JPH11326219A

JPH11326219A - 一気体発行スペクトル分析のための改善されたサンプルセル

Info

Publication number: JPH11326219A
Application number: JP11056845A
Authority: JP
Inventors: Joseph Wegrzyn; ジョーゼフ・ベクルツィン; Mark Leonard Malczewski; マーク・レナード・マールチェフスキ
Original assignee: Praxair Technology Inc
Current assignee: Praxair Technology Inc
Priority date: 1998-03-06
Filing date: 1999-03-04
Publication date: 1999-11-26
Also published as: ID22720A; US6043881A; EP0940670A1; BR9900883A; CN1233753A; CA2264416A1; KR19990077578A; IL128839A0; TW381171B

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】連続した流れ条件の下で混合気体の気体流れ
中の多数の選択された不純物を検出するための改善され
た分析管及び分析方法を開発すること。【解決手段】気体流れ中の、低濃度の複数の気体／蒸
気不純物を分析しそして測定するための気体放電分光計
において使用のための改善された放電管１０であって、
複数の分析地点１６、１８、２０、２２を有し、そこを
通して前記サンプルセル２４、２６を横切っての交流電
源により発生せしめられる発光放射が分析されそして測
定される放電管１０を使用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、連続した流れ条件
の下で混合気体の気体流れにおいて所定の気体汚染物の
濃度を検出しそして定量するため気体流れを分析するた
めの気体発光分光計（gas emission spectrometers）に
関するものである。特には、本発明は、複数の分析場所
を特徴とする気体発光分光計用の単数乃至複数のサンプ
ルセルを含む改善された放電管、並びに複数の選択され
た不純物の同時分析のための方法に関係する。

【０００２】

【従来の技術】不活性気体、特にアルゴンの超高純度で
の供給が大規模集積回路の製造に必須となってきてい
る。半導体製造業者は、アルゴン流れ中の不純物を１０
ｐｐｂ未満にまで除去するのに市販の精製器を使用して
いる。これら精製器により除去される重要性の高い不純
物の幾つかの例として、Ｏ２、Ｈ２Ｏ、ＣＯ、Ｈ２、Ｃ
Ｏ２、ＣＨ４及びＮ２を挙げることができる。気体流れ
純度がその厳密な仕様を連続して満たし続けることを保
証するために連続した流れ条件の下での不活性気体流れ
の連続した探知が必須である。

【０００３】現在のところ、高純度アルゴン気体流れ中
での低濃度水準の窒素の連続探知のための唯一の方法
は、発光分光である。発光分光においては、気体は気体
放電において励起されて、気体流れ中の各気体に固有の
最適の発光スペクトルラインを生成する。窒素のライン
がその後隔離されそしてその濃度を定量するためにその
強度を測定するべく分析される。

【０００４】従来の発光分光計は、誘電性パイレックス
チューブを使用し、これはそこから伸びる２つの電極を
備え、ここに放電を生ぜしめるに十分の高い電位におい
て交流電場が印加される。気体サンプルは連続した流れ
条件の下でチューブ内に送給されそして放電中エネルギ
ー吸収により励起される。これは、気体分子がが高いエ
ネルギー水準から低いエネルギー水準に落下するに際し
て輻射エネルギーの放出をもたらす。この放出光の波長
は、エネルギーの吸収及び放出により励起された気体成
分に固有である。所望されない波長をフィルタにより除
去することにより、気体流れ中における任意の気体の発
光強度を測定することができる。アルゴン気体流れにお
いて、窒素のような不純物気体の濃度水準は、窒素に対
する最強特性波長において、即ち３３７．１ｎｍにおい
て、光学的に光を隔離しそして分離された光学信号を相
当する電気信号に変換することにより測定することがで
きる。

【０００５】従来からの発光分光においては、放電源か
らの放射出力信号は、変調されて時として普通には「チ
ョッパ」と呼ばれる機械的に回転するホイールを使用し
て交流電気信号を発生する。放電管からの光学的信号出
力を変調するのに使用されるこうしたチョッパは、例え
ば５１０Ｈｚの所望の変調周波数を発生する。変調され
た信号は、そのあと、５１０Ｈｚの変調された周波数信
号を選択的に増幅しそして他の周波数を排除するべく同
調増幅器を含む信号電子装置を使用して変調された周波
数において検出される発光ライン３３７．１ｎｍを隔離
するようにフィルターにかけられる。チョッパは、無音
放電管の光学出力信号をその早期の開始から変調するた
めに発光分光器において使用されてきた。発光分光器に
おけるチョッパに対する機能及び必要性は、１９６２年
５月１日発行の米国特許第３，０３２，６５４号に記載
されている。

