JPH10235871A - インクジェットヘッドのインク吐出口形成方法 - Google Patents
インクジェットヘッドのインク吐出口形成方法Info
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- JPH10235871A JPH10235871A JP9042695A JP4269597A JPH10235871A JP H10235871 A JPH10235871 A JP H10235871A JP 9042695 A JP9042695 A JP 9042695A JP 4269597 A JP4269597 A JP 4269597A JP H10235871 A JPH10235871 A JP H10235871A
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- plate
- mask
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インク吐出口を高い精度で形成することであ
る。 【解決手段】 ヘッド本体６の端面開口部に高分子材料
からなるノズル板１６を接着し、前記ノズル板１６の表
面に多数の円形開口２１を有する金属板からなるマスク
板２２を接着して少なくとも２方向以上の入射角でレー
ザ光を照射して前記マスク板２２に設けられた円形開口
２１部分の接着剤１７，２０と前記ノズル板１６の高分
子膜を除去し、前記マスク板２２を取り外すことにより
インクジェットヘッドのインク吐出口２１を形成する方
法において、前記マスク板２２の接着を耐熱性接着剤を
もって接着するようにした。
る。 【解決手段】 ヘッド本体６の端面開口部に高分子材料
からなるノズル板１６を接着し、前記ノズル板１６の表
面に多数の円形開口２１を有する金属板からなるマスク
板２２を接着して少なくとも２方向以上の入射角でレー
ザ光を照射して前記マスク板２２に設けられた円形開口
２１部分の接着剤１７，２０と前記ノズル板１６の高分
子膜を除去し、前記マスク板２２を取り外すことにより
インクジェットヘッドのインク吐出口２１を形成する方
法において、前記マスク板２２の接着を耐熱性接着剤を
もって接着するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多数のインク吐出
口を備えたインクジェットヘッドに係るものであり、特
に、ヘッド本体に高分子材料からなるノズル板を接着し
た後にレーザ光照射によりノズル板に多数のインク吐出
口を形成するようにしたインクジェットヘッドのインク
吐出口形成方法に関するものである。
口を備えたインクジェットヘッドに係るものであり、特
に、ヘッド本体に高分子材料からなるノズル板を接着し
た後にレーザ光照射によりノズル板に多数のインク吐出
口を形成するようにしたインクジェットヘッドのインク
吐出口形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電部材を用いたオンデマンド方
式のインクジェットプリンタにおいて採用されているイ
ンクジェットヘッド１の構造を図１２に示す。すなわ
ち、このインクジェットヘッド１は、少なくとも一方が
圧電部材よりなる下層基板２及び上層基板３とからなる
積層された基板４と天板５を接着又は接合により一体化
してヘッド本体６を形成した後、このヘッド本体６の端
面開口部にノズル板７を接着した構造になっている。さ
らに、詳しく説明すると、基板４には、上層基板３の上
面から下層基板２の内部まで到達するとともに前面が開
口し後部が閉鎖した多数の溝８が形成されており、さら
に、これらの溝８の後部から基板４の上面後端まで延長
して前記溝８内に形成された電極９ａに接続された配線
パターン９ｂが形成されている。この時、基板４に形成
された溝８は、それらの溝８の両側に形成された側壁１
０と天板５とで一つ一つが遮断されてインク流路を兼ね
たインク室１１とされ、さらに、これらのインク室１１
のすべてに連通するインク供給口として作用する共通イ
ンク供給路１２が前記天板５の下面に形成されている。
また、前記ノズル板７には、前記インク室１１毎に開口
するインク吐出口１３が形成されている。
式のインクジェットプリンタにおいて採用されているイ
ンクジェットヘッド１の構造を図１２に示す。すなわ
ち、このインクジェットヘッド１は、少なくとも一方が
圧電部材よりなる下層基板２及び上層基板３とからなる
積層された基板４と天板５を接着又は接合により一体化
してヘッド本体６を形成した後、このヘッド本体６の端
面開口部にノズル板７を接着した構造になっている。さ
らに、詳しく説明すると、基板４には、上層基板３の上
面から下層基板２の内部まで到達するとともに前面が開
口し後部が閉鎖した多数の溝８が形成されており、さら
に、これらの溝８の後部から基板４の上面後端まで延長
して前記溝８内に形成された電極９ａに接続された配線
パターン９ｂが形成されている。この時、基板４に形成
された溝８は、それらの溝８の両側に形成された側壁１
０と天板５とで一つ一つが遮断されてインク流路を兼ね
たインク室１１とされ、さらに、これらのインク室１１
のすべてに連通するインク供給口として作用する共通イ
ンク供給路１２が前記天板５の下面に形成されている。
また、前記ノズル板７には、前記インク室１１毎に開口
するインク吐出口１３が形成されている。
【０００３】しかして、一般に、ノズル板７に形成され
るインク吐出口１３の孔径は、約３０μｍであり、ノズ
ル板７としては、板厚５０μｍ程度の金属板が使用され
る。このようなノズル板７の製造は、通常、電鋳法と呼
ばれるメッキ法が用いられる。このメッキ法により製造
されたノズル板７には、多数のインク吐出口１３が形成
されており、ヘッド本体６に接着固定される。この接着
固定時に、ヘッド本体６の溝８とノズル板７のインク吐
出口１３との位置を精密に位置決めする必要がある。
るインク吐出口１３の孔径は、約３０μｍであり、ノズ
