WO2004040572A1

WO2004040572A1 - 磁気ヘッド用アクチュエータ及び磁気ディスク装置

Info

Publication number: WO2004040572A1
Application number: PCT/JP2002/011320
Authority: WO
Inventors: Kei Funabashi; Keiji Aruga
Original assignee: Fujitsu Limited
Priority date: 2002-10-30
Filing date: 2002-10-30
Publication date: 2004-05-13
Also published as: JPWO2004040572A1; US20050152070A1; CN1650367A; US7697240B2; EP1557832A4; EP1557832A1; JP4190497B2

Abstract

本発明は、回転する磁気ディスク上でアームを駆動することにより磁気ヘッドを磁気ディスク上の所定位置に移動させる磁気へッド用アクチュエータ及び磁気ディスク装置に関し、磁気ヘッドを支持するサスペンションが設けられると共に駆動されることにより前記磁気ヘッドを移動させるアームを具備する磁気へッド用アクチュエータにおいて、前記アームの少なくとも片面に、前記アームに振動が発生するのを抑制する拘束材と、前記アームに発生した振動を吸収する粘弾性材とよりなるダンパ材を設ける。

Description

明細書磁気へッド用ァクチユエータ及び磁気デイスク装置技 fe分野

本発明は磁気へッド用ァクチユエ一タ及ぴ磁気ディスク装置に係り、特に回転する磁気ディスク上でアームを駆動することにより磁気へッドを磁気ディスク上の所定位置に移動させる磁気へッド用ァクチユエータ及び磁気ディスク装置に関する。

例えば、ハードディスクドライブ（HD D)等の磁気ディスク装置においては、磁気へッドのへッドスライダは回転してレ、る磁気ディスクの上で浮上し、この浮上した状態で磁気へッド素子は磁気ディスクに対して情報の読み出しまたは書き込みを行なう。近年、磁気ディスクの記録密度を高めるために、ヘッドスライダの浮上量を低下させることや、磁気へッド素子を小型にすること力 S進められている。このように、高記録密度ィ匕された磁気ディスクの所定の情報トラックに磁気へッド素子を正確に位置決めをするためには、磁気ディスク上を移動するアームの振動を抑制することが必要である。背景技術 '

図 1は、従来の一例である磁気ディスク装置 1を示している。同図では、カバ一を取り外した状態を示している。

磁気ディスク装置 1は、大略するとハウジング 2，磁気ディスク 3，磁気へッド用ァクチユエータ (以下、へッドアクチユエータという) 4，及びボイスコィルモータ 5等を有した構成とされている。ハウジング 2は、図示しないカバーが装着されることにより、上記の各構成要素 3， 4， 5等を保護すると共に、塵埃が外部から装置内に侵入するのを防止する。また、磁気ディスク 3は、図に現れないスピンドルモータにより所定の回転数で高速回転を行なう。

へッドアクチユエータ 4は、図 2及ぴ図 3に拡大して示すように、複数 (図示される例では 5本)のァクチユエータアーム 6が設けられた E-ブロック 1 4を有している。また、この E-ブロック 1 4の略中央には、ハウジング 2に植設されたシャフト 8が揷通される軸孔 1 2が形成されている。更に、この軸孔 1 2を挟んでァクチユエータアーム 6の配設位置と反対側には、ボイスコイルモータ 5の一部を構成するコイル 1 3が配設されている。

ァクチユエータアーム 6はアルミニウムよりなる板状部材であり、前記のように E-ブロック 1 4に設けられている。この各ァクチユエータアーム 6の先端部にはサスペンション取り付け部 1 1が形成されており、このサスペンション取り付け部 1 1に磁気へッドが搭載されたサスペンシヨン 7が取り付けられる。通常、サスペンション 7 (図 2及ぴ図 3には図示せず）は、このサスペンション取り付け部 1 1にカシメにより固定される。

ボイスコイルモータ 5は、へッドアクチユエータ 4に設けられたコイル 1 3と、磁力を発生させるマグネットと、この磁力をコイル 1 3に印加するためのヨーク 5 a等により構成されている。マグネットは、発生する磁力がコイル 1 3を貫通するよう構成されており、よってコィノレ 1 3に供給する電流の強さを可変することにより、ヘッドァクチユエータ 4にはシャフト 8を中心として回動する力が発生する。これにより、へッドアクチユエータ 4はシャフト 8を中心として回動し、ァクチユエータアーム 6の先端にサスペンション 7を介して配設された磁気へッドを磁気ディスク 3上の所定位置に移動させる。

ここで、ァクチユエータアーム 6に注目すると、ァクチユエータアーム 6には肉抜きする（図示される例ではァクチユエータアーム 6を上下に貫通している）ことにより、長楕円形状の肉抜き孔 1 5が形成されている。

