JPH11296919A - 光ディスク用金型 - Google Patents
光ディスク用金型Info
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- JPH11296919A JPH11296919A JP10096499A JP9649998A JPH11296919A JP H11296919 A JPH11296919 A JP H11296919A JP 10096499 A JP10096499 A JP 10096499A JP 9649998 A JP9649998 A JP 9649998A JP H11296919 A JPH11296919 A JP H11296919A
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- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/26—Moulds
- B29C45/263—Moulds with mould wall parts provided with fine grooves or impressions, e.g. for record discs
- B29C45/2632—Stampers; Mountings thereof
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract
て従来技術では、スタンパと基板の密着の不均一あるい
は、剥離の不均一を原因とする剥離不良やクラウドを発
生していた。これらは基板の生産性や品質を著しく低下
させる。基板品質の低下は光ディスクの性能までを劣化
させる。 【解決手段】外周ホルダー(113)と内周ホルダー(112)が
スタンパ記録面に対し垂直方向に移動する構造と、外周
ホルダーに外周スタンパ押え(118)を有した金型によ
り、スタンパを基板に密着させたまま型開きを開始し、
スタンパを弾性変形内で変形させながら、基板の内外周
からスタンパを剥離することが可能になり、剥離不良や
クラウドの発生を無くした。
Description
の製造に用いる射出成形金型に関する。
(以下基板)製造用射出成形金型(以下金型)の構造を
図5に示す。図5は従来の金型断面構造を示す概観図で
ある。
型A(501)と金型B(502)から一組の金型を構成する。金
型A(501)を可動側金型、金型B(502)を固定側金型とし
て説明する。
11)は内周ホルダ−(512)、外周ホルダ−(513)及びスタ
ンパの裏面の鏡面板(516)のスタンパ吸着溝(517a,517b)
により保持されている。真空吸着機構は鏡面板(516)の
内外周、すなわちスタンパ記録エリアから外れた部分に
設けられている。内周ホルダ−(512)の内側には基板を
金型A(501)から取り出す為の基板突出しシリンダ−(51
4)と、基板内径を加工するための内径カッター(515)が
ある。金型B(502)には基板の記録面の反対面を作る鏡
面板(531)があり、その中心部には溶融樹脂を供給する
ための溶融樹脂供給部(532)がある。
図6により説明する。
念図である。
ティを形成する。キャビティに基板となる溶融樹脂が充
填されスタンパの情報が基板に転写される。その後金型
内で冷却された基板は金型A(601)と金型B(602)が開き
(以下この動作を型開き)取り出し可能となる。型開き
の際、基板(651)はスプルー(溶融樹脂供給部分)と共
に金型A(601)のスタンパ(611)に密着している。図6
(a) 基板(651)は基板突出しシリンダー(614)の前進と離型エ
アー(図6矢印)の噴出によりスタンパ(611)から剥離さ
れ、ロボット等の基板取り出し装置(661)により金型A
(601)から金型外に取り出される。図6(b) 一連の成形工程ではスタンパ(611)は鏡面板(616)に前記
説明の方法で常に固定されている。
着した基板の剥離において、基板突出しシリンダーと離
型エアーだけでは基板内周部しか剥離できず剥離不良が
発生する。剥離不良は成形サイクルの中断となり基板の
生産性を著しく低下させる。また基板突出しシリンダー
による基板の剥離方法は、基板の反りを発生させる原因
になっている。
一及び、スタンパから基板を剥離する際の剥離不均一
が、基板にクラウドあるいは剥離ムラと呼ばれる不定形
な模様(以下クラウド)を発生させると考えられる。
を著しく低下させるため不良品として扱われる。
により、クラウドの形、発生する時期などが変化する。
更が行われるが、適切な成形条件を見つけ出すために時
間、基板製造用樹脂などが消費される。クラウドの発生
は基板の生産性を著しく低下させる。
