JPH1129881A - ウェハのエッチング処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウェハを薬液に浸漬してエッチング処理する際
に、各ウェハをムラなく均一にエッチング処理すること
ができる。 【解決手段】周回移動可能に設けられたウェハ搬送ベル
ト３１は、エッチング槽１１内の薬液内に浸漬された後
に、洗浄槽２１の洗浄水に浸漬されるようになってい
る。ウェハ搬送ベルト３１上には、ウェハ４０が１枚ず
つ載置されて搬送され、エッチング槽１１内の薬液にて
順次エッチング処理された後に、洗浄槽２１内の洗浄水
にて順次水洗処理される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路等
の半導体装置の製造に使用されるウェハを、薬液によっ
てエッチング処理する際に使用されるウェハのエッチン
グ処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造に使用されるウェハ
は、通常、図３に示すエッチング処理装置によってエッ
チング処理されるようになっている。このエッチング処
理装置では、円板状をした複数のウェハ４０が、水平方
向に一定の間隔をあけてそれぞれ垂直状態で保持するウ
ェハキャリア４１内に収容された状態で取り扱われるよ
うになっており、このウェハキャリア４１が、複数のウ
ェハ４０を保持した状態で、ローダー部７３上に載置さ
れる。ローダー部７３上に載置されたウェハキャリア４
１は、ウェハ搬送機構７４によって、エッチング槽６１
に搬送されて、エッチング槽６１内に収容された薬液内
に浸漬される。ウェハキャリア４１内に収容された各ウ
ェハ４０は、所定時間にわたってエッチング槽６１内の
薬液に浸漬されることよって、それぞれエッチング処理
される。

【０００３】エッチング槽６１にて、ウェハキャリア４
１に収容された各ウェハ４０が、所定時間にわたって薬
液に浸漬されると、各ウェハ４０が収容されたウェハキ
ャリア４１が、ウェハ搬送機構７４によって、洗浄槽６
７に搬送されて、洗浄槽６７内の洗浄液（純水）に浸漬
されて水洗処理される。そして、ウェハキャリア４１に
収容された各ウェハ４０が、洗浄槽６７内の洗浄水に所
定時間にわたって洗浄水に浸漬されることによって水洗
処理されると、各ウェハ４０を収容したウェハキャリア
４１が、ウェハ搬送機構７４によって、スピンドライ装
置７１に搬送され、スピンドライ装置７１によってスピ
ン乾燥される。スピンドライ装置７１にて各ウェハ４０
がスピン乾燥されると、ウェハキャリア４１は、ウェハ
搬送機構７４によって、スピンドライ装置７１からアン
ローダー部７２上に搬送される。エッチング槽６１は、
薬液オーバーフロー槽６２内に適当な間隔をあけて収容
された状態になっており、エッチング槽６１の底面と薬
液オーバーフロー槽６２との底面との間に、薬液循環路
６３が設けられている。エッチング槽６１内には、薬液
循環路６３内の薬液が薬液供給ポンプ６４によって供給
されており、エッチング槽６１に供給された薬液は、薬
液オーバーフロー槽６２にオーバーフローして、薬液循
環路６３内に流入している。

【０００４】薬液循環路６３には、ドレインバルブ６６
を介して薬液排出管６５が接続されており、エッチング
槽６１および薬液循環路６３内の薬液が、所定枚数のウ
ェハ４０をエッチング処理すると、ドレインバルブ６６
が開放されて、排出管６５を通して排出される。そし
て、新たな薬液が、エッチング処理槽６１内に投入され
る。

