JPH1138084A

JPH1138084A - Ｉｃテストハンドラ

Info

Publication number: JPH1138084A
Application number: JP20384497A
Authority: JP
Inventors: Hiroki Ikeda; 浩樹池田
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1997-07-14
Filing date: 1997-07-14
Publication date: 1999-02-12

Abstract

(57)【要約】【課題】操作画面に含まれる各種項目に関する詳細な
情報を容易に得ることができるＩＣテストハンドラを提
供すること。【解決手段】入出力処理部１６２は、通常動作に必要
な各種の設定データや動作指示を入力するためのシステ
ム操作画面を表示するとともに、ハードディスク装置１
８２に格納されているヘルプファイルを実行してこの操
作画面に含まれる各項目に対応するヘルプ画面を準備す
る。オペレータによって、いずれかの項目が指定されて
ヘルプ画面の表示要求がなされると、この項目の内容解
説等を行うヘルプ画面が表示される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ等の
各種ＩＣデバイスを試験する際にその搬送等を行うＩＣ
テストハンドラに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体試験装置を用いて半導体メモリ等
のＩＣデバイスの各種試験を行う場合に、試験対象とな
る複数個のＩＣデバイスを所定の試験位置に設置する必
要がある。このようなＩＣデバイスの設置作業を効率よ
く行うためにＩＣテストハンドラが用いられる。

【０００３】ＩＣテストハンドラは、ＩＣデバイスの搬
送や並べ替え等を行う機構部と、動作状態や異常を検出
する各種のセンサと、これらのセンサ出力に基づいて機
構部による各動作を制御する制御部と、オペレータが各
種の設定や動作指示を入力する操作部と、各種設定画面
表示や異常発生時のアラーム表示を行うパネルディスプ
レイとを含んで構成されている。上述した操作部から各
ＩＣデバイスの型番や特徴データを入力することによ
り、タイプの異なる多種類のＩＣデバイスの試験を行う
ことができるようになっている。また、ＩＣデバイスの
供給や回収に使用されるカストマトレイは、ＩＣテスト
ハンドラのユーザが用意するため、種々の形状を有して
おり、ユーザによって用意された多種類のカストマトレ
イを用いる場合には、予め操作部からカストマトレイの
詳細形状等のデータを入力する必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したＩ
Ｃテストハンドラにおいて、各種のデータ入力や各種の
動作指示入力はパネルディスプレイの操作画面を見なが
ら行われるが、その表示にはＩＣテストハンドラ特有の
用語が多用されるため、ある程度熟練していないオペレ
ータにとっては、詳細な内容を把握しにくいという問題
がある。そのために、各種の設定項目や動作指示につい
て解説したマニュアル本が用意されており、オペレータ
は、このマニュアル本を調べることにより、該当する設
定項目等の意味する内容を知ることができる。

【０００５】ところが、各種の設定項目や動作指示等は
多岐にわたるため、不慣れなオペレータがマニュアル本
を調べて該当する設定項目等を探すことは容易ではな
い。通常、マニュアル本に記載されている各種の設定項
目等に関する説明もＩＣテストハンドラを操作したこと
がある熟練者を対象に書かれていることが多く、技術用
語による短い表現が用いられている。したがって、必ず
しも不慣れなオペレータが理解しやすいとは限らなかっ
た。反対に、誰でもが理解できるような表現を用いて詳
細に説明することも考えられるが、技術用語を用いない
説明では、熟練したオペレータに分かりづらくなる。

【０００６】また、ＩＣテストハンドラ自体の製品寿命
は１０年から１５年程度であり、使用期間内に試験対象
となるＩＣデバイスの追加や変更等に伴うソフトウエア
の変更が生じた場合には、その都度マニュアル本全体あ
るいはその一部を差し替える必要があるが、この差し替
え作業が適切なタイミングで行われないと、表示された
動作指示等とマニュアル本の記載内容との対応がとれな
くなって、該当する項目を調べることは困難となる。例
えば、マニュアル本の差し替えページの配布を利用者か
らの申し込みに応じて有料で行う場合であってこの申し
込みが行われていない場合や、差し替えページはあるが
マニュアル本の該当ページの差し替え作業が行われてい
ない場合等においては、実際に表示される動作指示等と
マニュアル本に記載された内容との対応がとれないこと
になる。

