JPH11300257A - Coating device for applying coating liquid to uneven base material and manufacturing equipment of plasma display - Google Patents

Coating device for applying coating liquid to uneven base material and manufacturing equipment of plasma display

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Publication number
JPH11300257A
JPH11300257A JP10115161A JP11516198A JPH11300257A JP H11300257 A JPH11300257 A JP H11300257A JP 10115161 A JP10115161 A JP 10115161A JP 11516198 A JP11516198 A JP 11516198A JP H11300257 A JPH11300257 A JP H11300257A
Authority
JP
Japan
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nozzle
coating liquid
uneven
base material
applying
Prior art date
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Pending
Application number
JP10115161A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideki Ikeuchi
秀樹 池内
Yuichiro Iguchi
雄一朗 井口
Masahiro Matsumoto
正廣 松本
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
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Publication of JPH11300257A publication Critical patent/JPH11300257A/en
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  • Coating Apparatus (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating device for applying coating liquid to an uneven base material and manufacturing equipment of a plasma display, which enable high productivity and the high quality by uniformly ejecting a prescribed coating liquid from each ejection hole to surely coat each recessed part when the coating liquid is applied to the recessed parts of a base material having a regular uneven pattern like a plasma display. SOLUTION: This coating device for applying coating liquid to an uneven base material is provided with a table 6 to fix the uneven base material formed with recessed and projecting parts in a striped form at a fixed pitch in one direction on the surface, a nozzle 20 having a plurality of ejection holes installed to face the recessed and projecting parts of the base material, a supply means for supplying a coating liquid to the nozzle 20, a moving means for relatively three-dimensionally moving the table 6 and the nozzle 20, wherein an opening length (B), almost orthogonal to the stripe direction of the uneven base material, of the ejection hole 44 of the nozzle 20 and a recessed part pitch (S) of the base material are made to satisfy the relation of 10 μm<=B<=S<=500 μm.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に凹凸状の
特定のパターンが形成されたもの、特に一定形状の凸状
の隔壁を等ピッチで配置したプラズマディスプレイパネ
ルや、ストライプ形ブラックマトリックス式のカラー受
像管のパネル内面等における一定パターンの塗布に適用
できる、凹凸基材への塗液の塗布装置、およびこの装置
を使用したプラズマディスプレイの製造装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel in which a specific pattern of irregularities is formed on a substrate, in particular, a plasma display panel in which convex partitions having a predetermined shape are arranged at an equal pitch, and a stripe type black matrix type. The present invention relates to an apparatus for applying a coating liquid to an uneven substrate, which can be applied to the application of a predetermined pattern on the inner surface of a panel of a color picture tube, and an apparatus for manufacturing a plasma display using the apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、ディスプレイはその方式において
次第に多様化してきている。現在注目されているものの
一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が可
能なプラズマディスプレイである。これは、前面板と背
面板の間に形成された放電空間内で放電を生じさせ、こ
の放電によりキセノンガスから波長147nmを中心と
する紫外線が生じて、この紫外線が蛍光体を励起するこ
とによって表示が可能となる。R(赤)、緑(G)、青
(B)に発光する蛍光体を塗り分けた放電セルを駆動回
路によって発光させることにより、フルカラー表示に対
応できる。
2. Description of the Related Art In recent years, displays have become increasingly diversified in their system. One of the things that are currently attracting attention is a plasma display that is larger, thinner and lighter than conventional cathode ray tubes. This causes a discharge in a discharge space formed between the front plate and the back plate, and this discharge generates ultraviolet light having a wavelength of 147 nm as a center from the xenon gas, and the ultraviolet light excites a fluorescent substance, thereby displaying an image. It becomes possible. Full-color display can be supported by causing a drive circuit to emit light from discharge cells in which phosphors emitting R (red), green (G), and blue (B) are separately applied.

【0003】また、最近活発に開発が進められているA
C型プラズマディスプレイは、表示電極/誘電体層/保
護層を形成した前面ガラス板と、アドレス電極/誘電体
層/隔壁層/蛍光体層を形成した背面ガラス板とを貼り
合わせ、ストライプ状の隔壁で仕切られた放電空間内に
He−Xe、または、Ne−Xeの混合ガスを封入した
構造を有している。
[0003] In addition, recently developed A
A C-type plasma display is formed by laminating a front glass plate on which a display electrode / dielectric layer / protective layer is formed and a back glass plate on which an address electrode / dielectric layer / partition layer / phosphor layer are formed, and forming a stripe shape. It has a structure in which a mixed gas of He-Xe or Ne-Xe is sealed in a discharge space partitioned by partition walls.

【0004】R、G、Bの蛍光体層は、一方向に延びる
隔壁により形成された凹凸部の凹部にストライプ状に充
填される。
[0004] The R, G, and B phosphor layers are filled in stripes in concaves and convexes formed by partition walls extending in one direction.

【0005】蛍光体がストライプ状に構成されていると
いう構造は、ストライプ形ブラックマトリックス式のカ
ラー受像管のパネルも有している。
The structure in which the phosphors are formed in a stripe shape also has a striped black matrix type color picture tube panel.

【0006】このような構造のものを高い生産性と高品
質で製造するには、蛍光体を一定のパターン状に、塗り
分ける技術が重要となる。
In order to manufacture such a structure with high productivity and high quality, it is important to apply phosphors in a predetermined pattern.

【0007】通常は、隔壁パターンを形成後、特開平5
−144375号公報に示されるように一色の蛍光体を
全面スクリーン印刷し、必要な部分のみフォトリソグラ
フィー法で残すようにして、高精度のパターンが得られ
るようにしている。しかし、この方法では、R、G、B
の各蛍光体パターンを形成するために、各色の塗布、露
光、現像、乾燥等の工程を3回繰り返す必要があり、コ
ストがかかる上、生産性に著しく劣るという欠点を有す
る。
Usually, after a partition pattern is formed,
As shown in JP-A-144375, a phosphor of one color is screen-printed on the entire surface, and only a necessary portion is left by photolithography so that a highly accurate pattern can be obtained. However, in this method, R, G, B
In order to form each phosphor pattern, it is necessary to repeat steps of coating, exposing, developing, drying, etc. of each color three times, which is costly and has a disadvantage that productivity is extremely poor.

