JPH1159926A - 薄板と合紙の分離装置および合紙の除去方法 - Google Patents
薄板と合紙の分離装置および合紙の除去方法Info
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- JPH1159926A JPH1159926A JP9222950A JP22295097A JPH1159926A JP H1159926 A JPH1159926 A JP H1159926A JP 9222950 A JP9222950 A JP 9222950A JP 22295097 A JP22295097 A JP 22295097A JP H1159926 A JPH1159926 A JP H1159926A
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Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属シート等の薄板と合紙とが交互に積層さ
れた積層物から、薄板と合紙との分離を正確に行える分
離装置および分離方法を提供する。同時に、分離の際に
合紙を所定の廃棄箱に確実に収納できる分離装置を提供
する。 【解決手段】 薄板と合紙が交互に重ねられた積層物を
載せて上下移動ができる載置台と、積層物の最も上のも
のが何であるかを判断するセンサ部と、該センサ部の情
報に従い、積層物の最も上のものが薄板である場合に該
薄板を吸着分離する薄板分離部と、積層物の最も上のも
のが合紙である場合に該合紙を吸着除去する合紙除去部
とを備えたものである。
れた積層物から、薄板と合紙との分離を正確に行える分
離装置および分離方法を提供する。同時に、分離の際に
合紙を所定の廃棄箱に確実に収納できる分離装置を提供
する。 【解決手段】 薄板と合紙が交互に重ねられた積層物を
載せて上下移動ができる載置台と、積層物の最も上のも
のが何であるかを判断するセンサ部と、該センサ部の情
報に従い、積層物の最も上のものが薄板である場合に該
薄板を吸着分離する薄板分離部と、積層物の最も上のも
のが合紙である場合に該合紙を吸着除去する合紙除去部
とを備えたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、所定の載置台上に
置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から、薄
板と合紙とを分離する装置と合紙の分離方法に関するも
ので、特に、リードフレーム複数個からなるリードフレ
ームシート（連状のリードフレームとも言う）１個ない
し複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた
金属シートと合紙とを交互に積層した積層物からの金属
シートと合紙とを分離する装置と、合紙の分離方法に関
する。
置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から、薄
板と合紙とを分離する装置と合紙の分離方法に関するも
ので、特に、リードフレーム複数個からなるリードフレ
ームシート（連状のリードフレームとも言う）１個ない
し複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた
金属シートと合紙とを交互に積層した積層物からの金属
シートと合紙とを分離する装置と、合紙の分離方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置は、電子機器の高性能
化と軽薄短小の傾向からＬＳＩはＡＳＩＣに代表される
ように、ますます高集積化、高機能化の一途をたどって
きている。多端子ＩＣ、特にゲートアレイやスタンダー
ドセルに代表されるＡＳＩＣあるいは、マイコン、ＤＳ
Ｐ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏ
ｒ）等をコストパーフォーマンス高くユーザに提供する
パッケージとしてリードフレームを用いたプラスチック
ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）が主流
となり、現在では３００ピンを超えるものまで実用化に
至ってきている。
化と軽薄短小の傾向からＬＳＩはＡＳＩＣに代表される
ように、ますます高集積化、高機能化の一途をたどって
きている。多端子ＩＣ、特にゲートアレイやスタンダー
ドセルに代表されるＡＳＩＣあるいは、マイコン、ＤＳ
Ｐ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏ
ｒ）等をコストパーフォーマンス高くユーザに提供する
パッケージとしてリードフレームを用いたプラスチック
ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）が主流
となり、現在では３００ピンを超えるものまで実用化に
至ってきている。
【０００３】ＱＦＰは、図７（ｂ）に示すリードフレー
ム７１０を用いたもので、図７（ａ）に示すように、ダ
イパッド７１１上に半導体素子７２０を搭載し、銀めっ
き等の表面処理がなされたインナーリード７１２先端部
と半導体素子７２０の端子７２１とをワイヤ７３０にて
結線し、封止用樹脂７４０で封止を行い、この後、ダム
バー部７１４をカットし、アウターリード７１３をガル
ウイング状に成形したものである。このように、ＱＦＰ
は、パッケージの４方向に外部回路と電気的に接続する
ためのアウターリード７１３を設けた構造で多端子化に
対応できるものとして開発されてきた。ここで用いられ
るリードフレーム７１０は、通常、４２合金（４２％ニ
ッケル−鉄合金）あるいは銅合金などの電気伝導率が高
く，且つ機械的強度が大きい金属材を素材とし、フォト
エッチング法かあるいはスタンピング法により、図６
（ｂ）に示すような形状に作製されていた。通常は、図
６（ｂ）に示すように、単位リードフレーム６１０（図
７（ｂ）に示すようなリードフレーム）を複数個を面付
けした状態のリードフレームシート６１０Ａを複数個
を、図６（ａ）に示すように、不要の金属板部６０５に
連結部６２０にて繋げた状態でエッチング等の外形加工
を行った後、各リードフレームシート６１０Ａ毎に分離
し、ワイヤボンディング等のためのメッキ処理や、半導
体素子の搭載、樹脂封止を行い、後にこれを単位リード
フレーム毎に分離するという方法が採られている。尚、
金属シート６００から各リードフレームシート６１０Ａ
毎に分離することをリードフレームのトリミングと一般
には言っている。また、図６（ｂ）に示すように、単位
リードフレーム６１０を複数個、面付けした状態を連状
と言い、この１組み（リードフレームシート６１０Ａ、
１個）を１連（１連のリードフレーム）とも言う。
ム７１０を用いたもので、図７（ａ）に示すように、ダ
イパッド７１１上に半導体素子７２０を搭載し、銀めっ
き等の表面処理がなされたインナーリード７１２先端部
と半導体素子７２０の端子７２１とをワイヤ７３０にて
結線し、封止用樹脂７４０で封止を行い、この後、ダム
バー部７１４をカットし、アウターリード７１３をガル
ウイング状に成形したものである。このように、ＱＦＰ
は、パッケージの４方向に外部回路と電気的に接続する
ためのアウターリード７１３を設けた構造で多端子化に