ク樹脂基板製造用の射出成形金型は、基板の記録面に対
し垂直方向に前記基板が移動する際、スタンパを前記基
板に追従させる構造を有し且つ、光ディスク樹脂基板と
スタンパを剥離する際前記基板端からスタンパを弾性変
形の範囲内で変形させながら剥離する構造を有すること
を特徴とする。
離不良が無くなる。基板の品質面では基板のクラウドや
反りが減少するいう効果を有する。
クラウドがないことを特徴とする。
ウドがないという効果を有する。
ウドがないことを特徴とする。
を劣化させないという効果を有する。
基づいて説明する (実施例1)本発明の一実施例を図1、図2、図3、図
4を用いて説明する。本実施例では可動側金型を金型
A、固定側金型を金型Bとしている。
である。従来と同様に金型A(101)と金型B(102)から一
組の金型を構成する。
−(112)、外周ホルダー(113)、基板突出しシリンダー(1
14)、内径カッター(115)、鏡面板(116)から成る。
け金型A(101)に取り付けられる。スタンパは内径を内
周ホルダー(112)に支持され、裏面を鏡面板(116)に設け
られたリング状のスタンパ吸着溝(117a、117b)に真空吸
着される。
れた内周(117a)と外周(117b)に設けられている。スタン
パ吸着溝は真空引きによりスタンパを鏡面板(116)に固
定する。
スタンパ裏面の真空破壊を行いスタンパを鏡面板(116)
から離す役割も果たす。スタンパ吸着溝の真空引き、窒
素ガス噴出は基板成形工程により切り替えられる。
し垂直で金型B(102)の方向に前進可能な構造を有す
る。外周ホルダーはリング状の外周スタンパ押え(118)
を有する。図1(b) 外周スタンパ押え(118)はスタンパ記録面に対し垂直で
スタンパ(111)の方向に前進可能な構造を有する。外周
スタンパ押えのスタンパ表面と対向する部分は、窒素ガ
スを噴出する気体吹出し口(119)を有する。図1(b)外周
スタンパ押えは外周ホルダー(116)が金型B(102)方向に
最大量移動した状態で、鏡面板(116)上のスタンパ(111)
を押えることが可能な移動量を有する。
形成される。
8)はそれぞれ外周ホルダー駆動部(120)、外周スタンパ
押え駆動部(121)により駆動される。本実施例では油圧
シリンダを用いたが同様の機能であれば駆動源の種類は
任意である。
し垂直で金型B(102)の方向に前進可能な構造を有す
る。内周ホルダーはスタンパの内径を常に支持してい
る。内周ホルダーは外周ホルダーと同様の移動量を有す
る。内周ホルダーは内周ホルダー駆動部(122)により駆
動される。本実施例では油圧シリンダを用いたが同様の
機能であれば駆動源の種類は任意である。
録面に対し垂直で金型B(102)の方向に前進可能な構造
を有する。基板突出しシリンダーは基板成形後に前進す
ることにより、前記基板を金型A(101)から突出し金型
外に排出する役割をする。基板突出しシリンダーは基板
記録エリアより内周に位置し、樹脂充填時には後退し基
板表面の一部を形成する。
し垂直で金型B(102)の方向に前進可能な構造を有す
る。内径カッターは前進時に金型B(102)の溶融樹脂供
給部(132)と勘合して基板の内径を形成する。内径カッ
ターと樹脂供給部は一般的な打ち抜き金型の関係であ
る。
ー(115)の駆動は従来技術と同様である。
成する鏡面板(131)、溶融樹脂をキャビティ内に供給す
る溶融樹脂供給部(132)、押えリング(133)から成る。押
えリングは金型Aの外周ホルダー(113)を固定するロッ
クピン(134)を有する。ロックピンは金型中心方向に前
進可能な構造を有する。ロックピンはロックピン駆動部
(135)により駆動される。本実施例では空気圧シリンダ
ーを用いたが、同様の機能であれば駆動源は任意であ
る。
動作を図2、図3、図4により説明する。図2、図3、
図4は本実施例における金型動作を示す概念図である。
の状態にある。
着溝(217)により鏡面板(216)に真空吸着され、内周ホル
ダー(212)により内径を支持され金型Aに取り付けられ
る。この時内周ホルダーは後退した位置にある。
(218)は後退した位置にある。
ー(214)、金型Bにあるロックピン(234)も後退した位置
にある。
成形用のキャビティが構成される。キャビティが構成さ
れた時、金型Bのロックピン(234)が前進し金型Aの外
周ホルダー(213)を固定する。図2(a) 溶融樹脂供給部(232)から溶融樹脂がキャビティ中心か
ら外周に向けて充填される。溶融樹脂は外周ホルダー(2
13)に達するまで充填される。充填完了後、圧縮、補
圧、冷却など成形動作が終了し型開き工程になる。図2
(b) 金型Aが外周ホルダー(313)の可動範囲内で後退す
