JPH11319738A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
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- JPH11319738A JPH11319738A JP13709998A JP13709998A JPH11319738A JP H11319738 A JPH11319738 A JP H11319738A JP 13709998 A JP13709998 A JP 13709998A JP 13709998 A JP13709998 A JP 13709998A JP H11319738 A JPH11319738 A JP H11319738A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 受蓄槽５で受けた洗浄液Ｗをポンプ６によっ
て洗浄槽２へ戻す際に、フィルタ１２で濾過する技術が
知られているが、洗浄槽２の上部から洗浄液Ｗを戻して
循環させていたため、洗浄槽２内で油分が攪拌され、洗
浄槽２から油分を排出するのが困難になっていた。 【解決手段】 ポンプ６から洗浄槽２へ洗浄液Ｗを過剰
に戻す戻し口１０は、洗浄液Ｗを水平方向で、且つ両側
へ吹き出すように設けられている。これにより、洗浄槽
２の底にまんべんなく洗浄液Ｗを供給でき、洗浄槽２の
液面付近の流速が遅くなり、液面に油分が浮かぶ。浮か
んだ油分は、洗浄槽２の上部に設けられたオーバーフロ
ー手段から受蓄槽５に落下する。この結果、洗浄槽２か
ら油分が効率良く排出でき、排出された油分はフィルタ
１２で回収される。
て洗浄槽２へ戻す際に、フィルタ１２で濾過する技術が
知られているが、洗浄槽２の上部から洗浄液Ｗを戻して
循環させていたため、洗浄槽２内で油分が攪拌され、洗
浄槽２から油分を排出するのが困難になっていた。 【解決手段】 ポンプ６から洗浄槽２へ洗浄液Ｗを過剰
に戻す戻し口１０は、洗浄液Ｗを水平方向で、且つ両側
へ吹き出すように設けられている。これにより、洗浄槽
２の底にまんべんなく洗浄液Ｗを供給でき、洗浄槽２の
液面付近の流速が遅くなり、液面に油分が浮かぶ。浮か
んだ油分は、洗浄槽２の上部に設けられたオーバーフロ
ー手段から受蓄槽５に落下する。この結果、洗浄槽２か
ら油分が効率良く排出でき、排出された油分はフィルタ
１２で回収される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製造工程等におい
て、被洗浄物を洗浄するのに用いる洗浄装置に関し、例
えば被洗浄物を超音波によって連続的に洗浄する連続超
音波洗浄装置に用いて好適な技術である。
て、被洗浄物を洗浄するのに用いる洗浄装置に関し、例
えば被洗浄物を超音波によって連続的に洗浄する連続超
音波洗浄装置に用いて好適な技術である。
【０００２】
【従来の技術】洗浄装置として、特開平５−２２０４５
９号公報に開示された技術が知られている。この公報に
開示される洗浄装置は、図４に示されるもので、洗浄槽
Ｊ1 の入出口孔Ｊ2 、Ｊ3 から流出した洗浄液Ｗを、受
蓄槽Ｊ4 で受け、その受蓄槽Ｊ4 に溜められた洗浄液Ｗ
をポンプＪ5 によって洗浄槽Ｊ1 へ戻すものである。
９号公報に開示された技術が知られている。この公報に
開示される洗浄装置は、図４に示されるもので、洗浄槽
Ｊ1 の入出口孔Ｊ2 、Ｊ3 から流出した洗浄液Ｗを、受
蓄槽Ｊ4 で受け、その受蓄槽Ｊ4 に溜められた洗浄液Ｗ
をポンプＪ5 によって洗浄槽Ｊ1 へ戻すものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記公報に開示された
洗浄装置は、ポンプＪ5 により洗浄液Ｗを循環させる際
に、図示しない濾過装置やポンプＪ5 のフィルタなどで
濾過するものであるが、洗浄槽Ｊ1 の上部にある補給樋
Ｊ6 に洗浄液Ｗを戻して循環させる構造であるため、ポ
