JPH1145917A - ロジックテスタ - Google Patents
ロジックテスタInfo
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- JPH1145917A JPH1145917A JP9200256A JP20025697A JPH1145917A JP H1145917 A JPH1145917 A JP H1145917A JP 9200256 A JP9200256 A JP 9200256A JP 20025697 A JP20025697 A JP 20025697A JP H1145917 A JPH1145917 A JP H1145917A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ２k （ｋ：正の整数）チャンネル用プローブ
カードとは外形寸法の異なる２k-1 チャンネル以下用の
プローブカードをも２k チャンネル用テストヘッドに共
通に使用するロジックテスタを提供する。 【解決手段】 外形寸法を２k チャンネル用のプローブ
カード１３５の外形寸法と同一の外形寸法の円板２６’
を有し、円板２６’の上面は２k チャンネル用プロービ
ング装置１６の下面に対応接触する接触端子２６配列構
成とされ、円板２６’の下面は２k-1 チャンネル以下用
プローブカード１３２の上面に対応接触する接触端子２
６４配列構成とされる変換ボード２６と、円板２６’の
上面の接触端子２６４と円板２６’の下面の接触端子１
７３との間を接続する電気接続部３０とを有するチャン
ネル変換装置２５を具備するロジックテスタ。
カードとは外形寸法の異なる２k-1 チャンネル以下用の
プローブカードをも２k チャンネル用テストヘッドに共
通に使用するロジックテスタを提供する。 【解決手段】 外形寸法を２k チャンネル用のプローブ
カード１３５の外形寸法と同一の外形寸法の円板２６’
を有し、円板２６’の上面は２k チャンネル用プロービ
ング装置１６の下面に対応接触する接触端子２６配列構
成とされ、円板２６’の下面は２k-1 チャンネル以下用
プローブカード１３２の上面に対応接触する接触端子２
６４配列構成とされる変換ボード２６と、円板２６’の
上面の接触端子２６４と円板２６’の下面の接触端子１
７３との間を接続する電気接続部３０とを有するチャン
ネル変換装置２５を具備するロジックテスタ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ロジックテスタ
に関し、特に２k （ｋ：正の整数）チャンネル用プロー
ブカードとは外形寸法の異なる２k-1 チャンネル以下用
のプローブカードをも２k チャンネル用テストヘッドに
共通に使用するロジックテスタに関する。
に関し、特に２k （ｋ：正の整数）チャンネル用プロー
ブカードとは外形寸法の異なる２k-1 チャンネル以下用
のプローブカードをも２k チャンネル用テストヘッドに
共通に使用するロジックテスタに関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハ測定用ロジックテスタを図６を参
照して概念的に説明する。図６において、１１は被測定
デバイスであるＩＣウエハを示し、ステージ１２上面に
取り付けられている。１５はプローブカード１３に取り
付け固定されるコンタクトピンである。ここで、１６は
プロービング装置全体を示し、プローブカード１３に接
続する信号線２３、プローブカード１３および信号線２
３を取り付け固定するリングキャリア１９により構成さ
れる。
照して概念的に説明する。図６において、１１は被測定
デバイスであるＩＣウエハを示し、ステージ１２上面に
取り付けられている。１５はプローブカード１３に取り
付け固定されるコンタクトピンである。ここで、１６は
プロービング装置全体を示し、プローブカード１３に接
続する信号線２３、プローブカード１３および信号線２
３を取り付け固定するリングキャリア１９により構成さ
れる。
【０００３】プローブカード１３のコンタクトピン１５
はＩＣウエハ１１上面に露出形成される端子に接触す
る。プローブカード１３の内部にはプリント配線が施さ
れ、コンタクトピン１５はこのプリント配線に接続して
いる。そして、プローブカード１３には信号線２３が接
続しており、この信号線２３を介してプローブカード１
３をパフォーマンスボード１７に接続している。１８は
信号線であり、プローブカード１３をテストヘッド１４
に接続している。パフォーマンスボード１７も内部およ
び表面に多数のプリント配線が施されたボードであり、
ＩＣウエハ１１は結局、コンタクトピン１５、プローブ
カード１３、信号線２３、パフォーマンスボード１７、