【０００７】このように、操作画面上に表示された各種
の設定項目や動作指示等の内容をマニュアル本を調べる
ことにより誰もが理解することは容易ではなく、熟練度
等によらずに誰でもが簡単に設定項目の内容等を理解で
きる方法が望まれていた。

【０００８】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、操作画面に含まれる各種項
目に関する詳細な情報を容易に得ることができるＩＣテ
ストハンドラを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明のＩＣテストハンドラは、各種設定や動
作指示等を行う操作画面の表示を行うとともに、ヘルプ
ファイル格納手段に格納されているヘルプファイルをヘ
ルプ機能実行手段によって実行することにより、操作画
面に含まれる各項目の内容解説についての詳細情報を表
示する。このように、操作画面に含まれる各項目に対応
したヘルプファイルを備えることにより、これら各項目
に関する詳細な情報を容易に得ることができる。また、
ＩＣテストハンドラで使用されるソフトウエアを変更し
たために設定項目や設定内容あるいは動作指示の内容等
が変更された場合であっても、このソフトウエアの変更
と同時にヘルプファイルの内容更新を行うことにより、
操作画面に含まれる各項目とその内容解説との対応をと
ることができる。

【００１０】また、上述したヘルプ機能実行手段によっ
て対話型処理を行って、説明文、図、表、静止画、動
画、アニメーションの少なくとも一つを用いて詳細情報
の表示を行うことにより、操作画面に含まれる各項目に
関する内容解説が誰にでも分かりやすくなる。特に、表
示画面の所定箇所が選択指示されたときに、ヘルプ機能
実行手段によって、表示する詳細情報の内容を段階的に
切り替えることにより、オペレータの熟練度等に応じて
適切な内容の詳細情報を表示させることができる。例え
ば、最初は簡単な説明文を表示し、さらに詳細な説明を
求める指示がなされた場合には、詳細な説明文や図、静
止画あるいは動画等を用いて、各オペレータの理解力に
応じた内容表示を行うことができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明を適用した一実施形態のＩ
Ｃテストハンドラは、各種の設定や動作指示を行うため
の操作画面表示を行ったときに、熟練度等が異なるオペ
レータの要求に応じて、操作画面に含まれる各表示項目
の内容解説を画面に表示させることに特徴がある。以
下、一実施形態のＩＣテストハンドラについて、図面を
参照しながら詳細に説明する。

【００１２】図１は、一実施形態のＩＣテストハンドラ
の外観図であり、一例として水平搬送方式のＩＣテスト
ハンドラの正面図が示されている。同図に示すＩＣテス
トハンドラ１００は、複数のカストマトレイの供給と回
収を行うために開閉される開閉扉１１０と、各種の設定
を行うために必要な操作画面表示や異常発生時に所定の
アラーム表示を行う表示部としてのＬＣＤ（液晶表示装
置）１１２と、試験対象となるＩＣデバイスやこれを載
せたカストマトレイに関する各種の設定値や動作指示等
を入力する操作部としてのキーボード１１４と、動作状
態に応じて異なる色の照明を点灯あるいは点滅させるシ
グナルタワー１１６とを備えている。

【００１３】図２は、図１に外観を示したＩＣテストハ
ンドラ１００の機構部の概略構成を示す図である。同図
に示すように、ＩＣテストハンドラ１００は、供給され
たＩＣデバイスを加熱した後に所定位置まで搬送し、試
験終了後に冷却して取り出すための機構部として、スト
ッカ１２２、吸着ヘッド１２６、ローダ１２８、ソーク
チャンバ１３０、テストチャンバ１３２、アンソークチ
ャンバ１３６、アンローダ１３８を備えている。

【００１４】カストマトレイ１２０は、複数個のＩＣデ
バイス１１８を収容する容器であり、ＩＣデバイス１１
８の品種や形状に応じて異なったものが使用される。こ
のカストマトレイ１２０は、ＩＣテストハンドラ１００
のユーザによって用意され、形状にある程度の自由度が
許容されるため、予めサイズ等の各種データを設定する
必要がある。

