JPH1168501A - 水晶振動子および水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子および水晶振動子の製造方法Info
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- JPH1168501A JPH1168501A JP22603897A JP22603897A JPH1168501A JP H1168501 A JPH1168501 A JP H1168501A JP 22603897 A JP22603897 A JP 22603897A JP 22603897 A JP22603897 A JP 22603897A JP H1168501 A JPH1168501 A JP H1168501A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 経時変化により発振特性が劣化しない水晶振
動子および水晶振動子の製造方法を提供することを目的
とする。 【解決手段】 水晶板の両面に銀電極を形成する水晶振
動子の製造方法において、真空チャンバ１４内で水晶板
１１に銀を蒸着させて銀電極１２を形成し、銀電極１２
の上に酸化珪素などの絶縁膜１３を堆積する。一方の面
の絶縁膜１３’を堆積する過程（または厚めに堆積され
た絶縁膜１３’をドライエッチングにより除去する過
程）において、水晶振動子１５の周波数を連続的に測定
し、計測周波数が設定周波数と一致した時点で堆積（ま
たは除去）を停止することにより周波数調整を行う。銀
電極１２、１２’を両面とも絶縁膜１３、１３’によっ
て保護するので、銀電極１２、１２’の重量の経時変化
が極めて小さく、発振特性の劣化を防止することができ
る。
動子および水晶振動子の製造方法を提供することを目的
とする。 【解決手段】 水晶板の両面に銀電極を形成する水晶振
動子の製造方法において、真空チャンバ１４内で水晶板
１１に銀を蒸着させて銀電極１２を形成し、銀電極１２
の上に酸化珪素などの絶縁膜１３を堆積する。一方の面
の絶縁膜１３’を堆積する過程（または厚めに堆積され
た絶縁膜１３’をドライエッチングにより除去する過
程）において、水晶振動子１５の周波数を連続的に測定
し、計測周波数が設定周波数と一致した時点で堆積（ま
たは除去）を停止することにより周波数調整を行う。銀
電極１２、１２’を両面とも絶縁膜１３、１３’によっ
て保護するので、銀電極１２、１２’の重量の経時変化
が極めて小さく、発振特性の劣化を防止することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶板の表面に電
極を形成して成る水晶振動子および水晶振動子の製造方
法に関するものである。
極を形成して成る水晶振動子および水晶振動子の製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】水晶振動子は、水晶板の表面に金や銀な
どの導電性材料を薄膜状に蒸着して電極を形成して作ら
れる。水晶振動子の振動周波数は水晶板の厚さにより左
右されるが、水晶体の厚さにはばらつきがあるため、振
動周波数もばらつきやすい。そこで水晶板に電極を形成
した後に電極の厚みを変えることにより周波数の調整を
行う方法が知られている。以下、従来の水晶振動子の周
波数調整方法について説明する。
どの導電性材料を薄膜状に蒸着して電極を形成して作ら
れる。水晶振動子の振動周波数は水晶板の厚さにより左
右されるが、水晶体の厚さにはばらつきがあるため、振
動周波数もばらつきやすい。そこで水晶板に電極を形成
した後に電極の厚みを変えることにより周波数の調整を
行う方法が知られている。以下、従来の水晶振動子の周
波数調整方法について説明する。
【０００３】図１３は従来の水晶振動子の周波数調整装
置の断面図、図１４は同周波数調整後の水晶振動子の斜
視図である。図１３において、水晶振動子１は水晶板２
の両面に電極３を形成して作られている。電極３は、銀
を蒸着することにより形成され、薄目（周波数が目標周
波数よりも高くなる側）に形成されている。４はマスク
であり、開口部５が設けられている。
置の断面図、図１４は同周波数調整後の水晶振動子の斜