および信号線１８を介してテストヘッド１４に接続して
いる。テストヘッド１４は、更に信号ケーブルを介して
ロジックテスタの本体に接続する。
はＩＣウエハ１１上面に露出形成される端子に接触す
る。プローブカード１３の内部にはプリント配線が施さ
れ、コンタクトピン１５はこのプリント配線に接続して
いる。そして、プローブカード１３には信号線２３が接
続しており、この信号線２３を介してプローブカード１
３をパフォーマンスボード１７に接続している。１８は
信号線であり、プローブカード１３をテストヘッド１４
に接続している。パフォーマンスボード１７も内部およ
び表面に多数のプリント配線が施されたボードであり、
ＩＣウエハ１１は結局、コンタクトピン１５、プローブ
カード１３、信号線２３、パフォーマンスボード１７、
および信号線１８を介してテストヘッド１４に接続して
いる。テストヘッド１４は、更に信号ケーブルを介して
ロジックテスタの本体に接続する。
【０００４】次に、図７を参照してパフォーマンスボー
ドとプローブカードとの間の接続構造および試験測定に
ついて説明する。以下、２k ＝５１２チャンネルとし、
２k- 1 ＝２５６チャンネルとして説明する。図７（ａ）
は、２５６チャンネル用接続構造および試験測定を説明
する図である。図７（ａ）における接続構造は２５６チ
ャンネル用パフォーマンスボード１７２と２５６チャン
ネル用プローブカード１３２とをフロッグリング２４を
介して接続する構造であり、これを使用して２５６チャ
ンネル用テストヘッド１４２により２５６チャンネルの
ＩＣウエハ１１の試験測定を実施する。ここで、フロッ
グリング２４は、ウエハプローバ用パフォーマンスボー
ドを使用する場合においてプローブカードとの間の接続
をする電気接続部材であり、絶縁合成樹脂材料より成る
リングを軸方向に貫通してリング両面に接点部がバネに
よりバイアスされているポゴピン２７が突出する構成を
有するものである。
ドとプローブカードとの間の接続構造および試験測定に
ついて説明する。以下、２k ＝５１２チャンネルとし、
２k- 1 ＝２５６チャンネルとして説明する。図７（ａ）
は、２５６チャンネル用接続構造および試験測定を説明
する図である。図７（ａ）における接続構造は２５６チ
ャンネル用パフォーマンスボード１７２と２５６チャン
ネル用プローブカード１３２とをフロッグリング２４を
介して接続する構造であり、これを使用して２５６チャ
ンネル用テストヘッド１４２により２５６チャンネルの
ＩＣウエハ１１の試験測定を実施する。ここで、フロッ
グリング２４は、ウエハプローバ用パフォーマンスボー
ドを使用する場合においてプローブカードとの間の接続
をする電気接続部材であり、絶縁合成樹脂材料より成る
リングを軸方向に貫通してリング両面に接点部がバネに
よりバイアスされているポゴピン２７が突出する構成を
有するものである。
【０００５】図７（ｂ）は、５１２チャンネル用接続構
造および試験測定を説明する図である。図７（ｂ）にお
ける接続構造は、５１２チャンネル用パフォーマンスボ
ード１７５と５１２チャンネル用プローブカード１３５
とをプロービング装置１６を介して接続する構造であ
る。このプロービング装置１６は、上面にポゴピン２７
が突出する上側の絶縁板および下面にポゴピン２７が突
出する下側の絶縁板を具備しており、上下両側の対応す
るポゴピン２７相互間を信号ケーブルを介して接続する
構成を有するものである。この５１２チャンネル用接続
構造を使用して、５１２チャンネル用テストヘッド１４
５により２５６チャンネル以下のＩＣウエハ１１の試験
測定を実施しようとする場合、プローブカードのみを２
５６チャンネル用プローブカード１３２に交換すること
はできないので、５１２チャンネル用プローブカード１
３５をそのまま使用して試験測定を実施する。即ち、ウ
エハプローバ装置１６としては、５１２チャンネル用接
続構造を有するウエハプローバ装置および２５６チャン
ネル用接続構造を有するウエハプローバ装置の２種類が
実用に供されている。これら２種類のウエハプローバ装
置の接続構造は形状構造共に相違し、これに対応して、
プローブカードも５１２チャンネル用プローブカード１
３５と２５６チャンネル用プローブカード１３２とは形
状構造を異にしているからである。
造および試験測定を説明する図である。図７（ｂ）にお
ける接続構造は、５１２チャンネル用パフォーマンスボ
ード１７５と５１２チャンネル用プローブカード１３５
とをプロービング装置１６を介して接続する構造であ
る。このプロービング装置１６は、上面にポゴピン２７
が突出する上側の絶縁板および下面にポゴピン２７が突
出する下側の絶縁板を具備しており、上下両側の対応す
るポゴピン２７相互間を信号ケーブルを介して接続する
構成を有するものである。この５１２チャンネル用接続