【００１５】ストッカ１２２は、試験前のＩＣデバイス
１１８を載せたカストマトレイ１２０や、試験終了後に
試験結果に基づいてカテゴリ別に分類した各ＩＣデバイ
ス１１８を載せたカストマトレイ１２０を収容するため
のものである。ストッカ１２２は、カストマトレイ１２
０を多数段積み重ねた積層部を有しており、これが複数
配置されている。ＩＣデバイス１１８をローダ１２８側
に供給する場合には、この積層部の最上段のカストマト
レイ１２０に載っているＩＣデバイス１１８をピックア
ップしてテストトレイ１２４に載せた後、ローダ１２８
側に移送する。積層部の最上段のカストマトレイ１２０
が空になると、この空トレイを最下段に移動させた後、
エレベータ（図示せず）が上昇して２段目のカストマト
レイ１２０を最上段に押し上げ、ＩＣデバイス１１８の
供給が継続される。また、アンローダ１３８側からＩＣ
デバイス１１８を収納する場合には、テストトレイ１２
４上のＩＣデバイス１１８を積層部の最上段にある空の
カストマトレイ１２０上に移送し、所定数のＩＣデバイ
ス１１８を載せたカストマトレイ１２０を順次降下させ
ることにより収容が行われる。

【００１６】上述したストッカ１２２は、図１に示した
開閉扉１１０を開けた位置にあり、オペレータは、通常
の試験動作においてはこのストッカ１２２の所定位置に
カストマトレイ１２０を供給する作業と、ストッカ１２
２から試験終了後のＩＣデバイス１１８が載ったカスト
マトレイ１２０を回収する作業とを行う。

【００１７】上述したカストマトレイ１２０からテスト
トレイ１２４へのＩＣデバイス１１８の載せ変え、ある
いはテストトレイ１２４からカストマトレイ１２０への
ＩＣデバイス１１８の載せ換えは、吸着ヘッド１２６に
よって行われる。吸着ヘッド１２６は、ヘッド内部を負
圧にすることによりＩＣデバイス１１８をピックアップ
するとともに、この負圧状態を解除することにより、保
持しているＩＣデバイス１１８を解放する。

【００１８】ローダ１２８は、ストッカ１２２のいずれ
かの積層部の最上段にあるカストマトレイ１２０上のＩ
Ｃデバイス１１８を吸着ヘッド１２６によってピックア
ップしてテストトレイ１２４に載せた後に、このテスト
トレイ１２４をソークチャンバ１３０に向けて搬送す
る。

【００１９】ソークチャンバ１３０は、試験前のＩＣデ
バイス１１８を加熱あるいは冷却して所定温度に維持す
る恒温槽であり、複数のテストトレイ１２４を収納す
る。ローダ１２８によって搬送されたテストトレイ１２
４は、ソークチャンバ１３０の最上段にセットされた
後、順次１段ずつ降下する。この降下時間を所定値に設
定することにより、所望の到達温度に達するまでＩＣデ
バイス１１８の加熱あるいは冷却が行われる。テストト
レイ１２４は、ソークチャンバ１３０の最下段に到達し
た後排出されて、テストチャンバ１３２に搬送される。

【００２０】テストチャンバ１３２は、所定温度に維持
されたＩＣデバイス１１８に対して各種の機能試験を実
施するための恒温槽である。テストチャンバ１３２で
は、ソークチャンバ１３０から排出されたテストトレイ
１２４上の各ＩＣデバイス１１８を個々にピックアップ
してコンタクト部１３４に移動させて、各ＩＣデバイス
１１８に対する各種の機能試験が実施され、試験終了後
にこのＩＣデバイス１１８が元のテストトレイ１２４に
収容される。コンタクト部１３４には、複数個のＩＣソ
ケット（図示せず）が設けられており、これらのそれぞ
れにＩＣデバイス１１８を装着した後にＩＣデバイス１
１８の各端子にテストヘッド（図示せず）を接触させる
ことによりＩＣデバイス１１８と半導体試験装置２００
との電気的な接続を行う。このようにして電気的な接続
が完了した後、半導体試験装置２００は、ＩＣデバイス
１１８に対する機能試験を実施する。テストトレイ１２
４上の全てのＩＣデバイス１１８に対する試験が終了す
ると、このテストトレイ１２４はアンソークチャンバ１
３６側に搬送される。