【０００５】洗浄槽６７は、洗浄水オーバーフロー槽６
８内に、適当な間隔をあけて収容されている。洗浄槽６
７には、洗浄水供給管６９によって洗浄水が供給され
て、洗浄水オーバーフロー槽６８内にオーバーフローす
るようになっており、洗浄水オーバーフロー槽６８内に
オーバーフローした洗浄水は、排水管７０によって排出
されている。従って、洗浄槽６７内には、常に、汚染さ
れていない洗浄水が供給されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このようなウェハのエ
ッチング処理装置では、複数枚のウェハ４０が保持され
たウェハキャリア４１が、エッチング槽６１内の薬液内
に投入されてエッチング処理されているために、ウェハ
キャリア４１に保持された各ウェハ４０は、薬液によっ
て均一にエッチング処理されないおそれがある。すなわ
ち、各ウェハ４０は、ウェハキャリア４１によって一定
の間隔をあけて水平に保持されているために、各ウェハ
４０の周縁部が、流動する薬液によって比較的良好にエ
ッチング処理されるものの、各ウェハ４０の中心部に
は、薬液が流動せず、良好にエッチング処理されず、各
ウェハ４０の周縁部と中央部とでは、それぞれ、エッチ
ングムラが生じるおそれがある。また、洗浄槽６７内の
洗浄水によって水洗処理する場合も、各ウェハ４０がウ
ェハキャリア４０内に保持された状態になっているため
に、各ウェハ４０は、周縁部が比較的良好に水洗処理さ
れるのに対して、中央部は良好に水洗処理されず、洗浄
ムラが生じるおそれがある。

【０００７】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、各ウェハを、エッチングムラを生
じさせることなく、均一にエッチング処理することがで
きるウェハのエッチング処理装置を提供することにあ
る。本発明の他の目的は、エッチング処理された各ウェ
ハを、洗浄ムラを生じさせることなく、均一に水洗処理
することができるウェハのエッチング処理装置を提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のウェハのエッチ
ング処理装置は、ウェハをエッチング処理するための薬
液が収容されたエッチング槽と、エッチング処理される
ウェハが１枚ずつ載置されて、載置された各ウェハが、
順次、前記エッチング槽内の薬液内に浸漬されるように
周回移動するウェハ搬送ベルトと、を具備することを特
徴とする。

【０００９】前記ウェハ搬送ベルトは、エッチング槽内
の薬液に浸漬された各ウェハが、順次、洗浄槽内の洗浄
水に浸漬される。また、本発明のウェハのエッチング処
理装置は、ウェハをエッチング処理するための薬液が収
容されたエッチング槽と、ウェハを１枚ずつ保持した状
態で、このエッチング槽の上方を通過するように配置さ
れており、保持された各ウェハが、エッチング槽の上方
を通過する際に、エッチング槽内の薬液内に浸漬するよ
うに昇降されるウェハ搬送機構と、を具備することを特
徴とする。

【００１０】前記ウェハ搬送機構は、エッチング処理さ
れたウェハを洗浄処理する洗浄槽の上方を通過するよう
になっており、エッチング槽内の薬液に浸漬された各ウ
ェハが、洗浄槽の上方を通過する際に、洗浄槽内の洗浄
液に浸漬するよう昇降される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明のウェハ
のエッチング装置の実施の形態の一例を示す概略構成図
である。このウェハのエッチング装置は、各ウェハ４０
をエッチング処理するエッチング用の薬液が収容された
エッチング槽１１と、このエッチング槽１１にてエッチ
ング処理された各ウェハ４０を水洗処理するように、エ
ッチング槽１１に隣接して配置された洗浄槽２１とを有
している。

【００１２】エッチング槽１１は、薬液オーバーフロー
槽１２の内部に、この薬液オーバーフロー槽１２とは適
当な間隔をあけた状態で収容されている。また、洗浄槽
２１も、洗浄水オーバーフロー槽２２内に、この洗浄水
オーバーフロー槽２２とは適当な間隔をあけた状態で収
容されている。洗浄槽２１内にには、洗浄液としての洗
浄水（純粋）が収容されている。エッチング槽１１内の
薬液は、薬液オーバーフロー槽１２内にオーバーフロー
するようになっており、また、洗浄槽２１内の洗浄水
も、洗浄水オーバーフロー槽２２内にオーバーフローす
るようになっている。