構造を使用して、５１２チャンネル用テストヘッド１４
５により２５６チャンネル以下のＩＣウエハ１１の試験
測定を実施しようとする場合、プローブカードのみを２
５６チャンネル用プローブカード１３２に交換すること
はできないので、５１２チャンネル用プローブカード１
３５をそのまま使用して試験測定を実施する。即ち、ウ
エハプローバ装置１６としては、５１２チャンネル用接
続構造を有するウエハプローバ装置および２５６チャン
ネル用接続構造を有するウエハプローバ装置の２種類が
実用に供されている。これら２種類のウエハプローバ装
置の接続構造は形状構造共に相違し、これに対応して、
プローブカードも５１２チャンネル用プローブカード１
３５と２５６チャンネル用プローブカード１３２とは形
状構造を異にしているからである。
【０００６】図７（ｃ）は、変換ＨｉＦｉｘを使用して
接続する接続構造を説明する図である。５１２チャンネ
ル用テストヘッド１４５と２５６チャンネル用パフォー
マンスボード１７２との間に変換ＨｉＦｉｘ＜を介在さ
せることにより、２５６チャンネル用プローブカード１
３５を使用して５１２チャンネル用テストヘッド１４５
により２５６チャンネル以下のＩＣウエハ１１の試験測
定を実施することができる。
接続する接続構造を説明する図である。５１２チャンネ
ル用テストヘッド１４５と２５６チャンネル用パフォー
マンスボード１７２との間に変換ＨｉＦｉｘ＜を介在さ
せることにより、２５６チャンネル用プローブカード１
３５を使用して５１２チャンネル用テストヘッド１４５
により２５６チャンネル以下のＩＣウエハ１１の試験測
定を実施することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した通り、５１２
チャンネル用接続構造を使用して、５１２チャンネル用
テストヘッド１４５により２５６チャンネル以下のＩＣ
ウエハ１１の試験測定を実施しようとする場合、プロー
ブカードのみを２５６チャンネル用プローブカード１３
２に交換することはできないので、５１２チャンネル用
プローブカード１３５を使用して試験測定を実施するこ
とはできる。試験測定を実施するするこができるとはい
え、２５６チャンネルのＩＣウエハ１１の試験測定を、
２５６チャンネル用プローブカード１３２と比較して格
段に高価な５１２チャンネル用プローブカード１３５を
使用して実施することは得策とはいい難い。なお、２５
６チャンネル用プローブカード１３２の価格は数１０万
円のオーダーであるのに対して、５１２チャンネル用プ
ローブカード１３５の価格は数１００万円のオーダーで
あり、一方は比較にならない程の高価である。
チャンネル用接続構造を使用して、５１２チャンネル用
テストヘッド１４５により２５６チャンネル以下のＩＣ
ウエハ１１の試験測定を実施しようとする場合、プロー
ブカードのみを２５６チャンネル用プローブカード１３
２に交換することはできないので、５１２チャンネル用
プローブカード１３５を使用して試験測定を実施するこ
とはできる。試験測定を実施するするこができるとはい
え、２５６チャンネルのＩＣウエハ１１の試験測定を、
２５６チャンネル用プローブカード１３２と比較して格
段に高価な５１２チャンネル用プローブカード１３５を
使用して実施することは得策とはいい難い。なお、２５
６チャンネル用プローブカード１３２の価格は数１０万
円のオーダーであるのに対して、５１２チャンネル用プ
ローブカード１３５の価格は数１００万円のオーダーで
あり、一方は比較にならない程の高価である。
【０００８】また、５１２チャンネル用テストヘッド１
４５と２５６チャンネル用パフォーマンスボード１７２
との間に変換ＨｉＦｉｘを介在させることにより、２５
６チャンネル用プローブカード１３５を使用して５１２
チャンネル用テストヘッド１４５により２５６チャンネ
ル以下のＩＣウエハ１１の試験測定を実施することはで
きる。しかし、この場合も変換ＨｉＦｉｘの構成は複雑
である上に、価格も高価である。そして、使用される２
５６チャンネル用プローブカード１３２に対応してフロ
ッグリング２４の構成を変更交換する必要がある。
４５と２５６チャンネル用パフォーマンスボード１７２
との間に変換ＨｉＦｉｘを介在させることにより、２５
６チャンネル用プローブカード１３５を使用して５１２
チャンネル用テストヘッド１４５により２５６チャンネ
ル以下のＩＣウエハ１１の試験測定を実施することはで
きる。しかし、この場合も変換ＨｉＦｉｘの構成は複雑
である上に、価格も高価である。そして、使用される２
５６チャンネル用プローブカード１３２に対応してフロ
ッグリング２４の構成を変更交換する必要がある。
【０００９】この発明は、５１２チャンネル用テストヘ