【００２１】アンソークチャンバ１３６は、急激な温度
ストレスの印加や結露を防止するために、試験時に高温
あるいは低温状態にあるＩＣデバイス１１８を緩やかに
冷却あるいは加熱して常温に戻す恒温槽である。ＩＣデ
バイス１１８の試験が終了したテストトレイ１２４がア
ンソークチャンバ１３６の最下段に収容された後、順次
１段ずつ上昇し、最上段に達するまでにＩＣデバイス１
１８の温度が常温に戻される。最上段にあるテストトレ
イ１２４は、アンソークチャンバ１３６から排出され
て、アンローダ１３８に向けて搬送される。

【００２２】アンローダ１３８は、アンソークチャンバ
１３６から排出された試験終了後のＩＣデバイス１１８
を良否あるいは特性別に分類して、対応するカストマト
レイ１２０に移送する。どの分類に属するＩＣデバイス
１１８をどのカストマトレイ１２０に分配するかは、予
め設定されている。

【００２３】上述したカストマトレイ１２０やテストト
レイ１２４の搬送制御、ソークチャンバ１３０やアンソ
ークチャンバ１３６における加熱冷却制御、ＩＣデバイ
ス１１８の識別管理制御等の一連の制御がシーケンス制
御部（後述する）によって行われる。

【００２４】図３は、本実施形態のＩＣテストハンドラ
１００の動作を制御する制御機構の概略を示すブロック
図である。図３に示すように、本実施形態のＩＣテスト
ハンドラ１００は、図２に示す機構部の動作を制御して
半導体試験装置２００による機能試験を実施するために
必要な構成を備えるシーケンス制御ボード１４０と、オ
ペレータが各種の設定データや動作指示を入力したりオ
ペレータに対する操作画面表示等を行うために必要な構
成を備えるユーザインタフェース（Ｉ／Ｆ）ボード１６
０と、ローダ１２８やアンローダ１３８を移動させるパ
ルスモータやサーボモータ（図示せず）を回転駆動する
モータコントローラ（ＭＣ）１７０、１７２と、ＩＣデ
バイス１１８のピックアップや解放を行うとともにその
保持状態を検出するために各吸着ヘッド１２６毎に設け
られる電磁弁１７４および吸着センサ１７６とを含んで
構成されている。

【００２５】シーケンス制御ボード１４０は、シーケン
ス制御部１４２、入出力制御部１４４、温度制御部１４
６、ユーザインタフェース（Ｉ／Ｆ）変換部１４８、テ
スタインタフェース（Ｉ／Ｆ）部１５０とを含んで構成
されている。シーケンス制御部１４２は、プロセッサと
メモリを含んでおり、複数のタスクの並列処理が可能な
専用のオペレーティングシステム（ＯＳ）を用いて所定
のプログラムを実行することにより実現される。入出力
制御部１４４は、シーケンス制御部１４２からの指示に
応じて、図２に示した機構部の動作を制御するためのも
のであり、モータコントローラ１７０、１７２や電磁弁
１７４に対して動作指示を送る。また、入出力制御部１
４４は、吸着センサ１７６の出力を検出してＩＣデバイ
ス１１８の有無をシーケンス制御部１４２に知らせる。
温度制御部１４６は、ソークチャンバ１３０、アンソー
クチャンバ１３６およびテストチャンバ１３２の温度を
制御する。ユーザインタフェース変換部１４８は、シー
ケンス制御ボード１４０とユーザインタフェースボード
１６０との間のデータの入出力を制御するためのもので
ある。