視図である。図１３において、水晶振動子１は水晶板２
の両面に電極３を形成して作られている。電極３は、銀
を蒸着することにより形成され、薄目（周波数が目標周
波数よりも高くなる側）に形成されている。４はマスク
であり、開口部５が設けられている。
【０００４】次に動作を説明する。図１３に示すように
開口部５を水晶板２上の電極３に位置合わせし、銀の蒸
着を行い（矢印参照）、電極３上に付加電極３ａを形成
する。その間、周波数測定手段（図外）により水晶振動
子１の周波数を計測しており、水晶振動子１の周波数が
目標周波数に達すると、銀の蒸着を停止する。
開口部５を水晶板２上の電極３に位置合わせし、銀の蒸
着を行い（矢印参照）、電極３上に付加電極３ａを形成
する。その間、周波数測定手段（図外）により水晶振動
子１の周波数を計測しており、水晶振動子１の周波数が
目標周波数に達すると、銀の蒸着を停止する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように従来の方
法は、金や銀などの電極と同じ導電性材料を電極３に付
加して電極３の質量を目標周波数に相応した質量にする
ものである。しかしながら、近年は水晶振動子は益々小
型化する傾向にあることから、マスク４の開口部５と電
極３の位置合わせが困難になってきている。そして図１
３に示すように開口部５が電極に正確に位置合わせされ
ていないと、図１３、図１４に示すように付加電極３ａ
は電極３の表面のみならず周囲の水晶板２の表面にまで
はみだした形で付加される。この導電性材料から成る付
加電極３ａのはみ出しは電極３の面積を実質的に増加さ
せることとなり、その結果電極３のキャパシタンスが変
化し水晶振動子１の容量がずれたり異常発振が発生する
など、発振特性が劣化するという問題点があった。
法は、金や銀などの電極と同じ導電性材料を電極３に付
加して電極３の質量を目標周波数に相応した質量にする
ものである。しかしながら、近年は水晶振動子は益々小
型化する傾向にあることから、マスク４の開口部５と電
極３の位置合わせが困難になってきている。そして図１
３に示すように開口部５が電極に正確に位置合わせされ
ていないと、図１３、図１４に示すように付加電極３ａ
は電極３の表面のみならず周囲の水晶板２の表面にまで
はみだした形で付加される。この導電性材料から成る付
加電極３ａのはみ出しは電極３の面積を実質的に増加さ
せることとなり、その結果電極３のキャパシタンスが変
化し水晶振動子１の容量がずれたり異常発振が発生する
など、発振特性が劣化するという問題点があった。
【０００６】そこで本発明は、水晶振動子の発振特性が
劣化することがない水晶振動子および水晶振動子の製造
方法を提供することを目的とする。
劣化することがない水晶振動子および水晶振動子の製造
方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の水晶振動
子は、水晶板の表面と裏面に電極を形成してなる水晶振
動子であって、前記２面に形成された電極上に絶縁膜が
堆積され前記電極が外部雰囲気から遮断されているよう
にした。
子は、水晶板の表面と裏面に電極を形成してなる水晶振
動子であって、前記２面に形成された電極上に絶縁膜が
堆積され前記電極が外部雰囲気から遮断されているよう
にした。
【０００８】請求項２記載の水晶振動子の製造方法は、
水晶板の一方の面に第１の電極を形成する工程と、第１
の電極の表面に第１の絶縁膜を堆積する工程と、前記水
晶板の他方の面に第２の電極を形成して水晶振動子とす
る工程と、この水晶振動子をケース内に搭載する工程
と、第２の電極の表面に絶縁膜を堆積することにより前
記水晶振動子の周波数調整を行う工程と、前記水晶振動
子が搭載されたケースに蓋を固着する工程とを含む。
水晶板の一方の面に第１の電極を形成する工程と、第１
の電極の表面に第１の絶縁膜を堆積する工程と、前記水
晶板の他方の面に第２の電極を形成して水晶振動子とす
る工程と、この水晶振動子をケース内に搭載する工程
と、第２の電極の表面に絶縁膜を堆積することにより前
記水晶振動子の周波数調整を行う工程と、前記水晶振動
子が搭載されたケースに蓋を固着する工程とを含む。
