JPH1164455A - デジタルコンパレータ - Google Patents

デジタルコンパレータ

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JPH1164455A
JPH1164455A JP9222266A JP22226697A JPH1164455A JP H1164455 A JPH1164455 A JP H1164455A JP 9222266 A JP9222266 A JP 9222266A JP 22226697 A JP22226697 A JP 22226697A JP H1164455 A JPH1164455 A JP H1164455A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 テストレート毎のモード切換が可能なデジタ
ルコンパレータを実現する。 【解決手段】 IC試験装置で用いられるデジタルコン
パレータにおいて、アナログ信号をデジタル信号に変換
するデジタル変換手段と、デジタル信号と期待値データ
とをストローブ信号に同期して比較するデジタル比較手
段と、このデジタル比較手段の出力を格納するフェイル
メモリ回路と、デジタル比較手段のエッジ・ストローブ
モード若しくはウィンドウ・ストローブモードを期待値
データの出力と同期して選択するモード選択手段とを設
ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、IC試験装置で用
いられるデジタルコンパレータに関し、特にテストレー
ト毎のモード切換を可能にしたデジタルコンパレータに
関する。
【0002】
【従来の技術】従来のデジタルコンパレータはIC試験
装置で用いられ、被試験IC(以下、DUT(Device un
der test)と呼ぶ。)からの出力信号をIC試験装置の
テストピンを介して取り込みデジタル信号に変換した後
期待値と比較するものである。
【0003】図3はこのような従来のデジタルコンパレ
ータの一例を示す構成ブロック図である。図3において
1及び2はアナログ比較器、3はデジタル比較器、4は
デジタルファンクションコントローラ、5は期待値メモ
リ回路、6はタイミング発生回路、7はモード設定レジ
スタ回路、8はフェイルメモリ回路、100は入力信
号、101及び102はしきい値電圧である。
【0004】また、1及び2はデジタル変換手段50
を、3〜6はデジタル比較手段51をそれぞれ構成して
いる。
【0005】入力信号100はアナログ比較器1及び2
の一方の入力端子にそれぞれ入力され、アナログ比較器
1及び2の他方の入力端子にはしきい値電圧101及び
102がそれぞれ入力される。また、アナログ比較器1
及び2の出力はデジタル比較器3に接続される。
【0006】デジタルファンクションコントローラ4か
らのアドレス信号及び制御信号は期待値メモリ回路5及
びタイミング発生回路6にそれぞれ接続され、期待値メ
モリ回路5、タイミング発生回路6及びモード設定レジ
スタ回路7の出力はデジタル比較器3にそれぞれ接続さ
れる。
【0007】また、デジタル比較器3の出力はフェイル
メモリ回路8に接続され、デジタルファンクションコン
トローラ4からの制御信号もフェイルメモリ回路8に接
続される。
【0008】ここで、図3に示す従来例の動作を説明す
る。一般のIC試験装置ではデジタルファンクションコ
ントローラ4以外の構成要素はIC試験装置の各テスト
ピン毎に設けられ、各テストピンを介して入力されるD
UTからの信号がそれぞれ入力信号100に相当する。
【0009】入力信号100はアナログ比較器1及び2
においてしきい値電圧101及び102と比較される。
しきい値電圧101はハイレベル側のしきい値電圧であ
り、例えば、入力信号100の電圧値がしきい値電圧1
01よりも高ければアナログ比較器1の出力はハイレベ
ルになる。
【0010】同様に、しきい値電圧102はローレベル
側のしきい値電圧であり、例えば、入力信号100の電
圧値がしきい値電圧102よりも高ければアナログ比較
器2の出力はハイレベルになる。
【0011】このため、入力信号100の電圧値がしき
い値電圧102よりも小さければ、アナログ比較器1及
び2の出力は共にローレベルになり、入力信号100の
電圧値がしきい値電圧101より大きければアナログ比
較器1及び2の出力は共にハイレベルになる。
【0012】また、入力信号100の電圧値がしきい値
電圧101としきい値電圧102との間にあれば、アナ
ログ比較器1の出力はローレベル、アナログ比較器2の
出力はハイレベルになる。
【0013】すなわち、2つのアナログ比較器1及び2