【0008】単にガラス基板上にストライプ状の着色パ
ターンを形成する他の方法としては、ノズルを用いる特
開平5−11105号公報や特開平5−142407号
公報に記載されている方法があるが、表面が平坦な基板
を対象に先端が平坦なノズルで3色同時に塗布するもの
であるために、表面に凹凸が形成されているものに対し
てはこの技術をそのまま用いることはできない。
As another method for simply forming a striped colored pattern on a glass substrate, there is a method described in JP-A-5-11105 or JP-A-5-142407 using a nozzle. Since three colors are simultaneously applied to a substrate having a flat surface by a nozzle having a flat tip, this technique cannot be used as it is for a substrate having unevenness on the surface.

【0009】また、特開昭52−134368号公報、
特開昭54−13250号公報、特開昭54−1325
1号公報等には、ストライプ形ブラックマトリックス式
のカラー受像管のパネル内面の、凸状となっているブラ
ックマトリックス間の凹部に所定の蛍光体を塗布する方
法として、蛇行防止等の制御装置を有する改良されたノ
ズル装置を用いることが示されている。しかし、一本の
ノズルを用いているために、表面の複数の凹凸部に対し
て同時に塗布する方法には適用できず、塗布のために時
間がかかるという問題がある。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-134368,
JP-A-54-13250, JP-A-54-1325
No. 1 Publication and the like discloses a control device for preventing meandering or the like as a method of applying a predetermined phosphor to a concave portion between convex black matrices on the inner surface of a panel of a striped black matrix type color picture tube. It has been shown to use an improved nozzle arrangement having However, since one nozzle is used, the method cannot be applied to a method of simultaneously applying a plurality of uneven portions on the surface, and there is a problem that it takes time for the application.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、プラ
ズマディスプレイの隔壁のように一定の凹凸状パターン
が形成された基材の複数の凹部に、複数の吐出孔を有す
るノズルから所定の塗液を塗布するに際し、各吐出孔か
ら均一に塗液を吐出して、各凹部に確実に塗布すること
にあり、この均一で安定な塗布を常に実現することによ
って、高生産性と高品質を可能とする凹凸基材への塗液
の塗布装置およびプラズマディスプレイの製造装置を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of coating a plurality of recesses of a base material having a predetermined uneven pattern such as a partition wall of a plasma display from a nozzle having a plurality of discharge holes with a predetermined coating. In applying the liquid, the coating liquid is uniformly discharged from each discharge hole to ensure that the liquid is applied to each concave part. By constantly realizing this uniform and stable coating, high productivity and high quality can be achieved. An object of the present invention is to provide an apparatus for applying a coating liquid to an uneven substrate and an apparatus for manufacturing a plasma display, which are made possible.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の凹凸基材への塗液の塗布装置は、表面に一方
向にストライプ状に一定ピッチで凹凸部が形成されてい
る凹凸基材を固定するテーブルと、前記凹凸基材の凹凸
部に対面して設けられた複数の吐出孔を有するノズル
と、該ノズルに塗液を供給する供給手段と、前記テーブ
ルとノズルを3次元的に相対移動させる移動手段とを備
えた凹凸基材への塗液の塗布装置において、前記ノズル
の吐出孔の、前記凹凸基材のストライプ方向と略直交す
る開口長さ(B)が、前記凹凸基材の凸部ピッチ(S)
に対して下記の条件を満たすことを特徴とするものであ
る。
In order to achieve the above object, an apparatus for applying a coating liquid to an uneven substrate according to the present invention is provided with an uneven surface in which uneven portions are formed at a constant pitch in a stripe shape in one direction on the surface. A table for fixing the base material, a nozzle having a plurality of discharge holes provided facing the uneven portion of the uneven base material, a supply means for supplying a coating liquid to the nozzle, and a three-dimensional table Wherein the opening length (B) of the discharge hole of the nozzle, which is substantially perpendicular to the stripe direction of the uneven substrate, is set to the following. Convex pitch of uneven substrate (S)
Satisfies the following conditions.

【0012】10μm≦B≦S≦500μm上記の装置
において、前記ノズルの吐出孔の形状は、円形であるの
が好ましい。
10 μm ≦ B ≦ S ≦ 500 μm In the above apparatus, the shape of the discharge hole of the nozzle is preferably circular.

【0013】また、前記ノズルの吐出孔は、平板を貫通
することにより形成されていることが好ましい。
It is preferable that the discharge hole of the nozzle is formed by penetrating a flat plate.

【0014】さらに、前記ノズルは、同一形状のパイプ
を配して吐出孔が構成されていることも好ましい。
Further, it is preferable that the nozzle is provided with a discharge hole by arranging pipes of the same shape.

【0015】また、前記ノズルの吐出孔数が、20〜2
000個であることが好ましい。
The number of discharge holes of the nozzle is 20 to 2
Preferably, the number is 000.

【0016】また、前記ノズルの吐出孔のピッチが、
0.12〜3mmであることが好ましい。
Further, the pitch of the discharge holes of the nozzle is
It is preferably 0.12 to 3 mm.

【0017】さらに、前記ノズルの吐出孔のピッチが、
前記凹凸基材の凸部ピッチの3m倍(mは1〜10の整
数)であることも好ましい。
Further, the pitch of the discharge holes of the nozzle is
It is also preferable that the pitch is 3 m times (m is an integer of 1 to 10) of the pitch of the projections of the uneven substrate.

【0018】また、前記ノズルの吐出孔面および/また
は吐出孔内壁に、フッ素系樹脂皮膜がコーティングされ
ているのが好ましい。
It is preferable that the surface of the discharge hole and / or the inner wall of the discharge hole of the nozzle is coated with a fluororesin film.

【0019】さらに、前記ノズルの吐出孔面および/ま
たは吐出孔内壁に、非晶質の炭素皮膜がコーティングさ
れているものが好ましい。
Further, it is preferable that the surface of the discharge hole and / or the inner wall of the discharge hole of the nozzle is coated with an amorphous carbon film.

