JPH11203809A - 磁気ヘッド用サスペンションおよび磁気記憶装置 - Google Patents

磁気ヘッド用サスペンションおよび磁気記憶装置

Info

Publication number
JPH11203809A
JPH11203809A JP538198A JP538198A JPH11203809A JP H11203809 A JPH11203809 A JP H11203809A JP 538198 A JP538198 A JP 538198A JP 538198 A JP538198 A JP 538198A JP H11203809 A JPH11203809 A JP H11203809A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic head
spring portion
suspension
load
gimbal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP538198A
Other languages
English (en)
Inventor
Shuichi Sugawara
秀一 菅原
Masaaki Matsumoto
真明 松本
Kosaku Wakatsuki
耕作 若月
Shinobu Hagitani
忍 萩谷
Toshihiko Shimizu
利彦 清水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP538198A priority Critical patent/JPH11203809A/ja
Publication of JPH11203809A publication Critical patent/JPH11203809A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】ジンバル剛性の低減・ジンバル強度の確保・振
動特性の向上を実現する磁気ヘッド用サスペンション及
び磁気記憶装置を提供する。 【解決手段】キャリッジアームへの取り付け部、荷重を
発生するための第1のバネ部及び第2のバネ部、ロード
ビーム部及び磁気記録媒体に信号の記録又は再生をする
磁気ヘッドスライダを支持するジンバル部から成る磁気
ヘッド用サスペンションにおいて、第2のバネ部がロー
ドビーム部とジンバル部を連結するくびれの構造とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気記憶装置の磁気
記録媒体に情報を読み書きするための磁気ヘッドスライ
ダを支持する磁気ヘッド用サスペンションおよびその磁
気ヘッド用サスペンションを搭載した磁気記憶装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】磁気記憶装置の大容量化に伴い、磁気記
録密度の高密度化のための磁気ヘッドスライダの低浮上
量化及び磁気ディスク・ヘッドの高密度実装化のための
磁気ディスク・ヘッドの小型化が行われてきた。例え
ば、特開平6−139739号公報に開示されているヘ
ッド支持機構及び磁気ディスク装置では、ヘッド支持機
構のばね部以外の部分にスライダの電磁変換部を磁気デ
ィスク方向に近付ける屈曲部を備えた磁気ヘッド用サス
ペンション構造となっている。この構造によって、スラ
イダの浮上量の絶対値を下げることができ、浮上安定性
を確保可能としている。しかし、このような構造とする
ことによって、使用状態においてサスペンションは面外
に変形した状態となり、振動特性上、磁気ヘッドシーク
方向の振動に対してねじりモードが大きくなり、問題と
なる。また、スライダサイズを略2.0×1.6×0.
4mm形状から略1.25×1.0×0.3mm形状と
小型化することによって磁気ディスク表面に対する追従
性を向上させてスライダの低浮上量化が実現されている
のは公知である。さらに、スライダサイズの小型化で、
磁気ディスク面上での記録範囲が広がり、かつ、より多
くの磁気ディスク・ヘッドを磁気記憶装置の中に実装す
ることが可能となり、高密度実装化も実現できる。
【0003】スライダサイズの小型化に伴い、スライダ
のエアベアリング機構における空気膜剛性の低下が生
じ、スライダに搭載された電磁変換部とリードライト用
のICとの間をつなぐワイヤの剛性のスライダ浮上特性
への影響が大きくなってきた。特に、磁気誘導型(M
I)ヘッドと磁気抵抗効果型(MR)ヘッドとの複合型
磁気ヘッドにおいては4本または5本のワイヤを使用す
るため、ワイヤ剛性の影響及びサスペンションのジンバ
ル剛性の影響が深刻化してきた。そこで、最近では、ス
テンレス鋼に配線がパターニングされた磁気ヘッド用サ
スペンションが実用化されてきた。ステンレス鋼に配線
がパターニングされた磁気ヘッド用サスペンションは、
ジンバル部・ロードビーム部・バネ部が一枚のステンレ
ス鋼板からなり、ステンレス鋼板上に、フォトリソグラ
フィーなどの技術により、配線を形成したものである。
これによって、ワイヤは不要となり、スライダの浮上特
性に与えるワイヤ剛性の影響をなくすことを可能とし
た。また、磁気ヘッド用サスペンションのジンバル剛性