【０００９】請求項３記載の水晶振動子の製造方法は、
水晶板の両面に電極を形成する工程と、この両面に形成
された電極の表面に絶縁膜を堆積して水晶振動子とする
工程と、前記水晶振動子をケース内に搭載する工程と、
前記水晶振動子の絶縁膜の一方の面をドライエッチング
することにより前記水晶振動子の周波数調整を行う工程
と、前記水晶振動子が搭載されたケースに蓋を固着する
工程とを含む。
水晶板の両面に電極を形成する工程と、この両面に形成
された電極の表面に絶縁膜を堆積して水晶振動子とする
工程と、前記水晶振動子をケース内に搭載する工程と、
前記水晶振動子の絶縁膜の一方の面をドライエッチング
することにより前記水晶振動子の周波数調整を行う工程
と、前記水晶振動子が搭載されたケースに蓋を固着する
工程とを含む。
【００１０】
【発明の実施の形態】各請求項記載の本発明によれば、
水晶振動子の表裏２面の電極上に絶縁膜を堆積して電極
を安定な絶縁膜で保護することにより、水晶振動子の振
動周波数の経時変化をきわめて小さくすることができ
る。
水晶振動子の表裏２面の電極上に絶縁膜を堆積して電極
を安定な絶縁膜で保護することにより、水晶振動子の振
動周波数の経時変化をきわめて小さくすることができ
る。
【００１１】（実施の形態１）図１、図２、図３は本発
明の実施の形態１の真空蒸着装置の断面図、図４は同水
晶振動子およびケースの断面図、図５は同真空蒸着装置
の断面図、図６は同水晶振動子のケースの溶着装置の断
面図である。
明の実施の形態１の真空蒸着装置の断面図、図４は同水
晶振動子およびケースの断面図、図５は同真空蒸着装置
の断面図、図６は同水晶振動子のケースの溶着装置の断
面図である。
【００１２】まず図１を参照して真空蒸着装置について
説明する。図１において、真空チャンバ１４内の上部に
は、水晶板１１が保持されている。水晶板１１の下方に
はマスク１５が配設されており、マスク１５には水晶板
１１に形成される電極の形状に対応して開口部１５ａが
設けられている。マスク１５の下方にはシャッタ１６が
設けられ、シャッタ駆動装置１７によってシャッタ１６
が水平移動することにより開口部１５ａを開閉する。真
空チャンバ１４は、排気孔１８より排気されて内部が減
圧され、また必要時には酸素供給口２４より酸素ガスが
真空チャンバ１４内に導入される。真空チャンバ１４内
の下部には蒸発源１９が設けられており、蒸発源１９に
容れられた蒸着物質は電源２０により加熱され、減圧雰
囲気下で蒸発し対象物に蒸着される。
説明する。図１において、真空チャンバ１４内の上部に
は、水晶板１１が保持されている。水晶板１１の下方に
はマスク１５が配設されており、マスク１５には水晶板
１１に形成される電極の形状に対応して開口部１５ａが
設けられている。マスク１５の下方にはシャッタ１６が
設けられ、シャッタ駆動装置１７によってシャッタ１６
が水平移動することにより開口部１５ａを開閉する。真
空チャンバ１４は、排気孔１８より排気されて内部が減
圧され、また必要時には酸素供給口２４より酸素ガスが
真空チャンバ１４内に導入される。真空チャンバ１４内
の下部には蒸発源１９が設けられており、蒸発源１９に
容れられた蒸着物質は電源２０により加熱され、減圧雰
囲気下で蒸発し対象物に蒸着される。
【００１３】次に各図を参照して水晶振動子の製造方法
について説明する。まず図１に示すように、排気孔１８
より真空チャンバ１４内を真空排気した後、蒸発源１９
に容れられた銀２２が加熱される。加熱により減圧雰囲
気下で蒸発した銀分子２２ａは、マスク１５の開口部１
５ａを通過して水晶板１１の表面に蒸着され、第１の銀
電極１２を形成する。
について説明する。まず図１に示すように、排気孔１８
より真空チャンバ１４内を真空排気した後、蒸発源１９
に容れられた銀２２が加熱される。加熱により減圧雰囲
気下で蒸発した銀分子２２ａは、マスク１５の開口部１
５ａを通過して水晶板１１の表面に蒸着され、第１の銀
電極１２を形成する。
【００１４】次に図２に示すように、蒸発源１９には酸
化珪素（ＳｉＯ）２３が容れられ、加熱されて蒸発す
る。このとき、真空チャンバ１４内に酸素供給口２４か
ら酸素ガスが導入されることにより、酸化珪素２３は酸
化されて２酸化珪素（ＳｉＯ２）などの珪素酸化物（Ｓ