【００１３】エッチング槽１１の底面と薬液オーバーフ
ロー槽１２の底面とは、薬液循環路１３によって、相互
に連通状態で接続されており、薬液循環路１３に薬液供
給ポンプ１４が設けられている。エッチング槽１１から
薬液オーバーフロー槽１２内にオーバーフローした薬液
は、薬液循環路１３内に流入して、薬液供給ポンプ１４
よって、エッチング槽１１内に供給されるようになって
いる。また、薬液循環路１３には、その薬液循環路１３
内を流れる薬液を排出する排出管１５が、ドレインバル
ブ１６を介して接続されている。ドレインバルブ１６が
開放されると、薬液循環路１３内の薬液が、排出管１５
を通って排出される。

【００１４】エッチング槽１１および薬液循環路１３内
の薬液は、所定枚数のウェハをエッチング処理すると、
ドレインバルブ１６が開放されて、エッチング槽１１、
薬液オーバーフロー槽１２、および薬液循環路１３か
ら、排出管１５を通って排出され、新たな薬液がエッチ
ング槽１１内に投入される。

【００１５】各ウェハ４０を水洗処理する洗浄槽２１の
底面には、洗浄水オーバーフロー槽２２の底面を貫通す
る洗浄水供給管２３が接続されており、この洗浄水供給
管２３によって、洗浄槽２１内に洗浄水（純粋）が供給
されるようになっている。また、洗浄水オーバーフロー
槽２２の底面には、洗浄水オーバーフロー槽２２内にオ
ーバーフローした洗浄水が排出される排水管２４が接続
されている。洗浄槽２１内には、洗浄水供給管２３から
供給される汚染されていない洗浄水が、順次、供給され
て、洗浄水オーバーフロー槽２２内にオーバーフローし
ており、従って、洗浄槽２１内には、常に、汚染されて
いない洗浄水が供給されている。

【００１６】エッチング槽１１および洗浄槽２１は、周
回移動可能になったウェハ搬送ベルト３１の周回移動域
内に配置されている。このウェハ搬送ベルト３１は、エ
ッチング処理されるウェハ４０を１枚ずつ載せた状態で
搬送されるようになっており、その戻り側部分が、エッ
チング槽１１の下方および洗浄槽２１の下方を水平に通
過するように、一対のテンションローラー３２ａおよび
３２ｋによって水平に架設されている。そして、一方の
テンションローラー３２ａによって、上方に向かうよう
に垂直に立ち上げられて、エッチング槽１１の側方に配
置された一対のテンションローラー３２ｂおよび３２ｃ
によって、エッチング槽１１に向かって水平に架設され
ている。

【００１７】ウェハ搬送ベルト３１は、エッチング槽１
１の近傍に配置されたテンションローラー３２ｃによっ
て、エッチング槽１１内の下部に向かって傾斜状態で進
入するように屈曲されている。エッチング槽１１内の下
部では、ウェハ搬送ベルト３１は、各一対のテンション
ローラー３２ｄおよび３２ｅによって水平に架設されて
いる。各一対のテンションローラー３２ｄおよび３２ｅ
は、ウェハ搬送ベルト３１上に載置された各ウェハ４０
が通過するように、ウェハ搬送ベルト３１の各側縁部上
をそれぞれ転接している。エッチング槽１１内を水平に
通過したウェハ搬送ベルト３１は、一対のテンションロ
ーラー３２ｅによって、傾斜状態でエッチング槽１１か
ら退出するように屈曲されている。

【００１８】エッチング槽１１と洗浄槽２１との間に
は、ウェハ搬送ベルト３１を水平状態で架設する一対の
テンションローラー３２ｆおよび３２ｇが設けられてお
り、ウェハ搬送ベルト３１は、エッチング槽１１と洗浄
槽２１との間を水平に通過している。