【0020】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布装置は、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチで
凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、凹凸基材の凹凸部と対面する複数の吐出孔を有する
ノズルと、ノズルに塗液を供給する供給手段と、テーブ
ルとノズルを3次元的に相対移動させる移動手段とを備
えた凹凸基材への塗液の塗布装置において、前記凹凸基
材の所定の塗布位置以外に存在する塗液を除去する手段
を設けたことを特徴とするものである。
Further, the apparatus for applying a coating liquid to an uneven substrate according to the present invention comprises: a table for fixing an uneven substrate having uneven portions formed on a surface thereof in one direction in a stripe at a constant pitch; A nozzle having a plurality of discharge holes facing the uneven portion of the material, a supply means for supplying a coating liquid to the nozzle, and a moving means for moving the table and the nozzle relative to each other three-dimensionally; The liquid coating apparatus is characterized in that a means for removing a coating liquid existing at a position other than a predetermined coating position on the uneven substrate is provided.

【0021】そして、本発明に係るプラズマディスプレ
イの製造装置は、塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの
色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、前述
のいずれかの塗液の塗布装置を用いたことを特徴とする
ものからなる。
In the plasma display manufacturing apparatus according to the present invention, the coating liquid is a paste containing a phosphor powder that emits light of any one of red, green and blue colors. It is characterized by using a coating device.

【0022】さらに、本発明に係るプラズマディスプレ
イの製造装置は、赤色、緑色、青色のいずれかの色に発
光する蛍光体粉末を含む3種類のペーストに対応して、
前述のいずれかの塗液の塗布装置を3台直列に配置した
ことを特徴とするものからなる。
Further, the apparatus for manufacturing a plasma display according to the present invention can handle three types of pastes containing phosphor powders that emit light in any of red, green and blue colors.
It is characterized in that three of the above-mentioned coating liquid application devices are arranged in series.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面に基づいて説明する。
Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0024】図1は本発明の一実施態様に係る塗布装置
の全体構成を示す斜視図、図2は図1のテーブル6とノ
ズル20周りの模式図、図3から図5は、本発明の一実
施態様に係るノズルの構造図、図6から図10は、本発
明の一実施態様に係る塗液除去装置の構成を示してい
る。
FIG. 1 is a perspective view showing the entire configuration of a coating apparatus according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic view showing the table 6 and the nozzle 20 around FIG. 1, and FIGS. 6 to 10 show the structure of a coating liquid removing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【0025】図1は、本発明に係るプラズマディスプレ
イの製造に適用される塗布装置の一例を示している。こ
の装置は基台2を備えている。基台2上には、一対のガ
イド溝レール8が設けられており、このガイド溝レール
8上にはテーブル6が配置されている。このテーブル6
の上面には、表面に凹凸が一定ピッチで一方向にストラ
イプ状に形成された基材4が、真空吸引によってテーブ
ル面に固定可能となるように、複数の吸引孔7が設けら
れている。また、基材4は図示しないリフトピンによっ
てテーブル6上を昇降する。さらに、テーブル6はスラ
イド脚9を介してガイド溝レール8上をX軸方向に往復
動自在となっている。
FIG. 1 shows an example of a coating apparatus applied to manufacture of a plasma display according to the present invention. This device has a base 2. A pair of guide groove rails 8 is provided on the base 2, and a table 6 is arranged on the guide groove rails 8. This table 6
A plurality of suction holes 7 are provided on the upper surface of the substrate so that the substrate 4 having the surface formed with stripes in one direction at a constant pitch can be fixed to the table surface by vacuum suction. The base material 4 is moved up and down on the table 6 by lift pins (not shown). Further, the table 6 is reciprocally movable in the X-axis direction on the guide groove rail 8 via the slide legs 9.

【0026】一対のガイド溝レール8間には、図2に示
す送りねじ機構を構成するフィードスクリュー10が、
テーブル6の下面に固定されたナット状のコネクタ11
を貫通して延びている。フィードスクリュー10の両端
部は軸受12に回転自在に支持され、さらに片方の一端
はACサーボモータ16が連結されている。
A feed screw 10 constituting a feed screw mechanism shown in FIG.
Nut-shaped connector 11 fixed to the lower surface of table 6
Extends through it. Both ends of the feed screw 10 are rotatably supported by bearings 12, and one end of the feed screw 10 is connected to an AC servomotor 16.

【0027】図1に示すように、テーブル6の上方に
は、塗液を吐出するノズル20がホルダー22を介して
昇降機構30、幅方向移動機構36に連結している。昇
降機構30は昇降可能な昇降ブラケット28を備えてお
り、昇降機構30のケーシング内部で一対のガイドロッ
ドに昇降自在に取り付けられている。また、このケーシ
ング内には、ガイドロッド間に位置してボールねじから
なるフィードスクリュー(図示しない)もまた回転自在
に配置されており、ナット型のコネクタを介して昇降ブ
ラケット28と連結されている。さらにフィードスクリ
ューの上端には、図示しないACサーボモータが接続さ
れており、このACサーボモータの回転によって昇降ブ
ラケット28を任意に昇降動作させることができるよう
になっている。
As shown in FIG. 1, above the table 6, a nozzle 20 for discharging a coating liquid is connected to a lifting mechanism 30 and a width direction moving mechanism 36 via a holder 22. The elevating mechanism 30 includes an elevating bracket 28 that can be moved up and down, and is attached to a pair of guide rods inside the casing of the elevating mechanism 30 so as to be able to move up and down. In this casing, a feed screw (not shown) formed of a ball screw is also rotatably disposed between the guide rods, and is connected to the lifting bracket 28 via a nut-type connector. . Further, an AC servomotor (not shown) is connected to the upper end of the feed screw, and the lifting bracket 28 can be arbitrarily moved up and down by rotation of the AC servomotor.

【0028】さらに、昇降機構30はY軸移動ブラケッ
ト32(アクチュエータ)を介して幅方向移動機構36
に接続されている。幅方向移動機構36はY軸移動ブラ
ケット32をノズルの幅方向、すなわちY軸方向に往復
動自在に移動させるものである。動作のために必要なガ
イドロッド、フィードスクリュー、ナット型コネクタ
ー、ACサーボモータ等は、ケーシング内に昇降機構3
0と同じように配置されている。幅方向移動機構36は
支柱34により基台2上に固定されている。
Further, the lifting mechanism 30 is moved by the Y-axis moving bracket 32 (actuator) in the width direction moving mechanism 36.
It is connected to the. The width-direction moving mechanism 36 moves the Y-axis moving bracket 32 so as to be reciprocally movable in the width direction of the nozzle, that is, in the Y-axis direction. The guide rod, feed screw, nut-type connector, AC servomotor, etc. necessary for the operation are provided with a lifting mechanism 3 inside the casing.
It is arranged in the same way as 0. The width direction moving mechanism 36 is fixed on the base 2 by the columns 34.