対応できるものとして開発されてきた。ここで用いられ
るリードフレーム７１０は、通常、４２合金（４２％ニ
ッケル−鉄合金）あるいは銅合金などの電気伝導率が高
く，且つ機械的強度が大きい金属材を素材とし、フォト
エッチング法かあるいはスタンピング法により、図６
（ｂ）に示すような形状に作製されていた。通常は、図
６（ｂ）に示すように、単位リードフレーム６１０（図
７（ｂ）に示すようなリードフレーム）を複数個を面付
けした状態のリードフレームシート６１０Ａを複数個
を、図６（ａ）に示すように、不要の金属板部６０５に
連結部６２０にて繋げた状態でエッチング等の外形加工
を行った後、各リードフレームシート６１０Ａ毎に分離
し、ワイヤボンディング等のためのメッキ処理や、半導
体素子の搭載、樹脂封止を行い、後にこれを単位リード
フレーム毎に分離するという方法が採られている。尚、
金属シート６００から各リードフレームシート６１０Ａ
毎に分離することをリードフレームのトリミングと一般
には言っている。また、図６（ｂ）に示すように、単位
リードフレーム６１０を複数個、面付けした状態を連状
と言い、この１組み（リードフレームシート６１０Ａ、
１個）を１連（１連のリードフレーム）とも言う。
【０００４】そして、通常、リードフレームメーカー
は、このようにして加工した連状のリードフレームを設
けた金属シート６００ないしリードフレームシート６１
０Ａを、合紙をその間に挾んで積層した状態としてい
る。また、この状態で一時ストックしておくこともあ
る。このように積層することにより、リードフレームの
製品部には汚れや傷がつかない。
は、このようにして加工した連状のリードフレームを設
けた金属シート６００ないしリードフレームシート６１
０Ａを、合紙をその間に挾んで積層した状態としてい
る。また、この状態で一時ストックしておくこともあ
る。このように積層することにより、リードフレームの
製品部には汚れや傷がつかない。
【０００５】従来、このように積層された積層物から、
金属シート６００ないしリードフレームシート６１０Ａ
と、合紙とを分離する方法においては、図８に示すよう
にその分離が行われていた。金属シート８８０を積層し
た積層物８９０から分離する場合を図８に基づいて簡単
に説明する。図８に示す分離方法においては、上下移動
する、真空チャンバー８１１を有する吸着部（ヘッド）
８１０が金属シート８８０を吸着した後、上方向に移動
し、更には横方向に移動し、載置台８３０の積層物８９
０上になくなると、合紙８８５を吸着するための吸着部
８２０が載置台８３０の横方向から積層物８９０上に移
動され、その吸引口８２１にて合紙８８５を吸引し、吸
着部８２０をもとの位置に戻してこれを引張り除くもの
である。しかし、この方法の場合、廃棄箱８６０へ合紙
８８５を確実に捨てることが難しく、且つ、必ずしも合
紙８８５と金属シート８８０とが交互に積層されていな
い場合などに、吸着部８２０にて誤って金属シート８８
０を吸引してしまうことがある。
金属シート６００ないしリードフレームシート６１０Ａ
と、合紙とを分離する方法においては、図８に示すよう
にその分離が行われていた。金属シート８８０を積層し
た積層物８９０から分離する場合を図８に基づいて簡単
に説明する。図８に示す分離方法においては、上下移動
する、真空チャンバー８１１を有する吸着部（ヘッド）
８１０が金属シート８８０を吸着した後、上方向に移動
し、更には横方向に移動し、載置台８３０の積層物８９
０上になくなると、合紙８８５を吸着するための吸着部
８２０が載置台８３０の横方向から積層物８９０上に移
動され、その吸引口８２１にて合紙８８５を吸引し、吸
着部８２０をもとの位置に戻してこれを引張り除くもの
である。しかし、この方法の場合、廃棄箱８６０へ合紙
８８５を確実に捨てることが難しく、且つ、必ずしも合
紙８８５と金属シート８８０とが交互に積層されていな
い場合などに、吸着部８２０にて誤って金属シート８８
０を吸引してしまうことがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このため、金属シート
なしい連状のリードフレームと、合紙との積層物から、
金属シートないしリードフレームシート（連状のリード
フレームとも言う）と、合紙とを分離する際に、所定の
廃棄箱中に合紙を確実に捨てることができ、且つ、金属
シートなしいリードフレームシートと、合紙との分離を
間違わずに行える分離装置、方法が求められていた。本
発明は、これに対応するもので、金属シートないしリー
ドフレームシート等の薄板と合紙とが交互に積層された
積層物から、薄板と合紙との分離を正確に行える分離装
置および分離方法を提供しようとするものである。同時
に、分離の際に合紙を所定の廃棄箱に確実に収納できる
分離装置を提供しようとするものである。
なしい連状のリードフレームと、合紙との積層物から、
金属シートないしリードフレームシート（連状のリード
フレームとも言う）と、合紙とを分離する際に、所定の
廃棄箱中に合紙を確実に捨てることができ、且つ、金属
シートなしいリードフレームシートと、合紙との分離を
間違わずに行える分離装置、方法が求められていた。本
発明は、これに対応するもので、金属シートないしリー
ドフレームシート等の薄板と合紙とが交互に積層された
積層物から、薄板と合紙との分離を正確に行える分離装
置および分離方法を提供しようとするものである。同時
に、分離の際に合紙を所定の廃棄箱に確実に収納できる
分離装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の薄板と合紙の分
離装置は、所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が交互
に重ねられた積層物から、薄板と合紙とを分離する装置
であって、薄板と合紙が交互に重ねられた積層物を載せ
て上下移動ができる載置台と、積層物の最も上のものが
何であるかを判断するセンサ部と、該センサ部の情報に
従い、積層物の最も上のものが薄板である場合に該薄板
を吸着分離する薄板分離部と、積層物の最も上のものが
合紙である場合に該合紙を吸着除去する合紙除去部とを
備えたもので、薄板分離部は、積層物を載せる載置台の
上から、その吸着部を上下移動させて、薄板を吸着除去
させるもので、合紙除去部は、合紙を吸着する吸着部
と、積層物を載せる載置台の横方向から、その吸着部を
載置台上まで横方向移動させる横方向移動部と、吸着部
を上下方向に移動する上下移動部とを有し、積層物を載
せる載置台の横方向から、所定の高さにて、その吸着部
を横方向移動させ、且つ、該吸着部を載置台上にて上下
方向に移動させ、積層物の最も上の合紙を吸着して除去
させるものであることを特徴とするものである。そし
て、上記における、積層物の最も上のものが何であるか
を判断するセンサ部は、積層物の最も上のものの色によ
り判断するカラーセンサであることを特徴とするもので
ある。そしてまた、上記において、カラーセンサを２個
以上備えたことを特徴とするものである。また、上記に
おけるカラーセンサは、合紙除去部の吸着部と一体的に
取付けられ、且つ、積層物の最も上のものを押さえた状
態で検出するものであることを特徴とするものである。
また、上記における合紙除去部において、その吸着部に
より吸着された合紙は、上下移動部により上方向に移動
された後、横方向移動部により、載置台上から排出され
