JPH11352344A - 低クロストーク光配線 - Google Patents
低クロストーク光配線Info
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- JPH11352344A JPH11352344A JP16043998A JP16043998A JPH11352344A JP H11352344 A JPH11352344 A JP H11352344A JP 16043998 A JP16043998 A JP 16043998A JP 16043998 A JP16043998 A JP 16043998A JP H11352344 A JPH11352344 A JP H11352344A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】光通信装置等で用いられる光配線において、特
に、近隣の光導波路コアに結合してクロストークを生じ
るノイズ光を低減して、光配線間のクロストークの小さ
い信頼性の高い低クロストーク光配線を提供する。 【解決手段】光信号が伝搬する光導波路コアを、光導波
路コアよりも小さい屈折率を有する光導波路クラッド層
内に、光導波路コアを複数列、並列して同一平面内に埋
設した光配線において、埋設した光導波路コア間の光導
波路クラッド層内に、漏洩する基本モード光または高次
モード光を、反射もしくは屈折により光導波路コアの外
側に放射する壁面を有する溝、例えば、断面がＶ字状の
形をした溝を、光導波路コアに接することなく配設した
構造とする。また、溝を配設する位置は、特にマルチモ
ード光導波路からなる光配線の曲がり部、例えばＳ字状
の曲がり部とする。
に、近隣の光導波路コアに結合してクロストークを生じ
るノイズ光を低減して、光配線間のクロストークの小さ
い信頼性の高い低クロストーク光配線を提供する。 【解決手段】光信号が伝搬する光導波路コアを、光導波
路コアよりも小さい屈折率を有する光導波路クラッド層
内に、光導波路コアを複数列、並列して同一平面内に埋
設した光配線において、埋設した光導波路コア間の光導
波路クラッド層内に、漏洩する基本モード光または高次
モード光を、反射もしくは屈折により光導波路コアの外
側に放射する壁面を有する溝、例えば、断面がＶ字状の
形をした溝を、光導波路コアに接することなく配設した
構造とする。また、溝を配設する位置は、特にマルチモ
ード光導波路からなる光配線の曲がり部、例えばＳ字状
の曲がり部とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信装置等に用
いられる光配線に係り、特に光配線間のクロストークが
小さい光配線構造に関する。
いられる光配線に係り、特に光配線間のクロストークが
小さい光配線構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】光配線は、光信号を高密度に並列伝搬さ
せたり、伝搬方向の制御や、合・分岐などさせたりする
ための重要な光部品である。特に、光信号の伝搬方向を
制御するために光導波路コアの伝搬方向に、所定の曲率
半径を有する曲がり部を設けたものが多く使用されてい
る。こうした光配線に用いられる光導波路としては、光
素子や光ファイバとの光結合を容易にするために、マル
チモードのフレキシブルフィルム光導波路が用いられて
いる。図３（ａ）、（ｂ）に、従来の光配線構造の一例
であるマルチモードのフレキシブルフィルム光導波路を
示す。図３（ａ）は、光信号の伝搬方向に対して平行で
光導波路コアを含む面の光配線構造を示し、図３（ｂ）
は、光信号の伝搬方向に対して垂直な断面の光配線構造
を示している。例えば、基板としてシリコン基板上に、
フッ素化ポリイミドからなる３７.５μｍ厚の下地光導
波路クラッド層２１を、スピンコート（塗布）とキュア
（硬化）の工程により形成し、その上に、例えばフッ素
化ポリイミドからなる５０μｍ角の光導波路コア２２
（比屈折率差△＝１.２％）を、上記と同様の工程と反
応性イオンエッチング（ＲＩＥ）等のエッチングにより
形成し、さらに、例えば光導波路コア２２の上面（図中
のｚ軸に垂直な面）を基準に、３７.５μｍ厚の上部光
