JP2002067333A

JP2002067333A - インクジェットヘッドのノズル形成方法

Info

Publication number: JP2002067333A
Application number: JP2000254718A
Authority: JP
Inventors: Koji Sone; 浩二曽根; Hirobumi Sugimoto; 博文杉本; Takayoshi Oga; 隆義大賀; Naoyuki Seo; 直之瀬尾; Masatomo Matsui; 昌朋松井
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-08-25
Filing date: 2000-08-25
Publication date: 2002-03-05

Abstract

(57)【要約】【課題】寸法精度がよく撥液膜の損傷がなく、インク
滴の吐出体積及び飛翔方向のばらつきを低減できるイン
クジェットヘッドのノズル形成方法を提供する。【解決手段】被加工物６の厚みに応じてレーザ集光ス
ポット径を変えながらレーザを照射して、レーザ入射面
５ａの径φｄ１がレーザ抜け面５ｂの径φｄ２よりも大
きい孔を穿設してインクジェットヘッドのノズル７を形
成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エキシマレーザに
よってノズルを形成するインクジェットヘッドのノズル
形成方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、プリンタなどに使用されるイ
ンクジェットヘッドのノズルは、良好なインクの吐出性
能を得る為に、インクの吐出口が基端部よりも細くなる
ようテーパ角が付けられた形状となっている。

【０００３】図５は、インクジェットヘッドのノズル形
成方法を示す。ポリイミド等の樹脂プレートからなるノ
ズル形成用シート５は、ヘッドの内側となる面がエキシ
マレーザ１の照射面となるように加工テーブル６に載置
される。

【０００４】ノズル形成用シート５の上面にはレーザ源
であるレーザ発振器１７が設けられている。レーザ発振
器１７は、照射したエキシマレーザビーム１をマスク２
の孔２ａによって形成しようとする孔に対応した形状に
絞り込み、集光レンズ３で所定の大きさに絞り込んで集
光ビーム４が加工テーブル６に到達するような光路を形
成するよう構成されている。

【０００５】レーザ発振器１７より照射された集光ビー
ム４がノズル形成用シート５に照射されると、テーパ孔
（円錐形孔）からなるノズル７が形成される。ノズル７
のテーパ角度には様々なものがあるが、レーザの照射エ
ネルギーを調整することで各種のテーパ角度の形成を行
っている。

【０００６】ノズル７のテーパ角と照射エネルギー密度
との間には、図６に示すように、照射エネルギー密度を
小さくするとテーパ角度が大きくなるという関係があ
り、照射エネルギー密度の小さい点Ａではテーパ角度の
大きいノズル７Ａが形成され、照射エネルギー密度の大
きい点Ｂではテーパ角度の大きいノズル７Ｂが形成され
る。このような特性を利用して、大きなテーパ角度を持
つノズル７を形成する場合には、所望の形状が得られる
ように最適な強度にレーザ照射強度を調整してノズル７
を形成している。

【０００７】なお、下部孔直径のばらつきと照射エネル
ギー密度とは、上記のノズル７のテーパ角と照射エネル
ギー密度と同様の傾向を示すので、図６ではともに一本
の線で示している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなノズル７の形成方法では、大きなテーパ角度のノ
ズル７を形成するためにエキシマレーザの照射エネルギ
ー密度を小さくすると、加工時のエネルギー減衰量が大
きくなり、レーザの抜け側にあたるインク噴射孔もしく
はシート下部の内径ばらつきが大きくなる。このように
ノズル７のテーパ形状がばらつくと、インクジェットヘ
ッドから吐出される液滴体のばらつきが大きくなり、印
字品質が悪化するという問題がある。

【０００９】また、図７（ａ）に示すように、ノズル形
成用シート５のレーザ抜け面５ｂ側には、インク滴の飛
翔直進性の改良を目的として基材９に撥液膜１０が形成
されているが、撥液膜１０が形成されたノズル形成用シ
ート５にエキシマレーザ１を照射して上記のような孔加
工を行うと、図７（ｂ）に示すように、レーザ抜け面５
ｂ側から見たノズル７ｂの孔周りには、撥液膜１０の損
傷領域１５が発生するという問題がある。