る際、合紙を回転するロール間に挟み排出する合紙排出
用回転ロールにより排出されるものであることを特徴と
するものであり、該合紙排出用回転ロールは、回転駆動
部を備えた回転ロールとニップ用ロールとからなり、少
なくとも回転ロールには、回転方向に沿い一部に溝を設
けており、前記溝部内にその一方の端部の少なくとも一
部が回転ロールには直接接しないように配設され、且つ
その他方の端部が回転ロールから離れるように配設され
た、合紙を所定の方向に導くプレートを設けたものであ
ることを特徴とするものである。また、上記における薄
板は、リードフレーム複数個からなるリードフレームシ
ート（連状のリードフレームとも言う）１個ないし複数
個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シ
ートであることを特徴とするものである。
離装置は、所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が交互
に重ねられた積層物から、薄板と合紙とを分離する装置
であって、薄板と合紙が交互に重ねられた積層物を載せ
て上下移動ができる載置台と、積層物の最も上のものが
何であるかを判断するセンサ部と、該センサ部の情報に
従い、積層物の最も上のものが薄板である場合に該薄板
を吸着分離する薄板分離部と、積層物の最も上のものが
合紙である場合に該合紙を吸着除去する合紙除去部とを
備えたもので、薄板分離部は、積層物を載せる載置台の
上から、その吸着部を上下移動させて、薄板を吸着除去
させるもので、合紙除去部は、合紙を吸着する吸着部
と、積層物を載せる載置台の横方向から、その吸着部を
載置台上まで横方向移動させる横方向移動部と、吸着部
を上下方向に移動する上下移動部とを有し、積層物を載
せる載置台の横方向から、所定の高さにて、その吸着部
を横方向移動させ、且つ、該吸着部を載置台上にて上下
方向に移動させ、積層物の最も上の合紙を吸着して除去
させるものであることを特徴とするものである。そし
て、上記における、積層物の最も上のものが何であるか
を判断するセンサ部は、積層物の最も上のものの色によ
り判断するカラーセンサであることを特徴とするもので
ある。そしてまた、上記において、カラーセンサを２個
以上備えたことを特徴とするものである。また、上記に
おけるカラーセンサは、合紙除去部の吸着部と一体的に
取付けられ、且つ、積層物の最も上のものを押さえた状
態で検出するものであることを特徴とするものである。
また、上記における合紙除去部において、その吸着部に
より吸着された合紙は、上下移動部により上方向に移動
された後、横方向移動部により、載置台上から排出され
る際、合紙を回転するロール間に挟み排出する合紙排出
用回転ロールにより排出されるものであることを特徴と
するものであり、該合紙排出用回転ロールは、回転駆動
部を備えた回転ロールとニップ用ロールとからなり、少
なくとも回転ロールには、回転方向に沿い一部に溝を設
けており、前記溝部内にその一方の端部の少なくとも一
部が回転ロールには直接接しないように配設され、且つ
その他方の端部が回転ロールから離れるように配設され
た、合紙を所定の方向に導くプレートを設けたものであ
ることを特徴とするものである。また、上記における薄
板は、リードフレーム複数個からなるリードフレームシ
ート（連状のリードフレームとも言う）１個ないし複数
個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シ
ートであることを特徴とするものである。
【０００８】本発明の合紙の除去方法は、所定の載置台
上に置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から
薄板と合紙とを分離する際に、合紙を吸着部により吸着
分離させる合紙の分離方法であって、積層物の最も上の
ものが何であるかをカラーセンサを用いて色で判断し、
該カラーセンサが合紙と判断した場合にのみ、合紙を吸
着部にて吸着除去することを特徴とするものである。そ
して、上記において、カラーセンサの判断は、合紙を上
から押さえた状態で、所定の検出距離にて行うものであ
ることを特徴とするものである。そしてまた、上記にお
いて、吸着部により吸着された合紙が上方向に移動され
た後、横方向に移動され、載置台上から排出される際、
合紙は回転するロール間に挟まれて排出され、且つ所定
の方向に導くプレートに従い、所定方向に導かれること
を特徴とするものである。また、上記における薄板は、
リードフレーム複数個からなるリードフレームシート
（連状のリードフレームとも言う）１個ないし複数個
を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シー
トであることを特徴とするものである。
上に置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から
薄板と合紙とを分離する際に、合紙を吸着部により吸着
分離させる合紙の分離方法であって、積層物の最も上の
ものが何であるかをカラーセンサを用いて色で判断し、
該カラーセンサが合紙と判断した場合にのみ、合紙を吸
着部にて吸着除去することを特徴とするものである。そ
して、上記において、カラーセンサの判断は、合紙を上
から押さえた状態で、所定の検出距離にて行うものであ
ることを特徴とするものである。そしてまた、上記にお
いて、吸着部により吸着された合紙が上方向に移動され
た後、横方向に移動され、載置台上から排出される際、
合紙は回転するロール間に挟まれて排出され、且つ所定
の方向に導くプレートに従い、所定方向に導かれること
を特徴とするものである。また、上記における薄板は、
リードフレーム複数個からなるリードフレームシート
（連状のリードフレームとも言う）１個ないし複数個
を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シー
トであることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】本発明の薄板と合紙の分離装置は、このような
構成にすることにより、薄板と合紙とが交互に積層され
た積層物から、薄板と合紙との分離を正確に行える分離
装置の提供を可能とするものである。更には、分離の際
に合紙を所定の廃棄箱に確実に収納できる分離装置の提
供を可能とするものである。結果的には、生産性や歩留
りの向上も可能とするものである。特に、薄板が、リー
ドフレーム複数個からなるリードフレームシート（連状
のリードフレームとも言う）１個ないし複数個を、連結
部にて、不要の板部に一体連結させた金属シートである
場合には、有効である。具体的には、薄板と合紙が交互
に重ねられた積層物を載せて上下移動ができる載置台
と、積層物の最も上のものが何であるかを判断するセン
サ部と、該センサ部の情報に従い、積層物の最も上のも
のが薄板である場合に該薄板を吸着分離する薄板分離部
と、積層物の最も上のものが合紙である場合に該合紙を
吸着除去する合紙除去部とを備えたもので、薄板分離部
は、積層物を載せる載置台の上から、その吸着部を上下
移動させて、薄板を吸着除去させるもので、合紙除去部
は、合紙を吸着する吸着部と、積層物を載せる載置台の
横方向から、その吸着部を載置台上まで横方向移動させ
る横方向移動部と、吸着部を上下方向に移動する上下移
