JPH1161482A - 部分メッキ用マスク板 - Google Patents
部分メッキ用マスク板Info
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- JPH1161482A JPH1161482A JP22723397A JP22723397A JPH1161482A JP H1161482 A JPH1161482 A JP H1161482A JP 22723397 A JP22723397 A JP 22723397A JP 22723397 A JP22723397 A JP 22723397A JP H1161482 A JPH1161482 A JP H1161482A
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- Japan
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- mask
- rubber
- mask plate
- plating
- plate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 メッキ形状及び／またはマスクゴムのパター
ンが複雑な場合においても、マスクゴムのマスクプレー
トからの剥離を防止し、寸法精度良くメッキ処理を行う
ことのできる部分メッキ用マスク板を提供する。 【解決手段】 複数個の開口部１０を設けたマスクプレ
ート１１の片面に、マスクプレート１１の開口部１０に
対応する複数個の開口部１０を有するマスクゴム１２を
貼着することによって構成されるマスク板の、マスクプ
レート１１のマスクゴム１２貼着部分の端部に凹凸部１
５を形成している。
ンが複雑な場合においても、マスクゴムのマスクプレー
トからの剥離を防止し、寸法精度良くメッキ処理を行う
ことのできる部分メッキ用マスク板を提供する。 【解決手段】 複数個の開口部１０を設けたマスクプレ
ート１１の片面に、マスクプレート１１の開口部１０に
対応する複数個の開口部１０を有するマスクゴム１２を
貼着することによって構成されるマスク板の、マスクプ
レート１１のマスクゴム１２貼着部分の端部に凹凸部１
５を形成している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置用リード
フレームに部分メッキを施す際用いられるマスク板に関
するものである。
フレームに部分メッキを施す際用いられるマスク板に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置用リードフレームには、通常
電気特性向上などの目的から金や銀などの貴金属メッキ
が施される。しかしこのような貴金属材料は高価である
ことから、近年では不必要な部分をマスキングし、真に
必要な部分にのみメッキ処理を行うのが一般的である。
電気特性向上などの目的から金や銀などの貴金属メッキ
が施される。しかしこのような貴金属材料は高価である
ことから、近年では不必要な部分をマスキングし、真に
必要な部分にのみメッキ処理を行うのが一般的である。
【０００３】図８は半導体装置用のリードフレームを示
す図である。リードフレーム１は、半導体素子を搭載す
るためのパッド２と、パッドを支持するサポートバー３
と、パッドの周囲に配置され放射状に伸長するインナー
リード４と、インナーリード４を連結するタイバー５
と、インナーリード４それぞれに連接されるアウターリ
ード６と、アウターリード６を連結する枠体７とから構
成されている。このうち、通常はパッド２及び／または
インナーリード４の先端部にのみ金や銀などの貴金属メ
ッキが施される。なお、通常製造過程においては、リー
ドフレーム１は複数連結された短尺状の状態で形成さ
れ、各処理が施される。
す図である。リードフレーム１は、半導体素子を搭載す
るためのパッド２と、パッドを支持するサポートバー３
と、パッドの周囲に配置され放射状に伸長するインナー
リード４と、インナーリード４を連結するタイバー５
と、インナーリード４それぞれに連接されるアウターリ
ード６と、アウターリード６を連結する枠体７とから構
成されている。このうち、通常はパッド２及び／または