【００１０】そこで、撥液膜１０の表面に樹脂フィルム
１３に粘着材１２を添付した市販のテープ１４を貼り付
けて撥液膜１０を保護する方法が取られているが、テー
プ１４の貼り付け時に撥液膜１０とテープ１４の粘着材
１２の間に微小な気泡１６が混入してしてまう。このよ
うな気泡１６が混入すると、エキシマレーザ１による加
工時に一定の確率で気泡１６の混入位置にレーザ照射が
行われ、樹脂フィルム１３を構成する樹脂の分子、原子
の結合が切断されて高温高圧ガスとなって飛散し、発生
したガスにエキシマが照射されてプラズマが発生する。
気泡１６の中でこのような高温高圧ガス及びプラズマが
発生すると、気泡１６部に露出している撥液膜１０が損
傷して同様に損傷領域１５が形成される。

【００１１】そのためインクジェットヘッドからインク
液滴を飛翔させたときに、この撥液膜１０の損傷領域１
５にのみインクが残り、ノズルエッジにインクメニスカ
スの不均一性が発生して飛翔方向のばらつきが大きくな
り、印字品質が悪化するという問題がある。

【００１２】本発明は前記問題点を解決し、寸法精度が
よく撥液膜の損傷がなく、インク滴の吐出体積及び飛翔
方向のばらつきを低減できるインクジェットヘッドのノ
ズル形成方法を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドのノズル形成方法は、被加工物の厚みに応じてレ
ーザ集光スポット径を変えながら加工処理することを特
徴とする。

【００１４】この本発明によると、大きなテーパ角であ
っても孔径精度が良く、インク液滴体積のばらつきの小
さいノズルが実現できる。また、本発明の別のインクジ
ェットヘッドのノズル形成方法は、被加工物の撥液膜の
上に感光性ドライフィルムレジストをラミネーションし
てレーザを照射することを特徴とする。

【００１５】この本発明によると、撥液膜の損傷が低減
でき、インク飛翔方向のばらつきの小さいノズルが実現
できる。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１記載のインクジ
ェットヘッドのノズル形成方法は、被加工物にレーザを
照射して前記レーザ入射面の径が前記レーザ抜け面の径
よりも大きい孔を穿設してインクジェットヘッドのノズ
ルを形成するに際し、前記被加工物の厚みに応じてレー
ザ集光スポット径を変えながら加工処理することを特徴
とする。

【００１７】この構成によると、大きなテーパ角を有す
るノズルを高い寸法精度で形成できる。本発明の請求項
２記載のインクジェットヘッドのノズル形成方法は、請
求項１において、レーザ源と被加工物との間隔を近接さ
せた状態から、前記レーザ抜け面で所望の径が得られる
適正な間隔まで加工ショットに連動して前記レーザ源と
前記被加工物の間隔を調整しながら加工処理することを
特徴とする。

【００１８】この構成によると、容易な構成で大きなテ
ーパ角を有するノズルを高い寸法精度で形成できる。本
発明の請求項３記載のインクジェットヘッドのノズル形
成方法は、請求項１において、前記加工ショットに連動
してレーザ集光スポット径が大きいものから小さいもの
へ変更することを特徴とする。

【００１９】本発明の請求項４記載のインクジェットヘ
ッドのノズル形成方法は、請求項１〜請求項３のいずれ
かにおいて、前記レーザの集光角度を前記ノズルのテー
パ角度よりも小さくして前記レーザを照射することを特
徴とする。

