JPH1142788A - インクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の逆テーパ孔を精度良く一括して安価に
形成する方法を提供することである。 【解決手段】 高分子材料からなるノズルプレート７を
複数の溝８が形成されたヘッド本体６の端面開口部に接
着する工程と、前記ノズルプレート７の表面に金属膜２
５を形成する工程と、インク吐出口を形成すべき位置の
前記金属膜２５を局部的に除去して前記ノズルプレート
７の表面にマスク孔３０を備えた金属マスク３１を形成
する工程と、この金属マスク３１の上方からレーザ光３
７を照射して前記金属マスク３１のマスク孔３０の部分
の接着剤２２と前記ノズルプレート７の高分子膜とを除
去してインク吐出口を形成する工程と、前記金属膜２５
をエッチングにより除去する工程とよりなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多数のインク吐出
口を備えたインクジェットプリンタヘッドに係るもので
あり、特に、ヘッド本体に高分子材料からなるノズルプ
レートを接着した後にレーザ光照射によりノズルプレー
トにテーパ付きの多数のインク吐出口を形成するように
したインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、圧電部材を用いたオンデマンド方
式のインクジェットプリンタにおいて採用されているイ
ンクジェットプリンタヘッド１の構造を図１４に示す。
すなわち、このインクジェットプリンタヘッド１は、少
なくとも一方が圧電部材よりなる下層基板２及び上層基
板３とからなる積層された基板４と天板５を接着又は接
合により一体化してヘッド本体６を形成した後、このヘ
ッド本体６の端面開口部にノズルプレート７を接着した
構造になっている。さらに、詳しく説明すると、基板４
には、上層基板３の上面から下層基板２の内部まで到達
するとともに前面が開口し後部が閉鎖した多数の溝８が
形成されており、さらに、これらの溝８の後部から基板
４の上面後端まで延長して前記溝８内に形成された電極
９に接続された配線パターン１０が形成されている。こ
の時、基板４に形成された溝８は、それらの溝８の両側
に形成された側壁１１と天板５とで一つ一つが遮断され
てインク流路を兼ねたインク室１２とされ、さらに、こ
れらのインク室１２のすべてに連通するインク供給口と
して作用する共通インク供給路１３が前記天板５の下面
に形成されている。また、前記ノズルプレート７には、
前記インク室１２毎に開口するインク吐出口１４が形成
されている。

【０００３】しかして、一般に、ノズルプレート７に形
成されるインク吐出口１４の孔径は、約３０μｍであ
り、ノズルプレート７としては、板厚５０μｍ程度の金
属板が使用される。このようなノズルプレート７の製造
は、通常、電鋳法と呼ばれるメッキ法が用いられる。こ
のメッキ法により製造されたノズルプレート７には、多
数のインク吐出口１４が形成されており、ヘッド本体６
に接着固定される。この接着固定時に、ヘッド本体６の
溝８とノズルプレート７のインク吐出口１４との位置を
精密に位置決めする必要がある。また、ノズルプレート
７を電鋳法により製造することは、非常にその製造コス
トが高いために、コスト的な面から実用に供することが
難しいものである。