このように、ァクチユエータアーム 6に肉抜き孔 1 5を形成することにより、ァクチユエータアーム 6の慣性モーメントを減らすことができる。このため、肉抜き孔 1 5を形成することにより、へッドアクチユエータ 4の高速アクセス化を可能とすることができる。

ところで、この肉抜き孔 1 5が形成されたァクチユエータアーム 6は、数 kHz から数 10kHz にかけて様々な振動モードを持っている。図 4は、その典型的な例を示している。このような振動モードに対するダンピングは、もともとァクチユエータアーム 6は金属部材の一体構造のため非常に低く、減衰定数 ζ =0.01程度（言葉を変えれば、共振時の共振倍率は 5 0倍ほどになる）であり、共振時には大きなピークとなり位置決め精度を阻害している。

一方、前記のように磁気ディスク 3の記録密度は年々倍增し、トラック密度（T P I )は年率 5 0パーセント以上向上している。トラック密度を向上させるには、位置決め精度を向上させる必要がある。最近の磁気ディスク装置 1では、トラックピッチが 0·4μ πι、許容 NRR O (振れ精度）は 5 0 nmに達している。特に、高速回転ディスク (10，000rpm,15，000rpm)では、内部で磁気ディスク 3 が高速回転することにより発生する空気流がァクチユエータアーム 6に衝突することにより、ァクチユエータアーム 6は空力加振される。この空力加振によってァクチユエータアーム 6が固有振動で励起されている様子は、図 4に矢印 A， B で示す位置（約 7.6 k H z， 12.0 k H z ) に示されている。

このように、ァクチユエータアーム 6に対して空気加振がされ、ァクチユエ一タアーム 6の固有振動で励起されると、肉抜き孔 1 5を形成することによりへッドアクチユエータ 4の高速アクセス化を図っても、ァクチユエータアーム 6の振動により位置決め精度は低下し、よつて磁気へッドを所定位置に位置決めすることができなくなってしまう。発明の開示

本発明は、上述した従来技術の問題点を解決する、磁気ヘッド用ァクチユエ一タ及ぴ磁気ディスク装置を提供することを総括的な目的としている。

本発明のより詳細な目的は、アームに対する空気加振の影響を低減しうる磁気ヘッド用ァクチユエータ及び磁気デイスク装置を提供することにある。

この目的を達成するため、本発明は、磁気ヘッドを支持するサスペンションが設けられると共に駆動されることにより前記磁気へッドを移動させるアームを具備する磁気へッド用ァクチユエータにおいて、前記アームの少なくとも片面に該アームの剛性を高めると共に該アームに発生した振動を吸収するダンパ材を設けた構成としたものである。

上記発明によれば、磁気ディスクの回転に伴い発生する空気流によりアームに加が印カ卩されたとしても、ダンパ材を設けることによりアームの剛性は高められ、またアームに宪生した振動は吸収される。このため、アームに不要振動が発生することを防止でき、よって磁気へッド用ァクチユエータによる磁気へッドの位置決めを高精度に行なうことが可能となる。

また、上記目的を達成すめたに本発明は、磁気ヘッドを支持するサスペンションが設けられると共に駆動されることにより前記磁気へッドを移動させるアームを具備する磁気へッド用ァクチユエータにおいて、前記アームの少なくとも片面に、前記アームに振動が発生するのを抑制する拘束材と、前記アームに発生した振動を吸収する粘弾性材とよりなるダンパ材を設けた構成としたものである。上記発明によれば、磁気ディスクの回転に伴い発生する空気流によりアームに加振力が印加されたとしても、ダンパ材の拘束材により振動が発生するのを抑制され、またアームに発生した振動はダンパ材の粘弾性材により吸収される。このため、アームに不要振動が発生することを防止でき、よって磁気ヘッド用ァクチユエータによる磁気へッドの位置決めを高精度に行なうことが可能となる。また、上記発明において、前記ダンパ材を前記アームの両面に対称的に配設した構成としてもよい。

この構成とすることにより、アームの両面に対称的にダンパ材を配設したため、アームのパランスが良好となり、アームに不要振動が発生することをより効果的に抑制することができる。

また、上記発明において、前記アームに肉抜きされた肉抜き部を設け、力、つ、前記ダンパ材を該肉抜き部の形成位置を含む位置に配設した構成としてもよい。この構成とすることにより、アームに肉抜きされた肉抜き部を設けることにより、アームの重量は軽減され、これに伴い慣性モーメントも小さくなるため、磁気へッド用ァクチユエータによるシーク時間の短縮を図ることができる。また、このアームの肉抜き部の形成位置を含む位置にダンノ、 °材を配設したことにより、この肉抜き部に起因して発生していた不要振動を抑制することができる。即ち、従来のように肉抜き部が露出した状態では、この肉抜き部に空気流が流入することによりアームは加振されて不要振動が発生していた。し力しながら、アームの肉抜き部の形成位置を含む位置にダンパ材を配設することにより、肉抜き部はダンパ材により塞がれる。このため、肉抜き部に空気流が流入することにより努生する不要振動を抑制することができ、よって磁気へッド用ァクチユエータによる磁気へッドの位置決めを高精度に行なうことが可能となる。