ンプＪ5 からの洗浄液Ｗにより、洗浄槽Ｊ1 内で洗浄液
Ｗと油分とが攪拌され、洗浄液Ｗ中に油分が混入してし
まう。このため、洗浄槽Ｊ1 から油分が流出しにくい結
果となり、洗浄槽Ｊ1 中に含まれる油分の排出、回収が
非常に非効率的であった。
洗浄装置は、ポンプＪ5 により洗浄液Ｗを循環させる際
に、図示しない濾過装置やポンプＪ5 のフィルタなどで
濾過するものであるが、洗浄槽Ｊ1 の上部にある補給樋
Ｊ6 に洗浄液Ｗを戻して循環させる構造であるため、ポ
ンプＪ5 からの洗浄液Ｗにより、洗浄槽Ｊ1 内で洗浄液
Ｗと油分とが攪拌され、洗浄液Ｗ中に油分が混入してし
まう。このため、洗浄槽Ｊ1 から油分が流出しにくい結
果となり、洗浄槽Ｊ1 中に含まれる油分の排出、回収が
非常に非効率的であった。
【０００４】
【発明の目的】本発明の目的は、洗浄槽の洗浄液中に混
入した油分を効率的に排出、回収できる洗浄装置の提供
にある。
入した油分を効率的に排出、回収できる洗浄装置の提供
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】〔請求項１の手段〕受蓄
槽からポンプによって洗浄槽へ戻される洗浄液は、洗浄
槽の下部に設けられた吐出手段から吐出される。このた
め、洗浄槽の液面側では、流速が遅く、洗浄槽上部液面
において洗浄液と油分とは分離され、液面に油分が浮い
てくる。ポンプによって過剰供給された洗浄液によっ
て、オーバーフロー手段から洗浄液がオーバーフローす
る。つまり、液面に浮かんだ油分が洗浄液とともに、効
率的に受蓄槽へ導かれる。このように、洗浄槽内の洗浄
液に含まれる油分が、効率的に排出される。なお、受蓄
槽からポンプによって洗浄槽へ戻される洗浄液に含まれ
る油分は、フィルタによって回収される。
槽からポンプによって洗浄槽へ戻される洗浄液は、洗浄
槽の下部に設けられた吐出手段から吐出される。このた
め、洗浄槽の液面側では、流速が遅く、洗浄槽上部液面
において洗浄液と油分とは分離され、液面に油分が浮い
てくる。ポンプによって過剰供給された洗浄液によっ
て、オーバーフロー手段から洗浄液がオーバーフローす
る。つまり、液面に浮かんだ油分が洗浄液とともに、効
率的に受蓄槽へ導かれる。このように、洗浄槽内の洗浄
液に含まれる油分が、効率的に排出される。なお、受蓄
槽からポンプによって洗浄槽へ戻される洗浄液に含まれ
る油分は、フィルタによって回収される。
【０００６】〔請求項２の手段〕入出口孔から洗浄液が
流出し、その洗浄液を受蓄槽で受け、その受蓄槽内の洗
浄液をポンプによって洗浄槽へ戻す洗浄装置であって
も、入出口孔から流出する洗浄液の流出量より、ポンプ
が洗浄槽へ戻す洗浄液の戻し量を多くすることにより、
請求項１の手段で示した作用、効果を得ることができ
る。
流出し、その洗浄液を受蓄槽で受け、その受蓄槽内の洗
浄液をポンプによって洗浄槽へ戻す洗浄装置であって
も、入出口孔から流出する洗浄液の流出量より、ポンプ
が洗浄槽へ戻す洗浄液の戻し量を多くすることにより、
請求項１の手段で示した作用、効果を得ることができ
る。
【０００７】〔請求項３の手段〕ポンプによって洗浄槽
の下部へ戻される洗浄液は、水平方向に吹き出されるた
め、液面付近の流速を確実に遅くすることができ、効率
的に油分を排出、回収できる。
の下部へ戻される洗浄液は、水平方向に吹き出されるた
め、液面付近の流速を確実に遅くすることができ、効率
的に油分を排出、回収できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を、実
施例と変形例に基づき説明する。 （実施例の構成）図１ないし図３を用いて実施例の構成
を説明する。洗浄装置は、図１の概略断面図に示すよう
に、大別して、超音波振動子１を備える洗浄槽２と、被
洗浄物３を移動させる搬送手段４と、下方に配置された
受蓄槽５と、受蓄槽５の洗浄液（水）Ｗを洗浄槽２へ戻
すポンプ６と、洗浄槽２の入出口孔２ａ、２ｂから流出
する洗浄液Ｗの流出量を抑える手段と、洗浄槽２の洗浄