【０００４】別の手段としては、インク吐出口１４が予
め形成されていないノズルプレート７をヘッド本体６に
接着し、その後に、ノズルプレート７にレーザ光で孔明
をしてインク吐出口１４を形成することが行なわれてい
る。この場合、ノズルプレート７の材料としては、主に
高分子材料が使用され、レーザ光としては精密なアブレ
ーション加工が可能なエキシマレーザが使用される。そ
して、図１５に示すように、インク吐出口１４の形状
は、インクの良好な吐出のために、レーザ光が照射され
る入射方向に対して逆テーパであることが必須要件とさ
れている。このような逆テーパのインク吐出口１４を形
成する方法としては、複数の反射面を利用し、複数の角
度の異なるビームを照射する方法（ＵＳＰ５，２０８，
９８０参照）や、金属ステンシルマスクをポリイミドプ
レートに密着し、被加工物をビームに対して傾かせて孔
明する方法（特開平１−１０８０５６号公報参照）があ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】レーザ光を用いて孔明
加工を行なう方法においては、前述の複数の反射面を利
用し、複数の角度の異なるビームを照射する方法では、
孔を一つずつしか形成することができないので、数百個
の孔を形成するには時間がかかりすぎるという問題があ
る。また、前述の金属ステンシルマスクをポリイミドプ
レートに密着し、被加工物をビームに対して傾かせて孔
明する方法においては、一括して多数の孔を形成するこ
とができる利点を有するが、孔径の精度を確保するため
にノズルプレートに多数の孔が形成された金属マスクを
密着させるとともにその密着距離の精度を確保する必要
があり、これが生産上の問題点となる。例えば、図１６
乃至図１８に金属マスク１５とノズルプレート７との距
離と孔径との関係を示す。すなわち、孔明加工に先立っ
て、図１７(ａ)に示されるように、直径ａなるマスク孔
１６が多数形成された金属マスク１５をノズルプレート
７の表面に接着剤１７により接着するが、この接着剤１
７には一定の厚さｄがある。しかも、加工すべきインク
吐出口１４の形状は、前述のように逆テーパでなければ
ならないため、レーザ光の照射は、Ａ方向及びＢ方向の
ように傾斜させる必要がある。そのため、加工されるイ
ンク吐出口１４のノズルプレート７の最外側面位置での
孔径状は、図１７(ｂ)に示されるように、レーザ光の傾
斜方向に対して長くなる。すなわち、インク吐出口１４
の形状は、楕円形状となる。すなわち、短径方向にはマ
スク孔１６の直径ａと同じ径であるが、レーザ光の最大
傾斜角度がθである場合、長径方向の寸法は、ａ＋２ｄ
・ｔａｎθとなる。具体的には、図１８に示すように、
金属マスク１５とノズルプレート７との距離が３μｍ変
化するだけでインク吐出口１４の長径方向の孔径の変化
は２μｍとなる。このような変化は、接着剤１７の厚さ
ｄを原因とするだけでなく、レーザ光照射時に金属マス
ク１５が加熱されて変形することにより簡単に数μｍの
間隔が金属マスク１５とノズルプレート７との間に発生
し、インク吐出口１４の形状が楕円になったり、その精
度が低下するという問題が発生している。

【０００６】また、電鋳法により金属マスク１５を形成
する方法も考えられる。すなわち、電鋳法により製造す
ることは、前述のようにコスト的に不利なものである
が、金属マスク１５として要する場合には、同一のもの
を繰り返して使用することができるため、コスト的な不
利は解消される。その点、前述のように電鋳品によるノ
ズルプレート７のように、ここの製品の部品となるもの
とは相違する。しかしながら、金属マスク１５として使
用する場合には、図１９に示すような問題がある。すな
わち、導電基板１８の一面に形成すべきインク吐出口１
４のピッチに合わせてレジスト等の絶縁物１９がパター
ニングされており、この絶縁物１９が存在しない位置に
電鋳品２０が形成される。しかして、この電鋳品２０を
導電基板１８から剥離したものを金属マスク１５として
使用するものであるが、絶縁物１９が存在した部分がマ
スク孔２１になるものである。しかしながら、このマス
ク孔２１の断面形状は、必然的に円弧状となり、しか
も、絶縁物１９には厚さがあるため、マスク孔２１の小
径側にその絶縁物１９の形状に一致した段部が形成され
てしまう。この段部が形成された面は、被加工物となる
ノズルプレート７側に位置するため、加工されるノズル
プレート７のインク吐出口１４が楕円形状になる原因と
なり、しかも、マスク孔２１の断面形状が円弧状である
ことは、レーザ光を傾斜させた時にその円弧状部で遮ら
れたり乱反射したりして予想外の加工がされるおそれが
ある。

【０００７】本発明は、複数の逆テーパ孔を精度良く一
括して安価に形成する方法を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
高分子材料からなるノズルプレートを複数の溝が形成さ
れたヘッド本体の端面開口部に接着する工程と、前記ノ
ズルプレートの表面に金属膜を形成する工程と、インク
吐出口を形成すべき位置の前記金属膜を局部的に除去し
て前記ノズルプレートの表面にマスク孔を備えた金属マ
スクを形成する工程と、この金属マスクの上方からレー
ザ光を照射して前記金属マスクのマスク孔の部分の接着
剤と前記ノズルプレートの高分子膜とを除去してインク
吐出口を形成する工程と、前記金属膜をエッチングによ
り除去する工程とよりなるものである。従って、レーザ
光によりインク吐出口を形成する際に、金属マスクはノ
ズルプレートに密着しているため、孔径精度を高めるこ
とができ、また、金属マスクとなる金属膜は除去される
ため、ミスディレクション等の吐出不良を改善すること
ができる。