【００１９】洗浄槽２１の近傍に設けられたテンション
ローラー３２ｇは、ウェハ搬送ベルト３１を、洗浄槽２
１内の下部に向かって傾斜するように屈曲している。洗
浄槽２１内の下部では、ウェハ搬送ベルト３１は、各一
対のテンションローラー３２ｈおよび３２ｉによって水
平に架設されている。各一対のテンションローラー３２
ｈおよび３２ｉは、ウェハ搬送ベルト３１上に載置され
た各ウェハ４０が通過するように、ウェハ搬送ベルト３
１の各側縁部上をそれぞれ転接している。洗浄槽２１内
を水平に通過したウェハ搬送ベルト３１は、一対のテン
ションローラー３２ｉによって、傾斜状態で洗浄槽２１
から退出するように屈曲されている。

【００２０】洗浄槽２１から退出したウェハ搬送ベルト
３１は、洗浄槽２１の近傍に配置されたテンションロー
ラー３２ｊと、洗浄槽２１から適当な距離だけ離れて配
置された駆動ローラー３２によって水平に架設されてい
る。そして、駆動ローラー３２によって下方に向かって
直角に屈曲されて、一対のテンションローラー３２ｋお
よび３２ａにて水平に架設されている。ウェハ搬送ベル
ト３１は、テンションローラー３２によって、エッチン
グ槽１１の薬液に浸漬された後に、洗浄槽２１内の洗浄
水に浸漬されるように周回移動されるようになってい
る。

【００２１】エッチング槽１１にてエッチング処理され
る各ウェハ４０は、ウェハキャリア４１内に収容され
て、エッチング槽１１とは適当な間隔をあけて配置され
たローダー部３４上に載置されるようになっており、ロ
ーダー部３４とウェハ搬送ベルト３１との間には、搬入
ベルトコンベア３３が水平に配置されている。

【００２２】ウェハキャリア４１は、複数のウェハ４０
を、相互に上下方向に適当な間隔をあけて水平に保持す
るようになっている。ローダー部３４は、載置されたウ
ェハキャリア４１を昇降させるようになっており、ロー
ダー部３４が間欠的に下降されることによって、ウェハ
キャリア４１内に水平状態に保持された各ウェハ４０
が、順次、搬入ベルトコンベア３３上に移載されるよう
になっている。搬入ベルトコンベア３３の上面は、ウェ
ハ搬送ベルト３１とは同一の高さにて水平になってい
る。搬入ベルトコンベア３３上に順次移載される各ウェ
ハ４０は、順次、ウェハ搬送ベルト３１上に移載され
る。

【００２３】洗浄槽２１から退出して水平に架設された
ウェハ搬送ベルト３１には、搬出ベルトコンベア３５が
連続して配置されている。この搬出ベルトコンベア３５
の上面は、ウェハ搬送ベルト３１の上面と同一の高さに
て水平に配置されており、ウェハ搬送コンベア３１にて
搬送されるウェハ４０が、この搬出ベルトコンベア３５
上に、順次、移載されて搬送されるようになっている。

【００２４】搬出ベルトコンベア３５の終端部には、ア
ンローダー部３６が連続的に配置されている。このアン
ローダー部３６も、ローダー部３４と同様に、ウェハ４
０を保持するウェハキャリア４１が載置されて昇降され
るようになっている。アンローダー部３６上に載置され
たウェハキャリア４１は、搬出ベルトコンベア３５にて
搬送される各ウェハ４０に同期して上昇し、各ウェハ４
０が、ウェハキャリア４１内に順次水平状態で保持され
るようになっている。

【００２５】洗浄槽２１と搬出ベルトコンベア３５との
間に水平に架設されたウェハ搬送ベルト３１の上方に
は、ウェハ搬送ベルト３１上を搬送されるウェハ４０を
乾燥させるための乾燥ガスとして窒素ガス（Ｎ₂ ）を吹
きつける乾燥用ガス吹き付け口３７が、ウェハ搬送ベル
ト３１に対向して配置されている。

