JPH11298061A - 圧電トランス及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】積層型の圧電トランスにおいて、圧電トランス
をその外部に設けられた筐体に確実に固定すると共に、
圧電トランスで発生した熱を有効に放熱することができ
る、圧電トランス及びその製造方法の提供。 【解決手段】複数の内部電極層と圧電セラミック層とが
交互に積層されてなり前記圧電セラミック層が厚み方向
に分極する圧電トランスにおいて、前記圧電トランスの
一部に積層体を貫通する１又は複数の孔を有し、前記孔
に支持部材を挿入して固定することで前記圧電トランス
を支持するとともに、前記支持部材の一部を覆う導電部
材と前記内部電極層とを前記孔の内部において電気的に
接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電トランス及び
その製造方法に関し、特に小型化、軽量化、高信頼性が
要求される小型整流電源に用いて好適な圧電トランス及
びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】各種の電池駆動式電子機器に商用電源か
ら電源を供給するいわゆるＡＣアダプターの降圧型トラ
ンスとして、従来より、巻線型の電磁トランスが用いら
れている。この電磁トランスは、磁性体のコアに導線を
巻回する構造となっており、かかる構造からして、小型
且つ軽量のトランスを実現することは、実際上困難であ
る。

【０００３】これに対し、電磁トランスとは全く動作原
理が異なる、圧電効果を用いた圧電トランスが提案され
ており（圧電トランスについては、例えば文献（シー．
エー．ローゼン（C.A.Rosen）、「セラミック・トラン
スフォーマー」（Ceramic Transfomer）、プロシーデ
ィング オブ エレクトロニック コンポーネント シ
ンポジウム １９５７（Proc.of Electronic Compone
nt Symposium（1957））等の記載が参照される）、ま
たその実装についても従来より各種方法が提案されてい
る（刊行物として例えば特開平８−２７４３８２号公
報、及び特開平８−２９８２１３号公報等の記載が参照
される）。

【０００４】従来の代表的な圧電トランスであるローゼ
ン型圧電トランスの実装例を図面を参照して説明する。
図５（ａ）は、支持部材を取り付けた従来のローゼン型
圧電トランスを模式的に表した斜視図であり、図５
（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ′の断面を示す図であ
り、筐体に支持された状態を表している。

【０００５】図５を参照して、この従来のローゼン型圧
電トランスにおいて、長板状圧電セラミック板５１０
は、その長手方向に、駆動部５１と発電部５２との二つ
に分割されている。このうち駆動部５１は、圧電セラミ
ック板５１０の厚み方向に分極しており、上下両面の平
面状電極５１１、５１２が、駆動部５１の全域に拡がっ
て設けられている。また発電部５２は、圧電セラミック
板５１０の長手方向に分極しており、長手方向の一側の
端面には端面電極５１５が設けられている。そして、圧
電セラミック板５１０の長手方向に直交する方向に沿っ
てその周囲を囲繞して支持部材５２０が配設されてい
る。

【０００６】このような構成からなる圧電トランスは、
昇圧用として用いられるものであり、以下にその動作原
理を説明する。

【０００７】駆動部５１の上下二つの平面状電極５１
１、５１２の間すなわち、入力端子５１７、５１８の間
に外部から交流電圧を与えると、駆動部５１はこの交流
入力電圧に応じて、圧電横効果により長手方向に振動す
る。

【０００８】これにより圧電セラミック板５１０に、長
手方向の振動が生じ、発電部５２には、その振動による
圧電縦効果により、駆動部５１の平面状電極５１１また
は５１２と、発電部５２の端面電極５１５との間（図５
の場合は、平面状電極５１２と端面電極５１５との間）
に、入力電圧と同じ周波数の昇圧された電圧が生じる。

【０００９】次に、上記したローゼン型の圧電トランス
の実装について説明する。図５（ｂ）を参照すると、圧
電横効果により長手方向に振動する圧電トランスを支持
するには、その振動を減衰させないように支持すること
が重要であり、通常、「λモード」と呼ばれる振動の、
節となる領域に支持部材５２０が設けられる。

【００１０】この従来例は、支持部材５２０としてゴム
状の弾性部材を用いているが、振動の節となる部分の周
囲をゴム状の弾性部材で覆い、その弾性部材の外周を周
囲に設置された筐体に固定することによって圧電トラン
スの実装を行っている。