る。図3(a) 金型Aが後退する際に外周ホルダー(313)、内周ホルダ
ー(312)、基板突出しシリンダー(314)は金型Aが後退す
る速度と同等もしくはそれより僅かに早い速度で前進す
る。また、スタンパ吸着溝(317a,b)から窒素ガスが噴出
しスタンパ(311)裏面の真空破壊をするとともに鏡面板
(316)からの離脱を促進する。図3(a)矢印 基板(351)は外周を外周ホルダー(313)に、記録面をス
タンパ(311)と基板突出しシリンダー(314)と内周ホルダ
ー(312)に、記録面の反対面は鏡面板(331)と樹脂供給部
(332)に、内周部は内径カッター(315)とそれぞれ接して
いる。
ーなどの前進の動作により基板と基板に接する金型部品
の相対的な位置関係は変化しない。
進速度が金型Aが後退する速度に比べて遅い時に基板(3
51)と外周ホルダーの相対的な位置関係を確保するため
に外周ホルダーを固定する。
着の均一性は保たれる。図3(a) 次に外周スタンパ押え(318)が前進、内周ホルダー(312)
が後退する。図3(b) 前記動作の際、内周ホルダー(312)と基板突出しシリン
ダーの隙間と外周ホルダーの気体吹出し口から窒素ガス
を噴出する。スタンパ(311)は弾性変形の範囲内で変形
しながら基板(351)内周と外周から剥離される。
われ、スタンパの変形からの復元力もあり剥離が進行す
る。
内周ホルダー(412)が最後退する。続いてロックピン(43
4)が後退し金型A(401)が後退する。図4(a) 金型Aが後退する際、金型Bの鏡面板(431)との剥離を
促進する為に離型エアーが噴出する。図4(a)矢印 金型Aが最後退し基板取りだし装置(461)が基板(451)を
保持すると、基板突出しシリンダー(414)を残し外周ホ
ルダー(413)と内径カッター(415)が後退する。外周ホル
ダーの外周スタンパ押え(418)は外周ホルダーが後退す
る前に後退し、外周ホルダーの後退を妨げない。図4
(b) 基板が基板取り出し装置(461)に確実に保持されると基
板突出しシリンダー(414)が後退し金型は初期状態に復
帰する。
り、このサイクルが連続的に行われる。
と内周ホルダーの移動量は、本発明では2mm以下に設定
したが、スタンパの弾性変形の範囲とスタンパに記録さ
れているピット、グルーブの剥離による転写不良が発生
しない限り任意である。また気体吹き出し口(119)など
から噴出する気体は本実施例では窒素ガスを使用したが
使用する気体は任意である。
8、図9を用いて説明する。本実施例では可動側金型を
金型A、固定側金型を金型Bとしている。
である。従来と同様に金型A(701)と金型B(702)から一
組の金型を構成する。
−(712)、外周ホルダー(713)、基板突出しシリンダー(7
14)、内径カッター(715)、鏡面板(716)から成る。
け金型Aに取り付けられる。スタンパは内径を内周ホル
ダー(712)に支持され、裏面を鏡面板(716)に設けられた
リング状の溝スタンパ吸着溝(717a、717b)に真空吸着さ
れる。
れた内周(717a)と外周(717b)に設けられている。スタン
パ吸着溝は真空引きによりスタンパを鏡面板(716)に固
定する。
スタンパ裏面の真空破壊を行いスタンパを鏡面板(716)
から離す役割も果たす。スタンパ吸着溝の真空引き、窒
素ガス噴出は基板成形工程により切り替えられる。
し垂直で金型Bの方向に前進可能な構造を有する。この
外周ホルダー(713)により基板の外形が形成される。
し垂直で金型Bの方向に前進可能な構造を有する。内周
ホルダーはスタンパの内径を常に支持している。内周ホ
ルダーは外周ホルダーと同様の移動量を有する。
それぞれ、外周ホルダー駆動部(720)、内周ホルダー駆
動部(722)により駆動される。本実施例では油圧シリン
ダを用いたが同様の機能であれば駆動源の種類は任意で
ある。
録面に対し垂直で金型Bの方向に前進可能な構造を有す
る。基板突出しシリンダーは基板成形後に前進すること
により、基板を金型Aから突出し金型外に排出する役割
をする。基板突出しシリンダーは基板記録エリアより内
周に位置し、樹脂充填時には後退し基板表面の一部を形
成する。
対し垂直で金型Bの方向に前進可能な構造を有する。内
径カッターは前進時に金型Bの溶融樹脂供給部(732)と
勘合して基板の内径を形成する。内径カッターと樹脂供
給部は一般的な打ち抜き金型の関係である。
ー(715)の駆動は、従来技術と同様である。
形する鏡面板(731)、溶融樹脂をキャビティ内に供給す
る溶融樹脂供給部(732)、押えリング(733)から成る。押
えリングは金型Aの外周ホルダーを固定するロックピン
(734)を有する。ロックピンは金型中心方向に前進可能