ッドに２５６チャンネル用プローブカードを取り付ける
に使用される２k ／２k-1 変換装置２５を開発し、これ
により５１２チャンネル用プローブカードとは外形寸法
の異なる２５６チャンネル用プローブカードをも５１２
チャンネル用テストヘッドに共通に使用することにより
上述の問題を解消したロジックテスタを提供するもので
ある。
ッドに２５６チャンネル用プローブカードを取り付ける
に使用される２k ／２k-1 変換装置２５を開発し、これ
により５１２チャンネル用プローブカードとは外形寸法
の異なる２５６チャンネル用プローブカードをも５１２
チャンネル用テストヘッドに共通に使用することにより
上述の問題を解消したロジックテスタを提供するもので
ある。
【００１０】
請求項１：外形寸法を２k チャンネル用プローブカード
１３５の外形寸法と同一の外形寸法の絶縁材料より成る
円板２６’を有し、円板２６’の上面は２k チャンネル
用プロービング装置１６の下面に対応接触する接触端子
２６配列構成とされ、円板２６’の下面は２k-1 チャン
ネル以下用プローブカード１３２の上面に対応接触する
接触端子２６４配列構成とされる変換ボード２６と、円
板２６’の上面の接触端子２６４と円板２６’の下面の
接触端子１７３との間を接続する電気接続部３０とを有
する２k ／２k-1 変換装置２５を具備するロジックテス
タを構成した。
１３５の外形寸法と同一の外形寸法の絶縁材料より成る
円板２６’を有し、円板２６’の上面は２k チャンネル
用プロービング装置１６の下面に対応接触する接触端子
２６配列構成とされ、円板２６’の下面は２k-1 チャン
ネル以下用プローブカード１３２の上面に対応接触する
接触端子２６４配列構成とされる変換ボード２６と、円
板２６’の上面の接触端子２６４と円板２６’の下面の
接触端子１７３との間を接続する電気接続部３０とを有
する２k ／２k-1 変換装置２５を具備するロジックテス
タを構成した。
【００１１】そして、請求項２：請求項１に記載される
ロジックテスタにおいて、電気接続部３０は円板２６’
の内周縁部２６５に構成され、内周縁部２６５の外径は
２５６チャンネル用プローブカード１３２の外径と同一
であるロジックテスタを構成した。また、請求項３：請
求項２に記載されるロジックテスタにおいて、電気接続
部３０は、円板２６’の内周縁部２６５に２５６チャン
ネル用プローブカード１３２の上面に形成される接触端
子２６４に対応する貫通孔２６０を穿設し、貫通孔２６
０にソケット部２６６を形成してこれにポゴピン２７を
嵌合固定し、ポゴピン２７と円板２６’の上面の接触端
子２６４とを１：１に対応して電気接続し、ポゴピン２
７に保護リング２４のピン保護孔２４２を嵌合せしめる
ことにより構成するロジックテスタを構成した。
ロジックテスタにおいて、電気接続部３０は円板２６’
の内周縁部２６５に構成され、内周縁部２６５の外径は
２５６チャンネル用プローブカード１３２の外径と同一
であるロジックテスタを構成した。また、請求項３：請
求項２に記載されるロジックテスタにおいて、電気接続
部３０は、円板２６’の内周縁部２６５に２５６チャン
ネル用プローブカード１３２の上面に形成される接触端
子２６４に対応する貫通孔２６０を穿設し、貫通孔２６
０にソケット部２６６を形成してこれにポゴピン２７を
嵌合固定し、ポゴピン２７と円板２６’の上面の接触端
子２６４とを１：１に対応して電気接続し、ポゴピン２
７に保護リング２４のピン保護孔２４２を嵌合せしめる
ことにより構成するロジックテスタを構成した。
【００１２】更に、請求項４：請求項３に記載されるロ
ジックテスタにおいて、変換ボード２６に穿設される一
対のガイドピン取り付け孔２６７にガイドピン２６８を
嵌合固定し、２５６チャンネル用プローブカード１３２
および保護リング２４にはガイドピン２６８が嵌合する
ガイドピン孔１３７および２４４がガイドピンに対応し
て穿設されるロジックテスタを構成した。
ジックテスタにおいて、変換ボード２６に穿設される一
対のガイドピン取り付け孔２６７にガイドピン２６８を
嵌合固定し、２５６チャンネル用プローブカード１３２
および保護リング２４にはガイドピン２６８が嵌合する
ガイドピン孔１３７および２４４がガイドピンに対応し
て穿設されるロジックテスタを構成した。
【００１３】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図を参照
して説明する。図１はこの発明による５１２／２５６変
換装置２５を上から視たところを示す図であり、図２は
図１におけるＡ−Ａ線における断面を示す図であり、図
３は変換ボードを説明する図である。
して説明する。図１はこの発明による５１２／２５６変
換装置２５を上から視たところを示す図であり、図２は