により入力信号100は2ビットのデジタル信号に変換
されることになり、このデジタル信号がデジタル比較器
3に入力される。
【0014】一方、デジタルファンクションコントロー
ラ4はアドレス信号を期待値メモリ回路5に入力して期
待値データをデジタル比較器3に出力させると共に制御
信号でタイミング発生回路6を制御してストローブ信号
を発生させてデジタル比較器3に出力させる。
【0015】デジタル比較器3では入力された前記デジ
タル信号と期待値データとをストローブ信号のタイミン
グで比較して一致/不一致の比較結果を出力する。ま
た、デジタルファンクションコントローラ4は制御信号
によりフェイルメモリ回路8を制御して前記比較結果を
フェイルメモリ回路8に書き込む。
【0016】この結果、入力信号100をデジタル信号
に変換して期待値データと比較することにより、DUT
からの出力の正常若しくは異常を得ることができる。
【0017】また、デジタル比較器3ではストローブ信
号に同期して比較を行っているが一般に、ストローブ信
号のエッジが発生した時に比較する”エッジ・ストロー
ブモード”と、ストローブ信号2本から作られる期間内
(ウィンドウ)で比較する”ウィンドウ・ストローブモ
ード”の2種類のモードがある。
【0018】モード設定レジスタ回路7には前記2種類
のどちらのモードを選択するかが予め設定されており、
モード設定レジスタ回路7はその出力によりデジタル比
較器3の”エッジ・ストローブモード”若しくは”ウィ
ンドウ・ストローブモード”を選択する。
【0019】すなわち、IC試験装置の各テストピン毎
にモード設定レジスタ回路7のモード設定ができるの
で、DUTの試験目的に応じてIC試験装置の各テスト
ピン毎のモードを設定することが可能になる。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図3に示す従
来例では試験中にモード切換を行うことができないと言
った問題点があった。
【0021】このため、例えば、テストレート毎にモー
ド切換を行う場合にはDUTの1つのピンに対してIC
試験装置の2つのテストピンを用いて、一方のテストピ
ンは”エッジ・ストローブ”に、他方のテストピンは”
ウィンドウ・ストローブ”にそれぞれ設定して試験を行
う必要がありIC試験装置のテストピンの使用効率が下
がってしまうと言った問題点があった。従って本発明が
解決しようとする課題は、テストレート毎のモード切換
が可能なデジタルコンパレータを実現することにある。
【0022】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明の第1では、IC試験装置で用いられ
るデジタルコンパレータにおいて、アナログ信号をデジ
タル信号に変換するデジタル変換手段と、前記デジタル
信号と期待値データとをストローブ信号に同期して比較
するデジタル比較手段と、このデジタル比較手段の出力
を格納するフェイルメモリ回路と、前記デジタル比較手
段のエッジ・ストローブモード若しくはウィンドウ・ス
トローブモードを前記期待値データの出力と同期して選
択するモード選択手段とを備えたことを特徴とするもの
である。
【0023】このような課題を達成するために、本発明
の第2では、本発明の第1において、前記モード選択手
段がエッジ/ウィンドウストローブ選択メモリ回路から
構成され、前記期待値データの出力と同期して前記エッ
ジ/ウィンドウストローブ選択メモリ回路から出力され
るモード選択信号により前記デジタル比較手段のモード
を選択することを特徴とするものである。
【0024】このような課題を達成するために、本発明
の第3では、本発明の第1において、前記モード選択手
段が前記エッジ/ウィンドウストローブ選択メモリ回路
及びエッジ・ストローブモード、ウィンドウ・ストロー
ブモード若しくはエッジ/ウィンドウストローブレート
毎切換モードが設定されると共に前記エッジ/ウィンド
ウストローブ選択メモリ回路の特定ビットを指定する指
定レジスタを有するモード設定レジスタ回路とから構成
され、前記エッジ/ウィンドウストローブレート毎切換
モード選択時に前記特定ビットのデータに基づき前記デ
ジタル比較手段のモードを選択することを特徴とするも
のである。
【0025】このような課題を達成するために、本発明
の第4では、本発明の第1において、前記モード選択手
段がパタンメモリ回路及びフォーマッタから構成され、
前記期待値データの出力と同期して前記パターンメモリ
回路から出力されるパターンデータに基づき前記フォー
マッタが前記デジタル比較手段のモードに適したストロ
ーブ信号を発生させることを特徴とするものである。