【００２６】ユーザインタフェースボード１６０は、入
出力処理部１６２および入出力インタフェース（Ｉ／
Ｆ）部１６４を含んで構成されている。入出力処理部１
６２は、プロセッサとメモリを含んだパーソナルコンピ
ュータ本体（パソコン本体）であり、一般のパーソナル
コンピュータで汎用されているオペレーティングシステ
ム（例えばマイクロソフト社のＷｉｎｄｏｗｓ（登録商
標））を用いて、各種設定データや動作指示等の入力や
表示および操作画面表示と並行して所定のヘルプ画面の
表示を行う。入出力インタフェース部１６４は、入出力
処理部１６２とＬＣＤ１１２、キーボード１１４、マウ
ス１８０、ハードディスク装置（ＨＤＤ）１８２、スピ
ーカ１８４とを接続するためのものであり、接続する機
器に応じた所定の規格に適合したコネクタ形状を有す
る。また、ハードディスク装置１８２には、上述したヘ
ルプ画面表示に必要なヘルプファイルが格納されてい
る。

【００２７】上述した入出力処理部１６２およびＬＣＤ
１１２が操作画面表示手段に、ハードディスク装置１８
２がヘルプファイル格納手段に、入出力処理部１６２が
ヘルプ機能実行手段にそれぞれ対応する。

【００２８】本実施形態のＩＣテストハンドラ１００
は、上述した構成を有しており、次に通常動作に先だっ
て所定の操作画面を表示して各種の設定データや動作指
示を入力する場合の動作を説明する。図４は、システム
操作画面表示と平行して行われるヘルプ画面表示の動作
手順を示す流れ図である。例えば、ＩＣテストハンドラ
１００のユーザによって用意されたカストマトレイ１２
０に関する各種の設定データを入力する場合の入力操作
画面を考えるものとする。

【００２９】ＩＣテストハンドラ１００の通常動作に先
立って、入出力処理部１６２は、ＩＣテストハンドラ１
００の通常動作に必要な各種の設定データや動作指示を
入力するためのシステム操作画面をＬＣＤ１１２に表示
するとともに（ステップ４０１）、このシステム操作画
面に含まれる各項目の補足説明を行うために、予め用意
されているヘルプファイルを起動する（ステップ４０
２）。

【００３０】図５は、システム操作画面を示す図であ
り、一例としてユーザ毎に用意されたカストマトレイ１
２０に関する各種の設定を行うカストマトレイ設定画面
の詳細が示されている。同図に示すカストマトレイ設定
画面において、カストマトレイ１２０の「Ｘピッチ」、
「Ｙピッチ」、「Ｚピッチ」や「Ｘ先頭までの距離」等
の各種設定値がローダ（ＬＤ）１２８用とアンローダ
（ＵＬ）１３８用とで別々に入力できるようになってい
る。また、このカストマトレイ設定画面の右側領域に
は、それらの各設定項目がカストマトレイ１２０のどの
部分に対応しているのかを示す図が含まれており、各項
目のデータを入力するオペレータの理解を助けるように
工夫されている。

【００３１】入出力処理部１６２は、上述したカストマ
トレイ設定画面を表示した後に、各設定項目に関するデ
ータの入力があるか否か（ステップ４０３）、データの
入力作業が終了したか否か（ステップ４０４）を監視す
る。いずれかの設定項目に対応するデータの入力がなさ
れた場合には、入力データをその項目についての新たな
設定値とした後に（ステップ４０５）、再度ステップ４
０３のデータ入力の監視状態に戻る。

【００３２】また、上述したように、カストマトレイ設
定画面の内容は、熟練していないオペレータであっても
理解しやすいような工夫はされてはいるが、設定画面の
表示内容だけで全ての設定項目の意味するところを理解
できるとは限らない。例えば、「トレイ設定モード」や
「デバイスのアクセス方法」などの各項目の意味すると
ころを充分に理解していない場合もある。

【００３３】入出力処理部１６２は、上述したカストマ
トレイ設定画面の表示動作と並行して、各設定項目に対
応するヘルプ画面の表示動作が要求されているか否かを
監視しており（ステップ４０６）、ヘルプ画面の表示動
作が要求されている場合には、該当する設定項目の内容
解説を含むヘルプ画面の表示を行う（ステップ４０
７）。例えば、入出力処理部１６２によって、汎用ＯＳ
であるＷｉｎｄｏｗｓ（登録商標）上でヘルプファイル
を実行することにより、所定のヘルプ画面の表示が可能
となる。