図１におけるＡ−Ａ線における断面を示す図であり、図
３は変換ボードを説明する図である。
【００１４】図１および図２において、２５は５１２／
２５６変換装置２５全体を示す。この５１２／２５６変
換装置２５の主要構成要素は、保護リング２４、変換ボ
ード２６、２５６チャンネル用プローブカード１３２で
ある。以下、これらの構成要素の形状構造を詳細に説明
する。先ず、変換ボード２６を図３を参照して説明す
る。図３（ａ）は変換ボード２６を上から視たところを
示す図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＺ−Ｚ
線における断面を示す図である。変換ボード２６を構成
する円板２６’はその外形寸法を５１２チャンネル用プ
ローブカード１３５の外形寸法と同一の外形寸法に構成
する。即ち、厚さ：４．８ｍｍ、外径：２００ｍｍの絶
縁材料より成る円板２６’に構成されている。円板２
６’の中心部には８８ｍｍの大きな中心孔２６１が穿設
されている。円板２６’の外周縁部２６３には、その上
面に接触端子である金パッド２６４が５１２チャンネル
用プローブカード１３５と同様に配列形成されている。
この円板２６’を５１２チャンネル用テストヘッド１４
５に取り付ける取り付け孔、その他の構造も５１２チャ
ンネル用プローブカード１３５と同様に構成される。円
板２６’の内周縁部２６５はソケット部２６６を構成す
る領域であり、５１２チャンネル用テストヘッド１４５
のプロービング装置の保護リング２４の下面と同一形状
寸法に設定される。
２５６変換装置２５全体を示す。この５１２／２５６変
換装置２５の主要構成要素は、保護リング２４、変換ボ
ード２６、２５６チャンネル用プローブカード１３２で
ある。以下、これらの構成要素の形状構造を詳細に説明
する。先ず、変換ボード２６を図３を参照して説明す
る。図３（ａ）は変換ボード２６を上から視たところを
示す図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＺ−Ｚ
線における断面を示す図である。変換ボード２６を構成
する円板２６’はその外形寸法を５１２チャンネル用プ
ローブカード１３５の外形寸法と同一の外形寸法に構成
する。即ち、厚さ：４．８ｍｍ、外径：２００ｍｍの絶
縁材料より成る円板２６’に構成されている。円板２
６’の中心部には８８ｍｍの大きな中心孔２６１が穿設
されている。円板２６’の外周縁部２６３には、その上
面に接触端子である金パッド２６４が５１２チャンネル
用プローブカード１３５と同様に配列形成されている。
この円板２６’を５１２チャンネル用テストヘッド１４
５に取り付ける取り付け孔、その他の構造も５１２チャ
ンネル用プローブカード１３５と同様に構成される。円
板２６’の内周縁部２６５はソケット部２６６を構成す
る領域であり、５１２チャンネル用テストヘッド１４５
のプロービング装置の保護リング２４の下面と同一形状
寸法に設定される。
【００１５】図４および図５をも参照するに、変換ボー
ド２６を構成する円板２６’の内周縁部２６５には、ボ
ードを貫通して多数の貫通孔２６０が２５６チャンネル
用プローブカード１３２上面に形成される接触端子であ
る金パッド１７３に対応して穿設されており、ここにソ
ケット部２６６が形成され、ポゴピン２７が嵌合固定さ
れる。即ち、ポゴピン２７を変換ボード２６に対して取
り付けるところがソケット部２６６である。変換ボード
２６には、上述した通り、多数の貫通孔２６０が穿設さ
れており、その表面に予め金属被膜を形成しておき、こ
こにポゴピン２７を挿入する。ポゴピン２７の金属チュ
ーブ２７１の下端部を貫通孔２６０に対応させ、この部
分を金属被膜に対して半田づけする。２７２はポゴピン
２７の接触部であり、変換ボード２６の下面から突出し
ている。円板２６’の外周縁部２６３上面の接触端子で
ある金パッド２６４とポゴピン２７とは１：１の対応を
してプリント配線２６９を介して相互に電気接続されて
いる。
ド２６を構成する円板２６’の内周縁部２６５には、ボ
ードを貫通して多数の貫通孔２６０が２５６チャンネル
用プローブカード１３２上面に形成される接触端子であ
る金パッド１７３に対応して穿設されており、ここにソ
ケット部２６６が形成され、ポゴピン２７が嵌合固定さ
れる。即ち、ポゴピン２７を変換ボード２６に対して取
り付けるところがソケット部２６６である。変換ボード
２６には、上述した通り、多数の貫通孔２６０が穿設さ
れており、その表面に予め金属被膜を形成しておき、こ
こにポゴピン２７を挿入する。ポゴピン２７の金属チュ
ーブ２７１の下端部を貫通孔２６０に対応させ、この部
分を金属被膜に対して半田づけする。２７２はポゴピン
２７の接触部であり、変換ボード２６の下面から突出し