【００２６】このような構成のエッチング処理装置で
は、エッチング処理すべき複数のウェハ４０が保持され
たウェハキャリア４１が、ローダー部３４上に配置され
ると、ローダー部３４が間欠的に下降され、ローダー部
３４上のウェハキャリア４１内の各ウェハ４０が、順番
に、搬入ベルトコンベア３３上に移載される。そして、
搬入ベルトコンベア３３上に順次移載されたウェハ４０
は、所定方向に周回移動するウェハ搬送ベルト３１上
に、順次、移載される。

【００２７】ウェハ搬送ベルト３１上に、順次、移載さ
れたウェハ４０は、ウェハ搬送ベルト３１の周回移動に
伴って、ウェハ搬送ベルト３１とともにエッチング槽１
１内の薬液に浸漬される。エッチング槽１１内には、薬
液が循環されており、ウェハ搬送ベルト３１上に載置さ
れたウェハ４０が薬液内に浸漬された状態になると、ウ
ェハ４０が所定時間にわたって薬液内に浸漬されるよう
に、ウェハ搬送ベルト３１の周回移動速度が制御され
る。

【００２８】このようにして、ウェハ搬送ベルト３１上
に載置されてエッチング槽１１内の薬液に浸漬されたウ
ェハ４０が所定時間にわたってエッチング処理される
と、そのウェハ４０は、ウェハ搬送ベルト３１とともに
エッチング槽１１から排出されて、ウェハ搬送ベルト３
１とともに、洗浄槽２１に搬送される。そして、ウェハ
搬送ベルト３１が洗浄槽２１内の洗浄水に浸漬されるこ
とによって、ウェハ４０も、洗浄槽２１内の洗浄水に浸
漬される。洗浄槽２１内には、洗浄水供給管２３によっ
て、新たな洗浄水が順次供給されており、洗浄水に浸漬
されたウェハ４０は、洗浄水によって洗浄される。この
場合も、所定時間にわたってウェハ４０が洗浄水にて洗
浄されるように、ウェハ搬送ベルト３１の周回移動速度
が制御される。ウェハ４０の洗浄は、例えば、ウェハ４
０の比抵抗が１０ＭΩ以上になるまで実施される。

【００２９】このようにして、ウェハ４０が洗浄槽２１
内の洗浄水に所定時間にわたって浸漬されて水洗される
と、ウェハ４０がウェハ搬送ベルト３１とともに洗浄槽
２１から排出されて、搬出ベルトコンベア３５に向かっ
て搬送される。このとき、ウェハ搬送ベルト３１の移動
域の上方に配置された乾燥用ガス吹き付け口３７から窒
素ガスが、ウェハ搬送ベルト３１上のウェハ４０に吹き
付けられて、ウェハ４０は乾燥される。

【００３０】このようにして、乾燥用ガス吹き付け口３
７から吹き付けられる窒素ガスによって乾燥されたウェ
ハ４０が、搬出ベルトコンベア３５の始端部に達する
と、ウェハ４０は、搬出ベルトコンベア３５上に移載さ
れる。そして、ウェハ４０は、搬出ベルトコンベア３５
によって、アンローダー部３６に向かって、順次、搬送
され、搬出ベルトコンベア３５の終端部にて、アンロー
ダー部３６上に配置されたウェハキャリア４１に順次、
保持される。この場合、アンローダー部３６は、搬出ベ
ルトコンベア３５によるウェハ４０の搬送に同期して間
欠的に下降され、順次搬送される各ウェハ４０は、アン
ローダー３６上に載せられたウェハキャリア４１に、上
下方向に一定の間隔をあけた水平状態に、順次、保持さ
れる。