また、上記発明において、前記ダンノ材を前記アームに部分的に設けた構成としてもよい。

この構成とすることにより、ダンパ材を設ける位置及び面積により防振効果を調整することが可能となる。

また、上記発明において、前記ダンパ材をアルミニウムよりも岡 IJ性が高レ、材料により形成してもよレ、。また、前記ダンパ材をステンレス材料により形成してもよい。

この構成とすることにより、ダンパ材が高剛性を有するためアームが空気流により加振されることを確実に防止することができる。

また、上記発明において、前記アームに肉抜きされた肉抜き部を設けると共に、前記ダンパ材を該肉抜き部の形成位置を含む位置に配設し、かつ、前記ダンパ材の前記肉抜き部と対向する位置における前記粘弾性材を除去した構成としてもよい。

この構成とすることにより、組み立て時に肉抜き部に侵入した塵埃が粘弾性材に貼り付くことを防止でき、よって磁気へッド用ァクチユエータが組み込まれる磁気ディスク装置の信頼性を高めることができる。

また、上記発明において、前記アームに肉抜きされた肉抜き部を設けると共に、前記ダンノ、°材を該肉抜き部の形成位置を含む位置に配設し、力つ、前記ダンパ材の前記肉抜き部と対向する位置に開口部を形成した構成としてもよい。

上記構成とすることにより、アームの剛性を高めると共に振動の吸収を図りつつ、かつダンパ材を含めたアームの慣性モーメントを低減できる。これにより、磁気へッドの移動処理において、高速のシーク処理と高精度の位置決め処理を両立することができる。

また、上記発明において、前記粘弾性材を用いて前記サスペンションのテールを前記アームに取り付けた構成としてもよい。

上記構成とすることにより、粘弾性材を用いてサスペンションのテールをァームに取り付けたため、アームにテールを固定するための構成を別個設ける必要はなくなり、磁気へッド用ァクチユエータの構成を簡単化することができる。

また、上記の目的を達成するため、本発明は、記録媒体となる磁気ディスクと、該磁気ディスクを回転させる回転手段と、磁気へッドを支持するサスペンションが設けられると共に駆動されることにより前記磁気へッドを移動させるアームを具備する磁気へッド用ァクチユエ一タとを設けてなる磁気ディスク装置において、前記磁気へッド用ァクチユエータに設けられた前記アームの少なくとも片面にダンパ材を設けた構成としたものである。

上記発明によれば、磁気ディスクの回転に伴い発生する空気流によりアームに加振力が印加されたとしても、ダンパ材を設けることによりアームの剛性は高められ、またアームに発生した振動は吸収される。このため、アームに不要振動が発生することを防止でき、よって磁気へッド用ァクチユエータによる磁気へッドの位置決めを高精度に行なうことが可能となり、磁気ディスク装置の信頼性を高めることができる。

また、上記の目的を達成するため、本発明は、記録媒体となる磁気ディスクと、該磁気ディスクを回転させる回転手段と、磁気へッドを支持するサスペンションが設けられると共に駆動されることにより前記磁気へッドを移動させるアームを具備する磁気へッド用ァクチユエ一タとを設けてなる磁気ディスク装置において、前記磁気へッド用ァクチユエータに設けられた前記アームの少なくとも片面に、前記アームに振動が発生するのを抑制する拘束材と、前記アームに発生した振動を吸収する粘弾性材とよりなるダンパ材を設けた構成としたものである。

上記発明によれば、磁気ディスクの回転に伴い発生する空気流によりアームに加振力が印加されたとしても、ダンパ材の拘束材により振動が発生するのを抑制され、またアームに発生した振動はダンパ材の粘弾性材により吸収される。このため、アームに不要振動が発生することを防止でき、よって磁気ヘッド用ァクチユエータによる磁気へッドの位置決めを高精度に行なうことが可能となり、磁気 '装置の信頼性を高めることができる。図面の簡単な説明

本発明の他の目的、特徴及び利点は添付の図面を参照しながら以下の詳細な説明を読むことにより一層明瞭となるであろう。

図 1は、従来の一例であるへッドアクチユエータを設けた磁気ディスク装置の斜視図である。

図 2は、従来の一例であるへッドアクチユエータの平面図である。

図 3は、従来の一例であるへッドアクチユエータの正面図である。

図 4は、従来の一例であるへッドアクチユエータの振動特 I"生を示す図である。図 5は、本発明の第 1実施例であるへッドアクチユエータを設けた磁気ディスク装置の斜視図である。