【０００６】発光分析器の操作に対するまた別の操作方
式が、１９９５年５月２日に発行された米国特許第５，
４１２，４６７号に詳しく記載されている。この開示に
従えば、発光分析計の操作にこれまで必須と考えられて
いた「チョッパ」とその機能は完全に排除しうることが
見いだされた。代わりに、放電源からの発光放射が、高
電圧トランスフォーマへの入力周波数を制御することに
より変調されそして変調電気信号に変換されそして放電
管を横切って適用される交流電圧源の励起周波数の実質
上２倍において中心を合わされる狭い周波数範囲内で増
幅される。これは、気体サンプルにおける任意の気体不
純物の検出の感度を一桁増大すると報告されている。特
に、この概念を使用してのアルゴン気体サンプル中の窒
素の検出範囲は、２０ｐｐｂ以下の水準まで拡張されう
るものとして記載されている。

【０００７】発光分光を使用して連続的に流れる気体流
れ２０ｐｐｂ以下の水準まで拡張して分析するための、
米国特許第５，４１２，４６７号と関連する方法は、次
の段階を包含する：気体流れのサンプルを放電源を通し
て差し向ける段階、放電源を横切って予備選択された励
起周波数において交流電源を印加し、その場合該交流電
源は放電を持続しそして気体流れからの広範囲の放射ス
ペクトルの発光放射を発生しうるものとする段階、放射
スペクトルをフィルタに通して、分析されるべき予備選
択された気体乃至蒸気不純物の強い方の放射波長に相当
する狭い放射発光バンド幅を有する光学的信号を形成す
る段階、前記光学信号を電気信号に変換する段階、前記
電気信号を励起周波数の実質上２倍において中心を合わ
される狭い周波数範囲内で選択的に増幅する段階、前記
選択的に増幅された電気信号を分析して、分析下の気体
乃至蒸気の濃度水準を決定する段階。

【０００８】この方法を使用して、次の要素を含む気体
発光分光計が開示された：無音放電源、気体サンプルを
予備選択された流量で前記放電源を通して送給するため
の手段、前記無音放電管を横切って所定の励起周波数に
おいてそして放電を持続しそして気体流れからの広範囲
の放射スペクトルの発光放射を発生しうるに十分の電圧
を有する交流電圧源を印加するための電源手段、放射ス
ペクトルを光学的にフィルタに通して、気体サンプルに
おける検出のため予備選択された気体不純物の強い方の
放射波長に相当する狭い放射発光バンド幅を有する光学
的信号を形成するための手段、前記光学信号を対応する
電気信号に変換するための手段及び前記電気信号を励起
周波数の実質上２倍において中心を合わされる狭い周波
数範囲内で選択的に増幅する手段。これにより、気体不
純物の検出感度が２０ｐｐｂ以下の最小検出水準（ＭＤ
Ｌ）まで増大される。

【０００９】米国特許第３，０３２，６５４号に記載さ
れたような、従来の気体発光分光計は、アルゴンのよう
なサンプル気体中の窒素のような単一の不純物を分析す
るように設計されていた。従って、単一の分析管と単一
の光電子増幅管検出器が必要とされるだけであった。こ
の分析管は代表的に厚いプレートガラスとスペーサを互
いにエポキシ結合して構成されるから、堅牢でそして比
較的組立が容易であった。プレートガラス及びスペーサ
の厚さは９／１６インチ（１．４ｃｍ）の比較的広い電
極ギャップをもたらした。しかし、電極ギャップは、サ
ンプル気体流れにおけるプラズマ放電を開始するに必要
な電圧を決定するに当たっての鍵となるパラメータであ
る。９／１６インチ（１．４ｃｍ）のギャップにおいて
は、アルゴンのような容易に励起しうるサンプル気体中
でさえ、プラズマを持続するのに約７０００ＶＡＣが必
要である。そうした電圧を長期間連続的に供給するため
には、嵩高い変圧器が必要とされる。加えて、従来技術
を使用してそうした分析管を作製するに当たっては、結
合部や継ぎ目を封着するのにエポキシが代表的に使用さ
れていた。エポキシの場合、気体漏出及びセルへの大気
漏入の危険が、サンプル気体純度を劣化する危険があ
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従って、連続した流れ
条件の下で混合気体の気体流れ中の多数の選択された不
純物を検出するための、特に多重分析能力が複数の分析
機器の必要性やそれに伴う全体的なユニットの嵩や寸法
の増加をもたらさない形態で、改善された分析管及び分
析方法を開発することが必要とされている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】ここに、気体流れ中の複
数の選択された気体不純物の分析のための改善された気
体発光分光分析方法が開発された。加えて、複数の気体
乃至蒸気不純物の同時分析を実現することのできる気体
発光分光分析計用の改善された放電管が開発された。

