JP3161277B2

JP3161277B2 - 楕円振動装置

Info

Publication number: JP3161277B2
Application number: JP10046795A
Authority: JP
Inventors: 裕栗田; 恭次村岸; 均安田
Original assignee: 神鋼電機株式会社
Priority date: 1995-03-31
Filing date: 1995-03-31
Publication date: 2001-04-25
Anticipated expiration: 2016-04-25
Also published as: TW347376B; JPH08268531A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば振動により部品
を供給する楕円振動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】図６において、楕円振動
パーツフィーダは全体として１で示され、公知のボウル
２を備えている。ボウル２の内周面にはスパイラル状の
トラックが形成され、この下流側の適所にワイパーが設
けられている。このワイパーはすでに周知であるので図
を省略するが、平板を折り曲げてなり、その下端とトラ
ックの移送面との距離は整送すべき部品ｍ（平板状とす
る）の厚さよりは大きいが、この倍よりは小さい。トラ
ックの排出端には姿勢保持手段が設けられ、ここを通っ
て所望の姿勢の部品（例えば長辺を移送方向に向けた部
品ｍ）が図示しない直線式振動フィーダに供給される。

【０００３】ボウル２は図７に明示される十字状の上側
可動フレーム７に固定されており、この上側の可動フレ
ーム７に図８に明示されるやはり十字状の下側可動フレ
ーム８に直立した４組の重ね板ばね９により結合されて
いる。すなわち、上側可動フレーム７の４つの端部７ａ
に重ね板ばね９の上端部がボルトいより固定され、下側
可動フレーム８の４つの端部８ａに重ね板ばね９の下端
がボルトにより固定されている。端部７ａ、８ａは上下
方向に整列している。

【０００４】固定フレーム１０の中央には、上側可動フ
レーム７の中央部に対向して垂直駆動電磁石１１が固定
され、この垂直駆動電磁石１１に対向して上側可動フレ
ーム７の下面には垂直可動コア１３が固定されている。
また固定フレーム１０の相対向する側壁部には垂直駆動
電磁石１１を挟んで対照的に一対の水平駆動電磁石１４
ａ、１４ｂが固定され、これら電磁石１４ａ、１４ｂに
はそれぞれコイル１５ａ、１５ｂが巻装されている。上
側可動フレーム７の下面には水平駆動電磁石１４ａ、１
４ｂに対向して水平可動コア１６ａ、１６ｂが固定され
ている。

【０００５】固定フレーム１０にはこれと一体的に４個
の脚部１７が形成され、これら脚部１７が防振ゴム１８
を介して基台上に支持されている。脚部１７には横方向
に延在するばね取付部１７ａが一体的に形成され、これ
らばね取付部１７ａに図８に示されるように垂直駆動用
の重ね板ばね１９が両端部で４組、ボルトにより固定さ
れている。重ね板ばね１９は図６に示されるようにスペ
ーサ２０を介して重ねられ、これらの中央部分が下側可
動フレーム８にボルトにより固定されている。

【０００６】以上の構成において、水平駆動電磁石１４
ａ、１４ｂは、水平方向の加振力を発生させる第１の振
動駆動子であり、またこれによって駆動される第１の振
動系はボウル２、板ばね９、可動コア１６ａ、１６ｂな
どからなり、また電磁石１１は垂直方向の加振力を発生
させる第２の振動駆動子であり、ボウル２、板ばね１
９、可動コア１３などにより第２の振動系が構成され
る。

【０００７】一般に、水平方向の第１振動系の共振周波
数と同じかほぼ等しい周波数の駆動電流がそれぞれ電磁
石１４ａ、１４ｂ、１１に供給されるのであるが、これ
によりボウル２は、水平方向には共振状態またはこれに
近い状態の周波数ｆ₀ で振動し、また垂直方向には通
常、数パーセント共振周波数をより高くしており、よっ
て図９で示すように水平方向には振動工学上明らかに、
力と変位との位相差が９０度遅れで振動し、また垂直方
向にはこれとは異なる位相差で振動し、これら位相差に
より楕円振動を行なうのであるが、この位相差は理論的
に６０度で最適条件、すなわちボウル２内のトラック上
の部品ｍを最大の搬送速度で搬送できることが判明して
ので、従って水平方向の加振力と垂直方向の加振力との
位相差が９０度と設定されている。すなわち、図９から
明らかなように垂直方向の共振周波数はｆ₁ であること
により、１５０度の位相遅れで振動する。