液Ｗ中に含まれる油分を排出、回収する手段とから構成
される。
施例と変形例に基づき説明する。 （実施例の構成）図１ないし図３を用いて実施例の構成
を説明する。洗浄装置は、図１の概略断面図に示すよう
に、大別して、超音波振動子１を備える洗浄槽２と、被
洗浄物３を移動させる搬送手段４と、下方に配置された
受蓄槽５と、受蓄槽５の洗浄液（水）Ｗを洗浄槽２へ戻
すポンプ６と、洗浄槽２の入出口孔２ａ、２ｂから流出
する洗浄液Ｗの流出量を抑える手段と、洗浄槽２の洗浄
液Ｗ中に含まれる油分を排出、回収する手段とから構成
される。
【０００９】洗浄槽２は、内部に洗浄液Ｗが満たされる
液槽であり、この洗浄槽２には、搬送手段４によって搬
送される被洗浄物３が貫通移動するための入口孔２ａと
出口孔２ｂとが設けられている。この入口孔２ａと出口
孔２ｂは、洗浄槽２の腹部略中央に設けられ、洗浄液Ｗ
の液面よりも下方に開口するものである。洗浄槽２の内
部には、搬送手段４によって移動する被洗浄物３の上下
に超音波振動子１が配置されている。この超音波振動子
１は、上下に対向してペア配置されたもので、図示しな
い駆動装置から駆動信号を受けると超音波振動を発生
し、その超音波力によって搬送中の被洗浄物３を洗浄す
るものである。
液槽であり、この洗浄槽２には、搬送手段４によって搬
送される被洗浄物３が貫通移動するための入口孔２ａと
出口孔２ｂとが設けられている。この入口孔２ａと出口
孔２ｂは、洗浄槽２の腹部略中央に設けられ、洗浄液Ｗ
の液面よりも下方に開口するものである。洗浄槽２の内
部には、搬送手段４によって移動する被洗浄物３の上下
に超音波振動子１が配置されている。この超音波振動子
１は、上下に対向してペア配置されたもので、図示しな
い駆動装置から駆動信号を受けると超音波振動を発生
し、その超音波力によって搬送中の被洗浄物３を洗浄す
るものである。
【００１０】搬送手段４は、洗浄槽２の上方でループを
形成する上ネットコンベア４ａと、受蓄槽５の下方でル
ープを形成する下ネットコンベア４ｂとを備える。この
上ネットコンベア４ａおよび下ネットコンベア４ｂは、
それぞれ個別のモータ（図示しない）によって同期駆動
される。被洗浄物３は、下ネットコンベア４ｂ上に搭載
され、上ネットコンベア４ａにて押さえられて搬送され
るもので、上下に重なったネットコンベア４ａ、４ｂが
洗浄槽２を図示左右方向に貫通移動し、結果的に被洗浄
物３が洗浄槽２を図示左右方向に貫通移動する。
形成する上ネットコンベア４ａと、受蓄槽５の下方でル
ープを形成する下ネットコンベア４ｂとを備える。この
上ネットコンベア４ａおよび下ネットコンベア４ｂは、
それぞれ個別のモータ（図示しない）によって同期駆動
される。被洗浄物３は、下ネットコンベア４ｂ上に搭載
され、上ネットコンベア４ａにて押さえられて搬送され
るもので、上下に重なったネットコンベア４ａ、４ｂが
洗浄槽２を図示左右方向に貫通移動し、結果的に被洗浄
物３が洗浄槽２を図示左右方向に貫通移動する。
【００１１】上述したように、入口孔２ａと出口孔２ｂ
は、洗浄液Ｗの液面よりも下方に開口するため、入口孔
２ａと出口孔２ｂから必然的に洗浄液Ｗが流出する。そ
のままでは洗浄槽２内の洗浄液Ｗを適性量、適性水位に
保つことができない。そこで、洗浄槽２の洗浄液Ｗを適
性量に維持するために、受蓄槽５とポンプ６を設けてい
る。受蓄槽５は、入出口孔２ａ、２ｂおよび後述するオ
ーバーフロー手段１１から流出する洗浄液Ｗを受けると
ともに、余剰の洗浄液Ｗを蓄えるための液槽であり、洗
浄槽２の下方に配置されている。ポンプ６は、受蓄槽５
の洗浄液Ｗを洗浄槽２へ戻すもので、洗浄槽２への戻し
口１０（請求項における吐出手段）は、後述する。ま
た、ポンプ６による洗浄槽２への洗浄液Ｗの戻し量は、
入出口孔２ａ、２ｂから流出する洗浄液の流出量より多
くなるように設定され、後述するオーバーフロー手段１
１から洗浄液Ｗがオーバーフローするように設けられて
いる。