【００２０】この構成によると、微少なシートのうねり
が存在して場合においても、大きなテーパ角を有するノ
ズルを高い寸法精度で形成できる。本発明の請求項５記
載のインクジェットヘッドのノズル形成方法は、請求項
１において、レーザの照射経路にマスクを配設して前記
マスクに前記集光スポット径の変化数に対応した径の孔
パターンを形成し、被加工物の加工深さに応じて前記マ
スクの孔パターンを変えることを特徴とする。

【００２１】本発明の請求項６記載のインクジェットヘ
ッドのノズル形成方法は、請求項１〜請求項５のいずれ
かにおいて、前記レーザの照射エネルギー密度をレーザ
抜け面における加工孔径のばらつきが１ミクロンメート
ル以下となるようにして加工処理することを特徴とす
る。

【００２２】この構成によると、加工孔径を高精度に形
成できる。本発明の請求項７記載のインクジェットヘッ
ドのノズル形成方法は、請求項１〜請求項６のいずれか
において、前記被加工物の厚みに応じて前記レーザ集光
スポット径を変えるに際し、加工深度とレーザ集光スポ
ット径の連動を１次、２次、指数、ステップ等の関数式
により制御することを特徴とする。

【００２３】この構成によると、ノズルを円錐、ホー
ン、段付きなどの形状に形成できる。本発明の請求項８
記載のインクジェットヘッドのノズル形成方法は、レー
ザ抜け面に撥液膜が形成された被加工物にレーザを照射
して前記レーザ入射面の径が前記レーザ抜け面の径より
も大きい孔を穿設してインクジェットヘッドのノズルを
形成するに際し、被加工物の前記撥液膜の上にフィルム
レジストをラミネーションした後、前記被加工物の未処
理面側からレーザを照射して加工処理することを特徴と
する。

【００２４】この構成によると、エキシマレーザの加工
時に発生する熱及びプラズマによる撥液膜の損傷を確実
に保護できる。本発明の請求項９記載のインクジェット
ヘッドのノズル形成方法は、請求項８において、上記ラ
ミネーションを加熱したローラで圧延して行なうことを
特徴とする。

【００２５】この構成によると、ノズル形成用シートと
前記感光性ドライフィルムを確実に気泡なく貼り付けで
きる。本発明の請求項１０記載のインクジェットヘッド
のノズル形成方法は、請求項８または請求項９におい
て、前記ラミネーションを行った後の感光性ドライフィ
ルムレジストに紫外線を照射して硬化させてレーザ照射
することを特徴とする。

【００２６】この構成によると、前記ラミネーション後
の前記感光性ドライフィルムに強度を持たせ剥離防止を
行うことでシートの取り扱い性を向上できる。本発明の
請求項１１記載のインクジェットヘッドのノズル形成方
法は、請求項８〜請求項１０のいずれかにおいて、前記
レーザ加工後に前記フィルムレジストを溶剤にて除去す
ることを特徴とする。

【００２７】この構成によると、薄いノズルシートにス
トレスを与えること無く前記フィルムレジストを容易に
除去できる。本発明の請求項１２記載のインクジェット
ヘッドのノズル形成方法は、請求項１〜請求項１１のい
ずれかにおいて、前記被加工物の材料が、ポリスチレ
ン、ポリイミド、ポリサルフォンであることを特徴とす
る。

【００２８】この構成によると、光吸収係数の高い樹脂
材料を用いることで高い寸法精度の形成が実現できる。
本発明の請求項１３記載のインクジェットヘッドのノズ
ル形成方法は、請求項８〜請求項１２のいずれかにおい
て、前記撥液膜がフッ素系材料からなりその膜厚が１ミ
クロンメートル以下であることを特徴とする。

【００２９】この構成によると、紫外線吸収係数の低い
撥液膜においてもエキシマレーザによる孔加工が実現で
きる。本発明の請求項１４記載のインクジェットヘッド
のノズル形成方法は、請求項１または請求項８におい
て、前記レーザにエキシマレーザを用いることを特徴と
する。