【０００８】然るに振動工学上明らかなように、共振周
波数で振動系を駆動した場合には、電源のわずかな変動
やボウル２内の部品の負荷のわずかな変化により共振周
波数が変動する。これにより、部品を貯蔵していない空
の状態で、水平方向の共振周波数がｆ₀ であって力と変
位との位相差が９０度であっても、このような変動によ
り大きく位相差が変わり、よって、強制振動で駆動され
ている垂直方向においては位相差がそれほど変動せずと
も、水平方向において大きく変動するために、結局これ
らの位相差は６０度とは異なったものとなる。これによ
り、ボウルに対する最適振動条件が得られなくなる。

【０００９】

【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、電源に多少の変動があったり、ボウル
内の部品の負荷が変わっても、水平方向及び垂直方向の
位相差角を最適な値に保持し得る楕円振動装置を提供す
ることを目的とする。

【００１０】

【問題点を解決するための手段】以上の目的は、少なく
とも第１移相器、第１ハイゲインアンプ、第１飽和要素
を有する第１制御器と、該第１制御器の出力を電力増巾
する第１電力増巾器と、該第１電力増巾器の出力を受け
第１方向の加振力を発生させる第１振動駆動子と、該第
１振動駆動子の前記第１方向の加振力を受ける楕円振動
機の第１振動系と、該楕円振動機の可動部の前記第１方
向の振動変位を検出する第１振動変位検出手段と、少な
くとも第２移相器、第２ハイゲインアンプ、第２飽和要
素を有し、前記第１振動変位検出手段の出力を受ける第
２制御器と、該第２制御器の出力を電力増巾する第２電
力増巾器と、該第２電力増巾器の出力を受け前記第１方
向とは垂直な第２方向の加振力を発生させる第２振動駆
動子と、該第２振動駆動子の前記第２方向の加振力を受
ける前記楕円振動機の第２振動系と、該楕円振動機の可
動部の前記第２方向の振動変位を検出する第２振動変位
検出手段とから成り、該第２振動変位検出手段の出力を
前記第１制御器に負帰還する閉ループを形成し、前記第
１振動系の共振周波数で前記第２振動変位検出手段と前
記第１制御器との間を開とした場合のこれらの間の位相
差が１８０度となり、前記第１振動系の変位と前記第２
振動系の変位との位相差は、前記可動部の最適振動条件
を達成するべき角度になるように前記第１、第２移相器
の移相角度を決定し、前記第１、第２振動系に自励振動
させ、前記第１振動系に共振振動させるようにしたこと
を特徴とする楕円振動装置、によって達成される。

【００１１】又、以上の目的は、少なくとも第１移相
器、第１ハイゲインアンプ、第１飽和要素を有する第１
制御器と、該第１制御器の出力を電力増巾する第１電力
増巾器と、該第１電力増巾器の出力を受け第１方向の加
振力を発生させる第１振動駆動子と、該第１振動駆動子
の前記第１方向の加振力を受ける楕円振動機の第１振動
系と、該楕円振動機の可動部の前記第１方向の振動変位
を検出する振動変位検出手段と、少なくとも第２移相
器、第２ハイゲインアンプ、第２飽和要素を有し、前記
第１振動変位検出手段の出力を受ける第２制御器と、該
第２制御器の出力を電力増巾する第２電力増巾器と、該
第２電力増巾器の出力を受け前記第１方向とは垂直な第
２方向の加振力を発生させる第２振動駆動子と、該第２
振動駆動子の前記第２方向の加振力を受ける前記楕円振
動機の第２振動系から成り、前記振動変位検出手段の出
力を前記第１制御器に負帰還する閉ループを形成し、前
記第１振動系の共振周波数で前記振動変位検出手段と前
記第１制御器との間を開とした場合のこれらの間の位相
差が１８０度となり、前記振動変位検出手段の出力と前
記第２振動系の振動変位との位相差は、前記可動部の最
適振動条件を達成するべき角度になるように前記第１、
第２移相器の移相角度を決定し、前記第１振動系に自励
振動させ、前記第２振動系に強制振動させるようにした
ことを特徴とする楕円振動装置、によって達成される。