導波路クラッド２３（下地光導波路クラッド層２１と同
一材料）を、下地光導波路クラッド層２１と同様の工程
にて形成する。最後に、基板から光導波路部分（下地光
導波路クラッド層２１、光導波路コア２２および上部光
導波路クラッド２３等）を剥離して、光配線を作製す
る。光導波路コア２２間のピッチは、例えば１２５μｍ
であり、Ｓ字状の曲がり部分２４の曲率半径は、例えば
５ｍｍ程度である。
せたり、伝搬方向の制御や、合・分岐などさせたりする
ための重要な光部品である。特に、光信号の伝搬方向を
制御するために光導波路コアの伝搬方向に、所定の曲率
半径を有する曲がり部を設けたものが多く使用されてい
る。こうした光配線に用いられる光導波路としては、光
素子や光ファイバとの光結合を容易にするために、マル
チモードのフレキシブルフィルム光導波路が用いられて
いる。図３（ａ）、（ｂ）に、従来の光配線構造の一例
であるマルチモードのフレキシブルフィルム光導波路を
示す。図３（ａ）は、光信号の伝搬方向に対して平行で
光導波路コアを含む面の光配線構造を示し、図３（ｂ）
は、光信号の伝搬方向に対して垂直な断面の光配線構造
を示している。例えば、基板としてシリコン基板上に、
フッ素化ポリイミドからなる３７.５μｍ厚の下地光導
波路クラッド層２１を、スピンコート（塗布）とキュア
（硬化）の工程により形成し、その上に、例えばフッ素
化ポリイミドからなる５０μｍ角の光導波路コア２２
（比屈折率差△＝１.２％）を、上記と同様の工程と反
応性イオンエッチング（ＲＩＥ）等のエッチングにより
形成し、さらに、例えば光導波路コア２２の上面（図中
のｚ軸に垂直な面）を基準に、３７.５μｍ厚の上部光
導波路クラッド２３（下地光導波路クラッド層２１と同
一材料）を、下地光導波路クラッド層２１と同様の工程
にて形成する。最後に、基板から光導波路部分（下地光
導波路クラッド層２１、光導波路コア２２および上部光
導波路クラッド２３等）を剥離して、光配線を作製す
る。光導波路コア２２間のピッチは、例えば１２５μｍ
であり、Ｓ字状の曲がり部分２４の曲率半径は、例えば
５ｍｍ程度である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マルチ
モードの光導波路からなるＳ字状の曲がり部分では、基
本モードまたは高次モードの光信号が光導波路クラッド
に漏れやすいため、隣接する光導波路コア間にクロスト
ークを生じ、光信号にノイズが発生して、エラーを引き
起こし易いという問題があった。
モードの光導波路からなるＳ字状の曲がり部分では、基
本モードまたは高次モードの光信号が光導波路クラッド
に漏れやすいため、隣接する光導波路コア間にクロスト
ークを生じ、光信号にノイズが発生して、エラーを引き
起こし易いという問題があった。
【０００４】本発明の課題は、上記従来技術における問
題点を解消し、光通信装置等で用いられる光配線におい
て、特に、近隣の光導波路コアに結合してクロストーク
を生じるノイズ光を低減して、光配線間のクロストーク
の小さい低クロストーク光配線を提供することにある。
題点を解消し、光通信装置等で用いられる光配線におい
て、特に、近隣の光導波路コアに結合してクロストーク
を生じるノイズ光を低減して、光配線間のクロストーク
の小さい低クロストーク光配線を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、本発明は特許請求の範囲に記載のような構成とする
ものである。すなわち、請求項１に記載のように、光信
号が伝搬する光導波路コアを、該光導波路コアよりも小
さい屈折率を有する光導波路クラッド層内に、上記光導
波路コアを複数列、並列して同一平面内に埋設した光配
線において、上記複数列、並列して埋設した光導波路コ
ア間の光導波路クラッド層内に、漏洩する基本モード光
または高次モード光を、反射もしくは屈折により光導波
路コアの外側に放射する壁面を有する溝を、上記光導波
路コアに接することなく配設した構造の低クロストーク
光配線とするものである。また、請求項２に記載のよう
に、請求項１において、上記溝を配設する位置は、マル
チモード光導波路からなる光配線の曲がり部に設けた低