動部とを有し、積層物を載せる載置台の横方向から、所
定の高さにて、その吸着部を横方向移動させ、且つ、該
吸着部を載置台上にて上下方向に移動させ、積層物の最
も上の合紙を吸着して除去させるものであることによ
り、薄板と合紙との分離を正確に行えるものとしてい
る。更に具体的には、積層物の最も上のものが何である
かを判断するセンサ部として、カラーセンサを用いてお
り、カラーセンサは、合紙除去部の吸着部に一体的に取
付けられ、且つ、積層物の最も上のものを押さえた状態
で検出するものであることにより、積層物の最も上のも
のが何であるかを正確に判断できるものとしている。通
常は、薄板と合紙とからなる積層物全体をパレットに載
せたパレット単位で、積層物を載置台上に載せてから薄
板と合紙との分離を行うため、薄板と合紙の他に、パレ
ットとの区分けをする必要があり、カラーセンサとして
は、２個以上用いる。更に、合紙除去部において、吸着
部により吸着された合紙は、上下移動部により上方向に
移動された後、横方向移動部により、載置台上から排出
される際、合紙を回転するロール間に挟み排出する合紙
排出用回転ロールにより排出されるものであり、該合紙
排出用回転ロールは、回転駆動部を備えた回転ロールと
ニップ用ロールとからなり、少なくとも回転ロールに
は、回転方向に沿い一部に溝を設けており、前記溝部内
にその一方の端部の少なくとも一部が回転ロールには直
接接しないように配設され、且つその他方の端部が回転
ロールから離れるように配設された、合紙を所定の方向
に導くプレートを設けたものであることにより、合紙を
合紙廃棄用箱に確実に収納できるものとしている。
構成にすることにより、薄板と合紙とが交互に積層され
た積層物から、薄板と合紙との分離を正確に行える分離
装置の提供を可能とするものである。更には、分離の際
に合紙を所定の廃棄箱に確実に収納できる分離装置の提
供を可能とするものである。結果的には、生産性や歩留
りの向上も可能とするものである。特に、薄板が、リー
ドフレーム複数個からなるリードフレームシート（連状
のリードフレームとも言う）１個ないし複数個を、連結
部にて、不要の板部に一体連結させた金属シートである
場合には、有効である。具体的には、薄板と合紙が交互
に重ねられた積層物を載せて上下移動ができる載置台
と、積層物の最も上のものが何であるかを判断するセン
サ部と、該センサ部の情報に従い、積層物の最も上のも
のが薄板である場合に該薄板を吸着分離する薄板分離部
と、積層物の最も上のものが合紙である場合に該合紙を
吸着除去する合紙除去部とを備えたもので、薄板分離部
は、積層物を載せる載置台の上から、その吸着部を上下
移動させて、薄板を吸着除去させるもので、合紙除去部
は、合紙を吸着する吸着部と、積層物を載せる載置台の
横方向から、その吸着部を載置台上まで横方向移動させ
る横方向移動部と、吸着部を上下方向に移動する上下移
動部とを有し、積層物を載せる載置台の横方向から、所
定の高さにて、その吸着部を横方向移動させ、且つ、該
吸着部を載置台上にて上下方向に移動させ、積層物の最
も上の合紙を吸着して除去させるものであることによ
り、薄板と合紙との分離を正確に行えるものとしてい
る。更に具体的には、積層物の最も上のものが何である
かを判断するセンサ部として、カラーセンサを用いてお
り、カラーセンサは、合紙除去部の吸着部に一体的に取
付けられ、且つ、積層物の最も上のものを押さえた状態
で検出するものであることにより、積層物の最も上のも
のが何であるかを正確に判断できるものとしている。通
常は、薄板と合紙とからなる積層物全体をパレットに載
せたパレット単位で、積層物を載置台上に載せてから薄
板と合紙との分離を行うため、薄板と合紙の他に、パレ
ットとの区分けをする必要があり、カラーセンサとして
は、２個以上用いる。更に、合紙除去部において、吸着
部により吸着された合紙は、上下移動部により上方向に
移動された後、横方向移動部により、載置台上から排出
される際、合紙を回転するロール間に挟み排出する合紙
排出用回転ロールにより排出されるものであり、該合紙
排出用回転ロールは、回転駆動部を備えた回転ロールと
ニップ用ロールとからなり、少なくとも回転ロールに
は、回転方向に沿い一部に溝を設けており、前記溝部内
にその一方の端部の少なくとも一部が回転ロールには直
接接しないように配設され、且つその他方の端部が回転
ロールから離れるように配設された、合紙を所定の方向
に導くプレートを設けたものであることにより、合紙を
合紙廃棄用箱に確実に収納できるものとしている。
【００１０】本発明の合紙の除去方法は、このような構
成にすることにより、薄板と合紙との分離を正確に行え
るものとしている。具体的には、所定の載置台上に置か
れた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から薄板と合
紙とを分離する際に、合紙を吸着部により吸着分離させ
る合紙の分離方法であって、積層物の最も上のものが何
であるかをカラーセンサを用いて色で判断し、該カラー
センサが合紙と判断した場合にのみ、合紙を吸着部にて
吸着除去することにより、また、吸着部により吸着され
た合紙は、上方向に移動された後、横方向に移動され、
載置台上から排出される際、合紙は回転するロール間に
挟まれて排出され、且つ所定の方向に導くプレートに従
い、所定方向に導かれることにより、これを達成してい
る。特に、薄板が、リードフレーム複数個からなるリー
ドフレームシート（連状のリードフレームとも言う）１
個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結
させた金属シートである場合には、特に有効である。
成にすることにより、薄板と合紙との分離を正確に行え
るものとしている。具体的には、所定の載置台上に置か
れた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から薄板と合
紙とを分離する際に、合紙を吸着部により吸着分離させ
る合紙の分離方法であって、積層物の最も上のものが何
であるかをカラーセンサを用いて色で判断し、該カラー
センサが合紙と判断した場合にのみ、合紙を吸着部にて
吸着除去することにより、また、吸着部により吸着され
た合紙は、上方向に移動された後、横方向に移動され、
載置台上から排出される際、合紙は回転するロール間に
挟まれて排出され、且つ所定の方向に導くプレートに従
い、所定方向に導かれることにより、これを達成してい
る。特に、薄板が、リードフレーム複数個からなるリー
ドフレームシート（連状のリードフレームとも言う）１
個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結
させた金属シートである場合には、特に有効である。
【００１１】
【実施の形態】本発明の薄板と合紙の分離装置および本
発明の合紙の除去方法を図を用いて説明する。図１は、
本発明の薄板と合紙の分離装置の実施の形態の１例で、
図２は本発明の合紙の除去方法の実施の形態の１例のフ
ロー図である。図１中、１００は分離装置、１１０は薄
板分離部、１１１は吸着ヘッド、１１１Ａはシリンダ、
１１５は薄板吸着ヘッド移動用テーブル、１２０は合紙
除去部、１２１は吸着部、１２１Ａ、１２１Ｂはシリン
ダ、１２５は押さえ部、１３０はテーブル（載置台）、