【００１２】又、以上の目的は、可変周波数電源と、該
可変周波数電源の出力を受け第１方向の加振力を発生さ
せる第１振動駆動子と、該第１振動駆動子の前記第１方
向の加振力を受ける楕円振動機の第１振動系と、該楕円
振動機の可動部の前記第１方向の振動変位を検出する振
動変位検出手段と、該振動変位検出手段の出力を受ける
移相器と、該移相器の出力を受ける電力増巾器と、該電
力増巾器の出力を受け、前記第１方向とは垂直な第２方
向の加振力を発生させる第２振動駆動子と、該第２振動
駆動子の前記第２方向の加振力を受ける前記楕円振動機
の第２振動系とから成り、前記可変周波数電源の調節に
より前記第１振動系をその共振周波数で駆動し、前記移
相器の移相角は前記可動部の最適振動条件を得るような
角度に設定されていることを特徴とする楕円振動装置、
によって達成される。

【００１３】

【作用】請求項１の発明によれば、第１振動系は共振振
動を行ない、また第２振動系はこれに対して第２移相器
で設定した角度だけ位相を遅らせるか進めることによ
り、最適な楕円振動を得る位相角度差で振動する。この
第１振動系の第１方向における振動と、第２振動系の第
２方向における振動との合成が楕円振動であり、例えば
部品の搬送に使われる場合には、その部品の搬送速度を
最大とすることができ、また第１振動系は自励振動を行
なっているので、力と変位との位相差を正確にπ／２に
保持し、これに対して第２移相器の設定角度だけ位相変
位して第２振動系を振動させるので、常に安定な位相差
を持たせて第１振動系及び第２振動系を振動させること
ができる。

【００１４】請求項２の発明によれば、第１振動系は自
励振動により共振振動を行ない、第２振動系は強制振動
を行なう。この共振振動と強制振動との位相差は第２移
相器の設定位相角差であるので、最適の楕円振動を得る
ことができ、また第１振動系はその可動部の負荷が変動
したり電源が変動したとしても、常に共振振動を行なっ
て、力と変位との位相差をπ／２に維持し、よって最適
な位相差を保持することができる。

【００１５】請求項３の発明によれば、可変周波数電源
の調節により第１振動系は共振振動で振動し、よって位
相差位を常にπ／２に維持し、これに対し第２振動系は
強制振動を行なわせ、また第１振動系は第２振動系とは
適切な位相差角を持って振動させられるので、最適な楕
円振動条件を得ることができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例による楕円振動装置に
ついて、図面を参照して説明する。

【００１７】図１は本発明の第１実施例による楕円振動
装置を示すが、全体として３１で示され、従来例で述べ
たように水平方向の振動系、すなわち第１振動系３２の
第１の方向、すなわち水平方向における振動が振動検出
器３３で検出され、これが垂直方向用のコントローラ３
４、電力増巾器３５、振動駆動子３６を介して垂直方向
の振動系３７に供給される。この垂直方向の振動変位
が、振動検出器３８で検出され、これが水平方向用のコ
ントローラ３９に供給され、更に電力増巾器４０、振動
駆動子４１を介して水平方向の振動系３２に供給され
る。なお、振動検出器３３の出力はそのままコントロー
ラ３４に供給されるが、水平方向の振動検出器３８の出
力はコントローラ３９に負帰還信号として供給される。