【００１１】次に、ローゼン型圧電トランスの他の実装
構造について図面を参照して説明する。図６（ａ）は、
支持部材を取り付けたローゼン型圧電トランスを模式的
に表した斜視図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＢ
−Ｂ′線の断面を示す図であり、筐体に支持された状態
を表している。

【００１２】図６を参照すると、この圧電トランスは、
支持部材５２０を除き、その構成及び動作原理は、図５
を参照して説明した圧電トランスと同様であり、相違点
としては、支持部材５２０として、ゴムの替わりに、バ
ネを用いたものである。

【００１３】次に、圧電トランスのハイパワー化におい
て重要な要素となる放熱技術について説明する（例えば
実開平６−８２８７０号公報等参照）。図７は、圧電ト
ランスで発生した熱を放熱する放熱板を取り付けた圧電
トランスの構造を模式的に示す斜視図である。

【００１４】図７を参照すると、この従来の圧電トラン
スの基本構成、及び動作原理は、基本的に、上記した圧
電トランスと同様であるが、その相違点として、圧電ト
ランスで発生した熱を放熱するために、発熱が最も大き
くなる振動の節にアルミニウム薄膜からなる放熱用薄板
８０６をエポキシ樹脂系接着剤で接着している。

【００１５】以上、ローゼン型圧電トランスの実装構造
について説明をしたが、ローゼン型圧電トランスとは動
作原理が異なる圧電トランスも提案されている（例えば
特開平９−２７５２３１号公報等参照）。上記特開平９
−２７５２３１号公報等に提案される圧電トランスは、
圧電セラミックス層と内部電極層を交互に積層して構成
されるものであり、層の厚み方向に分極された圧電セラ
ミックス層を横方向に振動させるように駆動するもので
ある。

【００１６】上述した積層型圧電トランスは、高いエネ
ルギー変換効率を持ち、積層数を適宜選択することによ
ってインピーダンスの調整を行いやすい等の利点を有す
るものである。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の圧電ト
ランスの実装構造においては、積層型圧電トランスを用
いた場合、圧電体の振動を阻害することなく外部の筐体
と確実に接続することが、困難である、という問題点を
有している。

【００１８】すなわち、機械的に振動する圧電体と、外
部の筐体とは強固に接続されることが望ましいが、一
方、駆動部の振動を有効に発電部に伝達させるために
は、できるだけ自由に振動できる構造であることが好ま
しい。

【００１９】そこで、圧電体と外部の筐体との接点をな
す支持部材は、圧電体の振動時に現れる振動の節領域に
取り付けられ、機械振動の減衰を少なくするための工夫
が施され、その構造も、上記したように、ゴム状の弾性
体や金属よりなるバネを用いて実装する方法が従来より
提案されている。

【００２０】しかしながら、このような方法は、ローゼ
ン型圧電トランスにおいては確かに有効な方法であるも
のの、動作原理が全く相違した積層型圧電トランスにそ
のまま適用することは出来ない。

【００２１】その理由は、積層型圧電トランスにおいて
は振動の節が点であることから、ゴムや金属バネよりな
る弾性体よりなる支持部材を用いて、圧電トランスを筐
体に振動、衝撃に強い安定した状態で固定することはで
きず、また上下の支持点の位置ずれにより圧電トランス
が傾いてしまうからである。

【００２２】また、上述した圧電トランスの実装構造で
は、圧電トランスのハイパワー化に対して、圧電振動に
より発生した熱を有効に外部に放熱することができな
い、という問題点も有している。

【００２３】その理由は、積層型圧電トランスでは、振
動の節が一点であるため、ローゼン型圧電トランスのよ
うに放熱用薄板を設けるという方法を採用することがで
きず、また、圧電トランスは高い周波数で大きな振動を
することから、放熱用薄板のような機械的に弱い構造物
では、振動により放熱用薄板が切断したり、圧電トラン
スの振動が放熱用薄板に伝わり、ノイズが発生する、た
めである。

【００２４】したがって本発明は、上記問題点に鑑みて
なされたものであって、その目的は、積層型圧電トラン
スにおいて、圧電トランスと筐体との固定を確実とする
とともに、圧電トランスで発生した熱を有効に放熱可能
とする、全く新規な圧電トランス及びその製造方法を提
供することにある。

【００２５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の圧電トランスは、その概要を述べれば、圧
電トランスの振動の節となる領域に少なくとも１つの貫
通孔を設け、前記貫通孔に前記圧電トランスを支持する
棒状の支持部材を挿入してなるものである。また、本発
明は、下記記載の構成としてもよい。