の影響を低減するために、ステンレス鋼板の薄板化が行
われ、略25μmから20μmのステンレス鋼板が主流
となってきた。
【0004】例えば、特開平6−215513号公報に
開示されている磁気ヘッド支持機構では、磁気ヘッドス
ライダが固定される磁気ヘッドスライダ固定部と、上記
磁気ヘッドスライダ固定部より上記ロードビームの長手
方向に沿って延出する第1の梁部と、上記第1の梁部の
先端より両側に別れて磁気ヘッドスライダの両側を通
り、上記ロードビームの一部とそれぞれ連結する第2、
第3の梁部とよりなる構造となっている。この構成とす
ることにより、ロードビームの幅が狭いにも拘らずロー
ドビーム自体にジンバルを形成することを可能としてい
るが、ロール剛性を低減するためには、第1の梁部をで
きるだけ細くする必要を生ずる。また、この構造におい
ては、ロードビーム本体部及び第3の梁部が面外に撓
む。一般に、磁気ディスク装置ではコンタクト・スター
ト・ストップ方式を採用しており、磁気ヘッドスライダ
と磁気ディスクとの間にはスタート・ストップ時に、摩
擦力が発生する。この摩擦力は第1の梁部を座屈させる
方向に働き、また、第3の梁部が面外に変形しているた
め、このようなサスペンション構造はジンバル強度上の
問題を生ずる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】磁気ヘッドスライダサ
イズの小型化などによって、磁気記憶装置の大容量化が
実現可能となってきたが、前述したように、スライダの
エアベアリング機構における空気膜剛性の低下によっ
て、磁気ヘッド用サスペンションのジンバル剛性を低減
する必要性が一段と高まった。そこで、前述したように
ジンバル部に使用されるステンレス鋼の板厚を薄くして
剛性の低減を実現できるが、一方では、シーク動作時及
びスライダ吸着解除時のためにジンバル部の疲労強度
(あるいは面内強度)を従来並に確保しなければならな
い。従来形状のままジンバル部の板厚を薄くすると、ジ
ンバル部の疲労強度は低下するというトレードオフの関
係にある。また、前述したステンレス鋼に配線がパター
ニングされた磁気ヘッド用サスペンションはその構造上
の問題から、ジンバル部・ロードビーム部・バネ部とも
一枚のステンレス鋼からなり、ジンバル部薄板厚化によ
る剛性低減は、ロードビーム部・バネ部の薄板厚化にな
り、振動特性の悪化の原因となっている。特に、最近で
は、磁気記憶装置の磁気ディスクはスピンドルモータに
よって10000rpm以上で高速回転され、磁気ディ
スクの回転によって発生する空気流によって、サスペン
ションが振動することによって磁気ヘッドを磁気ディス
ク上の所定のトラックに位置決め困難になるという問題
も生じる。また、シーク速度の高速化のために、サスペ
ンションの質量の低減も要求される。
【0006】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、ジンバル剛性の低減・ジンバル強度の確保・振動
特性の向上及び質量の低減を実現する磁気ヘッド用サス
ペンション及び磁気記憶装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の本発明の課題は、
キャリッジアームへの取り付け部、荷重を発生するため
の第1のバネ部及び第2のバネ部、ロードビーム部及び
磁気記録媒体に信号の記録又は再生をする磁気ヘッドス
ライダを支持するジンバル部から成る磁気ヘッド用サス
ペンションにおいて、第2のバネ部がロードビーム部と
ジンバル部を連結するくびれの構造とすることにより解
決される。
【0008】本発明が提供する構造とすることによっ
て、第1のバネ部及び第2のバネ部が、磁気ヘッドスラ
イダを磁気ディスク表面に押し付けるための所定の荷重
を発生させる。ロードビーム部には、面内剛性を確保す
るためのフランジが形成されている。ロードビーム部と
ジンバル部との間の第2のバネ部は、幅が小さくなっ
て、くびれた構造となっており、ジンバル剛性の低減を
実現する。また、第2のバネ部は、本サスペンションが
所定の荷重で磁気ディスク面に押し付けられたとき、ジ
ンバル部が過度にたわむことによって、ジンバルの面内
強度が低下することを解決する。
【0009】さらに、磁気ヘッドスライダ取り付け部か
らスライダ両側を通って伸びる1対の腕部がジンバル部
であり、ジンバル部とロードビーム部とが連結される部
分で1本につながり、この部分がくびれた構造とし、ま
た、第2のバネ部を曲げることによって、ジンバル剛性
低減とジンバル強度確保のトレードオフの微妙な調整を
可能とする。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を用
いて詳細に説明する。
【0011】図1は、本発明の第1の実施例である磁気ヘ
ッド用サスペンションの平面図であり、図2はその側面
図である。図3は、第1の実施例のサスペンションが磁
気ディスク14にローディングした状態すなわち、使用
状態における側面図である。図1、図2及び図3におい
て、1はキャリッジアームへの取り付け部を示してお
り、第1のバネ部3、ロードビーム部4、第2のバネ部5