インナーリード４の先端部にのみ金や銀などの貴金属メ
ッキが施される。なお、通常製造過程においては、リー
ドフレーム１は複数連結された短尺状の状態で形成さ
れ、各処理が施される。
【０００４】次に部分メッキの一例として、一般にリン
グ形状と呼ばれるインナーリード４先端にのみメッキを
施す部分メッキ方法について説明する。このようなメッ
キ形状を得るには、図５（ａ）に示すように、インナー
リード４の先端部以外の領域、すなわち図において斜線
で示したパッド２を含むリードフレーム１のメッキ不必
要領域をマスク板にて被覆した状態でメッキ処理を行
う。このようなメッキ方法によれば、図５（ｂ）に示す
ように、メッキ処理時に被覆されなかった部分、この例
ではインナーリード先端のメッキ必要領域にのみメッキ
８を施すことができるというわけである。
グ形状と呼ばれるインナーリード４先端にのみメッキを
施す部分メッキ方法について説明する。このようなメッ
キ形状を得るには、図５（ａ）に示すように、インナー
リード４の先端部以外の領域、すなわち図において斜線
で示したパッド２を含むリードフレーム１のメッキ不必
要領域をマスク板にて被覆した状態でメッキ処理を行
う。このようなメッキ方法によれば、図５（ｂ）に示す
ように、メッキ処理時に被覆されなかった部分、この例
ではインナーリード先端のメッキ必要領域にのみメッキ
８を施すことができるというわけである。
【０００５】図６にこのような部分メッキのマスキング
に使用するマスク板を示す。すなわちマスク板９は、複
数個の開口部１０を設けた耐熱性及び耐薬品性を有する
マスクプレート１１と、マスクプレート１１の開口部１
０に対応する同じく複数個の開口部１０を有する、シリ
コンゴムなどからなるマスクゴム１２とから構成されて
いる。なおこのようなマスクゴム１２は、一般に金型に
よるモールド法などにより、シリコンなどの液状の弾性
材料をマスクプレート１１の片面に塗布して硬化させる
ことにより成形されかつ貼着されている。
に使用するマスク板を示す。すなわちマスク板９は、複
数個の開口部１０を設けた耐熱性及び耐薬品性を有する
マスクプレート１１と、マスクプレート１１の開口部１
０に対応する同じく複数個の開口部１０を有する、シリ
コンゴムなどからなるマスクゴム１２とから構成されて
いる。なおこのようなマスクゴム１２は、一般に金型に
よるモールド法などにより、シリコンなどの液状の弾性
材料をマスクプレート１１の片面に塗布して硬化させる
ことにより成形されかつ貼着されている。
【０００６】このように構成されたマスク板９は、その
後図４に示すようにトッププレート１３上に装着され
る。なお、このトッププレート１３にもマスク板９に設
けられた複数個の開口部１０に対応する同じく複数個の
開口部１０が設けられている。そしてこのマスク板９の
マスクゴム１２側を短尺状に形成されたリードフレーム
１ａの被メッキ面側に当接させ、またリードフレーム１
ａのメッキされない面側にはバックプレートゴム１４を
当接させて、これらマスク板９とバックプレートゴム１
４によってリードフレーム１ａをはさみ込む。
後図４に示すようにトッププレート１３上に装着され
る。なお、このトッププレート１３にもマスク板９に設
けられた複数個の開口部１０に対応する同じく複数個の
開口部１０が設けられている。そしてこのマスク板９の
マスクゴム１２側を短尺状に形成されたリードフレーム
１ａの被メッキ面側に当接させ、またリードフレーム１
ａのメッキされない面側にはバックプレートゴム１４を
当接させて、これらマスク板９とバックプレートゴム１
４によってリードフレーム１ａをはさみ込む。
【０００７】この状態で加圧することによりリードフレ
ーム１ａの被メッキ面側にマスクゴム１２を密着させ
て、リードフレーム１ａのメッキ不要領域をマスキング
する。なお、この時リードフレーム１ａのメッキ必要領
域、すなわちインナーリード４の先端部はマスキングさ
れず、マスク板９の開口部１０内に突出せしめられてい
る。そしてマスク板９及びトッププレート１３に設けら
れた複数個の開口部１０に対応したノズル（図示せず）
から当該開口部１０内にメッキ液が噴出され、これによ
り当該開口部１０内に突出せしめられているリードフレ
ーム１ａの被メッキ面の必要領域、この例で言えばイン