【0029】これらの構成によって、ノズル20はZ軸
とY軸方向に自在に移動させることができる。
With these configurations, the nozzle 20 can be freely moved in the Z-axis and Y-axis directions.

【0030】ノズル20は、テーブル6の往復動方向と
直交する方向、つまりY軸方向に水平に延びているが、
これを直接保持するコの字形のホルダ22は昇降ブラケ
ット28内で回転自在に支持されており、垂直面内で自
在に図中の矢印方向に回転することができる。
The nozzle 20 extends horizontally in the direction orthogonal to the reciprocating direction of the table 6, that is, in the Y-axis direction.
The U-shaped holder 22 for directly holding the holder is rotatably supported in the elevating bracket 28, and can freely rotate in the vertical direction in the direction of the arrow in the drawing.

【0031】このホルダ22の上方には水平バー24も
昇降ブラケット28に固定されている。この水平バー2
4の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエータ2
6が取り付けられている。このリニアアクチュエータ2
6は水平バー24の下面から突出する伸縮ロッド29を
有し、これら伸縮ロッド29がホルダ22の両端に接触
することによってホルダ22の回転角度を規制すること
ができ、結果としてノズル20の傾き度を任意に設定す
ることができる。
Above the holder 22, a horizontal bar 24 is also fixed to a lifting bracket 28. This horizontal bar 2
4 are electromagnetically actuated linear actuators 2 at both ends.
6 is attached. This linear actuator 2
6 has telescopic rods 29 protruding from the lower surface of the horizontal bar 24, and these telescopic rods 29 can regulate the rotation angle of the holder 22 by coming into contact with both ends of the holder 22. Can be set arbitrarily.

【0032】さらに図1を参照すると、基台2の上面に
は逆L字形のセンサ支柱38が固定されており、その先
端にはテーブル6上の基材4の凸部頂上の位置(高さ)
を測定する高さセンサ40が取り付けられている。ま
た、高さセンサ40の隣には、基材4の凹凸部の位置を
検知するカメラ72が支柱70に取り付けられている。
図2に示すように、カメラ72は画像処理装置74に電
気的に接続されており、凹凸部位置の変化を定量的に求
めることができる。
Further, referring to FIG. 1, an inverted L-shaped sensor support 38 is fixed to the upper surface of the base 2, and the tip of the sensor support 38 is positioned at the top (height) of the projection of the base material 4 on the table 6. )
Is mounted. Next to the height sensor 40, a camera 72 for detecting the position of the uneven portion of the base member 4 is attached to the column 70.
As shown in FIG. 2, the camera 72 is electrically connected to the image processing device 74, and can quantitatively determine a change in the position of the uneven portion.

【0033】さらに、テーブル6の一端には、センサブ
ラケット64を介して、ノズル20の吐出孔のある下端
面(吐出孔面)のテーブル6に対する垂直方向の位置を
検知するセンサ66が取り付けられている。
Further, a sensor 66 for detecting the vertical position of the lower end surface (discharge hole surface) of the nozzle 20 with the discharge hole with respect to the table 6 is attached to one end of the table 6 via a sensor bracket 64. I have.

【0034】図2に示すように、ノズル20はそのマニ
ホールド41内に塗液42が充填されており、吐出孔4
4がノズル先端面45上で長手方向に一直線状にならん
でいる(図3、図4参照)。そしてこの吐出孔44より
塗液42が吐出される。ノズル20には供給ホース46
が接続されており、さらに吐出用電磁切換え弁48、供
給ユニット50、吸引ホース52、吸引用電磁切換え弁
54、塗液タンク56へと連なっている。塗液タンク5
6には塗液42が蓄えられている。塗液42は、赤色、
緑色、青色のいずれかの色に発光する蛍光体粉末を含む
ペーストからなる。
As shown in FIG. 2, the nozzle 20 has a manifold 41 in which a coating liquid 42 is filled.
4 are linearly arranged in the longitudinal direction on the nozzle tip surface 45 (see FIGS. 3 and 4). Then, the coating liquid 42 is discharged from the discharge holes 44. The nozzle 20 has a supply hose 46.
Are connected to the discharge electromagnetic switching valve 48, the supply unit 50, the suction hose 52, the suction electromagnetic switching valve 54, and the coating liquid tank 56. Coating liquid tank 5
6 stores a coating liquid 42. The coating liquid 42 is red,
It is made of a paste containing a phosphor powder that emits green or blue light.

【0035】供給ユニット50の具体例としては、ピス
トン、ダイヤフラム型等の定容量ポンプ、チュービング
ポンプ、ギアポンプ、モーノポンプ、さらには液体を気
体の圧力で押し出す圧送コントローラ等がある。供給装
置コントローラ58からの制御信号をうけて、供給ユニ
ット50や、各々の電磁切換え弁の動作を行わせ、塗液
タンク56から塗液42を吸引して、ノズル20に塗液
42を供給することができる。塗液タンク56から定容
量ポンプへの塗液42の吸引動作を安定化させるため
に、塗液タンク56を密閉容器にして、空気、不活性ガ
スである窒素等の気体で圧力を付加してもよい。空気、
窒素等で常に一定の圧力を付加するには、塗液タンク5
6を空気、窒素等の供給装置に接続して圧力制御すれば
よい。圧力の大きさは0.01〜1MPa、特に0.0
2〜0.5MPaが好ましい。
Specific examples of the supply unit 50 include a piston, a constant volume pump such as a diaphragm type, a tubing pump, a gear pump, a mono pump, and a pressure feed controller for pushing out a liquid by gas pressure. In response to a control signal from the supply device controller 58, the supply unit 50 and each of the electromagnetic switching valves are operated to suck the coating liquid 42 from the coating liquid tank 56 and supply the coating liquid 42 to the nozzle 20. be able to. In order to stabilize the suction operation of the coating liquid 42 from the coating liquid tank 56 to the constant-volume pump, the coating liquid tank 56 is made to be a closed container, and pressure is applied with air or a gas such as nitrogen which is an inert gas. Is also good. air,
To always apply a constant pressure with nitrogen, etc., the coating liquid tank 5
6 may be connected to a supply device such as air or nitrogen to control the pressure. The magnitude of the pressure is 0.01 to 1 MPa, especially 0.0
2 to 0.5 MPa is preferable.