【００２６】本発明に係る積層型圧電トランスは、複数
の内部電極層と圧電セラミック層とが交互に積層されて
なり前記圧電セラミック層が厚み方向に分極する圧電ト
ランスにおいて、前記圧電トランスの前記内部電極層及
び前記圧電セラミック層の層面の略中心部に、前記面に
直交する方向に、積層体を貫通する１又は複数の孔を有
し、前記孔に支持部材を挿入して固定することで前記圧
電トランスを支持する。

【００２７】また本発明に係る圧電トランスの製造方法
は、複数の内部電極層と圧電セラミック層とが交互に積
層されてなり前記圧電セラミック層が厚み方向に分極す
る圧電トランスにおいて、（ａ）前記圧電トランスの前
記圧電セラミック層の層面の略中心部において、積層体
を貫通する孔を配設する工程と、（ｂ）前記孔に、その
長手方向に沿って一部が導電部材で覆われた支持部材を
挿入する工程と、（ｃ）前記支持部材の前記導電部材
と、前記内部電極層と、を前記孔の内部において導電性
樹脂で接続する工程と、を含む。

【００２８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
に説明する。本発明に係る圧電トランスは、その好まし
い一実施の形態において、内部電極層と、厚み方向に分
極した圧電セラミック層とを交互に積層した圧電トラン
スにおいて、圧電トランスの振動の節となる積層体の面
方向の略中心部に貫通孔（図３（ａ）の３００）を設
け、貫通孔に、その一部に導電体（図３（ｂ）の４０
５、４０６、または図３（ｃ）の４０７、４０８）を形
成した支持部材（図３の３０１）を挿入し、導電体と内
部電極層とを導電性接着材（図３（ｂ）の４０９、４１
０、または図３（ｃ）の４１１、４１２）により電気的
に接続するとともに、支持部材により圧電トランスを機
械的に支持する。

【００２９】

【実施例】上記した本発明の実施の形態についてさらに
詳細に説明すべく、本発明の実施例について図面を参照
して以下に説明する。

【００３０】［実施例１］まず、本発明の第１の実施例
について図面を参照して説明する。図１及び図２は、本
発明の第１の実施例をなす圧電トランスの構成を説明す
るための縦断面図であり、図１は、圧電トランスをその
積層方向から見た平面形状が矩形形状である積層体に適
用した例であり、図２は、圧電トランスをその積層方向
から見た平面形状が円形形状である積層体に、本発明を
適用した例である。また、図１及び図２において、
（ａ）は圧電トランスを模式的に表した斜視図、（ｂ）
は（ａ）を上面から見た上面図であり、（ｃ）は、
（ｂ）のＡ−Ａ′線の断面図である。

【００３１】図１及び図２を参照すると、圧電トランス
１０は、内部電極１１１と圧電体１１２を交互に積層し
た積層体で形成されており、これに、入力電極１０１、
１０２および出力電極１０３、１０４が配設されて構成
されている。また、積層体は、駆動部１０９と発電部１
１０とに分割されており、それぞれの圧電体１１２は厚
み方向に分極されている。

【００３２】本実施例の圧電トランスは、入力端子１０
５、１０６を介して、入力電極１０１、１０２の間に交
流電圧を入力して駆動させ、出力電極１０３、１０４の
間に発生した電圧を出力端子１０７、１０８を介して出
力するものである。

【００３３】次に、本実施例の製造方法について説明す
る。

【００３４】本実施例の圧電トランスは、圧電セラミッ
ク材料としてネペック８（トーキン製）を用い、グリー
ンシート積層法により作製した。

【００３５】また、内部電極１１１は焼成タイプのＡｇ
／Ｐｄペースト（Ａｇ／Ｐｄ比が７０／３０）を用い、
圧電体１１２のグリーンシート上に、所定のパターンで
スクリーン印刷した後、積層し、圧電体１１２とともに
温度１２００℃、キープ時間２時間の条件で一体焼成す
ることにより形成した。

【００３６】ここでは、圧電体１１２と内部電極１１１
の材料としてＰＺＴ系圧電セラミックスおよびＡｇ／Ｐ
ｄを用いたが、材料としては、これに限定されるもので
はなく、圧電性を有する圧電材料、およびこれと一体焼
成可能な電極材料であればよい。

【００３７】積層の構成として、本実施例では、駆動部
については、圧電体７層、内部電極層６層で、内部電極
間の厚みは２８５μｍとし、発電部については、圧電体
３５層、内部電極層３４層で、内部電極間の厚みは５７
μｍとした。なお、構成及び厚みは、圧電トランスとし
て要求される性能を満足するものであればよい。