クロストーク光配線とするものである。また、請求項３
に記載のように、請求項１または請求項２において、上
記溝は、光信号の伝搬方向に対して垂直な断面がＶ字状
の形をした溝を設けた低クロストーク光配線とするもの
である。本発明の低クロストーク光配線は、請求項１な
いし３のいずれか１項に記載のように、光配線内の同一
平面内に近隣する光導波路コア間の光導波路クラッド層
内に、漏洩する基本モード光または高次モード光を、反
射もしくは屈折により光導波路コアの外側に放射する壁
面を有する溝、例えばＶ字状の断面形状をした溝を上記
光導波路コアに接することなく配設した光配線とするも
のである。このような光配線構造とすることにより、マ
ルチモード光導波路からなる光配線の曲がり部分、例え
ばＳ字状の曲がり部分で基本モード光または高次モード
光が光導波路クラッドに漏れても、Ｖ字状の断面形状を
した溝の壁面での反射もしくは屈折によって光導波路の
外に放射されるため、近隣の光導波路コアに結合してク
ロストークを生じるノイズ光を効果的に低減できる効果
がある。
に、本発明は特許請求の範囲に記載のような構成とする
ものである。すなわち、請求項１に記載のように、光信
号が伝搬する光導波路コアを、該光導波路コアよりも小
さい屈折率を有する光導波路クラッド層内に、上記光導
波路コアを複数列、並列して同一平面内に埋設した光配
線において、上記複数列、並列して埋設した光導波路コ
ア間の光導波路クラッド層内に、漏洩する基本モード光
または高次モード光を、反射もしくは屈折により光導波
路コアの外側に放射する壁面を有する溝を、上記光導波
路コアに接することなく配設した構造の低クロストーク
光配線とするものである。また、請求項２に記載のよう
に、請求項１において、上記溝を配設する位置は、マル
チモード光導波路からなる光配線の曲がり部に設けた低
クロストーク光配線とするものである。また、請求項３
に記載のように、請求項１または請求項２において、上
記溝は、光信号の伝搬方向に対して垂直な断面がＶ字状
の形をした溝を設けた低クロストーク光配線とするもの
である。本発明の低クロストーク光配線は、請求項１な
いし３のいずれか１項に記載のように、光配線内の同一
平面内に近隣する光導波路コア間の光導波路クラッド層
内に、漏洩する基本モード光または高次モード光を、反
射もしくは屈折により光導波路コアの外側に放射する壁
面を有する溝、例えばＶ字状の断面形状をした溝を上記
光導波路コアに接することなく配設した光配線とするも
のである。このような光配線構造とすることにより、マ
ルチモード光導波路からなる光配線の曲がり部分、例え
ばＳ字状の曲がり部分で基本モード光または高次モード
光が光導波路クラッドに漏れても、Ｖ字状の断面形状を
した溝の壁面での反射もしくは屈折によって光導波路の
外に放射されるため、近隣の光導波路コアに結合してク
ロストークを生じるノイズ光を効果的に低減できる効果
がある。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１（ａ）、（ｂ）および図２
（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）に、本発明の低クロストーク光
配線の構造の一例を示す。図１（ａ）、（ｂ）は、光信
号の伝搬方向に対して平行で、光導波路コアを含む面の
光配線構造の一例を示し、図２（ｃ）は、光信号の伝搬
方向に対して垂直な断面の光配線構造一例を示す。図２
（ｄ）、（ｅ）は、Ｖ字状の断面をした溝の形状の一例
を示す模式図である。図１（ａ）において、例えば５０
μｍ角の光導波路コア１２を、１２５μｍ間隔で、同一
平面上に配置されており、Ｓ字状の曲がり部分１５の曲
率半径は、例えば５ｍｍである。光導波路コア１２を覆
うようにして形成されている上部光導波路クラッド１３
（例えば、下部光導波路クラッド１１と同一材料）のう
ち、光導波路コア１２間の上部光導波路クラッド１３に
は、Ｖ字状の断面形状をした溝、すなわちＶ溝１４が形
成されている。光導波路コア１２、上部および下部光導
波路クラッド１３および１１は、例えばフッ素化ポリイ
ミドで形成されており、光導波路コア１２と、上部およ
び下部光導波路クラッド１３および１１間の比屈折率差
