JPH11349341A - 基板切断装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板を押圧する押圧体の洗浄の完全自動化を
可能とし、この工程を前後の工程と連接して基板の自動
切断化を図ることにより、加工された基板の品質向上を
図る。 【解決手段】 多孔状ローラ２６によりシート材９に洗
浄剤を塗布する。巻取りローラ２１でシート材９を巻き
取り、テーブル２４上に表出させる。押圧体６２を開口
７上に搬送し、その押圧面をシート材９に当接させる。
エアシリンダを１６を駆動してリニアガイド１９で基台
本体１２を左右に往復運動させることにより、押圧面に
対しシート材９を摺動させて押圧面の洗浄を行う。押圧
体６２をシート材９から離間させる。再度、多孔状ロー
ラ２６によりシート材９に洗浄剤を塗布する。巻取りロ
ーラ２１でシート材９を巻き取り、テーブル２４上に表
出させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板切断装置及び
方法に係り、特に、電界放出型電子放出素子（ＦＥＤ）
や蛍光表示素子（ＶＦＤ）に用いられるガラス基板の切
断工程において、ガラス基板切断時に、ガラス基板をク
リーンに保ちながら固定する、基板切断装置及び方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】図５及び図６は、従来の基板裏面スクラ
イブカット方式の基板切断機構の図である。基板切断機
構５１は、基体としてのベッド５２を有している。ベッ
ド５２の半部の上には、固定側の保持部５３が保持面を
水平にして固設されている。ベッド５２の他方の半部の
上には、可動側の保持部５４がアーム５５を介して移動
可能に取り付けられている。

【０００３】水平な状態に設定された可動側の保持部５
４は、固定側の保持部５３に対し、同一水平面内におい
て所定の間隔をおいて対向する。両保持部５３，５４の
上に載置されて水平に保持された基板７０の下面には、
両保持部５３，５４の空隙の位置に相当する部分に溝７
０ａが形成される。

【０００４】可動側の保持部５４の両端部には、それぞ
れアーム５５，５５が連結される。ベッド５２の対向す
る壁面には、一対の円弧状のレール５６，５６が取り付
けられる。各アーム５５は、案内手段としての曲線可動
ベアリング５７を介して各レール５６にそれぞれ取り付
けられる。円弧状のレール５６の中心は、前記両保持部
５３，５４に保持された基板７０に形成されている溝７
０ａに実質的に一致する。レール５６の少なくとも下側
の一端部にはストッパ５８があり、可動側の保持部５４
は水平な位置とこれよりも上方の位置との間の所定の角
度範囲において移動することができる。

【０００５】ベッド５２の壁面には押圧シリンダ５９が
取り付けられている。押圧シリンダ５９のシリンダの後
端部がベッド５２に回動可能に結合され、押圧シリンダ
５９のロッドの先端がアーム５５に回動可能に連結され
ている。押圧シリンダ５９は例えばエアシリンダからな
り、ロッドを伸縮することによってアーム５５をレール
５６に沿って揺動させ、両保持部５３，５４が保持して
いる基板７０の溝７０ａを中心として可動側の保持部５
４を水平位置とこれよりも上方の位置との間で任意に往
復して回動させることができる。

【０００６】基板切断装置５１は、基板７０の下面に溝
７０ａを形成するための溝７０ａ形成手段を有してい
る。溝形成手段６０は、両保持部５３，５４の間におい
て、両保持部５３，５４に保持された基板７０の下面に
沿って移動可能とされたカッター６１を有している。

【０００７】ガラス基板７０を上方から押すため、一対
の保持部５３，５４の上方には押圧体６２が設けられて
いる。押圧体６２はガラス基板７０に形成される溝７０
ａの長手方向に沿った長手形状を有する板状の部材であ
り、その長さは切断するガラス基板７０の長さに応じて
定める。押圧体６２のガラス基板７０と接する押圧面は
溝７０ａの長手方向に沿って連続したガラス面とされて
いる。

【０００８】以上の構成の動作を説明する。一枚のガラ
ス基板７０を前記一対の保持部５３，５４上にまたがっ
て載せる。不図示の吸引手段を駆動してガラス基板７０
を各保持部５３，５４に保持する。

【０００９】押圧体６２を下降させ、一対の保持部５
３，５４の間隙からやや保持部５３よりに、その間隙に
沿って基板７０を押圧する。

【００１０】一対の保持部５３，５４の間において溝形
成手段６０を駆動し、ガラス基板７０の下面に溝７０ａ
を形成する。そして、押圧シリンダ５９のロッドを伸縮
することによってアーム６５がレール６６に沿って揺動
し、両保持部５３，５４を保持している基板７０の溝７
０ａを中心として可動側の保持部５４を水平位置とこれ
よりも上方の位置に回動させる。これにより、基板は溝
を支点として折り取られる。