及びジンバル部6からなる部分がベースビーム部2に溶
接されている。ベースビーム部2はステンレス鋼等のバ
ネ材で成形されており、ここでは、厚さ76μmのステ
ンレス鋼板を用いる。また、第1のバネ部3、ロードビ
ーム部4、第2のバネ部5及びジンバル部6は25μm
の均一の厚みのステンレス鋼板を用いる。このステンレ
ス鋼板上に配線パターン16がパターニングされてい
る。第2のバネ部5はロードビーム部4とジンバル部6
とを連結するくびれ部である。図2に示したように、第
1のバネ部3、第2のバネ部5を曲げ加工することによっ
て、略0.1〜1gfの所定の荷重を得ることができる。第1
のバネ部3、第2のバネ部5を曲げ加工する際、本実施
例においては、図3のような使用状態においてスライダ
7の傾きが0度になるように選択されている。同時にジ
ンバル部6とロードビーム部4とベースビーム部2を概
略一直線上にでき、ディスク面と概略平行に実装され
る。本実施例の構造にすることによって、サスペンショ
ンのジンバル剛性を低減し、ジンバルの疲労強度を確保
できる。また、振動特性についても安定した性能である
ことを確認できた。
【0012】図4、図5、及び図6に第2の実施例を示
す。磁気ヘッドスライダ7取り付け部からスライダ7の
両側を通って伸びる1対の腕部8がジンバル部6であ
り、ジンバル部6とロードビーム部4とが連結される部
分で1本につながり、この部分がくびれた構造となって
おり、第2のバネ部5となっている。腕部8を設けるこ
とによって、ジンバル剛性の適正化が可能となる。図1
1には本実施例の斜視図を示した。本実施例のような構
造とすることによって、ジンバル剛性を低減し、ジンバ
ル強度を確保できる。図8及び図9に従来の磁気ヘッド
用サスペンションを示した(特開平9−12891
9)。従来タイプは第1のバネ部3によって、所定の荷
重を得るようにフォーミングされている。図17に、本
発明による実施例2の磁気ヘッド用サスペンションと従
来の磁気ヘッド用サスペンションのジンバル剛性を比較
した結果を示している。図17を見てわかるように、本
発明のサスペンションにすることによって、ピッチ剛性
を従来の40%に、ロール剛性を従来の70%に低減で
きた。また、図10は、第2の実施例の周波数応答を測
定した結果を示している。測定方法は磁気ヘッド用サス
ペンションの取り付け部をシーク方向(短手方向)に加
振して、磁気ヘッドスライダ側面において、レーザドッ
プラー振動計にて観測している。本結果からわかるよう
に、本実施例は、良好な周波数応答結果を示している。
【0013】図12及び図13は、第3の実施例を示し
ている。第1のバネの曲げ角20を第2のバネの曲げ角2
1より大きくすることによって、第1のバネ3では、所
定の荷重の概略値を出しておき、第2のバネ5では、所
定の荷重及び姿勢角の微調整が可能となる。このような
構造とすることによって、一定の荷重値及び姿勢角値を
実現することが可能となり、磁気ヘッドスライダの浮上
量が一定となる。また、第1のバネの曲げ角20と第2
のバネの曲げ角21の和が20度以下とすることによっ
て、浮上量測定及び電気特性測定などのテスティングの
ローディングの際、テスティング用ディスクを損傷する
などの問題が発生しない構造とすることができる。
【0014】図14に第4の実施例を示す。本実施例
は、第1のバネ部3、第2のバネ部5に、開口部18をそ
れぞれ設けることにより、バネ剛性の調整が可能とな
る。また、ダンパー17はステンレス鋼25μmと粘弾
性材125μmからなり、ロードビーム4に貼り付けら
れている。ダンパー17は切欠き部22を有し、ツーリ
ング穴23をふさぐことなく、制振効果を得ることを提
供している。
【0015】図15及び図16は、第5の実施例を示し
ている。本実施例は、第1のバネ部3と第2のバネ部5と
の間に磁気ヘッドスライダがあり、くびれ部19及びス
ライダの両側を通る一対の腕8から成っている。本構造
にすることによって、アンロード状態における取り付け
部1に対する磁気ヘッドスライダ7の角度を小さくする
ことが可能となる。これは、ダイナミックロード/アン
ロードの際の磁気ヘッドスライダへのダメージを軽減可
能である。
【0016】図7は、第2の実施例の磁気ヘッド用サスペ
ンションを搭載した磁気記憶装置の平面図を示してい
る。ベース15上に、磁気ディスク14がスピンドル1
3により回転し得るように設けられ、この磁気ディスク
14に情報の記録、再生を行うための電磁変換素子から
構成される磁気ヘッドが磁気ディスク14に対抗して配
置されている。配線パターンを設けた磁気ヘッド用サス
ペンション9に磁気ヘッドスライダ7が接着され、これ
に電磁変換素子が搭載される。磁気ヘッド用サスペンシ
ョン9は、キャリッジアーム取り付け部により、キャリ
ッジアーム11に固定され、ロータリーアクチュエータ
12は、磁気ヘッドを所望の位置に移動させて位置決め
する。また、これらを制御する制御手段(図示せず)へ
の接続を可撓性プリント回路(FPC)10により行
う。
【0017】この磁気ヘッド用サスペンションとして、
上記各実施例に示した磁気ヘッド用サスペンションを用