ナーリード４の先端部分に、所望する厚さでメッキ８を
施すのである。
ーム１ａの被メッキ面側にマスクゴム１２を密着させ
て、リードフレーム１ａのメッキ不要領域をマスキング
する。なお、この時リードフレーム１ａのメッキ必要領
域、すなわちインナーリード４の先端部はマスキングさ
れず、マスク板９の開口部１０内に突出せしめられてい
る。そしてマスク板９及びトッププレート１３に設けら
れた複数個の開口部１０に対応したノズル（図示せず）
から当該開口部１０内にメッキ液が噴出され、これによ
り当該開口部１０内に突出せしめられているリードフレ
ーム１ａの被メッキ面の必要領域、この例で言えばイン
ナーリード４の先端部分に、所望する厚さでメッキ８を
施すのである。
【０００８】ところで前述したように、リードフレーム
１ａのメッキ不必要部分はマスクゴム１２によりマスキ
ングされるが、例えばメッキ形状が前述したようなリン
グ形状などの複雑な形状である場合には、マスクゴム１
２のパターンも複雑になってしまい、このため図７に示
すようにマスクゴム１２とマスクプレート１１との接着
面積の少ない個所、とりわけマスクゴム１２の端部がマ
スクプレート１１から剥がれてしまうことがあった。こ
のようにマスクゴム１２が剥がれてしまうと、メッキの
不必要箇所を十分にマスキングすることができず、その
結果メッキの寸法が不良となってしまうという問題点が
あった。
１ａのメッキ不必要部分はマスクゴム１２によりマスキ
ングされるが、例えばメッキ形状が前述したようなリン
グ形状などの複雑な形状である場合には、マスクゴム１
２のパターンも複雑になってしまい、このため図７に示
すようにマスクゴム１２とマスクプレート１１との接着
面積の少ない個所、とりわけマスクゴム１２の端部がマ
スクプレート１１から剥がれてしまうことがあった。こ
のようにマスクゴム１２が剥がれてしまうと、メッキの
不必要箇所を十分にマスキングすることができず、その
結果メッキの寸法が不良となってしまうという問題点が
あった。
【０００９】このようなマスクプレート１１とマスクゴ
ム１２との接着力を向上させるため、例えばマスクプレ
ート１１のマスクゴム１２との接着面を粗面化したり、
逆にマスクゴム１２を粗面化させるなどの対策が講じら
れていたが、いずれも十分な効果を得ることはできなか
った。
ム１２との接着力を向上させるため、例えばマスクプレ
ート１１のマスクゴム１２との接着面を粗面化したり、
逆にマスクゴム１２を粗面化させるなどの対策が講じら
れていたが、いずれも十分な効果を得ることはできなか
った。
【００１０】
【この発明が解決しようとする課題】このように従来の
部分メッキ用マスク板においては、マスクプレートとマ
スクゴムとの接着力を向上させることが困難であり、特
にメッキ形状及び／またはマスクゴムのパターンが複雑
な場合に発生する、マスクゴムがマスクプレートから剥
がれてしまうという問題を解決することはできなかっ
た。本発明は前記実情に鑑みてなされたもので、上記問
題を解決し、マスクゴムのマスクプレートからの剥離を
防止し、メッキ形状及び／またはマスクゴムのパターン
形状が複雑な場合においても寸法精度良くメッキ処理を
行うことのできる部分メッキ用マスク板を提供すること
を目的とするものである。
部分メッキ用マスク板においては、マスクプレートとマ
スクゴムとの接着力を向上させることが困難であり、特
にメッキ形状及び／またはマスクゴムのパターンが複雑
な場合に発生する、マスクゴムがマスクプレートから剥
がれてしまうという問題を解決することはできなかっ
た。本発明は前記実情に鑑みてなされたもので、上記問
題を解決し、マスクゴムのマスクプレートからの剥離を
防止し、メッキ形状及び／またはマスクゴムのパターン
形状が複雑な場合においても寸法精度良くメッキ処理を
行うことのできる部分メッキ用マスク板を提供すること
を目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の部分メッキ用マスク板は、マスクプレート
のマスクゴム貼着部分の端部に凹凸部を形成している。
に、本発明の部分メッキ用マスク板は、マスクプレート
のマスクゴム貼着部分の端部に凹凸部を形成している。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の部分メッキ用マス
