JPH1166780A

JPH1166780A - 制振材およびそれを用いたヘッドサスペンション

Info

Publication number: JPH1166780A
Application number: JP21432697A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Iida; 博之飯田; Masao Nakamura; 正雄中村
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1997-08-08
Filing date: 1997-08-08
Publication date: 1999-03-09

Abstract

(57)【要約】【課題】打ち抜き加工性に優れ、しかも糊はみ出しの発
生が抑制された制振材およびこれを用いたヘッドサスペ
ンションを提供する。【解決手段】プラスチックフィルムからなる拘束体５に
粘弾性層状体６を積層して制振材とした。しかも、上記
拘束体５の少なくとも片面に、粘弾性層状体６との接着
性を向上させる表面処理を施した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク装置のヘ
ッドサスペンションに貼着される制振材およびそれを用
いたヘッドサスペンションに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ハードディスクドライブ，光磁気ディス
クドライブ等の記録ディスクを回転駆動させるディスク
装置において、情報の読み書きを行うヘッド部は、一般
に図２（ａ）に示すように、磁気ヘッド，光学ヘッドと
いったヘッド１と、これを支受するヘッドサスペンショ
ン２とで構成されている。なお、３は上記ヘッドサスペ
ンションを固定する取り付けブロックである。

【０００３】上記ヘッド部は、回転するディスクからの
風圧やヘッド１の駆動装置やディスクを回転駆動させる
ためのモータ等から振動を受けるため、これにより、板
バネ等で形成されたヘッドサスペンション２が変形し、
ヘッド１の位置がずれて読み取り誤差や書き込み誤差が
生じやすい。

【０００４】そこで、ヘッドサスペンション２における
振動を減少ないし除去するために、図２（ｂ）に示すよ
うに、拘束体と粘弾性層状体とを積層してなる制振材４
を、ヘッドサスペンション２に貼着する方法が提案され
ている（特公平４−８８６８号公報）。この方法によれ
ば、振動するヘッドサスペンション２と拘束体との間に
挟まれた粘弾性層状体がヘッドサスペンション２の振動
変形に伴って変形し内部抵抗（分子の摩擦）を生じ、振
動エネルギーを熱エネルギーに変換するため、ヘッドサ
スペンション２が直接受ける振動エネルギーが大幅に減
少されるという制振効果が得られる。

【０００５】上記制振効果を高めるには、拘束体の剛性
が高いことが重要であり、通常、拘束体としては、ステ
ンレス等の金属板が用いられている。また、粘弾性層状
体としては、粘着剤やゴム等が用いられている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、拘束体
が金属製の制振材は、制振特性には優れている反面、剛
性が高いため、ヘッドサスペンション２のばねとしての
特性を阻害する恐れがある。また、拘束体には、ヘッド
サスペンション２の形状に応じた形状とするために打ち
抜き加工が必要であるが、その打ち抜き加工によって加
工端面に金属特有のバリが発生することから、微細な打
ち抜き加工を行うことが困難であるという問題を有す
る。また、拘束体の重量が重いため軽量化が困難にな
る、という問題もある。さらに、材料コストが高くなる
という問題もある。

【０００７】このような問題を解決するために、例え
ば、ヘッドサスペンション２のばねとしての特性を阻害
することなく、しかも微細な打ち抜き加工を行うことが
できるとして、拘束体にプラスチックフィルムを用いた
制振材が提案されている。しかし、通常、プラスチック
フィルムは、粘弾性層状体であるゴムや粘着剤との接着
性に劣り、これが原因となって、打ち抜き加工の際に、
製品の厚さ方向に圧力が加わるとプラスチックフィルム
と粘弾性層状体との間で層間剥離が生起し、糊はみ出し
（打ち抜き加工の際にプラスチックフィルムから粘弾性
層状体がはみ出すこと）が発生するという問題がある。
例えば、この糊はみ出しにより、異物の付着や寸法不良
という問題が生起する。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、打ち抜き加工性に優れ、しかも糊はみ出しの発
生が抑制された制振材およびこれを用いたヘッドサスペ
ンションの提供をその目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、ディスク装置のヘッドサスペンションに
貼着して使用される制振材であって、プラスチックフィ
ルムからなる拘束体と粘弾性層状体とを積層した積層体
により形成され、上記拘束体の少なくとも片面に、粘弾
性層状体との接着性を向上させる表面処理を施した制振
材を第１の要旨とする。そして、ディスク装置のヘッド
部に用いられるヘッドサスペンションであって、上記ヘ
ッドサスペンションの少なくとも一部分に、下記の制振
材（Ａ）が貼着されているヘッドサスペンションを第２
の要旨とする。（Ａ）プラスチックフィルムからなる拘束体と粘弾性層
状体とを積層した制振材であって、上記拘束体の少なく
とも片面に、粘弾性層状体との接着性を向上させる表面
処理が施されている。