【００３８】次に、この積層体を焼成後、例えば、大き
さ２４ｍｍ□、厚み４ｍｍの寸法に加工し、焼成タイプ
のＡｇ／Ｐｄペーストを入力電極、出力電極となる位置
に印刷後、温度７００℃、キープ時間１５分の条件で焼
成することにより、入力電極１０１、１０２および出力
電極１０３、１０４を形成した。

【００３９】そして、分極治具を用いて、例えば、温度
１００〜２００℃のシリコーンオイル中において、電界
を２〜３ｋＶ／ｍｍ印加して、駆動部１０９および発電
部１１０の圧電体１１２をそれぞれ分極した。

【００４０】次に、この圧電トランス１０の振動の節と
なる面方向の略中心部に、直径３ｍｍ程度の孔３００を
超音波加工法により形成した。そして、直径１．５ｍｍ
程度の、例えば、樹脂・金属・セラミック等の機械的強
度・加工性・熱伝導性の優れた材料からなる支持部材３
０１の回りにシリコン系の接着剤３０２（例えば、硬化
後の硬度が、ＪＩＳ硬度３０〜５０のもの）を塗布した
後、孔３００に挿入し、温度１７０℃、時間１５分で硬
化した。

【００４１】このようにして得られた圧電トランスに、
入力端子１０５、１０６および出力端子１０７、１０８
を半田付けした後、１０Ωを負荷として、駆動周波数７
０ｋＨｚで電圧を印加し、径方向（図２の構成参照）の
共振の１次モードで駆動してその特性を評価したとこ
ろ、出力電力２０Ｗで、エネルギー変換効率９８％、変
成比が０．２５が得られた。

【００４２】また、支持部材３０１を形成せずにリード
端子を付けただけの実装形態では、出力電力を３０Ｗで
発熱に伴いエネルギー変換効率が低下し（９０〜９２
％）、さらに４０Ｗでは、発熱に伴いリード端子の半田
付けが外れるものが発生したのに対して、本実施例で
は、出力電力を３０〜４０Ｗに上げていっても、圧電ト
ランスの発熱に伴うエネルギー変換効率の低下はほとん
ど認められなかった。

【００４３】本実施例では、孔の直径を３ｍｍ程度、支
持部材の直径を１．５ｍｍ程度としたが、本発明はこれ
らの寸法に限定されるものではなく、圧電トランスを十
分に保持できる寸法であればよい。

【００４４】［実施例２］次に、本発明の第２の実施例
について説明する。図３及び図４は、本発明の第２の実
施例をなす圧電トランスの構成を説明するための図であ
り、図３（ａ）は、第２の実施例に係る圧電トランスを
上面から見た図であり、図３（ｂ）、（ｃ）は、それぞ
れ図３（ａ）のＡ−Ａ′線、Ｂ−Ｂ′線に沿った断面を
示す図である。また、図４は、圧電トランスの別の実装
構造を示す断面図である。

【００４５】本発明の第２の実施例は、前記した第１の
実施例で説明した圧電トランスの支持部材に、さらに、
入出力端子の機能を付加したものである。

【００４６】図３を参照すると、まず、前記した第１の
実施例と同様に、圧電体と内部電極を積層した積層体を
作製した後、この積層体の振動の節となる面方向の略中
心部に、大きさ３ｍｍ□程度の孔３００を超音波加工法
により形成した。

【００４７】本実施例では、孔に挿入する支持部材の一
部に、例えば金属の薄膜等の導電体を形成する。本実施
例のような構造の場合は、駆動部１０９および発電部１
１０の位置に対向して、大きさ１ｍｍ□程度の支持部材
３０１のそれぞれ向かい合う面に、図３（ａ）のＡ−
Ａ′線方向には入力部導電体４０５、４０６を形成し、
Ｂ−Ｂ′線方向には出力部導電体４０７、４０８をそれ
ぞれ形成する。

【００４８】そして、入力部導電体４０５、４０６を形
成した面には、それぞれ、導電性接着剤４０９、４１０
を、また入力部導電体４０７、４０８を形成した面に
は、それぞれ、導電性接着剤４１１、４１２を塗布す
る。ここで、導電性接着剤としては、シリコン系で、硬
化後のＪＩＳ硬度が３０〜５０のものが適している。そ
して、この支持部材３０１を孔３００に挿入し、導電性
接着剤を温度１７０℃、時間１５分で硬化した。