【００１８】図２は、第１実施例を更に詳細に示すブロ
ック図であるが、図１に対応する部分については同一の
符号を付す。

【００１９】すなわち、本実施例における第１のコント
ローラ３９は、移相器４２、ハイゲインアンプ４３及び
振巾調整用リミッタ（飽和要素）４４からなっており、
この出力が電力増巾器４０に供給されて、電力増巾出力
は振動駆動子４１である電磁石４１に供給される。電磁
石４１は電圧と力に位相差があり、１／（ｓ＋ａ₁ ）な
る遅れ要素を有する。これにより水平方向の第１の振動
系が加振されるのであるが、この特性方程式は、ｍ₁ ｓ
² ＋ｃ₁ ｓ＋ｋ₁ ＝０である。ここでｍ₁ はボウルの質
量、ｃ₁ は粘性系数、ｋ₁ は水平方向のばね定数であ
る。この水平方向の振動変位は振動検出器３３で検出さ
れ、これが第２のコントローラ３４に供給されるのであ
るが、これは第１のコントローラ３９と同様に、移相器
４５、ハイゲインアンプ４６及び振巾調整用リミッタ
（飽和要素）４７からなっており、この出力は電力増巾
器３５に供給され、この増巾出力が垂直方向の電磁石３
６に供給される。これも、１／（ｓ＋ａ₂ ）なる遅れ要
素を有し、水平方向の電磁石４１と同様に、９０度の位
相遅れを生じる。これにより垂直方向の振動系３７が加
振され、この振動変位は振動検出器３８で検出され、こ
れが第１のコントローラ３９に負帰還される。

【００２０】また、本実施例によれば、各機械振動系３
２、３７は一方が共振振動で振動され他方は共振点から
外れて振動を行なわせるので、力と変位との位相差が共
振振動では９０度遅れあり、共振点から外れて振動を行
なわせる垂直方向の振動系は位相差がほぼ零である。ま
た、上述したように振動駆動子である電磁石３６、４１
の位相遅れは９０度であり、本実施例では第１の位相器
４２により位相αは６０度進められ、また第２の位相器
４５により位相差βは３０度位相が進められる。従っ
て、第１の位相器４２の入力側と水平方向の振動系３２
の出力との間には、合計で１２０度の位相差があり、ま
た水平方向の振動検出器３３の出力、すなわち第２位相
器４５の入力側と第２の機械振動系３７の出力との間に
は、合計で６０度の位相差がある。従って、第１コント
ローラ３９の入力側と垂直方向の振動検出器３８の出力
側とを遮断した場合には、この間に１８０度の位相差が
ある。よって、自励振動を可能にしている。

【００２１】本発明の第１実施例の楕円振動装置は以上
のように構成されるが、次にこの作用について説明す
る。

【００２２】なお、電力増巾器３５、４２は図示せずと
もスイッチを介して直流電源が接続されおり、このスイ
ッチを閉じることにより作動状態となる。図２に示すよ
うな閉ループで、垂直方向の振動検出器３８の出力が第
１コントローラ３９に負帰還されるので、又、この閉ル
ープの第１コントローラ３９の入力側で遮断した場合に
１８０度の位相差を持っていることにより、水平方向の
振動系は自励振動、すなわち共振振動を行なう。この振
動変位は振動検出器３３により検出され、第２コントロ
ーラ３４、電力増巾器３５により垂直方向電磁石３６が
励磁されて、垂直方向振動系３７も自励振動するが、そ
の共振周波数から数％はなれた周波数で振動を行なう。
なお、水平方向の振動系３２は共振振動であるので、常
に力と変位との位相差が９０度に維持され、又、電磁石
４１の位相遅れは９０度で一定であるので、水平方向の
振動と垂直方向の振動との位相差は、６０度に安定に保
持される。従って最適条件でボウルは楕円振動を行な
い、部品をその内部に形成されたトラック上を最大の搬
送速度で搬送させることができる。電源の変動やボウル
内の部品の負荷の変動が生じても、自励振動により常に
水平方向の振動系は共振振動を行って、力と変位との位
相差を９０度に維持し、従来のように共振点から少しず
れただけでも位相差９０度から大きく変化していたのが
変化しなくなるので、最適条件を安定に続行させること
ができる。