いたところ、従来の磁気ヘッド用サスペンションを用い
たときに比較して、磁気記憶装置の性能を安定させるこ
とができた。
【0018】
【発明の効果】本発明によれば、第2のバネ部がロード
ビーム部とジンバル部を連結するくびれの構造とするこ
とによって、第1のバネ部及び第2のバネ部が、磁気ヘ
ッドスライダを磁気ディスク表面に押し付けるための所
定の荷重を発生させ、ロードビーム部とジンバル部との
間の第2のバネ部は、幅が小さくなって、くびれた構造
となり、ジンバル剛性の低減を実現する。また、第2の
バネ部は、本サスペンションが所定の荷重で磁気ディス
ク面に押し付けられたとき、ジンバル部が過度にたわむ
こと防ぐことによって、ジンバルの面内強度が低下する
ことを解決する。また、本発明の磁気記憶装置は、安定
した性能を示す。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
平面図。
【図2】第1の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
側面図。
【図3】第1の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
ローディング状態の側面図。
【図4】第2の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
平面図。
【図5】第2の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
側面図。
【図6】第2の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
ローディング状態の側面図。
【図7】第2の実施例の磁気ヘッド用サスペンションを
搭載した磁気記憶装置の平面図。
【図8】従来の磁気ヘッド用サスペンションの平面図
【図9】従来の磁気ヘッド用サスペンションのローディ
ング状態の側面図
【図10】第2の実施例の磁気ヘッド用サスペンション
の周波数応答測定結果
【図11】第2の実施例の磁気ヘッド用サスペンション
の斜視図
【図12】第3の実施例の磁気ヘッド用サスペンション
の平面図
【図13】第3の実施例の磁気ヘッド用サスペンション
の側面図
【図14】第4の実施例の磁気ヘッド用サスペンション
の平面図
【図15】第5の実施例の磁気ヘッド用サスペンション
の平面図
【図16】第5の実施例の磁気ヘッド用サスペンション
の側面図
【図17】本発明と従来の磁気ヘッド用サスペンション
のジンバル剛性を比較する図。
【符号の説明】
1 キャリッジアームへの取り付け部、2 ベースビー
ム部、3 第1のバネ部、4 ロードビーム部、5 第2
のバネ部、6 ジンバル部、7 スライダ、8 腕部、
9 本発明の磁気ヘッド用サスペンション、10 FP
C、11 キャリッジアーム、12 ロータリーアクチ
ュエータ、13 スピンドル、14 磁気ディスク、1
5 ベース、16 配線パターン、17 ダンパー、1
8 開口部、19 くびれ部、20 第1のバネの曲げ
角、21 第2のバネの曲げ角、22 切欠き部、23
ツーリング穴
フロントページの続き (72)発明者 萩谷 忍 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 清水 利彦 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】キャリッジアームへの取り付け部、荷重を
    発生するための第1のバネ部及び第2のバネ部、ロード
    ビーム部及び磁気記録媒体に信号の記録又は再生をする
    磁気ヘッドスライダを支持するジンバル部から成るサス
    ペンションにおいて、第2のバネ部がロードビーム部と
    ジンバル部を連結するくびれ部であることを特徴とする
    磁気ヘッド用サスペンション。
  2. 【請求項2】磁気ヘッドスライダ取り付け部からスライ
    ダ両側を通って伸びる1対の腕部が前記ジンバル部であ
    り、ジンバル部とロードビーム部とが連結される部分で
    1本につながり、この部分がくびれていることを特徴と
    する請求項1記載の磁気ヘッド用サスペンション。
  3. 【請求項3】荷重を発生するための第1のバネ部及び第2
    のバネ部において、第1のバネ部及び第2のバネ部が屈曲
    形状となっていることを特徴とする請求項1記載の磁気
    ヘッド用サスペンション。
  4. 【請求項4】磁気記憶装置内の実装状態において、前記
    ロードビーム部が磁気ディスク表面に対して概略平行で
    あることを特徴とする請求項3記載の磁気ヘッド用サス
    ペンション。
  5. 【請求項5】荷重を発生するための第1のバネ部及び第2
    のバネ部において、第1のバネ部の曲げ角度が第2のバネ
    部の曲げ角度より大きく、かつ、第1のバネ部の曲げ角
    度と第2のバネ部の曲げ角度の和が20度以下であるこ
    とを特徴とする請求項3記載の磁気ヘッド用サスペンシ
    ョン。
  6. 【請求項6】荷重を発生するための第1のバネ部及び第2
    のバネ部において、第1のバネ部及び第2のバネ部に開口