【００４９】駆動部１０９と発電部１１０の各々を構成
する内部電極１１１は、積層体を貫く貫通孔３００の内
部において、それぞれが対応するように、導電性接着剤
４０９、４１０、４１１、４１２を介して、導電体４０
５、４０６、４０７、４０８と電気的に接続される。

【００５０】更に、支持部材３０１の端部に引き出され
た導電体４０５、４０６を入力端子１０５、１０６と、
導電体４０７、４０８を出力端子１０７、１０８とそれ
ぞれ接続することによって、支持部材３０１を電極とし
て機能させることができる。

【００５１】また、本実施例では、支持部材３０１の周
囲は、好ましくは、良好な熱伝導特性の金属よりなる導
電体で覆われているため、前記した第１の実施例に比べ
て、支持部材３０１自体の熱伝導性が向上していると共
に、孔の内部に埋め込む接着剤も電気伝導性を高めるた
めに金属が添加されているので熱伝導性が向上してお
り、前記第１の実施例よりも、更に、熱を効率よく伝達
することができる。

【００５２】このようにして得られた圧電トランスを前
記した第１の実施例と同様に分極した後、１０Ωを負荷
にして電圧を印加し、トランス特性を評価したところ、
出力電力２０Ｗで、エネルギー変換効率９８％、変成比
が０．２５であり、更に、出力電力を３０〜４０Ｗに上
げていっても、圧電トランスの発熱に伴うエネルギー変
換効率の低下はほとんどなく、良好な結果が得られた。

【００５３】図３に示した構成では、支持部材３０１の
それぞれ向かい合う面（図３（ａ）のＡ−Ａ′線方向は
入力部用、Ｂ−Ｂ′線方向は出力部用）に導電体を形成
したが、図４に示すように、支持部材３０１の一端から
中心近傍までと、支持部材３０１の他の縁から中心近傍
までを、それぞれ導電部材で覆い、そして、両者を絶縁
するために支持部材３０１の中心（駆動部１０９と発電
部１１０の境）に壁となる突起を設けるような構造とし
てもよい。

【００５４】また、本発明の第２の実施例の構造を用い
た場合、圧電トランスを支持するための支持部材３０１
の広い面で、電気的導通をとることができるため、特に
大電流が流れるような場合においては有利である。

【００５５】なお、上記した第１及び第２の実施例で
は、積層体の形状が、積層方向から見て矩形又は円形の
場合について説明したが、本発明はこれらの形状に限定
されるものではなく、例えば、積層方向から見た形状が
長方形や楕円等であってもよいことは勿論である。

【００５６】更に、上記した各実施例では、積層体に設
ける孔を、圧電トランスの振動の節となる、面方向の略
中心部に１つ設けたが、本発明は、かかる構成に限定さ
れるものではなく、例えば、振動の節となる領域が複数
ある場合は、孔も複数設けるようにしてもよい。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば下
記記載の効果を奏する。

【００５８】本発明の第１の効果は、積層体の面内の振
動の節となる部分に設けた支持部材により、確実且つ容
易に圧電トランスを固定することができる、ということ
である。

【００５９】その理由は、本発明においては、積層型圧
電トランスの振動の節となる部分に形成した孔に、支持
部材を挿入するという全く新規な構成を採用したことに
より、圧電効果による振動を阻害することなく、振動・
衝撃に非常に強い実装構造で、かつ、位置合わせの手間
をかけずに、圧電トランスを固定することができる、た
めである。

【００６０】本発明の第２の効果は、圧電トランスで発
生した熱を効率よく放熱することができる、ということ
である。

【００６１】その理由は、本発明においては、積層体と
支持部材とは、熱伝導性の良い接着剤を介して接続され
ているため、放熱のための機構を別に設けることなく、
圧電トランス内部で発生した熱を支持部材を介して、効
率よく外部に伝達可能とすると共に、さらに、支持部材
の表面に導電体を形成することで、更に支持部材の熱伝
導性を向上させるようにした、ためである。

【００６２】本発明の第３の効果は、容易且つ確実に電
極を外部に引き出すことができ、組立が容易、且つ安価
でハイパワー化に対応できる圧電トランスを製造するこ
とができると言うことである。