【００３０】以下、本発明の各実施の形態を図１〜図４
を用いて説明する。なお、上記従来例を示す図５〜図７
と同様の構成をなすものには、同一の符号を付けて説明
する。

【００３１】（実施の形態１）図１〜図３は、本発明の
（実施の形態１）を示す。この（実施の形態１）では、
被加工物であるノズル形成用シート５の厚みに応じてレ
ーザ集光スポット径を変えながら加工処理するよう構成
した点で上記従来例とは異なる。

【００３２】図１，図２に示すように、図５と同様にポ
リイミド製のノズル成形用シート５にレーザとしてエキ
シマレーザ１を照射して、ノズル形成用シート５に上部
ノズル径φｄ１、下部ノズル径φｄ２であるテーパ状ノ
ズルを形成するに際し、レーザ集光スポット径の変更は
以下の手順にて行われる。

【００３３】まず、ノズル形成用シート５のレーザ入射
面５ａでの集光ビーム４の集光スポット径がφｄ１とな
る集光レンズ３との距離ｈ１、ノズル形成用シート５の
レーザ抜け面５ｂでの集光ビーム４の集光スポット径が
φｄ２となる集光レンズ３との距離ｈ２、さらにノズル
形成用シート５の貫通に必要なエキシマレーザの加工シ
ョット数が設定される。この加工ショット数は、ノズル
形成用シート５の厚みに応じて異なる。

【００３４】加工テーブル６ａはレーザ源に近接離間の
方向に駆動可能に構成されており、この加工テーブル６
ａを集光ビーム４の光軸Ｐ方向に移動させて距離ｈ１か
ら前記加工ショット数に連動して距離ｈ２まで加工テー
ブル６の高さを移動させて集光レンズ３との距離を変え
ることで、ノズル形成用シート５の加工面の集光スポッ
ト径を変更できる。

【００３５】すなわち、加工開始時には、集光レンズ３
とレーザ入射面５ａとの距離がｈ１となる位置まで加工
テーブル６ａを上昇させ、レーザ源とノズル形成用シー
ト５とを近接させた状態でエキシマレーザ１を照射す
る。このときのレーザ集光スポット径は、ノズル形成用
シート５のレーザ入射面５ａの径φＩＤと同じ大きさと
なる。

【００３６】この状態から、レーザ抜け面５ｂで所望の
径φＤ２が得られる適正な間隔、すなわち集光レンズ３
と加工テーブル６ａとの距離がｈ２となるまで加工ショ
ットに連動して、レーザ源とノズル形成用シート５の間
隔を調整しながら加工処理が行なわれる。このときのレ
ーザ集光スポット径は、ノズル形成用シート５のレーザ
抜け面５ｂの径φ０Ｄと同じ大きさとなる。加工ショッ
トに連動して加工テーブル６ａをｈ１からｈ２まで移動
させる場合に、加工ショット数の一次関数で移動させる
と図２の様な円錐状のテーパ状ノズル７が得られる。

【００３７】このように加工ショットに連動してレーザ
集光スポット径が大きいものから小さいものへ変更する
ことで、レーザ入射面５ａの径φＩＤがレーザ抜け面５
ｂの径φ０Ｄよりも大きく、テーパ角度の大きいノズル
を寸法精度良く形成できる。

【００３８】得られたノズルは、複数のノズル間でばら
つきのないインク液滴体積が吐出可能なノズルとなり、
このノズルを使用したインク噴射装置は、印字品質の優
れたものとなる。

【００３９】なお、上記のようなノズルの形成方法にお
いて、図２に示す集光ビーム４の集光角度θＬが所望の
ノズルのテーパ角度θＮより小さくなるよう、マスク２
や集光レンズ３をノズル形状やレーザ加工条件などによ
って適切に設定すると、微小なシートのうねりが存在し
ている場合でも、大きなテーパ角を有するノズルを高い
寸法精度で形成できる。