ル板７としては、板厚５０μｍ程度の金属板が使用され
る。このようなノズル板７の製造は、通常、電鋳法と呼
ばれるメッキ法が用いられる。このメッキ法により製造
されたノズル板７には、多数のインク吐出口１３が形成
されており、ヘッド本体６に接着固定される。この接着
固定時に、ヘッド本体６の溝８とノズル板７のインク吐
出口１３との位置を精密に位置決めする必要がある。
【０００４】別の手段としては、インク吐出口１３が予
め形成されていないノズル板７をヘッド本体６に接着
し、その後に、ノズル板７にレーザ光で孔明をしてイン
ク吐出口１３を形成することが行なわれている。この場
合、ノズル板７の材料としては、主に高分子材料が使用
され、レーザ光としては精密なアブレーション加工が可
能なエキシマレーザが使用される。そして、図１３に示
すように、インク吐出口１３の形状は、インクの良好な
吐出のために、レーザが照射される入射方向に対して逆
テーパであることが必須要件とされている。このような
逆テーパのインク吐出口１３を形成する方法としては、
反射対物レンズによる方法や、金属ステンシルマスクを
ポリイミドプレートに密着し、被加工物をビームに対し
て傾かせて孔明する方法（特公平６−２４８７４号公報
参照）がある。
め形成されていないノズル板７をヘッド本体６に接着
し、その後に、ノズル板７にレーザ光で孔明をしてイン
ク吐出口１３を形成することが行なわれている。この場
合、ノズル板７の材料としては、主に高分子材料が使用
され、レーザ光としては精密なアブレーション加工が可
能なエキシマレーザが使用される。そして、図１３に示
すように、インク吐出口１３の形状は、インクの良好な
吐出のために、レーザが照射される入射方向に対して逆
テーパであることが必須要件とされている。このような
逆テーパのインク吐出口１３を形成する方法としては、
反射対物レンズによる方法や、金属ステンシルマスクを
ポリイミドプレートに密着し、被加工物をビームに対し
て傾かせて孔明する方法（特公平６−２４８７４号公報
参照）がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ヘッド本体にノズル板
を接着固定してからインク吐出口をレーザ光により形成
するようにした方法において、形成したインク吐出口が
接着剤により塞がってしまうと云う問題がある。前述の
反射対物レンズによる方法は、インク吐出口を１つずつ
しか形成することができないため、数百個のインク吐出
口を形成するには、時間がかかると云う問題点を有して
いる。また、後者の被加工物をビームに対して傾かせて
孔明する方法は、一括して多数のインク吐出口を形成す
ることができると云う利点を有する。しかしながら、孔
明に当たっては、ノズル板１５の表面にマスク板１４を
密着させているものであるが、この密着距離精度を確保
することが必須の要件であり、実際には、レーザ照射時
に金属によるマスク板１４が加熱され、変形することに
より、数μｍの間隙がマスク板１４とノズル板１５との
間に生じ、これにより、孔形状が楕円になったり、精度
が悪化すると云う問題点がある。すなわち、マスク板１
４とノズル板１５との間に隙間が生じた場合のインク吐
出口１３の孔径に影響する状態を図１４に示す。ここ
で、一点鎖線で示したものが、マスク板１４とノズル板
１５とが密着してＡなる所望の孔径のインク吐出口１３
が形成される状態を示しており、実線で示したものが、
マスク板１４とノズル板１５との間に隙間ｓの浮き上が
りが生じてインク吐出口１３の孔径がＢになってしまっ
た状態を示しているものである。具体的には、入射角を
２０度とした時のマスク板１４とノズル板１５との間の
距離と孔径の増加分との関係は、図１５に示す状態であ
り、例えば、マスク板１４とノズル板１５との間の距離
が３μｍ変化するだけで２μｍの孔径変化が生じる。
を接着固定してからインク吐出口をレーザ光により形成
するようにした方法において、形成したインク吐出口が
接着剤により塞がってしまうと云う問題がある。前述の
反射対物レンズによる方法は、インク吐出口を１つずつ
しか形成することができないため、数百個のインク吐出
口を形成するには、時間がかかると云う問題点を有して
いる。また、後者の被加工物をビームに対して傾かせて
孔明する方法は、一括して多数のインク吐出口を形成す
ることができると云う利点を有する。しかしながら、孔
明に当たっては、ノズル板１５の表面にマスク板１４を
密着させているものであるが、この密着距離精度を確保
することが必須の要件であり、実際には、レーザ照射時
に金属によるマスク板１４が加熱され、変形することに
より、数μｍの間隙がマスク板１４とノズル板１５との
間に生じ、これにより、孔形状が楕円になったり、精度
が悪化すると云う問題点がある。すなわち、マスク板１
４とノズル板１５との間に隙間が生じた場合のインク吐
出口１３の孔径に影響する状態を図１４に示す。ここ
で、一点鎖線で示したものが、マスク板１４とノズル板
１５とが密着してＡなる所望の孔径のインク吐出口１３
が形成される状態を示しており、実線で示したものが、
マスク板１４とノズル板１５との間に隙間ｓの浮き上が
りが生じてインク吐出口１３の孔径がＢになってしまっ
た状態を示しているものである。具体的には、入射角を
２０度とした時のマスク板１４とノズル板１５との間の
距離と孔径の増加分との関係は、図１５に示す状態であ
り、例えば、マスク板１４とノズル板１５との間の距離
が３μｍ変化するだけで２μｍの孔径変化が生じる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
高分子材料からなるノズル板をインクが供給される溝が
形成されたヘッド本体の端面開口部に接着するノズル板
接着工程と、前記ノズル板の表面に多数の円形開口を有
する金属板からなるマスク板を接着するマスク接着工程
と、前記マスク板の上方の少なくとも２方向以上の入射
角でレーザ光を照射して前記マスク板に設けられた円形