は、洗浄液Ｗの液面よりも下方に開口するため、入口孔
２ａと出口孔２ｂから必然的に洗浄液Ｗが流出する。そ
のままでは洗浄槽２内の洗浄液Ｗを適性量、適性水位に
保つことができない。そこで、洗浄槽２の洗浄液Ｗを適
性量に維持するために、受蓄槽５とポンプ６を設けてい
る。受蓄槽５は、入出口孔２ａ、２ｂおよび後述するオ
ーバーフロー手段１１から流出する洗浄液Ｗを受けると
ともに、余剰の洗浄液Ｗを蓄えるための液槽であり、洗
浄槽２の下方に配置されている。ポンプ６は、受蓄槽５
の洗浄液Ｗを洗浄槽２へ戻すもので、洗浄槽２への戻し
口１０（請求項における吐出手段）は、後述する。ま
た、ポンプ６による洗浄槽２への洗浄液Ｗの戻し量は、
入出口孔２ａ、２ｂから流出する洗浄液の流出量より多
くなるように設定され、後述するオーバーフロー手段１
１から洗浄液Ｗがオーバーフローするように設けられて
いる。
【００１２】入口孔２ａと出口孔２ｂからは必然的に洗
浄液Ｗが流出するが、この洗浄液Ｗの流出を阻むため
に、入出口孔２ａ、２ｂには、洗浄液Ｗの流出量を抑え
る手段が設けられている。この手段は、入出口孔２ａ、
２ｂのそれぞれに設けられたもので、入出口孔２ａ、２
ｂから流出する洗浄液Ｗが内部で流れる複数段（この実
施例では２段）のチャンバ７ａ、７ｂ、および上側のチ
ャンバ７ａ、７ｂ内に配置された遠心式の羽根車８ａ、
８ｂよりなる。
浄液Ｗが流出するが、この洗浄液Ｗの流出を阻むため
に、入出口孔２ａ、２ｂには、洗浄液Ｗの流出量を抑え
る手段が設けられている。この手段は、入出口孔２ａ、
２ｂのそれぞれに設けられたもので、入出口孔２ａ、２
ｂから流出する洗浄液Ｗが内部で流れる複数段（この実
施例では２段）のチャンバ７ａ、７ｂ、および上側のチ
ャンバ７ａ、７ｂ内に配置された遠心式の羽根車８ａ、
８ｂよりなる。
【００１３】複数段のチャンバ７ａ、７ｂの内部には、
入出口孔２ａ、２ｂから流出する洗浄液Ｗによって旋回
流や乱流等が発生し、この流れが入出口孔２ａ、２ｂか
ら流出しようとする洗浄液Ｗの流れの抵抗として作用
し、結果的に入出口孔２ａ、２ｂから流出する洗浄液Ｗ
の流出量を抑制するものである。また、羽根車８ａ、８
ｂは、電動モータ等の駆動手段９ａ、９ｂによって内巻
方向に回転駆動され、入出口孔２ａ、２ｂから流出しよ
うとする洗浄液Ｗを洗浄槽２内へ押し戻すものである。
具体的に羽根車８ａ、８ｂは、チャンバ７ａ、７ｂ内に
おいて積極的に洗浄液Ｗの流出方向の流れの抵抗となる
様な流れを発生させるとともに、入出口孔２ａ、２ｂか
ら流出しようとする洗浄液Ｗを羽根が直接的に洗浄槽２
内へ押し戻すように作用し、結果的に入出口孔２ａ、２
ｂから流出する洗浄液Ｗの流出量を抑制するものであ
る。このチャンバ７ａ、７ｂと羽根車８ａ、８ｂの作用
により、入出口孔２ａ、２ｂから流出する洗浄液Ｗの流
出量を抑えることができ、ポンプ６の小型化、低出力化
が可能になる。
入出口孔２ａ、２ｂから流出する洗浄液Ｗによって旋回
流や乱流等が発生し、この流れが入出口孔２ａ、２ｂか
ら流出しようとする洗浄液Ｗの流れの抵抗として作用
し、結果的に入出口孔２ａ、２ｂから流出する洗浄液Ｗ
の流出量を抑制するものである。また、羽根車８ａ、８
ｂは、電動モータ等の駆動手段９ａ、９ｂによって内巻
方向に回転駆動され、入出口孔２ａ、２ｂから流出しよ
うとする洗浄液Ｗを洗浄槽２内へ押し戻すものである。
具体的に羽根車８ａ、８ｂは、チャンバ７ａ、７ｂ内に
おいて積極的に洗浄液Ｗの流出方向の流れの抵抗となる
様な流れを発生させるとともに、入出口孔２ａ、２ｂか
ら流出しようとする洗浄液Ｗを羽根が直接的に洗浄槽２
内へ押し戻すように作用し、結果的に入出口孔２ａ、２
ｂから流出する洗浄液Ｗの流出量を抑制するものであ
る。このチャンバ７ａ、７ｂと羽根車８ａ、８ｂの作用
により、入出口孔２ａ、２ｂから流出する洗浄液Ｗの流
出量を抑えることができ、ポンプ６の小型化、低出力化
が可能になる。
【００１４】洗浄装置は、洗浄槽２の洗浄液Ｗ中に含ま
れる油分を排出、回収する手段を備える。この手段は、