【0026】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図1は本発明に係るデジタルコンパレータの
一実施例を示す構成ブロック図である。
【0027】図1において1〜8,50,51及び10
0〜102は図3と同一符号を付してあり、9はエッジ
/ウィンドウストローブ選択メモリ回路である。また、
7及び9はモード選択手段52を構成している。
【0028】入力信号100はアナログ比較器1及び2
の一方の入力端子にそれぞれ入力され、アナログ比較器
1及び2の他方の入力端子にはしきい値電圧101及び
102がそれぞれ入力される。また、アナログ比較器1
及び2の出力はデジタル比較器3に接続される。
【0029】デジタルファンクションコントローラ4か
らのアドレス信号は期待値メモリ回路5及びエッジ/ウ
ィンドウストローブ選択メモリ回路9に並列に接続さ
れ、デジタルファンクションコントローラ4からの制御
信号はタイミング発生回路6に接続される。
【0030】期待値メモリ回路5、タイミング発生回路
6、モード設定レジスタ回路7及びエッジ/ウィンドウ
ストローブ選択メモリ回路9の出力はデジタル比較器3
にそれぞれ接続される。
【0031】また、デジタル比較器3の出力はフェイル
メモリ回路8に接続され、デジタルファンクションコン
トローラ4からの制御信号もフェイルメモリ回路8に接
続される。
【0032】ここで、図1に示す実施例の動作を説明す
る。基本的な動作に関しては図3に示す従来例と同様で
あるのでその部分の説明は省略する。
【0033】入力信号100は前述のようにアナログ比
較器1及び2でデジタル信号に変換されてデジタル比較
器3に入力される。
【0034】一方、デジタルファンクションコントロー
ラ4はアドレス信号を期待値メモリ回路5及びエッジ/
ウィンドウストローブ選択メモリ回路9に入力する。こ
のアドレス信号により期待値メモリ回路5からは期待値
データが、同時にエッジ/ウィンドウストローブ選択メ
モリ回路9からはモード選択信号がデジタル比較器3に
それぞれ出力される。
【0035】エッジ/ウィンドウストローブ選択メモリ
回路9には予めテストレート毎のモードが設定されてお
り、デジタルファンクションコントローラ4からのアド
レス信号に同期して設定するモードが前記モード選択信
号として出力される。
【0036】また、デジタルファンクションコントロー
ラ4は制御信号でタイミング発生回路6を制御してスト
ローブ信号を発生させてデジタル比較器3に出力させ
る。
【0037】デジタル比較器3では入力されたデジタル
信号と期待値データをストローブ信号のタイミングで比
較して一致/不一致の比較結果を出力する。
【0038】この時、エッジ/ウィンドウストローブ選
択メモリ回路9からのモード選択信号に基づきデジタル
比較器3の”エッジ・ストローブモード”若しくは”ウ
ィンドウ・ストローブモード”の選択が行われ、デジタ
ル比較器3はこのモードで前記比較を行い、比較結果が
フェイルメモリ回路8に格納される。
【0039】即ち、エッジ/ウィンドウストローブ選択
メモリ回路9にはテストレート毎のモードが設定されて
いるので、デジタル比較器3はその設定に従いテストレ
ート毎にモードが切り換わることになる。
【0040】この結果、デジタルファンクションコント
ローラ4からのアドレス信号に同期してエッジ/ウィン
ドウストローブ選択メモリ回路9からモード選択信号を
出力させてデジタル比較器3のモードを選択することに
より、テストレート毎のモード切換が可能になる。
【0041】また、テストモード毎のモード切換が可能
になるので従来例のようにDUTの1つのピンに対して
IC試験装置の2つのテストピンを用いる必要がなくな
りIC試験装置のテストピンの使用効率が向上する。
【0042】なお、図1においてはモード設定レジスタ
回路7が例示されているがIC試験装置の各テストピン
毎にエッジ/ウィンドウストローブ選択メモリ回路9が
設けられていればモード設定レジスタ回路7は必要な
い。
【0043】また、エッジ/ウィンドウストローブ選択
メモリ回路9がIC試験装置の各テストピン毎になく、
装置毎に数ビットのエッジ/ウィンドウストローブ選択
メモリ回路9を設ける場合はモード設定レジスタ回路7
が必要である。
【0044】この場合、モード設定レジスタ回路7には
従来の”エッジ・ストローブモード”及び”ウィンドウ
・ストローブモード”の2つモードの他に、”エッジ/
ウィンドウストローブレート毎切換モード”を有し、ま
た、数ビットのエッジ/ウィンドウストローブ選択メモ
リ回路9のどのビットを指定するかを示す指定レジスタ
も併せて有する。
【0045】例えば、モード設定レジスタ回路7には”