１３５はパレット、１４０はカラーセンサ、１４５、１
４６は位置センサ、１５０は合紙排出用回転ロール、１
５１は回転ロール、１５２はニップロール、１５５はプ
レート（案内板）、１５７はハンドル、１５８は移動用
スライドガイド、１５９はレール、１６０は（合紙）廃
棄箱、１７０は積層物、１８０は薄板、１８５は合紙、
１９０は支柱である。分離装置１００は、載置台１３０
上に置かれた薄板１８０と合紙１８５とが交互に重ねら
れた積層物１７０から、薄板１８０と合紙１８５とを分
離する装置である。そして、薄板１８０と合紙１８５と
が交互に重ねられた積層物１７０を載せて上下移動がで
きる載置台１３０と、積層物の最も上のものが何である
かを判断するカラーセンサ１４０と、該カラーセンサ１
４０の情報に従い、積層物１７０の最も上のものが薄板
１８０である場合に、該薄板１８０を吸着分離する薄板
分離部１１０と、積層物１７０の最も上のものが合紙１
８５である場合に該合紙１８５を吸着除去する合紙除去
部１２０とを備えたものである。
発明の合紙の除去方法を図を用いて説明する。図１は、
本発明の薄板と合紙の分離装置の実施の形態の１例で、
図２は本発明の合紙の除去方法の実施の形態の１例のフ
ロー図である。図１中、１００は分離装置、１１０は薄
板分離部、１１１は吸着ヘッド、１１１Ａはシリンダ、
１１５は薄板吸着ヘッド移動用テーブル、１２０は合紙
除去部、１２１は吸着部、１２１Ａ、１２１Ｂはシリン
ダ、１２５は押さえ部、１３０はテーブル（載置台）、
１３５はパレット、１４０はカラーセンサ、１４５、１
４６は位置センサ、１５０は合紙排出用回転ロール、１
５１は回転ロール、１５２はニップロール、１５５はプ
レート（案内板）、１５７はハンドル、１５８は移動用
スライドガイド、１５９はレール、１６０は（合紙）廃
棄箱、１７０は積層物、１８０は薄板、１８５は合紙、
１９０は支柱である。分離装置１００は、載置台１３０
上に置かれた薄板１８０と合紙１８５とが交互に重ねら
れた積層物１７０から、薄板１８０と合紙１８５とを分
離する装置である。そして、薄板１８０と合紙１８５と
が交互に重ねられた積層物１７０を載せて上下移動がで
きる載置台１３０と、積層物の最も上のものが何である
かを判断するカラーセンサ１４０と、該カラーセンサ１
４０の情報に従い、積層物１７０の最も上のものが薄板
１８０である場合に、該薄板１８０を吸着分離する薄板
分離部１１０と、積層物１７０の最も上のものが合紙１
８５である場合に該合紙１８５を吸着除去する合紙除去
部１２０とを備えたものである。
【００１２】薄板分離部１１０は、積層物１７０を載せ
る載置台１３０の上から、その吸着ヘッド１１１を上下
移動させて、薄板１８０を吸着除去させるものである。
吸着ヘッド１１１の上下移動の駆動はシリンダ１１１Ａ
により行う。合紙除去部１２０は、合紙１８５を吸着す
る吸着部１２１と、積層物１８５を載せる載置台１３０
の横方向から、その吸着部１２１を載置台１３０上まで
横方向移動させるシリンダ１２１Ｂ（横方向移動部）
と、吸着部１２１を上下方向に移動するシリンダ１２１
Ａ（上下移動部）とを有している。そして、積層物１７
０を載せる載置台１３０の横方向から、所定の高さに
て、その吸着部１２１をシリンダ１２１Ｂにて横方向移
動させ、且つ、該吸着部１２１を載置台１３０上にてシ
リンダ１２１Ａにより上下方向に移動させ、積層物１７
０の最も上の合紙１８５を吸着して除去させる。
る載置台１３０の上から、その吸着ヘッド１１１を上下
移動させて、薄板１８０を吸着除去させるものである。
吸着ヘッド１１１の上下移動の駆動はシリンダ１１１Ａ
により行う。合紙除去部１２０は、合紙１８５を吸着す
る吸着部１２１と、積層物１８５を載せる載置台１３０
の横方向から、その吸着部１２１を載置台１３０上まで
横方向移動させるシリンダ１２１Ｂ（横方向移動部）
と、吸着部１２１を上下方向に移動するシリンダ１２１
Ａ（上下移動部）とを有している。そして、積層物１７
０を載せる載置台１３０の横方向から、所定の高さに
て、その吸着部１２１をシリンダ１２１Ｂにて横方向移
動させ、且つ、該吸着部１２１を載置台１３０上にてシ
リンダ１２１Ａにより上下方向に移動させ、積層物１７
０の最も上の合紙１８５を吸着して除去させる。
【００１３】載置台１３０上に置かれた積層物１７０の
最も上のものが何であるかを判断するカラーセンサ１４
０は、積層物１７０の最も上のものの色により判断する
カラーセンサであり、図１に示す装置では、吸着部１２
１と一緒に固定されているもので、シリンダ１２１Ａ、
１２１Ｂの動作により、吸着部１２１と一緒に動く。カ
ラーセンサ１４０を２個（センサ、センサとする）
を用いた場合の判断について簡単に説明しておく。薄板
１８０が製品である場合、一般には、その種類も多くそ
の色も多種にわたるため、カラーセンサの感度を、薄板
には合わせず、センサは合紙に、センサはパレット
に合わせておく。そして、センサが合紙と判断した場
合を○、それ以外を×、センサがパレットと判断した
場合を○、それ以外を×とすると、薄板、合紙、パレッ
トは、各センサが図５に示す状態の時に、それぞれ積層
物１７０の最も上のものとして認識できる。
最も上のものが何であるかを判断するカラーセンサ１４
０は、積層物１７０の最も上のものの色により判断する
カラーセンサであり、図１に示す装置では、吸着部１２
１と一緒に固定されているもので、シリンダ１２１Ａ、
１２１Ｂの動作により、吸着部１２１と一緒に動く。カ
ラーセンサ１４０を２個（センサ、センサとする）
を用いた場合の判断について簡単に説明しておく。薄板
１８０が製品である場合、一般には、その種類も多くそ
の色も多種にわたるため、カラーセンサの感度を、薄板
には合わせず、センサは合紙に、センサはパレット
に合わせておく。そして、センサが合紙と判断した場
合を○、それ以外を×、センサがパレットと判断した
場合を○、それ以外を×とすると、薄板、合紙、パレッ
トは、各センサが図５に示す状態の時に、それぞれ積層
物１７０の最も上のものとして認識できる。
【００１４】尚、カラーセンサ１４０は、吸着部１２１
と一体的に取付けられているが、これに限定される必要
はない。また、図１に示す装置１００においては、積層
物１７０の最も上のものを、押さえ部１２５により押さ
えた状態で検出する。合紙１８５のカラーセンサ１４０
による検出においては、合紙１８５の状態が反りや折れ
もあり不安定なことから、合紙を押さえながら検出す
る。尚、押さえ部１２５も吸着部１２１と一体的に取付
けられている。
と一体的に取付けられているが、これに限定される必要
はない。また、図１に示す装置１００においては、積層
物１７０の最も上のものを、押さえ部１２５により押さ
えた状態で検出する。合紙１８５のカラーセンサ１４０
による検出においては、合紙１８５の状態が反りや折れ
もあり不安定なことから、合紙を押さえながら検出す
る。尚、押さえ部１２５も吸着部１２１と一体的に取付
けられている。
【００１５】排出用回転ロール１５０は、回転ロール１
５１とニップロール１５２とからなり、吸着部１２１に
より吸着された合紙１８５は、シリンダ１２１Ａにより
上方向に移動された後、シリンダ１２１Ｂにより、載置
台１３０上から排出される際、合紙１８５を回転するロ
ール（ロール１５１、１５２）間に挟み排出する。そし
て、図４に示すように、回転ロール１５１には、回転方
向に沿い一部に溝１５１Ａを設けており、溝部１５１Ａ
