電力増幅
器（４０、６４）と、該第１電力増幅器（４０、６４）
の出力を受け前記第１加振力を発生させる第１振動駆動
源（４１、６５）と、該第１振動駆動源（４１、６５）
の前記第１加振力を受けて前記水平方向に振動する前記
楕円振動機（２６、３１、６１）の第１振動系（３２、
６６）と、少なくとも増幅部（４６）を有する第２コン
トローラ（３４、６８）と、該第２コントローラ（３
４、６８）の出力を電力増幅する第２電力増幅器（３
５、６９）と、該第２電力増幅器（３５、６９）の出力
を受け前記第２加振力を発生させる第２振動駆動源（３
６、７０）と、該第２振動駆動源（３６、７０）の前記
第２加振力を受けて前記垂直方向に振動する前記楕円振
動機（２６、３１、６１）の第２振動系（３７、７１）
とを有した楕円振動装置において、前記可動部の前記水
平方向の振動速度を検出する第１振動速度検出手段を設
け、該第１振動速度検出手段によって検出された前記水
平方向の振動速度を、第１の所定ゲインで増幅し、これ
を前記第１コントローラと前記第１振動駆動源との間に
負帰還させて、第１の閉ループを形成し、前記第１振動
系に、該第１振動系の固有周波数付近の周波数を有する
外乱が作用するときには、前記第１振動系の疑似減衰率
を大きくして、前記第１振動系の伝達率を小さくする及
び／又は前記可動部の前記垂直方向の振動速度（ｄＹ／
ｄｔ）を検出する第２振動速度検出手段（２８、３８、
７２）を設け、該第２振動速度検出手段（２８、３８、
７２）によって検出された前記垂直方向の振動速度（ｄ
Ｙ／ｄｔ）を、第２の所定ゲイン（Ｋ_C ）で増幅し、こ
れを前記第２コントローラ（３４、６８）と前記第２振
動駆動源（３６、７０）との間に負帰還させて、第２の
閉ループを形成し、前記第２振動系（３７、７１）に、
該第２振動系（３７、７１）の固有周波数付近の周波数
を有する外乱（Ｄ₁ ）が作用するときには、前記第２振
動系（３７、７１）の疑似減衰率を大きくして、前記第
２振動系の伝達率（Ｙ／ｒ₂ ）を小さくすることを特徴
とする楕円振動装置、によって解決される。

【００１１】このような構成によって、第１振動系及び
第２振動系のうちどちらか一方の振動系又は両方の振動
系に、その固有周波数付近での周波数を有する外乱が大
きく生じた場合には、その外乱が生じた振動系の振動速
度を検出し、この振動速度に基づいた大きさで、これ
を、コントローラからの指令信号が振動駆動源に伝達さ
れる間に負帰還し、その外乱が生じた振動系の疑似減衰
率（これは、振動系を制御する制御系を含めた振動系全
体の減衰率であり、振動系が有する固有の減衰率と区別
するためこのような用語を用いている）を大きくする。
この疑似減衰率を大きくしたので、第１振動系及び／又
は第２振動系の固有周波数での共振倍率（すなわち伝達
率（指令信号に対する出力変位の比）の最大値）が小さ
くなる。そのため、振動系のばね定数や質量が大きく変
わらなければ、第１振動系の固有周波数付近及び／又は
第２振動系の固有周波数付近の周波数を有する外乱の伝
達率は小さくなるので、外乱の影響を小さくすることが
でき、所望の制御を確実に行うことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につき
図面を参照して説明する。

【００１３】本発明の楕円振動装置は、少なくとも、水
平方向に加振する第１加振力によって水平方向に振動
し、かつ垂直方向に加振する第２加振力により、水平方
向の振動と所定の位相差を有して、垂直方向に振動する
ことにより楕円振動を行う可動部を有する楕円振動機
と、少なくとも増幅部を有する第１コントローラと、こ
の第１コントローラの出力を電力増幅する第１電力増幅
器と、この第１電力増幅器の出力を受け第１加振力を発
生させる第１振動駆動源と、この第１振動駆動源の第１
加振力を受けて水平方向に振動する楕円振動機の第１振
動系と、少なくとも増幅部を有する第２コントローラ
と、該第２コントローラの出力を電力増幅する第２電力
増幅器と、この第２電力増幅器の出力を受け第２加振力
を発生させる第２振動駆動源と、この第２振動駆動源の
第２加振力を受けて垂直方向に振動する楕円振動機の第
２振動系とを有した楕円振動装置において、可動部の前
記水平方向の振動速度を検出する第１振動速度検出手段
を設け、この第１振動速度検出手段によって検出された
水平方向の振動速度を、第１の所定ゲインで増幅し、こ
れを前記第１コントローラと第１振動駆動源との間に負
帰還させて、第１の閉ループを形成し、第１振動系に、
この第１振動系の固有周波数付近の周波数を有する外乱
が作用するときには、第１振動系の疑似減衰率を大きく
して、第１振動系の伝達率を小さくする及び／又は可動
部の垂直方向の振動速度を検出する第２振動速度検出手
段を設け、この第２振動速度検出手段によって検出され
た垂直方向の振動速度を、第２の所定ゲインで増幅し、
これを第２コントローラと第２振動駆動源との間に負帰
還させて、第２の閉ループを形成し、第２振動系に、こ
の第２振動系の固有周波数付近の周波数を有する外乱が
作用するときには、第２振動系の疑似減衰率を大きくし
て、前記第２振動系の伝達率を小さくすることを特徴と
する楕円振動装置とする。