【００１１】このような基板の切断作業においては、保
持部５３上に保持されている基板７０上に、折取りの際
に発生する微細な基板屑が飛散する。一方、押圧体６２
は、基板７０が搬送されるごとに昇降を繰り返す。この
ため、基板７０と当接する押圧体６２の押圧面には、微
細な基板屑が付着する。したがって、押圧体６２が基板
７０をクランプするときに、基板７０に傷がつかないよ
うに、押圧面を手作業により定期的にクリーニングして
いた。

【００１２】しかし、このような押圧面のクリーニング
方法では、基板切断工程の作業効率を悪化させることと
なる。また、基板切断工程を繰り返し行うと、基板７０
の切断により保持台５３上に藻越されている基板７０上
に基板屑が飛散し、そのまま屑が飛散された基板７０の
位置に押圧体６２を下降させ、基板７０を押圧してい
た。このため、押圧面と基板７０の間に屑が挟まり、カ
ット位置が悪くなるという欠点がある。更に、基板切断
工程において、手作業による押圧面のクリーニングをし
ていたため、基板切断装置周辺のクリーン度が低下し、
良好な基板の製造を妨げることとなる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の欠点を除くためになされたものであって、その目的
とするところは、基板を押圧する押圧体の洗浄の完全自
動化を可能とし、この工程を前後の工程と連接して基板
の自動切断化を図ることにより、加工された基板の品質
向上を図ることにある。

【００１４】また他の目的は、基板を押圧する押圧体と
洗浄剤が供給されたシート材とを当接させ、相対的に摺
動させることにより、基板屑が付着した押圧体をクリー
ンな状態にすることであり、これによって再度基板を押
圧しても基板を損傷させず、かつ正確な切断を行うよう
にすることにある。

【００１５】更に他の目的は、押圧体搬送工程によって
基板切断工程と押圧体洗浄工程とを連接させること及び
洗浄剤供給工程によってシート材に洗浄剤を自動的に供
給することにより、手作業による押圧体の洗浄を不要と
し、基板切断装置周辺のクリーン度を向上させることに
あり、またこれによって基板一枚あたりの切断時間（タ
クトタイム）の短縮化を図ることにある。

【００１６】また他の目的は、基台に設けられたシート
材交換機構によって、押圧体との摺動により基板屑の付
着したシート材を基台内部へ送り込み、逐次開口を新た
なシート材で覆うようにすることにより、シート材の交
換の完全自動化を図ることにある。

【００１７】更に他の目的は、多孔状ローラと多孔状ロ
ーラに洗浄剤を供給する供給部を有する洗浄剤供給機構
を設けたことにより、シート材交換工程と連動して、洗
浄剤の供給量の調節の完全自動化を図ることにある。

【００１８】また他の目的は、シート材のうち少なくと
も開口を覆う部分に洗浄剤を噴霧する洗浄剤ノズルと、
洗浄剤ノズルに洗浄剤を供給する供給部とを有する洗浄
剤供給機構を設けたことにより、押圧体洗浄工程中にお
いても随時洗浄剤をシート材に噴霧することにあり、よ
り一層洗浄剤の供給量の調節の完全自動化を図ることに
ある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】要するに、本発明の請求
項１記載の基板切断装置は、基板に対し外力を加えるこ
とにより前記基板を支持する押圧体と、前記基板を切断
する基板切断機構と、を具備する基板切断装置におい
て、前記押圧体が当接するシート材と、前記シート材に
洗浄剤を供給する洗浄剤供給機構と、前記押圧体に対し
前記シート材の一部又は全部を摺動させる滑動自在な基
台と、シート材を交換するシート材交換機構と、を具備
する押圧体洗浄手段と、前記基板切断機構による前記基
板の切断時には前記押圧体を前記基板上に搬送し、前記
押圧体洗浄手段による前記押圧体の洗浄時には前記シー
ト材上に搬送する押圧体搬送手段と、を有することを特
徴とするものである。

【００２０】また、上述した本発明の請求項１記載のシ
ート材交換機構は、前記シート材を巻装した巻戻しロー
ラと、該巻戻しローラから前記シート材を巻き取る巻取
りローラと、前記巻戻しローラと巻取りローラとの間で
前記シート材を張架する一対の張架ローラとで構成され
るものとしてもよい。