ク板について、図面を参照しつつ詳細に説明する。な
お、従来例と同一の個所については同一の符号を用いて
説明する。本実施形態においては、マスク板の基本的な
構成については従来例と同様であり、すなわち図１に示
すように、マスク板９は、複数個の開口部１０を設けた
耐熱性及び耐薬品性を有するマスクプレート１１と、マ
スクプレート１１の開口部１０に対応する同じく複数個
の開口部１０を有する、シリコンゴムなどからなるマス
クゴム１２とから構成されている。なおこのようなマス
クゴム１２は、一般に金型によるモールド法などによ
り、シリコンなどの液状の弾性材料をマスクプレート１
１の片面に塗布して硬化させることにより成形されかつ
貼着されている。ただし、ここで本実施形態において
は、図１及び図２に示すように、マスクプレート１１の
マスクゴム１２の貼付部分の端部には溝状あるいは土手
状の凹凸部１５が設けられている。
ク板について、図面を参照しつつ詳細に説明する。な
お、従来例と同一の個所については同一の符号を用いて
説明する。本実施形態においては、マスク板の基本的な
構成については従来例と同様であり、すなわち図１に示
すように、マスク板９は、複数個の開口部１０を設けた
耐熱性及び耐薬品性を有するマスクプレート１１と、マ
スクプレート１１の開口部１０に対応する同じく複数個
の開口部１０を有する、シリコンゴムなどからなるマス
クゴム１２とから構成されている。なおこのようなマス
クゴム１２は、一般に金型によるモールド法などによ
り、シリコンなどの液状の弾性材料をマスクプレート１
１の片面に塗布して硬化させることにより成形されかつ
貼着されている。ただし、ここで本実施形態において
は、図１及び図２に示すように、マスクプレート１１の
マスクゴム１２の貼付部分の端部には溝状あるいは土手
状の凹凸部１５が設けられている。
【００１３】本実施形態のマスク板９は、このようにマ
スクプレート１１のマスクゴム１２貼着部分の端部に凹
凸部１５を設けているので、図２（ａ）（ｂ）に示すよ
うに、前述したマスクプレート１１の片面にモールド法
などによりシリコンなどの液状の弾性材料を塗布し硬化
させることによってマスクゴム１２を形成する場合、こ
のような凹凸部１５の存在によりマスクプレート１１の
マスクゴム１２貼着部分の端部において両者の接着面積
を増大させることが可能となるのである。
スクプレート１１のマスクゴム１２貼着部分の端部に凹
凸部１５を設けているので、図２（ａ）（ｂ）に示すよ
うに、前述したマスクプレート１１の片面にモールド法
などによりシリコンなどの液状の弾性材料を塗布し硬化
させることによってマスクゴム１２を形成する場合、こ
のような凹凸部１５の存在によりマスクプレート１１の
マスクゴム１２貼着部分の端部において両者の接着面積
を増大させることが可能となるのである。
【００１４】なお、この凹凸部１５の形状としては、図
１に示すような溝状あるいは土手状の他、図３に例示し
たような形状が考えられるが、これに限定されず、例え
ば円形の溝または突起や方形の窪みまたは突起をひとつ
あるいは複数設けるなど、メッキ形状及びマスクゴム１
２のパターンによって様々な形態が適用可能であり、要
するにマスクプレート１１のマスクゴム１２貼着部分の
端部など、マスクプレート１１のマスクゴム１２との接
着面積の少ない部分に、これら両者の接着面積を増大で
きる形状で形成されていれば良い。また、凹凸部１５
は、凹部のみ設けても、凸部のみ設けてもよく、更に凹
部と凸部を併設してもよい。
１に示すような溝状あるいは土手状の他、図３に例示し
たような形状が考えられるが、これに限定されず、例え
ば円形の溝または突起や方形の窪みまたは突起をひとつ
あるいは複数設けるなど、メッキ形状及びマスクゴム１
２のパターンによって様々な形態が適用可能であり、要
するにマスクプレート１１のマスクゴム１２貼着部分の
端部など、マスクプレート１１のマスクゴム１２との接
着面積の少ない部分に、これら両者の接着面積を増大で
きる形状で形成されていれば良い。また、凹凸部１５
は、凹部のみ設けても、凸部のみ設けてもよく、更に凹
部と凸部を併設してもよい。
【００１５】このように構成されたマスク板９は、従来