【0036】供給装置コントローラ58はさらに、全体
コントローラ60に電気的に接続されている。この全体
コントローラ60には、モータコントローラ62、高さ
センサ40の電気入力等、カメラ72の画像処理装置7
4からの情報等、すべての制御情報が電気的に接続され
ており、全体のシーケンス制御を司どれるようになって
いる。全体コントローラ60は、コンピュータでも、シ
ーケンサでも、制御機能を持つものならばどのようなも
のでもよい。
The supply device controller 58 is further electrically connected to the general controller 60. The general controller 60 includes a motor controller 62, an electric input of the height sensor 40, and the like.
All the control information such as the information from No. 4 is electrically connected, and controls the entire sequence control. The general controller 60 may be a computer, a sequencer, or any controller having a control function.

【0037】またモータコントローラ62には、テーブ
ル6を駆動するACサーボモータ16や、昇降機構30
と幅方向移動機構36のそれぞれのアクチュエータ7
6,78(たとえば、ACサーボモータ)、さらにはテ
ーブル6の移動位置を検出する位置センサ68からの信
号、ノズル20の作動位置を検出するY、Z軸の各々の
リニアセンサ(図示しない)からの信号などが入力され
る。なお、位置センサ68を使用する代わりに、ACサ
ーボモータ16にエンコーダを組み込み、このエンコー
ダから出力されるパルス信号に基づき、テーブル6の位
置を検出することも可能である。
The motor controller 62 includes the AC servomotor 16 for driving the table 6 and the lifting mechanism 30.
And each actuator 7 of the width direction moving mechanism 36
6, 78 (for example, an AC servomotor), a signal from a position sensor 68 for detecting the moving position of the table 6, and a linear sensor (not shown) for each of the Y and Z axes for detecting the operating position of the nozzle 20. Is input. Instead of using the position sensor 68, an encoder may be incorporated in the AC servomotor 16 and the position of the table 6 may be detected based on a pulse signal output from the encoder.

【0038】なお、本実施態様では、基材4はX軸方向
に移動し、ノズル20がY軸、Z軸方向に移動する場合
での適用例について記述したが、ノズル20と基材4が
相対的に3次元的に移動できる構造、形式のものである
のなら、テーブル、ノズルの移動形式はいかなるもので
もよい。
In this embodiment, the application example in which the substrate 4 moves in the X-axis direction and the nozzle 20 moves in the Y-axis and Z-axis directions has been described. The table and the nozzle may be of any type as long as the structure and the type can be relatively three-dimensionally moved.

【0039】また、前述の実施態様では、塗布はテーブ
ルの移動、凹凸のピッチ方向への移動は、ノズルの移動
によって行う例を示したが、塗布をノズルの移動、凹凸
のピッチ方向への移動をテーブルの移動で行ってもよ
い。
In the above-described embodiment, the application is performed by moving the table and moving the unevenness in the pitch direction by moving the nozzle. However, the application is performed by moving the nozzle and moving the unevenness in the pitch direction. May be performed by moving the table.

【0040】さらに、本発明における基材としては、ガ
ラス板の他、鉄板、アルミ板等、枚葉状のものならどの
ようなものでもよい。また、一種類の塗液を塗布する場
合について詳しく言及したが、赤、青、緑等の3色の蛍
光体を同時に塗布する場合にも本発明は適用できる。
Further, as the substrate in the present invention, other than a glass plate, an iron plate, an aluminum plate or the like may be used as long as it is a single-leaf type. Further, the case where one type of coating liquid is applied has been described in detail, but the present invention can be applied to a case where phosphors of three colors such as red, blue, and green are applied simultaneously.

【0041】上記のような塗液の塗布装置において、本
発明では、たとえば、図3および図4に示すタイプのノ
ズル80が用いられる。図3および図4に示すタイプの
ノズル80においては、ブロックから内部に塗液を一定
量蓄積するためのマニホールド部81をくりぬくもの
と、先端の平板82の部分に貫通孔である吐出孔83を
加工してから、マニホールド部81に接合するものがあ
り、いずれの方法を採用してもよい。84は、ノズル8
0内への塗液の導入口を示している。
In the apparatus for applying a coating liquid as described above, in the present invention, for example, a nozzle 80 of the type shown in FIGS. 3 and 4 is used. In the nozzle 80 of the type shown in FIGS. 3 and 4, a manifold portion 81 for accumulating a predetermined amount of the coating liquid inside the block is hollowed out, and a discharge hole 83 which is a through hole is formed in the flat plate 82 at the tip. Some of them are processed and then joined to the manifold portion 81, and any of these methods may be adopted. 84 is the nozzle 8
The drawing shows the inlet of the coating liquid into 0.

【0042】また、図5のように、ノズルの吐出孔は同
一形状のパイプ85を配して構成してもよい。この場
合、ノズルが汚れにくくなるので好ましい。
Further, as shown in FIG. 5, the discharge holes of the nozzles may be constituted by arranging pipes 85 of the same shape. This case is preferable because the nozzle is less likely to become dirty.

【0043】ノズルの吐出孔83は、図11および図1
2に示すように、凹凸基材100のストライプ方向と略
直交する開口長さ(B)が、10μm以上500μm以
下で、かつ、隣り合う凸部101の間隔(ピッチ)
(S)以下に設定されている。
The discharge holes 83 of the nozzles are shown in FIGS.
As shown in FIG. 2, the opening length (B) of the concave-convex substrate 100 substantially perpendicular to the stripe direction is 10 μm or more and 500 μm or less, and the interval (pitch) between the adjacent convex portions 101.
(S) It is set as follows.

【0044】このときの吐出孔の形状としては、円形、
長円形、楕円形、双子円形や、三角形、長方形等の多角
形等によるものがある。開口長さが10μmより小さい
と、塗液がすぐにつまって使用できなくなり、500μ
mよりも大きいと、塗液の吐出を停止しているときに吐
出孔から塗液がこぼれ落ちる。開口長さを隣り合う凸部
の間隔以下にすることで、凹凸基材の凸部頂部へ塗液が
付着することを抑制することができる。
The shape of the discharge hole at this time is circular,
Examples include an ellipse, an ellipse, a twin circle, and a polygon such as a triangle and a rectangle. If the opening length is smaller than 10 μm, the coating liquid is clogged immediately and cannot be used, and the
When it is larger than m, the coating liquid spills from the discharge holes when the discharge of the coating liquid is stopped. By setting the opening length to be equal to or less than the interval between the adjacent protrusions, it is possible to suppress the coating liquid from adhering to the protrusion tops of the uneven substrate.