【００１２】好ましい放電管は、米国特許第２，９４
３，２２３号に教示された原理を基礎とする「無音放電
管（silent electric discharge tube）」である。一般
に、代表的な放電分析器管は、矩形形態を形成するよう
マンドレル上で平坦化されたパイレックスガラス管にそ
の平坦側面に電極を付設して成る。電極は、高電圧イオ
ン化トランスファー及び可変周波数発振器を含む入力電
源に接続される。米国特許第５，４１２，４６７号に更
に記載されるように、例えば１２０Ｖ、６０Ｈｚの従来
からのＡＣ線路電源からの線路電圧が入力電源の可変周
波数発振器に接続される。可変周波数発振器は、放電管
に印加される電源出力周波数（以下励起周波数と呼ぶ）
の調整を可能とする、任意の従来設計のものであり得
る。励起周波数は、ＡＣ線路電源周波数に対して１：１
の比率から任意の所望の倍数乃至分率まで調整すること
ができる。高電圧イオン化トランスファーもまた、設計
において従来通りでありそして入力電源の出力電圧を放
電分析管における電極間に放電を維持するに必要な電圧
をまで高める。放電を維持するに必要な所要電圧は代表
的に何千ボルトものオーダにある。従って、イオン化ト
ランスファーは、線路電圧を多数倍、例えば１２０Ｖの
線路電圧に対しては７２００Ｖの代表的な入力電圧を提
供するよう６０倍、増倍できねばならない。

【００１３】分析計管は、そこを通してコントロールさ
れた流量において気体のサンプルを流すため入口と出口
とを有している。気体供給マニホルドから分析器管への
サンプル気体の圧力及び流量を代表的に大気圧において
１〜４ＳＣＦＨ〔０．０２８〜０．１ｍ３／時間）範囲
の一層望ましい流量範囲内に調整するのに調節自在の弁
が使用されうる。発光分光計による検出可能とする光学
的な発光特性を有するものであれば、本発明により連続
流れ条件の下で任意の気体組成物が分析計管内で分析さ
れうる。

【００１４】分析されるべき気体不純物の発光ラインを
隔絶するのに光学フィルタが使用される。従って、光学
フィルタは、無音放電源から放出される光の広いスペク
トル排除するために非常に狭いバンドパスを有しなけれ
ばならない。例えば、アルゴン気体サンプル中の窒素を
検出するためには、関心のある発光ラインは３３７．１
ｎｍである。

【００１５】従来設計の光電子倍増管が、光学フィルタ
ーから伝達された隔離された光学信号を対応する電気出
力信号に変換するのに使用される。光電子倍増管は、検
出されるべき不純物気体に対して関心のある発光ライン
近くに最大スペクトル応答を有しなければならない。

【００１６】光電子倍増管からの電気的な出力信号は、
本発明に従えば、入力電源の励起周波数のほぼ２倍にお
いて狭い範囲の中心周波数範囲内の信号を選択的増幅す
ることができる任意の従来型式のアナログ増幅器に送ら
れる。アナログ増幅器は、信号を調節自在の基準周波数
信号相当する周波数において励起周波数の２倍に設定さ
れるよう増幅する、当業者には知られた従来からの「ロ
ックーイン」増幅器に代表されうるし、或いは本発明に
対しては入力電源の励起周波数のほぼ２倍に等しいよう
な、電気信号の非常に狭い周波数域選出し得るように働
く「同調増幅器」により代表されうる。従来型式の「同
調周波数」の設計は、最大応答を入力電源の励起周波数
の２倍に等しくなるよう中心を合わせた、即ち「同調し
た」単数乃至複数の演算増幅器を含んでいる。したがっ
て、アナログ増幅器は、入力電源の励起周波数のほぼ２
倍においてのみ信号を増幅することになる。別個のＤＣ
電源が光電倍増管及びアナログ増幅器それぞれに対して
電力を提供する。