例と同様に、図４に示すように、マスク板９に設けられ
た複数個の開口部１０に対応する同じく複数個の開口部
１０を有するトッププレート１３上に装着される。そし
てこのマスク板９のマスクゴム１２側を短尺状に形成さ
れたリードフレーム１ａの被メッキ面側に当接させ、ま
たリードフレーム１ａのメッキされない面側にはバック
プレートゴム１４を当接させ、これらマスク板９とバッ
クプレートゴム１４によってリードフレーム１ａをはさ
み込む。
例と同様に、図４に示すように、マスク板９に設けられ
た複数個の開口部１０に対応する同じく複数個の開口部
１０を有するトッププレート１３上に装着される。そし
てこのマスク板９のマスクゴム１２側を短尺状に形成さ
れたリードフレーム１ａの被メッキ面側に当接させ、ま
たリードフレーム１ａのメッキされない面側にはバック
プレートゴム１４を当接させ、これらマスク板９とバッ
クプレートゴム１４によってリードフレーム１ａをはさ
み込む。
【００１６】この状態で加圧することによりリードフレ
ーム１ａの被メッキ面側にマスクゴム１２を密着させ
て、リードフレーム１ａのメッキ不要領域をマスキング
する。なお、この時リードフレーム１ａのメッキ必要領
域、すなわちインナーリード４の先端部はマスキングさ
れず、マスク板の開口部１０内に突出せしめられてい
る。そしてマスク板９及びトッププレート１３に設けら
れた複数個の開口部１０に対応したノズル（図示せず）
から当該開口部１０内にメッキ液が噴出され、これによ
り当該開口部１０内に突出せしめられているリードフレ
ーム１ａの被メッキ面の必要領域、この例で言えばイン
ナーリード４の先端部分に、所望する厚さでメッキ８を
施すのである。
ーム１ａの被メッキ面側にマスクゴム１２を密着させ
て、リードフレーム１ａのメッキ不要領域をマスキング
する。なお、この時リードフレーム１ａのメッキ必要領
域、すなわちインナーリード４の先端部はマスキングさ
れず、マスク板の開口部１０内に突出せしめられてい
る。そしてマスク板９及びトッププレート１３に設けら
れた複数個の開口部１０に対応したノズル（図示せず）
から当該開口部１０内にメッキ液が噴出され、これによ
り当該開口部１０内に突出せしめられているリードフレ
ーム１ａの被メッキ面の必要領域、この例で言えばイン
ナーリード４の先端部分に、所望する厚さでメッキ８を
施すのである。
【００１７】このように形成された部分メッキ用マスク
板９を使用すれば、マスクプレート１１とマスクゴム１
２との接着面の増大により両者の接着力を向上すること
ができるので、よってマスクゴム１２のマスクプレート
１１からの剥離を防止でき、メッキ形状及び／またはマ
スクゴムのパターンが複雑な場合においても寸法精度良
くメッキ処理を行うことができる。
板９を使用すれば、マスクプレート１１とマスクゴム１
２との接着面の増大により両者の接着力を向上すること
ができるので、よってマスクゴム１２のマスクプレート
１１からの剥離を防止でき、メッキ形状及び／またはマ
スクゴムのパターンが複雑な場合においても寸法精度良
くメッキ処理を行うことができる。
【００１８】なお、本実施形態においてはリードフレー
ムを短尺状に形成した例につき説明したが、これに限定
されず、帯状に形成した状態または単体で形成した場合
にも適用することができる。また、本実施形態において
はリードが４方向に伸長するタイプのリードフレームに
つき説明したが、これに限定されることなく、例えばリ
ードの伸長方向が１方向のものや２方向のものなどにも
本発明は適用可能である。
ムを短尺状に形成した例につき説明したが、これに限定
されず、帯状に形成した状態または単体で形成した場合
にも適用することができる。また、本実施形態において
はリードが４方向に伸長するタイプのリードフレームに
つき説明したが、これに限定されることなく、例えばリ
ードの伸長方向が１方向のものや２方向のものなどにも
本発明は適用可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の部分
メッキ用マスク板によれば、マスクプレートとマスクゴ
ムとの接着力を向上することができるので、よってメッ
キ形状及び／またはマスクゴムのパターンが複雑な場合
においても、マスクゴムのマスクプレートからの剥離を