【００１０】

【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態につ
いて説明する。

【００１１】本発明の制振材は、例えば、図１に示すよ
うに、プラスチックフィルムからなる拘束体５と、粘着
剤からなる粘弾性層状体６とが積層一体化されたもので
ある。さらに、上記拘束体５と粘弾性層状体６との接着
性が向上するよう、上記粘弾性層状体６が積層された拘
束体５面が表面処理されており、この表面処理を施すこ
とが本発明の最大の特徴である。

【００１２】上記拘束体５のプラスチックフィルムは、
特に限定されるものではないが、弾性率が高いほど制振
特性に優れることから、ＪＩＳＫ７１２７による弾
性率が３００ｋｇ／ｍｍ²以上のものを用いることが好
ましい。そして、上記プラスチックフィルムとしては、
例えば、ポリイミド樹脂、二軸延伸ポリエチレンテレフ
タレート（ＰＥＴ）、二軸延伸ポリプロピレン、アラミ
ド樹脂等があげられる。さらに、弾性率を上げるため
に、アルミナ，窒化ホウ素，窒化ケイ素等の無機フィラ
ーや、アルミニウム，鉄等の金属粉が配合されたプラス
チックフィルムを用いてもよい。上記充填材としては、
プラスチックフィルムより弾性率が高いものであれば上
記無機フィラーや金属粉以外のもの、例えば、有機系化
合物を用いてもよい。

【００１３】そして、上記ポリイミドフィルムの厚さ
は、特に限定されるものではないが、通常、２０〜２０
０μｍに設定することが好適である。すなわち、厚さが
２０μｍ未満では、拘束体としての効果が乏しくなる傾
向がみられ、２００μｍを超えるとヘッドサスペンショ
ンのばねとしての特性を阻害する傾向がみられるからで
ある。

【００１４】つぎに、プラスチックフィルムからなる拘
束体５の少なくとも片面を表面処理する際の処理方法と
しては、特に限定するものではないが、例えば、コロナ
処理，プラズマ処理，スパッタ処理，エッチング処理等
の化学的な処理方法があげられる。また、表面の粗面化
により表面積を増やしてアンカー（投錨）効果を得るサ
ンドブラスト処理等の物理的な処理方法があげられる。
このような処理方法によって、表面の粗面化や親水性官
能基の導入がなされるため、粘弾性層状体６との接着力
が向上することとなる。さらに、上記表面処理方法とし
て、上記化学的処理方法および物理的処理方法以外に、
プラスチックフィルムからなる拘束体５表面にプライマ
ーを塗工してプライマー層を形成してもよい。上記プラ
イマー層形成材料としては、特に限定するものではない
が、アクリル酸−アクリル酸ブチル共重合体、アクリル
酸−アクリル酸２エチルヘキシル共重合体等のアクリル
系粘着剤が好ましい。これら表面処理方法は、各処理方
法単独によるものに限定するものではなく、２種以上の
表面処理方法を併用してもよい。そして、このような表
面処理方法のなかでも、接着力の向上という点から、表
面処理方法としてスパッタ処理，プラズマ処理，コロナ
処理が好ましい。これら表面処理方法は、連続操作，バ
ッチ操作等適宜に行われ、その処理条件も、各処理方法
により適宜に設定される。