図 6は、本発明の第 1実施例であるへッドアクチユエータの平面図である。図 7は、本発明の第 1実施例であるへッドアクチユエータの正面図である。図 8は、図 6における X 1—X 1線に沿う断面図である。

図 9は、本発明の第 1実施例であるへッドアクチユエータの振動特性を示す図である。 ' 図 1 0は、本発明の第 2実施例であるへッドアクチユエータの平面図である。図 1 1は、本発明の第 2実施例であるへッドアクチユエータの正面図である。図 1 2は、本発明の第 3実施例であるへッドアクチユエ一タの肉抜き孔近傍の断面図である。

図 1 3は、本発明の第 4実施例であるへッドアクチユエータの正面図である。図 1 4は、本発明の第 4実施例であるへッドアクチユエータの断面図である。図 1 5は、本発明の第 5実施例であるへッドアクチユエータの平面図である。図 1 6は、本発明の第 5実施例であるへッドアクチユエータの正面図である。図 1 7は、.本発明の第 5実施例であるへッドアクチユエ一タの肉抜き孔近傍を拡大して示す平面図である。

図 1 8は、本発明の第 6実施例であるへッドアクチユエータの平面図である。図 1 9は、図 1 8における X 2—X 2線に沿う断面図である。

図 2 0は、従来におけるテール部の固定構造を説明するための断面図である。図 ·2 1は、本発明の第 7実施例であるへッドアクチユエ一タの肉抜き孔近傍を拡大して示す平面図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

図 5は、本発明の第 1実施例であるへッドアクチユエータ 3 O Aを搭載した磁気ディスク装置 2 0を示している。尚、図 5では、カバーを取り外した状態を示している。

磁気ディスク装置 2 0は、大略するとハウジング 2 2，磁気ディスク 2 3，磁気ヘッド用ァクチユエータ（以下、ヘッドァクチユエータという） 3 0 A，及びボイスコイルモータ 2 5等を有した構成とされている。

ハウジング 2 2は、図示しないカバーが装着されることにより、上記の各構成要素 2 3， 2 5， 3 O A等を保護すると共に、塵埃が外部から装置内に侵入するのを防止する。また、磁気ディスク 2 3は、図に現れないスピンドルモータにより所定の回転数（例えば、 10，000rpm,15,000rpm) で高速回転を行なう。

へッドアクチユエータ 3 O Aは、図 6及び図 7に拡大して示すように、複数（図示される例では 5本)のァクチユエ一タアーム 2 6が設けられた E-ブロック 3 4 を有している。また、この E-ブロック 3 4の平面視した状態の略中央には、ハウジング 2 2に植設されたシャフト 2 8が揷通される軸孔 3 2が形成されている。更に、この軸孔 3 2を挟んでァクチユエータアーム 2 6の配設位置と反対側には、ボイスコイルモータ 2 5の一部を構成するコイル 3 3が配設されている。

ァクチユエ一タアーム 2 6はアルミニウムよりなる板状部材であり、 E-ブロック 3 4に設けられている。この各ァクチユエータアーム 2 6の先端部にはサスぺンシヨン取り付け部 3 1が形成されており、このサスペンシヨン取り付け部 3 1 に磁気ヘッドが搭載されたサスペンション 2 7が取り付けられる。通常、サスぺンシヨン 2 7 (図 6及ぴ図 7には図示せず) は、このサスペンシヨン取り付け部 3 1にカシメにより固定される。

また、ァクチユエータアーム 2 6には肉抜きすることにより、長楕円形状の肉抜き孔 3 5が形成されている。ここで、肉抜きとは、ァクチユエータアーム 2 6 をその厚さ方向（図 7における上下方向）に薄くして肉薄部分を形成すること、及びァクチユエータアーム 2 6に上下に貫通する孔を形成することをいう（本実施例では、上下に貫通した孔を肉抜き孔 3 5とした例を示している）。このようにして肉抜き孔 3 5を形成することによりァクチユエータアーム 2 6 の重量を軽減できるため、ァクチユエータアーム 2 6の慣性モーメントを小さくでき、よってへッドアクチユエータ 3 O Aの高速アクセス化を図ることができる。しかしながら、ァクチユエータアーム 2 6に凹部或いは孔により構成される肉抜き孔 3 5を形成することにより、磁気ディスク 2 3が高速回転することにより発生する空気流による影響を受け易くなる。即ち、ァクチユエータアーム 2 6は、空力加振が発生しやすくなる。