【０００９】請求項２記載の発明は、高分子材料からな
るノズルプレートの片側表面に金属膜を形成する工程
と、前記金属膜を表側にして前記ノズルプレートを複数
の溝が形成されたヘッド本体の端面開口部に接着する工
程と、インク吐出口を形成すべき位置の前記金属膜を局
部的に除去して前記ノズルプレートの表面にマスク孔を
備えた金属マスクを形成する工程と、この金属マスクの
上方からレーザ光を照射して前記金属マスクのマスク孔
の部分の接着剤と前記ノズルプレートの高分子膜とを除
去してインク吐出口を形成する工程と、前記金属膜をエ
ッチングにより除去する工程とよりなるものである。従
って、レーザ光によりインク吐出口を形成する際に、金
属マスクはノズルプレートに密着しているため、孔径精
度を高めることができ、また、金属マスクとなる金属膜
は除去されるため、ミスディレクション等の吐出不良を
改善することができ、特に、金属膜は大面積の状態で形
成して必要な面積のものを分割により得ることができる
ため、安価に均一に形成することができる。

【００１０】請求項３記載の発明は、高分子材料からな
るノズルプレートの片側表面に金属膜を形成する工程
と、インク吐出口を形成すべき位置の前記金属膜を局部
的に除去して前記ノズルプレートの表面にマスク孔を備
えた金属マスクを形成する工程と、前記金属膜を表側に
して前記ノズルプレートを複数の溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着する工程と、前記金属マスクの
上方からレーザ光を照射して前記金属マスクのマスク孔
の部分の接着剤と前記ノズルプレートの高分子膜とを除
去してインク吐出口を形成する工程と、前記金属膜をエ
ッチングにより除去する工程とよりなるものである。従
って、レーザ光によりインク吐出口を形成する際に、金
属マスクはノズルプレートに密着しているため、孔径精
度を高めることができ、また、金属マスクとなる金属膜
は除去されるため、ミスディレクション等の吐出不良を
改善することができ、特に、金属膜は大面積の状態で形
成することができ、かつ、マスク孔の形成も大面積で行
って必要な面積のものを分割して得ることができるた
め、安価に均一に形成することができる。

【００１１】請求項４記載の発明は、金属マスクのマス
ク孔に対して少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光
を照射するようにしたものである。従って、テーパ孔状
のインク吐出口を簡単に得ることができる。

【００１２】請求項５記載の発明は、金属膜をエッチン
グにより除去する工程において、ヘッド本体の各溝に気
体加圧手段を接続し、各インク吐出口から気体を噴射さ
せながらエッチング液に漬けるようにしたものである。
従って、金属膜を除去するエンチング液がヘッド本体内
に浸入して内部に形成された電極や保護膜を侵す恐れが
ないものである。

【００１３】請求項６記載の発明は、金属膜を除去した
後に、ノズルプレートの表面に撥水膜を形成するように
したものである。従って、金属膜を除去する工程におい
てノズルプレートの表面が酸等で荒らされて本来具備し
ていた撥水性を損なった状態になってもインクジェット
プリンタヘッドとして要求される表面の撥水性を回復さ
せることができる。

【００１４】請求項７記載の発明は、ヘッド本体の各溝
に気体加圧手段を接続し、各インク吐出口から気体を噴
射させながらノズルプレートの表面に撥水膜を形成する
ようにしたものである。従って、インク吐出口の孔詰ま
りが発生するおそれなくノズルプレートの表面に撥水膜
を形成することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図１
乃至図９に基づいて説明する。図１４乃至図１９で説明
した部分と同一部分は同一符号を用い説明も省略する。
まず、溝８が形成されたヘッド本体６の端面開口部に、
高分子材料、すなわち、ポリイミドやポリサルフォンよ
りなる所定厚さのノズルプレート７をノズルプレート接
着剤２２により接着する。この接着は、図２に示すよう
に、ＰＥＴフィルム２３の一面に２液性エポキシ樹脂等
よりなる前記ノズルプレート接着剤２２を６〜７μｍの
厚さにスクリーン印刷等により塗布し、ヘッド本体６の
端面開口部にノズルプレート接着剤２２側を接触させて
ローラ等の加圧具２４で押圧して転写する。ヘッド本体
６に転写されたノズルプレート接着剤２２の厚さは、３
〜３.５μｍとなる。このように転写されたノズルプレ
ート接着剤２２の上にノズルプレート７を接合させ、ノ
ズルプレート接着剤２２が十分に硬化するまで均一な圧
力をかける治具にセットして接着固定するものである。