な構造を有する。ロックピンはロックピン駆動部(735)
により駆動される。本実施例では空気圧シリンダーを用
いたが、同様の機能であれば駆動源は任意である。
動作を図8、図9により説明する。
示す概念図である。
の状態にある。
着溝(817a,b)より鏡面板(816)に真空吸着され、内径ホ
ルダー(812)により内径を支持され金型Aに取り付けら
れる。この時、内周ホルダーは後退した位置にある。
ー(814)、金型Bにあるロックピン(834)も後退した位置
にある。
成形用のキャビティが構成される。キャビティが構成さ
れた時、金型Bのロックピンが前進し金型Aの外周ホル
ダーを固定する。
ビティ中心から外周に向けて充填される。溶融樹脂は外
周ホルダー(813)に達するまで充填される。充填完了
後、圧縮、補圧、冷却など成形動作が終了し型開き工程
になる。図8(a) 金型Aが外周ホルダーの可動範囲内で後退する。図8
(b) 金型Aが後退する際に外周ホルダー(813)、内周ホルダ
ー(812)、基板突出しシリンダー(814)は金型Aが後退す
る速度と同等もしくはそれより僅かに早い速度で前進す
る。また、スタンパ吸着溝(817a,b)から窒素ガスが噴出
しスタンパ(811)裏面の真空破壊をするとともに鏡面板
(816)からの離脱を促進する。図8(b)矢印 基板(851)は外周を外周ホルダー(813)に、記録面をス
タンパ(811)と基板突出しシリンダー(814)と内周ホルダ
ー(812)に、記録面の反対面は鏡面板(831)と樹脂供給部
(832)に、内周部は内径カッター(815)とそれぞれ接して
いる。
ーなどの前進の動作により基板と基板に接する金型部品
の相対的な位置関係は変化しない。
進速度が金型Aが後退する速度に比べて遅い時に基板(8
51)と外周ホルダーの相対的な位置関係を確保するため
に外周ホルダーを固定する。
着の均一性は保たれる。図8(b) 次に基板が十分冷却した後、ロックピン(934)が後退
し、続いて外周ホルダーと内周ホルダーが後退する。前
記動作の際内周ホルダー(913)と製品突出しシリンダー
(914)の隙間と外周ホルダーの気体吹出し口から窒素ガ
スを噴出する。スタンパ(911)は弾性変形の範囲内で変
形しながら基板(951)内周と外周から剥離される。
われ、スタンパの変形からの復元力もあり剥離が進行す
る。図9(a) 外周ホルダーと内周ホルダーが最後退すると、スタンパ
吸着溝が真空吸着によりスタンパを再吸着し固定する。
る。金型Aが後退する際、金型Bの鏡面板(931)との剥
離を促進する為に離型エアーが噴出する。図9(b)矢
印。
を保持すると、基板突出しシリンダー(914)を残し内径
カッター(915)が後退する。
ると基板突出しシリンダーが後退し金型は初期状態に復
帰する。
り、このサイクルが連続的に行われる。
と内周ホルダーの移動量は、本発明では2mm以下に設定
したが、スタンパの弾性変形の範囲とスタンパに記録さ
れているピット、グルーブの剥離による転写不良が発生
しない限り任意である。またスタンパ吸着溝(717)から
噴出される気体は、本実施例では窒素ガスを使用したが
使用する気体は任意である。
11、図12を用いて説明する。本発明はスタンパが固定側
金型に取り付き、実施例1と同様の動作をする金型の一
実施例である。本実施例では可動側金型を金型B、固定
側金型を金型Aとしている。
である。従来と同様に金型A(1001)と金型B(1002)から
一組の金型を構成する。
ダ−(1012)、外周ホルダー(1013)、溶融樹脂をキャビテ
ィ内に供給する溶融樹脂供給部(1032)、鏡面板(1016)か
ら成る。
向け金型A(1001)取り付けられる。スタンパは内径を内
周ホルダー(1012)に支持され、裏面を鏡面板(1016)に設
けられたリング状の溝スタンパ吸着溝(1017a、1017b)に
真空吸着される。
れた内周(1017a)と外周(1017b)に設けられている。スタ
ンパ吸着溝は真空引きによりスタンパを鏡面板(1016)に
固定する。
スタンパ裏面の真空破壊を行いスタンパを鏡面板(1016)
から離す役割も果たす。スタンパ吸着溝の真空引き、窒
素ガス噴出は基板成形工程により切り替えられる。
し垂直で金型B(1002)の方向に前進可能な構造を有す
る。外周ホルダーはリング状の外周スタンパ押え(1018)
を有する。外周スタンパ押え(1018)はスタンパ記録面に
対し垂直でスタンパ(1011)の方向に前進可能な構造を有
する。外周スタンパ押えのスタンパ表面と対向する部分
は、窒素ガスを噴出する気体吹出し口(1019)を有する。
外周スタンパ押えは外周ホルダー(1016)が金型B(1002)
方向に最大量移動した状態で、鏡面板(1016)上のスタン