ボイスコイルモータ 2 5は、へッドアクチユエータ 3 O Aに設けられたコイル 3 3と、磁力を発生させるマグネット（図に現れず）と、この磁力をコイル 3 3 に印加するためのヨーク 2 5 a等により構成されている。マグネットは、発生する磁力がコイル 3 3を貫通するよう構成されており、よってコイル 3 3に供給する電流の強さを可変することにより、へッドアクチユエータ 3 O Aにはシャフト 2 8を中心として回動する力力 S発生する。これにより、ヘッドァクチユエータ 3 O Aはシャフト 2 8を中心として回動し、ァクチユエータアーム 2 6の先端にサスペンシヨン 2 7を介して配設された磁気へッドを磁気ディスク 2 3上の所定位置に移動させる。

次に、ダンパ材 4 O Aについて説明する。ダンパ材 4 O A (図 5及ぴ図 6では梨地で示す) は、本実施例ではァクチユエータアーム 2 6のサスペンション取り付け部 3 1の形成位置から軸孔 3 2の形成位置近傍まで、広く配設された構成とされている。従って、ダンパ材 4 O Aは、肉抜き孔 3 5の形成位置を含んで形成されている。これにより、ダンパ材 4 O Aは、肉抜き孔 3 5を塞いだ構成となる。更に本実施例では、図 7に示すように、ダンパ材 4 O Aをァクチユエータアーム 2 6の片面にのみ配設した構成としている。

図 8は、図 6における X I— X I線に沿う断面を示している。同図に示すように、ダンパ材 4 0 Aは拘束材 4 1と粘弾性材 4 2を積層した構成とされている。拘束材 4 1は、ァクチユエータアーム 2 6の材料であるアルミェゥムより剛性の高レ、材料により形成されている。具体的には、本実施例では拘束材 4 1は、厚さ 5 0 μ πιのステンレス板により構成している（尚、ァクチユエータアーム 2 6の厚さは、 0.9mmである）。また、粘弾性材 4 2は、厚さ 5 0 の両面接着テープ（例えば、 V EM：商品名）である。具体的には、ベースとなる樹脂テープの両面に、接着剤が塗布された構成とされている。従って、拘束材 4 1は、粘弾性材 4 2によりァクチユエータアーム 2 6に固定される。また、粘弾性材 4 2は樹脂テープがベース材となるため、樹脂テープの有する弾性により粘弾性材 4 2は振動を吸収するダンバとしても機能する。

このように、高剛性を有する拘束材 4 1と、振動吸機能を有する粘弾性材 4 2 との複合構造を有したダンパ材 4 O Aをァクチユエータアーム 2 6に設けることにより、磁気ディスク 2 3の回転に伴い発生する空気流によりァクチユエータァ —ム 2 6に加振力が印加されたとしても、ダンパ材 4 O Aによりァクチユエータアーム 2 6の剛性は高められ、またァクチユエータアーム 2 6に発生した振動は吸収される。

具体的には、空力加振力によるァクチユエータアーム 2 6に発生する振動はダンパ材 4 O Aの拘束材 4 1により抑制され、またそれでもァクチユエータアーム 2 6に発生した振動はダンパ材 4 0 Aの粘弾性材 4 2により P及収される。このため、ァクチユエータアーム 2 6に不要振動が発生することを防止でき、よってへッドアクチユエータ 3 O Aによる磁気へッドの位置決めを高精度に行なうことが可能となる。また、このへッドアクチユエータ 3 O Aを用いた磁気ディスク装置 2 0の信頼性を高めることができる。

また、上記のように本実施例では、ダンパ材 4 O Aを肉抜き孔 3 5の形成位置を含む位置に配設した構成としている。この構成することにより、肉抜き孔 3 5 に起因して発生していた不要振動を抑制することができる。

即ち、図 1〜図 3に示した従来構成構成では、肉抜き孔 1 5が露出していたため、この肉抜き孔 1 5に空気流が流入することによりァクチユエータアーム 6は加振されて不要振動が発生していた。

しかしながら、本実施例のようにァクチユエータアーム 2 6の肉抜き孔 3 5の形成位置を含む位置にダンパ材 4 O Aを配設することにより、肉抜き孔 3 5はダンノ材 4 O Aにより塞がれる。このため、肉抜き孔 3 5に空気流が流入することにより発生する不要振動を抑制することができる。図 9は、上記した本実施例で用いたダンパ材 4 O Aを配設したァクチユエータアーム 2 6の NR R Oスペクトラムを示している。尚、同図では、比較のために図 4に示した従来のァクチユエータアーム 6の NR R Oスぺクトラムも合わせて示している。

図 9において、空気加振に起因して固有振動が励起される周波数が約 7.6 k H z及び約 12.0 k H z (矢印 A， Bで示す）の特性に注目する。すると、 7.6 k H zにおいては、従来矢印 a 2で示すようにピークが発生していたのが、本実施例のようにダンパ材 4 0 Aを設けることにより矢印 a 1で示すように振動が発生していないことが判る。