【００１６】ついで、図３に示すように、ヘッド本体６
に接着固定されたノズルプレート７の表面に金属膜２５
を形成する。この金属膜２５の形成は、蒸着、スパッタ
リング、メッキ等の種々の手段により行われる。

【００１７】このように形成された金属膜２５の表面に
は、図４(ａ)に示すように、感光性のあるドライフィル
ム２６が貼付られる。このようにドライフィルム２６が
接着された面に、図４(ｂ)に示すようにマスク２７を接
合して露光する。このマスク２７には、前記溝８と同一
ピッチの開口２８が形成されている。このように露光し
た後に現像し、ドライフイルム２６をエッチングする。
これにより、図４(ｃ)に示すように、ドライフィルム２
６には、中心が前記溝８の中心に一致したレジスト開口
２９が形成される。ついで、このレジスト開口２９部分
の金属膜２５を局部的に除去して図４(ｄ)に示すように
マスク孔３０が形成される。このマスク孔３０の形成後
に、金属膜２５の表面に残されていたドライフィルム２
６は、レジスト剥離液により剥離されて図４(ｅ)に示す
ように、金属膜２５はマスク孔３０を備えた金属マスク
３１として完成される。

【００１８】このように金属マスク３１が形成されたノ
ズルプレート７は、ヘッド本体６を図５に示すレーザ装
置３２により加工し、図６に示すように、逆テーパを持
ったインク吐出口１４を３ステップで形成する。前記レ
ーザ装置３２は、Ｘテーブル３３上に直線移動できるよ
うに取り付けられた可動台３４が設けられ、この可動台
３４に円弧運動するゴニオステージ３５が設けられ、こ
のゴニオステージ３５に前記インク吐出口１４の位置が
回転中心となるように前記ヘッド本体６が取り付けられ
ている。ついで、レーザ発振器３６が設けられ、このレ
ーザ発振器３６から発生したレーザ光３７は、反射鏡３
８、入射レンズ３９、スライドスコープ４０、結像レン
ズ４１を経て前記ノズルプレート７に照射されている。
このレーザ発振器３６としては、高分子材料よりなるノ
ズルプレート７を熱の影響が少ない状態で加工できるよ
うに、紫外光を出力するエキシマレーザなどが利用され
る。ついで、前記レーザ装置３２によるインク吐出口１
４の形成は、図６に示すように、１回目として右上から
左下に向けてレーザ光３７を照射して斜めの孔を形成
し、２回目として左上から右下に向けてレーザ光３７を
照射して１回目の孔と合成し、３回目として垂直方向に
レーザ光３７を照射して中心部分を加工する。

【００１９】このようにしてレーザ光３７の照射によ
り、高分子材料よりなるノズルプレート７とノズルプレ
ート接着剤２２がアブレレーション（除去）される。レ
ーザ光３７の照射範囲は、金属マスク３１のマスク孔３
０より大きい範囲にわたるものであるが、ノズルプレー
ト７に対しては、金属マスク３１のマスク孔３０により
照射範囲が規制される。具体的には、ゴニオステージ３
５でヘッド本体６を傾けた状態でＸテーブル３３を移動
させてレーザ光３７の照射を一回行ない、ついで、２回
目としてゴニオステージ３５を逆方向に回動させてから
Ｘテーブル３３を移動させ、さらに、３回目としてゴニ
オステージ３５を水平にしてＸテーブル３３を移動させ
ることにより、逆テーパ状のインク吐出口１４が形成さ
れる。実際には、ノズルプレート７上に存在するノズル
プレート接着剤２２の存在により、通常は、さらに数回
のレーザ光３７の走査が必要である。

【００２０】このようにノズルプレート７にインク吐出
口１４を形成した後に、エッチングにより金属マスク３
１を構成する金属膜２５は除去される。すなわち、これ
を図７に示すように、容器４２内に蓄えられたエッチン
グ液４３内に浸漬し、金属膜２５をエッチングして除去
する。この時、前記ヘッド本体６の溝８には図示しない
気体加圧手段を接続し、気体を噴出させながら金属膜２
５の除去を行う。これにより、エッチング液４３がヘッ
ド本体６の内部に入り込むことがなく、内部の電極や保
護膜を侵すことがない。