は、例えば１.２％に設定してある。光導波路コア１２
を伝搬する光信号の波長は、例えば０.８５μｍであ
る。図１（ｂ）は、Ｖ溝１４を、光導波路コア１３のＳ
字状の曲がり部分１５に対応する位置にのみ配置した場
合であり、それ以外は、図１（ａ）と同様である。図２
（ｃ）は、光信号の伝搬方向に対し垂直な方向の光配線
の断面構造の一例を示す模式図であり、例えば、シリコ
ンからなる基板上に、厚さ３７.５μｍの上述の下部光
導波路クラッド１１をスピンコート（塗布）とキュア
（硬化）の工程により形成し、その上に、上述の厚さ５
０μｍの光導波路コア層をスピンコートとキュアの工程
により形成した後、ＲＩＥを用いて幅５０μｍの光導波
路コア１２を形成し、引き続いて光導波路コア１２を覆
いながら光導波路コア１２の上面（図中のｚ軸に垂直な
面）を基準にして、厚さ２０μｍの上述の上部光導波路
クラッド１３を、下部光導波路クラッド１１と同様の方
法で形成する。さらに、光導波路コア１２間の上部光導
波路クラッド１３内に、光導波路コア１２の側壁からｙ
軸方向に３０μｍ隔てて、Ｖ溝１４を、Ｖ溝１４の先端
が光導波路コア１２の下部と同じ高さか、もしくはそれ
よりも下となるようにＲＩＥにより形成し、光配線構造
を作製した。なお、Ｖ溝１４の加工は、上述の方法に限
定されず、ダイシングソー等、すべての溝加工方法が利
用できることは言うまでもない。Ｖ溝１４とｙ軸とのな
す角θは、光導波路コア１２から上部、下部光導波路ク
ラッド１３、１１に漏れた基本モード光または高次モー
ド光の漏れ光１６を考えることにより決定される。図２
（ｃ）に示すように、光導波路コア１２の厚みをａ、光
導波路コア１２の上部からＶ溝１４までのｙ軸方向の距
離をｂ、Ｖ溝１４と水平面の角度をθとする。光導波路
コア１２からｙ軸方向に漏れた漏れ光１６は、Ｖ溝１４
で全反射し、あるいは屈折光と反射光に分かれ、光路を
変える。この時、漏れ光１６の反射光を光導波路コア１
２の下部に放出させ、光導波路コア１２への再結合を防
ぐためにＶ溝１４とｙ軸とのなす角θは、θ＜１／２
［π−ｔａｎ−１（ａ／ｂ）］であればよい。例えば、
光導波路コア１２の膜厚を５０μｍ、光導波路コア１２
の上部とＶ溝１４間の距離を３０μｍとした場合には、
θ＜６０.４８°となる。光導波路コア１２からの漏れ
光１６の進行方向は、ｙ軸方向が支配的ではあるが、数
°（度）の広がりを持つと予想されるため、実際、作製
する場合にＶ溝１４のθは、計算値よりも小さくした方
が好ましい。また、空気の屈折率ｎ1を１、光導波路コ
ア１２に用いたフッ素化ポリイミドの屈折率ｎ2を約１.
５５とした場合には、全反射の臨界角（θc）は、θc＝
cos-1(ｎ2／ｎ1）より、約４９.８°である。θを臨界
角より小さくした場合には、漏れ光１６の一部は屈折光
となり光導波路上部に放出され、光導波路コア１２への
再結合を完全に防ぐことができる。また、Ｖ溝１４の先
端は、必ずしも尖っている形状にする必要はなく、図２
（ｄ）に示すＶ溝１７のように先端部が平面であっても
良く、また、図２（ｅ）に示すＶ溝１８のように先端部
が丸まっていても良い。この場合には、Ｖ溝１７、１８
内の光の反射面（Ｖ溝の壁面）の端部が光導波路コア１
２の下部と同じ高さとするか、もしくはそれより下であ
れば良い。また、Ｖ溝の断面は対称形でなくても良く、
Ｖ溝の壁面は平面、あるいは曲面であっても良く、要は
Ｖ溝の壁面での漏れ光１６が反射もしくは屈折により光
導波路コア１２の外側に放射される機能を有すれば良
い。なお、本発明において、光導波路コア１２、下部と
上部光導波路クラッド１１、１３の材料は、フッ素化ポ
リイミドに限るものでなく、石英系ガラスや、ＰＭＭＡ
（ポリメタクリル酸メチル）、シリコーン樹脂、ポリカ
ーボネート等のポリマー材料を使用することができる。
また、Ｓ字状の曲がり部分１５の曲率半径は、すべての
光導波路コア１２に対して一様である必要はなく、光導
波路コア１２ごとに、徐々に曲率半径が大きくなっても
良い。また、Ｖ溝１４の幅は一様ではなく、例えば、Ｓ
字状の曲がり部分１５の幅が広くなっていても良い。ま
た、実施の形態ではＳ字状の曲がり部分１５を含む光配
線の例を説明したが、これに限るものではなく、例え