【００１４】すなわち、第１振動系及び／又は第２振動
系に、それぞれの固有周波数付近の周波数を有する外乱
が作用するときには、図７に示すように、その外乱Ｄが
作用する機械振動系２１の振動速度ｄＡ／ｄｔを振動速
度検出手段２２で検出し、それに基づく大きさのフィー
ドバック（このときのフィードバックゲインは図におい
てｃ_f として示している）を、コントローラからの指令
信号ｒが振動駆動源２３に伝達されるまでの間に、Ｒで
示すように負帰還させて、閉ループを形成し、その機械
振動系２１の疑似減衰率を大きくして、共振倍率を低下
させ、外乱の伝達率を小さくする。すなわち、第１の所
定ゲイン及び／又は第２の所定ゲインは、外乱となる振
動系の固有周波数付近の周波数での伝達率を小さくし、
その外乱が充分に抑制できるような値に設定する。なお
また、このとき、外乱が有する固有周波数での伝達率が
小さくなるのであれば、機械振動系２１のばね定数、質
量や振動駆動源２３のゲインを同時に変えてもよい。

【００１５】すなわち、図８は、図７の詳細なブロック
図を示しているが、機械振動系２１の速度ｄＡ／ｄｔを
負帰還しない場合には、その機械振動系２１の疑似減衰
率（すなわち制御系を含めて、１つの機械振動系を表し
たときの減衰率である）は、その機械振動系２１の固有
の減衰率ｃであり、このときの伝達率（すなわち指令信
号ｒに対する出力変位Ａの比）は、図９（縦軸に伝達
率、横軸に周波数をとっており、この系の固有周波数の
ｆ_n において、伝達率は最大値（すなわち共振倍率）と
なっている）に、実線で示されるような形状となる特性
を有する。なお、このときの伝達率Ａ／ｒは、公知のよ
うに次の式（１）で表せる。

【００１６】

【数１】

【００１７】しかしながら、本発明のように、機械振動
系２１の振動速度ｄＡ／ｄｔを上述のようにフィードバ
ックゲインｃ_f で、負帰還させて閉ループを形成する
と、この閉ループは、図８に点線で示されているよう
に、機械振動系２１にゲインｃ”を付加したのと同じ効
果となる。ただし、このゲインｃ”は、閉ループのフィ
ードバックゲインｃ_f を、駆動振動源２３が有するゲイ
ンＩで割った値、すなわちｃ”＝ｃ_f ／Ｉである。すな
わち、このときの振動系２１の全体の減衰率（すなわち
疑似減衰率）は、固有の減衰率ｃと、閉ループを形成し
たために付加された減衰率ｃ”との和と大きくなる。な
お、このときの伝達率Ａ／ｒは次の式（２）で表せる。

【００１８】

【数２】

【００１９】そのため、機械振動系２１の伝達率は、例
えば図９に一点鎖線で示すように、共振倍率が小さくな
った形状となる。勿論、公知のように、付加される減衰
率ｃ”の大きさが変われば、その共振倍率の大きさ及び
その特性曲線は異なるが、減衰率を大きくすれば、その
共振倍率は低下する。例えば、ｋ＝１、ｍ＝１で、（ｃ
＋ｃ”）がｃの値の４倍となるときには、その最大値は
１／２程度に減少される。従って、固有周波数ｆ_n 付近
の周波数を有する外乱が生じた場合であっても、その外
乱が大きく増幅されて、その振動系に大きな影響を及ぼ
すことはない。そのため、所望の制御を、従来よりも確
実に行うことができる。

【００２０】また、振動駆動源が電磁石である場合な
ど、振動駆動源が遅れ要素を含む場合には、図１０に示
すように、外乱が生じた振動系に形成される閉ループの
途中に、振動駆動源の位相遅れを補償する位相調節器２
４を設けるようにする。これにより、負帰還する値に位
相遅れが生じることなく、伝達率を小さくすることがで
き、外乱の影響を小さくすることができる。従って、所
望の制御を確実に行うことができる。

【００２１】なお、振動速度を検出する振動速度検出手
段２２は、機械振動系２１の振動速度ｄＡ／ｄｔを検出
する振動速度検出器から構成されるようにしてもよい
し、その機械振動系２１の振動変位Ａを検出する振動変
位検出器と微分器又は疑似微分器とから構成されるよう
にしてもよい。なお、疑似微分器とは、図１１に示すよ
うに、機械振動系（第１振動系及び第２振動系）の固有
周波数より高く、高周波ノイズとなるような高周波の領
域では、微分器として動作しないものである。これに
は、例えば、図１１のＡに示すように、固有周波数ｆ_n
より高い周波数ｆ_mより高い周波数領域では、入力に対
する出力の比が一定となる特性を有するものや、更に、
図１１のＢに示すように、周波数ｆ_m より更に高い周波
数領域ｆ_h では、入力に対する出力の比が減少する特性
を有するものがある。このような微分器を設けることに
より、不必要な高周波ノイズを低減して、所望の制御を
より確実に行うことが可能である。なお、図１１のＡで
示されるような特性を確実に得るためには、微分器にロ
ーパスフィルタを設ければよいし、図１１のＢで示され
るような特性を有する微分器は、２つのローパスフィル
タ直列に有した微分器とすればよく、またこれは、それ
程、複雑な構造ではない。