内にその一方の端部の少なくとも一部が回転ロール１５
１には直接接しないように配設され、且つその他方の端
部が回転ロール１５１から離れるように配設された、合
紙１８５を所定の方向に導くプレート（１５５）を設け
ている。尚、図４は排出用回転ロール１５０とプレート
１５５との位置関係を示した図であるが、図４（ｂ）は
図４（ａ）のＢ１−Ｂ２から見た図である。
５１とニップロール１５２とからなり、吸着部１２１に
より吸着された合紙１８５は、シリンダ１２１Ａにより
上方向に移動された後、シリンダ１２１Ｂにより、載置
台１３０上から排出される際、合紙１８５を回転するロ
ール（ロール１５１、１５２）間に挟み排出する。そし
て、図４に示すように、回転ロール１５１には、回転方
向に沿い一部に溝１５１Ａを設けており、溝部１５１Ａ
内にその一方の端部の少なくとも一部が回転ロール１５
１には直接接しないように配設され、且つその他方の端
部が回転ロール１５１から離れるように配設された、合
紙１８５を所定の方向に導くプレート（１５５）を設け
ている。尚、図４は排出用回転ロール１５０とプレート
１５５との位置関係を示した図であるが、図４（ｂ）は
図４（ａ）のＢ１−Ｂ２から見た図である。
【００１６】ハンドル１５７は合紙の寸法に合わせ、吸
着部１２１の吸着位置を調整するためのもので、これに
より移動用スライドガイド１５８をレール１５９に沿い
その位置を移動させる。尚、吸着部１２１、シリンダ１
２１Ａ、１２１Ｂ、カラーセンサ１４０、押さえ部１２
５は、移動用スライドガイド１５８と一体として動く。
着部１２１の吸着位置を調整するためのもので、これに
より移動用スライドガイド１５８をレール１５９に沿い
その位置を移動させる。尚、吸着部１２１、シリンダ１
２１Ａ、１２１Ｂ、カラーセンサ１４０、押さえ部１２
５は、移動用スライドガイド１５８と一体として動く。
【００１７】支柱１９０は各部を固定するためのもの
で、位置センサ１４５、１４６は支柱１９０に固定され
ている。
で、位置センサ１４５、１４６は支柱１９０に固定され
ている。
【００１８】薄板１８０としては、図６に示すような、
リードフレーム複数個からなるリードフレームシート１
個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結
させた金属シート等が挙げられる。
リードフレーム複数個からなるリードフレームシート１
個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結
させた金属シート等が挙げられる。
【００１９】次いで、図１に示す装置１００における合
紙除去部１２０の合紙除去動作を図３にしたがい簡単に
説明しておく。図３（ａ）は吸着部の初期位置の状態
で、図１に示すように、積層物１７０を載せる載置台１
３０から離れた位置に吸着部１２１を位置させている。
このとき、シリンダ１２１Ａの位置、シリンダ１２１Ｂ
の位置はともに初期位置にある。次いで、図３（ｂ）に
示すように、シリンダ１２１Ｂにより吸着部１２１、シ
リンダ１２１Ａ、押さえ部１２５、カラーセンサ１４０
を一体として、載置台１３０側へ押し出して、所定の位
置で止める。シリンダ１２１Ａ位置は初期位置のままで
ある。次いで、シリンダ１２１Ａにより、吸着部１２
１、押さえ部１２５、カラーセンサ１４０を一体とし
て、載置台１３０側に押出し、押さえ部１２５にて、載
置台１３０の積層物１７０の最も上のものを押さえる状
態で、シリンダ１２１Ａの移動を停止させ、吸着部１２
１、押さえ部１２５、カラーセンサ１４０を固定する。
（図３（ｃ）） この状態で、カラーセンサ１４０が積層物１７０の最も
上のものが合紙１８５と判断された場合には、合紙１８
５を吸着部１２１で吸引し（図３（ｄ））、同時にシリ
ンダ１２１Ａにより上昇され、更にシリンダ１２１Ｂに
より載置台１３０の外側に戻される。
紙除去部１２０の合紙除去動作を図３にしたがい簡単に
説明しておく。図３（ａ）は吸着部の初期位置の状態
で、図１に示すように、積層物１７０を載せる載置台１
３０から離れた位置に吸着部１２１を位置させている。
このとき、シリンダ１２１Ａの位置、シリンダ１２１Ｂ
の位置はともに初期位置にある。次いで、図３（ｂ）に
示すように、シリンダ１２１Ｂにより吸着部１２１、シ
リンダ１２１Ａ、押さえ部１２５、カラーセンサ１４０
を一体として、載置台１３０側へ押し出して、所定の位
置で止める。シリンダ１２１Ａ位置は初期位置のままで
ある。次いで、シリンダ１２１Ａにより、吸着部１２
１、押さえ部１２５、カラーセンサ１４０を一体とし
て、載置台１３０側に押出し、押さえ部１２５にて、載
置台１３０の積層物１７０の最も上のものを押さえる状
態で、シリンダ１２１Ａの移動を停止させ、吸着部１２
１、押さえ部１２５、カラーセンサ１４０を固定する。
（図３（ｃ）） この状態で、カラーセンサ１４０が積層物１７０の最も
上のものが合紙１８５と判断された場合には、合紙１８
５を吸着部１２１で吸引し（図３（ｄ））、同時にシリ
ンダ１２１Ａにより上昇され、更にシリンダ１２１Ｂに
より載置台１３０の外側に戻される。
【００２０】合紙の除去方法は、例えば図２に示すよう
に行う。図２中、Ｓ２１〜Ｓ３２は各ステップを示した
ものである。図２は図１に示す装置１００の合紙除去部
１２０の動作を主に説明したものである。尚、Ｓ２２〜
Ｓ３１（実線で囲んだ部分）が、合紙除去部の直接的な
動作である。図１に示すように、薄板分離部１１０の吸
着ヘッド１１１が作動し、薄板１８０を取り込む（Ｓ２
１）と、先ず、テーブル１３０が下降し、センサ１４６
の高さに積層物１７０の上側を合わせる。（Ｓ２２） 次いで、シリンダ１２１Ｂが作動し、テーブル１３０上
の積層物１７０の上に吸着部１２１を移動させる。（Ｓ
２３） 次いで、シリンダ１２１Ａが作動し、吸着部１２１をテ
ーブル１３０上の所定の位置に下降させる。（Ｓ２４） テーブル１３０上の最も上のもの、押さえ部１２５で押
さえた状態で、カラーセンサ１４０にて、最も上のもの
が何であるか確認する。（Ｓ２５）
に行う。図２中、Ｓ２１〜Ｓ３２は各ステップを示した
ものである。図２は図１に示す装置１００の合紙除去部
１２０の動作を主に説明したものである。尚、Ｓ２２〜
Ｓ３１（実線で囲んだ部分）が、合紙除去部の直接的な
動作である。図１に示すように、薄板分離部１１０の吸
着ヘッド１１１が作動し、薄板１８０を取り込む（Ｓ２
１）と、先ず、テーブル１３０が下降し、センサ１４６
の高さに積層物１７０の上側を合わせる。（Ｓ２２） 次いで、シリンダ１２１Ｂが作動し、テーブル１３０上
の積層物１７０の上に吸着部１２１を移動させる。（Ｓ
２３） 次いで、シリンダ１２１Ａが作動し、吸着部１２１をテ
ーブル１３０上の所定の位置に下降させる。（Ｓ２４） テーブル１３０上の最も上のもの、押さえ部１２５で押
さえた状態で、カラーセンサ１４０にて、最も上のもの
が何であるか確認する。（Ｓ２５）
【００２１】テーブル１３０上のものが合紙であるか否
かを確認し（Ｓ２６）、合紙１８５でない場合には、吸
着部１２１は、シリンダＡにより上昇され、シリンダＢ
により戻され、載置台１３０上から引き出される。（Ｓ
２７１Ａ） 尚、図４に示すような判定にしたがい、薄板と判断され
ると再度薄板分離部１１０により薄板の除去が行われ、
パレットと判断されると薄板、合紙の分離作業は完了し