【００３４】図６は、ヘルプファイルを実行することに
より表示されるヘルプ画面を示す図である。図５に示し
たカストマトレイ設定画面の右上の「？」マークをマウ
ス１８０によってクリックした後に、用語の意味を知り
たい事項にマウス１８０のポインタを移動させてクリッ
クすることにより、図６に示すように、その部分につい
ての用語の意味等が含まれるポップアップウインドウを
ヘルプ画面として表示させることができる。

【００３５】一般に、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）のヘ
ルプファイルは、１つの情報が割り当てられたトピック
を複数個集めたものであり、キーワードを指定して所望
のトピックを検索する機能を有している。また、各トピ
ックの間につながりを持たせることにより、関連する情
報が調べやすくなっている。

【００３６】図７は、キーワードを指定してトピックの
検索を行うトピック検索画面を示す図である。同図に示
すトピック検索画面において、所望のトピックに関する
キーワード（例えば「カストマトレイ」）を指定するこ
とにより、このキーワードに関連する複数のトピックが
表示される。この表示された複数のトピックの中からい
ずれかを選択することにより、そのトピックの具体的内
容が、図８に示すような新たなヘルプ画面として表示さ
れる。なお、図８には、トピック「カストマトレイ・サ
イズ」が選択されて、その具体的内容が含まれるヘルプ
画面が表示された状態が示されている。

【００３７】また、トピックが選択されて表示されるヘ
ルプ画面には、必要に応じて文章、図、表、静止画、動
画、アニメーション等が含まれるが、これらの文章中や
図、表、静止画中にホットスポットと称される部分があ
り、このホットスポットをマウス１８０でクリックする
ことにより、その部分についての用語の意味や関連した
事項が含まれるポップアップウインドウを表示させた
り、他のトピックを表示させることができる。したがっ
て、最初に表示させたヘルプ画面に含まれる内容（例え
ば文章や図）で充分に内容が理解できない場合には、オ
ペレータの選択によってさらに詳細な内容（例えば静止
画や動画）を含む他のヘルプ画面を段階的に表示させる
こともできる。また、入出力処理部１６２は、必要に応
じて、上述した種々のヘルプ画面の表示動作と並行し
て、スピーカ１８４から内容ガイダンス音声を出力する
こともできる。

【００３８】このように、本実施形態のＩＣテストハン
ドラ１００においては、システム操作画面を表示して入
力待ちの状態にあるときに、オペレータからの要求に応
じて、操作画面の各項目に関するヘルプ画面を表示して
おり、必要に応じてさらに詳細な説明文や図、画像等を
段階的に表示させることができる。したがって、各オペ
レータは、熟練度に応じて表示内容を指定することによ
り、表示された操作画面の各項目の内容を詳細に知るこ
とができる。

【００３９】また、試験対象となるＩＣデバイスの追加
や変更等に伴うソフトウエアの変更が生じた場合であっ
ても、この変更されたソフトウエアに対応するヘルプフ
ァイルを同時に変更することにより、表示された操作画
面の各項目とその解説内容等の対応がとれなくなるとい
った不都合がなくなる。

【００４０】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施
が可能である。例えば、上述した実施形態では、カスト
マトレイ１２０に関する各種の設定を行うカストマトレ
イ設定画面をシステム操作画面として表示する場合を説
明したが、他の設定画面や動作指示画面をシステム操作
画面として表示する場合についても同様に考えることが
できる。例えば、動作指示を行うシステム操作画面にお
いて、表示されている動作指示の意味するところや、そ
の動作指示を行うタイミング等が分からない場合に、ヘ
ルプ画面を表示させて文章、図、動画、アニメーション
等でそれらの具体的な解説を行うことにより、マニュア
ル本を見ることなくそれらの表示項目が意味するところ
を容易に理解することができる。