【００６３】その理由は、本発明においては、積層体の
振動の節を貫く孔に挿入する支持部材の表面に導電体を
形成し、導電性接着剤を介して、内部電極と導電体を接
続することにより、圧電トランスの支持とは別に電極を
形成することなく、外部との接続を行うことができると
ともに、広い接触面積を確保できるため、接続部のイン
ピーダンスを低く抑えることができる、ためである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例をなす圧電トランスの構
成を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図、
（ｃ）は断面図である。

【図２】本発明の第１の実施例をなす圧電トランスの構
成を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図、
（ｃ）は断面図である。

【図３】本発明の第２の実施例をなす圧電トランスの構
成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）、（ｃ）は
断面図である。

【図４】本発明の第２の実施例をなす圧電トランスの構
成を示す図である。

【図５】従来の圧電トランスを示す図であり、（ａ）は
斜視図、（ｂ）は断面図である。

【図６】従来の圧電トランスを示す図であり、（ａ）は
斜視図、（ｂ）は断面図である。

【図７】従来の圧電トランスを示す斜視図である。

【符号の説明】

１０、８１ 圧電トランス １０１、１０２ 入力電極 １０３、１０４ 出力電極 １０５、１０６、５１７、５１８ 入力端子 １０７、１０８、５１９ 出力端子 １０９、５１ 駆動部 １１０、５２ 発電部 １１１ 内部電極 １１２ 圧電体 ３００ 孔 ３０１、５２０ 支持部材 ３０２ 接着剤 ４０５、４０６ 入力部導電体 ４０７、４０８ 出力部導電体 ４０９、４１０、４１１、４１２ 導電性接着剤 ５１０ 圧電セラミック板 ５１１、５１２ 平面状電極 ５１５ 端面電極 ８０６ 放熱用薄板 ５２１ 筐体

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】積層型圧電トランスの振動の節となる領域
   に少なくとも１つの貫通孔を設け、 前記貫通孔に前記圧電トランスを支持する棒状の支持部
   材を挿入してなる、ことを特徴とする圧電トランス。
2. 【請求項２】複数の内部電極層と圧電セラミック層とが
   交互に積層されてなり前記圧電セラミック層が厚み方向
   に分極する圧電トランスにおいて、 前記圧電トランスの一部に積層体を貫通する１又は複数
   の孔を有し、 前記孔に支持部材を挿入して固定することで前記圧電ト
   ランスを支持する構成としてなる、ことを特徴とする圧
   電トランス。
3. 【請求項３】前記孔が、前記内部電極層及び前記圧電セ
   ラミック層の層面の略中心部において、前記面に直交す
   る方向に配設されている、ことを特徴とする請求項２に
   記載の圧電トランス。
4. 【請求項４】前記支持部材が棒状とされ、その長手方向
   に沿って一部が導電部材で覆われており、前記導電部材
   と前記内部電極層とが前記孔の内部で電気的に接続され
   る、ことを特徴とする請求項２又は３記載の圧電トラン
   ス。
5. 【請求項５】前記圧電トランスがその積層方向に駆動部
   と発電部とに分割されており、 前記支持部材が、電気的に互いに非導通の少なくとも２
   つの導電領域を含み、 前記２つの導電領域のうちの、一の領域が、前記孔内で
   前記駆動部の前記内部電極と電気的に接続され、他の領
   域が、前記孔内で前記発電部の前記内部電極に電気的に
   接続されている、ことを特徴とする請求項２又は３記載
   の圧電トランス。
6. 【請求項６】複数の内部電極層と圧電セラミック層とが
   交互に積層されてなり前記圧電セラミック層が厚み方向
   に分極する圧電トランスにおいて、 （ａ）前記圧電トランスの前記圧電セラミック層の層面
   の略中心部において、積層体を貫通する孔を配設する工
   程と、 （ｂ）前記孔に、その長手方向に沿って一部が導電部材
   で覆われた支持部材を挿入する工程と、 （ｃ）前記支持部材の前記導電部材と、前記内部電極層
   と、を前記孔の内部において導電性樹脂で接続する工程
   と、を含むことを特徴とする圧電トランスの製造方法。
7. 【請求項７】前記圧電トランスがその積層方向に駆動部
   と発電部とに分割されており、 前記支持部材が、電気的に互いに非導通の少なくとも２
   つの導電領域を含み、 前記２つの導電領域のうちの、一の領域を、前記孔内で
   前記駆動部の前記内部電極と電気的に接続し、他の領域
   を、前記孔内で前記発電部の前記内部電極に電気的に接
   続する、ことを特徴とする請求項６に記載の圧電トラン
   スの製造方法。