また、 12.0 k H zにおいても、従来矢印 b 2で示すようにピークが発生していたのが、本実施例のようにダンパ材 4 0 Aを設けることにより矢印 b 1で示すように振動が発生していないことが判る。このように、図 9からも、ァクチユエ一タアーム 2 6にダンノ材 4 O Aを配設することにより、空気加振に起因したァクチュエータアーム 2 6の振動が抑制されていることが判る。

尚、上記した第 1実施例では、複数のァクチユエータアーム 2 6の全てにダンパ材 4 O Aを設けた構成としたが、ダンパ材 4 O Aは必ずしも全てのァクチユエータアーム 2 6に設ける必要はなく、空気加振の影響が大きいァクチユエータァーム 2 6のみに配設する構成としてもよい。

次に、本発明の第 2実施例について説明する。

図 1 0及ぴ図 1 1は、第 2実施例であるへッドアクチユエータ 3 O Cを示している。前記した第 1実施例では、ダンパ材 4 O Aをァクチユエータアーム 2 6の略全ての領域に配設した構成とした。

これに対して本実施例では、ダンパ材ダンパ材 4 0 Bをァクチユエータアーム 2 6に部分的に設けた構成としたものである。具体的には、本実施例では図 1 1 における最上部に位置するァクチユエータアーム 2 6と、最下部に位置するァクチユエータアーム 2 6に配設するダンパ材 4 0 Bを他のァクチユエータアーム 2 6に配設さるダンパ材 4 0 Aに比べて小さくした。

これにより、ダンパ材 4 0 Bが形成されたァクチユエータアーム 2 6は、図 1 0に示されるように、ァクチユエータアーム 2 6の略半分弱のみがダンパ材 4 0 Bに覆われた構成となる。このように、ダンパ材は必ずしもァクチユエ一タァーム 2 6の全面に配設する必要はなく、ァクチユエータアーム 2 6に部分的に設ける構成としてもよい。このように、ダンハ°材4 0 Bをァクチユエータアーム 2 6 に部分的に設けることにより、ダンパ材 4 0 Bを設ける位置及ぴ面積により防振効果を調整することが可能となる。

次に、本発明の第 3実施例について説明する。

図 1 2は、第 3実施例であるへッドアクチユエータ 3 0 Dを示している。前記した各実施例では、ダンパ材 4 O A, 4 O Bを構成する粘弾性材 4 2を肉抜き孔

3 5と対向する位置においても設けた構成としていた。

これに対して本実施例では、ダンパ材 4 0 Cの肉抜き孔 3 5と対向する位置における粘弾性材 4 2を除去し除去部 3 7を形成したことを特徴とするものである。この構成することにより、組み立て時に肉抜き孔 3 5に侵入した塵埃が粘弾性材

4 2に貼り付くことを防止でき、よってへッドアクチユエータ 3 0 Dが組み込まれる磁気ディスク装置の信頼性を高めることができる。

即ち、凹部或いは孔である肉抜き孔 3 5は塵埃が侵入し易く、またこの肉抜き孔 3 5と対向する位置に粘弾性材 4 2 (接着剤と等価）が設けられていた、肉抜き孔 3 5に侵入した塵埃は粘弾性材 4 2に貼り付いてしまう。そして、この状態でへッドアクチユエータが磁気ディスク装置に組み付けられると、塵埃はその後に経時的に粘弾性材 4 2から剥がれて磁気ディスク装置内で浮遊することが考えられる。このように粘弾性材から剥離した塵埃が磁気ディスク 2 3と磁気へッドとの間等に侵入した場合、記録再生特性が大きぐ劣化し、磁気ディスク装置の信頼 1·生が低下してしまうことは明白である。

しかしながら、本実施例のように肉抜き孔 3 5と対向する位置における粘弾性材 4 2を除去し除去部 3 7を形成することにより、塵埃が粘弾性材 4 2に貼り付けられることはなくなる。このため、ヘッドァクチユエータ 3 0 Dが糸且み込まれた後も磁気ディスク装置内はクリーンな状態を維持でき、よって磁気ディスク装置の信頼性を高めることができる。

次に、本発明の第 4実施例について説明する。

図 1 3及び図 1 4は、第 4実施例であるへッドアクチユエータ 3 0 Eを示している。本実施例では、係るダンパ材 4 O Aをァクチユエータアーム 2 6の両面に対称的に配設した構成としたものである。具体的には、同一形状のダンパ材 4 0 Aを、各ァクチユエータアーム 2 6の上面及ぴ下面に同一条件で配設した構成としている。

本実施例の構成とすることにより、ァクチユエータアーム 2 6の両面に対称的にダンノ、。材 4 O Aが酉 3設されるため、ァクチユエータアーム 2 6のパランスが良好となり、ァクチユエータアーム 2 6に不要振動が発生することをより効果的に抑制することができる。