【００２１】ついで、ノズルプレート７の表面には、図
８に示すように、撥水膜４４が形成される。この撥水膜
４４の形成に当っては、図９に示すように、容器４５内
に蓄えられた溶液４６、具体的には、ＩＮＴスクリーン
製ＩＮＴ３０３溶液にデッピングする。この場合、図７
に示した場合と同様に、ヘッド本体６の溝８に気体加圧
手段から空気や窒素等の気体を送り込んでインク吐出口
１４から噴出させ、溶液４６から取り出して乾燥させる
状態においても気体の噴出は乾燥終了まで継続させる。
乾燥したら、１４０℃のオーブンに４０分入れて架橋さ
せる。これにより、インク吐出口１４の孔詰まりがない
状態で撥水膜４４を形成することができる。

【００２２】本発明の第二の実施の形態を図１０及び図
１１に基づいて説明する。本実施の形態は、ノズルプレ
ート７の片側表面に図１０に示すように予め金属膜２５
を形成し、この金属膜２５を有するノズルプレート７を
図１１に示すようにヘッド本体６にノズルプレート接着
剤２２で接着するようにしたものである。そのため、第
一の実施の形態と対比すると、工程の順序が相違するだ
けで図１１に示したものは、前述の図３に示したものと
同様である。その後の加工は、第一の実施の形態におけ
る図４〜図９に示す工程と全く同様に行われるので、そ
の説明を省略する。従って、大面積のノズルプレート７
を用いてその全面に金属膜２５を形成し、必要な面積の
ものを分割して使用することにより、安価に、かつ、均
一に形成することができるものである。

【００２３】本発明の第三の実施の形態を図１２及び図
１３に基づいて説明する。本実施の形態は、第二の実施
の形態と同様に、ノズルプレート７の片側表面に図１２
(ａ)に示すように予め金属膜２５を形成し、この金属膜
２５に図１２(ｄ)に示すようにマスク孔３０を形成して
しまうものである。すなわち、ノズルプレート７の表面
に金属膜２５を形成し、この表面に図１２(ｂ)に示すよ
うにドライフィルム２６を接着してレジスト開口２９を
形成し、図１２(ｃ)に示すように、そのレジスト開口２
９に基づいて金属膜２５にマスク孔３０を形成し、前述
のように、図１２(ｄ)に示すように、マスク孔３０を有
する金属マスク３１を備えたノズルプレート７を形成し
たものを設けるものである。

【００２４】このようなノズルプレート７を図１３に示
すようにヘッド本体６にノズルプレート接着剤２２によ
り接着する。そして、その後の加工は、第一の実施の形
態における図５乃至図９に示したものと全く同様に行わ
れるので、その説明を省略する。従って、大面積のノズ
ルプレート７を用いてその全面に金属膜２５を形成し、
かつ、マスク孔３０の形成も大面積で行ない、必要な面
積のものを分割して使用することにより、安価に、か
つ、均一に形成することができるものである。

【００２５】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、高分子材料から
なるノズルプレートを複数の溝が形成されたヘッド本体
の端面開口部に接着する工程と、前記ノズルプレートの
表面に金属膜を形成する工程と、インク吐出口を形成す
べき位置の前記金属膜を局部的に除去して前記ノズルプ
レートの表面にマスク孔を備えた金属マスクを形成する
工程と、この金属マスクの上方からレーザ光を照射して
前記金属マスクのマスク孔の部分の接着剤と前記ノズル
プレートの高分子膜とを除去してインク吐出口を形成す
る工程と、前記金属膜をエッチングにより除去する工程
とよりなるので、レーザ光によりインク吐出口を形成す
る際に、金属マスクはノズルプレートに密着しているた
め、孔径精度を高めることができ、また、金属マスクと
なる金属膜は除去されるため、ミスディレクション等の
吐出不良を改善することができるという効果を有する。

【００２６】請求項２記載の発明は、高分子材料からな
るノズルプレートの片側表面に金属膜を形成する工程
と、前記金属膜を表側にして前記ノズルプレートを複数
の溝が形成されたヘッド本体の端面開口部に接着する工
程と、インク吐出口を形成すべき位置の前記金属膜を局
部的に除去して前記ノズルプレートの表面にマスク孔を
備えた金属マスクを形成する工程と、この金属マスクの
上方からレーザ光を照射して前記金属マスクのマスク孔
の部分の接着剤と前記ノズルプレートの高分子膜とを除
去してインク吐出口を形成する工程と、前記金属膜をエ
ッチングにより除去する工程とよりなるので、レーザ光
によりインク吐出口を形成する際に、金属マスクはノズ
ルプレートに密着しているため、孔径精度を高めること
ができ、また、金属マスクとなる金属膜は除去されるた
め、ミスディレクション等の吐出不良を改善することが
でき、特に、金属膜は大面積の状態で形成して必要な面
積のものを分割により得ることができるため、安価に均
一に形成することができるという効果を有する。