【００２２】また、一般の楕円振動装置では、水平方向
の振幅が、垂直方向の振幅より大きくなるように加振し
ている。共振振動を用いれば、効率よく大きな振幅を得
ることができる。従って、水平方向の振動は共振振動に
よって得るとよい。更に、水平方向の振幅が垂直方向の
振幅より大きいため、水平方向を加振するための加振力
は垂直方向を加振するための加振力より大きく、そのた
め垂直方向に作用する外乱は、水平方向に作用する外乱
よりも大きい。そこで、垂直方向に振動される機械振動
系に閉ループを形成し、その疑似減衰率を低下させて、
固有周波数付近での外乱を小さくするようと、より効果
的に所望の制御を行い得る。

【００２３】また、第１振動系及び／又は第２振動系の
伝達率を小さくする場合であっても、その伝達率は、常
に１以上になるように、第１の所定ゲイン及び／又は第
２の所定ゲインを定めれば、すなわち指令信号よりも出
力変位の大きさが常に大きくなるようにすれば、指令信
号を与えても、その信号が小さ過ぎて振動しないという
現象が起こることはない。なお、楕円振動機の可動部を
楕円振動させるために、水平方向の振動変位と垂直方向
の振動変位との位相差が約６０度となるようにするのが
よい。この位相差にすると、可動部のトラック上の部品
を最大の搬送速度で搬送できる。

【００２４】

【実施例】以下、本発明の各実施例について、図面を参
照して説明する。

【００２５】図１は、本発明の第１実施例による楕円振
動装置（例えばこれは、従来例で示した楕円振動パーツ
フィーダである）のブロック図を示すが、全体として、
２６で示されている。水平方向の振動系、すなわち第１
機械振動系３２の変位Ｘが振動変位検出器３３で検出さ
れている。この振動変位検出器３３の出力は、水平方向
の振動を制御する第１コントローラ３９及び垂直方向の
振動を制御する第２コントローラ３４に供給されてい
る。第１コントローラ３９の出力は、第１電力増幅器４
０を介して第１振動駆動源４１に供給され、ここで水平
方向に加振力が発生して、楕円振動装置２６の水平方向
の振動系、すなわち第１機械振動系３２に供給される。
すなわち、水平方向の制御系は、全体として閉ループを
形成している。他方、第２コントローラ３４の出力は、
第２電力増幅器３５を介して、第２振動駆動源３６に供
給され、ここで垂直方向に加振力が発生して、楕円振動
装置２６の垂直方向の振動系、すなわち第２機械振動系
３７に供給される。更に、この第２機械振動系３７の垂
直方向の振動速度が、振動速度検出器２８で検出され、
これが第２コントローラ３４の出力にフィードバックさ
れている。

【００２６】図２は、本実施例の図１を更に詳細に示す
ブロック図である。すなわち、本実施例における第１コ
ントローラ３９は、例えば位相器４２、ハイゲインアン
プ４３及び振幅調整リミッタ（飽和要素）４４からなっ
ている。そして、この第１コントローラ３９の出力が、
ゲインＫ_a1を有する第１電力増幅器４０に供給され、こ
の出力は第１振動駆動源４１である電磁石に供給され
る。電磁石は電圧と力に位相差があり、１／（ｓ＋ａ
₁ ）（ｓはラプラス変換子（以下同様）であり、ａ₁ は
定数である）なる遅れ要素を有している。これにより水
平方向の第１機械振動系３２が加振される。第１機械振
動系３２では、その質量ｍ’、すなわち可動部の質量
ｍ’が加速度ｄ² Ｘ／ｄｔ² で振動しているとき、１／
ｓの積分要素を介すると、速度ｄＸ／ｄｔとなり、これ
に第１機械振動系３２の減衰率ｃ₁ をかけたものが減衰
率として質量ｍ’に作用する。また、速度ｄＸ／ｄｔが
積分要素を介すると変位Ｘとなり、これに第１機械振動
系３２のばね定数ｋ₁ をかけたものが復元力として作用
する。この水平方向の振動変位は振動変位検出器３３で
検出され、これが第１コントローラ３９及び第２コント
ローラ３４に供給される。すなわち、第１機械振動系３
２は共振振動が行われているので、共振点における力と
変位の位相差は９０度であり、水平方向の電磁石４１の
位相遅れも９０度であるので、第１コントローラ３４の
入力から第１機械振動系３２の変位Ｘとの位相差は、１
８０度であり、この水平方向の制御系は、自励振動を行
わせているので、第１コントローラ３９の位相調節器４
２の設定位相差αは零である。

【００２７】他方、第１機械振動系３２の変位Ｘが供給
された第２コントローラ３４は、第１コントローラ３９
と同様に、位相器４５、ハイゲインアンプ４６及び振幅
調整リミッタ（飽和要素）４７からなっており、この出
力は、ゲインＫ_a2を有する第２電力増幅器３５に供給さ
れ、この第２電力増幅器３５の出力が第２振動駆動源３
６である電磁石に供給される。この第２振動駆動源３６
も、１／（ｓ＋ａ₂ ）なる遅れ要素を有し、第１振動駆
動源４１と同様に、９０度の位相遅れを生じる。これに
より楕円振動機械２６の垂直方向の第２機械振動系３７
が加振される。この第２機械振動系３７も、第１機械振
動系３２と同様に、その質量ｍ’が加速度ｄ² Ｙ／ｄｔ
² で振動しているとき、１／ｓの積分要素を介すると、
速度ｄＹ／ｄｔとなり、これに第２機械振動系３７の減
衰率ｃ₂ をかけたものが振動減衰率として質量ｍ’に作
用し、また、速度ｄＹ／ｄｔが積分要素を介すると変位
Ｙとなり、これに第２機械振動系３７のばね定数ｋ₂ を
かけたものが復元力として作用する。なお、このときの
第２機械振動系３７は、その固有周波数よりも数パーセ
ント低い周波数で強制振動されるので、力と変位の位相
差は、０度であり、第２コントローラ３４の位相器４５
の設定位相差は、３０度に設定されている。