    部を設けたことを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド
    用サスペンション。
  7. 【請求項7】荷重を発生するための第1のバネ部、第2の
    バネ部及び第3のバネ部を有する磁気ヘッド用サスペン
    ションにおいて、第2のバネ部と第3のバネ部との間
    に、前記磁気ヘッドスライダが位置していることを特徴
    とする請求項2記載の磁気ヘッド用サスペンション。
  8. 【請求項8】荷重を発生するための第1のバネ部及び第2
    のバネ部において、第1のバネ部と第2のバネ部との間
    に、切欠きを有するダンパーが貼付けられたことを特徴
    とする請求項2記載の磁気ヘッド用サスペンション。
  9. 【請求項9】請求項1から請求項8の少なくとも1つを
    搭載した磁気記憶装置。
JP538198A 1998-01-14 1998-01-14 磁気ヘッド用サスペンションおよび磁気記憶装置 Pending JPH11203809A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP538198A JPH11203809A (ja) 1998-01-14 1998-01-14 磁気ヘッド用サスペンションおよび磁気記憶装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP538198A JPH11203809A (ja) 1998-01-14 1998-01-14 磁気ヘッド用サスペンションおよび磁気記憶装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11203809A true JPH11203809A (ja) 1999-07-30

Family

ID=11609599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP538198A Pending JPH11203809A (ja) 1998-01-14 1998-01-14 磁気ヘッド用サスペンションおよび磁気記憶装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11203809A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004068471A1 (en) * 2003-01-30 2004-08-12 Sae Magnetics (H.K) Ltd. Method and apparatus for an improved magnetic head arm assembly
US7346976B2 (en) 1999-09-17 2008-03-25 Nhk Spring Co., Ltd. Method for manufacturing a suspension for disc drive
CN100411052C (zh) * 2002-08-08 2008-08-13 松下电器产业株式会社 头支承装置及使用它的盘装置
US7706104B2 (en) 2003-09-18 2010-04-27 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Rotating disk storage device having a carriage formed with non-binding pads

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7346976B2 (en) 1999-09-17 2008-03-25 Nhk Spring Co., Ltd. Method for manufacturing a suspension for disc drive
CN100411052C (zh) * 2002-08-08 2008-08-13 松下电器产业株式会社 头支承装置及使用它的盘装置
WO2004068471A1 (en) * 2003-01-30 2004-08-12 Sae Magnetics (H.K) Ltd. Method and apparatus for an improved magnetic head arm assembly
US7142394B2 (en) 2003-01-30 2006-11-28 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Method and apparatus for an improved magnetic head arm assembly
US7299536B2 (en) 2003-01-30 2007-11-27 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Method for an improved magnetic head arm assembly
CN100449613C (zh) * 2003-01-30 2009-01-07 新科实业有限公司 用于改进的磁头臂组件的方法和装置