ｉＯｘ）２３ａとなる。これらの珪素酸化物２３ａの粒
子はマスク１５０の開口部１５０ａを通って第１の銀電
極１２の表面に蒸着して堆積され、第１の絶縁膜１３を
形成する。マスク１５０の開口部１５０ａは、マスク１
５の開口部１５ａより形状的に大きいため、第１の絶縁
膜１３は第１の銀電極１２を覆って形成される。次い
で、図３に示すように水晶板１１は表裏が反転され、反
対面に前述の図１に示す工程と同様に第２の銀電極１
２’が形成される。このようにして水晶板１１の両面に
は銀電極１２、１２’が形成され、水晶振動子２５とな
る。
化珪素（ＳｉＯ）２３が容れられ、加熱されて蒸発す
る。このとき、真空チャンバ１４内に酸素供給口２４か
ら酸素ガスが導入されることにより、酸化珪素２３は酸
化されて２酸化珪素（ＳｉＯ２）などの珪素酸化物（Ｓ
ｉＯｘ）２３ａとなる。これらの珪素酸化物２３ａの粒
子はマスク１５０の開口部１５０ａを通って第１の銀電
極１２の表面に蒸着して堆積され、第１の絶縁膜１３を
形成する。マスク１５０の開口部１５０ａは、マスク１
５の開口部１５ａより形状的に大きいため、第１の絶縁
膜１３は第１の銀電極１２を覆って形成される。次い
で、図３に示すように水晶板１１は表裏が反転され、反
対面に前述の図１に示す工程と同様に第２の銀電極１
２’が形成される。このようにして水晶板１１の両面に
は銀電極１２、１２’が形成され、水晶振動子２５とな
る。
【００１５】次に、水晶振動子２５は真空チャンバ１４
から取出され、図４に示すようにピックアップヘッド３
３によって組立ステージ３２上に移動し、ケース３０内
に搭載される。このとき、既に第１の絶縁膜１３が堆積
された面を下にしてケース３０内に装着される。また、
銀電極１２、１２’はケース３０に設けられた端子３３
に接続される。
から取出され、図４に示すようにピックアップヘッド３
３によって組立ステージ３２上に移動し、ケース３０内
に搭載される。このとき、既に第１の絶縁膜１３が堆積
された面を下にしてケース３０内に装着される。また、
銀電極１２、１２’はケース３０に設けられた端子３３
に接続される。
【００１６】次に、図５に示すように、ケース３０は真
空チャンバ１４内に搬入され、水晶振動子２５を下向き
にして装着される。そして図２に示す工程と同様に酸化
珪素２３を加熱蒸発させ、珪素酸化物（ＳｉＯｘ）２３
ａをマスク１５０の開口部１５０ａを介して第２の銀電
極１２’上に蒸着させて第２の絶縁膜１３’を堆積す
る。このように、銀電極１２、１２’上に絶縁膜１３、
１３’を堆積することにより、銀電極１２、１２’の実
質的な質量を増加させることとなり、水晶振動子２５の
周波数は絶縁膜１３、１３’の堆積量に応じて変化す
る。
空チャンバ１４内に搬入され、水晶振動子２５を下向き
にして装着される。そして図２に示す工程と同様に酸化
珪素２３を加熱蒸発させ、珪素酸化物（ＳｉＯｘ）２３
ａをマスク１５０の開口部１５０ａを介して第２の銀電
極１２’上に蒸着させて第２の絶縁膜１３’を堆積す
る。このように、銀電極１２、１２’上に絶縁膜１３、
１３’を堆積することにより、銀電極１２、１２’の実
質的な質量を増加させることとなり、水晶振動子２５の
周波数は絶縁膜１３、１３’の堆積量に応じて変化す
る。
【００１７】図５に示す工程では、ケース３０の端子３
３は周波数測定部３４に接続されており、第２の絶縁膜
１３’を堆積する過程で連続的に水晶振動子２５の周波
数を測定する。測定された周波数が設定周波数に一致し
たならば、シャッタ駆動装置１７によりシャッタ１６を
閉じて、珪素酸化物２３ａの蒸着を停止する。これによ
り、水晶振動子２５の周波数が設定周波数に調整され
る。このとき、銀電極１２、１２’上に堆積される絶縁
膜１３、１３’によって銀電極１２、１２’のキャパシ
タンスが変化しない、水晶振動子２５の発振特性が変化
することがない。
３は周波数測定部３４に接続されており、第２の絶縁膜
１３’を堆積する過程で連続的に水晶振動子２５の周波
数を測定する。測定された周波数が設定周波数に一致し
たならば、シャッタ駆動装置１７によりシャッタ１６を
閉じて、珪素酸化物２３ａの蒸着を停止する。これによ
り、水晶振動子２５の周波数が設定周波数に調整され