【００１５】例えば、上記表面処理方法のうち、スパッ
タ処理は、０．００１〜１Ｔｏｒｒ程度の減圧下におい
て、電極間にグロー放電を行い、その間に材料（拘束
体）を置くことによって表面処理がなされる。このと
き、導入ガスとして、酸素，窒素または親水性官能基を
有するポリマー等を用いると、親水性の官能基が上記材
料に導入される。

【００１６】また、上記コロナ処理は、例えば、大気圧
程度の圧力下にて電極間にコロナ放電を行い、その間に
材料（拘束体）を置くことによって表面処理がなされ
る。このコロナ放電は、通常、空気中で行われる。

【００１７】また、上記粘弾性層状体６の形成材料とし
ては、特に限定するものではないが、一般に制振特性お
よび耐熱性に優れたアクリル系粘着剤を用いることが好
ましい。例えばハードディスクドライブの場合、装置稼
働時の内部温度は５０〜６０℃に達することがあるた
め、ブチル系の粘着剤等、耐熱性が不充分なものは熱変
形するおそれがある。また、耐熱性粘着剤としてシリコ
ーン系粘着剤が知られているが、ハードディスク等で
は、記憶面を汚染するおそれがあるため、これも本発明
の分野においては通常使用しない。

【００１８】上記アクリル系粘着剤としては、例えば特
開平５−１３２６５８号公報に開示されている方法によ
って得られるものがあげられる。この方法は、アクリル
酸アルキルエステルモノマーとカルボキシル基を有する
モノマーに、光重合開始剤，架橋剤を混合し、紫外線照
射することによりテープ状の接着剤を得る方法である。
なお、上記アクリル酸アルキルエステルモノマーとして
は、通常、炭素数が８〜１２のアルキル基を有するもの
が用いられる。

【００１９】上記の方法により得られる粘着剤により形
成される粘弾性層状体６の厚さは、特に限定されるもの
ではないが、通常、３０〜２５０μｍに設定することが
好適である。すなわち、厚さが３０μｍ未満では、制振
効果が乏しくなる傾向がみられ、２５０μｍより厚い
と、ヘッドサスペンションのばねとしての特性を阻害す
る傾向がみられるからである。

【００２０】本発明の制振材は、例えば、つぎのように
して得ることができる。すなわち、まず、拘束体５の少
なくとも片面を先に述べた各種処理方法により表面処理
する。ついで、上記拘束体５の表面処理された面と粘弾
性層状体６とが対峙するよう位置決めして適宜の方法で
積層一体化することにより得ることができる。具体的に
は、両者を、対設されたゴム製のロール間を通過させて
圧着する方法や、両者を積層してプレスで加圧する方法
等があげられる。さらに、上記拘束体５の表面処理され
た面に直接粘着剤を塗工し乾燥させることにより粘弾性
層状体６を形成する方法があげられる。

【００２１】このようにして得られる制振材は、金属製
の拘束体を用いた制振材と同等の制振特性を備えてい
る。しかも、重量が軽量で、材料コストが安いだけでな
く、微細な打ち抜き加工においてバリが発生しにくいと
いう利点を有する。そして、拘束体５と粘弾性層状体６
との接着性が向上し、打ち抜き加工の際に、両者の間で
層間剥離が生じない。

【００２２】そして、例えば、上記制振材を用い、この
制振材の粘弾性層状体６の有する接着作用を利用して、
図２（ｂ）に示すように、粘弾性層状体６を介して制振
材をヘッドサスペンション２の中央面に貼着することに
より、ヘッド１による読み取り，書き込みの誤差を有効
に防止することのできる優れたヘッドサスペンション２
を得ることができる。なお、上記制振材は、上記のよう
に、ヘッドサスペンション２の中央面に貼着するだけで
なく、左右の側面や裏面等、適宜の面に全面的あるいは
部分的に貼着することができる。また、上記制振材をヘ
ッドサスペンション２に貼着する際、上記のように、粘
弾性層状体６の接着作用を利用して貼着する以外に、制
振材の片面に新たに接着剤層を形成し、この接着剤層を
介して制振材をヘッドサスペンション２に貼着してもよ
い。上記接着剤層形成材料としては、特に限定するもの
ではなく、従来公知の各種の接着剤を用いることがで
き、例えば、接着対象となるヘッドサスペンション２の
材質に合わせて適宜に選択される。