【００４１】また、入出力処理部１６２が使用するＯＳ
としてＷｉｎｄｏｗｓ（登録商標）を考えたが、同等の
機能を有するＯＳを用いるようにしてもよい。また、上
述した実施形態では、ユーザインタフェースボード１６
０にパソコンとしての機能を持たせるようにしたが、Ｉ
Ｃテストハンドラ１００とは別にパソコンを接続し、こ
の接続されたパソコンの画面上で上述したオンラインヘ
ルプの表示動作を行うようにしてもよい。また、上述し
た実施形態では、水平搬送式のＩＣテストハンドラ１０
０について説明したが、自動落下方式あるいはこれら２
つの方式を組み合わせたＩＣテストハンドラにおいて、
システム操作画面表示を行う際にこれにヘルプ画面を重
ねることによりオンラインマニュアル表示を行うように
してもよい。

【００４２】また、上述した実施形態では、システム設
定画面を表示させて、各種設定データや動作指示を入力
する際にヘルプ画面を表示するようにしたが、このヘル
プ画面の表示を行うために用意されるヘルプファイルに
は、各種のマニュアル本（ハードウエア概説書、一般仕
様書、操作ガイド、メンテナンス解説書、プログラミン
グ解説書等）を含むようにしてもよい。

【００４３】

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、各種
設定や動作指示等を行う操作画面の表示を行うととも
に、ヘルプファイル格納手段に格納されているヘルプフ
ァイルをヘルプ機能実行手段によって実行することによ
り、操作画面に含まれる各項目の内容解説についての詳
細情報を表示しており、操作画面に含まれる各項目に対
応したヘルプファイルを備えることにより、これら各項
目に関する詳細な情報を容易に得ることができる。

【００４４】また、上述したヘルプ機能実行手段によっ
て対話型処理を行うことにより、説明文、図、表、静止
画、動画、アニメーションの少なくとも一つを用いて詳
細情報の表示を行うことにより、操作画面に含まれる各
項目に関する内容解説が誰にでも分かりやすくなる。特
に、表示画面の所定箇所が選択指示されたときに、ヘル
プ機能実行手段によって、表示する詳細情報の内容を段
階的に切り替えることにより、オペレータの熟練度等に
応じて適切な内容の詳細情報を表示させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態のＩＣテストハンドラの外観図であ
る。

【図２】ＩＣテストハンドラの機構部の概略構成を示す
図である。

【図３】ＩＣテストハンドラの動作を制御する制御機構
の概略を示すブロック図である。

【図４】システム操作画面表示と並行して行われるヘル
プ画面表示の動作手順を示す流れ図である。

【図５】システム操作画面の一つであるカストマトレイ
設定画面の表示例を示す図である。

【図６】ヘルプファイルを実行することによって表示さ
れるヘルプ画面の具体例を示す図である。

【図７】ヘルプ画面の他の例を示す図である。

【図８】ヘルプ画面の他の例を示す図である。

【符号の説明】

１００ＩＣテストハンドラ１１２ＬＣＤ１１４キーボード１４２シーケンス制御部１４８ユーザインタフェース（Ｉ／Ｆ）変換部１６２入出力処理部１６４入出力インタフェース（Ｉ／Ｆ）部１８０マウス１８２ハードディスク装置（ＨＤＤ）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】操作画面の表示を行う操作画面表示手段
と、前記操作画面に含まれる項目の内容解説についての詳細
情報を少なくとも含むヘルプファイルを格納するヘルプ
ファイル格納手段と、前記ヘルプファイルを実行することにより、前記操作画
面に含まれる項目の内容解説についての詳細情報を表示
するヘルプ機能実行手段と、を備えることを特徴とするＩＣテストハンドラ。
【請求項２】請求項１において、前記ヘルプ機能実行手段は、対話型処理を行うことによ
って、説明文、図、表、静止画、動画、アニメーション
の少なくとも一つを用いることにより、前記詳細情報の
表示を行うことを特徴とするＩＣテストハンドラ。
【請求項３】請求項１または２において、前記ヘルプ機能実行手段は、表示画面の所定箇所が選択
指示されたときに、表示する前記詳細情報の内容を段階
的に切り替えることを特徴とするＩＣテストハンドラ。