【００２８】更に、本実施例では、第２機械振動系３７
の振動速度は、第２振動駆動源３６の位相遅れを補償し
ており、すなわち位相調節器２７は、γ＝９０度の進み
要素を有している位相調節器２７（なお、これは微分器
であってもよい）及びゲインＫ_C を介して、第２コント
ローラ３４の出力に供給されている。

【００２９】なお、振幅調節リミッタ４４には、図示せ
ずとも水平方向の振動変位検出器３３の出力を受ける振
幅コントローラが、振幅調節リミッタ４７には、図示せ
ずとも垂直方向の振動変位の出力を受ける振幅コントロ
ーラがそれぞれ接続されている。これらの振幅コントロ
ーラは同じ構造をしており、これは比較器を有している
が、この一方の入力端子には所望の振幅が設定されてお
り、他方の入力には振動変位検出器３３の出力又は図示
しない垂直振動変位検出器の出力が供給されて、その偏
差に応じて振幅調節リミッタ４４、４７を自動的に調節
して、一定の長軸、短軸を持った一定方向の楕円振動を
ボウルに行なわせるようにしている。

【００３０】本実施例の楕円振動装置２６は以上のよう
に構成されるが、次に、この作用について説明する。

【００３１】すなわち、第１電力増幅器４０及び第２電
力増幅器３５は図示せずともスイッチを介して直流電源
が接続されており、このスイッチを閉じることにより作
動状態となる。水平方向の第１機械振動系３２は、共振
周波数で振動を行うので、第１コントローラ３９の入力
と、第１機械振動系３２の出力とは、１８０度の位相差
を有して自励振動を行う。この第１機械振動系３２の変
位Ｘ、すなわち振動変位検出器３３の出力は、第１コン
トローラ３９に供給されるだけでなく、第２コントロー
ラ３４にも供給され、第２電力増幅器３５を介して、第
２振動駆動源３６の電磁石が励磁されて、その共振周波
数から数パーセント低い周波数で強制振動が行われる。
そして、共振振動状態にある水平方向の振動系の力と変
位との位相差は９０度に安定に保持され、またこれから
強制振動においては共振周波数が若干変化しても、その
位相差がほとんど変化しないことにより、水平方向の変
位と垂直方向の変位は６０度に保たれ、最適な楕円振動
条件を得ている。

【００３２】このように第１機械振動系３２及び第２機
械振動系３７を駆動すると、第１振動駆動源４１の加振
力の反力が、図２の一点鎖線で示すように、第２機械振
動系３７を加振し、第２振動駆動源３６の加振力の反力
も、図の二点鎖線で示すように、第１機械振動系３２を
加振する。すなわち、第１振動駆動源４１の加振力が第
２機械振動系３７に外乱Ｄ₁ として作用し、第２振動駆
動源３６の加振力が第１機械振動系３２に外乱Ｄ₂ とし
て作用する。ただし、本実施例では、上述したように水
平方向に大きな加振力を与えているので、その反対側、
すなわち楕円振動装置２６の垂直方向を振動している第
２機械振動系３７に作用する外乱Ｄ₁ のほうが、第１機
械振動系３２に作用する外乱Ｄ₂ よりも大きくなってい
る。そこで、本実施例では、この第２機械振動系３７の
振動速度を検出し、第２コントローラ３４の出力ｒ₂ に
負帰還した閉ループを構成する。

【００３３】そのため、垂直方向の伝達率、すなわち第
２コントローラからの出力ｒ₂ に対する第２機械振動系
３７の出力変位Ｙ（ここでは、伝達率＝Ｙ／ｒ₂ であ
る）の特性曲線は、図３の実線Ｌ₂ ’で示されるような
形状となる。なお、図３において、ｆ₁ は水平方向の振
動系、すなわち第１機械振動系３２の固有周波数、ｆ₂
は垂直方向の振動系、すなわち第２機械振動系３７の固
有周波数であり、図において点線で示されているＬ₁ は
水平方向の伝達率、すなわち第１コントローラからの出
力ｒ₁ に対する第１機械振動系３７の出力変位Ｘ（ここ
では、伝達率＝Ｘ／ｒ₁ である）の特性曲線である。ま
た、図において一点鎖線Ｌ₂ は、振動速度検出器２８か
らの出力を第２コントローラ３４に負帰還させなかった
とき、すなわち、閉ループを構成しなかったときの垂直
方向の伝達率の特性曲線である。すなわち、楕円振動装
置２６の駆動周波数における水平方向の伝達率は、閉ル
ープを設けたことにより、ｔ₂ からｔ₁ へと低下する。
従って、第２機械振動系３７に作用した、第２機械振動
系３７の固有周波数付近の外乱Ｄ₁ の増幅率（伝達率）
は、従来よりも小さくなり、その外乱Ｄ₁ を抑えること
ができる。なお、このとき、伝達率を低下させること
で、第２コントローラ３４からの指令信号の伝達率も小
さくなるため、閉ループのフィードバックゲインＫ_C
は、指令信号ｒ₂ により所望の振動が生じないというこ
とがなく、かつ充分に外乱が抑制できるような伝達率と
なるように、定めている。