【００１７】アナログ増幅器からの出力信号は、ＤＣ信
号に整流され、これは、モニタ上に表示のためそして／
又は特定の不純物測定の分析のために校正されうる記録
計を動作させるために気体不純物の水準の大きさの目安
を提供する。

【００１８】放電管からの光学信号は、フィルタに通さ
れそして電気信号に変換され、これは、入力電源の励起
周波数の実質上２倍における電気信号の選択的増幅のた
めアナログ増幅器により増幅される。任意の励起周波数
が使用されうるが、２５５Ｈｚ以上の電源励起周波数を
使用して動作させることが好ましい。これは、気体サン
プル中の不純物の存在を検出するに際しての感度の増大
をもたらす。

【００１９】光学フィルタにより選択される波長を変更
することにより、本発明の分光計は、ＵＶ乃至可視スペ
クトルにおいて適当な発光ラインを任意の不純物に対し
て分析するようになされうる。一例として、３３７．１
ｎｍから３０８．０ｎｍへの光学波長の変更は、湿分を
分析することを可能ならしめ、他方４３０．０ｎｍへ波
長を変更することにより、メタンの分析が可能とされ
る。更に、アルゴン以外のベース気体の気体流れを使用
して分析を行うことができる。放電管の動作圧力及び寸
法形態は、気体混合物中の低い方のイオン化電位を有す
る成分の励起を好都合ならしめる。アルゴンに対して窒
素の低いイオン化電位により、窒素はアルゴン中で分析
されうる。従って、不純物気体乃至蒸気より高いイオン
化電位を有する任意のベース気体が使用されうる。つま
り、例えば、窒素、一酸化炭素、二酸化炭素、酸素、メ
タン、水素及び水から成る群から選択される不純物は、
アルゴン以外の、例えばヘリウム、ネオン及びクリプト
ンそれぞれ若しくはその混合物のようなベース気体中で
の不純物としてその存在を容易に分析されうる。

【００２０】米国特許第５，４１２，４６７号に記載さ
れるような標準的な配列構成において、特定の気体不純
物の濃度を測定するべく無音放電管の一方の指定された
端（分析地点）から分析されうる。放電管の相補的な対
向端もまた、放電管の第１の分析地点からの放射発光の
分析とは独立して、第２の気体不純物の存在に対する放
射発光スペクトルを分析するための分析地点として使用
できる。第２気体不純物に対応する波長を有する第２の
光学フィルタが、例えば第１の光学フィルタが窒素或い
はメタンに対して分析するよう選択され、第２の不純物
が水分であるなら３０８ｎｍの波長を有する第２の光学
フィルタが使用される。第１の気体不純物の分析と同時
して第２気体不純物の濃度を分析測定するため第１の光
電倍増管及びアナログ増幅器の機能と同じ第２の光電倍
増管及びアナログ増幅器が使用される。各気体に対する
分析操作は互いに独立しておりそして互いに干渉しな
い。この配列構成は、同じ発光放射から２種の気体不純
物を分析するため例えばビームスプリッタを使用するの
とは全く異なる。しかし、代表的な放電管分析計管の寸
法形態は放電管の両端において各分析地点で１種づつ２
種の不純物に対する同時分析能力を制限している。

【００２１】ここに、気体発光分光技術を使用して連続
的に流れる気体流れを分析するための改善された方法が
開発され、これにより、気体流れ中の３種以上の気体乃
至蒸気不純物の存在が低濃度水準において検出されう
る。本発明方法に従えば、気体流れのサンプルが、１つ
以上のサンプルセルを含む放電分析管を通して差し向け
られ、その場合前記分析管は気体流れからの発光放射を
発生せしめる３つ以上の分析地点を有するものとなし、
前記サンプルセルは放電源内部に設定され、前記放電源
を横切って交流電源を印加して、気体流れから広い範囲
のスペクトルの発光放射を発生せしめ、そして複数の分
析地点で同時に発光放射を分析して分析下の気体乃至蒸
気の濃度を決定することを特徴とする気体発光分光技術
を使用して連続的に流れる気体流れを分析するための方
法が提供される。