ている。円板２６’の外周縁部２６３上面の接触端子で
ある金パッド２６４とポゴピン２７とは１：１の対応を
してプリント配線２６９を介して相互に電気接続されて
いる。
【００１６】２６２はプローブカード取り付け孔であ
り、８個が穿設されている。１３６はサラビスであり、
保護リング２４、変換ボード２６、２５６チャンネル用
プローブカード１３２の三者を結合組み立てるに際して
使用される。２６７は変換ボード２６のガイドピン孔で
あり、ガイドピン２６８がこれに挿入され、接着剤によ
り固着せしめられる。この場合、ガイドピン２６８の一
方の端部は変換ボード２６を貫通して大きく延伸し、他
方の端部は変換ボード２６の面から２５６チャンネル用
プローブカード１３２の厚さだけ突出して固着せしめら
れる。この固着はエポキシ樹脂接着剤をガイドピン２６
８に少量塗布して実施することができる。
り、８個が穿設されている。１３６はサラビスであり、
保護リング２４、変換ボード２６、２５６チャンネル用
プローブカード１３２の三者を結合組み立てるに際して
使用される。２６７は変換ボード２６のガイドピン孔で
あり、ガイドピン２６８がこれに挿入され、接着剤によ
り固着せしめられる。この場合、ガイドピン２６８の一
方の端部は変換ボード２６を貫通して大きく延伸し、他
方の端部は変換ボード２６の面から２５６チャンネル用
プローブカード１３２の厚さだけ突出して固着せしめら
れる。この固着はエポキシ樹脂接着剤をガイドピン２６
８に少量塗布して実施することができる。
【００１７】図１および図２は５１２／２５６変換装置
２５を組み立てたところを示す図であるが、これらを参
照してこの発明に使用される保護リング２４を説明す
る。この保護リング２４には、絶縁合成樹脂材料より成
るリング部２４１をリングの軸方向に貫通するピン保護
孔２４２が多数穿設されている。このピン保護孔２４２
は、５１２／２５６変換装置２５を組み立てる場合に変
換ボード２６の内周縁部２６５に穿設される貫通孔２６
０にそれぞれ整列対応するものとされる。なお、２４３
は保護リング２４の中心孔であり、その直径は変換ボー
ド２６の中心孔２６１の直径に等しい。２４４は保護リ
ング２４のガイドピン孔であり、ガイドピン２６８が挿
入される。２４６は保護リング２４を変換ボード２６に
取り付ける取り付け孔であり、プローブカード取り付け
孔２６２に対応して８個穿設されている。
２５を組み立てたところを示す図であるが、これらを参
照してこの発明に使用される保護リング２４を説明す
る。この保護リング２４には、絶縁合成樹脂材料より成
るリング部２４１をリングの軸方向に貫通するピン保護
孔２４２が多数穿設されている。このピン保護孔２４２
は、５１２／２５６変換装置２５を組み立てる場合に変
換ボード２６の内周縁部２６５に穿設される貫通孔２６
０にそれぞれ整列対応するものとされる。なお、２４３
は保護リング２４の中心孔であり、その直径は変換ボー
ド２６の中心孔２６１の直径に等しい。２４４は保護リ
ング２４のガイドピン孔であり、ガイドピン２６８が挿
入される。２４６は保護リング２４を変換ボード２６に
取り付ける取り付け孔であり、プローブカード取り付け
孔２６２に対応して８個穿設されている。
【００１８】ここで、５１２／２５６変換装置２５の組
み立てについて説明する。ガイドピン２６８の一方の端
部は変換ボード２６を貫通して大きく延伸すると共に他
方の端部は変換ボード２６の面から２５６チャンネル用
プローブカード１３２の厚さだけ突出して固着せしめら
れた変換ボード２６に対して、２本のガイドピン２６８
の大きく延伸する一方の端部に保護リング２４のガイド
ピン孔２４４を対応させた状態において、保護リング２
４を組み合わせる。これにより、保護リング２４のピン
保護孔２４２と変換ボード２６に取り付けられた対応す
るポゴピン２７の金属チューブ２７１とが相互に嵌合し
た状態で、保護リング２４は変換ボード２６に容易に組
み合わされたことになる。次に、変換ボード２６に対し
て、２５６チャンネル用プローブカード１３２の厚さだ
け突出する他方の端部に２５６チャンネル用プローブカ
ード１３２にも穿設しておいた２個の取り付け孔１３７
をを対応させた状態において、２５６チャンネル用プロ
ーブカード１３２を組み合わせる。以上の通りに変換ボ
ード２６に対して保護リング２４および２５６チャンネ
ル用プローブカード１３２を組み合わせた状態におい
て、２５６チャンネル用プローブカード１３２の取り付
け孔１３８、変換ボード２６のプローブカード取り付け
孔２６２、保護リング２４の取り付け孔２４６にサラビ
ス１３６を挿通し、これをねじ込むことにより変換ボー
ド２６、保護リング２４および２５６チャンネル用プロ
ーブカード１３２の三者は一体に組み立てられて５１２