る。このとき、銀電極１２、１２’上に堆積される絶縁
膜１３、１３’によって銀電極１２、１２’のキャパシ
タンスが変化しない、水晶振動子２５の発振特性が変化
することがない。
【００１８】次に、ケース３０は真空チャンバ１４から
取出され、蓋部材３５と組合わされた後に、図６に示す
ように、溶着装置のチャンバ３７内に搬入され、セット
される。ここで、チャンバ３７は排気孔３９より排気さ
れ、ガス供給孔４０から窒素ガスが導入されて無酸素雰
囲気となる。この状態でケース３０と蓋部材３５を２つ
の電極３６によって挟み込んで加圧するとともに、電源
３８により電極３６間に通電させてケース３０と蓋部材
３５の接触面を溶着させる。この後ケース３０をチャン
バ３７から取出して、水晶振動子２５が完成する。
取出され、蓋部材３５と組合わされた後に、図６に示す
ように、溶着装置のチャンバ３７内に搬入され、セット
される。ここで、チャンバ３７は排気孔３９より排気さ
れ、ガス供給孔４０から窒素ガスが導入されて無酸素雰
囲気となる。この状態でケース３０と蓋部材３５を２つ
の電極３６によって挟み込んで加圧するとともに、電源
３８により電極３６間に通電させてケース３０と蓋部材
３５の接触面を溶着させる。この後ケース３０をチャン
バ３７から取出して、水晶振動子２５が完成する。
【００１９】（実施の形態２）図７、図８、図９、図１
０は本発明の実施の形態２の真空蒸着装置の断面図、図
１１は同水晶振動子およびケースの断面図、図１２は同
ドライエッチング装置の断面図である。実施の形態１
は、水晶板１１の第２の銀電極１２’上に第２の絶縁膜
１３’を堆積する過程で周波数を調整するものである
が、本実施の形態２は、水晶板の両面に形成された銀電
極１２、１２’上に予め絶縁膜１３、１３’を堆積して
おき、一方の面の絶縁膜１３’をドライエッチングによ
り除去する過程で周波数を調整するものである。
０は本発明の実施の形態２の真空蒸着装置の断面図、図
１１は同水晶振動子およびケースの断面図、図１２は同
ドライエッチング装置の断面図である。実施の形態１
は、水晶板１１の第２の銀電極１２’上に第２の絶縁膜
１３’を堆積する過程で周波数を調整するものである
が、本実施の形態２は、水晶板の両面に形成された銀電
極１２、１２’上に予め絶縁膜１３、１３’を堆積して
おき、一方の面の絶縁膜１３’をドライエッチングによ
り除去する過程で周波数を調整するものである。
【００２０】以下、実施の形態２の水晶振動子の製造方
法について説明する。まず、図７に示すように、実施の
形態１の図１に示す工程と同様に、水晶板１１の片面に
銀電極１２が形成される。次いで、図８に示すように、
実施の形態１の図２に示す工程と同様に、銀電極１２上
に絶縁膜１３が堆積される。次いで、図９，図１０に示
すように、水晶板１１の表裏が反転され、反対面に図
７，図８で示す工程と同様に銀電極１２’が形成され、
銀電極１２’の上に絶縁膜１３’が堆積される。このと
き、絶縁膜１３’の膜厚は周波数調整用として所定の膜
圧より幾分厚目に堆積される。
法について説明する。まず、図７に示すように、実施の
形態１の図１に示す工程と同様に、水晶板１１の片面に
銀電極１２が形成される。次いで、図８に示すように、
実施の形態１の図２に示す工程と同様に、銀電極１２上
に絶縁膜１３が堆積される。次いで、図９，図１０に示
すように、水晶板１１の表裏が反転され、反対面に図
７，図８で示す工程と同様に銀電極１２’が形成され、
銀電極１２’の上に絶縁膜１３’が堆積される。このと
き、絶縁膜１３’の膜厚は周波数調整用として所定の膜
圧より幾分厚目に堆積される。
【００２１】次に、このようにして水晶板１１の両面に
銀電極１２、１２’および絶縁膜１３、１３’が堆積さ
れた水晶振動子２５’は、図１１に示すようにピックア
ップヘッド３３にてケース３０内に搭載される。このと
き、所定膜厚より厚めに堆積された絶縁膜１３’が上向
きとなるように水晶振動子２５’の面が区別されてケー
ス２０内に装着される。また、２つの銀電極１２、１
２’は、それぞれリード線３１によりケース３０の端子
３３に接続される。
銀電極１２、１２’および絶縁膜１３、１３’が堆積さ
れた水晶振動子２５’は、図１１に示すようにピックア