開口部分の接着剤と前記ノズル板の高分子膜を除去する
孔明工程と、前記マスク板を取り外すマスク板取外工程
とよりなるインクジェットヘッドのインク吐出口形成方
法において、前記マスク板の接着を耐熱性接着剤をもっ
て接着するようにしたものである。
高分子材料からなるノズル板をインクが供給される溝が
形成されたヘッド本体の端面開口部に接着するノズル板
接着工程と、前記ノズル板の表面に多数の円形開口を有
する金属板からなるマスク板を接着するマスク接着工程
と、前記マスク板の上方の少なくとも２方向以上の入射
角でレーザ光を照射して前記マスク板に設けられた円形
開口部分の接着剤と前記ノズル板の高分子膜を除去する
孔明工程と、前記マスク板を取り外すマスク板取外工程
とよりなるインクジェットヘッドのインク吐出口形成方
法において、前記マスク板の接着を耐熱性接着剤をもっ
て接着するようにしたものである。
【０００７】請求項２記載の発明は、高分子材料からな
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板の接着を熱硬化型樹脂系接着剤をもって接着す
るようにしたものである。
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板の接着を熱硬化型樹脂系接着剤をもって接着す
るようにしたものである。
【０００８】請求項３記載の発明は、請求項２記載のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体の熱膨張係数と略等しい熱膨張係数の材料に
よりマスク板を形成したものである。
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体の熱膨張係数と略等しい熱膨張係数の材料に
よりマスク板を形成したものである。
【０００９】請求項４記載の発明は、高分子材料からな
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板の接着を常温硬化型接着剤をもって接着するよ
うにしたものである。
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板の接着を常温硬化型接着剤をもって接着するよ
うにしたものである。
【００１０】請求項５記載の発明は、高分子材料からな
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板を溶剤にて溶解可能な接着剤で接着し、前記ノ
ズル板を溶剤にて溶解しない接着剤で接着したものであ
る。
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板を溶剤にて溶解可能な接着剤で接着し、前記ノ
ズル板を溶剤にて溶解しない接着剤で接着したものであ
る。
【００１１】請求項６記載の発明は、請求項１、２、４
又は５記載のインクジェットヘッドのインク吐出口形成
方法において、マスク板取外工程でマスク板を取り外し
た後にノズル板の表面に残されたマスク板固定用の接着
剤を溶剤により除去する溶剤除去工程を前記マスク板取
外工程の後に加入したものである。
又は５記載のインクジェットヘッドのインク吐出口形成
方法において、マスク板取外工程でマスク板を取り外し
た後にノズル板の表面に残されたマスク板固定用の接着
剤を溶剤により除去する溶剤除去工程を前記マスク板取
外工程の後に加入したものである。
【００１２】請求項７記載の発明は、請求項６記載のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
ら気体を噴出させてマスク板固定用の接着剤を除去する
ようにしたものである。
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
ら気体を噴出させてマスク板固定用の接着剤を除去する
ようにしたものである。
【００１３】請求項８記載の発明は、請求項６記載のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
らマスク板固定用の接着剤を溶解する溶剤を噴出させて
前記マスク板固定用の接着剤を除去するようにしたもの
である。
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
らマスク板固定用の接着剤を溶解する溶剤を噴出させて
前記マスク板固定用の接着剤を除去するようにしたもの
である。
【００１４】請求項９記載の発明は、請求項８記載のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
らマスク板固定用の接着剤を溶解する溶剤を噴出させて
前記マスク板固定用の接着剤を除去し、その後に、前記
圧力印加手段により印加される圧力媒体を気体に切り換
えるようにしたものである。
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
らマスク板固定用の接着剤を溶解する溶剤を噴出させて
前記マスク板固定用の接着剤を除去し、その後に、前記
圧力印加手段により印加される圧力媒体を気体に切り換
えるようにしたものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の実施の第一の形態を図１
乃至図１０に基づいて説明する。図１１乃至図１４で説
明した部分と同一部分は同一符号を用い説明も省略す
る。まず、溝８が形成されたヘッド本体６の端面開口部
に、高分子材料、すなわち、ポリイミドやポリサルフォ
ンよりなる所定厚さのノズル板１６を接着剤１７により
接着する。この接着は、図２に示すように、ＰＥＴフィ
ルム１８の一面に２液性エポキシ樹脂等よりなる前記接
着剤１７を６〜７μｍの厚さにスクリーン印刷等により
塗布し、ヘッド本体６の端面開口部に接着剤１７側を接
触させてローラ等の加圧具１９で押圧して転写する。ヘ
ッド本体６に転写された接着剤１７の厚さは、３〜３.
