JP4329920B2 - ディスクドライブ用サスペンションとその製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスクドライブ用サスペンションと、その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転する磁気ディスクあるいは光磁気ディスク等に情報を記録し再生するためのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジを有している。このキャリッジは、ポジショニング用モータによって、前記軸を中心に旋回駆動される構造となっている。
【０００３】
例えば米国特許（ＵＳＰ）第４，１６７，７６５号明細書に記載されているように、前記キャリッジは、キャリッジアームと、該キャリッジアームの先端部に設けたディスクドライブ用サスペンション（以下、単に「サスペンション」と称する）と、該サスペンションに取付けたスライダを含むヘッド部などとを備えている。そして、ディスクが高速回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上するとともに、ディスクとスライダとの間にエアベアリングが形成されるようになっている。
【０００４】
前記サスペンションは、精密な薄板ばねからなるロードビーム（load beam）と、該ロードビームの先端部にレーザ溶接等によって固定された極薄い板ばねからなるフレキシャ（flexure）と、前記ロードビームの基部にレーザ溶接等によって固定されたベースプレートなどからなっている。前記ベースプレートは、前記キャリッジアームのサスペンション取付面に固定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記ハードディスクドライブでは、記録すべき情報の高密度化とディスクの高速回転化が進む傾向にある。このため、トラック幅が狭くなるにも係わらず、風乱やディスクフラッタ等の外乱による振動のために、ヘッド部をトラック中心に正確に維持することが極めて困難となっている。
【０００６】
そのため、各外乱振動を抑制すると同時に、制御帯域をできるだけ上げて、トラック中心を維持する努力が続けられている。
【０００７】
従って、アクチュエータからスライダまでの構造部材であるキャリッジアームとサスペンションとの各種共振モードの振幅コントロールとその共振周波数の高周波数化、及び風乱対策は最も重要な課題となっている。すなわち前記サスペンションは、前記ディスクの高密度化、高速化に伴って、さらに高剛性で且つばね定数が低いことが要求されている。
【０００８】
しかし従来は、図２２に示すサスペンション２０１のロードビーム２０３のように、長さＬ１に渡る剛体部２０３ａと、長さＬ２のばね部２０３ｂとが一枚の金属プレートで構成されていたため、剛体部２０３ａに要求される性能（高剛性）と、ばね部２０３ｂに要求される性能（低ばね定数）とを同時に満足することが困難となっていた。
【０００９】
特に、剛体部２０３ａのねじり剛性は、板厚増加により行うことはできるが、重量増を招くと共に、ばね部２０３ｂによって材質と板厚が制約を受けてしまうことから、板厚増による剛性アップには限界がある。
【００１０】
これに対し米国特許（ＵＳＰ）第５，１８７，６２５号明細書に記載されている図２３，図２４に示すようなものもある。このサスペンション２０１Ａは、図２２のものと同様に、剛体部２０３ａ及びばね部２０３ｂを備え、ベースプレート２０９によってキャリッジアームに支持されている。尚その他、図２２に示すものと対応する構成部分には同符号を付している。
【００１１】
そして、この図２３で示すサスペンション２０１Ａは、ＳＣ−ＳＣ矢視断面で示す図２４のように、ロードビーム２０３が３層構造となっている。すなわち２枚の金属プレート２１７，２１９間に樹脂層２２１が介在する断面構造となっている。このような構造によって、サスペンションの各種共振モードのダンピングを図っている。
【００１２】
しかしながら、このサスペンション２０１Ａでは、ばね部２０３ｂにおいても剛体部と同一の３層構造断面となっているため、ばね部２０３ｂに要求される低ばね定数及び正確なばね荷重を達成することができないものとなっている。
【００１３】
又、サスペンション２０１Ａでは、箱曲部２０５を３層構造そのものの折り曲げによって形成しているため、高精度な加工が難しく、よりコスト高になる恐れがある。
【００１４】
そこで本発明は、要求される性能に応じることのできる高性能なディスクドライブ用サスペンションと、その製造方法の提供を課題とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したことを特徴とする。
請求項２の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成し、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００１６】
請求項３の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００１７】
請求項４の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持し、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００１８】
請求項５の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００１９】
請求項６の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００２０】
請求項７の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００２１】
請求項８の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００２２】
請求項９の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００２３】
請求項１０の発明は、請求項２〜９の何れかに記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記肉抜き用の穴は、エッチングにより形成したことを特徴とする。
【００２４】
請求項１１の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成し、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
【００２５】
請求項１２の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、前記３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１３の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持し、前記３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１４の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１５の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１６の発明は、請求項２〜９の何れかに記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１７の発明は、請求項１０記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
【００２６】
【発明の効果】
請求項１の発明では、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は前記ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部を確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させる。
さらに、前記ばね部を前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したため、ばね部が剛体部及びベース部に影響されることなく、その低ばね定数化を図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
請求項２の発明では、ロードビームの剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、ばね部を剛体部よりも少ない層で形成したため、全体的な軽量化を図りながら剛体部の高剛性化とばね部の低ばね定数化を同時に達成することができると共に、樹脂層によりダンパ効果を発揮することができる。
【００２７】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすることができると共に、共振周波数の高周波数化を図ることができる。また、ディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタ（風によるサスペンションのばたつき）の発生を確実に抑制することができる。
【００２８】
さらに、３層構造によって剛体部の剛性を高めることができるため、曲げ縁やリブなどの塑性加工は基本的には必要でなく、剛体部の空気抵抗を減少させることが可能となる。かかる点からもディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタの発生をさらに抑制することができる。
前記剛体部の金属プレートの１つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、フレキシャを剛体部に溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは金属プレート及び樹脂層間の結合面間に対し、溶接時の熱影響を及ぼすのを抑制することができる。従って、フレキシャを剛体部に確実に固定することができると共に、剛体部の性能を確実に維持することができる。
【００２９】
請求項３の発明では、請求項２の発明の効果に加え、前記剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた３層構造であるため、剛体部の軽量化と高剛性化を同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
【００３０】
また、前記ばね部は、前記金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、このプレートによってばね部を構成することができるため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部はプレートによって低ばね定数化を図ることができる。
【００３１】
さらに、前記ばね部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持したため、軽量化を図りながらベースプレートを確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに対し、より安定して支持させることができる。
【００３２】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすると共に、共振周波数の高周波数化を図り、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
【００３３】
請求項４の発明では、請求項２の発明の効果に加え、前記剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた３層構造であり、剛体部の軽量化と高剛性化とを同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
【００３４】
また、前記ばね部は、金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持したため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部は、金属プレートと一体のプレートにより低ばね定数化を確実に図ることができる。
【００３５】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールできると共に、共振周波数の高周波数化を図ることができ、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
【００３６】
請求項５の発明では、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
【００３７】
また、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部をより確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させることができる。
【００３８】
さらに、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を前記剛体部及びベース部の層より少なくしたため、ばね部の低ばね定数化を確実に図ることができる。
【００３９】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記剛体部の金属プレートの１つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、フレキシャを剛体部に溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは金属プレート及び樹脂層間の結合面間に対し、溶接時の熱影響を及ぼすのを抑制することができる。従って、フレキシャを剛体部に確実に固定することができると共に、剛体部の性能を確実に維持することができる。
【００４０】
請求項６の発明では、請求項１の発明の効果に加え、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
【００４１】
また、前記ベース部は前記ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部を確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させる。
【００４２】
さらに、前記ばね部を前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したため、ばね部が剛体部及びベース部に影響されることなく、その低ばね定数化を図ることができる。
【００４３】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記剛体部の金属プレートの１つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、フレキシャを剛体部に溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは金属プレート及び樹脂層間の結合面間に対し、溶接時の熱影響を及ぼすのを抑制することができる。従って、フレキシャを剛体部に確実に固定することができると共に、剛体部の性能を確実に維持することができる。
【００４４】
請求項７の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、剛体部の軽量化と高剛性化を同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ばね部は、前記金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、このプレートによってばね部を構成することができるため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部はプレートによって低ばね定数化を図ることができる。