たとして、必要に応じ、再び、薄板、合紙からなる積層
物の載置台上への搭載が行われる。
かを確認し（Ｓ２６）、合紙１８５でない場合には、吸
着部１２１は、シリンダＡにより上昇され、シリンダＢ
により戻され、載置台１３０上から引き出される。（Ｓ
２７１Ａ） 尚、図４に示すような判定にしたがい、薄板と判断され
ると再度薄板分離部１１０により薄板の除去が行われ、
パレットと判断されると薄板、合紙の分離作業は完了し
たとして、必要に応じ、再び、薄板、合紙からなる積層
物の載置台上への搭載が行われる。
【００２２】一方、テーブル１３０上のものが合紙であ
るか否かを確認し（Ｓ２６）、合紙１８５である場合に
は、合紙１８５を吸着ヘッド１２１が吸着する。（Ｓ２
７）次いで、シリンダ１２１Ａにより吸着部１２１を上
昇させ、シリンダ１２１Ｂにより、吸着部１２１を戻
し、合紙１８５をテーブル１３０上から引き出す。（Ｓ
２８） 次いで、シリンダ１２１Ａ、１２１Ｂがともに所定の位
置に達したときに、合紙１８５の先端が排出用回転ロー
ル１５０にかかり、合紙はロール１５１、１５２間に挟
まれる。（Ｓ２９） この後、合紙１８５は、ローラ１５１、１５２を通過
し、プレート（案内板）１５５により案内されて、廃棄
箱１６０へと送られる。（Ｓ３０） このようにして合紙１８５の除去が完了したら、合紙除
去部１２０は待機する。（Ｓ３１） この後、テーブル１３０は、位置センサ１４５の高さま
で再び、上昇し、薄板１８０の供給が整う。（Ｓ３２） そして、再度、ステップＳ２１に戻り、上記ステップを
繰り返す。このようにして、合紙の除去が行われる。
るか否かを確認し（Ｓ２６）、合紙１８５である場合に
は、合紙１８５を吸着ヘッド１２１が吸着する。（Ｓ２
７）次いで、シリンダ１２１Ａにより吸着部１２１を上
昇させ、シリンダ１２１Ｂにより、吸着部１２１を戻
し、合紙１８５をテーブル１３０上から引き出す。（Ｓ
２８） 次いで、シリンダ１２１Ａ、１２１Ｂがともに所定の位
置に達したときに、合紙１８５の先端が排出用回転ロー
ル１５０にかかり、合紙はロール１５１、１５２間に挟
まれる。（Ｓ２９） この後、合紙１８５は、ローラ１５１、１５２を通過
し、プレート（案内板）１５５により案内されて、廃棄
箱１６０へと送られる。（Ｓ３０） このようにして合紙１８５の除去が完了したら、合紙除
去部１２０は待機する。（Ｓ３１） この後、テーブル１３０は、位置センサ１４５の高さま
で再び、上昇し、薄板１８０の供給が整う。（Ｓ３２） そして、再度、ステップＳ２１に戻り、上記ステップを
繰り返す。このようにして、合紙の除去が行われる。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、上記のように、薄板と合紙と
が交互に積層された積層物から、薄板と合紙との分離を
正確に行える分離装置の提供を可能とするものであり、
同時に、分離の際に合紙を所定の廃棄箱に確実に収納で
きる分離装置の提供を可能とするものである。そして、
結果的、生産性や歩留りの向上を可能としている。
が交互に積層された積層物から、薄板と合紙との分離を
正確に行える分離装置の提供を可能とするものであり、
同時に、分離の際に合紙を所定の廃棄箱に確実に収納で
きる分離装置の提供を可能とするものである。そして、
結果的、生産性や歩留りの向上を可能としている。
【図１】本発明の薄板と合紙との分離装置の実施の形態
の１例を示した概略図
の１例を示した概略図
【図２】本発明の合紙の分離方法の１例を示したフロー
図
図
【図３】合紙除去部の動作を説明するための図
【図４】合紙排出用回転ロールを示した図
【図５】カラーセンサの使用方法を説明するための図
【図６】リードフレームの加工状態を説明するための図
【図７】リードフレームと半導体装置を説明するための
図
図
【図８】従来の薄板と合紙との分離方法を説明するため
の図
の図
１００ 分離装置 １１０ 薄板分離部 １１１ 吸着ヘッド １１１Ａ シリンダ １１５ 薄板吸着ヘッド移動用テー
ブル １２０ 合紙除去部 １２１ 吸着部 １２１Ａ、１２１Ｂ シリンダ １２５ 押さえ部 １３０ テーブル（載置台） １３５ パレット １４０ カラーセンサ １４５、１４６ 位置センサ １５０ 合紙排出用回転ロール １５１ 回転ロール １５２ ニップロール １５５ プレート（案内板） １５７ ハンドル １５８ 移動用スライドガイド １５９ レール １６０ （合紙）廃棄箱 １７０ 積層物 １８０ 薄板 １８５ 合紙 １３５ パレット １９０ 支柱 ６００ 金属シート ６０５ 不要の金属板部 ６１０ 単位リードフレーム ６１０Ａ リードフレームシート ６２０ 連結不 ７００ 半導体装置 ７１０ リードフレーム（単位リー
ドフレーム） ７１１ ダイパッド ７１２ インナーリード ７１３ アウターリード ７１４ ダムバー ７１５ フレーム（枠部） ７２０ 半導体素子 ７２１ 端子 ７３０ ワイヤ ７４０ 封止用樹脂 ８１０ 吸着部（ヘッド） ８１１ 真空チャンバー ８２０ 吸着部 ８２１ 吸引口 ８３０ 載置台 ８６０ 廃棄箱 ８８０ 金属シート ８８５ 合紙 ８９０ 積層物
ブル １２０ 合紙除去部 １２１ 吸着部 １２１Ａ、１２１Ｂ シリンダ １２５ 押さえ部 １３０ テーブル（載置台） １３５ パレット １４０ カラーセンサ １４５、１４６ 位置センサ １５０ 合紙排出用回転ロール １５１ 回転ロール １５２ ニップロール １５５ プレート（案内板） １５７ ハンドル １５８ 移動用スライドガイド １５９ レール １６０ （合紙）廃棄箱 １７０ 積層物 １８０ 薄板 １８５ 合紙 １３５ パレット １９０ 支柱 ６００ 金属シート ６０５ 不要の金属板部 ６１０ 単位リードフレーム ６１０Ａ リードフレームシート ６２０ 連結不 ７００ 半導体装置 ７１０ リードフレーム（単位リー
ドフレーム） ７１１ ダイパッド ７１２ インナーリード ７１３ アウターリード ７１４ ダムバー ７１５ フレーム（枠部） ７２０ 半導体素子 ７２１ 端子 ７３０ ワイヤ ７４０ 封止用樹脂 ８１０ 吸着部（ヘッド） ８１１ 真空チャンバー ８２０ 吸着部 ８２１ 吸引口 ８３０ 載置台 ８６０ 廃棄箱 ８８０ 金属シート ８８５ 合紙 ８９０ 積層物
Claims (11)
- 【請求項１】 所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が
交互に重ねられた積層物から、薄板と合紙とを分離する
装置であって、薄板と合紙が交互に重ねられた積層物を
載せて上下移動ができる載置台と、積層物の最も上のも
のが何であるかを判断するセンサ部と、該センサ部の情
報に従い、積層物の最も上のものが薄板である場合に該
薄板を吸着分離する薄板分離部と、積層物の最も上のも
のが合紙である場合に該合紙を吸着除去する合紙除去部
とを備えたもので、薄板分離部は、積層物を載せる載置
台の上から、その吸着部を上下移動させて、薄板を吸着
除去させるもので、合紙除去部は、合紙を吸着する吸着
部と、積層物を載せる載置台の横方向から、その吸着部
を載置台上まで横方向移動させる横方向移動部と、吸着
部を上下方向に移動する上下移動部とを有し、積層物を
載せる載置台の横方向から、所定の高さにて、その吸着
部を横方向移動させ、且つ、該吸着部を載置台上にて上
下方向に移動させ、積層物の最も上の合紙を吸着して除