【００３１】このように、ウェハ搬送ベルト３１によっ
て、エッチング処理されるウェハ４０が１枚ずつ搬送さ
れて、エッチング槽１１内の薬液によってエッチング処
理されるとともに、洗浄槽２１内の洗浄水によって水洗
処理されるために、各ウェハ４０は、エッチングムラ、
洗浄ムラが生じることなく、エッチング処理および水洗
処理される。

【００３２】図２は、本発明のウェハのエッチング処理
装置の実施の形態の他の例を示す概略構成図である。こ
のエッチング処理装置では、エッチング槽１１および洗
浄槽２１の上方にわたって、ウェハ搬送機構５０が設け
られている。このウェハ搬送機構５０は、エッチング槽
１１および洗浄槽２１の上方にわたって周回移動可能に
なったコンベアベルト５１と、このコンベアベルト５１
に、相互に一定の間隔をあけて吊り下げられた状態で取
り付けられた複数のチャック具５２とを有している。

【００３３】ウェハ搬送機構５０のコンベアベルト５１
は、周回移動域が上下にそれぞれ設けられており、上側
の周回移動域が水平になっているのに対して、下側の周
回移動域が、エッチング槽１１および洗浄槽２１の上方
にて、それぞれエッチング槽１１および洗浄槽２１に接
近するように、下方に位置している。従って、コンベア
ベルト５１に吊り下げられた各チャック具５２は、エッ
チング槽１１および洗浄槽２１に接近したコンベアベル
ト５１部分では、エッチング槽１１内の薬液および洗浄
槽２１内の洗浄水に、それぞれの下端部が浸漬された状
態になる。コンベアベルト５１は、各チャック具５２の
下端部が、エッチング槽１１の薬液内に浸漬された後
に、洗浄槽２１内の洗浄水に浸漬されるように、周回移
動するようになっている。

【００３４】コンベアベルト５１にてそれぞれ吊り下げ
られた各チャック具５２は、一対のチャックアーム５２
ａの上端部が、回動可能にコンベアベルト５１にそれぞ
れ吊り下げられて、各チャックアーム５２ａの下端部同
士が相互に接離するように、各チャックアーム５２ａ同
士が反対方向に回動されるようになっている。

【００３５】各チャック具５２は、コンベアベルト５１
に対して、それぞれ一定の間隔をあけて取り付けられて
おり、各チャック具５２の間隔は、いずれかのチャック
具５２の下端部が洗浄槽２１内の洗浄水に浸漬された際
に、後続のチャック具５２がエッチング槽１１と水洗槽
２１との中間に位置され、さらに、その後続のチャック
具５２が、エッチング槽１１の薬液内に下端部が浸漬さ
れるように、それぞれ設定されている。

【００３６】このウェハのエッチング処理装置も、前記
実施の形態と同様に、エッチング処理される複数のウェ
ハ４０を保持するウェハキャリア４１が載置されるロー
ダー部３４が設けられており、このローダー部３４とエ
ッチング槽１１との間に、搬入ベルトコンベア３３が水
平に配置されている。そして、エッチング槽１１を収容
する薬液オーバーフロー槽１２には、搬入ベルトコンベ
ア３３に向かって水平に延びる移載テーブル１２ａが、
搬入ベルトコンベア３３の上面と同一の高さで水平に設
けられている。この移載テーブル１２ａには、搬入ベル
トコンベア３３上を搬送されるウェハ４０が移載される
ようになっており、この移載テーブル１２ａ上に移載さ
れたウェハ４０が、ウェハ搬送機構５０の各チャック具
５２によってチャックされるようになっている。各チャ
ック具５２は、一対のチャックアーム５２ａの下端部に
よってウェハ４０のエッジに係合して、ウェハ４０を水
平にチャックする。