さらに、前記ばね部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持したため、軽量化を図りながらベースプレートを確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに対し、より安定して支持させることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすると共に、共振周波数の高周波数化を図り、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの１つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、ベースプレートを補強金属プレートの１つに溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは補強金属プレート及び樹脂層の結合面間に対し、溶接時の熱影響を抑制することができる。従って、ベースプレートを補強金属プレートに確実に溶接固定することができると共に、３層構造によるベース部の補強機能を確実に維持することができる。
【００４５】
請求項８の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部をより確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させることができる。
さらに、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を前記剛体部及びベース部の層より少なくしたため、ばね部の低ばね定数化を確実に図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの１つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、ベースプレートを補強金属プレートの１つに溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは補強金属プレート及び樹脂層の結合面間に対し、溶接時の熱影響を抑制することができる。従って、ベースプレートを補強金属プレートに確実に溶接固定することができると共に、３層構造によるベース部の補強機能を確実に維持することができる。
【００４６】
請求項９の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は前記ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部を確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させる。
さらに、前記ばね部を前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したため、ばね部が剛体部及びベース部に影響されることなく、その低ばね定数化を図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの１つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、ベースプレートを補強金属プレートの１つに溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは補強金属プレート及び樹脂層の結合面間に対し、溶接時の熱影響を抑制することができる。従って、ベースプレートを補強金属プレートに確実に溶接固定することができると共に、３層構造によるベース部の補強機能を確実に維持することができる。
【００４７】
請求項１０の発明では、請求項２〜９の何れかの発明の効果に加え、前記肉抜き用の穴は、エッチングにより形成したため、肉抜き用の穴を容易かつ精度よく形成することができる。
【００４８】
請求項１１の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成し、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、全体的な軽量化を図りながら剛体部の高剛性化とばね部の低ばね定数化を同時に達成することができると共に、樹脂層によりダンパ効果を発揮することができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすることができると共に、共振周波数の高周波数化を図ることができる。また、ディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタ（風によるサスペンションのばたつき）の発生を確実に抑制することができる。
さらに、３層構造によって剛体部の剛性を高めることができるため、曲げ縁やリブなどの塑性加工は基本的には必要でなく、剛体部の空気抵抗を減少させることが可能となる。かかる点からもディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタの発生をさらに抑制することができる。
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
請求項１２の発明では、請求項１１の発明の効果に加え、前記剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた３層構造であるため、剛体部の軽量化と高剛性化を同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ばね部は、前記金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、このプレートによってばね部を構成することができるため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部はプレートによって低ばね定数化を図ることができる。
さらに、前記ばね部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持したため、軽量化を図りながらベースプレートを確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに対し、より安定して支持させることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすると共に、共振周波数の高周波数化を図り、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
請求項１３の発明では、請求項１１の発明の効果に加え、前記剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた３層構造であり、剛体部の軽量化と高剛性化とを同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ばね部は、金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持したため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部は、金属プレートと一体のプレートにより低ばね定数化を確実に図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールできると共に、共振周波数の高周波数化を図ることができ、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
請求項１４の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部をより確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させることができる。
さらに、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を前記剛体部及びベース部の層より少なくしたため、ばね部の低ばね定数化を確実に図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
請求項１５の発明では、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は前記ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部を確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させる。
さらに、前記ばね部を前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したため、ばね部が剛体部及びベース部に影響されることなく、その低ばね定数化を図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
【００４９】
請求項１６の発明では、請求項２〜９の何れかの発明の効果に加え、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
請求項１７の発明では、請求項１０の発明の効果に加え、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
【００５０】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態を適用したサスペンションを有するハードディスクドライブの一部断面図を示している。この図１のように、ハードディスクドライブ１は、軸３を中心に旋回可能なキャリッジ５を有している。このキャリッジ５は、ボイスコイルモータなどのポジショニング用モータ７によって、軸３を中心に旋回駆動される。前記キャリッジ５は、複数のキャリッジアーム９（図１では４個）と、各キャリッジアーム９の先端部に取り付けられたサスペンション１１と、各サスペンション１１の先端部に設けられたヘッド部１３などを備えている。
【００５１】
前記キャリッジ５が前記軸３を中心に旋回することによって、前記ヘッド部１３がディスク１５の所望トラックまで移動する。前記ヘッド部１３は、前記ディスク１５のトラックと対向可能な位置に設けられたスライダ１７と、該スライダ１７に保持されたトランスジューサ（図示せず）などを含んでいる。
【００５２】
前記ディスク１５が高速回転したとき、該ディスク１５と前記スライダ１７との間に空気が入り込むことによって、前記スライダ１７は、ディスク１５から僅かに浮上すると共に、ディスク１５及びスライダ１７間にエアベアリングが形成される。
【００５３】
前記サスペンション１１は、例えば図２のようになっている。図２は前記サスペンション１１を反フレキシャ側から見た斜視図である。このサスペンション１１は、ベース部１９とロードビーム２１とを備えている。
【００５４】
前記ベース部１９は、ベースプレート２２を備えている。このベースプレート２２は、前記図１のキャリッジアーム９に取り付けられるものである。前記ベースプレート２２は、例えばステンレス鋼などで形成され、フランジ部２３とボス部２５とからなっている。
【００５５】
前記フランジ部２３は、本実施形態において平面から見て矩形形状を呈し、その板厚は例えばｔ＝０．１５ｍｍ程度に設定されている。なおフランジ部２３は、平面から見て円形状などに形成することもできる。
【００５６】
前記ボス部２５は、前記図１のキャリッジアーム９に設けられた取付孔に嵌合され、ボス部２５の径が治具などにより若干拡大されて前記キャリッジアーム９に対する固定が行われている。
【００５７】
前記ロードビーム２１は、先端部のヘッド部１３のスライダ１７に負荷荷重を与えるものである。このロードビーム２１は、図３の斜視図をも参照すると、剛体部２７とばね部２９とを備えている。前記剛体部２７は、先端部２７ａ側が基端部２７ｂに対して漸次幅狭となるほぼ三角形状に形成されている。この剛体部２７の厚さは、例えばｔ＝１００μｍ程度に設定されている。
【００５８】
前記剛体部２７は、図３のＳＡ−ＳＡ矢視断面図である図４をも参照すると、金属プレート２８ａ，２８ｂ間に樹脂層２８ｃを介在させ、接着剤などで相互に固定された３層構造となっている。前記金属プレート２８ａ，２８ｂは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などによって形成され、一方の金属プレート２８ａの厚みはｔ１＝３８μｍなどに設定され、他方の金属プレート２８ｂの厚みはｔ３＝２０μｍなどに設定されている。前記樹脂層２８ｃは、ポリイミド（ＰＩ）、エポキシなどの樹脂プレートで形成され、その厚みはｔ２＝４２μｍなどに設定されている。これら金属プレート２８ａ，２８ｂ、樹脂層２８ｃの厚みｔ１，ｔ３，ｔ２の合計が１００μｍに設定されている。但し、この厚みの設定は一例であって、全体的な厚み及び各プレートの厚みは、他の厚みに設定することも可能である。
【００５９】
前記剛体部２７には、貫通孔３１ａ，３１ｂ，３３が設けられている。貫通孔３１ａ，３１ｂは軽量化のためのものであり、貫通孔３３は後述するフレキシャの位置決めのためのものである。前記貫通孔３１ａ，３１ｂ，３３は、例えばエッチングなどによって形成されている。
【００６０】
前記剛体部２７の先端部２７ａは金属プレート２８ｂのみの１層となっている。この先端部２７ａは、例えばエッチングなどによって金属プレート２８ａ、樹脂層２８が除去されたものである。前記ディンプル３７は、前記金属プレート２８ｂの先端部２７ａにプレス成形されたものである。尚、このディンプル３７は、後述するフレキシャのタング部に当接するものである。
【００６１】
そして、本実施形態において、前記ディンプル３７の塑性加工部が１枚の金属プレート２８ｂのみに行われている。従って、３層の剛体部２７そのものにディンプル３７を設ける場合に比べて、１枚の金属プレート２８ｂにのみ設けることにより塑性加工が極めて容易であり、精度のよいディンプル３７を得ることができる。
【００６２】
前記ばね部２９は、一方の金属プレート２８ａと一体のプレートにより剛体部２７の端部に形成され、剛体部２７よりも少ない、例えば１層で形成されている。このばね部２９は、本実施形態において例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成され、その厚みはｔ＝３８μｍに設定されている。このばね部２９には、開口３９が設けられ、両側部４１ａ，４１ｂが低ばね定数のばね部分として機能している。
【００６３】
前記ばね部２９の反剛体部側端部には、前記ベース部１９を補強する補強金属プレート４３ａが一体に設けられている。この補強金属プレート４３ａは、本実施形態において、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成され、その厚みはｔ＝３８μｍに設定されている。この補強金属プレート４３ａに他の補強金属プレート４３ｂを樹脂層４３ｃを介在させて合わせ、接着剤などで相互に固定された３層構造の補強部４５が設けられている。
【００６４】
この補強部４５における補強金属プレート４３ａ，４３ｂ、樹脂層４３ｃの関係は、前記剛体部２７における金属プレート２８ａ，２８ｂ、樹脂層２８ｃと同一に設定されている。従って、金属プレート４３ｂは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成され、その厚みはｔ＝２０μｍに設定されている。前記樹脂層４３ｃは、ポリイミド（ＰＩ）、エポキシなどの樹脂プレートで形成され、その厚みはｔ＝４２μｍに設定されている。
【００６５】
前記補強部４５の外径形状は、前記ベースプレート２２のフランジ部２３の外径形状にほぼ対応して平面から見て矩形形状に形成されている。
【００６６】
前記補強部４５に対し、図２のようにベースプレート２２が合わせられ、