ば、直線の光導波路コア間や、あるいは合・分岐部分
で、分岐された光導波路コア間にＶ溝が形成されていて
も良い。さらに、マルチモード光導波路コア間に限ら
ず、シングルモード光導波路コア間にＶ溝が形成されて
いても、本発明の範囲を逸脱するものではないことは言
うまでもない。しかし、Ｖ溝により薄くなった光導波路
クラッド部の厚みは、少なくとも直線部においては光の
閉じ込めに必要にして十分なものであるべきである。
（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）に、本発明の低クロストーク光
配線の構造の一例を示す。図１（ａ）、（ｂ）は、光信
号の伝搬方向に対して平行で、光導波路コアを含む面の
光配線構造の一例を示し、図２（ｃ）は、光信号の伝搬
方向に対して垂直な断面の光配線構造一例を示す。図２
（ｄ）、（ｅ）は、Ｖ字状の断面をした溝の形状の一例
を示す模式図である。図１（ａ）において、例えば５０
μｍ角の光導波路コア１２を、１２５μｍ間隔で、同一
平面上に配置されており、Ｓ字状の曲がり部分１５の曲
率半径は、例えば５ｍｍである。光導波路コア１２を覆
うようにして形成されている上部光導波路クラッド１３
（例えば、下部光導波路クラッド１１と同一材料）のう
ち、光導波路コア１２間の上部光導波路クラッド１３に
は、Ｖ字状の断面形状をした溝、すなわちＶ溝１４が形
成されている。光導波路コア１２、上部および下部光導
波路クラッド１３および１１は、例えばフッ素化ポリイ
ミドで形成されており、光導波路コア１２と、上部およ
び下部光導波路クラッド１３および１１間の比屈折率差
は、例えば１.２％に設定してある。光導波路コア１２
を伝搬する光信号の波長は、例えば０.８５μｍであ
る。図１（ｂ）は、Ｖ溝１４を、光導波路コア１３のＳ
字状の曲がり部分１５に対応する位置にのみ配置した場
合であり、それ以外は、図１（ａ）と同様である。図２
（ｃ）は、光信号の伝搬方向に対し垂直な方向の光配線
の断面構造の一例を示す模式図であり、例えば、シリコ
ンからなる基板上に、厚さ３７.５μｍの上述の下部光
導波路クラッド１１をスピンコート（塗布）とキュア
（硬化）の工程により形成し、その上に、上述の厚さ５
０μｍの光導波路コア層をスピンコートとキュアの工程
により形成した後、ＲＩＥを用いて幅５０μｍの光導波
路コア１２を形成し、引き続いて光導波路コア１２を覆
いながら光導波路コア１２の上面（図中のｚ軸に垂直な
面）を基準にして、厚さ２０μｍの上述の上部光導波路
クラッド１３を、下部光導波路クラッド１１と同様の方
法で形成する。さらに、光導波路コア１２間の上部光導
波路クラッド１３内に、光導波路コア１２の側壁からｙ
軸方向に３０μｍ隔てて、Ｖ溝１４を、Ｖ溝１４の先端
が光導波路コア１２の下部と同じ高さか、もしくはそれ
よりも下となるようにＲＩＥにより形成し、光配線構造
を作製した。なお、Ｖ溝１４の加工は、上述の方法に限
定されず、ダイシングソー等、すべての溝加工方法が利
用できることは言うまでもない。Ｖ溝１４とｙ軸とのな
す角θは、光導波路コア１２から上部、下部光導波路ク
ラッド１３、１１に漏れた基本モード光または高次モー
ド光の漏れ光１６を考えることにより決定される。図２
（ｃ）に示すように、光導波路コア１２の厚みをａ、光
導波路コア１２の上部からＶ溝１４までのｙ軸方向の距
離をｂ、Ｖ溝１４と水平面の角度をθとする。光導波路
コア１２からｙ軸方向に漏れた漏れ光１６は、Ｖ溝１４
で全反射し、あるいは屈折光と反射光に分かれ、光路を
変える。この時、漏れ光１６の反射光を光導波路コア１
２の下部に放出させ、光導波路コア１２への再結合を防
ぐためにＶ溝１４とｙ軸とのなす角θは、θ＜１／２
［π−ｔａｎ−１（ａ／ｂ）］であればよい。例えば、
光導波路コア１２の膜厚を５０μｍ、光導波路コア１２
の上部とＶ溝１４間の距離を３０μｍとした場合には、
θ＜６０.４８°となる。光導波路コア１２からの漏れ
光１６の進行方向は、ｙ軸方向が支配的ではあるが、数
°（度）の広がりを持つと予想されるため、実際、作製
する場合にＶ溝１４のθは、計算値よりも小さくした方
が好ましい。また、空気の屈折率ｎ1を１、光導波路コ
ア１２に用いたフッ素化ポリイミドの屈折率ｎ2を約１.