【００２３】なお、振巾調節リミッタ４４、４７には、
図示せずとも水平方向の振動変位検出器３３及び垂直方
向の振動検出器３８の出力を受ける振巾コントローラが
接続されており、比較器を有しているが、この一方の入
力端子には設定振巾が設定されており、他方の入力には
振動変位検出器３３、３８の出力が供給されて、その偏
差に応じて振巾調節リミッタ４４、４７を自動的に調節
し、従って水平方向と垂直方向との振巾が一定になり、
よって一定の長軸、短軸を持った一定方向の楕円振動を
ボウルに行なわせることができる。

【００２４】図３及び図４は本発明の第２実施例による
楕円振動装置を示すが、全体として５１で示され、第１
実施例に対応する部分には同一の符号を付け、その詳細
な説明は省略する。

【００２５】すなわち本実施例によれば、水平方向の振
動系だけで閉ループを形成している。すなわち水平方向
の振動検出器３３の出力は第１のコントローラ５２に負
帰還され、またこの出力は垂直方向のコントローラ５３
に供給される。

【００２６】図４は同ブロックの詳細を示すものである
が、コントローラ５２、５３においてのみ図１の第１実
施例と異なり、同様に各々位相器５５、５８、ハイゲイ
ンアンプ５６、５９及び振巾調節リミッタ５７、６０か
らなっているが、第１の位相器５５の設定位相差αは零
であり、第２の位相器５８の設定位相差βは３０度であ
る。これにより、水平方向の振動検出器３３と第１コン
トローラ５２との間を開とした場合の、この間の位相差
が１８０度であり、また第２機械振動系３７の出力と第
２コントローラ５３の入力との間ではー６０度の位相差
である。

【００２７】本発明の第２実施例の楕円振動装置は以上
のように構成されるが、次にこの作用について説明す
る。

【００２８】すなわち、本実施例では水平方向の振動系
は閉ループをなし、共振周波数でも水平方向の振動系３
２と第１コントローラ５２との間には１８０度の位相差
があることにより、やはり図示しないスイッチを介して
直流電源を電力増巾器３５、４２に接続すると、水平方
向の振動系３２は共振周波数で自励振動を行ない、また
垂直方向の振動系３７は強制振動を行なう。そして、共
振振動状態にある水平方向の振動系の力と変位との位相
差は９０度で安定にこれが保持され、またこれから強制
振動においては共振周波数が若干変化しても、その位相
差がほとんど変化しないことにより、位相差は６０度と
一定とされているが、最適な楕円振動条件を得ることが
できる。

【００２９】図５は本発明の第３実施例による楕円振動
装置を示すが、全体として６１で示され、可変周波数電
源６２の出力は第１のコントローラ６３に供給され、こ
の出力は電力増巾器６４で増幅され、振動駆動子である
電磁石６５に供給され、これにより上記実施例と同様に
水平方向の振動系６６が加振され、この水平方向の振動
変位が振動検出器６７で検出されて、垂直方向の第２の
コントローラ６８に供給され、この制御出力が電力増巾
器６９を介して垂直方向の振動駆動子である電磁石７０
に供給され、第２の振動系７１を加振する。なお、第２
のコントローラ６８の移相角においては位相差は６０度
と設定されており、従って、振動系６６は可変周波数電
源６２の調節により共振振動が行なわれるが、この振動
に対して正確に６０度の位相差を持って、振動系７１は
垂直方向に加振されるので、可変周波数電源６２の自動
調節さえ正確に行なわれていれば、水平機械振動系６６
は共振振動して、垂直方向の振動系７１との位相差６０
度を安定に持続させて、最適な楕円振動を得ることがで
きる。なお、水平振動系６６が正確に共振点で駆動せず
ともコントローラ６８により垂直振動系７１との振動の
位相差は最適値、例えば６０度に保持されるので、確実
に最適楕円振動を行うことができる。

【００３０】コントローラ６３、６８は第１、第２実施
例とは異なり飽和要素を有しないが、振動検出器６７か
らの出力を振巾コントローラに供給し、この内部で所定
の振巾と比較してその偏差をコントローラ６３に供給す
ることにより、定振巾の閉ループを形成して、水平方向
の振動を常に一定としてもよく、図５においては垂直方
向の振動検出手段を設けていないが、同様に設けて垂直
方向についても所定の振巾で振動させるようにしてもよ
い。