溶着部４８においてレーザ溶接などによって溶着固定されている。このベースプレート２２の取付状態で、ベースプレート２２の前縁２２ａは、前記ばね部２９の開口３９の後縁３９ａに一致して沿っている。従って、ベースプレート２２をキャリッジ５に取り付けたときに、ベースプレート２２によってばね部２９の基端部を確実に支持することができるため、ばね部２９によって剛体部２７を確実に弾性支持することができ、所期の機能を正確に発揮することができる。
【００６７】
尚、ベースプレート２２のフランジ部２３は、本実施形態よりも小型化し、その前縁２２ａを開口３９の後縁３９ａより、よりボス部２５側へずらすことも可能である。また、フランジ部２３を、ボス部２５の周囲に円形に形成することもできる。
【００６８】
前記剛体部２７には、図２のようにフレキシャ４９が取り付けられている。このフレキシャ４９の図示では、他端側の端子部を省略している。前記フレキシャ４９は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板などの金属基板の表面に、電気絶縁層を介して例えば４本の導電路を形成したものである。前記導電路の一端は、ヘッド部１３の端子にそれぞれ導通接続され、他端は後方に設定された端子にそれぞれ導通接続されている。前記フレキシャ４９のタング部５７には、前記スライダ１７が装着されている。前記タング部５７は、前記剛体部２７のディンプル３７に当接している。前記フレキシャ４９は、前記剛体部２７に対し溶着部６１によって溶着固定され、また、前記ベース部１９においても、補強部４５に溶着部６３において溶着固定されている。
【００６９】
前記補強部４５に対するベースプレート２２の溶着固定、及びフレキシャ４９の剛体部２７及び補強部４５に対する溶着固定は、図５，図６のように行われている。図５は前記ベースプレート２２の溶着部４８における断面図であり、図６は前記フレキシャ４９の溶着部６１における断面図である。
【００７０】
まず図２，図５のように、ベースプレート２２のフランジ部２３は、補強部４５の１つの補強金属プレート４３ｂにレーザ溶接などによって溶着部４８が形成され、溶着固定されている。前記溶着部４８による溶接固定する位置で、他の補強金属プレート４３ｂ及び樹脂層４３ｃに肉抜き用の穴６５が、例えばエッチングにより設けられている。従って、ベースプレート２２を補強部４５にレーザ溶接などによって溶着固定する場合に、溶着部４８の熱が樹脂層４３ｃや、樹脂層４３ｃ及び補強金属プレート４３ａ，４３ｂ間の接着間に熱影響を及ぼすことが抑制される。従って、ベースプレート２２と補強部４５との結合を確実に行いながら、補強部４５の補強機能を確実に維持することができる。
【００７１】
図６は、前記剛体部２７及び補強部４５での溶着部６１を示しており、補強部４５においては括弧を付けてその対応を示している。前記剛体部２７での溶着部６１を中心に説明すると、剛体部２７の１つの金属プレート２８ｂに前記フレキシャ４９を溶着部６１によって溶接固定している。この溶着部６１により溶接固定する位置で、前記他の金属プレート２８ａ及び樹脂層２８ｃに、肉抜き用の穴６７が、例えばエッチングにより設けられている。従って、剛体部２７にフレキシャ４９を溶着部６１によって確実に溶着固定することができながら、レーザ溶接時に樹脂層２８ｃや、樹脂層２８ｃ及び金属プレート２８ａ，２８ｂ間の接着に熱影響を及ぼすのが抑制され、剛体部２７の性能を確実に維持することができる。
【００７２】
前記補強部４５を備えたロードビーム２１のエッチング処理は、例えば図７のようにしても行われる。図７は、ロードビーム２１の製造方法の概略を示し、（ａ）は多層基材の製造工程、（ｂ）はレジスト塗布、露光、現像工程、（ｃ）はＳＵＳエッチング工程、（ｄ）はレジスト剥離工程、（ｅ）は樹脂エッチング工程を示す断面図である。
【００７３】
まず、図７（ａ）の工程で、基材金属プレート６９ａ，６９ｂ間に基材樹脂層６９ｃを介在させた３層構造の多層基材７１を形成する。尚、多層基材７１は剛体部２７及び補強部４５の層の増加によっては、基材金属プレートと基材樹脂層を交互に増加して、４層以上に設定する。
【００７４】
次に、図７（ｂ）の工程で、多層基材７１の両面にレジスト７３，７５を塗布する。レジスト７３，７５は、それぞれ孔７７，７９，８１，８３、開口８５などを有している。この図７（ｂ）の工程で、露光、現像し、図７（ｃ）のように基材金属プレート６９ａ，６９ｂに除去部８７，８９，９１，９３，９５を形成する。
【００７５】
次に、図７（ｄ）の工程で、レジスト７３，７５を剥離する。
【００７６】
次に図７（ｅ）の工程で、エッチング処理し、基材樹脂層６９ｂに除去部９７，９９，１０１を形成する。
【００７７】
この製造方法により、例えば除去部８７，８９，９７が図３の貫通孔４７を形成し、除去部９１，９３，９９が同位置決め用の貫通孔３３を形成し、除去部９５，１０１によってばね部２９を１層に形成することができる。
【００７８】
尚、上記実施形態では、ばね部２９を剛体部２７の一方の金属プレート２８ａと一体に形成したが、図８のようにばね部２９を他方のプレート２８ｂと一体に形成することも可能である。この図８の実施形態では、金属プレート２８ｂ、ばね部２９、補強金属プレート４３ｂの板厚がｔ＝３８μｍに設定され、金属プレート２８ａ、補強金属プレート４３ａの板厚がｔ＝２０μｍに設定されることになる。
【００７９】
前記剛体部２７には、図９，図１０のロードビーム２１のように、中間部左右両側に箱曲部３５を設けることもできる。図９は図３に対応し、図１０は図８に対応している。前記箱曲部３５は、剛体部２７の剛性をさらに向上させるためのものである。本実施形態においては、剛体部２７が３層構造であって、剛性が高いため、箱曲部３５は極力小さくすることができる。
【００８０】
前記箱曲部３５は、金属プレート２８ｂに舌片を形成して、これを折り曲げたものである。従って、本実施形態において、箱曲部３５、ディンプル３７の塑性加工部が１枚の金属プレート２８ｂのみに行われている。従って、３層の剛体部２７そのものに箱曲部３５を設けたり、ディンプル３７を設ける場合に比べて、１枚の金属プレート２８ｂにのみ設けることにより塑性加工が極めて容易であり、精度のよい箱曲部３５及びディンプル３７を得ることができる。尚、箱曲部３５は、金属プレート２８ａのみに設けることもでき、また、金属プレート２８ａ、２８ｂの双方に設けることもできる。
【００８１】
次に、上記のように剛体部２７を金属プレート２８ａ，２８ｂ間に樹脂層２８ｃを介在させた多層構造とし、ばね部２９を剛体部２７よりも少ない層で形成する根拠について説明する。
【００８２】
従来の、例えば図２２などのサスペンション２０１に関し、一般的に低い周波数で大きな振幅となりやすいねじれモードのコントロールが重要である。ねじれモードの場合、ベース部２０９を加振して求められる振動と、風乱によって発生するスライダ２１５のトラック方向変位とではその特性が異なる場合が多い。風乱によるサスペンションの揺れは、サスペンションフラッタと呼ばれ、以後ねじれモードによって最初に現れるものをＴ１フラッタ（1st Torsionモード）と呼び、ベースプレート加振によって求められるものをゲインと呼ぶことにする。
【００８３】
まず、ロードビーム２０３のＺ方向形状（以後、ＬＢプロファイル）、ゲインの周波数特性及びＴ１ゲインとＺハイト（組付時のＺ方向高さ）の関係の本出願人による解析結果によると、ＬＢプロファイルによってＴ１ゲインがコントロールできることが解った。
【００８４】
次に、本出願人の実験によると、高回転ディスクの場合、Ｔ１フラッタ変位とＺハイトの関係は、Ｔ１ゲインのそれより感度が高いために問題になりやすいことが解った。その対策法は以下の通りである。
（１）Ｚハイトに対するカップルファクター（Couple factor）の感度を小さくする。
【００８５】
前記カップルファクターは次式で示される。
【００８６】
【数１】
ここにロードビームＴ１振幅は、例えば図２２のような構造において、ディンプル付近の箱曲部を計測したものを表している。またＴ１フラッタ変位は同一サスペンションをフラッタ測定器で計測したものである。
（２）ダンパによって振動のエネルギを吸収してロードビームＴ１振幅を小さくする。
（３）風乱を受けにくいサスペンションの形状とする。
（４）ロードビームのねじれ剛性を大きくすることで、ロードビームＴ１振幅を小さくする。
【００８７】
上記（１）に関しては、ばね部２０３ｂのＺ方向剛性を小さく、かつ長さを極端に短くし、剛体部２０３ａのＺ方向剛性を、逆に大きくすることによって達成可能と考えた。
【００８８】
上記（２）に関しては、樹脂層によってダンパ効果を得るようにすることとした。
【００８９】
上記（３）に関しては、本出願人の種々の実験の結果、サスペンションフラッタの原因は、高回転ディスクがもたらす風乱がサスペンションのＺ方向に非定常流体力として働き、各モードを励起していると考え、対策をすることとした。
【００９０】
上記（４）に関しては、解析によってそのねじれ剛性を計算することができ、ねじれ剛性を設定することとした。
【００９１】
まず、Ｔ１フラッタの発生原因を上記のように仮定すれば、単位面積当たりに働く非定常流体力Ｆ（ｔ）がロードビーム中心軸を境にした半面に働いたときのモーメントＭ（ｘ）と、解析で求められたねじれ剛性Ｓ（ｘ）とからディンプル部のねじれ角θが計算できる。
【００９２】
次に、図１１のように座標を考える。図１１（ａ）はｙ＝ｆ（ｘ）のロードビーム形状関数を表しており、ｘ位置の剛体部に働くモーメントＭ（ｘ）は、次式となる。
【００９３】
【数２】
ねじれ剛性Ｓ（ｘ）は、図１１（ｂ）に示すように、ｘの関数として計算することができる。従って、上記（２）式と、Ｓ（ｘ）から、ディンプル部でのねじれ角は次式で表すことができる。
【００９４】
【数３】
非定常流体力Ｆ（ｔ）＝１とすると、上記（３）式は次式となる。
【００９５】
【数４】
この（４）式の計算結果と、本出願人による実験結果とから、θの値が小さくなるに従ってロードビームＴ１振幅は減少し、Ｚハイトに対するＴ１フラッタ変位の感度も小さくなることが判明した。
【００９６】
ここで更に、ロードビーム形状をｆ（ｘ）＝Ｂと考えると、モーメントＭ（ｘ）及びねじれ剛性は次式のディメンションで表すことができる。
【００９７】
【数５】
ここで、Ｇは横弾性係数、ｈはロードビームの板厚である。（４），（５），（６）式から、ディンプル部のねじれ角θは、次式のディメンションとなる。
【００９８】
【数６】
（７）式からわかるように、θを小さくするには、板厚ｈを厚く、長さＬを短く、幅Ｂを狭く、そして横弾性係数Ｇを大きくする必要がある。
【００９９】
他方、Ｔ１周波数は、次式のディメンションで表される。
【０１００】
【数７】
ここで、Ｇ／ρが一定であるとすると、Ｔ１周波数を上げるには板厚ｈを厚く、長さＬを短く、幅Ｂを狭くする必要がある。これはθを小さくする方法と一致するが、その次数は異なっている。
【０１０１】
以上のような本願出願人の考察に基づいて、サスペンション１１の構造を上記のように多層構造としたものである。
【０１０２】
次に、従来品に対し第１実施形態等に係る３層構造品が軽量化されていることを図１２の図表により説明する。
【０１０３】
図１２において、左から第１欄、第２欄、第３欄、第４欄、第５欄とすると、第１欄に各部分の名称を示し、第２欄に厚みを示し、第３欄に従来品の各部分の重量配分を示し、第４欄に第１の３層構造品の重量配分を示し、第５欄に第２の３層構造品の重量配分を示している。部分としては、ベースプレート、ロードビーム、ばね部、フレキシャ、スライダが示されている。
【０１０４】
ベースプレートの厚みはｔ＝０．１５ｍｍ、ロードビームの厚みはｔ＝０．１ｍｍ、ばね部の厚みはｔ＝３８μｍに設定してある。
【０１０５】
従来品のロードビームは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成され、その全体の厚みはｔ＝１００μｍである。第１の３層構造品は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）による金属プレートがそれぞれ厚みｔ＝２５μｍであり、ポリイミド（ＰＩ）の樹脂層の厚みはｔ＝５０μｍであり、全体でｔ＝１００μｍとなっている。
【０１０６】
第２の３層構造品は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）の両金属プレートの厚みがｔ＝３８μｍ、ｔ＝２０μｍに設定され、ポリイミド（ＰＩ）の樹脂層の厚みはｔ＝４２μｍであり、全体でｔ＝１００μｍに設定してある。
【０１０７】
そして、従来品の各部分の重さは、第３欄に示されている通りであり、合計で５１．０ｍｇとなっている。第１，第２の３層構造品の各部の重さは、第４欄、第５欄に示されている通りであり、合計の重さは第１の３層構造品では３５．６ｍｇ、第２の３層構造品では３７．１ｍｇとなった。
【０１０８】
このように第１の３層構造品では、従来品に比べて３０％、第２の３層構造品では同２７％それぞれ軽量化することができた。すなわち、第１実施形態等の３層構造品とすることによって、同一の厚さでロードビームの剛体部の剛性を向上させることができながら、大幅な軽量化を図ることができるのである。
【０１０９】
図１３〜図１６は、実験結果を示している。図１３は風乱によるオフトラック変位の測定結果を示し、図１４はサスペンションの伝達関数の測定結果を示し、図１５はＺハイト（組付時のＺ方向高さ）と風乱によるＴ１ロードビームねじれ角の測定結果を示し、図１６はＺハイトの変化に対する風乱によるＴ１オフトラック方向変位の測定結果を示している。図１７は、これら実験結果を図表にしたものである。
【０１１０】
図１３，図１４，図１５，図１６において、（ａ）は上記実施形態のサスペンション１１の測定結果であり、同（ｂ）は図２２に示す（ａ）と同じ長さの従来品の測定結果である。また、図１７のように、３層構造品のロードビームは、厚みｔ＝３８μｍ、ｔ＝２０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）の金属プレート、及び厚みｔ＝４２μｍのポリイミド（ＰＩ）の樹脂層が用いられている。３層構造品の合計の質量は３７．１ｍｇである。従来品のロードビームは、厚みｔ＝５１μｍ、質量４９．１ｍｇのステンレス鋼（ＳＵＳ）が用いられている。測定はレーザドップラ速度計で行い、ゲイン測定はベースプレート加振によって行っている。ゲイン＝出力／入力である。フラッタ測定は、ディスクを回して揺れを観測した。測定値＝出力である。
【０１１１】
これらの実験結果から、まず共振特性においては図１４を参照し、風乱特性は図１３，図１５，図１６を参照する。風乱によるオフトラック（OFF TRACK）（風乱による揺れの大きさ）は図１４を参照し、そのときのＴ１モードのオフトラックＺハイトセンシティビティ（sensitivity）は図１６を参照し、Ｔ１モードのロードビームねじれ角Ｚハイトセンシティビティ（sensitivity）は図１５を参照する。尚、図１５，図１６において、横軸の単位は、ｍｍであり、その大きさは、横軸に示されている２桁の数字を０．０２５４倍したものである。
【０１１２】
図１３（ａ）の３層構造品では、Ｔ１モードの共振周波数が９．０（ＫＨｚ）であったのに対し、図１３（ｂ）の従来品では、同５．０（ＫＨｚ）であり、３層構造品では、Ｔ１フラッタの共振周波数が極めて高くなるという優位点があった（図１７）。
【０１１３】
次に、スウェイ（ＳＷＡＹ）に関しては、図１４（ａ）の３層構造品では、共振周波数が１７．８（ＫＨｚ）であったのに対し、図１４（ｂ）の従来品では、同１２．５（ＫＨｚ）であり、３層構造品はスウェイの共振点が著しく高くなったという優位点があった（図１７）。尚、スウェイ（ＳＷＡＹ）であることは、位相の変化で判断することができる。
【０１１４】
次に、風乱によるＴ１ロードビームねじれ角に関し、図１５（ａ）の３層構造品では、Ｚハイトの変化に拘わらず、ねじれ角実験結果の平均値が０．０００４（ｄｅｇ）であったのに対し、図１５（ｂ）の従来品では、同０．００５（ｄｅｇ）であった。この結果、３層構造品では、風乱によるねじれ角が従来品の１／１０以下となり、風乱に非常に強いという優位点があった（図１８）。