上述のポンプ６の他に、このポンプ６による戻し口１０
（図２参照）、オーバーフロー手段１１（図３参照）、
およびフィルタ１２から構成される。戻し口１０は、洗
浄槽２の液面付近の流速を遅くし、液面付近で攪拌流が
発生しないように工夫されたもので、図２の（ａ）、
（ｂ）に示すように、洗浄槽２の底面付近の略中央部に
おいて、洗浄液Ｗを水平方向で、且つ左右対象方向に吐
出するように設けられている。これによって、洗浄槽２
の底へ洗浄液Ｗをまんべんなく供給できるとともに、洗
浄槽２の液面付近の流速を遅くできる。なお、戻し口１
０の開口形状は、洗浄槽２の底全体への広がりの良い丸
口が適している。
れる油分を排出、回収する手段を備える。この手段は、
上述のポンプ６の他に、このポンプ６による戻し口１０
（図２参照）、オーバーフロー手段１１（図３参照）、
およびフィルタ１２から構成される。戻し口１０は、洗
浄槽２の液面付近の流速を遅くし、液面付近で攪拌流が
発生しないように工夫されたもので、図２の（ａ）、
（ｂ）に示すように、洗浄槽２の底面付近の略中央部に
おいて、洗浄液Ｗを水平方向で、且つ左右対象方向に吐
出するように設けられている。これによって、洗浄槽２
の底へ洗浄液Ｗをまんべんなく供給できるとともに、洗
浄槽２の液面付近の流速を遅くできる。なお、戻し口１
０の開口形状は、洗浄槽２の底全体への広がりの良い丸
口が適している。
【００１５】オーバーフロー手段１１は、ポンプ６によ
って過剰供給された量の洗浄液Ｗを洗浄槽２から溢れさ
せるもので、図３に示すように、洗浄槽２の一面のみか
ら洗浄液Ｗをオーバーフローするように設けられてい
る。このように、洗浄液Ｗがオーバーフローする位置が
決められているので、オーバーフローした洗浄液Ｗが他
の部位に流れて他の機器に悪影響を与える不具合はな
い。なお、図３の符号１１ａは、水位調節板であり、こ
の水位調節板１１ａを高さ調節することにより、洗浄槽
２の水位を調節できる。
って過剰供給された量の洗浄液Ｗを洗浄槽２から溢れさ
せるもので、図３に示すように、洗浄槽２の一面のみか
ら洗浄液Ｗをオーバーフローするように設けられてい
る。このように、洗浄液Ｗがオーバーフローする位置が
決められているので、オーバーフローした洗浄液Ｗが他
の部位に流れて他の機器に悪影響を与える不具合はな
い。なお、図３の符号１１ａは、水位調節板であり、こ
の水位調節板１１ａを高さ調節することにより、洗浄槽
２の水位を調節できる。
【００１６】フィルタ１２は、ポンプ６によって洗浄槽
２へ戻される洗浄液Ｗ中に含まれる油分を取り除く油水
分離フィルタであり、受蓄槽５から洗浄槽２へ洗浄液Ｗ
を戻すリターンパイプ１３に配置されている。
２へ戻される洗浄液Ｗ中に含まれる油分を取り除く油水
分離フィルタであり、受蓄槽５から洗浄槽２へ洗浄液Ｗ
を戻すリターンパイプ１３に配置されている。
【００１７】（実施例の作動）下ネットコンベア４ｂの
上に置かれ、上ネットコンベア４ａに押さえられ固定さ
れて搬送される被洗浄物３は、先ず図示しない予備洗浄
手段で予備洗浄された後、洗浄槽２の入口孔２ａから槽
内へ搬入される。洗浄槽２内を搬送される被洗浄物３
は、一対の超音波振動子１を通過する際に超音波の作用
で洗浄され、出口孔２ｂから槽外へ搬出される。槽外へ
排出された被洗浄物３は、図示しないリンス洗浄手段で
リンス洗浄され、所望の洗浄効果が得られる。
上に置かれ、上ネットコンベア４ａに押さえられ固定さ
れて搬送される被洗浄物３は、先ず図示しない予備洗浄
手段で予備洗浄された後、洗浄槽２の入口孔２ａから槽
内へ搬入される。洗浄槽２内を搬送される被洗浄物３
は、一対の超音波振動子１を通過する際に超音波の作用
で洗浄され、出口孔２ｂから槽外へ搬出される。槽外へ
排出された被洗浄物３は、図示しないリンス洗浄手段で
リンス洗浄され、所望の洗浄効果が得られる。
【００１８】受蓄槽５からポンプ６によって洗浄槽２へ
戻される洗浄液Ｗは、フィルタ１２によって油分が取り