【００２２】本発明はまた、連続的な流れ条件の下で気
体流れ中の、低濃度の複数の気体／蒸気不純物を分析し
そして測定するための気体放電分光計において使用のた
めの改善された放電分析管に関係する。本放電分析管
は、１つ以上のサンプルセルを含みそして３つ以上の分
析地点を有し、そこを通して前記サンプルセルを横切っ
ての交流電源により発生せしめられる発光放射が分析さ
れそして測定されうる。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明を図面を参照して詳細に説
明する。図面において共通の要素には同じ番号が付けら
れている。放電分析器管の好ましい具体例が図１に示さ
れている。分析計管１０は、コントロールされた流量で
分析計管１０を通してサンプル気体を流すため入口１２
及び出口１４を具備する。調節自在の弁（図示なし）を
備える気体供給マニホルドが、所望に流量比及び圧力を
満足するように分析計管内へのサンプル気体の圧力及び
流量を調整するのに使用される。発光分光分析による検
出を可能とする光学的発光特性を有するものなら、任意
の気体組成物が連続した流れ条件の下で分析計管におい
て分析されうる。

【００２４】操作において、気体は、入口１２を通して
分析器に流入しそして導管２８において２つの行路に転
流される。分割された流れは、平行セル２４及び２６を
通して流れる。電源が、それぞれのサンプルセルの対向
する側面に取り付けられた電極（図示なし）管に放電を
持続するに必要な電圧を印加する。気体サンプルからの
放射発光が平行セルの両端における複数の分析地点１
６、１８、２０及び２２の各々を通して分析される。各
分析地点において分析されるべき気体不純物の発光ライ
ンを隔離するために異なった光学フィルタが使用され
る。従って、４種の気体不純物各々の存在が、他の放射
発光分析とは独立して同時に分析されうる。光電子倍増
管及びアナログ増幅器が、分析地点の各々において同時
的な、独立した、非干渉方式の分析を実現するよう取り
付けられ得る。

【００２５】本発明の特に好ましい具体例が図２に示さ
れ、ここでは分析管４０は、背面プレート５０と前面プ
レート５２を具備する円形サンプルセル４０を通して気
体サンプルを流すために入口チューブ４２と出口チュー
ブ４４とを有している。サンプルセル４０は、その周辺
４８全体に沿って複数の分析地点を有し、その周囲に沿
って複数の光電子倍増管検出器を配列できるというとい
う利点を提供する。また、この具体例は、エポキシシー
ルの必要なく、完全に融着しうる、石英で全体を作製す
ることができる。この構成は、分析計管の一体性を増進
し、そして更にそうでなければエポキシシールを侵食す
る腐食性の特殊な気体の分析に対応しうる。

【００２６】本発明のまた別の具体例が図３に例示され
る。分析計管６０は、そこを通して制御された流量で気
体サンプルを流すため入口６１と出口６２を具備してい
る。調節自在の弁（図示なし）を装備した気体供給マニ
ホルドが、サンプル気体の分析器管への圧力及び流量比
を所望される値を満足するよう調節するのに使用され
る。発光分光分析による検出を可能とする光学的発光特
性を有するものなら、任意の気体組成物が連続した流れ
条件の下で分析計管において分析されうる。

【００２７】操作において、気体は、入口６１を通して
分析計管に流入しそして直列のセル６４及び６６を順次
して進行する。電源がそれぞれのサンプルセルの両端に
取り付けられた電極（図示なし）間に放電を維持するに
必要な電圧を印加する。気体サンプルからの放射発光
が、それぞれのセルの各端における複数の分析地点６
６、６８、７０および７２の各々を通して分析される。
各分析地点において、分析されるべき気体不純物の発光
ラインを隔離するように異なった光学フィルターが使用
される。従って、４種の気体の各々の存在が、互いに独
立して同時的に分析される。光電子倍増管及びアナログ
増幅器が、分析地点の各々において同時的な、独立し
た、非干渉方式の分析を実現するよう取り付けられ得
る。

【００２８】図４において、気体サンプルが２つの独立
した分析セル９０および９２に通される。光電子倍増管
検出器９４、９６、９８及び１００が、分析地点の各々
において同時的な、独立した、非干渉方式の分析を実現
するよう取り付けられる。同じサンプルを各分析セルを
通して順次して差し向けるのではなく、別個の気体サン
プルが、分析セル９０及び９２の各々に差し向けられ
る。この配列構成は、もし例えば分析されるべき不純物
が検出されそして測定されるためには分析されるべき別
の不純物に変換されねばならい場合に有益である。例示
するなら、水素が分析を所望される不純物であるかもし
れないが、それがこの分析技術により直接測定し得ない
場合がある。しかし、最初の水素含有物が水に変換され
るなら、水素を測定することができる。この変換は従来
型式の変換触媒を使用して達成することができる。しか
し、この方策は、気体流れ中に不純物として水分がやは
り存在する場合には、複雑であり、そしてこの変換技術
は水素と水分との含有量の合計を表す分析結果をもたら
すだけである。