【０１１５】
従って、風乱によるＴ１オフトラックに関して、図１６（ａ）の３層構造品ではＺハイトの変化に拘わらず、変位が安定しており、その傾きはそれ程大きくはなかった。これに対し、図１６（ｂ）の従来品では、Ｚハイトの変化に対してその変位が大きく変化し、傾きは図から明らかなように相当に大きくなった。このＺハイトの変化は、サスペンションとしてのばらつき、組立時のばらつきにより、設計値に対してずれ得る範囲を想定したもので、この範囲において３層構造品のように安定したものであれば信頼性の高いサスペンションが得られる。これに対し、従来品では、Ｚハイトが３６×０．０２５４ｍｍと２０×０．０２５４ｍｍとで特性が大きく変わり、２０×０．０２５４ｍｍでの信頼性は著しく低くなった。これらの結果、３層構造品は従来品に比べて風乱による揺れが小さくできるため、読みとり、書き込み不良を大幅に改善することができ、トラック密度を上げることができるという優位点があった（図１７）。
【０１１６】
これらの実験結果は、本願出願人の上記考察とよく符合し、３層構造品によって軽量化を図りながら剛体部２７の高剛性化と、ばね部２９の低ばね定数化を達成することができ、上記各優位点を確実に得ることができた。
【０１１７】
さらに、前記ベース部１９は、前記キャリッジアーム９に取り付けられるベースプレート２２に前記３層構造の補強部４５を支持したため、軽量化を図りながらベースプレート２２を確実に補強することができ、ロードビーム２１をキャリッジ５に対し、より安定して支持させることができる。
【０１１８】
こうして、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすると共に、共振周波数の高周波数化を図り、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
（第２実施形態）
図１８，図１９は本発明の第２実施形態を示している。図１８は第２実施形態に係るサスペンション１１Ａの平面図、図１９はキャリッジアーム９にサスペンション１１Ａを取り付けた状態の断面図である。尚、上記第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付して説明する。
【０１１９】
本実施形態のサスペンション１１Ａは、キャリッジアーム９の取付点からディンプル３７までの距離が長くなった場合に適している。本実施形態においても、剛体部２７は、金属プレート２８ａ，２８ｂ間に樹脂層２８ｃを介在させた３層構造となっている。ばね部２９Ａは、金属プレート２８ｂと一体の１層のプレートで剛体部２７の端部に形成されている。ばね部２９Ａには、反剛体部側に支持部１０３が一体に形成されている。
【０１２０】
ベース部１９Ａにおけるベースプレート２２のフランジ部２３には、延長部１０５が設けられている。このベースプレート２２側の延長部１０５に、前記ばね部２９Ａ側の支持部１０３がレーザ溶接などによって固定支持されている。
【０１２１】
このような構造によって、剛体部２７は、金属プレート２８ａ，２８ｂ間に樹脂層２８ｃを介在させた３層構造によって軽量化を図りながら高剛性化を達成すると共に、樹脂層２８ｃのダンパ効果を得ることができる。又、ばね部２９Ａは金属プレート２８ｂ一体の１層のプレートによって形成されることにより、低ばね定数化を図ることができる。
【０１２２】
従って、本実施形態においても、第１実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。又、本実施形態においては、ばね部２９Ａに一体に設けた支持部１０３をベースプレート２２側の延長部１０５にレーザ溶接などによって固定するものであるため、製造が容易であり、またより軽量化を図ることができる。（第３実施形態）図２０は本発明の第３実施形態に係るサスペンション１１Ｂの概略断面図を示している。尚、第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付して説明する。
【０１２３】
前記サスペンション１１Ｂの補強部４５Ｂには、軽量化のための穴が形成されているが、図２０では図示していない。またベース部１９Ｂのボス部２５にも内周に孔が形成されているが、図示していない。
【０１２４】
そして、本実施形態においては、ロードビーム２１Ｂの剛体部２７Ｂが金属プレート１０７ａ，１０７ｂ間に樹脂層１０７ｃを介在させた３層構造に対し、さらに上下に樹脂層１０７ｅ，１０７ｇを介して金属プレート１０７ｄ，１０７ｆを設け、７層構造としたものである。
【０１２５】
前記ベース部１９Ｂの補強部４５Ｂは、剛体部２７Ｂと同様に補強金属プレート１０９ａ，１０９ｂ，１０９ｄ，１０９ｆと樹脂層１０９ｃ，１０９ｅ，１０９ｇの７層の構造となっている。
【０１２６】
前記ばね部２９Ｂは、金属部１１０ａ，１１０ｂを金属プレート１０７ａ，１０７ｂ、補強金属プレート１０９ａ，１０９ｂと一体に形成し、かつ樹脂部１１０ｃを剛体部２７ｂ、補強部４５Ｂの樹脂層１０７ｃ，１０９ｃと一体に形成し、ばね部２９Ｂの層を３層とし、剛体部２７ｂ及び補強部４５Ｂの層より少なくしている。
【０１２７】
又、この実施形態では、ベースプレートは特に設けられておらず、ボス部２５が補強部４５Ｂの補強金属プレート１０９ｄに直接固定されている。剛体部２７Ｂ、ばね部２９Ｂ、補強部４５Ｂの全体の厚みは、例えば第１実施形態と同様に形成されている。
【０１２８】
従って、本実施形態においても、多層構造の剛体部２７Ｂ、補強部４５Ｂ、及びこれらより層の少ない多層構造のばね部２９Ｂにより、上記第１実施形態と同様な作用効果を奏することができる。また、本実施形態においては、樹脂層が増加しているため、より軽量化を図ることができる。
【０１２９】
尚、上記実施形態において、補強部４５Ｂは補強金属プレートの１層のみの構成にすることも可能である。又、ベース部１９Ｂのボス部２５は省略して補強部４５Ｂを直接キャリッジアーム９に取り付ける構成にすることも可能である。
【０１３０】
ばね部２９Ｂは金属部１１０ａ又は１１０ｂと樹脂部１１０ｃの２層構造、或いは金属部１１０ａ又は１１０ｂの１層構造にすることもできる。又、金属部１１０ａ，１１０ｂ、樹脂部１１０ｃの層方向の位置は任意であり、樹脂部１１０ｃが金属部１１０ａ，１１０ｂに挟まれる構造には限られるものではない。例えば、金属部１１０ａ又は１１０ｂの一方を樹脂部とすることができる。この場合、樹脂部１１０ｃと樹脂部１１０ａ又は１１０ｂとの樹脂の材質を変更するなどの構成にすることもできる。
（第４実施形態）
図２１は本発明の第４実施形態に係るサスペンション１１Ｃの概略断面図を示している。尚、第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付して説明する。前記補強部４５Ｃには本来軽量化の穴が設けられているが、図示はしていない。またベースプレート２２にも内周孔が形成されているが、図示はしていない。
【０１３１】
本実施形態においては、ロードビーム２１Ｃの剛体部２７Ｃを金属プレート１１１ａ，１１１ｂ間に樹脂層１１１ｃを介在させて３層構造としている。またベース部１９Ｃの補強部４５Ｃは、補強金属プレート１１３ａ，１１３ｂ間に樹脂層１１３ｃを介在させた３層構造としている。
【０１３２】
ばね部２９Ｃは、剛体部２７Ｃ及び補強部４５Ｃとは別体に形成し、剛体部２７Ｃの金属プレート１１１ｂ及び補強部４５Ｃの補強金属プレート１１３ｂにレーザ溶接などによって結合されている。このサスペンション１１Ｃの剛体部２７Ｃ、ばね部２９Ｃ、補強部４５Ｃなどの全体的な厚みは第１実施形態と同様に設定されている。
【０１３３】
従って、本実施形態においても、剛体部２７Ｃの３層構造、ばね部２９Ｃの１層構造、補強部４５Ｃの３層構造によって、第１実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。又、本実施形態においては、ばね部２９Ｃが別体に形成されているため、ばね部２９Ｃの厚さ、形状の自由度を広げることができる。
【０１３４】
尚、剛体部２７Ｃは３層構造に限らず、樹脂層及び金属プレートを増加して、４層以上の多層構造にすることも可能である。又、補強部４５Ｃは、同様に４層以上の多層構造とし、或いは補強金属プレートと樹脂層の２層構造、補強金属プレートのみの１層にすることも可能である。
【０１３５】
ベース部１９Ｃのベースプレート２２はこれを省略して補強部４５Ｃをキャリッジアーム９に直接固定する構造にすることも可能である。さらに、前記ばね部２９Ｃは、剛体部２７Ｃの下面に一点鎖線で示す領域、あるいは補強部４５Ｃの下面に一点鎖線で示す領域のいずれか一方に延長して構成することができる。一方に延長したときには、他方は延長しない構成となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を適用したハードディスクドライブの一部断面図である。
【図２】第１実施形態に係り、ディスクドライブ用サスペンションを反フレキシャ側から見た斜視図である。
【図３】第１実施形態に係り、ロードビームの斜視図である。
【図４】第１実施形態に係り、図４のＳＡ−ＳＡ矢視断面図である。
【図５】第１実施形態に係り、図２のＳＢ−ＳＢ矢視断面図である。
【図６】第１実施形態に係り、溶着部６１，６３における断面図である。
【図７】第１実施形態に係り、ロードビームの製造方法の概略を示し、（ａ）は多層基材の製造工程、（ｂ）はレジスト塗布、露光、現像工程、（ｃ）はＳＵＳエッチング工程、（ｄ）はレジスト剥離工程、（ｅ）は樹脂エッチング工程を示す断面図である。
【図８】第１実施形態の変形例に係り、ロードビームの斜視図である。
【図９】第１実施形態の他の変形例に係り、ロードビームの斜視図である。
【図１０】第１実施形態のさらに他の変形例に係り、ロードビームの斜視図である。
【図１１】第１実施形態に係り、（ａ）はロードビーム形状関数のグラフ、（ｂ）はねじれ剛性を示すグラフである。
【図１２】第１実施形態に係り、従来品に対する３層構造品の軽量化を示す図表である。
【図１３】（ａ）は第１実施形態に係る風乱によるオフトラック変位の実験結果を示すグラフであり、（ｂ）は従来品の同実験結果を示すグラフである。
【図１４】（ａ）は第１実施形態に係る伝達関数の実験結果を示すグラフであり、（ｂ）は従来品の伝達関数の実験結果のグラフである。
【図１５】（ａ）は第１実施形態に係るＺハイトと風乱によるＴ１ロードビームねじれ角との関係の実験結果を示すグラフであり、（ｂ）は従来品のＺハイトと風乱によるＴ１ロードビームねじれ角との関係の実験結果を示すグラフである。
【図１６】（ａ）は第１実施形態のＺハイトと風乱によるＴ１オフトラック方向変位との関係の実験結果を示すグラフ、（ｂ）は従来品のＺハイトと風乱によるＴ１オフトラック方向変位との関係の実験結果を示すグラフである。
【図１７】第１実施形態に係り、３層構造品と従来品との実験結果の比較を示す図表である。
【図１８】本発明の第２実施形態に係るディスクドライブ用サスペンションの平面図である。
【図１９】第２実施形態を適用したハードディスクドライブの一部断面図である。
【図２０】本発明の第３実施形態に係るディスクドライブ用サスペンションの概略断面図である。
【図２１】本発明の第４実施形態に係るディスクドライブ用サスペンションの概略断面図である。
【図２２】従来例に係るディスクドライブ用サスペンションの斜視図である。
【図２３】他の従来例に係るディスクドライブ用サスペンションの斜視図である。
【図２４】図２３のＳＣ−ＳＣ矢視断面図である。
【符号の説明】
５ キャリッジ
１１，１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ サスペンション
１３ ヘッド部
２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ ロードビーム
１９，１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ ベース部
２２ ベースプレート
２７，２７Ｂ，２７Ｃ 剛体部
２９，２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｃ ばね部
４５，４５Ｂ，４５Ｃ 補強部
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｄ，１０７ｆ，１１１ａ，１１１ｂ 金属プレート
２８ｃ，４３ｃ，１０７ｃ，１０７ｅ，１０７ｇ，１０９ｃ，１０９ｅ，１０９ｇ，１１１ｃ，１１３ｃ 樹脂層
４３ａ，４３ｂ，１０９ａ，１０９ｂ，１０９ｄ，１０９ｆ，１１３ａ，１１３ｂ 補強金属プレート
１０３ 支持部
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスクドライブ用サスペンションと、その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転する磁気ディスクあるいは光磁気ディスク等に情報を記録し再生するためのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジを有している。このキャリッジは、ポジショニング用モータによって、前記軸を中心に旋回駆動される構造となっている。
【０００３】
例えば米国特許（ＵＳＰ）第４，１６７，７６５号明細書に記載されているように、前記キャリッジは、キャリッジアームと、該キャリッジアームの先端部に設けたディスクドライブ用サスペンション（以下、単に「サスペンション」と称する）と、該サスペンションに取付けたスライダを含むヘッド部などとを備えている。そして、ディスクが高速回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上するとともに、ディスクとスライダとの間にエアベアリングが形成されるようになっている。
【０００４】
前記サスペンションは、精密な薄板ばねからなるロードビーム（load beam）と、該ロードビームの先端部にレーザ溶接等によって固定された極薄い板ばねからなるフレキシャ（flexure）と、前記ロードビームの基部にレーザ溶接等によって固定されたベースプレートなどからなっている。前記ベースプレートは、前記キャリッジアームのサスペンション取付面に固定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記ハードディスクドライブでは、記録すべき情報の高密度化とディスクの高速回転化が進む傾向にある。このため、トラック幅が狭くなるにも係わらず、風乱やディスクフラッタ等の外乱による振動のために、ヘッド部をトラック中心に正確に維持することが極めて困難となっている。
【０００６】
そのため、各外乱振動を抑制すると同時に、制御帯域をできるだけ上げて、トラック中心を維持する努力が続けられている。
【０００７】
従って、アクチュエータからスライダまでの構造部材であるキャリッジアームとサスペンションとの各種共振モードの振幅コントロールとその共振周波数の高周波数化、及び風乱対策は最も重要な課題となっている。すなわち前記サスペンションは、前記ディスクの高密度化、高速化に伴って、さらに高剛性で且つばね定数が低いことが要求されている。
【０００８】
しかし従来は、図２２に示すサスペンション２０１のロードビーム２０３のように、長さＬ１に渡る剛体部２０３ａと、長さＬ２のばね部２０３ｂとが一枚の金属プレートで構成されていたため、剛体部２０３ａに要求される性能（高剛性）と、ばね部２０３ｂに要求される性能（低ばね定数）とを同時に満足することが困難となっていた。
【０００９】
特に、剛体部２０３ａのねじり剛性は、板厚増加により行うことはできるが、重量増を招くと共に、ばね部２０３ｂによって材質と板厚が制約を受けてしまうことから、板厚増による剛性アップには限界がある。
【００１０】
これに対し米国特許（ＵＳＰ）第５，１８７，６２５号明細書に記載されている図２３，図２４に示すようなものもある。このサスペンション２０１Ａは、図２２のものと同様に、剛体部２０３ａ及びばね部２０３ｂを備え、ベースプレート２０９によってキャリッジアームに支持されている。尚その他、図２２に示すものと対応する構成部分には同符号を付している。