ップヘッド３３にてケース３０内に搭載される。このと
き、所定膜厚より厚めに堆積された絶縁膜１３’が上向
きとなるように水晶振動子２５’の面が区別されてケー
ス２０内に装着される。また、２つの銀電極１２、１
２’は、それぞれリード線３１によりケース３０の端子
３３に接続される。
【００２２】この後、ケース３０は、ドライエッチング
装置に送られる。図１２において、真空チャンバ４０の
上部にはイオンガン４１が装着されている。イオンガン
４１は真空チャンバ４０内にアルゴンなどのイオンを発
射する。図１２に示すように、ケース３０はイオンガン
４１の下方に装着され、排気孔４２より排気して真空チ
ャンバ４０内を減圧した後に、イオンガン４１を駆動し
てケース３０内の水晶振動子２５’に対してアルゴンな
どのイオンが発射される（矢印ａ参照）。これにより、
水晶振動子２５’の上面の絶縁膜１３’にイオンが衝突
し、絶縁膜１３’の表面の粒子を飛散させて除去する
（矢印ｂ参照）。
装置に送られる。図１２において、真空チャンバ４０の
上部にはイオンガン４１が装着されている。イオンガン
４１は真空チャンバ４０内にアルゴンなどのイオンを発
射する。図１２に示すように、ケース３０はイオンガン
４１の下方に装着され、排気孔４２より排気して真空チ
ャンバ４０内を減圧した後に、イオンガン４１を駆動し
てケース３０内の水晶振動子２５’に対してアルゴンな
どのイオンが発射される（矢印ａ参照）。これにより、
水晶振動子２５’の上面の絶縁膜１３’にイオンが衝突
し、絶縁膜１３’の表面の粒子を飛散させて除去する
（矢印ｂ参照）。
【００２３】この絶縁膜１３’を除去する過程におい
て、ケース３０の端子３３に接続された周波数測定部４
３により、水晶振動子２５’の周波数が測定される。絶
縁膜１３’は予め所定膜厚より厚めに堆積されているの
で、絶縁膜１３’がドライエッチングにより徐々に除去
される過程のある時点で、水晶振動子２５’の周波数は
設定周波数と一致する。そして測定周波数が設定周波数
に一致したならば、イオンガン４１の駆動を停止する。
これにより、水晶振動子２５’の周波数は設定周波数に
調整される。この後の工程については、実施の形態１と
同様である。
て、ケース３０の端子３３に接続された周波数測定部４
３により、水晶振動子２５’の周波数が測定される。絶
縁膜１３’は予め所定膜厚より厚めに堆積されているの
で、絶縁膜１３’がドライエッチングにより徐々に除去
される過程のある時点で、水晶振動子２５’の周波数は
設定周波数と一致する。そして測定周波数が設定周波数
に一致したならば、イオンガン４１の駆動を停止する。
これにより、水晶振動子２５’の周波数は設定周波数に
調整される。この後の工程については、実施の形態１と
同様である。
【００２４】上記実施の形態１、実施の形態２によれ
ば、水晶板１１の表裏２面の銀電極１２、１２’上に絶
縁膜１３、１３’を堆積して水晶振動子２５の周波数を
調整することにより、銀電極１２、１２’のキャパシタ
ンスを変化させることなく、周波数調整を行うことがで
きる。また、絶縁膜１３、１３’によって銀電極１２、
１２’を保護することにより、銀電極１２は外部雰囲気
から遮断され、酸化や水分吸着によって質量が経時変化
することがない。また外部雰囲気と触れる絶縁膜１３、
１３’は化学的に安定であるため表面の変質がなく、化
学吸着もきわめて小さいため質量変化はほとんどなく、
したがって水晶振動子の周波数の経時変化はきわめて小
さく、発振特性の劣化がない。
ば、水晶板１１の表裏２面の銀電極１２、１２’上に絶
縁膜１３、１３’を堆積して水晶振動子２５の周波数を
調整することにより、銀電極１２、１２’のキャパシタ
ンスを変化させることなく、周波数調整を行うことがで
きる。また、絶縁膜１３、１３’によって銀電極１２、
１２’を保護することにより、銀電極１２は外部雰囲気
から遮断され、酸化や水分吸着によって質量が経時変化
することがない。また外部雰囲気と触れる絶縁膜１３、
１３’は化学的に安定であるため表面の変質がなく、化
学吸着もきわめて小さいため質量変化はほとんどなく、
したがって水晶振動子の周波数の経時変化はきわめて小