【００２１】更に、上述した本発明の請求項１又は２記
載の洗浄剤供給機構は、前記巻戻しローラと前記張架ロ
ーラとの間で前記シート材を支持する回動自在な多孔状
ローラと、該多孔状ローラに洗浄剤を供給する供給部と
で構成されるものとしてもよく、また、前記シート材の
うち少なくとも前記開口を覆う部分に洗浄剤を噴霧する
洗浄剤ノズルと、該洗浄剤ノズルに洗浄剤を供給する供
給部とで構成されるものとしれもよい。

【００２２】また、本発明の請求項５記載の基板切断方
法は、押圧体により前記基板に対し外力を加えて前記基
板を支持し、前記基板を切断する基板切断工程を有する
基板切断方法において、前記押圧体が当接するシート材
に、洗浄剤を供給する洗浄剤供給工程と、前記押圧体と
前記洗浄剤が供給されたシート材とが当接した状態で相
対的に摺動させ、前記押圧体を洗浄する押圧体洗浄工程
と、前記基板切断工程を一回又は複数回繰り返した後、
前記押圧体を前記シート材上に搬送し、前記押圧体洗浄
工程により前記押圧体を洗浄した後、前記押圧体を前記
基板上に搬送する押圧体搬送工程と、前記押圧体洗浄工
程後に、前記押圧体を洗浄したシート材を基台内部へ送
り込み、逐次新たなシート材を前記基台に表出させるシ
ート材交換工程と、を有することを特徴とするものであ
る。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明による基板切断装置の第１
実施の形態について図１から図３を用いて説明する。な
お、上述した従来の技術と同一又は同等部分には、同一
符号を付して示し、その説明を省略する。

【００２４】本発明による基板切断装置１は、上述した
基板切断機構５１と、上述した押圧体６２の押圧面を洗
浄する押圧体洗浄手段２と、押圧体６２を基板切断機構
５１と押圧体洗浄手段２との間を搬送させる押圧体搬送
手段３で構成される。押圧体搬送手段としての搬送アー
ム２は、押圧体６２の押圧運動を行うために昇降自在な
昇降軸４と、昇降軸４を中心に回動自在なアーム部５
と、アーム部５と押圧体を連結する連結部６で構成され
ている。

【００２５】押圧体洗浄手段２は、開口７を有する滑動
自在な基台８と、開口７を覆ったシート材９と、シート
材９に洗浄剤を供給する洗浄剤供給機構１０と、シート
材９の一部又は全部を交換するシート材交換機構１１と
で構成されている。

【００２６】基台８は、基台本体１２と、垂直盤１３と
水平盤１４からなる断面Ｌ字状のベース１５と、ベース
１５の垂直盤１３を貫通し、基台本体１２の側面に連結
されるエアシリンダ１６と、ベース１５の水平盤１４に
設けられたガイドレール１７と基台本体１２底面に設け
られた案内部１８とからなるリニアガイド１９で構成さ
れている。

【００２７】シート材交換機構１１は、シート材９を巻
装した巻戻しローラ２０と、巻戻しローラ２０に対向配
置され、シート材９を巻き取る巻取りローラ２１と、開
口７端部に配設され、シート材９に一定のテンションを
与える一対の張架ローラ２２，２２で略構成されてい
る。

【００２８】巻戻しローラ２０と巻取りローラ２１は、
モータ２３，２３により回動するようになっている。

【００２９】開口７には、シート材９を支持するテーブ
ル２４が設けられている。テーブル２４表面にはシート
材９が敷かれており、テーブル２４裏面には、押圧体６
２による負荷を吸収するバネ，シリンダ等の吸収材２５
が取り付けられている。

【００３０】巻戻しローラ２０と、巻戻しローラ２０側
に設けられている張架ローラ２２との間には、洗浄剤供
給機構１０が設けられている。洗浄剤供給機構１０は、
図３で示すように、多孔状ローラ２６と洗浄剤供給部２
７で構成されている。多孔状ローラ２６は、巻戻しロー
ラ２０と、巻戻しローラ２０側に設けられている張架ロ
ーラ２２の間に巻回されており、各孔から洗浄剤供給部
２７から供給された洗浄剤が滲出するようになってい
る。なお、多孔状ローラ２６と対称的な位置，即ち巻取
りローラ２１と、巻取りローラ２１側に設けられている
張架ローラ２２との間には、一対のスキージローラ２
８，２８がシート材９を挟持するようにして回動自在に
設けられている。

【００３１】次に、本実施の形態の作用について説明す
る。まず、基板切断工程を行う。この工程は、上述した
従来の技術における基板切断機構の動作と同様であるた
め、省略する。