防止することができ、この結果寸法精度良くメッキ処理
を行うことができるという効果を奏功する。
メッキ用マスク板によれば、マスクプレートとマスクゴ
ムとの接着力を向上することができるので、よってメッ
キ形状及び／またはマスクゴムのパターンが複雑な場合
においても、マスクゴムのマスクプレートからの剥離を
防止することができ、この結果寸法精度良くメッキ処理
を行うことができるという効果を奏功する。
【図１】本発明のマスク板を示す図。
【図２】本発明のマスク板を示す断面図。
【図３】本発明の他の実施例を示す図。
【図４】マスク板を用いた部分メッキ方法を示す図。
【図５】リング形状の部分メッキを示す図。
【図６】従来のマスク板を示す図。
【図７】マスクゴムの剥離状態を示す図。
【図８】リードフレームを示す図。
１、１ａ リードフレーム ２ パッド ３ サポートバー ４ インナーリード ５ タイバー ６ アウターリード ７ 枠体 ８ メッキ ９ マスク板 １０ 開口部 １１ マスクプレート １２ マスクゴム １３ トッププレート １４ バックプレートゴム １５ 凹凸部
Claims (1)
- 【請求項１】 マスクプレートの片面にメッキ不必要領
域をマスキングするためのマスクゴムを貼着してなる部
分メッキ用マスク板において、マスクプレートのマスク
ゴム貼着部分の端部には凹凸部が形成されていることを
特徴とする部分メッキ用マスク板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22723397A JPH1161482A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 部分メッキ用マスク板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22723397A JPH1161482A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 部分メッキ用マスク板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1161482A true JPH1161482A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16857606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22723397A Pending JPH1161482A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 部分メッキ用マスク板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1161482A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101250377B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2013-04-05 | 엘지이노텍 주식회사 | 도금용 지그 및 이를 이용하는 도금장치 |
| CN115863181A (zh) * | 2022-11-25 | 2023-03-28 | 崇辉半导体(江门)有限公司 | 一种半导体引线框架的选择性粗化设备及其粗化方法 |
-
1997
- 1997-08-08 JP JP22723397A patent/JPH1161482A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101250377B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2013-04-05 | 엘지이노텍 주식회사 | 도금용 지그 및 이를 이용하는 도금장치 |
| CN115863181A (zh) * | 2022-11-25 | 2023-03-28 | 崇辉半导体(江门)有限公司 | 一种半导体引线框架的选择性粗化设备及其粗化方法 |
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