【００３７】洗浄槽２１が収容された洗浄水オーバーフ
ロー槽２２には、搬出ベルトコンベア３５が連続して水
平に設けられており、この搬出ベルトコンベア３５の終
端部に、エッチング処理されたウェハ４０を収容するウ
ェハキャリア４１が載置されたアンローダー部３６が設
けられている。搬出ベルトコンベア３５は、前記実施の
形態の搬出ベルトコンベア３５よりも長くなっており、
搬出ベルトコンベア３５の中央部の上方には、乾燥ガス
として窒素ガスを吹き出す乾燥ガス吹き出し口３７が設
けられている。

【００３８】このような構成のウェハのエッチング処理
装置では、エッチング処理すべき複数のウェハ４０を上
下方向に一定の間隔をあけてそれぞれ水平に保持するウ
ェハキャリア４１が、ローダー部３４上に配置されて、
ローダー部３４上のウェハキャリア４１内の各ウェハ４
０が、順番に、搬入ベルトコンベア３３上に移載され
る。そして、搬入ベルトコンベア３３によって、移載テ
ーブル１２ａ上に各ウェハ４０が順次移載される。

【００３９】移載テーブル１２ａ上にウェハ４０が移載
されて、周回移動されるウェハ搬送機構５０のコンベア
ベルト５１によって、１つのチャック具５２が移載テー
ブル１２ａ上に周回移動されると、コンベアベルト５１
の周回移動が停止される。そして、そのチャック具５２
によって、移載テーブル１２ａ上のウェハ４０がチャッ
クされる。その後、コンベアベルト５１が周回移動され
て、コンベアベルト５１に取り付けられた各チャック具
５２も周回移動される。このようにして、順次、移載テ
ーブル１２ａ上に各ウェハ４０が順番に移載されると、
ウェハ搬送機構５０のコンベアベルト５１が簡潔的に周
回移動されて、各チャック具５２によって、各ウェハ４
０が、それぞれ水平状態でチャックされる。

【００４０】各チャック具５２は、１枚のウェハ４０を
それぞれチャックした状態で、コンベアベルト５１の周
回移動に伴って移動し、エッチング槽１１の上方に達す
ると、降下して、チャック具５２にチャックされたウェ
ハ４０が、エッチング槽１１内の薬液内に浸漬される。
ウェハ４０がエッチング槽１１内の薬液に浸漬された状
態になると、コンベアベルト５１の周回移動が停止さ
れ、チャック具５２にチャックされたウェハ４０は、所
定時間にわたって薬液内に浸漬された状態が保持され
て、所定時間にわたって、ウェハ４０がエッチング処理
される。このようにしてウェハ４０がエッチング処理さ
れると、コンベアベルト５１の周回移動が再開され、エ
ッチング槽１１の薬液内に浸漬されたウェハ４０は、エ
ッチング槽１１から一旦退出されるように上昇されて、
洗浄槽２１の上方へと移動される。そして、ウェハ４０
をチャックしたチャック具５２が洗浄槽２１の上方に達
すると、コンベアベルト５１の下降に伴ってチャック具
５２が下降され、チャック具５２にてチャックされたウ
ェハ４０が洗浄槽２１の洗浄水内に浸漬される。そし
て、ウェハ４０が洗浄水内に浸漬された状態になると、
コンベアベルト５１の周回移動が停止され、ウェハ４０
は、所定時間にわたって洗浄水内に浸漬されて、水洗処
理される。

【００４１】このように、ウェハ４０が洗浄槽２１内に
て水洗処理されている間は、後続のチャック具５２は、
エッチング処理されたウェハ４０をチャックした状態で
洗浄槽２１とエッチング槽１１との間の上方に位置して
おり、さらに、その後続のチャック具５２は、チャック
したウェハ４０をエッチング槽１１内の薬液に浸漬した
状態になっている。