５５とした場合には、全反射の臨界角（θc）は、θc＝
cos-1(ｎ2／ｎ1）より、約４９.８°である。θを臨界
角より小さくした場合には、漏れ光１６の一部は屈折光
となり光導波路上部に放出され、光導波路コア１２への
再結合を完全に防ぐことができる。また、Ｖ溝１４の先
端は、必ずしも尖っている形状にする必要はなく、図２
（ｄ）に示すＶ溝１７のように先端部が平面であっても
良く、また、図２（ｅ）に示すＶ溝１８のように先端部
が丸まっていても良い。この場合には、Ｖ溝１７、１８
内の光の反射面（Ｖ溝の壁面）の端部が光導波路コア１
２の下部と同じ高さとするか、もしくはそれより下であ
れば良い。また、Ｖ溝の断面は対称形でなくても良く、
Ｖ溝の壁面は平面、あるいは曲面であっても良く、要は
Ｖ溝の壁面での漏れ光１６が反射もしくは屈折により光
導波路コア１２の外側に放射される機能を有すれば良
い。なお、本発明において、光導波路コア１２、下部と
上部光導波路クラッド１１、１３の材料は、フッ素化ポ
リイミドに限るものでなく、石英系ガラスや、ＰＭＭＡ
（ポリメタクリル酸メチル）、シリコーン樹脂、ポリカ
ーボネート等のポリマー材料を使用することができる。
また、Ｓ字状の曲がり部分１５の曲率半径は、すべての
光導波路コア１２に対して一様である必要はなく、光導
波路コア１２ごとに、徐々に曲率半径が大きくなっても
良い。また、Ｖ溝１４の幅は一様ではなく、例えば、Ｓ
字状の曲がり部分１５の幅が広くなっていても良い。ま
た、実施の形態ではＳ字状の曲がり部分１５を含む光配
線の例を説明したが、これに限るものではなく、例え
ば、直線の光導波路コア間や、あるいは合・分岐部分
で、分岐された光導波路コア間にＶ溝が形成されていて
も良い。さらに、マルチモード光導波路コア間に限ら
ず、シングルモード光導波路コア間にＶ溝が形成されて
いても、本発明の範囲を逸脱するものではないことは言
うまでもない。しかし、Ｖ溝により薄くなった光導波路
クラッド部の厚みは、少なくとも直線部においては光の
閉じ込めに必要にして十分なものであるべきである。
【０００７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の低
クロストーク光配線は、同一平面内に配列されている近
隣の光導波路コア間の光導波路クラッド層内に、漏洩す
る基本モード光または高次モード光を、反射もしくは屈
折により光導波路コアの外側に放射する壁面を有する溝
を、光導波路コアに接触しない構造に配設しているの
で、特に、マルチモード光導波路からなる光配線の曲が
り部分で発生しやすい基本モード光または高次モード光
の光導波路クラッドへの「漏れ」を、例えば断面がＶ字
状の形をした溝の壁面で反射または屈折させて光導波路
の外部に放射させるため、近隣の光導波路コアに結合し
てクロストークを生じるノイズ光を低減することができ
る。この結果、光導波路コアを伝搬する光信号のエラー
が減少し、信頼性の高い光伝送を可能にすると共に、エ
ラー補正のための複雑な回路等が不要となり、安価な光
伝送装置を実現できる効果がある。
クロストーク光配線は、同一平面内に配列されている近
隣の光導波路コア間の光導波路クラッド層内に、漏洩す
る基本モード光または高次モード光を、反射もしくは屈
折により光導波路コアの外側に放射する壁面を有する溝
を、光導波路コアに接触しない構造に配設しているの
で、特に、マルチモード光導波路からなる光配線の曲が
り部分で発生しやすい基本モード光または高次モード光
の光導波路クラッドへの「漏れ」を、例えば断面がＶ字
状の形をした溝の壁面で反射または屈折させて光導波路
の外部に放射させるため、近隣の光導波路コアに結合し
てクロストークを生じるノイズ光を低減することができ
る。この結果、光導波路コアを伝搬する光信号のエラー
が減少し、信頼性の高い光伝送を可能にすると共に、エ
ラー補正のための複雑な回路等が不要となり、安価な光
伝送装置を実現できる効果がある。
【図１】図１（ａ）、（ｂ）は本発明の実施の形態で例
示した低クロストーク光配線の光信号の伝搬方向に対し
て平行で光導波路コアを含む面の光配線構造の一例を示
す模式図。
示した低クロストーク光配線の光信号の伝搬方向に対し
て平行で光導波路コアを含む面の光配線構造の一例を示
す模式図。
【図２】図２（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）は本発明の実施の
形態で例示した低クロストーク光配線の光信号の伝搬方
向に垂直な断面の単層光配線構造の一例を示す模式図。
形態で例示した低クロストーク光配線の光信号の伝搬方
向に垂直な断面の単層光配線構造の一例を示す模式図。
【図３】従来の光配線の光信号の伝搬方向に対して平行
で光導波路コアを含む面の光配線構造（ａ）および光配
線の光信号の伝搬方向に垂直な断面の単層光配線構造
（ｂ）の一例を示す模式図。
で光導波路コアを含む面の光配線構造（ａ）および光配
線の光信号の伝搬方向に垂直な断面の単層光配線構造
（ｂ）の一例を示す模式図。
１１…下部光導波路クラッド １２…光導波路コア １３…上部光導波路クラッド １４…Ｖ溝 １５…Ｓ字状の曲がり部分 １６…漏れ光 １７…Ｖ溝 １８…Ｖ溝 ２１…下地光導波路クラッド層 ２２…光導波路コア ２３…上部光導波路クラッド ２４…Ｓ字状の曲がり部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小勝負 信建 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】光信号を伝搬する光導波路コアを、該光導
波路コアよりも小さい屈折率を有する光導波路クラッド
層内に、上記光導波路コアを複数列、並列して同一平面
内に埋設した光配線において、上記埋設した光導波路コ
ア間の光導波路クラッド層内に、漏洩する基本モード光
または高次モード光を、反射もしくは屈折により光導波
路コアの外側に放射する壁面を有する溝を、上記光導波
路コアに接することなく配設してなることを特徴とする
低クロストーク光配線。 - 【請求項２】請求項１において、上記溝を配設する位置
は、マルチモード光導波路からなる光配線の曲がり部で
あることを特徴とする低クロストーク光配線。 - 【請求項３】請求項１または請求項２において、上記溝
は、光信号の伝搬方向に対して垂直な断面がＶ字状の形
をした溝であることを特徴とする低クロストーク光配