除かれ、戻し口１０より水平方向に吐出される。洗浄槽
２の下部から吐出された洗浄液Ｗは、洗浄槽２の下部で
広がった後、下方の超音波振動子１の下方から上方へ上
昇する。このため、洗浄槽２の液面側は、流速が遅くな
り、液面に油分が浮いてくる。なお、洗浄液Ｗが上昇す
る流れ力は、振動子１による攪拌力よりもはるかに強い
ため、洗浄液Ｗが超音波振動子１で攪拌されていても、
洗浄液Ｗの上面へ油分を浮かせることができる。
戻される洗浄液Ｗは、フィルタ１２によって油分が取り
除かれ、戻し口１０より水平方向に吐出される。洗浄槽
２の下部から吐出された洗浄液Ｗは、洗浄槽２の下部で
広がった後、下方の超音波振動子１の下方から上方へ上
昇する。このため、洗浄槽２の液面側は、流速が遅くな
り、液面に油分が浮いてくる。なお、洗浄液Ｗが上昇す
る流れ力は、振動子１による攪拌力よりもはるかに強い
ため、洗浄液Ｗが超音波振動子１で攪拌されていても、
洗浄液Ｗの上面へ油分を浮かせることができる。
【００１９】洗浄槽２へは、ポンプ６によって洗浄液Ｗ
が過剰供給されているため、洗浄槽２の上部に設けられ
たオーバーフロー手段１１から洗浄液Ｗがオーバーフロ
ーする。つまり、液面に浮かんだ油分は、洗浄液Ｗとと
もに、効率的に受蓄槽５へ落ちる。そして、受蓄槽５に
溜められた油分を含む洗浄液Ｗは、ポンプ６に吸引され
た後、フィルタ１２を通過する際に油分と洗浄液Ｗとに
分離され、その後の清浄度の高い洗浄液Ｗが洗浄槽２の
下部へ戻される。
が過剰供給されているため、洗浄槽２の上部に設けられ
たオーバーフロー手段１１から洗浄液Ｗがオーバーフロ
ーする。つまり、液面に浮かんだ油分は、洗浄液Ｗとと
もに、効率的に受蓄槽５へ落ちる。そして、受蓄槽５に
溜められた油分を含む洗浄液Ｗは、ポンプ６に吸引され
た後、フィルタ１２を通過する際に油分と洗浄液Ｗとに
分離され、その後の清浄度の高い洗浄液Ｗが洗浄槽２の
下部へ戻される。
【００２０】（実施例の効果）上記の作動で示したよう
に、この実施例で示される洗浄装置では、洗浄槽２の液
面に油分が浮かぶように設けられるとともに、この浮か
んだ油分を効率的に受蓄槽５へ落とし、結果的に洗浄槽
２から油分を効率良く排出することができる。そして、
受蓄槽５に溜められた洗浄液Ｗに含まれる油分は、ポン
プ６に吸引されたフィルタ１２を通過する際に、フィル
タ１２によって効率良く回収することができる。
に、この実施例で示される洗浄装置では、洗浄槽２の液
面に油分が浮かぶように設けられるとともに、この浮か
んだ油分を効率的に受蓄槽５へ落とし、結果的に洗浄槽
２から油分を効率良く排出することができる。そして、
受蓄槽５に溜められた洗浄液Ｗに含まれる油分は、ポン
プ６に吸引されたフィルタ１２を通過する際に、フィル
タ１２によって効率良く回収することができる。
【００２１】（変形例）上記の実施例では、両側に洗浄
液Ｗを吹き出す戻し口１０を例に示したが、円盤状に洗
浄液Ｗを吹き出すように戻し口１０を設けるなど、洗浄
槽２の液面付近の流速を遅くして油分を浮かせるもので
あれば、他の形状の戻し口を採用しても良い。もちろ
ん、戻し口１０の数は洗浄槽２の大きさや形状等によっ
て適宜設定されるものである。
液Ｗを吹き出す戻し口１０を例に示したが、円盤状に洗
浄液Ｗを吹き出すように戻し口１０を設けるなど、洗浄
槽２の液面付近の流速を遅くして油分を浮かせるもので
あれば、他の形状の戻し口を採用しても良い。もちろ
ん、戻し口１０の数は洗浄槽２の大きさや形状等によっ
て適宜設定されるものである。
【図１】洗浄装置の概略断面図である（実施例）。
【図２】戻し口の上面図および側面図である（実施
例）。
例）。
【図３】オーバーフロー手段を示す斜視図である（実施
例）。
例）。
【図４】洗浄装置の概略断面図である（従来例）。
１ 超音波振動子 ２ 洗浄槽 ２ａ 入口孔 ２ｂ 出口孔 ３ 被洗浄物 ４ 搬送手段 ５ 受蓄槽 ６ ポンプ １０ 戻し口 １１ オーバーフロー手段 １２ フィルタ Ｗ 洗浄液
