JPH1131685A5 - - Google Patents
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- JPH1131685A5 JPH1131685A5 JP1997203794A JP20379497A JPH1131685A5 JP H1131685 A5 JPH1131685 A5 JP H1131685A5 JP 1997203794 A JP1997203794 A JP 1997203794A JP 20379497 A JP20379497 A JP 20379497A JP H1131685 A5 JPH1131685 A5 JP H1131685A5
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- lower electrode
- anode
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- Pending
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20379497A JPH1131685A (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | プラズマcvd装置およびそのクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20379497A JPH1131685A (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | プラズマcvd装置およびそのクリーニング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1131685A JPH1131685A (ja) | 1999-02-02 |
| JPH1131685A5 true JPH1131685A5 (enExample) | 2004-09-16 |
Family
ID=16479865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20379497A Pending JPH1131685A (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | プラズマcvd装置およびそのクリーニング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1131685A (enExample) |
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-
1997
- 1997-07-14 JP JP20379497A patent/JPH1131685A/ja active Pending
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