【0045】ノズルの吐出孔数は、20〜2000個に
設定されている。吐出孔数が少ないと、塗布するための
時間がかかりすぎる。孔数が2000個を越える場合
は、吐出孔の加工精度を確保することが難しくなり、精
度の良い塗布が困難になる。
The number of discharge holes of the nozzle is set to 20 to 2000. If the number of ejection holes is small, it takes too much time for coating. When the number of holes exceeds 2,000, it becomes difficult to secure processing accuracy of the discharge holes, and it becomes difficult to perform accurate coating.

【0046】ノズルの吐出孔のピッチは、0.12〜3
mmに設定されている。吐出孔のピッチが0.12mm
未満では、隣り合う吐出孔の間隔が小さいために、ノズ
ル製作が難しい。吐出孔のピッチが3mmを越えると、
300μm以下のピッチで凹凸部が形成された凹凸基材
に塗布する場合は、塗布制御が困難になる。
The pitch of the discharge holes of the nozzle is 0.12 to 3
mm. Discharge hole pitch is 0.12mm
If it is less than 1, the nozzle is difficult to manufacture because the interval between adjacent discharge holes is small. If the pitch of the discharge holes exceeds 3 mm,
In the case of applying to an uneven base material having an uneven portion at a pitch of 300 μm or less, application control becomes difficult.

【0047】また、ノズルの吐出孔のピッチは、凸部ピ
ッチの3m倍(mは1〜10の整数)でもよい。この場
合、効率的に塗布することができる。
Further, the pitch of the discharge holes of the nozzle may be 3 m times (m is an integer of 1 to 10) the pitch of the convex portions. In this case, the coating can be performed efficiently.

【0048】ノズルの吐出孔面および/または吐出孔内
壁に、フッ素系樹脂皮膜(たとえば、米国デュポン
(株)社製の”テフロン”)をコーティングすることに
より、吐出孔面および吐出孔内壁の塗液の離型性が向上
し、吐出孔面の汚れを抑制することができる。
The surface of the discharge hole and / or the inner wall of the discharge hole is coated with a fluorine resin film (for example, “Teflon” manufactured by DuPont, USA) on the surface of the discharge hole and / or the inner wall of the discharge hole. The releasability of the liquid is improved, and the contamination of the ejection hole surface can be suppressed.

【0049】また、ノズルの吐出孔面および/または吐
出孔内壁に、非晶質の炭素皮膜(たとえば、ダイヤモン
ドライクカーボン)をコーティングすることにより、吐
出孔面および吐出孔内壁の表面硬度が向上し、耐摩耗性
が向上する。
Further, by coating an amorphous carbon film (for example, diamond-like carbon) on the discharge hole surface and / or the inner wall of the discharge hole of the nozzle, the surface hardness of the discharge hole surface and the inner wall of the discharge hole is improved. And wear resistance is improved.

【0050】ノズルの材質としては、ステンレス、ニッ
ケル等の金属や、セラミックス等の非金属によるものが
ある。
Examples of the material of the nozzle include metals such as stainless steel and nickel, and non-metals such as ceramics.

【0051】ノズルの吐出孔の加工方法としては、ドリ
ル加工、放電加工、フォトエッチング、電鋳等の精密微
細加工によるものがある。
As a method of forming the discharge hole of the nozzle, there is a method of precision fine processing such as drilling, electric discharge machining, photo etching, electroforming.

【0052】また、凹凸基材への塗液の塗布装置におい
て、凹凸基材の凸部頂上部に塗液が付着した場合など、
基材の所定の塗布位置以外に存在する塗液を除去する手
段を設けることが好ましい。
Further, in a device for applying a coating liquid to an uneven substrate, when the coating liquid adheres to the top of the convex portion of the uneven substrate, for example,
It is preferable to provide a means for removing a coating liquid existing at a position other than a predetermined coating position on the substrate.

【0053】プラズマディスプレイの製造において、隔
壁頂上部に蛍光体が付着した場合には、前面板を合わせ
て封着するする場合に隔壁で各セルが十分仕切られない
ことによる放電漏れが生じるため、その頂上部に付着し
た蛍光体を粘着体に付着させることにより、除去するの
が好ましい。
In the manufacture of a plasma display, if a phosphor adheres to the top of the partition, discharge leakage occurs due to insufficient partitioning of cells by the partition when the front plate is sealed. It is preferable that the phosphor adhered to the top is removed by attaching it to the adhesive.

【0054】図6〜10は、その塗液を除去する装置の
概略を示すものである。図6は、ヘラ88によって掻き
取るものである。図7は、粘着体で構成したベルト89
を2つの回転ロール90の間で回転させながら基材4の
凸部頂上部に接触させて除去するものである。図8は、
粘着体で構成したベルト89を、送り出しロール91と
巻き取りロール82の間で回転させながら、凸部頂上部
に接触させて除去するものである。図9は、粘着体で構
成したローラー93を基材4の凸部頂上部に接触させて
除去するものである。図10は、空気ノズル94により
圧空を吹き付けて、吸引装置95で除去したものを吸引
するものである。
6 to 10 schematically show an apparatus for removing the coating liquid. FIG. 6 is a view of scraping by a spatula 88. FIG. 7 shows a belt 89 made of an adhesive.
Is removed by contacting the top of the convex portion of the substrate 4 while rotating between the two rotating rolls 90. FIG.
The belt 89 made of an adhesive is removed by contacting the top of the convex portion while rotating between the feed roll 91 and the take-up roll 82. FIG. 9 shows a configuration in which a roller 93 made of an adhesive is brought into contact with the top of the convex portion of the base material 4 and removed. FIG. 10 shows a case where compressed air is blown by the air nozzle 94 and the air removed by the suction device 95 is sucked.