５ μｍとなる。このように転写された接着剤１７の上
にノズル板１６を接合させ、接着剤１７が十分に硬化す
るまで均一な圧力をかける治具にセットして接着固定す
るものである。ついで、図３に示すように、ノズル板１
６の表面をアセトン等で洗浄してその表面を乾かしてか
らシアノアクリレート系接着剤（瞬間接着剤）等のマス
ク接着剤２０を滴下して多数の円形開口２１が形成され
た金属ステンシルマスクによるマスク板２２が接着され
る。この場合にも、接着剤２０が十分に硬化するまで均
一な圧力をかける治具にセットしておく。
乃至図１０に基づいて説明する。図１１乃至図１４で説
明した部分と同一部分は同一符号を用い説明も省略す
る。まず、溝８が形成されたヘッド本体６の端面開口部
に、高分子材料、すなわち、ポリイミドやポリサルフォ
ンよりなる所定厚さのノズル板１６を接着剤１７により
接着する。この接着は、図２に示すように、ＰＥＴフィ
ルム１８の一面に２液性エポキシ樹脂等よりなる前記接
着剤１７を６〜７μｍの厚さにスクリーン印刷等により
塗布し、ヘッド本体６の端面開口部に接着剤１７側を接
触させてローラ等の加圧具１９で押圧して転写する。ヘ
ッド本体６に転写された接着剤１７の厚さは、３〜３.
５ μｍとなる。このように転写された接着剤１７の上
にノズル板１６を接合させ、接着剤１７が十分に硬化す
るまで均一な圧力をかける治具にセットして接着固定す
るものである。ついで、図３に示すように、ノズル板１
６の表面をアセトン等で洗浄してその表面を乾かしてか
らシアノアクリレート系接着剤（瞬間接着剤）等のマス
ク接着剤２０を滴下して多数の円形開口２１が形成され
た金属ステンシルマスクによるマスク板２２が接着され
る。この場合にも、接着剤２０が十分に硬化するまで均
一な圧力をかける治具にセットしておく。
【００１６】このようにしてノズル板１６が接着固定さ
れたヘッド本体６を図４に示すレーザ装置２３により図
５に示すように３ステップで逆テーパを持ったインク吐
出口２４が形成される。前記レーザ装置２３は、Ｘテー
ブル２５上に直線移動できるように取り付けられた可動
台２６が設けられ、この可動台２６に円弧運動するゴニ
オステージ２７が設けられ、このゴニオステージ２７に
前記インク吐出口２４の位置が回転中心となるように前
記ヘッド本体６が取り付けられている。ついで、レーザ
発振器２８が設けられ、このレーザ発振器２８から発生
したレーザ光２９は、反射鏡３０、入射レンズ３１、カ
ライドスコープ３２、結像レンズ３３を経て前記ノズル
板１６に照射されている。ついで、このレーザ装置２３
によるインク吐出口２４の形成は、図５に示すように、
１回目として右上から左下に向けてレーザ光２９を照射
して斜めの孔を形成し、２回目として左上から右下に向
けてレーザ光２９を照射して１回目の孔と合成し、３回
目として垂直方向にレーザ光を照射して中心部分を加工
する。このようにして形成されたインク吐出口２４は、
上面が円形であり、下面が一方向に長い長孔となってい
るものである。
れたヘッド本体６を図４に示すレーザ装置２３により図
５に示すように３ステップで逆テーパを持ったインク吐
出口２４が形成される。前記レーザ装置２３は、Ｘテー
ブル２５上に直線移動できるように取り付けられた可動
台２６が設けられ、この可動台２６に円弧運動するゴニ
オステージ２７が設けられ、このゴニオステージ２７に
前記インク吐出口２４の位置が回転中心となるように前
記ヘッド本体６が取り付けられている。ついで、レーザ
発振器２８が設けられ、このレーザ発振器２８から発生
したレーザ光２９は、反射鏡３０、入射レンズ３１、カ
ライドスコープ３２、結像レンズ３３を経て前記ノズル
板１６に照射されている。ついで、このレーザ装置２３
によるインク吐出口２４の形成は、図５に示すように、
１回目として右上から左下に向けてレーザ光２９を照射
して斜めの孔を形成し、２回目として左上から右下に向
けてレーザ光２９を照射して１回目の孔と合成し、３回
目として垂直方向にレーザ光を照射して中心部分を加工
する。このようにして形成されたインク吐出口２４は、
上面が円形であり、下面が一方向に長い長孔となってい
るものである。
【００１７】このようにしてレーザ光２９の照射によ
り、高分子材料よりなるノズル板１６と接着剤１７、マ
スク接着剤２０がアブレレーション（除去）される。レ
ーザ光２９の照射範囲は、マスク板２２の円形開口２１
より大きい範囲にわたるものであるが、ノズル板１６に
対しては、マスク板２２の円形開口２１により照射範囲
が規制される。具体的には、ゴニオステージ２７でヘッ
ド本体６を傾けた状態でＸテーブル２５をＸ方向に移動
させてレーザ光２９の照射を一回行ない、ついで、２回
目としてゴニオステージ２７を逆方向に回動させてから
Ｘテーブル２５を移動させ、さらに、３回目としてゴニ
オステージ２７を水平にしてＸテーブル２５を移動させ
ることにより、逆テーパ状のインク吐出口２４が形成さ
れる。実際には、ノズル板１６上に存在する接着剤１
７、マスク接着剤２０の存在により、通常は、さらに数
回のレーザ光２９の走査が必要である。
り、高分子材料よりなるノズル板１６と接着剤１７、マ
スク接着剤２０がアブレレーション（除去）される。レ
ーザ光２９の照射範囲は、マスク板２２の円形開口２１
より大きい範囲にわたるものであるが、ノズル板１６に
対しては、マスク板２２の円形開口２１により照射範囲
が規制される。具体的には、ゴニオステージ２７でヘッ
ド本体６を傾けた状態でＸテーブル２５をＸ方向に移動
させてレーザ光２９の照射を一回行ない、ついで、２回
目としてゴニオステージ２７を逆方向に回動させてから
Ｘテーブル２５を移動させ、さらに、３回目としてゴニ
オステージ２７を水平にしてＸテーブル２５を移動させ
ることにより、逆テーパ状のインク吐出口２４が形成さ
れる。実際には、ノズル板１６上に存在する接着剤１
７、マスク接着剤２０の存在により、通常は、さらに数
回のレーザ光２９の走査が必要である。
【００１８】さらに、図６〜図８に基づいてマスク板２
２の具体的な形状を説明する。このマスク板２２は、電
鋳法等により製作され、その円形開口２１は、下方が細
径になるテーパ孔により形成されている。このテーパの
度合いは、形成しようとするインク吐出口２４のテーパ
の状態に一致しており、インク吐出口２４に加工に要す
るレーザ光２９の照射がマスク板２２により遮断されな
いようにするためである。そして、レーザ光２９の照射
領域は、１００〜２００℃に加熱されるが、接着剤１７