【００３１】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。

【００３２】例えば、以上の実施例ではアクチュエータ
である電磁石は９０度の位相遅れを有するが、例えば圧
電型や動電型のように位相遅れのない場合には、上述の
位相差αの代わりにα＝ー９０度、またβの代わりにβ
＝ー９０度とすれば、同様な作用、効果を得ることがで
きる。

【００３３】電磁石のように９０度の位相差を有するア
クチュエータのみならず、他の大きさの位相遅れを有す
る場合においても、位相差α、βを、負帰還ループを遮
断した場合のこの両端の位相差を１８０度とし、かつ水
平方向と垂直方向の位相差を６０度とするべく、位相コ
ントローラ４２、４５の位相値を設定すればよい。

【００３４】また以上の実施例では位相コントローラ４
２、４５の設定位相差は固定としたが、これは可変とし
てもよい。この場合に、ある入力、出力間の信号の位相
差を検出し、この検出値に応じて位相コントローラ４
２、４５の設定位相差を調節するようにすればよい。

【００３５】また以上の実施例では、水平方向と垂直方
向との位相差角度が６０度で最適としたが、楕円振動の
搬送理論によれば、長軸の振巾に応じて若干これが変更
されるので、６０度でなくともよく、例えば４５度乃至
７５度の範囲で可変とするように位相差α、βを変える
ようにしてもよい。

【００３６】又、以上の実施例では、第１の方向を水平
方向をとし、第２の方向を垂直方向としたが、これを逆
にしても良い。

【００３７】

【発明の効果】以上述べたように本発明の楕円振動装置
によれば、第１または第２の振動系で共振振動を行ない
ながら、他方の振動系との位相差を最適な値に保持する
ことができるので、電源が変動したり可動部の負荷が変
動しても、位相角を、例えば６０度に安定に保持して最
適な楕円振動条件を常に確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による楕円振動装置のブロ
ック図である。