さく、発振特性の劣化がない。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、水晶板の表裏２面の銀
電極上に絶縁膜を堆積して水晶振動子の周波数を調整す
ることにより、銀電極のキャパシタンスを変化させるこ
となく、周波数調整を行うことができる。このとき、水
晶板の表裏両面に形成される銀電極を両面とも絶縁膜に
よって覆い外部雰囲気から遮断して保護するので、銀電
極の酸化や水分吸着によって重量が経時変化せず、また
絶縁膜は化学的に安定であるため質量変化はほとんどな
く、したがって水晶振動子の周波数の経時変化をきわめ
て小さくし、発振特性の劣化を防止することができる。
電極上に絶縁膜を堆積して水晶振動子の周波数を調整す
ることにより、銀電極のキャパシタンスを変化させるこ
となく、周波数調整を行うことができる。このとき、水
晶板の表裏両面に形成される銀電極を両面とも絶縁膜に
よって覆い外部雰囲気から遮断して保護するので、銀電
極の酸化や水分吸着によって重量が経時変化せず、また
絶縁膜は化学的に安定であるため質量変化はほとんどな
く、したがって水晶振動子の周波数の経時変化をきわめ
て小さくし、発振特性の劣化を防止することができる。
【図１】本発明の実施の形態１の真空蒸着装置の断面図
【図２】本発明の実施の形態１の真空蒸着装置の断面図
【図３】本発明の実施の形態１の真空蒸着装置の断面図
【図４】本発明の実施の形態１の水晶振動子およびケー
スの断面図
スの断面図
【図５】本発明の実施の形態１の真空蒸着装置の断面図
【図６】本発明の実施の形態１の水晶振動子のケースの
溶着装置の断面図
溶着装置の断面図
【図７】本発明の実施の形態２の真空蒸着装置の断面図
【図８】本発明の実施の形態２の真空蒸着装置の断面図
【図９】本発明の実施の形態２の真空蒸着装置の断面図
【図１０】本発明の実施の形態２の真空蒸着装置の断面
図
図
【図１１】本発明の実施の形態２の水晶振動子およびケ
ースの断面図
ースの断面図
【図１２】本発明の実施の形態２のドライエッチング装
置の断面図
置の断面図
【図１３】従来の水晶振動子の周波数調整装置の断面図
【図１４】従来の周波数調整後の水晶振動子の斜視図
１１ 水晶板 １２、１２’ 銀電極 １３、１３’ 絶縁膜 １４、４０ 真空チャンバ １５ マスク １６ シャッタ １９ 蒸発源 ２２、２２ａ 銀 ２３、２３ａ 酸化珪素 ２５、２５’ 水晶振動子 ３０ ケース ３４、４３ 周波数測定部
Claims (3)
- 【請求項１】水晶板の表面と裏面に電極を形成してなる
水晶振動子であって、前記２面に形成された電極上に絶
縁膜が堆積され前記電極が外部雰囲気から遮断されてい
ることを特徴とする水晶振動子。 - 【請求項２】水晶板の一方の面に第１の電極を形成する
工程と、第１の電極の表面に第１の絶縁膜を堆積する工
程と、前記水晶板の他方の面に第２の電極を形成して水
晶振動子とする工程と、この水晶振動子をケース内に搭
載する工程と、第２の電極の表面に絶縁膜を堆積するこ
とにより前記水晶振動子の周波数調整を行う工程と、前
記水晶振動子が搭載されたケースに蓋を固着する工程と
を含むことを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 【請求項３】水晶板の両面に電極を形成する工程と、こ
の両面に形成された電極の表面に絶縁膜を堆積して水晶
振動子とする工程と、前記水晶振動子をケース内に搭載
する工程と、前記水晶振動子の絶縁膜の一方の面をドラ
イエッチングすることにより前記水晶振動子の周波数調
整を行う工程と、前記水晶振動子が搭載されたケースに
蓋を固着する工程とを含むことを特徴とする水諸振動子
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22603897A JPH1168501A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 水晶振動子および水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22603897A JPH1168501A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 水晶振動子および水晶振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1168501A true JPH1168501A (ja) | 1999-03-09 |