【００３４】本実施例では、このように大きな外乱Ｄ₁
が発生する第２機械振動系３７に、この第２機械振動系
３７の速度を検出し、この検出された値をゲインＫ_C で
増幅し、これを、第２コントローラ３４から第２振動駆
動源３６までの間に負帰還させて、閉ループを形成し、
第２機械振動系３７の疑似減衰率を大きくして、垂直方
向の伝達率（指令信号ｒ₂ に対する第２機械振動系３７
の出力変位Ｙ）を小さくしているので、第１機械振動系
３２を加振する第１振動駆動源４１による外乱Ｄ₁ の影
響を低く抑えることができ、所望の制御を、従来よりも
確実に行うことができる。

【００３５】次に、図４及び図５を参照して、本発明の
第２実施例による楕円振動装置を示すが、上記実施例と
同様な部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省
略する。

【００３６】図４は、本発明の第２実施例による楕円振
動装置のブロック図を示すが、全体として、３１で示さ
れている。本実施例では、楕円振動装置３１の水平方向
の振動系、すなわち第１機械振動系３２の出力変位Ｘを
検出している水平振動変位検出器３３’の出力は、垂直
方向の振動を制御する第２コントローラ３４にのみ供給
され、第２電力増幅器３５、第２振動駆動源３６を介し
て、楕円振動装置３１の垂直方向の振動系、すなわち第
２機械振動系３７に供給されている。そして、第２機械
振動系３７の垂直方向の振動変位Ｙが、垂直振動変位検
出器３８’で検出され、水平方向用の第１コントローラ
３９に供給され、第１電力増幅器４０、第１振動駆動源
４１を介して水平方向の第１機械振動系３２に供給され
ている。なお、水平振動変位検出器３３’の出力はその
まま第２コントローラ３４に供給されるが、垂直振動変
位検出器３８’の出力は第１コントローラ３９に負帰還
信号として供給される。

【００３７】なおまた、垂直振動変位検出器３８’の信
号は、疑似微分器２９を介し、更にゲインＫ_C で増幅さ
れて、第２コントローラ３４の出力にフィードバックさ
れる。すなわち、本実施例では、垂直振動変位検出器３
８’は、第１コントローラ３９に供給し第１機械振動系
の指令信号を生成するだけではなく、疑似微分器２９と
一体となって、垂直振動速度ｄＹ／ｄｔを求める振動速
度手段３８を構成している。なお、この疑似微分器２９
は、図５（これは本実施例を更に詳細に示すブロック図
である）で示すように、例えば２つのローパスフィルタ
２９ａ、２９ｂから構成されており、図１１のＢで示す
ような出力特性を有している。すなわち、第２機械振動
系３７の固有周波数ｆ₁ （これは第１機械振動系３２の
固有周波数ｆ₂ より大きい）より、ある程度高い周波数
ｆ_m （例えば、その固有周波数の２倍の周波数など）ま
では、微分器として作用するが、この周波数ｆ_m から更
に高い周波数ｆ_h （例えば、その固有周波数の２．５倍
の周波数など）までの周波数領域では、入力に対する出
力の比は一定となり、その周波数ｆ_h より高い周波数領
域では、入力に対する出力の比が減少するような特性を
有している。

【００３８】なお、本実施例の第１機械振動系３７は、
共振振動をしており、そのため力と変位との位相差は９
０度であるが、第２機械振動系３７は、固有周波数より
数パーセント低い周波数で駆動されているので、力と変
位との位相差は零である。また、上述したように第１振
動駆動源４１及び第２振動駆動源３６は電磁石であるの
で、その位相遅れは９０度であり、従って、本実施例で
は第１コントローラ３９の位相器４２により位相αは６
０度進められ、また第２コントローラ３４の位相器４５
により位相差βは３０度位相が進められる。そのため、
水平方向を制御する第１コントローラ３９の位相器４２
の入力と、水平方向の振動系である第１機械振動系３２
の出力との間には、合計で１２０度の位相差があり、ま
た水平振動変位検出器３３の出力、すなわち垂直方向を
制御する第２コントローラの位相器４５の入力と、垂直
方向の振動系である第２機械振動系３７の出力との間に
は、合計で６０度の位相差がある。従って、第１コント
ローラ３９の入力側と、垂直振動変位検出器３８’の出
力側とを遮断した場合及びは第２コントローラ３４の入
力側と水平振動変位検出器３３’の出力側とを遮断した
場合には、いずれの場合にも、この間に１８０度の位相
差があり、第１振動系及び第２振動系は自励振動を行
う。

【００３９】本発明の第２実施例の楕円振動装置３１は
以上のように構成されるが、次にこの作用について説明
する。

【００４０】やはり図示しないスイッチを介して、直流
電源を第１電力増幅器４０及び第２電力増幅器３５に接
続すると、水平方向の振動系は自励振動で共振振動を行
ない、垂直方向の振動系は自励振動で強制振動を行う。
なお、水平方向の第１機械振動系３２は共振振動である
ので、常に力と変位との位相差が９０度に維持され、ま
た、電磁石４１の位相遅れは９０度で一定であるので、
水平方向の振動と垂直方向の振動との位相差は、６０度
に安定に保持される。従って最適条件で可動部は楕円振
動を行ない、部品はその内部に形成されたトラック上を
最大の搬送速度で搬送される。また、電源の変動やボウ
ル内の部品の負荷の変動が生じても、自励振動により常
に水平方向の振動系は共振振動を行って、力と変位との
位相差を９０度に維持し、上記の最適条件を安定に続行
する。