【図２】同装置の主要部分の詳細を示すブロック図であ
る。

【図３】本発明の第２実施例による楕円振動装置のブロ
ック図である。

【図４】同装置の主要部分の詳細を示すブロック図であ
る。

【図５】本発明の第３実施例による楕円振動装置のブロ
ック図である。

【図６】本発明の実施例が適用される楕円振動パーツフ
ィーダの部分断面図である。

【図７】図６における［７］ー［７］線方向の平面図で
ある。

【図８】図６の楕円振動パーツフィーダの底面図であ
る。

【図９】周波数と位相差との関係を示すチャートであ
る。

【符号の説明】

３１楕円振動装置３３水平方向振動検出器３４コントローラ３５垂直方向振動検出器３９コントローラ４２位相器４５位相器５１楕円振動装置５２コントローラ５３コントローラ５５コントローラ５５位相器５８位相器６１楕円振動装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭54−74566（ＪＰ，Ａ) 特開昭54−74567（ＪＰ，Ａ) 特開昭59−172317（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−12380（ＪＰ，Ａ) 特開平３−256908（ＪＰ，Ａ) 特開平５−105220（ＪＰ，Ａ) 実開昭62−92215（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65G 27/00 - 27/34 B06B 1/00 - 3/04 G05D 19/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも第１移相器、第１ハイゲイン
アンプ、第１飽和要素を有する第１制御器と、該第１制
御器の出力を電力増巾する第１電力増巾器と、該第１電
力増巾器の出力を受け第１方向の加振力を発生させる第
１振動駆動子と、該第１振動駆動子の前記第１方向の加
振力を受ける楕円振動機の第１振動系と、該楕円振動機
の可動部の前記第１方向の振動変位を検出する第１振動
変位検出手段と、少なくとも第２移相器、第２ハイゲイ
ンアンプ、第２飽和要素を有し、前記第１振動変位検出
手段の出力を受ける第２制御器と、該第２制御器の出力
を電力増巾する第２電力増巾器と、該第２電力増巾器の
出力を受け前記第１方向とは垂直な第２方向の加振力を
発生させる第２振動駆動子と、該第２振動駆動子の前記
第２方向の加振力を受ける前記楕円振動機の第２振動系
と、該楕円振動機の可動部の前記第２方向の振動変位を
検出する第２振動変位検出手段とから成り、該第２振動
変位検出手段の出力を前記第１制御器に負帰還する閉ル
ープを形成し、前記第１振動系の共振周波数で前記第２
振動変位検出手段と前記第１制御器との間を開とした場
合のこれらの間の位相差が１８０度となり、前記第１振
動系の変位と前記第２振動系の変位との位相差は、前記
可動部の最適振動条件を達成するべき角度になるように
前記第１、第２移相器の移相角度を決定し、前記第１、
第２振動系に自励振動させ、前記第１振動系に共振振動
させるようにしたことを特徴とする楕円振動装置。
【請求項２】少なくとも第１移相器、第１ハイゲイン
アンプ、第１飽和要素を有する第１制御器と、該第１制
御器の出力を電力増巾する第１電力増巾器と、該第１電
力増巾器の出力を受け第１方向の加振力を発生させる第
１振動駆動子と、該第１振動駆動子の前記第１方向の加
振力を受ける楕円振動機の第１振動系と、該楕円振動機
の可動部の前記第１方向の振動変位を検出する振動変位
検出手段と、少なくとも第２移相器、第２ハイゲインア
ンプ、第２飽和要素を有し、前記第１振動変位検出手段
の出力を受ける第２制御器と、該第２制御器の出力を電
力増巾する第２電力増巾器と、該第２電力増巾器の出力
を受け前記第１方向とは垂直な第２方向の加振力を発生
させる第２振動駆動子と、該第２振動駆動子の前記第２
方向の加振力を受ける前記楕円振動機の第２振動系から
成り、前記振動変位検出手段の出力を前記第１制御器に
負帰還する閉ループを形成し、前記第１振動系の共振周
波数で前記振動変位検出手段と前記第１制御器との間を
開とした場合のこれらの間の位相差が１８０度となり、
前記振動変位検出手段の出力と前記第２振動系の振動変
位との位相差は、前記可動部の最適振動条件を達成する
べき角度になるように前記第１、第２移相器の移相角度
を決定し、前記第１振動系に自励振動させ、前記第２振
動系に強制振動させるようにしたことを特徴とする楕円
振動装置。
【請求項３】前記第１、第２振動変位検出手段の出力
を各々振巾コントローラに供給し、該振巾コントローラ
内に設定されている所定の振巾との偏差を各々前記第
１、第２制御器に供給して、前記第１、第２方向の振巾
を各前記所定の振巾に調整するようにしたことを特徴と
する請求項１に記載の楕円振動装置。
【請求項４】前記可動部の第２方向の振動変位を検出
する第２の振動変位検出手段を設け、前記第１、第２振
動変位検出手段の出力を各々振巾コントローラに供給
し、該振巾コントローラ内に設定されている所定の振巾
との偏差を各々前記第１、第２制御器に供給して、前記
第１、第２方向の振巾を各前記所定の振巾に調整するよ
うにしたことを特徴とする請求項２に記載の楕円振動装
置。
【請求項５】位相差検出手段及び位相差コントローラ
を設け、該位相差コントローラの出力により前記第１、
第２移相器の移相角を調節するようにした請求項１乃至
請求項４の何れかに記載の楕円振動装置。
【請求項６】可変周波数電源と、該可変周波数電源の
出力を受け第１方向の加振力を発生させる第１振動駆動
子と、該第１振動駆動子の前記第１方向の加振力を受け
る楕円振動機の第１振動系と、該楕円振動機の可動部の
前記第１方向の振動変位を検出する振動変位検出手段
と、該振動変位検出手段の出力を受ける移相器と、該移
相器の出力を受ける電力増巾器と、該電力増巾器の出力
を受け、前記第１方向とは垂直な第２方向の加振力を発
生させる第２振動駆動子と、該第２振動駆動子の前記第
２方向の加振力を受ける前記楕円振動機の第２振動系と
から成り、前記可変周波数電源の調節により前記第１振
動系をその共振周波数で駆動し、前記移相器の移相角は
前記可動部の最適振動条件を得るような角度に設定され
ていることを特徴とする楕円振動装置。