【００１１】
そして、この図２３で示すサスペンション２０１Ａは、ＳＣ−ＳＣ矢視断面で示す図２４のように、ロードビーム２０３が３層構造となっている。すなわち２枚の金属プレート２１７，２１９間に樹脂層２２１が介在する断面構造となっている。このような構造によって、サスペンションの各種共振モードのダンピングを図っている。
【００１２】
しかしながら、このサスペンション２０１Ａでは、ばね部２０３ｂにおいても剛体部と同一の３層構造断面となっているため、ばね部２０３ｂに要求される低ばね定数及び正確なばね荷重を達成することができないものとなっている。
【００１３】
又、サスペンション２０１Ａでは、箱曲部２０５を３層構造そのものの折り曲げによって形成しているため、高精度な加工が難しく、よりコスト高になる恐れがある。
【００１４】
そこで本発明は、要求される性能に応じることのできる高性能なディスクドライブ用サスペンションと、その製造方法の提供を課題とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したことを特徴とする。
請求項２の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成し、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００１６】
請求項３の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００１７】
請求項４の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持し、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００１８】
請求項５の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００１９】
請求項６の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００２０】
請求項７の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００２１】
請求項８の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００２２】
請求項９の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とする。
【００２３】
請求項１０の発明は、請求項２〜９の何れかに記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記肉抜き用の穴は、エッチングにより形成したことを特徴とする。
【００２４】
請求項１１の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成し、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
【００２５】
請求項１２の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、前記３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１３の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持し、前記３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１４の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１５の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１６の発明は、請求項２〜９の何れかに記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
請求項１７の発明は、請求項１０記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とする。
【００２６】
【発明の効果】
請求項１の発明では、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は前記ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部を確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させる。
さらに、前記ばね部を前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したため、ばね部が剛体部及びベース部に影響されることなく、その低ばね定数化を図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
請求項２の発明では、ロードビームの剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、ばね部を剛体部よりも少ない層で形成したため、全体的な軽量化を図りながら剛体部の高剛性化とばね部の低ばね定数化を同時に達成することができると共に、樹脂層によりダンパ効果を発揮することができる。
【００２７】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすることができると共に、共振周波数の高周波数化を図ることができる。また、ディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタ（風によるサスペンションのばたつき）の発生を確実に抑制することができる。
【００２８】
さらに、３層構造によって剛体部の剛性を高めることができるため、曲げ縁やリブなどの塑性加工は基本的には必要でなく、剛体部の空気抵抗を減少させることが可能となる。かかる点からもディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタの発生をさらに抑制することができる。
前記剛体部の金属プレートの１つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、フレキシャを剛体部に溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは金属プレート及び樹脂層間の結合面間に対し、溶接時の熱影響を及ぼすのを抑制することができる。従って、フレキシャを剛体部に確実に固定することができると共に、剛体部の性能を確実に維持することができる。
【００２９】
請求項３の発明では、請求項２の発明の効果に加え、前記剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた３層構造であるため、剛体部の軽量化と高剛性化を同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
【００３０】
また、前記ばね部は、前記金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、このプレートによってばね部を構成することができるため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部はプレートによって低ばね定数化を図ることができる。
【００３１】
さらに、前記ばね部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持したため、軽量化を図りながらベースプレートを確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに対し、より安定して支持させることができる。
【００３２】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすると共に、共振周波数の高周波数化を図り、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
【００３３】
請求項４の発明では、請求項２の発明の効果に加え、前記剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた３層構造であり、剛体部の軽量化と高剛性化とを同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
【００３４】
また、前記ばね部は、金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持したため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部は、金属プレートと一体のプレートにより低ばね定数化を確実に図ることができる。
【００３５】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールできると共に、共振周波数の高周波数化を図ることができ、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
【００３６】
請求項５の発明では、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
【００３７】
また、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部をより確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させることができる。
【００３８】
さらに、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を前記剛体部及びベース部の層より少なくしたため、ばね部の低ばね定数化を確実に図ることができる。
【００３９】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記剛体部の金属プレートの１つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、フレキシャを剛体部に溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは金属プレート及び樹脂層間の結合面間に対し、溶接時の熱影響を及ぼすのを抑制することができる。従って、フレキシャを剛体部に確実に固定することができると共に、剛体部の性能を確実に維持することができる。
【００４０】
請求項６の発明では、請求項１の発明の効果に加え、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
【００４１】
また、前記ベース部は前記ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部を確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させる。
【００４２】
さらに、前記ばね部を前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したため、ばね部が剛体部及びベース部に影響されることなく、その低ばね定数化を図ることができる。
【００４３】
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記剛体部の金属プレートの１つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、フレキシャを剛体部に溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは金属プレート及び樹脂層間の結合面間に対し、溶接時の熱影響を及ぼすのを抑制することができる。従って、フレキシャを剛体部に確実に固定することができると共に、剛体部の性能を確実に維持することができる。
【００４４】
請求項７の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、剛体部の軽量化と高剛性化を同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ばね部は、前記金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、このプレートによってばね部を構成することができるため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部はプレートによって低ばね定数化を図ることができる。
さらに、前記ばね部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持したため、軽量化を図りながらベースプレートを確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに対し、より安定して支持させることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすると共に、共振周波数の高周波数化を図り、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの１つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、ベースプレートを補強金属プレートの１つに溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは補強金属プレート及び樹脂層の結合面間に対し、溶接時の熱影響を抑制することができる。従って、ベースプレートを補強金属プレートに確実に溶接固定することができると共に、３層構造によるベース部の補強機能を確実に維持することができる。
【００４５】
請求項８の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部をより確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させることができる。
さらに、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を前記剛体部及びベース部の層より少なくしたため、ばね部の低ばね定数化を確実に図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの１つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、ベースプレートを補強金属プレートの１つに溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは補強金属プレート及び樹脂層の結合面間に対し、溶接時の熱影響を抑制することができる。従って、ベースプレートを補強金属プレートに確実に溶接固定することができると共に、３層構造によるベース部の補強機能を確実に維持することができる。
【００４６】
請求項９の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は前記ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部を確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させる。
さらに、前記ばね部を前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したため、ばね部が剛体部及びベース部に影響されることなく、その低ばね定数化を図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、前記補強金属プレートの１つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたため、ベースプレートを補強金属プレートの１つに溶接固定する場合に、樹脂層自体、或いは補強金属プレート及び樹脂層の結合面間に対し、溶接時の熱影響を抑制することができる。従って、ベースプレートを補強金属プレートに確実に溶接固定することができると共に、３層構造によるベース部の補強機能を確実に維持することができる。