次に、本発明の第 5実施例について説明する。

図 1 5及ぴ図 1 6は、第 5実施例であるへッドアクチユエータ 3 O Fを示している。上記した各実施例では、ダンパ材 4 0 A〜4 0 Cをァクチユエータアーム 2 6の上面或いは下面に配設した構成としていた。これに対して本実施例では、ダンパ材 4 0 Dをァクチユエータアーム 2 6の側面 2 6 aに配設したことを特徴としている。このダンパ材 4 0 Dは、前記した他のダンパ材 4 0 A〜4 0 Cと同様の構成であり、図 1 7に拡大して示すように、拘束材 4 1と粘弾性材 4 2とにより構成されている。

ところで、磁気ディスク 2 3が回転することによりァクチユエータアーム 2 6 に印加される空力加振力は、図 1 6に矢印 Z l， Z 2方向に印加されるばかりではなく、ァクチユエータアーム 2 6の面方向、即ち図 1 5に矢印 Y l， Υ 2方向にも印カロされる。図 1 6に矢印 Ζ 1， Ζ 2方向に印加される空力加振力を抑制するには、前記した各実施例で示したようにァクチユエータアーム 2 6の上面及ぴ下面にダンパ材 4 0 Α〜4 0 Cを設けることが有効である。しかしながら、この構成では矢印 Υ 1， Υ 2方向に印加される空力加振力に対しては十分にこれを抑制することができない。

このため本実施例では、ダンパ材 4 0 Dをァクチユエータアーム 2 6の側面 2 6 aに配設した。これにより、矢印 Y l， Υ 2方向に印加される空力加振力によりァクチユエータアーム 2 6に振動が発生することを防止できるため、ァクチュエータアーム 2 6に面方向に不要振動が発生することを抑制することができる。尚、本実施例ではァクチユエータアーム 2 6の側面 2 6 aにのみダンパ材 4 0 Dを設けた構成を示したが、これと共にァクチユエータアーム 2 6の上面及ぴ下面にダンパ材 4 0 A〜4 0 Cを設けた構成としてよいことは勿論である。

次に、本発明の第 6実施例について説明する。

図 1 8及び図 1 9は、第 6実施例であるへッドアクチユエータ 3 O Gを示している。図 1 8に示すように、ァクチユエータアーム 2 6の先端部には磁気へッド 3 8が配設されたサスペンション 2 7が固定される。

この磁気へッド 3 8は、フレキシブル配線（以下、この配線 F P Cという）を用いてサスペンション 2 7及びァクチユエータアーム 2 6を介して E-ブロック 3 4の側部まで引き出される構成とされている。この F P Cはサスペンション 2 7には接着されて一体的な構成となっている。しかるに、 F P Cのサスペンション 2 7より延出した部分 (即ち、ァクチユエータアーム 2 6に配設される部分) は、サスペンション 2 7のテール部 3 9と称せられている。

このテール部 3 9は、従来では図 2 0に示すようにァクチユエータアーム 6の側部に溝部 9を形成し、この溝部 9にはめ込むことによりサスペンションから E- ブロックまで配線する構成とされていた。しかしながら、この構成ではテール部 3 9 (フレキシブルお) が空力加振により付勢され、結果としてァクチユエ一タアーム 6に振動が発生する現象が生じていた。

そこで本実施例では、図 1 9に拡大して示すように、ダンパ材 4 0 Eをァクチユエータアーム 2 6よりも側方に延出させることにより鑠部 4 5を形成し、この鍔部 4 5にテール部 3 9を配設したことを特徴とするものである。即ち、ダンパ材 4 0 Eにァクチユエータアーム 2 6より側方に延出する鍔部 4 5を形成することにより、この鍔部 4 5の下面は粘弾性材 4 2が露出した状態となっている。本実施例では、この露出した粘弾性材 4 2にテール部 3 9を貼り付けたことを特徴としている。これにより、テール部 3 9は、粘弾性材 4 2を用いてァクチュエータアーム 2 6に取り付けられた構成となる。

この構成とすることにより、ァクチユエータアーム 2 6に従来のようにテール部 3 9を固定するための構成（溝部 9 ) を別個設ける必要はなくなり、ヘッドァクチユエータ 3 0 Gの構成を簡単化することができる。また、テール部 3 9は、高剛性を有する拘束材 4 1を有したダンパ材 4 0 Eに固定されるため、空力加振力が作用してもテール部 3 9に起因してァクチユエータアーム 2 6に不要振動が発生することを防止することができる。