【００４１】本実施例でも、楕円振動を行うと、上記実
施例と同様に、第１振動駆動源４１の加振力が第２機械
振動系３７に外乱Ｄ₁ として作用し、第２振動駆動源３
６の加振力が第１機械振動系３２に外乱Ｄ₂ として作用
するが、本実施例でも、水平方向に大きな加振力を与え
ているので、その反対側、すなわち楕円振動装置２６の
垂直方向を振動している第２機械振動系３７の外乱Ｄ₁
のほうが、第１機械振動系３２に加わる外乱Ｄ₂ よりも
大きくなっている。しかしながら、本実施例では、この
第２機械振動系３７の振動変位Ｙを検出し、これを疑似
微分器２９を介して、第２コントローラ３４からの出力
（すなわち指令信号）に負帰還している。そのため、そ
の第２機械振動系３７の共振倍率を低下させている。本
実施例では、第２電力増幅器３５のゲインＫ_a1、第２振
動駆動源３６のゲイン、第２機械振動系３７のばね定数
ｋ₁ 及び質量ｍ’は、一定（正確には第２機械振動系３
７の質量ｍ’は少し変動する）であるので、第２コント
ローラ３４からの出力ｒ₂に対する第２機械振動系３７
の出力変位Ｙ、すなわち固有振動数付近での伝達率が低
下する。すなわち、垂直方向の振動系に外乱Ｄ₂ として
作用する水平方向の加振力の周波数（これは第２機械振
動系３７の固有周波数の近傍の周波数である）における
第２機械振動系３７の伝達率は、従来よりもはるかに低
下する。従って、第２機械振動系３７の固有周波数の近
傍の周波数を有する外乱Ｄ₁ の、第２機械振動系３７へ
の影響を抑えることができる。

【００４２】本実施例でも、上記実施例と同様に、第１
機械振動系３２を加振する第１振動駆動源４１による外
乱の影響が抑えられるので、所望の制御を、従来より確
実に行うことができる。更に、本実施例では、第２機械
振動系３２の速度を直接、検出しているのではなくて、
第２機械振動系３７の出力変位Ｙを微分して得た。すな
わち、第１機械振動系３２に指令を与えるために検出さ
れる第２機械振動系３７の振動速度ｄＹ／ｄｔを検出す
る検出器を設けずとも、外乱Ｄ₁ を確実に低下すること
ができる。なお、このとき、第２機械振動３７の出力変
位Ｙを微分する微分器は、周波数ｆ_m より高い高周波領
域では微分器として作用せず、上述したような出力特性
を有する疑似微分器２９を用いたので、高周波ノイズを
低減することができ、安定した制御を行うことができ
る。

【００４３】図６は、本発明の第３実施例による楕円振
動装置のブロック図を示すが、全体として６１で示され
ている。可変周波数電源６２の出力は第１コントローラ
６３に供給され、この出力は第１電力増幅器６４で増幅
されて、第１振動駆動源６５である圧電型のアクチュエ
ータに供給される。これにより上記実施例と同様に水平
方向の第１機械振動系６６が加振され、この水平方向の
振動変位Ｘが振動変位検出器６７で検出されて、これが
垂直方向の加振力を発生するための指令を出力する第２
コントローラ６８に供給される。この第２コントローラ
６８の制御出力が第２電力増幅器６９を介して垂直方向
の第２振動駆動源７０である圧電型のアクチュエータに
供給され、第２機械振動系７１を加振する。なお、第２
コントローラ６８の設定位相差は６０度とされている。
ここにおいて、第１機械振動系６６は可変周波数電源６
２の調節により、共振振動が行なわれるが、この振動に
対して正確に６０度の位相差を持って、第２機械振動系
７１は垂直方向に加振される。更に、第２機械振動系の
振動速度ｄＹ／ｄｔは、振動速度検出器７２によって検
出され、この検出された出力が、上記第１実施例と同様
に、ゲインＫ_C で増幅された後、第２コントローラの出
力へと負帰還されている。

【００４４】なお、本実施例の第１コントローラ６３
は、上記第１実施例及び第２実施例とは異なり飽和要素
を有しないが、振動変位検出器６７からの出力を図示し
ない振幅コントローラに供給し、この内部で所定の振幅
と比較してその偏差を第１コントローラ６３に供給する
ことにより、定振幅の閉ループを形成して、水平方向の
振動を常に一定としてもよい。また、第２コントローラ
６８の構成もこの第１コントローラ６３と同様にしても
よい。

【００４５】本実施例は、このような制御系を有する楕
円振動装置６１であるが、本実施例でも、上記第１実施
例と同様な効果を奏することができる。すなわち、第２
機械振動系７１の疑似減衰率が大きくなり、共振倍率が
小さくなるため、第２機械振動系７１の固有周波数付近
での伝達率が小さくなるので、第２機械振動系７１の固
有周波数付近での外乱、例えば第１振動駆動源による水
平方向を加振力のよる反力などの外乱の影響を従来より
も少なくすることができる。従って、所望の制御を、従
来よりも確実に行うことができる。

【００４６】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。

【００４７】例えば、以上の実施例では第１振動駆動源
４１及び第２振動駆動源３６は、９０度の位相遅れを有
する電磁石を用いたが、上記第３実施例で示したような
圧電型や動電型のように、位相遅れのないものを用いて
もよい。この場合には、当然、閉ループ中に位相遅れを
補償する位相調節器は不要である。また、楕円振動を行
う楕円振動機の水平方向の出力変位Ｘ及び垂直方向の出
力変位Ｙを制御する方法としては、他の構造でもよく、
例えば、水平方向の出力変位Ｘを水平方向を制御する第
１コントローラや垂直方向を制御する第２コントローラ
に供給せずに、各振幅を制御するような、すなわち水平
方向及び垂直方向とも開ループで制御されるような楕円
振動装置でも、本発明は、適用可能である。