【００４０】また、さらに精度の良いテーパ加工を行な
うためには、集光レーザ４の照射エネルギー密度をレー
ザ抜け面５ｂの加工孔径ばらつきが１ミクロンメートル
以下とすることが好ましい。すなわち、レーザ単独では
ノズルのテーパ角度がほとんどつかない程度の高い密度
に設定することが好ましく、この設定値は、上記従来の
ノズル加工法により、照射エネルギーと加工ノズル径の
相関データを求めることでことで容易に設定できる。

【００４１】また、上記説明では、加工テーブル６をｈ
１からｈ２まで前記加工ショット数の一次関数で移動さ
せて円錐状のテーパ状ノズルを形成したが、加工テーブ
ル６の移動距離と加工ショット数の関数を２次、指数、
ステップなどとすることで、ホーン状や段付きなどのノ
ズルを形成することも可能である。特に、ホーン状のノ
ズルは、円錐状テーパノズルよりもノズル内のインク粘
性抵抗を小さくできるなどの利点があり、粘性の高い液
体を使用する場合に有効である。

【００４２】また、上記説明では、加工テーブル６ａを
レーザ源に接近離間の方向に駆動できるよう構成した
が、本発明はこれに限定されるものではなく相対移動す
るものでも良い。例えば、加工テーブル６ａを固定して
集光レンズ３の側を移動させてレーザ源としてのレーザ
発振器１７とノズル形成用シート５との間隔を調整する
よう構成してもよい。

【００４３】また、上記説明では、レーザ集光スポット
径を変える方法として、加工テーブル６とレーザ発振器
１７との距離を調節する例を挙げて説明したが、レーザ
の照射経路に配設されたマスク２に集光スポット径の変
化数に対応した径の孔パターンを形成して、ノズル形成
用シート５の加工深さに応じてマスク２の孔パターンを
変えるようにしてもよい。具体的には、図３に示すよう
に、シート上部のレーザ集光スポット径φｄ１からシー
ト下部の集光スポット径φｄ２までの複数の集光スポッ
ト径が得られようにマスク２に集光スポット径に対応す
る径のφＤ１（８ａ）〜φＤ２（８ｎ）［ｎは任意の自
然数］までの多数のパターンを用意し、板厚方向の加工
深度に連動させてマスク２を移動させ、８ａ，８ｂ，…
８ｎまでの多数のパターンを順次切り換えて加工を行う
ことによっても、上記と同様の効果が得られる。

【００４４】（実施の形態２）図４は、本発明の（実施
の形態２）を示す。この（実施の形態２）では、レーザ
抜け面５ｂに撥液膜１０が形成されたノズル形成用シー
ト５の構成を特殊にした点で異なるがそれ以外の基本的
な構成は上記（実施の形態１）と同様である。

【００４５】図４（ａ）に示すように、ノズル形成用シ
ート５のレーザ抜け面５ｂ側には、撥液膜１０が設けら
れている。このノズル形成用シート５は、光吸収係数の
高いポリイミドからなる厚さ約５０ミクロンメートルの
シート基材９に、スピナー、印刷などの装置により含フ
ッ素系溶液が均一に塗布され、厚さ１ミクロンメートル
以下の撥液膜１０が形成されてなる。

【００４６】撥液膜１０の上には、ラミネーションによ
り感光性ドライフィルムレジストフィルム層１１が貼り
付けられている。ラミネーションは、撥液膜１０付きノ
ズル形成用シート５を感光性ドライフィルムレジストフ
ィルム層１１と厚さ約１ミリメートルのアルミ板とでサ
ンドイッチしたまま、ラミネーション専用の加熱ローラ
で圧縮して行われる。しかしながら、このままの状態で
はドライフィルムが外部からの力で剥がれ易くなり作業
性が低下するが、紫外線照射によりドライフィルムを硬
化することで、フィルムに強度を付与できる。