【００３２】この基板切断工程の後、押圧体６２を押圧
体洗浄手段２へ搬送する往路押圧体搬送工程に移る。ま
ず、基板７０の切断が終わると、押圧体搬送手段３の昇
降軸４を上昇させることにより、押圧体６２を基板７０
から離間させる。次に、搬送アーム３を押圧体洗浄手段
２の方へ回動させ、開口７上で押圧体６２を停止させ
る。

【００３３】次に、押圧体洗浄工程に移行する。まず、
多孔状ローラ２６に洗浄剤を供給し、各孔から洗浄剤を
滲出させる。次に、巻戻しローラ２０と巻取りローラ２
１を同一方向に駆動させてシート材９を巻取りローラ２
１側へ巻き取る。これにより、シート材９に洗浄剤が塗
布されるとともに、洗浄剤が塗布されたシート材９が、
テーブル２４上に引き出されることとなる。このあと、
各モータ２３，２３の駆動を停止させる。

【００３４】次に、昇降軸４を下降させ、押圧体６２の
押圧面を洗浄剤が塗布されたシート材９に当接させる。
押圧面とシート材９が当接した状態で、エアシリンダ１
６を駆動させ、基台８を水平方向に繰り返し往復運動さ
せる。即ち、固定された押圧面に対し、シート材９が摺
動することとなる。この基台８の往復運動により押圧面
が洗浄されると、エアシリンダ１６の駆動を停止する。

【００３５】この押圧体洗浄工程の後、押圧体６２を基
板切断機構５１へ搬送する復路押圧体搬送工程に移行す
る。まず、昇降軸４を上昇させることにより、押圧体６
２の押圧面とシート材９を離間させる。次に、搬送アー
ム３を基板切断機構５１の方へ回動させ、保持部５３上
で押圧体６２を停止させる。

【００３６】以上の工程順路を繰り返し行う。なお、再
度押圧体洗浄工程に移行したときについて補足説明す
る。まず、多孔状ローラ２６に洗浄剤を供給し、各孔か
ら洗浄剤を滲出させる。次に、巻戻しローラ２０と巻取
りローラ２１を同一方向に駆動させてシート材９を巻取
りローラ２１側へ巻き取る。これにより、シート材９に
洗浄剤が塗布されるとともに、洗浄剤が塗布されたシー
ト材９が、テーブル２４上に引き出されることとなる。
このとき、テーブル２４上に敷設されていたシート材９
は、巻取りローラ２０により巻き取られる前に、スキー
ジローラ２８，２８を通過する。これにより、シート材
９に残された洗浄剤と基板屑がスキージされ、スキージ
ローラ２８，２８下方に設けられている不図示の廃液箱
に滴下される。これにより、巻取りローラ２１の汚れを
防止できる。この後の動作は、上述した押圧体洗浄工程
と同様である。

【００３７】また、上述した実施の形態は、洗浄剤供給
手段２として多孔状ローラ２６とその供給部２７を用い
ていたが、その替わりに、複数の洗浄剤ノズル３０とそ
の洗浄剤供給部を設けてもよい。洗浄剤ノズル３０は、
複数のノズル部３１とノズル台３２で構成されており、
基台本体１２内においてテーブル２４と対向配置されて
いる。ノズル台３２は、不図示の洗浄剤供給部から洗浄
剤の供給を受け、各ノズル部３１に分配するようになっ
ている。また、ノズル部３１の直上のテーブル２４に
は、ノズル部３１から噴霧される洗浄剤を通すための小
孔３３が形成されている。なお、多孔状ローラ２６が配
設されていた位置には、通常のローラ３４が配設されて
いる。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように本発明による基板切
断装置では、基板を押圧する押圧体の洗浄の完全自動化
を可能とし、この工程を前後の工程と連接して基板の自
動切断化を図ることができ、加工された基板の品質向上
を図ることができる。

【００３９】また、基板を押圧する押圧体と洗浄剤が供
給されたシート材とを当接させ、相対的に摺動させるこ
とにより、基板屑が付着した押圧体をクリーンな状態に
するという効果が得られ、これによって再度基板を押圧
しても基板を損傷させず、かつ正確な切断を行うように
するという効果が得られる。

【００４０】更に、押圧体搬送工程によって基板切断工
程と押圧体洗浄工程とを連接させること及び洗浄剤供給
工程によってシート材に洗浄剤を自動的に供給すること
により、手作業による押圧体の洗浄を不要とし、基板切
断装置周辺のクリーン度を向上させるという効果が得ら
れ、またこれによって基板一枚あたりの切断時間（タク
トタイム）の短縮化されるという効果が得られる。