としては、熱硬化型樹脂系接着剤のような耐熱性接着剤
が用いられているため、ノズル板１６に対するマスク板
２２の浮き上がりが発生することはない。そのため、イ
ンク吐出口２４の加工精度はきわめて高い（請求項１、
２）。
２の具体的な形状を説明する。このマスク板２２は、電
鋳法等により製作され、その円形開口２１は、下方が細
径になるテーパ孔により形成されている。このテーパの
度合いは、形成しようとするインク吐出口２４のテーパ
の状態に一致しており、インク吐出口２４に加工に要す
るレーザ光２９の照射がマスク板２２により遮断されな
いようにするためである。そして、レーザ光２９の照射
領域は、１００〜２００℃に加熱されるが、接着剤１７
としては、熱硬化型樹脂系接着剤のような耐熱性接着剤
が用いられているため、ノズル板１６に対するマスク板
２２の浮き上がりが発生することはない。そのため、イ
ンク吐出口２４の加工精度はきわめて高い（請求項１、
２）。
【００１９】このようにインク吐出口２４を形成した後
に、マスク板２２は、図９に示すように、全体をアセト
ン溶液３４の中に浸漬して剥離される。この剥離時に、
ノズル板１６の表面にはマスク接着剤２０の一部が残留
するが、図１０に示すように、このまま超音波洗浄を行
なう（請求項６）。この場合、アセトン溶液３４は、マ
スク接着剤２０を溶解し、ノズル板１６を接着している
接着剤１７を溶解しないものである（請求項５）。この
溶剤としては、エタノール等も利用できる。さらに、図
１１に示すように、圧力印加手段３５として空気圧発生
装置や溶剤供給装置を用い、この圧力印加手段３５をヘ
ッド本体６のインク供給口として作用している共通イン
ク供給路１２から図１０に示すアセトン溶液３４による
マスク接着剤２０の溶解時に窒素ガスを供給し、これに
より、ノズル板１６に形成されたインク吐出口２４から
窒素ガスを噴出させながらマスク接着剤２０の除去を行
なうことにより、インク吐出口２４の目詰まりが発生す
ることがない（請求項７）。また、窒素ガスに変えてア
セトン溶液３４等の溶剤を噴出させることも有効である
（請求項８）。さらに、アセトン溶液３４等の溶剤を噴
出させた後に、空気若しくは窒素ガスのような気体を噴
出させることにより、より一層の目詰まり防止を図るこ
とが出来る（請求項９）。このようにインク吐出口２４
に残留接着剤が残らないようにすることは、各インク吐
出口２４からのインク吐出方向が乱れることを防止する
ものであり、製品品質に与える影響は大きい。
に、マスク板２２は、図９に示すように、全体をアセト
ン溶液３４の中に浸漬して剥離される。この剥離時に、
ノズル板１６の表面にはマスク接着剤２０の一部が残留
するが、図１０に示すように、このまま超音波洗浄を行
なう（請求項６）。この場合、アセトン溶液３４は、マ
スク接着剤２０を溶解し、ノズル板１６を接着している
接着剤１７を溶解しないものである（請求項５）。この
溶剤としては、エタノール等も利用できる。さらに、図
１１に示すように、圧力印加手段３５として空気圧発生
装置や溶剤供給装置を用い、この圧力印加手段３５をヘ
ッド本体６のインク供給口として作用している共通イン
ク供給路１２から図１０に示すアセトン溶液３４による
マスク接着剤２０の溶解時に窒素ガスを供給し、これに
より、ノズル板１６に形成されたインク吐出口２４から
窒素ガスを噴出させながらマスク接着剤２０の除去を行
なうことにより、インク吐出口２４の目詰まりが発生す
ることがない（請求項７）。また、窒素ガスに変えてア
セトン溶液３４等の溶剤を噴出させることも有効である
（請求項８）。さらに、アセトン溶液３４等の溶剤を噴
出させた後に、空気若しくは窒素ガスのような気体を噴
出させることにより、より一層の目詰まり防止を図るこ
とが出来る（請求項９）。このようにインク吐出口２４
に残留接着剤が残らないようにすることは、各インク吐
出口２４からのインク吐出方向が乱れることを防止する
ものであり、製品品質に与える影響は大きい。
【００２０】次に、本発明の実施の第二の形態を説明す
る（請求項３）。本実施の形態は、マスク板２２をヘッ
ド本体６と熱膨張係数がほぼ等しい材質とし、マスク接
着剤２０として加熱硬化型接着剤を用いたものである。
ヘッド本体６の熱膨張係数が主として圧電部材（ＰＺ
Ｔ）により決まるものであるとすれば、マスク板２２と
してアンバー、４２アロイ、コバールといった低熱膨張
係数の合金を用いることが好適である。マスク接着剤２
０としては、エポキシ系の熱硬化型接着剤が使用され
る。これにより、接着時に加熱しても、マスク板２２と
ヘッド本体６との熱膨張係数がほぼ等しいことから、円
形開口２１の位置ずれが発生することがない。レーザ光
２９の照射により加熱された場合にも同様である。
る（請求項３）。本実施の形態は、マスク板２２をヘッ
ド本体６と熱膨張係数がほぼ等しい材質とし、マスク接
着剤２０として加熱硬化型接着剤を用いたものである。
ヘッド本体６の熱膨張係数が主として圧電部材（ＰＺ
Ｔ）により決まるものであるとすれば、マスク板２２と
してアンバー、４２アロイ、コバールといった低熱膨張
係数の合金を用いることが好適である。マスク接着剤２
０としては、エポキシ系の熱硬化型接着剤が使用され
る。これにより、接着時に加熱しても、マスク板２２と
ヘッド本体６との熱膨張係数がほぼ等しいことから、円
形開口２１の位置ずれが発生することがない。レーザ光
２９の照射により加熱された場合にも同様である。
【００２１】さらに、本発明の実施の第三の形態を説明
する（請求項４）。本実施の形態は、マスク板２２をヘ
ッド本体６に接着するマスク接着剤２０として、常温硬
化型接着剤を用いたものである。この常温硬化型接着剤
としては、瞬間接着剤、エポキシ系の２液性常温硬化型
接着剤等が使用できる。
する（請求項４）。本実施の形態は、マスク板２２をヘ
ッド本体６に接着するマスク接着剤２０として、常温硬
化型接着剤を用いたものである。この常温硬化型接着剤
としては、瞬間接着剤、エポキシ系の２液性常温硬化型
接着剤等が使用できる。
【００２２】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、高分子材料から
なるノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッ
ド本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前
記ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板から
なるマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク
板の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を
照射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着
剤と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前
記マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるイン
クジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前
記マスク板の接着を耐熱性接着剤をもって接着するよう
にしたので、レーザ光によるインク吐出口の加工時にマ
スクがノズル板から浮き上がることがなく、これによ
り、きわめて高い加工精度でインク吐出口を形成するこ
とができると云う効果を有する。
なるノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッ
ド本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前
記ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板から
なるマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク
板の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を
照射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着
剤と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前
記マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるイン
クジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前
記マスク板の接着を耐熱性接着剤をもって接着するよう
にしたので、レーザ光によるインク吐出口の加工時にマ
スクがノズル板から浮き上がることがなく、これによ
り、きわめて高い加工精度でインク吐出口を形成するこ
とができると云う効果を有する。
【００２３】請求項２記載の発明は、高分子材料からな
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板の接着を熱硬化型樹脂系接着剤をもって接着す
るようにしたので、レーザ光によるインク吐出口の加工
時にマスクがノズル板から浮き上がることがなく、これ
により、きわめて高い加工精度でインク吐出口を形成す
ることができると云う効果を有する。
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板の接着を熱硬化型樹脂系接着剤をもって接着す
るようにしたので、レーザ光によるインク吐出口の加工
時にマスクがノズル板から浮き上がることがなく、これ
により、きわめて高い加工精度でインク吐出口を形成す
ることができると云う効果を有する。
【００２４】請求項３記載の発明は、請求項２記載のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体の熱膨張係数と略等しい熱膨張係数の材料に
よりマスク板を形成したので、マスク板の接着時又はレ
ーザ光照射時に熱的歪みが発生することがなく、これに
より、インク吐出口の位置精度を高めることができると
云う効果を有する。
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体の熱膨張係数と略等しい熱膨張係数の材料に
よりマスク板を形成したので、マスク板の接着時又はレ
ーザ光照射時に熱的歪みが発生することがなく、これに
より、インク吐出口の位置精度を高めることができると
云う効果を有する。
【００２５】請求項４記載の発明は、高分子材料からな
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板の接着を常温硬化型接着剤をもって接着するよ
うにしたので、マスク板を接着した状態でのヘッド本体
の歪みの発生を防止することができ、これにより、高い
精度でインク吐出口を形成することができると云う効果
を有する。
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板の接着を常温硬化型接着剤をもって接着するよ
うにしたので、マスク板を接着した状態でのヘッド本体
の歪みの発生を防止することができ、これにより、高い
精度でインク吐出口を形成することができると云う効果
を有する。
【００２６】請求項５記載の発明は、高分子材料からな
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板を溶剤にて溶解可能な接着剤で接着し、前記ノ
ズル板を溶剤にて溶解しない接着剤で接着したので、マ
スク板を剥離した後のマスク接着剤の除去を容易に行な
うことができると云う効果を有する請求項６記載の発明
は、請求項１、２、４又は５記載のインクジェットヘッ
ドのインク吐出口形成方法において、マスク板取外工程
でマスク板を取り外した後にノズル板の表面に残された
マスク板固定用の接着剤を溶剤により除去する溶剤除去
工程を前記マスク板取外工程の後に加入したので、イン
クの吐出方向が安定したインクジェットヘッドを得るこ
とができると云う効果を有する。
るノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド
本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記
ノズル板の表面に多数の円形開口を有する金属板からな
るマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板
の上方の少なくとも２方向以上の入射角でレーザ光を照
射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤
と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記
マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインク
ジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、前記
マスク板を溶剤にて溶解可能な接着剤で接着し、前記ノ
ズル板を溶剤にて溶解しない接着剤で接着したので、マ
スク板を剥離した後のマスク接着剤の除去を容易に行な
うことができると云う効果を有する請求項６記載の発明
は、請求項１、２、４又は５記載のインクジェットヘッ
ドのインク吐出口形成方法において、マスク板取外工程
でマスク板を取り外した後にノズル板の表面に残された
マスク板固定用の接着剤を溶剤により除去する溶剤除去
工程を前記マスク板取外工程の後に加入したので、イン
クの吐出方向が安定したインクジェットヘッドを得るこ
とができると云う効果を有する。
【００２７】請求項７記載の発明は、請求項６記載のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
ら気体を噴出させてマスク板固定用の接着剤を除去する
ようにしたので、インク吐出口に接着剤が残ることがな
く、これにより、インクの吐出方向が安定したインクジ
ェットヘッドを得ることができると云う効果を有する。
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
ら気体を噴出させてマスク板固定用の接着剤を除去する
ようにしたので、インク吐出口に接着剤が残ることがな
く、これにより、インクの吐出方向が安定したインクジ
ェットヘッドを得ることができると云う効果を有する。
【００２８】請求項８記載の発明は、請求項６記載のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
らマスク板固定用の接着剤を溶解する溶剤を噴出させて
前記マスク板固定用の接着剤を除去するようにしたの
で、インク吐出口に接着剤が残ることがなく、これによ
り、インクの吐出方向が安定したインクジェットヘッド
を得ることができると云う効果を有する。
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
らマスク板固定用の接着剤を溶解する溶剤を噴出させて
前記マスク板固定用の接着剤を除去するようにしたの
で、インク吐出口に接着剤が残ることがなく、これによ
り、インクの吐出方向が安定したインクジェットヘッド
を得ることができると云う効果を有する。
【００２９】請求項９記載の発明は、請求項８記載のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
らマスク板固定用の接着剤を溶解する溶剤を噴出させて
前記マスク板固定用の接着剤を除去し、その後に、前記
圧力印加手段により印加される圧力媒体を気体に切り換
えるようにしたので、インク吐出口に接着剤が残ること
がなく、これにより、インクの吐出方向が安定したイン
クジェットヘッドを得ることができると云う効果を有す
る。
ンクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、
ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧力を加える圧力
印加手段を備え、ノズル板に形成されたインク吐出口か
らマスク板固定用の接着剤を溶解する溶剤を噴出させて
前記マスク板固定用の接着剤を除去し、その後に、前記
圧力印加手段により印加される圧力媒体を気体に切り換
えるようにしたので、インク吐出口に接着剤が残ること
がなく、これにより、インクの吐出方向が安定したイン
クジェットヘッドを得ることができると云う効果を有す
る。
【図１】本発明の実施の第一の形態を示すもので、イン
ク吐出口を形成するための全ての工程を示す工程図であ
る。
ク吐出口を形成するための全ての工程を示す工程図であ
る。
【図２】ヘッド本体にノズル板を接着する工程を示す工
程図である。
程図である。
【図３】ノズル板が接着されたヘッド本体にマスク板を
接着する工程を示す工程図である。
接着する工程を示す工程図である。
【図４】レーザ装置の全体を示す斜視図である。
【図５】インク吐出口の加工ステップを示す縦断側面図
である。
である。
【図６】インク吐出口を形成する前の状態を示す縦断側
面図である。
面図である。
【図７】インク吐出口を形成した状態を示す縦断側面図
である。
である。
【図８】多数のインク吐出口の配列状態を示すヘッド本
体の縦断正面図である。
体の縦断正面図である。
【図９】マスク板を剥離するためにアセトン溶液に浸漬
した状態の縦断側面図である。
した状態の縦断側面図である。
【図１０】マスク板が剥離された後のマスク接着剤を除
去している状態の縦断側面図である。
去している状態の縦断側面図である。
【図１１】マスク板が剥離された後のマスク接着剤を除
去している状態の他の例を示す縦断側面図である。
去している状態の他の例を示す縦断側面図である。
【図１２】インクジェットヘッドの一例を示す一部を切
り欠いた斜視図である。
り欠いた斜視図である。
【図１３】インク吐出口の断面形状を示すもので、図８
のＡ−Ａ線断面に相当する部分断面図である。
のＡ−Ａ線断面に相当する部分断面図である。
【図１４】ノズル板からマスク板が浮き上がった時の弊
害を示すための部分断面図である。
害を示すための部分断面図である。
【図１５】ノズル板からマスク板が浮き上がった時の浮
き上がり量と孔径との相対関係を示すグラフである。
き上がり量と孔径との相対関係を示すグラフである。
６ ヘッド本体 ８ 溝 １６ ノズル板 １７ 接着剤 ２０ 接着剤 ２１ 円形開口 ２２ マスク板
Claims (9)
- 【請求項１】 高分子材料からなるノズル板をインクが
供給される溝が形成されたヘッド本体の端面開口部に接
着するノズル板接着工程と、前記ノズル板の表面に多数
の円形開口を有する金属板からなるマスク板を接着する
マスク接着工程と、前記マスク板の上方の少なくとも２
方向以上の入射角でレーザ光を照射して前記マスク板に
設けられた円形開口部分の接着剤と前記ノズル板の高分
子膜を除去する孔明工程と、前記マスク板を取り外すマ
スク板取外工程とよりなるインクジェットヘッドのイン