去させるものであることを特徴とする薄板と合紙の分離
装置。 - 【請求項２】 請求項１における、積層物の最も上のも
のが何であるかを判断するセンサ部は、積層物の最も上
のものの色により判断するカラーセンサであることを特
徴とする薄板と合紙の分離装置。 - 【請求項３】 請求項２において、カラーセンサを２個
以上備えたことを特徴とする薄板と合紙の分離装置。 - 【請求項４】 請求項２ないし３におけるカラーセンサ
は、合紙除去部の吸着部と一体的に取付けられ、且つ、
積層物の最も上のものを押さえた状態で検出するもので
あることを特徴とする薄板と合紙の分離装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし４における合紙除去部に
おいて、その吸着部により吸着された合紙は、上下移動
部により上方向に移動された後、横方向移動部により、
載置台上から排出される際、合紙を回転するロール間に
挟み排出する合紙排出用回転ロールにより排出されるも
のであることを特徴とする薄板と合紙の分離装置。 - 【請求項６】 請求項５において、合紙排出用回転ロー
ルは、回転駆動部を備えた回転ロールとニップ用ロール
とからなり、少なくとも回転ロールには、回転方向に沿
い一部に溝を設けており、前記溝部内にその一方の端部
の少なくとも一部が回転ロールには直接接しないように
配設され、且つその他方の端部が回転ロールから離れる
ように配設された、合紙を所定の方向に導くプレートを
設けたものであることを特徴とする薄板と合紙の分離装
置。 - 【請求項７】 請求項１ないし６における薄板は、リー
ドフレーム複数個からなるリードフレームシート１個な
いし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させ
た金属シートであることを特徴とする薄板と合紙の分離
装置。 - 【請求項８】 所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が
交互に重ねられた積層物から薄板と合紙とを分離する際
に、合紙を吸着部により吸着分離させる合紙の分離方法
であって、積層物の最も上のものが何であるかをカラー
センサを用いて色で判断し、該カラーセンサが合紙と判
断した場合にのみ、合紙を吸着部にて吸着除去すること
を特徴とする合紙の除去方法。 - 【請求項９】 請求項８において、カラーセンサの判断
は、合紙を上から押さえた状態で、所定の検出距離にて
行うものであることを特徴とする合紙の除去方法。 - 【請求項１０】 請求項８ないし９において、吸着部に
より吸着された合紙が上方向に移動された後、横方向に
移動され、載置台上から排出される際、合紙は回転する
ロール間に挟まれて排出され、且つ所定の方向に導くプ
レートに従い、所定方向に導かれることを特徴とする合
紙の除去方法。 - 【請求項１１】 請求項８ないし１０における薄板は、
リードフレーム複数個からなるリードフレームシート１
個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結
させた金属シートであることを特徴とする合紙の除去方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9222950A JPH1159926A (ja) | 1997-08-06 | 1997-08-06 | 薄板と合紙の分離装置および合紙の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9222950A JPH1159926A (ja) | 1997-08-06 | 1997-08-06 | 薄板と合紙の分離装置および合紙の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1159926A true JPH1159926A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16790425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9222950A Pending JPH1159926A (ja) | 1997-08-06 | 1997-08-06 | 薄板と合紙の分離装置および合紙の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1159926A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000073183A1 (fr) * | 1999-05-27 | 2000-12-07 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Dispositif de retrait d'une strate |
| EP1356927A3 (en) * | 2002-04-22 | 2004-09-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Plate-making system of light-sensitive lithographic printing plate and plate-making method |
| KR100898607B1 (ko) | 2007-11-30 | 2009-05-21 | 주식회사 제우스 | 유리판-간지 이송장치 및 그 구동방법 |
-
1997
- 1997-08-06 JP JP9222950A patent/JPH1159926A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000073183A1 (fr) * | 1999-05-27 | 2000-12-07 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Dispositif de retrait d'une strate |
| EP1356927A3 (en) * | 2002-04-22 | 2004-09-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Plate-making system of light-sensitive lithographic printing plate and plate-making method |
| KR100898607B1 (ko) | 2007-11-30 | 2009-05-21 | 주식회사 제우스 | 유리판-간지 이송장치 및 그 구동방법 |
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Legal Events
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040521 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060110 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060125 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060523 |