【0055】粘着体の材質としては、上述した特性を有
するものであれば特に限定されるものではないが、例え
ば、ポリウレタンゴム、ポリエチレンゴム、シリコンゴ
ムおよびこれらのゲル体を挙げることができる。
The material of the pressure-sensitive adhesive is not particularly limited as long as it has the above-mentioned properties, and examples thereof include polyurethane rubber, polyethylene rubber, silicon rubber and gel bodies thereof.

【0056】また、凹凸基材に、赤色、緑色、青色の3
色の蛍光体を塗布する場合、前述の塗液の塗布装置を、
赤色、緑色、青色に対応して3台直列に配置して、3色
の蛍光体層を順次塗布することが好ましい。これによ
り、1色塗布するごとにノズル、塗液タンクや配管等を
洗浄する必要がなく、3色の蛍光体層を凹凸基材に効率
的に形成することができる。
The uneven base material has red, green, and blue colors.
When applying a color phosphor, the coating device for the coating liquid described above is used.
It is preferable that three phosphors are arranged in series corresponding to red, green and blue, and phosphor layers of three colors are sequentially applied. Accordingly, it is not necessary to clean the nozzle, the coating liquid tank, the pipe, and the like every time one color is applied, and the phosphor layers of three colors can be efficiently formed on the uneven substrate.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の凹凸基材
への塗液の塗布装置によれば、塗液を凹部に精度良く安
定して塗布することができる。これにより、被塗布物の
品質が向上するとともに、生産性が向上する。
As described in detail above, according to the apparatus for applying a coating liquid to the uneven substrate of the present invention, the coating liquid can be applied to the concave portions with high accuracy and stability. Thereby, the quality of the object to be coated is improved, and the productivity is improved.

【0058】また、凹凸基材の所定の塗布位置以外に存
在する塗液を除去する手段を設けたので、品質が向上す
るとともに、歩留まりも高くなるので生産性が向上す
る。
In addition, since means for removing the coating liquid existing at a position other than the predetermined coating position of the uneven substrate is provided, the quality is improved and the yield is increased, so that the productivity is improved.

【0059】本発明のプラズマディスプレイの製造装置
によれば、上記凹凸基材への塗液の塗布装置を使用して
いるので、品質の高いプラズマディスプレイを、高い生
産性で安価に製造することが可能となる。
According to the apparatus for manufacturing a plasma display of the present invention, since the apparatus for applying a coating liquid to the uneven substrate is used, a high-quality plasma display can be manufactured with high productivity and at low cost. It becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施態様に係る塗液の塗布装置の全
体構成を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an overall configuration of a coating liquid application apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の装置のテーブルとノズル周りの構成を示
す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration around a table and a nozzle of the apparatus shown in FIG. 1;

【図3】本発明の一実施態様に係るノズルの縦断面図で
ある。
FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a nozzle according to an embodiment of the present invention.

【図4】図3のノズルの、図3とは直角の方向における
縦断面図である。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of the nozzle of FIG. 3 in a direction perpendicular to FIG. 3;

【図5】本発明の他の実施態様に係るノズルの縦断面図
である。
FIG. 5 is a longitudinal sectional view of a nozzle according to another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施態様に係る塗液除去装置の部分
概略構成図である。
FIG. 6 is a partial schematic configuration diagram of a coating liquid removing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図7】本発明の他の実施態様に係る塗液除去装置の部
分概略構成図である。
FIG. 7 is a partial schematic configuration diagram of a coating liquid removing apparatus according to another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の他の実施態様に係る塗液除去装置の部
分概略構成図である。
FIG. 8 is a partial schematic configuration diagram of a coating liquid removing apparatus according to another embodiment of the present invention.

【図9】本発明の他の実施態様に係る塗液除去装置の部
分概略構成図である。
FIG. 9 is a partial schematic configuration diagram of a coating liquid removing apparatus according to another embodiment of the present invention.

【図10】本発明のさらに他の実施態様に係る塗液除去
装置の部分概略構成図である。
FIG. 10 is a partial schematic configuration diagram of a coating liquid removing apparatus according to still another embodiment of the present invention.

【図11】本発明の一実施態様に係るノズルと凹凸基材
の要部の縦断面図である。
FIG. 11 is a longitudinal sectional view of a main part of a nozzle and an uneven substrate according to an embodiment of the present invention.

【図12】図11の凹凸基材とノズル孔を上から見た概
略図である。
FIG. 12 is a schematic view of the uneven base material and the nozzle holes of FIG. 11 as viewed from above.

【符号の説明】 2:基台 4:基材 6:テーブル 7:吸引孔 8:ガイド溝レール 9:スライド脚 10:フィードスクリュー 11:コネクタ 12:軸受 16:ACサーボモータ 20:ノズル 22:ホルダー 24:水平バー 26:リニアアクチュエータ 28:昇降ブラケット 29:伸縮ロッド 30:昇降機構 32:Y軸移動ブラケット 34:支柱 36:軸方向移動機構 38:センサ支柱 40:高さセンサ 41:マニホールド 42:塗液 44:吐出孔 46:供給ホース 48:吐出用電磁切換え弁 50:供給ユニット 52:吸引ホース 54:吸引用電磁切換え弁 56:塗液タンク 58:供給装置コントローラ 60:全体コントローラ 62:モータコントローラ 64:センサブラケット 66:位置センサ 68:位置センサ 70:カメラ支柱 72:カメラ 74:画像処理装置 76:昇降機構用アクチュエータ 78:幅方向移動機構用アクチュエータ 80:ノズル 81:マニホールド部 82:平板 83:吐出孔 84:塗液導入口 85:パイプ 88:ヘラ 89:ベルト 90:回転ロール 91:送り出しロール 92:巻き取りロール 93:ローラー 94:空気ノズル 95:吸引装置 100:凹凸基材 101:凸部[Description of Signs] 2: Base 4: Base material 6: Table 7: Suction hole 8: Guide groove rail 9: Slide leg 10: Feed screw 11: Connector 12: Bearing 16: AC servo motor 20: Nozzle 22: Holder 24: horizontal bar 26: linear actuator 28: elevating bracket 29: telescopic rod 30: elevating mechanism 32: Y-axis moving bracket 34: support 36: axial movement mechanism 38: sensor support 40: height sensor 41: manifold 42: coating Liquid 44: Discharge hole 46: Supply hose 48: Discharge electromagnetic switching valve 50: Supply unit 52: Suction hose 54: Suction electromagnetic switching valve 56: Coating liquid tank 58: Supply device controller 60: Overall controller 62: Motor controller 64 : Sensor bracket 66 : Position sensor 68 : Position sensor 70 Camera column 72: Camera 74: Image processing device 76: Actuator for lifting mechanism 78: Actuator for width direction moving mechanism 80: Nozzle 81: Manifold part 82: Flat plate 83: Discharge hole 84: Coating liquid inlet 85: Pipe 88: Spatula 89: Belt 90: Rotating roll 91: Sending roll 92: Winding roll 93: Roller 94: Air nozzle 95: Suction device 100: Uneven substrate 101: Convex portion