ク吐出口形成方法において、前記マスク板の接着を耐熱
性接着剤をもって接着するようにしたことを特徴とする
インクジェットヘッドのインク吐出口形成方法。 - 【請求項２】 高分子材料からなるノズル板をインクが
供給される溝が形成されたヘッド本体の端面開口部に接
着するノズル板接着工程と、前記ノズル板の表面に多数
の円形開口を有する金属板からなるマスク板を接着する
マスク接着工程と、前記マスク板の上方の少なくとも２
方向以上の入射角でレーザ光を照射して前記マスク板に
設けられた円形開口部分の接着剤と前記ノズル板の高分
子膜を除去する孔明工程と、前記マスク板を取り外すマ
スク板取外工程とよりなるインクジェットヘッドのイン
ク吐出口形成方法において、前記マスク板の接着を熱硬
化型樹脂系接着剤をもって接着するようにしたことを特
徴とするインクジェットヘッドのインク吐出口形成方
法。 - 【請求項３】 ヘッド本体の熱膨張係数と略等しい熱膨
張係数の材料によりマスク板を形成したことを特徴とす
る請求項２記載のインクジェットヘッドのインク吐出口
形成方法。 - 【請求項４】 高分子材料からなるノズル板をインクが
供給される溝が形成されたヘッド本体の端面開口部に接
着するノズル板接着工程と、前記ノズル板の表面に多数
の円形開口を有する金属板からなるマスク板を接着する
マスク接着工程と、前記マスク板の上方の少なくとも２
方向以上の入射角でレーザ光を照射して前記マスク板に
設けられた円形開口部分の接着剤と前記ノズル板の高分
子膜を除去する孔明工程と、前記マスク板を取り外すマ
スク板取外工程とよりなるインクジェットヘッドのイン
ク吐出口形成方法において、前記マスク板の接着を常温
硬化型接着剤をもって接着するようにしたことを特徴と
するインクジェットヘッドのインク吐出口形成方法。 - 【請求項５】 高分子材料からなるノズル板をインクが
供給される溝が形成されたヘッド本体の端面開口部に接
着するノズル板接着工程と、前記ノズル板の表面に多数
の円形開口を有する金属板からなるマスク板を接着する
マスク接着工程と、前記マスク板の上方の少なくとも２
方向以上の入射角でレーザ光を照射して前記マスク板に
設けられた円形開口部分の接着剤と前記ノズル板の高分
子膜を除去する孔明工程と、前記マスク板を取り外すマ
スク板取外工程とよりなるインクジェットヘッドのイン
ク吐出口形成方法において、溶剤にて溶解可能な接着剤
で前記マスク板を接着し、溶剤にて溶解しない接着剤で
前記ノズル板を接着したことを特徴とするインクジェッ
トヘッドのインク吐出口形成方法。 - 【請求項６】 マスク板取外工程でマスク板を取り外し
た後にノズル板の表面に残されたマスク板固定用の接着
剤を溶剤により除去する溶剤除去工程を前記マスク板取
外工程の後に加入したことを特徴とする請求項１、２、
４又は５記載のインクジェットヘッドのインク吐出口形
成方法。 - 【請求項７】 ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧
力を加える圧力印加手段を備え、ノズル板に形成された
インク吐出口から気体を噴出させてマスク板固定用の接
着剤を除去するようにしたことを特徴とする請求項６記
載のインクジェットヘッドのインク吐出口形成方法。 - 【請求項８】 ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧
力を加える圧力印加手段を備え、ノズル板に形成された
インク吐出口からマスク板固定用の接着剤を溶解する溶
剤を噴出させて前記マスク板固定用の接着剤を除去する
ようにしたことを特徴とする請求項６記載のインクジェ
ットヘッドのインク吐出口形成方法。 - 【請求項９】 ヘッド本体のインク供給口より溝内に圧
力を加える圧力印加手段を備え、ノズル板に形成された
インク吐出口からマスク板固定用の接着剤を溶解する溶
剤を噴出させて前記マスク板固定用の接着剤を除去し、
その後に、前記圧力印加手段により印加される圧力媒体
を気体に切り換えるようにしたことを特徴とする請求項
８記載のインクジェットヘッドのインク吐出口形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9042695A JPH10235871A (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | インクジェットヘッドのインク吐出口形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9042695A JPH10235871A (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | インクジェットヘッドのインク吐出口形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10235871A true JPH10235871A (ja) | 1998-09-08 |
Family
ID=12643194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9042695A Pending JPH10235871A (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | インクジェットヘッドのインク吐出口形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10235871A (ja) |
-
1997
- 1997-02-26 JP JP9042695A patent/JPH10235871A/ja active Pending
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Legal Events
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Effective date: 20051025 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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Effective date: 20051025 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20051104 |