パ(1011)を押えることが可能な移動量を有する。
形成される。
018)はそれぞれ外周ホルダー駆動部(1020)、外周スタン
パ押え駆動部(1021)により駆動される。本実施例では油
圧シリンダを用いたが同様の機能であれば駆動源の種類
は任意である。
対して垂直で金型B(1002)の方向に前進可能な構造を有
する。内周ホルダーはスタンパの内径を常に支持してい
る。内周ホルダーは外周ホルダーと同様の移動量を有す
る。
形する鏡面板(1031)、基板突出しシリンダー(1014)、内
径カッター(1015)、押えリング(1033)から成る。
記録面に対し垂直で金型B(1002)の方向に前進可能な構
造を有する。基板突出しシリンダーは、基板成形後に前
進することにより前記基板を金型A(1001)から突出し金
型外に排出する役割をする。基板突出しシリンダーは基
板記録エリアより内周に位置し、樹脂充填時には後退し
基板表面の一部を形成する。
し垂直で金型B(1002)の方向に前進可能な構造を有す
る。内径カッターは前進時に金A(1002)の溶融樹脂供給
部(1032)と勘合して基板の内径を形成する。内径カッタ
ーと樹脂供給部は一般的な打ち抜き金型の関係である。
駆動は従来技術と同様である。
を固定するロックピン(1034)を有する。ロックピンは金
型中心方向に前進可能な構造を有する。ロックピンはロ
ックピン駆動部(1035)により駆動される。本実施例では
空気圧シリンダーを用いたが、同様の機能であれば駆動
源は任意である。
動作を図11、図12、図13により説明する。図11、図12、
図13は本実施例における金型動作を示す概念図である。
の状態にある。
着溝(1117)により鏡面板(1116)に真空吸着され、内径ホ
ルダー(1112)により内径を支持され金型Aに取り付けら
れる。この時内周ホルダーは後退した位置にある。
118)は後退した位置にある。
シリンダー(1114)、ロックピン(1133)も後退した位置に
ある。
成形用のキャビティが構成される。キャビティが構成さ
れた時、金型Bのロックピン(1134)が前進し金型Aの外
周ホルダー(1113)を固定する。図11(a) 溶融樹脂供給部(1132)から溶融樹脂がキャビティ中心か
ら外周に向けて充填される。溶融樹脂は外周ホルダー(1
113)に達するまで充填される。充填完了後、圧縮、補
圧、冷却など成形動作が終了し型開き工程になる。図11
(b) 金型Aが金型Bの外周ホルダー(1213)の可動範囲内で後
退する。図12(a) 金型Aが後退する際に外周ホルダー(1213)、内周ホルダ
ー(1212)、基板突出しシリンダー(1214)は金型Aが後退
する速度と同等もしくはそれより僅かに早い速度で前進
する。また、スタンパ吸着溝(1217a,b)から窒素ガスが
噴出しスタンパ(1211)裏面の真空破壊をするとともに鏡
面板(1216)からの離脱を促進する。図12(a)矢印 基板(1251)は外周を外周ホルダー(1213)に、記録面をス
タンパ(1211)と基板突出しシリンダー(1214)と内周ホル
ダー(1212)に、記録面の反対面は鏡面板(1231)と樹脂供
給部(1232)に、内周部は内径カッター(1215)とそれぞれ
接している。
ーなどの前進の動作により基板と基板に接する金型部品
の相対的な位置関係は変化しない。
前進速度が金型Aが後退する速度に比べて遅い時に基板
(1251)と外周ホルダーの相対的な位置関係を確保するた
めに外周ホルダーを固定する。
着の均一性は保たれる。図12(a) 次に外周スタンパ押え(1218)が前進し内周ホルダー(121
2)が後退する。図12(b) 前記動作の際鏡面板(1212)と製品突出しシリンダー(121
4)の隙間及び外周ホルダーの気体吹出し口から窒素ガス
を噴出する。スタンパ(1211)は弾性変形の範囲内で変形
しながら基板(1251)内周と外周から剥離される。
われ、スタンパの変形からの復元力もあり剥離が進行す
る。図12(b) 外周スタンパ押え(1318)が最前進し、内周ホルダー(131
2)が最後退する。続いてロックピン(1334)が後退し、金
型Bが後退する。図13(a) 金型Bが後退し始めると、外周スタンパ押え(1318)が後
退し、その後外周ホルダー(1313)が後退する。図13(b) 金型Bが最後退した後、基板取りだし装置(1361)が基板
を保持すると、基板突出しシリンダー(1314)が前進し基
板を鏡面板から剥離する。
持されると基板突出しシリンダー(1314)が後退し金型は
初期状態に復帰する。
り、このサイクルが連続的に行われる。
と内周ホルダーの移動量は、本発明では2mm以下に設定
したが、スタンパの弾性変形の範囲とスタンパに記録さ