【００２３】つぎに、実施例について比較例と併せて説
明する。

【００２４】

【実施例１】厚さ５０μｍのポリイミドフィルム（ユー
ピレックス５０Ｓ、宇部興産社製：弾性率６５０ｋｇ／
ｍｍ²）の片面に、下記に示す条件でスパッタ処理を行
った。このときの導入ガスは酸素を用いた。つぎに、上
記処理されたポリイミドフィルムの処理面と、厚さ１２
５μｍのアクリル系粘着剤からなる層状体とを、対設さ
れたゴムロール間を通過させることにより貼り合わせ積
層シートを得た。ついで、得られたこの積層シートを、
高速プレス機で２ｍｍ角に打ち抜き加工して、目的とす
る制振材を得た。

【００２５】〔スパッタ処理条件〕放電エネルギー：１０００Ｗ／ｍ² 処理時間：１０秒処理気圧：０．１Ｔｏｒｒ導入ガス：酸素

【００２６】

【実施例２】厚さ５０μｍのＰＥＴフィルム（ルミラー
Ｓ１０、東レ社製：弾性率４００ｋｇ／ｍｍ²）の片面
に、下記に示す条件でコロナ処理を行った。それ以外は
実施例１と同様にして目的とする制振材を得た。

【００２７】〔コロナ処理条件〕放電エネルギー：１０００Ｗ／ｍ² 処理時間：３０秒処理気圧：大気圧（１気圧＝７６０Ｔｏｒｒ）雰囲気：空気中

【００２８】

【実施例３】厚さ２５μｍのポリイミドフィルム（ユー
ピレックス２５Ｓ、宇部興産社製：弾性率６５０ｋｇ／
ｍｍ²）の片面に、下記に示す条件でプラズマ処理を行
った。それ以外は実施例１と同様にして目的とする制振
材を得た。

【００２９】〔プラズマ処理条件〕放電エネルギー：４０００Ｗ／ｍ² 処理時間：２０秒処理気圧：０．０７Ｔｏｒｒ導入ガス：酸素

【００３０】

【比較例１】厚さ５０μｍのポリイミドフィルム（ユー
ピレックス５０Ｓ、宇部興産社製：弾性率６５０ｋｇ／
ｍｍ²）を用い、スパッタ処理を行わなかった。それ以
外は実施例１と同様にして、目的とする制振材を得た。

【００３１】

【比較例２】拘束体として、厚さ２５μｍのステレンス
板ＳＵＳ３０４（表面処理なし）を用いた。それ以外は
上記実施例１と同様にして、目的とする制振材を得た。

【００３２】これらの実施例品，比較例品について、後
記の表１に示す項目に関して評価し、同表にその結果を
まとめた。なお、制振特性と、打ち抜き加工で生じるバ
リ高さと、弾性率については、下記の方法に従って評価
した。

【００３３】〔打ち抜き加工で生じるバリ高さ〕２ｍｍ
角に打ち抜いた試料（制振材）からアクリル系粘着剤を
除去し、拘束体の打ち抜き面の厚さをダイヤルゲージで
測定した。そして、打ち抜き前の拘束体の厚さとの差を
算出し、バリ高さとした。

【００３４】〔投錨力〕背面にバッキング材を貼った粘
着剤（実施例１で使用したアクリル系粘着剤と同一）
を、２ｋｇローラにて表面処理された試料表面に貼っ
た。３０分後、１８０°ピールにして引き剥がして、試
料との接着力を測定した。

【００３５】〔糊はみ出し〕目視にて、プラスチックフ
ィルム（比較例２はステンレス板）から粘弾性体のはみ
出しが確認されたものをカウントした。

【００３６】〔制振特性〕厚さ５０μｍの基材（ステン
レス板、ＳＵＳ３０４）に試料（制振材）を貼着し、６
０℃に設定された恒温槽中で加振機によって周波数５ｋ
Ｈｚの振動を与え、損失係数を半値幅法により求めた。
損失係数が０．３以上であれば、実用上の制振特性を備
えており、本発明の目的を達しているといえる。したが
って、０．３以上のものを○、特に０．１以上のものを
◎、０．０１以上のものを△として評価した。