【００２９】従来の技術は、サンプル気体流れを最初変
換触媒を通してそして後変換触媒を迂回して交互に切り
替える。最初、水素は水に変換されそしてあらかじめ存
在する水分が測定され、そして後変換触媒を迂回して水
分のみが測定される。気体サンプル中の水素含有量がそ
の後それらの差により測定される。しかし、この従来方
法を使用すると、同時的な測定ができないので、差によ
る水素含有量の決定が厳密には正確でない。加えて、触
媒変換器が迂回されている期間、触媒を通してのサンプ
ル流れは存在せず、これは分析器の応答時間を劣化する
傾向がある。

【００３０】本発明の配列構成を使用して、サンプル気
体流れは、直接第１分析セル９２に流れ、ここで例えば
水及び窒素が分析セル９２の両端におけるそれぞれの分
析地点において光電子倍増管検出器９４、９６により分
析・測定される。サンプル気体の別の流れが、触媒燃焼
ユニット１０２を通過し、気体中の水素分が酸素と結合
して水素を水に変換し、そして後気体流れは分析セル９
０に通り、ここで合計水分が一方の光電子倍増管検出器
９８により検出・測定され、同時に他方の光電子倍増管
検出器が別の不純物を検出する。気体流れの実際の実際
の水素含有量は、これらの差により正確に計算すること
ができる。

【００３１】本発明をある種の好ましい具体例を参照し
て詳しく説明したが、当業者は本発明の範囲内で本発明
の別の具体例が存在することを認識しよう。

【００３２】

【発明の効果】連続した流れ条件の下で混合気体の気体
流れ中の多数の選択された不純物を検出するための、特
に多重分析能力が複数の分析機器の必要性やそれに伴う
全体的なユニットの嵩や寸法の増加をもたらさない形態
で、改善された分析管及び分析技術を開発した。

【図面の簡単な説明】

【図１】サンプル気体を２つの平行なサンプルセルにし
て、それぞれの両端の各々に一つづつ、４つの分析地点
を備える放電分析管の斜視図である。

【図２】単一のサンプルセルが円形状であり、そして複
数の分析地点がその円周縁に沿って設けられる放電分析
管の別の具体例の斜視図である。

【図３】サンプル気体を２つのサンプルセルにして、そ
れぞれの両端の各々に一つづつ、４つの分析地点を備え
る２つのサンプルセルを通して直列に差し向ける放電分
析管の斜視図である。

【図４】発光分光計における分析セル配列構成の概略ブ
ロック図であり、ここではサンプル気体が２つの独立し
た放電分析管通して差し向けられて気体流れ中の不純物
の同時分析を達成し、この場合一つの分析された不純物
は差の計算により検出されそして測定されるためにまた
別の不純物に変換される。

【符号の説明】

１０放電分析器管１２入口１４出口２８導管２４、２６平行セル１６、１８、２０、２２分析地点４０分析管５０背面プレート５２前面プレート４０円形サンプルセル４２入口チューブ４４出口チューブ４８周辺６０分析計管６１、６２入口、出口６４、６６直列のセル６６、６８、７０、７２分析地点９０、９２分析セル９４、９６、９８、１００光電子倍増管検出器１０２触媒燃焼ユニット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】気体発光分光技術を使用して、連続的に
流れる気体流れ中の低濃度水準における複数の気体乃至
蒸気不純物の存在を検出するための分析方法であって、気体流れのサンプルを複数の分析地点を具備する、一つ
以上の放電分析管を通して差し向け、前記サンプルセルを放電源内部に設定した放電源を横切
って交流電源を印加して、気体流れから広い範囲のスペ
クトルの発光放射を発生せしめ、そして複数の分析地点
で発光放射を分析して、分析下の気体乃至蒸気の濃度を
決定することを特徴とする気体発光分光方法。
【請求項２】分析下の複数の気体乃至蒸気の濃度を測
定するための複数の分析地点において発光放射の測定が
分析地点の各々において同時的に行われる請求項１の方
法。
【請求項３】気体流れ中の、低濃度の複数の気体／蒸
気不純物を分析しそして測定するための気体放電分光計
において使用のための改善された放電管であって、複数
の分析地点を有し、そこを通して前記サンプルセルを横
切っての交流電源により発生せしめられる発光放射が分
析されそして測定される放電管。