【００２７】請求項３記載の発明は、高分子材料からな
るノズルプレートの片側表面に金属膜を形成する工程
と、インク吐出口を形成すべき位置の前記金属膜を局部
的に除去して前記ノズルプレートの表面にマスク孔を備
えた金属マスクを形成する工程と、前記金属膜を表側に
して前記ノズルプレートを複数の溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着する工程と、前記金属マスクの
上方からレーザ光を照射して前記金属マスクのマスク孔
の部分の接着剤と前記ノズルプレートの高分子膜とを除
去してインク吐出口を形成する工程と、前記金属膜をエ
ッチングにより除去する工程とよりなるので、レーザ光
によりインク吐出口を形成する際に、金属マスクはノズ
ルプレートに密着しているため、孔径精度を高めること
ができ、また、金属マスクとなる金属膜は除去されるた
め、ミスディレクション等の吐出不良を改善することが
でき、特に、金属膜は大面積の状態で形成することがで
き、かつ、マスク孔の形成も大面積で行って必要な面積
のものを分割して得ることができるため、安価に均一に
形成することができるという効果を有する。

【００２８】請求項４記載の発明は、金属マスクのマス
ク孔に対して少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光
を照射するようにしたので、テーパ孔状のインク吐出口
を簡単に得ることができるという効果を有する。

【００２９】請求項５記載の発明は、金属膜をエッチン
グにより除去する工程において、ヘッド本体の各溝に気
体加圧手段を接続し、各インク吐出口から気体を噴射さ
せながらエッチング液に漬けるようにしたので、金属膜
を除去するエンチング液がヘッド本体内に浸入して内部
に形成された電極や保護膜を侵す恐れがないという効果
を有する。

【００３０】請求項６記載の発明は、金属膜を除去した
後に、ノズルプレートの表面に撥水膜を形成するように
したので、金属膜を除去する工程においてノズルプレー
トの表面が酸等で荒らされて本来具備していた撥水性を
損なった状態になってもインクジェットプリンタヘッド
として要求される表面の撥水性を回復させることができ
るという効果を有する。

【００３１】請求項７記載の発明は、ヘッド本体の各溝
に気体加圧手段を接続し、各インク吐出口から気体を噴
射させながらノズルプレートの表面に撥水膜を形成する
ようにしたので、インク吐出口の孔詰まりが発生するお
それなくノズルプレートの表面に撥水膜を形成すること
ができるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施の形態を示すもので、ノズ
ルプレートをヘッド本体に接着する状態を示す分解した
縦断側面図である。

【図２】ヘッド本体にノズル板を接着する工程を示す工
程図である。

【図３】ノズルプレートの表面に金属膜を形成した状態
の縦断側面図である。

【図４】金属マスクを形成する工程を示すもので、(ａ)
はドライフィルムを貼り付けた状態の縦断側面図、(ｂ)
はフォトエッチングの工程を示す縦断側面図、(ｃ)はレ
ジスト開口を形成した状態の縦断側面図、(ｄ)は金属膜
にマスク孔が形成された状態の縦断側面図、(ｅ)はドラ
イフィルムを除去した状態の縦断側面図である。

【図５】レーザ装置の全体を示す斜視図である。

【図６】インク吐出口の加工ステップを示す縦断側面図
である。

【図７】金属膜をエッチングにより除去している状態の
縦断側面図である。

【図８】撥水膜を形成した完成した状態の縦断側面図で
ある。

【図９】撥水膜を形成している状態を示す縦断側面図で
ある。

【図１０】本発明の第二の実施の形態を示すもので、ノ
ズルプレートの縦断側面図である。

【図１１】ノズルプレートをヘッド本体に接着した状態
の縦断側面図である。

【図１２】本発明の第三の実施の形態を示すもので、
(ａ)は金属膜を有するノズルプレートにドライフィルム
を接着した状態の縦断側面図、(ｂ)はレジスト開口を形
成した状態の縦断側面図、(ｃ)は金属層にマスク孔を形
成した状態の縦断側面図、(ｄ)はドライフィルムを除去
した状態の縦断側面図である。