【００３７】〔総合評価〕下記の基準により総合的に評
価した。 ◎：糊はみ出しがなく、他の特性においても特に優れた
もの ○：糊はみ出しはないが、他の特性が上記◎の場合より
若干劣っているもの △：諸特性は特に問題はなく良好であったが、糊はみ出
しが確認されたもの、または糊はみ出しはないが、他の
特性が極めて劣っているもの

【００３８】

【表１】＊：１０００個中、糊はみ出しの生じた個数を示した（個／１０００個）。

【００３９】上記表１から、拘束体であるプラスチック
フィルム表面に何らかの表面処理を施して得られた各実
施例品は、バリ高さが小さく、かつ投錨力が高く、糊は
み出しが全く発生せず、しかも制振特性に関しても優れ
たものであった。これに対して、表面処理を施さなかっ
た比較例１品はバリ高さは小さかったが、投錨力が低
く、糊はみ出しが発生した。また、拘束体としてステン
レス板を使用した比較例２品は、制振特性に優れ、しか
も投錨力が高く糊はみ出しは生じなかったが、バリ高さ
が極端に大きく、加工性に乏しいことがわかる。

【００４０】

【発明の効果】以上のように、本発明の制振材は、拘束
体として少なくとも片面に、粘弾性層状体との接着性を
向上させる表面処理が施されたプラスチックフィルムを
用いているため、拘束体と粘弾性層状体との接着力が向
上し、結果、微細な打ち抜き加工の際に拘束体と粘弾性
層状体との間で層間剥離が生じず、加工性が向上し糊は
み出しの発生を有効に防止することができる。また、拘
束体としてプラスチックフィルムを用いるため、打ち抜
き加工においてバリが発生しにくいという利点を有して
いる。そして、上記制振材を、ヘッドサスペンションの
少なくとも一部分に貼着することにより、ヘッドサスペ
ンションの受ける振動を大幅に減少ないしは除去するこ
とができ、ヘッドによる読み取り，書き込みの誤差を有
効に防止することができる。

【００４１】特に、上記拘束体の少なくとも片面に施す
表面処理としては、コロナ処理，プラズマ処理，スパッ
タ処理，エッチング処理，サンドブラスト処理およびプ
ライマー処理からなる群から選ばれた少なくとも一つの
処理があげられ、このような処理を施すことにより、そ
の表面が粗面加工され、また親水性官能基の導入によ
り、拘束体と粘弾性層状体との接着力がより一層向上す
ることとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の制振材の構成を示す説明図である。

【図２】（ａ）は従来のヘッドサスペンションを示し、
（ｂ）は上記ヘッドサスペンションに制振材を貼着した
状態を示している。

【符号の説明】

５拘束体６粘弾性層状体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ディスク装置のヘッドサスペンションに
貼着して使用される制振材であって、プラスチックフィ
ルムからなる拘束体と粘弾性層状体とを積層した積層体
により形成され、上記拘束体の少なくとも片面に、粘弾
性層状体との接着性を向上させる表面処理を施したこと
を特徴とする制振材。
【請求項２】上記表面処理が、コロナ処理，プラズマ
処理，スパッタ処理，エッチング処理，サンドブラスト
処理およびプライマー処理からなる群から選ばれた少な
くとも一つの処理である請求項１記載の制振材。
【請求項３】ディスク装置のヘッド部に用いられるヘ
ッドサスペンションであって、上記ヘッドサスペンショ
ンの少なくとも一部分に、下記の制振材（Ａ）が貼着さ
れていることを特徴とするヘッドサスペンション。（Ａ）プラスチックフィルムからなる拘束体と粘弾性層
状体とを積層した制振材であって、上記拘束体の少なく
とも片面に、粘弾性層状体との接着性を向上させる表面
処理が施されている。