／２５６変換装置２５の組み立ては終了する。
み立てについて説明する。ガイドピン２６８の一方の端
部は変換ボード２６を貫通して大きく延伸すると共に他
方の端部は変換ボード２６の面から２５６チャンネル用
プローブカード１３２の厚さだけ突出して固着せしめら
れた変換ボード２６に対して、２本のガイドピン２６８
の大きく延伸する一方の端部に保護リング２４のガイド
ピン孔２４４を対応させた状態において、保護リング２
４を組み合わせる。これにより、保護リング２４のピン
保護孔２４２と変換ボード２６に取り付けられた対応す
るポゴピン２７の金属チューブ２７１とが相互に嵌合し
た状態で、保護リング２４は変換ボード２６に容易に組
み合わされたことになる。次に、変換ボード２６に対し
て、２５６チャンネル用プローブカード１３２の厚さだ
け突出する他方の端部に２５６チャンネル用プローブカ
ード１３２にも穿設しておいた２個の取り付け孔１３７
をを対応させた状態において、２５６チャンネル用プロ
ーブカード１３２を組み合わせる。以上の通りに変換ボ
ード２６に対して保護リング２４および２５６チャンネ
ル用プローブカード１３２を組み合わせた状態におい
て、２５６チャンネル用プローブカード１３２の取り付
け孔１３８、変換ボード２６のプローブカード取り付け
孔２６２、保護リング２４の取り付け孔２４６にサラビ
ス１３６を挿通し、これをねじ込むことにより変換ボー
ド２６、保護リング２４および２５６チャンネル用プロ
ーブカード１３２の三者は一体に組み立てられて５１２
／２５６変換装置２５の組み立ては終了する。
【００１９】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明によれ
ば、５１２チャンネル用テストヘッドに２５６チャンネ
ル用プローブカードを取り付けるに使用される５１２／
２５６変換装置２５を開発し、これにより５１２チャン
ネル用プローブカードとは外形寸法の異なる２５６チャ
ンネル用プローブカードをも５１２チャンネル用テスト
ヘッドに共通に使用することができるに到った。従っ
て、５１２チャンネル用接続構造を使用して、５１２チ
ャンネル用テストヘッド１４５により２５６チャンネル
以下のＩＣウエハの試験測定を実施しようとする場合、
２５６チャンネル用プローブカードと比較して格段に高
価な５１２チャンネル用プローブカードを使用する必要
はなくなった。
ば、５１２チャンネル用テストヘッドに２５６チャンネ
ル用プローブカードを取り付けるに使用される５１２／
２５６変換装置２５を開発し、これにより５１２チャン
ネル用プローブカードとは外形寸法の異なる２５６チャ
ンネル用プローブカードをも５１２チャンネル用テスト
ヘッドに共通に使用することができるに到った。従っ
て、５１２チャンネル用接続構造を使用して、５１２チ
ャンネル用テストヘッド１４５により２５６チャンネル
以下のＩＣウエハの試験測定を実施しようとする場合、
２５６チャンネル用プローブカードと比較して格段に高
価な５１２チャンネル用プローブカードを使用する必要
はなくなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例を上から視たところを示す図。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線における断面を示す図。
【図３】変換ボードを説明する図。
【図４】ポゴピンを変換ボードに対して取り付けるとこ
ろを説明する図。
ろを説明する図。
【図５】５１２／２５６変換装置の使用の態様を説明す
る図。
る図。
【図６】ウエハ測定用ロジックテスタを説明する図。
【図７】パフォーマンスボードとプローブカードの接続
および試験測定について説明する図。
および試験測定について説明する図。
１１ ＩＣウエハ １２ ステージ １３ プローブカード １３２ ２５６チャンネル用プローブカード １３５ ５１２チャンネル用プローブカード １３６ サラビス １３７ プローブカード１３２の取り付け孔 １４ テストヘッド １４２ ２５６チャンネル用テストヘッド １４５ ５１２チャンネル用テストヘッド １５ コンタクトピン １６ プロービング装置 １７ パフォーマンスボード １７２ ２５６チャンネル用パフォーマンスボード １７３ 接触端子である金パッド １７５ ５１２チャンネル用パフォーマンスボード １８ 信号線 １９ リングキャリア ２３ 信号線 ２４ 保護リング ２４１ リング部 ２４２ ピン保護孔 ２４３ 保護リングの中心孔 ２４４ 保護リングのガイドピン孔 ２４６ 保護リングの取り付け孔 ２５ ５１２／２５６変換装置 ２６ 変換ボード ２６’ 円板 ２６０ 貫通孔 ２６１ 中心孔 ２６２ プローブカード取り付け孔 ２６３ 外周縁部 ２６４ 接触端子である金パッド ２６５ 内周縁部 ２６６ ソケット部 ２６７ 変換ボードのガイドピン孔 ２６８ ガイドピン ２６９ プリント配線 ２７ ポゴピン ２７１ 金属チューブ ２７２ 接触部 ３０ 電気接続部