Family
ID=16838812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22603897A Pending JPH1168501A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 水晶振動子および水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1168501A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008022184A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片及び圧電振動片の製造方法、圧電振動子、並びに、圧電振動子を備える発振器、電子機器、及び電波時計 |
| JP2010158083A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Chuo Univ | 超音波モータ |
| JP2013143640A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動子及び水晶振動子の製造方法 |
| JP5400898B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-01-29 | 日本電波工業株式会社 | エージング特性に優れる振動子用電極材料及び該材料を用いた圧電振動子並びに該材料からなるスパッタリングターゲット |
| CN108239743A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-07-03 | 池州市正彩电子科技有限公司 | 一种石英晶振片的制备方法 |
| WO2022080426A1 (ja) * | 2020-10-13 | 2022-04-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動素子および水晶振動子 |
-
1997
- 1997-08-22 JP JP22603897A patent/JPH1168501A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008022184A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片及び圧電振動片の製造方法、圧電振動子、並びに、圧電振動子を備える発振器、電子機器、及び電波時計 |
| JP2010158083A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Chuo Univ | 超音波モータ |
| JP5400898B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-01-29 | 日本電波工業株式会社 | エージング特性に優れる振動子用電極材料及び該材料を用いた圧電振動子並びに該材料からなるスパッタリングターゲット |
| JP2013143640A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動子及び水晶振動子の製造方法 |
| CN108239743A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-07-03 | 池州市正彩电子科技有限公司 | 一种石英晶振片的制备方法 |
| WO2022080426A1 (ja) * | 2020-10-13 | 2022-04-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動素子および水晶振動子 |
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