【００４８】更に、上記実施例では、垂直方向の第２機
械振動系３７、７１の速度ｄＹ／ｄｔ（上記第２実施例
では、第２機械振動系３７の出力変位Ｙを微分すること
により第２機械振動系３７の速度ｄＹ／ｄｔを得てい
る）は、第２コントローラ３４、６８の出力に負帰還さ
せるようにしたが、第２機械振動系３７、７１に与える
指令信号の大きさが決まった後で、第２機械振動系３
７、７１に加振力を与える第２振動駆動源７０の直前で
あれば、すなわち、第２コントローラ３４、６８と第２
機械振動系３７、７１の間に負帰還させるようにすれば
よい。従って、例えば、第２コントローラ３４、６８の
出力に負帰還させるのではなく、第２電力増幅器３５、
６９の出力に負帰還させてもよい。

【００４９】また、上記実施例では、垂直方向の第２機
械振動系３７、７１の振動速度ｄＹ／ｄｔを、垂直方向
を制御する第２コントローラ３４、６８の出力に負帰還
させて、閉ループを形成し、第２機械振動系３７の疑似
減衰率を大きくし、垂直方向の伝達率を小さくした。し
かしながら、第１機械振動系３２、６６の固有周波数付
近の周波数を有する外乱が第１機械振動系３２、６６に
大きく作用する場合には、水平方向の第１機械振動系３
２、６６の振動速度ｄＹ／ｄｔを、ゲインＫ_Cで増幅
し、これを水平方向を制御する第１コントローラ３９、
６３の出力に負帰還させて、閉ループを形成し、第１機
械振動系３７の疑似減衰率を大きくして、水平方向の伝
達率を小さくしてもよい。また、第１機械振動系３２、
６６の固有周波数付近の周波数を有する外乱が第１機械
振動系３２、６６に大きく作用し、かつ第２機械振動系
３７、７１の固有周波数付近の周波数を有する外乱が第
２機械振動系３７、７１に大きく作用する場合には、そ
れぞれの速度を所定のゲインでフィードバックして、水
平方向の伝達率及び垂直方向の伝達率を小さくして、両
方の振動系において、外乱の影響を抑えるようにしても
よい。

【００５０】なお、上記第２実施例では、第２機械振動
系３７の振動変位を検出し、これを疑似微分器２９によ
って、微分することにより振動速度を求めたが、振動変
位を検出し、これを通常の微分器（ただし、すべての周
波数領域で微分できる微分器は現実的に不可能であるの
で、高周波ノイズとなるような周波数の領域であっても
微分器として作用するという微分器を指す）により微分
して振動速度を求めるようにしてもよい。

【００５１】なお、以上の実施例では、水平方向と垂直
方向との位相差角度が６０度で最適としたが、楕円振動
の搬送理論によれば、長軸の振巾に応じて若干これが変
更されるので、６０度でなくともよく、例えば４５度乃
至７５度の範囲で可変とするように位相差α、βを変え
るようにしてもよい。

【００５２】また、上記第１実施例及び第２実施例にお
いては、第１コントローラ３９及び第２コントローラ３
４に、振幅調節リミッタ４４、４７を設け、これを自動
的に調節して、一定の長軸、短軸をもった一定方向の楕
円振動を行わせていたが、第３実施例のように、飽和要
素を有さずに、各振動系（第１機械振動系３２及び第２
機械振動系３７）の振動変位を検出し、これと予め設定
されている所望の振幅とを比較して、一定の長軸、短軸
をもった一定方向の楕円振動を行わせるようにしてもよ
い。

【００５３】

【発明の効果】以上、述べたように本発明の楕円振動装
置によれば、例えば、第１振動系を加振する際の第１振
動駆動源から第２振動系が受ける反力又は第２振動系を
加振する際の第２振動駆動源から第１振動系が受ける反
力など、第１振動系及び／又は第２振動系の固有周波数
付近の周波数を有する外乱が、第１振動系及び／又は第
２振動系に作用しても、その外乱の影響を抑えることが
できるので、所望の制御を、従来よりも確実に行うこと
が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による楕円振動装置のブロ
ック図である。

【図２】同装置の詳細を示すブロック図である。

【図３】本発明の第１実施例による駆動周波数と伝達率
との関係を示す図である。

【図４】本発明の第２実施例による楕円振動装置のブロ
ック図である。

【図５】同装置の詳細を示すブロック図である。

【図６】本発明の第３実施例による楕円振動装置のブロ
ック図である。

【図７】本発明の実施の形態における主要部の構成を示
す図である。

【図８】同装置の詳細を示すブロック図である。

【図９】本発明の実施の形態における主要の周波数と伝
達率との関係を示す図である。

【図１０】本発明の実施の形態における、振動駆動源が
位相遅れを有する主要部の構成を示す図である。

【図１１】本発明の実施の形態における疑似微分器の周
波数と出力ゲインとの関係を示す図であり、Ａは、周波
数ｆ_m 以上の周波数領域では、入力に対する出力が常に
一定である疑似微分器の特性を示し、Ｂは、周波数ｆ_m
から周波数ｆ_h までの周波数領域では、入力に対する出
力が一定であるが、周波数ｆ_h より高い周波数領域で
は、入力に対する出力が徐々に減少する疑似微分器の特
性を示している。