【００４７】このように平坦性の高いドライフィルムを
使用し、感光性ドライフィルムレジストをラミネーター
（加熱ローラによる圧着）によりノズルプレートの撥液
面に貼り付け、ＵＶ硬化処理を行なうことで、ノズル形
成用シート５の撥液膜１０との間に微細な気泡が封入さ
れること無く、密着性の良いレジストフィルム層１１が
得られる。

【００４８】レジストフィルム層１１を有するノズル形
成用シート５に、上記（実施の形態１）と同様に未処理
面側からエキシマレーザ１による加工処理を施すと、ポ
リイミド製のシート基材９、撥液膜１０そしてレジスト
フィルム層１１に至るまで加工処理が行なわれ、撥液膜
１０の下部孔が完全な形で形成される。

【００４９】この時、レジストフィルム層１１は、撥液
膜１０に気泡を有すること無く密着しているため、ノズ
ル周辺における撥液膜面のプラズマや高温高圧ガスの発
生を低減でき、図４（ｂ）に示すように、レーザ抜け面
５ｂ側からみた場合にノズル７の孔周辺部の撥液膜１０
に損傷領域のないインク液滴の飛翔が安定でかつ方向性
の良い良好なノズルが実現できる。

【００５０】また、レーザ加工を施した後に、ノズル形
成用シート５に密着しているレジストフィルム層１１を
アセトンなどの溶剤に浸漬し、超音波洗浄などを行なう
ことで、ノズル形成用シート５にストレスを与えて変形
させること無く、レジストフィルム層１１を容易に除去
できる。

【００５１】従って、上記のように形成されたノズルを
使用したインク噴射装置は、印字品質が良好となる。な
お、上記各実施の形態において、被加工物の材料として
ポリイミドを例に挙げて説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、ポリスチレンやポリサルフォン
なども使用できる。

【００５２】

【発明の効果】以上のように本発明のインクジェットヘ
ッドのノズル形成方法によると、被加工物にレーザを照
射して前記レーザ入射面の径が前記レーザ抜け面の径よ
りも大きい孔を穿設してインクジェットヘッドのノズル
を形成するに際し、前記被加工物の厚みに応じてレーザ
集光スポット径を変えながら加工処理することで、大き
なテーパ角を有するノズルを高い寸法精度で形成でき、
インク液滴体積のばらつきの少ないノズルが実現でき
る。

【００５３】また、レーザ抜け面に撥液膜が形成された
被加工物にレーザを照射して前記レーザ入射面の径が前
記レーザ抜け面の径よりも大きい孔を穿設してインクジ
ェットヘッドのノズルを形成するに際し、被加工物の前
記撥液膜の上に感光性ドライフィルムレジストをラミネ
ーションした後、前記被加工物の未処理面側からレーザ
を照射して加工処理することで、エキシマレーザの加工
時に発生する熱及びプラズマによる撥液膜の損傷を確実
に保護でき、インク飛翔方向のばらつきの少ないノズル
が得られる。

【００５４】従って、これらの方法によって製造された
ノズルを使用したインク噴射装置は、優れた印字品質が
得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の（実施の形態１）におけるノズル形成
方法を説明する構成図

【図２】図１の要部拡大断面図

【図３】図１のマスク２を説明する模式図

【図４】本発明の（実施の形態２）における撥液膜付き
ノズルシートの縦断面図とレーザ抜け面側からみたノズ
ルの周辺部を示す模式図

【図５】従来例のノズル形成方法を説明する構成図

【図６】レーザの照射エネルギー密度とテーパ角度及び
下部孔直径のばらつきを説明する図

【図７】従来例の撥液膜付きノズルシートの縦断面図と
レーザ抜け面側からみたノズルの周辺部を示す模式図

【符号の説明】

１エキシマレーザビーム２マスク３集光レンズ４集光ビーム５ノズル形成用シート６ａ加工テーブル７ノズル８マスクパターン９シート基材１０撥液膜１１感光性ドライフィルムレジスト１７レーザ発振器