Claims (3)
- 【請求項１】被洗浄物を洗浄するための洗浄液を蓄える
洗浄槽と、 この洗浄槽に設けられ、この洗浄槽の洗浄液をオーバー
フローさせるオーバーフロー手段と、 このオーバーフロー手段から流出した洗浄液を蓄える受
蓄槽と、 この受蓄槽に蓄えられた洗浄液を前記洗浄槽へと給液す
るポンプと、 このポンプによって前記洗浄槽へ戻される洗浄液中に含
まれる油分を取り除くフィルタと、前記洗浄槽の下部に
設けられ、前記ポンプにより給液された洗浄液を吐出す
る吐出手段と、を備える洗浄装置。 - 【請求項２】洗浄液の液面より下方に被洗浄物の入出口
孔を備えた洗浄槽と、 前記入出口孔から被洗浄物を貫通移動させる搬送手段
と、 前記洗浄槽に設けられ、この洗浄槽の洗浄液をオーバー
フローさせるオーバーフロー手段と、 前記入出口孔から流出した洗浄液、および前記オーバー
フーロー手段から流出した洗浄液を蓄える受蓄槽と、 この受蓄槽に蓄えられた洗浄液を、前記入出口孔から流
出する洗浄液の流出量より多く前記洗浄槽の下部へ戻す
ポンプと、 このポンプによって前記洗浄槽へ戻される洗浄液中に含
まれる油分を取り除くフィルタと、を備える洗浄装置。 - 【請求項３】請求項１または請求項２の洗浄装置におい
て、 前記ポンプによって前記洗浄槽へ戻される洗浄液は、前
記洗浄槽の下部において水平方向に向けて吹き出される
ことを特徴とする洗浄装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13709998A JP3899674B2 (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 洗浄装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13709998A JP3899674B2 (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 洗浄装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11319738A true JPH11319738A (ja) | 1999-11-24 |
| JP3899674B2 JP3899674B2 (ja) | 2007-03-28 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13709998A Expired - Fee Related JP3899674B2 (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 洗浄装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3899674B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103028572A (zh) * | 2013-01-10 | 2013-04-10 | 张家港市超声电气有限公司 | 全自动通过式超声波清洗装置 |
| JP2015123435A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 日立金属株式会社 | 洗浄装置およびこの装置を用いた被洗浄物の洗浄方法 |
| CN113183356A (zh) * | 2021-05-19 | 2021-07-30 | 上海纽氪曼科技有限公司 | 一种基于树脂新材料处理的氧化洗涤方法 |
-
1998
- 1998-05-19 JP JP13709998A patent/JP3899674B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| A977 | Report on retrieval |
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