Claims (4)
- 【請求項１】 外形寸法を２k （ｋ：正の整数）チャン
ネル用プローブカードの外形寸法と同一の外形寸法の絶
縁材料より成る円板を有し、円板の上面は２ k チャンネ
ル用プロービング装置の下面に対応接触する接触端子配
列構成とされ、円板の下面は２k-1 チャンネル以下用プ
ローブカードの上面に対応接触する接触端子配列構成と
される変換ボードと、 円板の上面の接触端子と円板の下面の接触端子との間を
接続する電気接続部とを有する２k ／２k-1 変換装置を
具備する、 ことを特徴とするロジックテスタ。 - 【請求項２】 請求項１に記載されるロジックテスタに
おいて、 電気接続部は円板の内周縁部に構成され、内周縁部の外
径は２５６チャンネル用プローブカードの外径と同一で
あることを特徴とするロジックテスタ。 - 【請求項３】 請求項２に記載されるロジックテスタに
おいて、 電気接続部は、円板の内周縁部に２５６チャンネル用プ
ローブカードの上面に形成される接触端子に対応する貫
通孔を穿設し、貫通孔にソケット部を形成してこれにポ
ゴピンを嵌合固定し、ポゴピンと円板の上面の接触端子
とを１：１に対応して電気接続し、ポゴピンに保護リン
グのピン保護孔を嵌合せしめることにより構成すること
を特徴とするロジックテスタ。 - 【請求項４】 請求項３に記載されるロジックテスタに
おいて、 変換ボードに穿設される一対のガイドピン取り付け孔に
ガイドピンを嵌合固定し、２５６チャンネル用プローブ
カードおよび保護リングにはガイドピンが嵌合するガイ
ドピン孔がガイドピンに対応して穿設されることを特徴
とするロジックテスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9200256A JPH1145917A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | ロジックテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9200256A JPH1145917A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | ロジックテスタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1145917A true JPH1145917A (ja) | 1999-02-16 |
Family
ID=16421354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9200256A Pending JPH1145917A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | ロジックテスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1145917A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008190976A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Yokogawa Electric Corp | 半導体テスタのポゴピンブロック |
| JP2012053030A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Hermes Testing Systems Inc | 異なる規格のテスターに同時に適応可能なプローブカード構造 |
-
1997
- 1997-07-25 JP JP9200256A patent/JPH1145917A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008190976A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Yokogawa Electric Corp | 半導体テスタのポゴピンブロック |
| JP2012053030A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Hermes Testing Systems Inc | 異なる規格のテスターに同時に適応可能なプローブカード構造 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021203 |