次に、本発明の第 7実施例について説明する。

図 2 1は、第 7実施例であるへッドアクチユエータ 3 0 Hを示している。本実施例では、ダンパ材 4 0 Fの肉抜き孔 3 5と対向する位置に開口部 4 6を形成したことを特徴とするものである。よって、ダンパ材 4 O Fの肉抜き孔 3 5と対向する位置には、拘束材 4 1及ぴ粘弾性材 4 2のいずれも存在しない構成となる。磁気ディスク 2 3の回転数等により、肉抜き孔 3 5を通過する空気流によるァクチユエータアーム 2 6への空力加振力が小さいときには、本実施例のようにダンノ、 °材4 O Fにも開口部 4 6を形成することにより、ダンパ材 4 O Fを含めたァクチユエータアーム 2 6の生モーメントを低減できる。また、ァクチユエータアーム 2 6の肉抜き孔 3 5の形成位置以外の部位は、ダンパ材 4 0 Fにより岡 IJ性が高められるため、振動の発生を抑制することができる。これにより、磁気へッドの移動処理において、高速のシーク処理と高精度の位置決め処理を両立することが可肯となる。

Claims

請求の範囲

1. 磁気へッドを支持するサスペンションが設けられると共に駆動されることにより前記磁気へッドを移動させるアームを具備する磁気へッド用ァクチユエータにおいて、

前記アームの少なくとも片面に該アームの剛性を高めると共に該アームに発生した振動を吸収するダンパ材を設けた構成とした磁気へッド用ァクチユエータ。

2. 磁気へッドを支持するサスペンションが設けられると共に駆動されることにより前記磁気へッドを移動させるアームを具備する磁気へッド用ァクチユエータにおいて、

前記アームの少なくとも片面に、前記アームに振動が発生するのを抑制する拘束材と、前記アームに発生した振動を吸収する粘弾性材とよりなるダンパ材を設けた構成とした磁気へッド用ァクチユエータ。

3. クレーム 1または 2記載の磁気へッド用ァクチユエータにおいて、 tinsダンノ材を前記アームの両面に対称的に配設した構成とした磁気へッド用ァクチユエータ。

4. クレーム 1または 2記載の磁気ヘッド用ァクチユエータにおいて、前記アームに肉抜きされた肉抜き部を設け、

カゝつ、前記ダンパ材を該肉抜き部の形成位置を含む位置に配設した構成とした磁気へッド用ァクチユエータ。

5. クレーム 1または 2記載の磁気ヘッド用ァクチユエータにおいて、

ΙίίΐΒダンノ材を前記アームに部分的に設けた構成とした磁気へッド用ァクチュエータ—

6. クレーム 1または 2記載の磁気へッド用ァクチユエータにおいて、前記ダンパ材をアルミニウムよりも剛性が高い材料により形成してなる磁気ッド用ァクチユエータ。

7. クレーム 1または 2記載の磁気へッド用ァクチユエータにおいて、前記ダンパ材をステンレス材料により形成してなる磁気へッド用ァクチユエ一タ。

8 . クレーム 2記載の磁気へッド用ァクチユエータにおいて、

前記アームに肉抜きされた肉抜き部を設けると共に、前記ダンパ材を該肉抜き部の形成位置を含む位置に配設し、

力つ、前記ダンパ材の前記肉抜き部と対向する位置における前記粘弾性材を除去した構成とした磁気へッド用ァクチユエータ。

9 . クレーム 1または 2記載の磁気へッド用ァクチユエータにおいて、前記アームに肉抜きされた肉抜き部を設けると共に、 Ι&ΙΞダンパ材を該肉抜き部の形成位置を含む位置に配設し、

かつ、前記ダンパ材の前記肉抜き部と対向する位置に開口部を形成した構成とした磁気ヘッド用ァクチユエータ。

1 0 . クレーム 2記載の磁気へッド用ァクチユエータにおいて、前記粘弾性材を用いて前記サスペンションのテールを前記アームに取り付けた構成とした磁気へッド用ァクチユエータ。

1 1 . 記録媒体となる磁気

該磁気ディスクを回転させる回転手段と、

磁気へッドを支持するサスペンションが設けられると共に駆動されることにより觸己磁気へッドを移動させるアームを具備する磁気へッド用ァクチユエータとを設けてなる磁気ディスク装置において、

前記磁気へッド用ァクチユエータに設けられた前記アームの少なくとも片面にダンパ材を設けた構成とした磁気ディスク装置。

1 2. 記録媒体となる磁気う

該磁気ディスクを回転させる回転手段と、

磁気へッドを支持するサスペンションが設けられると共に駆動されることにより前記磁気へッドを移動させるアームを具備する磁気へッド用ァクチユエータとを設けてなる磁気ディスク装置において、

前記磁気へッド用ァクチユエータに設けられた前記アームの少なくとも片面に、前記アームに振動が発生するのを抑制する拘束材と、前記アームに発生した振動を吸収する粘弾性材とよりなるダンノ、。材を設けた構成とした磁気ディスク装置。