フロントページの続き (72)発明者大賀隆義香川県高松市古新町８番地の１松下寿電子工業株式会社内 (72)発明者瀬尾直之香川県高松市古新町８番地の１松下寿電子工業株式会社内 (72)発明者松井昌朋香川県高松市古新町８番地の１松下寿電子工業株式会社内Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG07 AP13 AP23 AP60 AQ03 4E068 AF01 CA07 CA11 CA12 CD10 CE05 DA09 DB10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被加工物にレーザを照射して前記レーザ入
射面の径が前記レーザ抜け面の径よりも大きい孔を穿設
してインクジェットヘッドのノズルを形成するに際し、前記被加工物の厚みに応じてレーザ集光スポット径を変
えながら加工処理するインクジェットヘッドのノズル形
成方法。
【請求項２】レーザ源と被加工物との間隔を近接させた
状態から、前記レーザ抜け面で所望の径が得られる適正
な間隔まで加工ショットに連動して前記レーザ源と前記
被加工物の間隔を調整しながら加工処理する請求項１記
載のインクジェットヘッドのノズル形成方法。
【請求項３】前記加工ショットに連動してレーザ集光ス
ポット径が大きいものから小さいものへ変更する請求項
１記載のインクジェットヘッドのノズル形成方法。
【請求項４】前記レーザの集光角度を前記ノズルのテー
パ角度よりも小さくして前記レーザを照射する請求項１
〜請求項３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの
ノズル形成方法。
【請求項５】レーザの照射経路にマスクを配設して前記
マスクに前記集光スポット径の変化数に対応した径の孔
パターンを形成し、被加工物の加工深さに応じて前記マ
スクの孔パターンを変える請求項１記載のインクジェッ
トヘッドのノズル形成方法。
【請求項６】前記レーザの照射エネルギー密度をレーザ
抜け面における加工孔径のばらつきが１ミクロンメート
ル以下となるようにして加工処理する請求項１〜請求項
５のいずれかに記載のインクジェットヘッドのノズル形
成方法。
【請求項７】前記被加工物の厚みに応じて前記レーザ集
光スポット径を変えるに際し、加工深度とレーザ集光スポット径の連動を１次、２次、
指数、ステップ等の関数式により制御する請求項１〜請
求項６のいずれかに記載のインクジェットヘッドのノズ
ル形成方法。
【請求項８】レーザ抜け面に撥液膜が形成された被加工
物にレーザを照射して前記レーザ入射面の径が前記レー
ザ抜け面の径よりも大きい孔を穿設してインクジェット
ヘッドのノズルを形成するに際し、被加工物の前記撥液膜の上にフィルムレジストをラミネ
ーションした後、前記被加工物の未処理面側からレーザ
を照射して加工処理するインクジェットヘッドのノズル
形成方法。
【請求項９】上記ラミネーションを加熱したローラで圧
延して行なう請求項８記載のインクジェットヘッドのノ
ズル形成方法。
【請求項１０】前記ラミネーションを行った後の感光性
ドライフィルムレジストに紫外線を照射して硬化させて
レーザを照射する請求項８または請求項９記載のインク
ジェットヘッドのノズル形成方法。
【請求項１１】前記レーザ加工後に前記フィルムレジス
トを溶剤にて除去する請求項８〜請求項１０のいずれか
に記載のインクジェットヘッドのノズル形成方法。
【請求項１２】前記被加工物の材料が、ポリスチレン、
ポリイミド、ポリサルフォンである請求項１〜請求項１
１のいずれかに記載のインクジェットヘッドのノズル形
成方法。
【請求項１３】前記撥液膜がフッ素系材料からなりその
膜厚が１ミクロンメートル以下である請求項８〜請求項
１２のいずれかに記載のインクジェットヘッドのノズル
形成方法。
【請求項１４】前記レーザにエキシマレーザを用いる請
求項１または請求項８記載のインクジェットヘッドのノ
ズル形成方法。