【００４２】洗浄槽２１による水洗処理が終了すると、
コンベアベルト５１が周回移動され、洗浄槽２１の洗浄
水に浸漬されたウェハ４０が上昇されて洗浄水から退出
される。そして、そのチャック具５２が搬出ベルトコン
ベア３５の始端部上に位置されると、コンベアベルト５
１の周回移動が停止されて、チャック具５２によるウェ
ハ４０のチャックが解除され、搬出ベルトコンベア３５
上にウェハ４０が載せられる。このような状態になる
と、搬出ベルトコンベア３５によって、水洗処理された
ウェハ４０がアンローダー３６に向かって搬送され、そ
の搬送の間に、乾燥ガス吹き付け口３７から吹き付けら
れる乾燥ガスによってウェハ４０が乾燥される。搬出ベ
ルトコンベア３５上のウェハ４０は、搬出ベルトコンベ
ア３５の終端部に達すると、搬出ベルトコンベア３５か
ら、アンローダー部３６上に配置されたウェハキャリア
４１に、順次、移載される。

【００４３】このようなエッチング処理装置でも、各ウ
ェハ４０が１枚ずつ、エッチング槽１１内の薬液に浸漬
されてエッチング処理されるとともに、洗浄槽２１の洗
浄水内に浸漬されて水洗処理されるために、各ウェハ４
０には、エッチングムラ、洗浄ムラ等が生じるおそれが
ない。

【００４４】

【発明の効果】本発明のウェハのエッチング処理装置
は、このように、ウェハが１枚ずつ、ウェハ搬送ベルト
上に載置された状態で、または、ウェハ搬送機構によっ
て保持された状態で、エッチング槽内の薬液内に浸漬さ
れるようになっているために、各ウェハを全体にわたっ
てムラなくエッチング処理することができる。また、洗
浄槽の洗浄液による水洗処理も、各ウェハが１枚ずつ実
施されることになるために、洗浄ムラが生じるおそれも
ない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェハのエッチング処理装置の実施の
形態の一例を示す概略構成図である。

【図２】本発明のウェハのエッチング処理装置の実施の
形態の他の例を示す概略構成図である。

【図３】従来のウェハのエッチング処理装置の一例を示
す概略構成図である。

【符号の説明】 １１ エッチング槽 １２ 薬液オーバーフロー槽 １３ 薬液循環路 ２１ 洗浄槽 ２２ 洗浄水オーバーフロー槽 ３１ ウェハ搬送ベルト ３３ 搬入ベルトコンベア ３４ ローダー部 ３５ 搬出ベルトコンベア ３６ アンローダー部 ４０ ウェハ ４１ ウェハキャリア

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハをエッチング処理するための薬液
   が収容されたエッチング槽と、 エッチング処理されるウェハが１枚ずつ載置されて、載
   置された各ウェハが、順次、前記エッチング槽内の薬液
   内に浸漬されるように周回移動するウェハ搬送ベルト
   と、 を具備することを特徴とするウェハのエッチング処理装
   置。
2. 【請求項２】 前記ウェハ搬送ベルトは、エッチング槽
   内の薬液に浸漬された各ウェハが、順次、洗浄槽内の洗
   浄水に浸漬される請求項１に記載のウェハのエッチング
   処理装置。
3. 【請求項３】 ウェハをエッチング処理するための薬液
   が収容されたエッチング槽と、 ウェハを１枚ずつ保持した状態で、このエッチング槽の
   上方を通過するように配置されており、保持された各ウ
   ェハが、エッチング槽の上方を通過する際に、エッチン
   グ槽内の薬液内に浸漬するように昇降されるウェハ搬送
   機構と、 を具備することを特徴とするウェハのエッチング処理装
   置。
4. 【請求項４】 前記ウェハ搬送機構は、エッチング処理
   されたウェハを洗浄処理する洗浄槽の上方を通過するよ
   うになっており、エッチング槽内の薬液に浸漬された各
   ウェハが、洗浄槽の上方を通過する際に、洗浄槽内の洗
   浄液に浸漬するよう昇降される請求項３に記載のウェハ
   のエッチング処理装置。