【００４１】また、基台に設けられたシート材交換機構
によって、押圧体との摺動により基板屑の付着したシー
ト材を基台内部へ送り込み、逐次開口を新たなシート材
で覆うようにすることにより、シート材の交換の完全自
動化されるという効果が得られる。

【００４２】更に、多孔状ローラと多孔状ローラに洗浄
剤を供給する供給部を有する洗浄剤供給機構を設けたこ
とにより、シート材交換工程と連動して、洗浄剤の供給
量の調節の完全自動化されるという効果が得られる。

【００４３】また、シート材のうち少なくとも開口を覆
う部分に洗浄剤を噴霧する洗浄剤ノズルと、洗浄剤ノズ
ルに洗浄剤を供給する供給部とを有する洗浄剤供給機構
を設けたことにより、押圧体洗浄工程中においても随時
洗浄剤をシート材に噴霧するという効果が得られ、より
一層洗浄剤の供給量の調節の完全自動化されるという効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による基板切断装置の実施の形態の上面
図である。

【図２】本発明による基板切断装置の実施の形態におけ
る押圧体洗浄手段の部分断面図である。

【図３】本発明による基板切断装置の実施の形態におけ
る洗浄剤供給機構の斜視図である。

【図４】本発明による基板切断装置の他の実施の形態に
おける押圧体洗浄手段の部分断面図である。

【図５】従来の基板切断機構の斜視図である。

【図６】従来の基板切断機構の側面動作図である。

【符号の説明】

２…押圧体洗浄手段 ３…押圧体搬送手段 ８…基台 ９…シート材 １０…洗浄剤供給機構 １１…シート材交換機構 ２０…巻戻しローラ ２１…巻取りローラ ２２…張架ローラ ２６…多孔状ローラ ２７…洗浄部 ３０…洗浄ノズル ５１…基板切断機構 ６２…押圧体 ７０…基板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に対し外力を加えることにより前記
   基板を支持する押圧体と、前記基板を切断する基板切断
   機構と、を具備する基板切断装置において、 前記押圧体が当接するシート材と、前記シート材に洗浄
   剤を供給する洗浄剤供給機構と、前記押圧体に対し前記
   シート材の一部又は全部を摺動させる滑動自在な基台
   と、シート材を交換するシート材交換機構と、を具備す
   る押圧体洗浄手段と、 前記基板切断機構による前記基板の切断時には前記押圧
   体を前記基板上に搬送し、前記押圧体洗浄手段による前
   記押圧体の洗浄時には前記シート材上に搬送する押圧体
   搬送手段と、を有することを特徴とする基板切断装置。
2. 【請求項２】 前記シート材交換機構は、 前記シート材を巻装した巻戻しローラと、該巻戻しロー
   ラから前記シート材を巻き取る巻取りローラと、前記巻
   戻しローラと巻取りローラとの間で前記シート材を張架
   する一対の張架ローラとで構成されていることを特徴と
   する請求項１記載の基板切断装置。
3. 【請求項３】 前記洗浄剤供給機構は、 前記巻戻しローラと前記張架ローラとの間で前記シート
   材を支持する回動自在な多孔状ローラと、該多孔状ロー
   ラに洗浄剤を供給する供給部とで構成されていることを
   特徴とする請求項１又は２記載の基板切断装置。
4. 【請求項４】 前記洗浄剤供給機構は、 前記シート材のうち少なくとも前記開口を覆う部分に洗
   浄剤を噴霧する洗浄剤ノズルと、該洗浄剤ノズルに洗浄
   剤を供給する供給部とで構成されていることを特徴とす
   る請求項１又は２記載の基板切断装置。
5. 【請求項５】 押圧体により前記基板に対し外力を加え
   て前記基板を支持し、前記基板を切断する基板切断工程
   を有する基板切断方法において、 前記押圧体が当接するシート材に、洗浄剤を供給する洗
   浄剤供給工程と、 前記押圧体と前記洗浄剤が供給されたシート材とが当接
   した状態で相対的に摺動させ、前記押圧体を洗浄する押
   圧体洗浄工程と、 前記基板切断工程を一回又は複数回繰り返した後、前記
   押圧体を前記シート材上に搬送し、前記押圧体洗浄工程
   により前記押圧体を洗浄した後、前記押圧体を前記基板
   上に搬送する押圧体搬送工程と、 前記押圧体洗浄工程後に、前記押圧体を洗浄したシート
   材を基台内部へ送り込み、逐次新たなシート材を前記基
   台に表出させるシート材交換工程と、を有することを特
   徴とする基板切断方法。