線。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16043998A JPH11352344A (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | 低クロストーク光配線 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16043998A JPH11352344A (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | 低クロストーク光配線 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11352344A true JPH11352344A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15714967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16043998A Pending JPH11352344A (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | 低クロストーク光配線 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11352344A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004118117A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Toshiba Corp | 光導波路アレイフィルム |
| JP2004287396A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-10-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 光導波路フィルム |
| JP2006267385A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光導波路素子 |
| WO2007004575A1 (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-11 | Mitsui Chemicals, Inc. | 光導波路フィルムおよび光電気混載フィルム |
| WO2007007134A1 (en) * | 2005-07-07 | 2007-01-18 | Nokia Corporation | Manufacturing of optical waveguides by embossing grooves by rolling |
| WO2007026601A1 (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-08 | Mitsui Chemicals, Inc. | 光導波路フィルムとその製造方法、それを含む光電気混載フィルムおよび電子機器 |
| JP2007241162A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Mitsui Chemicals Inc | 光導波路素子および光電気混載素子 |
| JP2007334236A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 光導波路及びその製造方法、並びに光通信モジュール |
| JP2008015303A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Toppan Printing Co Ltd | 光基板及びその製造方法 |
| KR100810304B1 (ko) | 2006-01-12 | 2008-03-06 | 삼성전자주식회사 | 평판형 광 도파로 |
| WO2010013747A1 (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-04 | Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社 | 平面光導波回路 |
| CN107505674A (zh) * | 2017-10-18 | 2017-12-22 | 西安奇芯光电科技有限公司 | 一种波导、低散射损耗交叉波导及其制造方法 |
| JP2018018059A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-02-01 | 学校法人法政大学 | 屈曲部を有する誘電体光導波路 |
| JP2018106095A (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板 |
| JP2020112702A (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-27 | 日本電信電話株式会社 | 平面光導波回路 |
| CN114280726A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-04-05 | 扬州群发换热器有限公司 | 一种含有空气隙的氮化硅波导的制备方法 |
| JP2022153294A (ja) * | 2021-03-24 | 2022-10-12 | エフェクト フォトニクス ベーハー | フォトニック集積回路およびフォトニック集積回路を含む光電子システム |
-
1998
- 1998-06-09 JP JP16043998A patent/JPH11352344A/ja active Pending
Cited By (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004118117A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Toshiba Corp | 光導波路アレイフィルム |
| JP2004287396A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-10-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 光導波路フィルム |
| JP4518987B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2010-08-04 | 日本航空電子工業株式会社 | 光導波路素子 |
| JP2006267385A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光導波路素子 |
| WO2007004575A1 (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-11 | Mitsui Chemicals, Inc. | 光導波路フィルムおよび光電気混載フィルム |
| JP4679580B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2011-04-27 | 三井化学株式会社 | 光導波路フィルムおよび光電気混載フィルム |
| US7738755B2 (en) | 2005-06-30 | 2010-06-15 | Mitsui Chemicals, Inc. | Optical waveguide film and photoelectric film |