【図１２】本発明の従来例における楕円振動パーツフィ
ーダの部分断面図である。

【図１３】図１２における［１３］ー［１３］線方向の
平面図である。

【図１４】図１２の楕円振動パーツフィーダの底面図で
ある。

【符号の説明】

２１機械振動系２２振動速度検出手段２３振動駆動源２６楕円振動装置２７位相調節器２８振動速度検出器２９疑似微分器３１楕円振動装置３２第１機械振動系３３振動変位検出器３３’ 水平振動変位検出器３４第２コントローラ３５第２電力増幅器３６第２振動駆動源３７第２機械振動系３８’ 垂直振動変位検出器３９第１コントローラ４０第１電力増幅器４１第１振動駆動源６１楕円振動装置６３第１コントローラ６４第１電力増幅器６５第１振動駆動源６６第１機械振動系６７振動変位検出器６８第２コントローラ６９第２電力増幅器７０第２振動駆動源７１第２機械振動系７２振動速度検出器Ａ変位ｃ減衰率ｃ” 減衰率ｃ_f 減衰率Ｄ外乱Ｄ₁ 外乱Ｄ₂ 外乱ｆ₁ 第１機械振動系の固有周波数ｆ₂ 第２機械振動系の固有周波数ｆ_n 固有周波数ｆ_m 固有周波数よりも高い周波数ｆ_h 固有周波数よりも高い周波数Ｉ振動駆動源のゲインＫ_c フィードバックゲインｒ指令信号ｒ₁ 指令信号ｒ₂ 指令信号ｔ₁ 伝達率ｔ₂ 伝達率Ｘ（水平方向の）変位Ｙ（垂直方向の）変位

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも、水平方向に加振する第１加
振力によって前記水平方向に振動し、かつ垂直方向に加
振する第２加振力により、前記水平方向の振動と所定の
位相差を有して、前記垂直方向に振動することにより楕
円振動を行う可動部を有する楕円振動機と、少なくとも増幅部を有する第１コントローラと、該第１
コントローラの出力を電力増幅する第１電力増幅器と、
該第１電力増幅器の出力を受け前記第１加振力を発生さ
せる第１振動駆動源と、該第１振動駆動源の前記第１加
振力を受けて前記水平方向に振動する前記楕円振動機の
第１振動系と、少なくとも増幅部を有する第２コントローラと、該第２
コントローラの出力を電力増幅する第２電力増幅器と、
該第２電力増幅器の出力を受け前記第２加振力を発生さ
せる第２振動駆動源と、該第２振動駆動源の前記第２加
振力を受けて前記垂直方向に振動する前記楕円振動機の
第２振動系とを有した楕円振動装置において、前記可動部の前記水平方向の振動速度を検出する第１振
動速度検出手段を設け、該第１振動速度検出手段によっ
て検出された前記水平方向の振動速度を、第１の所定ゲ
インで増幅し、これを前記第１コントローラと前記第１
振動駆動源との間に負帰還させて、第１の閉ループを形
成し、前記第１振動系に、該第１振動系の固有周波数付
近の周波数を有する外乱が作用するときには、前記第１
振動系の疑似減衰率を大きくして、前記第１振動系の伝
達率を小さくする及び／又は前記可動部の前記垂直方向
の振動速度を検出する第２振動速度検出手段を設け、該
第２振動速度検出手段によって検出された前記垂直方向
の振動速度を、第２の所定ゲインで増幅し、これを前記
第２コントローラと前記第２振動駆動源との間に負帰還
させて、第２の閉ループを形成し、前記第２振動系に、
該第２振動系の固有周波数付近の周波数を有する外乱が
作用するときには、前記第２振動系の疑似減衰率を大き
くして、前記第２振動系の伝達率を小さくすることを特
徴とする楕円振動装置。
【請求項２】前記第１振動系が共振振動をしており、
前記第２振動系の前記伝達率を小さくした請求項１に記
載の楕円振動装置。
【請求項３】少なくとも前記第１振動系が自励振動をし
ている請求項１又は請求項２に記載の楕円振動装置。
【請求項４】前記伝達率が常に１以上の範囲にある請
求項１乃至請求項３の何れかに記載の楕円振動装置。
【請求項５】前記第１振動駆動源が位相遅れを有して
おり、該位相遅れを補償する位相調節器が、前記第１の
閉ループの途中に設けられている及び／又は前記第２振
動駆動源が位相遅れを有しており、該位相遅れを補償す
る位相調節器が、前記第２の閉ループの途中に設けられ
ている請求項１乃至請求項４の何れかに記載の楕円振動
装置。
【請求項６】前記第１振動速度検出手段は、前記第１
振動系の振動速度を検出する速度検出器から構成される
及び／又は前記第２振動速度検出手段は、前記第２振動
系の振動速度を検出する速度検出器から構成される請求
項１乃至請求項５の何れかに記載の楕円振動装置。
【請求項７】前記第１振動速度検出手段は、前記第１
振動系の振動変位を検出する変位検出器と、微分器又は
疑似微分器とから構成される及び／又は前記第２振動速
度検出手段は、前記第２振動系の振動変位を検出する変
位検出器と、微分器又は疑似微分器とから構成される請
求項１乃至請求項６の何れかに記載の楕円振動装置。
【請求項８】前記疑似微分器は、前記第１振動系の前
記固有周波数及び前記第２振動系の前記固有周波数より
も高く、高周波ノイズとなるような高周波の領域では、
入力に対する出力の比が一定となる特性を有している請
求項７に記載の楕円振動装置。
【請求項９】前記疑似微分器は、前記第１振動系の前
記固有周波数及び前記第２振動系の前記固有周波数より
も高く、高周波ノイズとなるような高周波の領域では、
周波数が高くなるにつれて、入力に対する出力の比が減
少する特性を有している請求項７又は請求項８に記載の
楕円振動装置。
【請求項１０】前記所定の位相差が、が６０度となる
ような位相差に設定されている請求項１乃至請求項９の
何れかに記載の楕円振動装置。