【図１３】ノズルプレートをヘッド本体に接着した状態
を示す縦断側面図である。

【図１４】インクジェットヘッドの一例を示す一部を切
り欠いた斜視図である。

【図１５】インク吐出口の断面形状を示す部分断面図で
ある。

【図１６】ノズルプレートと金属マスクとの間に所定厚
さの接着剤が存する場合のレーザ光による孔明加工の状
態を示す縦断側面図である。

【図１７】金属マスクのマスク孔と仕上げられたインク
吐出口との関係を示すもので、(ａ)はマスク孔の平面
図、(ｂ)はインク吐出口の平面図である。

【図１８】ノズルプレートと金属マスクとの両者間の間
隔と孔径との相対関係を示すグラフである。

【図１９】電鋳法により金属マスクを形成している状態
の縦断側面図である。

【符号の説明】

６ ヘッド本体 ７ ノズルプレート ８ 溝 １４ インク吐出口 ２２ 接着剤 ２５ 金属膜 １５ 金属マスク ３０ マスク孔 ３１ 金属マスク ３７ レーザ光 ４３ エッチング液 ４４ 撥水膜

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高分子材料からなるノズルプレートを複
   数の溝が形成されたヘッド本体の端面開口部に接着する
   工程と、前記ノズルプレートの表面に金属膜を形成する
   工程と、インク吐出口を形成すべき位置の前記金属膜を
   局部的に除去して前記ノズルプレートの表面にマスク孔
   を備えた金属マスクを形成する工程と、この金属マスク
   の上方からレーザ光を照射して前記金属マスクのマスク
   孔の部分の接着剤と前記ノズルプレートの高分子膜とを
   除去してインク吐出口を形成する工程と、前記金属膜を
   エッチングにより除去する工程とよりなることを特徴と
   するインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 高分子材料からなるノズルプレートの片
   側表面に金属膜を形成する工程と、前記金属膜を表側に
   して前記ノズルプレートを複数の溝が形成されたヘッド
   本体の端面開口部に接着する工程と、インク吐出口を形
   成すべき位置の前記金属膜を局部的に除去して前記ノズ
   ルプレートの表面にマスク孔を備えた金属マスクを形成
   する工程と、この金属マスクの上方からレーザ光を照射
   して前記金属マスクのマスク孔の部分の接着剤と前記ノ
   ズルプレートの高分子膜とを除去してインク吐出口を形
   成する工程と、前記金属膜をエッチングにより除去する
   工程とよりなることを特徴とするインクジェットプリン
   タヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 高分子材料からなるノズルプレートの片
   側表面に金属膜を形成する工程と、インク吐出口を形成
   すべき位置の前記金属膜を局部的に除去して前記ノズル
   プレートの表面にマスク孔を備えた金属マスクを形成す
   る工程と、前記金属膜を表側にして前記ノズルプレート
   を複数の溝が形成されたヘッド本体の端面開口部に接着
   する工程と、前記金属マスクの上方からレーザ光を照射
   して前記金属マスクのマスク孔の部分の接着剤と前記ノ
   ズルプレートの高分子膜とを除去してインク吐出口を形
   成する工程と、前記金属膜をエッチングにより除去する
   工程とよりなることを特徴とするインクジェットプリン
   タヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 金属マスクのマスク孔に対して少なくと
   も２方向以上の入射角でレーザ光を照射するようにした
   ことを特徴とする請求項１，２又は３記載のインクジェ
   ットプリンタヘッドの製造方法。
5. 【請求項５】 金属膜をエッチングにより除去する工程
   において、ヘッド本体の各溝に気体加圧手段を接続し、
   各インク吐出口から気体を噴射させながらエッチング液
   に漬けるようにしたことを特徴とする請求項１，２，３
   又は４記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方
   法。
6. 【請求項６】 金属膜を除去した後に、ノズルプレート
   の表面に撥水膜を形成するようにしたことを特徴とする
   請求項１，２，３又は４記載のインクジェットプリンタ
   ヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】 ヘッド本体の各溝に気体加圧手段を接続
   し、各インク吐出口から気体を噴射させながらノズルプ
   レートの表面に撥水膜を形成するようにしたことを特徴
   とする請求項６記載のインクジェットプリンタヘッドの
   製造方法。