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設けられた複数の
吐出孔を有するノズルと、該ノズルに塗液を供給する供
給手段と、前記テーブルとノズルを3次元的に相対移動
させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置
において、前記ノズルの吐出孔の、前記凹凸基材のスト
ライプ方向と略直交する開口長さ(B)が、前記凹凸基
材の凸部ピッチ(S)に対して下記の条件を満たすこと
を特徴とする凹凸基材への塗液の塗布装置。 10μm≦B≦S≦500μm
1. A table for fixing an uneven base material having uneven portions formed on a surface thereof in one direction in a stripe pattern at a constant pitch, and a plurality of discharge holes provided facing the uneven portions of the uneven base material. A coating liquid applying apparatus for applying a coating liquid to an uneven substrate, comprising: a nozzle having a nozzle; a supply unit for supplying the coating liquid to the nozzle; and a moving unit configured to relatively move the table and the nozzle three-dimensionally. An irregular length base material characterized in that an opening length (B) of a discharge hole substantially orthogonal to a stripe direction of the uneven substrate satisfies the following condition with respect to a convex pitch (S) of the uneven substrate. Applicator for coating liquid. 10 μm ≦ B ≦ S ≦ 500 μm
【請求項2】前記ノズルの吐出孔の形状が円形であるこ
とを特徴とする請求項1に記載の凹凸基材への塗液の塗
布装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein the shape of the discharge hole of the nozzle is circular.
【請求項3】前記ノズルの吐出孔は、平板を貫通するこ
とにより形成されたことを特徴とする請求項1または2
に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
3. The discharge hole of the nozzle is formed by penetrating a flat plate.
A coating device for applying a coating liquid to the uneven substrate according to the above.
【請求項4】前記ノズルの吐出孔は、同一形状のパイプ
を配して構成されたことを特徴とする請求項1または2
に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
4. The nozzle according to claim 1, wherein the discharge holes of the nozzle are formed by arranging pipes of the same shape.
A coating device for applying a coating liquid to the uneven substrate according to the above.
【請求項5】前記ノズルの吐出孔数が、20〜2000
個であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか
に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
5. The method according to claim 1, wherein the number of discharge holes of said nozzle is 20 to 2000.
The coating device for applying a coating liquid to the uneven substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein the coating liquid is a unit.
【請求項6】前記ノズルの吐出孔のピッチが、0.12
〜3mmであることを特徴とする請求項1ないし5のい
ずれかに記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
6. A method according to claim 1, wherein the pitch of the discharge holes of the nozzle is 0.12.
The apparatus for applying a coating liquid to an uneven substrate according to any one of claims 1 to 5, wherein the coating liquid has a thickness of 3 to 3 mm.
【請求項7】前記ノズルの吐出孔のピッチが、前記凹凸
基材の凸部ピッチの3m倍(mは1〜10の整数)であ
ることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載
の凹凸基材への塗液の塗布装置。
7. The method according to claim 1, wherein the pitch of the discharge holes of the nozzle is 3 m times (m is an integer of 1 to 10) the pitch of the projections of the uneven substrate. An apparatus for applying a coating liquid to the uneven substrate according to the above.
【請求項8】前記ノズルの吐出孔面および/または吐出
孔内壁に、フッ素系樹脂皮膜がコーティングされている
ことを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の
凹凸基材への塗液の塗布装置。
8. The method according to claim 1, wherein the surface of the discharge hole and / or the inner wall of the discharge hole of the nozzle is coated with a fluorine-based resin film. Liquid coating device.
【請求項9】前記ノズルの吐出孔面および/または吐出
孔内壁に、非晶質の炭素皮膜がコーティングされている
ことを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の
凹凸基材への塗液の塗布装置。
9. The uneven substrate according to claim 1, wherein an amorphous carbon film is coated on a surface of the discharge hole and / or an inner wall of the discharge hole of the nozzle. Coating liquid coating device.
【請求項10】表面に一方向にストライプ状に一定ピッ
チで凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブ
ルと、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設けられた複数
の吐出孔を有するノズルと、該ノズルに塗液を供給する
供給手段と、前記テーブルとノズルを3次元的に相対移
動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装
置において、前記凹凸基材の所定の塗布位置以外に存在
する塗液を除去する手段を設けたことを特徴とする凹凸
基材への塗液の塗布装置。
10. A table for fixing an uneven base material having uneven portions formed in a stripe at a constant pitch in one direction on a surface thereof, and a plurality of discharge holes provided to face the uneven portions of the uneven base material. A coating liquid applying apparatus for coating the uneven base material, comprising: a nozzle having a nozzle; a supply unit configured to supply the coating liquid to the nozzle; and a moving unit configured to relatively move the table and the nozzle three-dimensionally. An apparatus for applying a coating liquid to an uneven base material, comprising means for removing a coating liquid existing at a position other than a predetermined application position of a material.
【請求項11】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色
に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求項
1ないし10のいずれかに記載の塗液の塗布装置を用い
たことを特徴とするプラズマディスプレイの製造装置。
11. A coating solution containing a phosphor powder emitting light of any one of red, green and blue colors, wherein the coating solution coating apparatus according to any one of claims 1 to 10 is used. An apparatus for manufacturing a plasma display, comprising:
【請求項12】赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光
する蛍光体粉末を含む3種類のペーストに対応して、請
求項1ないし11のいずれかに記載の塗液の塗布装置を
3台直列に配置したことを特徴とするプラズマディスプ
レイの製造装置。
12. An apparatus for applying a coating liquid according to claim 1, which corresponds to three kinds of pastes containing phosphor powders emitting light of any one of red, green and blue colors. An apparatus for manufacturing a plasma display, wherein the apparatuses are arranged in series.
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Cited By (10)

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