れているピット、グルーブの剥離による転写不良が発生
しない限り任意である。また気体吹き出し口(1019)など
から噴出する気体は本実施例では窒素ガスを使用したが
使用する気体は任意である。
基板の内周、外周から同時に剥離することにより剥離不
良が発生しない。剥離不良による生産中断が無くなり、
生産性の向上が図られた。
性の均一化と剥離の均一化が図られ基板の外観不良、特
にクラウドが大幅に低減し、優れた光ディスクの製作が
できる。
Claims (3)
- 【請求項1】光ディスク樹脂基板の製造に用いる射出成
形金型において、光ディスク樹脂基板の記録面に対し垂
直方向に前記基板が移動する際、スタンパを前記基板に
追従させる構造を有し且つ、光ディスク樹脂基板とスタ
ンパを剥離する際前記基板端からスタンパを弾性変形の
範囲内で変形させながら剥離する構造を有することを特
徴とする光ディスク樹脂基板製造用射出成形金型。 - 【請求項2】前項の射出成形用金型を用いて製造した光
ディスク樹脂基板。 - 【請求項3】請求項2の光ディスク樹脂基板を用いた光
ディスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09649998A JP3646516B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP09649998A JP3646516B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11296919A true JPH11296919A (ja) | 1999-10-29 |
JP3646516B2 JP3646516B2 (ja) | 2005-05-11 |
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ID=14166802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09649998A Expired - Fee Related JP3646516B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 剥離方法 |
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JP (1) | JP3646516B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1568458A1 (en) * | 2002-11-18 | 2005-08-31 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Molding die, molding method, disk substrate, and molding machine |
JP2007136810A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Konica Minolta Holdings Inc | インプリント装置及びインプリント方法 |
-
1998
- 1998-04-08 JP JP09649998A patent/JP3646516B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP1568458A1 (en) * | 2002-11-18 | 2005-08-31 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Molding die, molding method, disk substrate, and molding machine |
EP1568458A4 (en) * | 2002-11-18 | 2009-05-27 | Sumitomo Heavy Industries | SPRAYING TOOL, SPRAYING METHOD, DISK SUBSTRATE AND MOLDING MACHINE |
JP2007136810A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Konica Minolta Holdings Inc | インプリント装置及びインプリント方法 |
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JP3646516B2 (ja) | 2005-05-11 |
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