| JPWO2007004575A1 (ja) * | 2005-06-30 | 2009-01-29 | 三井化学株式会社 | 光導波路フィルムおよび光電気混載フィルム |
| KR100921866B1 (ko) | 2005-06-30 | 2009-10-13 | 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 | 광도파로 필름 및 광전기 혼재 필름 |
| US7903921B2 (en) | 2005-07-07 | 2011-03-08 | Nokia Corporation | Manufacturing of optical waveguides |
| WO2007007134A1 (en) * | 2005-07-07 | 2007-01-18 | Nokia Corporation | Manufacturing of optical waveguides by embossing grooves by rolling |
| EP2037300A3 (en) * | 2005-07-07 | 2009-04-08 | Nokia Corporation | Manufacturing of optical waveguides by embossing grooves by rolling |
| EP2037300A2 (en) * | 2005-07-07 | 2009-03-18 | Nokia Corporation | Manufacturing of optical waveguides by embossing grooves by rolling |
| WO2007026601A1 (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-08 | Mitsui Chemicals, Inc. | 光導波路フィルムとその製造方法、それを含む光電気混載フィルムおよび電子機器 |
| JPWO2007026601A1 (ja) * | 2005-08-29 | 2009-03-05 | 三井化学株式会社 | 光導波路フィルムとその製造方法、それを含む光電気混載フィルムおよび電子機器 |
| JP4679582B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2011-04-27 | 三井化学株式会社 | 光導波路フィルムとその製造方法、それを含む光電気混載フィルムおよび電子機器 |
| KR100810304B1 (ko) | 2006-01-12 | 2008-03-06 | 삼성전자주식회사 | 평판형 광 도파로 |
| JP4703441B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2011-06-15 | 三井化学株式会社 | 光導波路素子および光電気混載素子 |
| JP2007241162A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Mitsui Chemicals Inc | 光導波路素子および光電気混載素子 |
| JP2007334236A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 光導波路及びその製造方法、並びに光通信モジュール |
| JP4692405B2 (ja) * | 2006-06-19 | 2011-06-01 | 富士ゼロックス株式会社 | 光導波路及びその製造方法、並びに光通信モジュール |
| JP2008015303A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Toppan Printing Co Ltd | 光基板及びその製造方法 |
| JP2010032921A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Ntt Electornics Corp | 平面光導波回路 |
| WO2010013747A1 (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-04 | Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社 | 平面光導波回路 |
| US8615146B2 (en) | 2008-07-30 | 2013-12-24 | Ntt Electronics Corporation | Planar optical waveguide |
| JP2018018059A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-02-01 | 学校法人法政大学 | 屈曲部を有する誘電体光導波路 |
| JP2018106095A (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板 |
| CN107505674A (zh) * | 2017-10-18 | 2017-12-22 | 西安奇芯光电科技有限公司 | 一种波导、低散射损耗交叉波导及其制造方法 |
| JP2020112702A (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-27 | 日本電信電話株式会社 | 平面光導波回路 |
| US11835761B2 (en) | 2019-01-11 | 2023-12-05 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Planar optical waveguide circuit |
| JP2022153294A (ja) * | 2021-03-24 | 2022-10-12 | エフェクト フォトニクス ベーハー | フォトニック集積回路およびフォトニック集積回路を含む光電子システム |
| US11899254B2 (en) | 2021-03-24 | 2024-02-13 | Effect Photonics B.V. | Photonic integrated circuit and opto-electronic system comprising the same |
| CN114280726A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-04-05 | 扬州群发换热器有限公司 | 一种含有空气隙的氮化硅波导的制备方法 |
| CN114280726B (zh) * | 2021-12-23 | 2024-01-30 | 扬州群发换热器有限公司 | 一种含有空气隙的氮化硅波导的制备方法 |
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