【００４７】
請求項１０の発明では、請求項２〜９の何れかの発明の効果に加え、前記肉抜き用の穴は、エッチングにより形成したため、肉抜き用の穴を容易かつ精度よく形成することができる。
【００４８】
請求項１１の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成し、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、全体的な軽量化を図りながら剛体部の高剛性化とばね部の低ばね定数化を同時に達成することができると共に、樹脂層によりダンパ効果を発揮することができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすることができると共に、共振周波数の高周波数化を図ることができる。また、ディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタ（風によるサスペンションのばたつき）の発生を確実に抑制することができる。
さらに、３層構造によって剛体部の剛性を高めることができるため、曲げ縁やリブなどの塑性加工は基本的には必要でなく、剛体部の空気抵抗を減少させることが可能となる。かかる点からもディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタの発生をさらに抑制することができる。
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
請求項１２の発明では、請求項１１の発明の効果に加え、前記剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた３層構造であるため、剛体部の軽量化と高剛性化を同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ばね部は、前記金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、このプレートによってばね部を構成することができるため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部はプレートによって低ばね定数化を図ることができる。
さらに、前記ばね部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、前記ベース部は前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持したため、軽量化を図りながらベースプレートを確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに対し、より安定して支持させることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすると共に、共振周波数の高周波数化を図り、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
請求項１３の発明では、請求項１１の発明の効果に加え、前記剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた３層構造であり、剛体部の軽量化と高剛性化とを同時に達成することができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ばね部は、金属プレートの一方と一体のプレートにより剛体部の端部に形成し、前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持したため、剛体部の３層構造による高剛性化に係わらず、ばね部は、金属プレートと一体のプレートにより低ばね定数化を確実に図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールできると共に、共振周波数の高周波数化を図ることができ、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
請求項１４の発明では、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部をより確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させることができる。
さらに、前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を前記剛体部及びベース部の層より少なくしたため、ばね部の低ばね定数化を確実に図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
請求項１５の発明では、前記剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造としたため、剛体部の軽量化を図りながら高剛性化を図ることができると共に、ダンパ効果を発揮することができる。
また、前記ベース部は前記ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有するため、軽量化を図りながらベース部を確実に補強することができ、ロードビームをキャリッジに確実に支持させる。
さらに、前記ばね部を前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したため、ばね部が剛体部及びベース部に影響されることなく、その低ばね定数化を図ることができる。
従って、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅をより低くコントロールすることができると共に、共振周波数をより高周波数化することができ、さらに風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
【００４９】
請求項１６の発明では、請求項２〜９の何れかの発明の効果に加え、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
請求項１７の発明では、請求項１０の発明の効果に加え、前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有するため、剛体部に箱曲げ部を設けたりディンプルを設ける場合などに、３層構造全体を塑性加工する必要はなく、加工を容易かつ正確に行わせることができる。
【００５０】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態を適用したサスペンションを有するハードディスクドライブの一部断面図を示している。この図１のように、ハードディスクドライブ１は、軸３を中心に旋回可能なキャリッジ５を有している。このキャリッジ５は、ボイスコイルモータなどのポジショニング用モータ７によって、軸３を中心に旋回駆動される。前記キャリッジ５は、複数のキャリッジアーム９（図１では４個）と、各キャリッジアーム９の先端部に取り付けられたサスペンション１１と、各サスペンション１１の先端部に設けられたヘッド部１３などを備えている。
【００５１】
前記キャリッジ５が前記軸３を中心に旋回することによって、前記ヘッド部１３がディスク１５の所望トラックまで移動する。前記ヘッド部１３は、前記ディスク１５のトラックと対向可能な位置に設けられたスライダ１７と、該スライダ１７に保持されたトランスジューサ（図示せず）などを含んでいる。
【００５２】
前記ディスク１５が高速回転したとき、該ディスク１５と前記スライダ１７との間に空気が入り込むことによって、前記スライダ１７は、ディスク１５から僅かに浮上すると共に、ディスク１５及びスライダ１７間にエアベアリングが形成される。
【００５３】
前記サスペンション１１は、例えば図２のようになっている。図２は前記サスペンション１１を反フレキシャ側から見た斜視図である。このサスペンション１１は、ベース部１９とロードビーム２１とを備えている。
【００５４】
前記ベース部１９は、ベースプレート２２を備えている。このベースプレート２２は、前記図１のキャリッジアーム９に取り付けられるものである。前記ベースプレート２２は、例えばステンレス鋼などで形成され、フランジ部２３とボス部２５とからなっている。
【００５５】
前記フランジ部２３は、本実施形態において平面から見て矩形形状を呈し、その板厚は例えばｔ＝０．１５ｍｍ程度に設定されている。なおフランジ部２３は、平面から見て円形状などに形成することもできる。
【００５６】
前記ボス部２５は、前記図１のキャリッジアーム９に設けられた取付孔に嵌合され、ボス部２５の径が治具などにより若干拡大されて前記キャリッジアーム９に対する固定が行われている。
【００５７】
前記ロードビーム２１は、先端部のヘッド部１３のスライダ１７に負荷荷重を与えるものである。このロードビーム２１は、図３の斜視図をも参照すると、剛体部２７とばね部２９とを備えている。前記剛体部２７は、先端部２７ａ側が基端部２７ｂに対して漸次幅狭となるほぼ三角形状に形成されている。この剛体部２７の厚さは、例えばｔ＝１００μｍ程度に設定されている。
【００５８】
前記剛体部２７は、図３のＳＡ−ＳＡ矢視断面図である図４をも参照すると、金属プレート２８ａ，２８ｂ間に樹脂層２８ｃを介在させ、接着剤などで相互に固定された３層構造となっている。前記金属プレート２８ａ，２８ｂは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などによって形成され、一方の金属プレート２８ａの厚みはｔ１＝３８μｍなどに設定され、他方の金属プレート２８ｂの厚みはｔ３＝２０μｍなどに設定されている。前記樹脂層２８ｃは、ポリイミド（ＰＩ）、エポキシなどの樹脂プレートで形成され、その厚みはｔ２＝４２μｍなどに設定されている。これら金属プレート２８ａ，２８ｂ、樹脂層２８ｃの厚みｔ１，ｔ３，ｔ２の合計が１００μｍに設定されている。但し、この厚みの設定は一例であって、全体的な厚み及び各プレートの厚みは、他の厚みに設定することも可能である。
【００５９】
前記剛体部２７には、貫通孔３１ａ，３１ｂ，３３が設けられている。貫通孔３１ａ，３１ｂは軽量化のためのものであり、貫通孔３３は後述するフレキシャの位置決めのためのものである。前記貫通孔３１ａ，３１ｂ，３３は、例えばエッチングなどによって形成されている。
【００６０】
前記剛体部２７の先端部２７ａは金属プレート２８ｂのみの１層となっている。この先端部２７ａは、例えばエッチングなどによって金属プレート２８ａ、樹脂層２８が除去されたものである。前記ディンプル３７は、前記金属プレート２８ｂの先端部２７ａにプレス成形されたものである。尚、このディンプル３７は、後述するフレキシャのタング部に当接するものである。
【００６１】
そして、本実施形態において、前記ディンプル３７の塑性加工部が１枚の金属プレート２８ｂのみに行われている。従って、３層の剛体部２７そのものにディンプル３７を設ける場合に比べて、１枚の金属プレート２８ｂにのみ設けることにより塑性加工が極めて容易であり、精度のよいディンプル３７を得ることができる。
【００６２】
前記ばね部２９は、一方の金属プレート２８ａと一体のプレートにより剛体部２７の端部に形成され、剛体部２７よりも少ない、例えば１層で形成されている。このばね部２９は、本実施形態において例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成され、その厚みはｔ＝３８μｍに設定されている。このばね部２９には、開口３９が設けられ、両側部４１ａ，４１ｂが低ばね定数のばね部分として機能している。
【００６３】
前記ばね部２９の反剛体部側端部には、前記ベース部１９を補強する補強金属プレート４３ａが一体に設けられている。この補強金属プレート４３ａは、本実施形態において、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成され、その厚みはｔ＝３８μｍに設定されている。この補強金属プレート４３ａに他の補強金属プレート４３ｂを樹脂層４３ｃを介在させて合わせ、接着剤などで相互に固定された３層構造の補強部４５が設けられている。
【００６４】
この補強部４５における補強金属プレート４３ａ，４３ｂ、樹脂層４３ｃの関係は、前記剛体部２７における金属プレート２８ａ，２８ｂ、樹脂層２８ｃと同一に設定されている。従って、金属プレート４３ｂは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成され、その厚みはｔ＝２０μｍに設定されている。前記樹脂層４３ｃは、ポリイミド（ＰＩ）、エポキシなどの樹脂プレートで形成され、その厚みはｔ＝４２μｍに設定されている。
【００６５】
前記補強部４５の外径形状は、前記ベースプレート２２のフランジ部２３の外径形状にほぼ対応して平面から見て矩形形状に形成されている。
【００６６】
前記補強部４５に対し、図２のようにベースプレート２２が合わせられ、
溶着部４８においてレーザ溶接などによって溶着固定されている。このベースプレート２２の取付状態で、ベースプレート２２の前縁２２ａは、前記ばね部２９の開口３９の後縁３９ａに一致して沿っている。従って、ベースプレート２２をキャリッジ５に取り付けたときに、ベースプレート２２によってばね部２９の基端部を確実に支持することができるため、ばね部２９によって剛体部２７を確実に弾性支持することができ、所期の機能を正確に発揮することができる。
【００６７】
尚、ベースプレート２２のフランジ部２３は、本実施形態よりも小型化し、その前縁２２ａを開口３９の後縁３９ａより、よりボス部２５側へずらすことも可能である。また、フランジ部２３を、ボス部２５の周囲に円形に形成することもできる。
【００６８】
前記剛体部２７には、図２のようにフレキシャ４９が取り付けられている。このフレキシャ４９の図示では、他端側の端子部を省略している。前記フレキシャ４９は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板などの金属基板の表面に、電気絶縁層を介して例えば４本の導電路を形成したものである。前記導電路の一端は、ヘッド部１３の端子にそれぞれ導通接続され、他端は後方に設定された端子にそれぞれ導通接続されている。前記フレキシャ４９のタング部５７には、前記スライダ１７が装着されている。前記タング部５７は、前記剛体部２７のディンプル３７に当接している。前記フレキシャ４９は、前記剛体部２７に対し溶着部６１によって溶着固定され、また、前記ベース部１９においても、補強部４５に溶着部６３において溶着固定されている。
【００６９】
前記補強部４５に対するベースプレート２２の溶着固定、及びフレキシャ４９の剛体部２７及び補強部４５に対する溶着固定は、図５，図６のように行われている。図５は前記ベースプレート２２の溶着部４８における断面図であり、図６は前記フレキシャ４９の溶着部６１における断面図である。
【００７０】
まず図２，図５のように、ベースプレート２２のフランジ部２３は、補強部４５の１つの補強金属プレート４３ｂにレーザ溶接などによって溶着部４８が形成され、溶着固定されている。前記溶着部４８による溶接固定する位置で、他の補強金属プレート４３ｂ及び樹脂層４３ｃに肉抜き用の穴６５が、例えばエッチングにより設けられている。従って、ベースプレート２２を補強部４５にレーザ溶接などによって溶着固定する場合に、溶着部４８の熱が樹脂層４３ｃや、樹脂層４３ｃ及び補強金属プレート４３ａ，４３ｂ間の接着間に熱影響を及ぼすことが抑制される。従って、ベースプレート２２と補強部４５との結合を確実に行いながら、補強部４５の補強機能を確実に維持することができる。
【００７１】