エッジ/ウィンドウストローブレート毎切換モード”が
設定されており、指定レジスタ内にはエッジ/ウィンド
ウストローブ選択メモリ回路9の”第2ビット”が指定
されていた場合を考える。
【0046】モード設定レジスタ回路7の出力が”エッ
ジ/ウィンドウストローブレート毎切換モード”であ
り、同時に、指定レジスタには”第2ビット”が指定さ
れているのでエッジ/ウィンドウストローブ選択メモリ
回路9の”第2ビット”のデータに従ってテストレート
毎にデジタル比較器3の”エッジ・ストローブモード”
若しくは”ウィンドウ・ストローブモード”が選択され
る。
【0047】即ち、エッジ/ウィンドウストローブ選択
メモリ回路9に設定されたテストレート毎のモードに従
ってデジタル比較器3のモードが切り換わることにな
る。
【0048】この結果、”エッジ/ウィンドウストロー
ブレート毎切換モード”を設定すればエッジ/ウィンド
ウストローブ選択メモリ回路9の指定ビットに基づきテ
ストレート毎のモード切換が可能になる。
【0049】また、IC試験装置によってはタイミング
発生回路6をIC試験装置の各テストピン毎に設ける必
要がなく複数のテストピン毎に1組あれば良い場合があ
る。図2はこのような場合のデジタルコンパレータの実
施例を示す構成ブロック図である。
【0050】図2において1〜5,8,50,100,
101及び102は図1と同一符号を付してあり、6a
はタイミング発生回路、10はフォーマッタ、11はパ
ターンメモリ回路である。
【0051】また、3〜5はデジタル比較手段51a
を、6a,10及び11はモード選択手段52aをそれ
ぞれ構成している。
【0052】入力信号100はアナログ比較器1及び2
の一方の入力端子にそれぞれ入力され、アナログ比較器
1及び2の他方の入力端子にはしきい値電圧101及び
102がそれぞれ入力される。また、アナログ比較器1
及び2の出力はデジタル比較器3に接続される。
【0053】デジタルファンクションコントローラ4か
らのアドレス信号は期待値メモリ回路5及びパターンメ
モリ回路11に並列に接続され、デジタルファンクショ
ンコントローラ4からの制御信号はタイミング発生回路
6aに接続される。
【0054】タイミング発生回路6aの出力はフォーマ
ッタ10に接続され、パターンメモリ回路11の出力も
フォーマッタ10に接続される。
【0055】期待値メモリ回路5及びフォーマッタ10
の出力はデジタル比較器3にそれぞれ接続される。
【0056】また、デジタル比較器3の出力はフェイル
メモリ回路8に接続され、デジタルファンクションコン
トローラ4からの制御信号もフェイルメモリ回路8に接
続される。
【0057】ここで、図2に示す実施例の動作を説明す
る。但し、共通部分の説明は省略する。デジタルファン
クションコントローラ4はアドレス信号を期待値メモリ
回路5及びパターンメモリ回路11に入力する。このア
ドレス信号により期待値メモリ回路5からは期待値デー
タがデジタル比較器3に、同時にパタンメモリ回路11
からはパターンデータがフォーマッタ10にそれぞれ出
力される。
【0058】パターンメモリ回路11には予めテストレ
ート毎のモードに対応するストローブ信号を発生させる
パターンデータが設定されており、デジタルファンクシ
ョンコントローラ4からのアドレス信号に同期してパタ
ーンデータを出力する。
【0059】また、デジタルファンクションコントロー
ラ4は制御信号でタイミング発生回路6aを制御してタ
イミング信号を発生させてフォーマッタ10に出力させ
る。
【0060】フォーマッタ10はパターンメモリ回路1
1から出力されるパターンデータに基づき前記タイミン
グ信号を処理して”エッジ・ストローブエッジ”若しく
は”ウィンドウ・ストローブスタートエッジ”及び”ウ
ィンドウ・ストローブエンドエッジ”を出力する。
【0061】デジタル比較器3はフォーマッタ10から
出力されるストローブ信号の種類に基づいてデジタル信
号と期待値データとの比較をする。
【0062】例えば、フォーマッタ10から”ストロー
ブエッジ”が出力されれば、デジタル比較器3は”エッ
ジ・ストローブモード”で比較を行うことになり、一
方、”ストローブスタートエッジ”及び”ストローブエ
ンドエッジ”が出力されればデジタル比較器3は”ウィ
ンドウ・ストローブモード”で比較を行うことになる。
【0063】この結果、デジタルファンクションコント
ローラ4からのアドレス信号に同期してパターンメモリ
回路11から出力されるパターンデータに基づきフォー
マッタ10でモードに適したストローブ信号を発生させ
ることにより、テストレート毎のモード切換が可能にな
る。