US7706104B2 (en) 2003-09-18 2010-04-27 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Rotating disk storage device having a carriage formed with non-binding pads

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3282823B2 (ja) マルチピース一体型サスペンション・アセンブリ、その作成方法および磁気記憶システム
US5896246A (en) Suspension fabricated from silicon
US5894655A (en) Monocoque head suspension and its method of construction
JP4790410B2 (ja) マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアッセンブリ、及びこれを用いたディスクドライブ
US6965500B1 (en) Suspension design for attenuation of disk flutter induced track mis-registration of a hard disk drive by manipulation of load beam pitch angle
US7379274B2 (en) Rotational PZT micro-actuator, head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US8169745B2 (en) Head gimbal assembly having balanced weight, and disk drive unit with the same
US5949617A (en) Dynamic-absorber for the suppression of suspension vibrations
US7535680B2 (en) Micro-actuator with integrated trace and bonding pad support
US7133259B2 (en) Head suspension for disk drive and method of manufacturing head suspension
US6535355B2 (en) Pitch and roll attitude control for sliders in a disk drive
JP2004522239A (ja) ヘッド・ピッチ調整を改善したディスク・ドライブ
US6483670B1 (en) Head assembly having an apertured reinforcing plate cooperatively attached to a load beam to prevent excessive movement of components of the head assembly
KR100595755B1 (ko) 회전 액츄에이터가 있는 고성능 디스크 드라이브에서 코일지지부의 진동을 감쇠하는 시스템 및 방법
US20070253115A1 (en) Micro-actuator, micro-actuator suspension, and head gimbal assembly with the same
JP2023512245A (ja) サスペンションダンピング
US6747849B1 (en) High performance suspension with reduced flow-induced vibration
US10127936B2 (en) Dynamic vibration absorber, flexure, and head support mechanism
US8125735B2 (en) Vibration sensor, suspension, head gimbal assembly and manufacturing method thereof, and disk drive unit including the same
JPH11203809A (ja) 磁気ヘッド用サスペンションおよび磁気記憶装置
EP1345226A1 (en) Suspension and disk device
US6697226B1 (en) Disc drive suspension having tip stiffener
JP3780997B2 (ja) サスペンション、ヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドジンバルアセンブリを備えたヘッドアームアセンブリ及び該ヘッドアームアセンブリを備えたディスク装置
EP0986049A1 (en) Head assembly and disk drive
JP2003091953A (ja) スライダ装置