図６は、前記剛体部２７及び補強部４５での溶着部６１を示しており、補強部４５においては括弧を付けてその対応を示している。前記剛体部２７での溶着部６１を中心に説明すると、剛体部２７の１つの金属プレート２８ｂに前記フレキシャ４９を溶着部６１によって溶接固定している。この溶着部６１により溶接固定する位置で、前記他の金属プレート２８ａ及び樹脂層２８ｃに、肉抜き用の穴６７が、例えばエッチングにより設けられている。従って、剛体部２７にフレキシャ４９を溶着部６１によって確実に溶着固定することができながら、レーザ溶接時に樹脂層２８ｃや、樹脂層２８ｃ及び金属プレート２８ａ，２８ｂ間の接着に熱影響を及ぼすのが抑制され、剛体部２７の性能を確実に維持することができる。
【００７２】
前記補強部４５を備えたロードビーム２１のエッチング処理は、例えば図７のようにしても行われる。図７は、ロードビーム２１の製造方法の概略を示し、（ａ）は多層基材の製造工程、（ｂ）はレジスト塗布、露光、現像工程、（ｃ）はＳＵＳエッチング工程、（ｄ）はレジスト剥離工程、（ｅ）は樹脂エッチング工程を示す断面図である。
【００７３】
まず、図７（ａ）の工程で、基材金属プレート６９ａ，６９ｂ間に基材樹脂層６９ｃを介在させた３層構造の多層基材７１を形成する。尚、多層基材７１は剛体部２７及び補強部４５の層の増加によっては、基材金属プレートと基材樹脂層を交互に増加して、４層以上に設定する。
【００７４】
次に、図７（ｂ）の工程で、多層基材７１の両面にレジスト７３，７５を塗布する。レジスト７３，７５は、それぞれ孔７７，７９，８１，８３、開口８５などを有している。この図７（ｂ）の工程で、露光、現像し、図７（ｃ）のように基材金属プレート６９ａ，６９ｂに除去部８７，８９，９１，９３，９５を形成する。
【００７５】
次に、図７（ｄ）の工程で、レジスト７３，７５を剥離する。
【００７６】
次に図７（ｅ）の工程で、エッチング処理し、基材樹脂層６９ｂに除去部９７，９９，１０１を形成する。
【００７７】
この製造方法により、例えば除去部８７，８９，９７が図３の貫通孔４７を形成し、除去部９１，９３，９９が同位置決め用の貫通孔３３を形成し、除去部９５，１０１によってばね部２９を１層に形成することができる。
【００７８】
尚、上記実施形態では、ばね部２９を剛体部２７の一方の金属プレート２８ａと一体に形成したが、図８のようにばね部２９を他方のプレート２８ｂと一体に形成することも可能である。この図８の実施形態では、金属プレート２８ｂ、ばね部２９、補強金属プレート４３ｂの板厚がｔ＝３８μｍに設定され、金属プレート２８ａ、補強金属プレート４３ａの板厚がｔ＝２０μｍに設定されることになる。
【００７９】
前記剛体部２７には、図９，図１０のロードビーム２１のように、中間部左右両側に箱曲部３５を設けることもできる。図９は図３に対応し、図１０は図８に対応している。前記箱曲部３５は、剛体部２７の剛性をさらに向上させるためのものである。本実施形態においては、剛体部２７が３層構造であって、剛性が高いため、箱曲部３５は極力小さくすることができる。
【００８０】
前記箱曲部３５は、金属プレート２８ｂに舌片を形成して、これを折り曲げたものである。従って、本実施形態において、箱曲部３５、ディンプル３７の塑性加工部が１枚の金属プレート２８ｂのみに行われている。従って、３層の剛体部２７そのものに箱曲部３５を設けたり、ディンプル３７を設ける場合に比べて、１枚の金属プレート２８ｂにのみ設けることにより塑性加工が極めて容易であり、精度のよい箱曲部３５及びディンプル３７を得ることができる。尚、箱曲部３５は、金属プレート２８ａのみに設けることもでき、また、金属プレート２８ａ、２８ｂの双方に設けることもできる。
【００８１】
次に、上記のように剛体部２７を金属プレート２８ａ，２８ｂ間に樹脂層２８ｃを介在させた多層構造とし、ばね部２９を剛体部２７よりも少ない層で形成する根拠について説明する。
【００８２】
従来の、例えば図２２などのサスペンション２０１に関し、一般的に低い周波数で大きな振幅となりやすいねじれモードのコントロールが重要である。ねじれモードの場合、ベース部２０９を加振して求められる振動と、風乱によって発生するスライダ２１５のトラック方向変位とではその特性が異なる場合が多い。風乱によるサスペンションの揺れは、サスペンションフラッタと呼ばれ、以後ねじれモードによって最初に現れるものをＴ１フラッタ（1st Torsionモード）と呼び、ベースプレート加振によって求められるものをゲインと呼ぶことにする。
【００８３】
まず、ロードビーム２０３のＺ方向形状（以後、ＬＢプロファイル）、ゲインの周波数特性及びＴ１ゲインとＺハイト（組付時のＺ方向高さ）の関係の本出願人による解析結果によると、ＬＢプロファイルによってＴ１ゲインがコントロールできることが解った。
【００８４】
次に、本出願人の実験によると、高回転ディスクの場合、Ｔ１フラッタ変位とＺハイトの関係は、Ｔ１ゲインのそれより感度が高いために問題になりやすいことが解った。その対策法は以下の通りである。
（１）Ｚハイトに対するカップルファクター（Couple factor）の感度を小さくする。
【００８５】
前記カップルファクターは次式で示される。
【００８６】
【数１】
（２）ダンパによって振動のエネルギを吸収してロードビームＴ１振幅を小さくする。
（３）風乱を受けにくいサスペンションの形状とする。
（４）ロードビームのねじれ剛性を大きくすることで、ロードビームＴ１振幅を小さくする。
【００８７】
上記（１）に関しては、ばね部２０３ｂのＺ方向剛性を小さく、かつ長さを極端に短くし、剛体部２０３ａのＺ方向剛性を、逆に大きくすることによって達成可能と考えた。
【００８８】
上記（２）に関しては、樹脂層によってダンパ効果を得るようにすることとした。
【００８９】
上記（３）に関しては、本出願人の種々の実験の結果、サスペンションフラッタの原因は、高回転ディスクがもたらす風乱がサスペンションのＺ方向に非定常流体力として働き、各モードを励起していると考え、対策をすることとした。
【００９０】
上記（４）に関しては、解析によってそのねじれ剛性を計算することができ、ねじれ剛性を設定することとした。
【００９１】
まず、Ｔ１フラッタの発生原因を上記のように仮定すれば、単位面積当たりに働く非定常流体力Ｆ（ｔ）がロードビーム中心軸を境にした半面に働いたときのモーメントＭ（ｘ）と、解析で求められたねじれ剛性Ｓ（ｘ）とからディンプル部のねじれ角θが計算できる。
【００９２】
次に、図１１のように座標を考える。図１１（ａ）はｙ＝ｆ（ｘ）のロードビーム形状関数を表しており、ｘ位置の剛体部に働くモーメントＭ（ｘ）は、次式となる。
【００９３】
【数２】
【００９４】
【数３】
【００９５】
【数４】
【００９６】
ここで更に、ロードビーム形状をｆ（ｘ）＝Ｂと考えると、モーメントＭ（ｘ）及びねじれ剛性は次式のディメンションで表すことができる。
【００９７】
【数５】
【００９８】
【数６】
【００９９】
他方、Ｔ１周波数は、次式のディメンションで表される。
【０１００】
【数７】
【０１０１】
以上のような本願出願人の考察に基づいて、サスペンション１１の構造を上記のように多層構造としたものである。
【０１０２】
次に、従来品に対し第１実施形態等に係る３層構造品が軽量化されていることを図１２の図表により説明する。
【０１０３】
図１２において、左から第１欄、第２欄、第３欄、第４欄、第５欄とすると、第１欄に各部分の名称を示し、第２欄に厚みを示し、第３欄に従来品の各部分の重量配分を示し、第４欄に第１の３層構造品の重量配分を示し、第５欄に第２の３層構造品の重量配分を示している。部分としては、ベースプレート、ロードビーム、ばね部、フレキシャ、スライダが示されている。
【０１０４】
ベースプレートの厚みはｔ＝０．１５ｍｍ、ロードビームの厚みはｔ＝０．１ｍｍ、ばね部の厚みはｔ＝３８μｍに設定してある。
【０１０５】
従来品のロードビームは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成され、その全体の厚みはｔ＝１００μｍである。第１の３層構造品は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）による金属プレートがそれぞれ厚みｔ＝２５μｍであり、ポリイミド（ＰＩ）の樹脂層の厚みはｔ＝５０μｍであり、全体でｔ＝１００μｍとなっている。
【０１０６】
第２の３層構造品は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）の両金属プレートの厚みがｔ＝３８μｍ、ｔ＝２０μｍに設定され、ポリイミド（ＰＩ）の樹脂層の厚みはｔ＝４２μｍであり、全体でｔ＝１００μｍに設定してある。
【０１０７】
そして、従来品の各部分の重さは、第３欄に示されている通りであり、合計で５１．０ｍｇとなっている。第１，第２の３層構造品の各部の重さは、第４欄、第５欄に示されている通りであり、合計の重さは第１の３層構造品では３５．６ｍｇ、第２の３層構造品では３７．１ｍｇとなった。
【０１０８】
このように第１の３層構造品では、従来品に比べて３０％、第２の３層構造品では同２７％それぞれ軽量化することができた。すなわち、第１実施形態等の３層構造品とすることによって、同一の厚さでロードビームの剛体部の剛性を向上させることができながら、大幅な軽量化を図ることができるのである。
【０１０９】
図１３〜図１６は、実験結果を示している。図１３は風乱によるオフトラック変位の測定結果を示し、図１４はサスペンションの伝達関数の測定結果を示し、図１５はＺハイト（組付時のＺ方向高さ）と風乱によるＴ１ロードビームねじれ角の測定結果を示し、図１６はＺハイトの変化に対する風乱によるＴ１オフトラック方向変位の測定結果を示している。図１７は、これら実験結果を図表にしたものである。
【０１１０】
図１３，図１４，図１５，図１６において、（ａ）は上記実施形態のサスペンション１１の測定結果であり、同（ｂ）は図２２に示す（ａ）と同じ長さの従来品の測定結果である。また、図１７のように、３層構造品のロードビームは、厚みｔ＝３８μｍ、ｔ＝２０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）の金属プレート、及び厚みｔ＝４２μｍのポリイミド（ＰＩ）の樹脂層が用いられている。３層構造品の合計の質量は３７．１ｍｇである。従来品のロードビームは、厚みｔ＝５１μｍ、質量４９．１ｍｇのステンレス鋼（ＳＵＳ）が用いられている。測定はレーザドップラ速度計で行い、ゲイン測定はベースプレート加振によって行っている。ゲイン＝出力／入力である。フラッタ測定は、ディスクを回して揺れを観測した。測定値＝出力である。
【０１１１】
これらの実験結果から、まず共振特性においては図１４を参照し、風乱特性は図１３，図１５，図１６を参照する。風乱によるオフトラック（OFF TRACK）（風乱による揺れの大きさ）は図１４を参照し、そのときのＴ１モードのオフトラックＺハイトセンシティビティ（sensitivity）は図１６を参照し、Ｔ１モードのロードビームねじれ角Ｚハイトセンシティビティ（sensitivity）は図１５を参照する。尚、図１５，図１６において、横軸の単位は、ｍｍであり、その大きさは、横軸に示されている２桁の数字を０．０２５４倍したものである。
【０１１２】
図１３（ａ）の３層構造品では、Ｔ１モードの共振周波数が９．０（ＫＨｚ）であったのに対し、図１３（ｂ）の従来品では、同５．０（ＫＨｚ）であり、３層構造品では、Ｔ１フラッタの共振周波数が極めて高くなるという優位点があった（図１７）。
【０１１３】
次に、スウェイ（ＳＷＡＹ）に関しては、図１４（ａ）の３層構造品では、共振周波数が１７．８（ＫＨｚ）であったのに対し、図１４（ｂ）の従来品では、同１２．５（ＫＨｚ）であり、３層構造品はスウェイの共振点が著しく高くなったという優位点があった（図１７）。尚、スウェイ（ＳＷＡＹ）であることは、位相の変化で判断することができる。
【０１１４】
次に、風乱によるＴ１ロードビームねじれ角に関し、図１５（ａ）の３層構造品では、Ｚハイトの変化に拘わらず、ねじれ角実験結果の平均値が０．０００４（ｄｅｇ）であったのに対し、図１５（ｂ）の従来品では、同０．００５（ｄｅｇ）であった。この結果、３層構造品では、風乱によるねじれ角が従来品の１／１０以下となり、風乱に非常に強いという優位点があった（図１８）。
【０１１５】
従って、風乱によるＴ１オフトラックに関して、図１６（ａ）の３層構造品ではＺハイトの変化に拘わらず、変位が安定しており、その傾きはそれ程大きくはなかった。これに対し、図１６（ｂ）の従来品では、Ｚハイトの変化に対してその変位が大きく変化し、傾きは図から明らかなように相当に大きくなった。このＺハイトの変化は、サスペンションとしてのばらつき、組立時のばらつきにより、設計値に対してずれ得る範囲を想定したもので、この範囲において３層構造品のように安定したものであれば信頼性の高いサスペンションが得られる。これに対し、従来品では、Ｚハイトが３６×０．０２５４ｍｍと２０×０．０２５４ｍｍとで特性が大きく変わり、２０×０．０２５４ｍｍでの信頼性は著しく低くなった。これらの結果、３層構造品は従来品に比べて風乱による揺れが小さくできるため、読みとり、書き込み不良を大幅に改善することができ、トラック密度を上げることができるという優位点があった（図１７）。
【０１１６】
これらの実験結果は、本願出願人の上記考察とよく符合し、３層構造品によって軽量化を図りながら剛体部２７の高剛性化と、ばね部２９の低ばね定数化を達成することができ、上記各優位点を確実に得ることができた。
【０１１７】
さらに、前記ベース部１９は、前記キャリッジアーム９に取り付けられるベースプレート２２に前記３層構造の補強部４５を支持したため、軽量化を図りながらベースプレート２２を確実に補強することができ、ロードビーム２１をキャリッジ５に対し、より安定して支持させることができる。
【０１１８】
こうして、全体的に軽量化を図りながら、各種共振モードの振幅を低くコントロールすると共に、共振周波数の高周波数化を図り、また風乱によるサスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
（第２実施形態）
図１８，図１９は本発明の第２実施形態を示している。図１８は第２実施形態に係るサスペンション１１Ａの平面図、図１９はキャリッジアーム９にサスペンション１１Ａを取り付けた状態の断面図である。尚、上記第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付して説明する。
【０１１９】
本実施形態のサスペンション１１Ａは、キャリッジアーム９の取付点からディンプル３７までの距離が長くなった場合に適している。本実施形態においても、剛体部２７は、金属プレート２８ａ，２８ｂ間に樹脂層２８ｃを介在させた３層構造となっている。ばね部２９Ａは、金属プレート２８ｂと一体の１層のプレートで剛体部２７の端部に形成されている。ばね部２９Ａには、反剛体部側に支持部１０３が一体に形成されている。
【０１２０】
ベース部１９Ａにおけるベースプレート２２のフランジ部２３には、延長部１０５が設けられている。このベースプレート２２側の延長部１０５に、前記ばね部２９Ａ側の支持部１０３がレーザ溶接などによって固定支持されている。
【０１２１】
このような構造によって、剛体部２７は、金属プレート２８ａ，２８ｂ間に樹脂層２８ｃを介在させた３層構造によって軽量化を図りながら高剛性化を達成すると共に、樹脂層２８ｃのダンパ効果を得ることができる。又、ばね部２９Ａは金属プレート２８ｂ一体の１層のプレートによって形成されることにより、低ばね定数化を図ることができる。
【０１２２】
従って、本実施形態においても、第１実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。又、本実施形態においては、ばね部２９Ａに一体に設けた支持部１０３をベースプレート２２側の延長部１０５にレーザ溶接などによって固定するものであるため、製造が容易であり、またより軽量化を図ることができる。（第３実施形態）図２０は本発明の第３実施形態に係るサスペンション１１Ｂの概略断面図を示している。尚、第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付して説明する。