【0064】また、この場合にはモード設定レジスタ回
路7やエッジ/ウィンドウストローブ選択メモリ回路9
が不要になるので構成が簡略化される。
【0065】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。デジタルファン
クションコントローラからのアドレス信号に同期してエ
ッジ/ウィンドウストローブ選択メモリ回路からモード
選択信号を出力させてデジタル比較器3のモードを選択
することにより、テストレート毎のモード切換が可能な
デジタルコンパレータが実現できる。
【0066】また、デジタルファンクションコントロー
ラからのアドレス信号に同期してパターンメモリ回路か
ら出力されるパターンデータに基づきフォーマッタでモ
ードに適したストローブ信号を発生させることにより、
テストレート毎のモード切換が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るデジタルコンパレータの一実施例
を示す構成ブロック図である。
【図2】デジタルコンパレータの実施例を示す構成ブロ
ック図である。
【図3】従来のデジタルコンパレータの一例を示す構成
ブロック図である。
【符号の説明】
1,2 アナログ比較器 3 デジタル比較器 4 デジタルファンクションコントローラ 5 期待値メモリ回路 6,6a タイミング発生回路 7 モード設定レジスタ回路 8 フェイルメモリ回路 9 エッジ/ウィンドウストローブ選択メモリ回路 10 フォーマッタ 11 パターンメモリ回路 50 デジタル変換手段 51,51a デジタル比較手段 52,52a モード選択手段 100 入力信号 101,102 しきい値電圧

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】IC試験装置で用いられるデジタルコンパ
    レータにおいて、 アナログ信号をデジタル信号に変換するデジタル変換手
    段と、 前記デジタル信号と期待値データとをストローブ信号に
    同期して比較するデジタル比較手段と、 このデジタル比較手段の出力を格納するフェイルメモリ
    回路と、 前記デジタル比較手段のエッジ・ストローブモード若し
    くはウィンドウ・ストローブモードを前記期待値データ
    の出力と同期して選択するモード選択手段とを備えたこ
    とを特徴とするデジタルコンパレータ。
  2. 【請求項2】前記モード選択手段がエッジ/ウィンドウ
    ストローブ選択メモリ回路から構成され、前記期待値デ
    ータの出力と同期して前記エッジ/ウィンドウストロー
    ブ選択メモリ回路から出力されるモード選択信号により
    前記デジタル比較手段のモードを選択することを特徴と
    する特許請求の範囲請求項1記載のデジタルコンパレー
    タ。
  3. 【請求項3】前記モード選択手段が前記エッジ/ウィン
    ドウストローブ選択メモリ回路及びエッジ・ストローブ
    モード、ウィンドウ・ストローブモード若しくはエッジ
    /ウィンドウストローブレート毎切換モードが設定され
    ると共に前記エッジ/ウィンドウストローブ選択メモリ
    回路の特定ビットを指定する指定レジスタを有するモー
    ド設定レジスタ回路とから構成され、前記エッジ/ウィ
    ンドウストローブレート毎切換モード選択時に前記特定
    ビットのデータに基づき前記デジタル比較手段のモード
    を選択することを特徴とする特許請求の範囲請求項1記
    載のデジタルコンパレータ。
  4. 【請求項4】前記モード選択手段がパタンメモリ回路及
    びフォーマッタから構成され、前記期待値データの出力
    と同期して前記パターンメモリ回路から出力されるパタ
    ーンデータに基づき前記フォーマッタが前記デジタル比
    較手段のモードに適したストローブ信号を発生させるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲請求項1記載のデジタル
    コンパレータ。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007225414A (ja) * 2006-02-23 2007-09-06 Yokogawa Electric Corp 半導体デバイスの検査方法及び検査装置
WO2009025227A1 (ja) * 2007-08-20 2009-02-26 Advantest Corporation 試験装置、試験方法、および、製造方法
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