【０１２３】
前記サスペンション１１Ｂの補強部４５Ｂには、軽量化のための穴が形成されているが、図２０では図示していない。またベース部１９Ｂのボス部２５にも内周に孔が形成されているが、図示していない。
【０１２４】
そして、本実施形態においては、ロードビーム２１Ｂの剛体部２７Ｂが金属プレート１０７ａ，１０７ｂ間に樹脂層１０７ｃを介在させた３層構造に対し、さらに上下に樹脂層１０７ｅ，１０７ｇを介して金属プレート１０７ｄ，１０７ｆを設け、７層構造としたものである。
【０１２５】
前記ベース部１９Ｂの補強部４５Ｂは、剛体部２７Ｂと同様に補強金属プレート１０９ａ，１０９ｂ，１０９ｄ，１０９ｆと樹脂層１０９ｃ，１０９ｅ，１０９ｇの７層の構造となっている。
【０１２６】
前記ばね部２９Ｂは、金属部１１０ａ，１１０ｂを金属プレート１０７ａ，１０７ｂ、補強金属プレート１０９ａ，１０９ｂと一体に形成し、かつ樹脂部１１０ｃを剛体部２７ｂ、補強部４５Ｂの樹脂層１０７ｃ，１０９ｃと一体に形成し、ばね部２９Ｂの層を３層とし、剛体部２７ｂ及び補強部４５Ｂの層より少なくしている。
【０１２７】
又、この実施形態では、ベースプレートは特に設けられておらず、ボス部２５が補強部４５Ｂの補強金属プレート１０９ｄに直接固定されている。剛体部２７Ｂ、ばね部２９Ｂ、補強部４５Ｂの全体の厚みは、例えば第１実施形態と同様に形成されている。
【０１２８】
従って、本実施形態においても、多層構造の剛体部２７Ｂ、補強部４５Ｂ、及びこれらより層の少ない多層構造のばね部２９Ｂにより、上記第１実施形態と同様な作用効果を奏することができる。また、本実施形態においては、樹脂層が増加しているため、より軽量化を図ることができる。
【０１２９】
尚、上記実施形態において、補強部４５Ｂは補強金属プレートの１層のみの構成にすることも可能である。又、ベース部１９Ｂのボス部２５は省略して補強部４５Ｂを直接キャリッジアーム９に取り付ける構成にすることも可能である。
【０１３０】
ばね部２９Ｂは金属部１１０ａ又は１１０ｂと樹脂部１１０ｃの２層構造、或いは金属部１１０ａ又は１１０ｂの１層構造にすることもできる。又、金属部１１０ａ，１１０ｂ、樹脂部１１０ｃの層方向の位置は任意であり、樹脂部１１０ｃが金属部１１０ａ，１１０ｂに挟まれる構造には限られるものではない。例えば、金属部１１０ａ又は１１０ｂの一方を樹脂部とすることができる。この場合、樹脂部１１０ｃと樹脂部１１０ａ又は１１０ｂとの樹脂の材質を変更するなどの構成にすることもできる。
（第４実施形態）
図２１は本発明の第４実施形態に係るサスペンション１１Ｃの概略断面図を示している。尚、第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付して説明する。前記補強部４５Ｃには本来軽量化の穴が設けられているが、図示はしていない。またベースプレート２２にも内周孔が形成されているが、図示はしていない。
【０１３１】
本実施形態においては、ロードビーム２１Ｃの剛体部２７Ｃを金属プレート１１１ａ，１１１ｂ間に樹脂層１１１ｃを介在させて３層構造としている。またベース部１９Ｃの補強部４５Ｃは、補強金属プレート１１３ａ，１１３ｂ間に樹脂層１１３ｃを介在させた３層構造としている。
【０１３２】
ばね部２９Ｃは、剛体部２７Ｃ及び補強部４５Ｃとは別体に形成し、剛体部２７Ｃの金属プレート１１１ｂ及び補強部４５Ｃの補強金属プレート１１３ｂにレーザ溶接などによって結合されている。このサスペンション１１Ｃの剛体部２７Ｃ、ばね部２９Ｃ、補強部４５Ｃなどの全体的な厚みは第１実施形態と同様に設定されている。
【０１３３】
従って、本実施形態においても、剛体部２７Ｃの３層構造、ばね部２９Ｃの１層構造、補強部４５Ｃの３層構造によって、第１実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。又、本実施形態においては、ばね部２９Ｃが別体に形成されているため、ばね部２９Ｃの厚さ、形状の自由度を広げることができる。
【０１３４】
尚、剛体部２７Ｃは３層構造に限らず、樹脂層及び金属プレートを増加して、４層以上の多層構造にすることも可能である。又、補強部４５Ｃは、同様に４層以上の多層構造とし、或いは補強金属プレートと樹脂層の２層構造、補強金属プレートのみの１層にすることも可能である。
【０１３５】
ベース部１９Ｃのベースプレート２２はこれを省略して補強部４５Ｃをキャリッジアーム９に直接固定する構造にすることも可能である。さらに、前記ばね部２９Ｃは、剛体部２７Ｃの下面に一点鎖線で示す領域、あるいは補強部４５Ｃの下面に一点鎖線で示す領域のいずれか一方に延長して構成することができる。一方に延長したときには、他方は延長しない構成となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を適用したハードディスクドライブの一部断面図である。
【図２】第１実施形態に係り、ディスクドライブ用サスペンションを反フレキシャ側から見た斜視図である。
【図３】第１実施形態に係り、ロードビームの斜視図である。
【図４】第１実施形態に係り、図４のＳＡ−ＳＡ矢視断面図である。
【図５】第１実施形態に係り、図２のＳＢ−ＳＢ矢視断面図である。
【図６】第１実施形態に係り、溶着部６１，６３における断面図である。
【図７】第１実施形態に係り、ロードビームの製造方法の概略を示し、（ａ）は多層基材の製造工程、（ｂ）はレジスト塗布、露光、現像工程、（ｃ）はＳＵＳエッチング工程、（ｄ）はレジスト剥離工程、（ｅ）は樹脂エッチング工程を示す断面図である。
【図８】第１実施形態の変形例に係り、ロードビームの斜視図である。
【図９】第１実施形態の他の変形例に係り、ロードビームの斜視図である。
【図１０】第１実施形態のさらに他の変形例に係り、ロードビームの斜視図である。
【図１１】第１実施形態に係り、（ａ）はロードビーム形状関数のグラフ、（ｂ）はねじれ剛性を示すグラフである。
【図１２】第１実施形態に係り、従来品に対する３層構造品の軽量化を示す図表である。
【図１３】（ａ）は第１実施形態に係る風乱によるオフトラック変位の実験結果を示すグラフであり、（ｂ）は従来品の同実験結果を示すグラフである。
【図１４】（ａ）は第１実施形態に係る伝達関数の実験結果を示すグラフであり、（ｂ）は従来品の伝達関数の実験結果のグラフである。
【図１５】（ａ）は第１実施形態に係るＺハイトと風乱によるＴ１ロードビームねじれ角との関係の実験結果を示すグラフであり、（ｂ）は従来品のＺハイトと風乱によるＴ１ロードビームねじれ角との関係の実験結果を示すグラフである。
【図１６】（ａ）は第１実施形態のＺハイトと風乱によるＴ１オフトラック方向変位との関係の実験結果を示すグラフ、（ｂ）は従来品のＺハイトと風乱によるＴ１オフトラック方向変位との関係の実験結果を示すグラフである。
【図１７】第１実施形態に係り、３層構造品と従来品との実験結果の比較を示す図表である。
【図１８】本発明の第２実施形態に係るディスクドライブ用サスペンションの平面図である。
【図１９】第２実施形態を適用したハードディスクドライブの一部断面図である。
【図２０】本発明の第３実施形態に係るディスクドライブ用サスペンションの概略断面図である。
【図２１】本発明の第４実施形態に係るディスクドライブ用サスペンションの概略断面図である。
【図２２】従来例に係るディスクドライブ用サスペンションの斜視図である。
【図２３】他の従来例に係るディスクドライブ用サスペンションの斜視図である。
【図２４】図２３のＳＣ−ＳＣ矢視断面図である。
【符号の説明】
５ キャリッジ
１１，１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ サスペンション
１３ ヘッド部
２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ ロードビーム
１９，１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ ベース部
２２ ベースプレート
２７，２７Ｂ，２７Ｃ 剛体部
２９，２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｃ ばね部
４５，４５Ｂ，４５Ｃ 補強部
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｄ，１０７ｆ，１１１ａ，１１１ｂ 金属プレート
２８ｃ，４３ｃ，１０７ｃ，１０７ｅ，１０７ｇ，１０９ｃ，１０９ｅ，１０９ｇ，１１１ｃ，１１３ｃ 樹脂層
４３ａ，４３ｂ，１０９ａ，１０９ｂ，１０９ｄ，１０９ｆ，１１３ａ，１１３ｂ 補強金属プレート
１０３ 支持部
Claims (17)
- キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、
前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、
前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合したことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、
前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成し、
前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、
前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、
該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、
前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、
前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、
前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、
前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持し、
前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、
前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、
前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、
前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、
前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、
前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、
前記剛体部の金属プレートの一つに前記フレキシャを溶接固定する位置で、前記他の金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、
前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、
該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、
前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、
前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、
前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、
前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、
前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、
前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、
前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートを有し、
前記補強金属プレートの一つに前記ベースプレートを溶接固定する位置で、前記他の補強金属プレート及び樹脂層に肉抜き用の穴を設けたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - 請求項２〜９の何れかに記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記肉抜き用の穴は、エッチングにより形成したことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、
前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成し、
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、
前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、
該ばね部の反剛体部側端部に、前記ベース部を補強する補強金属プレートを一体に設け、
前記補強金属プレートに他の補強金属プレートを樹脂層を介在させて合わせた少なくとも３層構造の補強部を設け、
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記補強部を支持し、
前記３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて３層構造とし、
前記ばね部を、前記剛体部よりも少ない層で形成して前記金属プレートの一方と一体のプレートにより前記剛体部の端部に形成し、
前記ばね部の反剛体部側に、支持部を一体に設け、
前記ベース部は、前記キャリッジに取り付けられるベースプレートに前記支持部を支持し、
前記３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、前記ベース部は、
該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、
前記ばね部を、金属部及び樹脂部からなる少なくとも２層構造とすると共に、前記金属部を、前記金属プレート及び補強金属プレートと一体に形成し、且つ前記樹脂部を、前記剛体部及びベース部の樹脂層と一体に形成し、該ばね部の層を、前記剛体部及びベース部の層より少なくし、
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部を、金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とし、
前記ベース部は、該ベース部を補強する補強金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造を有し、
前記ばね部を、前記剛体部及びベース部とは別体に形成すると共に、剛体部の金属プレート及びベース部の補強金属プレートに結合し、
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - 請求項２〜９の何れかに記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - 請求項１０記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記少なくとも３層構造の剛体部は、金属プレートにのみ塑性加工部を有することを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
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