JPH11291282A - 均等圧ユニット及び該均等圧ユニットを備えたトランスファ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各ポット毎に樹脂圧がばらつくことなくプラ
ンジャを押動可能な均等圧ユニットをを提供する。 【解決手段】 モールド金型の複数のポットに装填され
た樹脂をキャビティへ圧送可能なプランジャ１７を押動
可能に支持する均等圧ユニット１６において、前記プラ
ンジャ１７を取り付け可能な第１，第２ピストンロッド
３０，３１を軸線方向に移動可能にマルチブロック２８
に複数箇所に支持すると共に該マルチブロック２８から
突出する向きに付勢し、前記マルチブロック２８内に前
記各ピストンロッド間を連通するように形成された液圧
閉回路３２に封入した液体の流動により前記マルチプラ
ンジャ１７の押動動作のばらつきを吸収して均一となる
ように調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂封止装置に装
備されるモールド金型の複数のポットに装填された樹脂
をキャビティへ圧送可能なマルチプランジャを均等に押
動可能に支持する均等圧ユニット及び該均等圧ユニット
を備えたトランスファ機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造用の樹脂封止装置は、トラン
スファモールドによる自動機が広く使用されている。こ
のトランスファモールド装置には、リードフレーム及び
樹脂タブレットを供給する供給部と、被成形品を供給さ
れて樹脂封止するプレス部と、樹脂封止後の成形品を前
記プレス部より回収して収容する収容部が一体に組み付
けられている。被成形品としてのリードフレームは供給
部よりフレーム整列部に供給されてプレヒートされ、図
示しないローダーにより樹脂タブレットと共にモールド
金型へ移送される。そして、該モールド金型でクランプ
され、ポット内から溶融樹脂をプランジャでキャビティ
内に圧送して樹脂封止される。上記プランジャによる樹
脂圧は高圧であり、従ってトランスファモールド装置で
は、樹脂を圧送した際に樹脂漏れが生じないように被成
形品を確実に型締めするために油圧若しくは電動による
型締め機構及び均等な樹脂圧により樹脂を圧送するため
のトランスファ機構が設けられている。

【０００３】上記トランスファモールド装置に装備され
るトランスファ機構の構成について説明する。例えば、
図５において、トランスファ機構５１は、図示しない電
動モータ、油圧機構などの駆動機構により昇降可能装備
されており、ポットピッチに応じてピストンロッド５２
が上下動可能に嵌め込まれている。このピストンロッド
５２の下端にはコイルスプリング５３が弾装されてお
り、該ピストンロッド５２を上方に付勢している。上記
ピストンロッド５２の上端には、プランジャ５４がそれ
ぞれ取り付けられ、モールド金型のポット５５内へ摺動
可能に装備されている。

【０００４】上記ポット５５内に樹脂タブレットが装填
されると、図示しない駆動機構が作動して、トランスフ
ァ機構５１を上動させ、ピストンロッド５２に取り付け
られたプランジャ５４が押動して、加熱された樹脂をキ
ャビティへ圧送する。このとき、上記プランジャ５４に
は上記ポット５５内の摺動抵抗により上記コイルスプリ
ング５３を若干量縮ませるように反力が作用するが、上
記プランジャ５４の押動停止位置は、適正な樹脂量にお
いて適正な縮み量ｈとなるように設定されている。

【０００５】また、他のトランスファ機構の構成につい
て説明すると、例えば、図６において、ピストンロッド
５２を装備したトランファ機構５１は、液圧閉回路５６
を備えている。具体的には、各ピストンロッド５２を連
通する連通路５７に油等の液体を充満させておき、駆動
機構を作動させてトランスファ機構５１を上動させる
と、上記液圧閉回路５６により均一な押圧力をピストン
ロッド５２に付与してプランジャ５４が樹脂をキャビテ
ィへ圧送するようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に示す各
トランスファ機構においては、以下に述べる課題があっ
た。図５に示すトランスファ機構５１には、ピストンロ
ッド５２をコイルスプリング５３により付勢しているた
め、各コイルスプリング５３の初期押圧力を適正値に設
定しても、樹脂タブレットの樹脂量のばらつきにより、
縮み量ｈが異なり、樹脂圧Ｐがばらつく。例えば、樹脂
量が多い場合には、コイルスプリング５３の縮み量がｈ
−αと小さくなるため、樹脂圧がＰ＋ｒと大きくなる。
また、樹脂量が少ない場合には、上記コイルスプリング
５３の縮み量がｈ＋αと小さくなるため、樹脂圧がＰ−
ｒと小さくなる。

【０００７】また、図６に示すトランスファ機構５１に
おいては、各ポット５５におけるプランジャ５４の摺動
抵抗が等しくないため、該摺動抵抗が大きい箇所から小
さい箇所へ液圧閉回路５６内の液体が連通路５７を介し
て各ピストンロッド５２間を移動するため、該液体の移
動があると樹脂を圧送する速度が各プランジャ毎にまち
まちとなり、各プランジャ５４がばらばらに樹脂を押動
して樹脂注入のタイミングがばらつく。

【０００８】このように、各ポット５５毎に樹脂圧や樹
脂注入のタイミングがばらつくことにより、成形品の成
形品質にばらつきが生じたり、モールド金型からの離型
性が悪くなったり、該モールド金型に不要樹脂（樹脂カ
ス）が残り易くなったりする。

【０００９】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、各ポット毎に樹脂圧や樹脂注入のタイミングがば
らつくことなくプランジャを押動可能な均等圧ユニット
及び該均等圧ユニットを備えたトランスファ機構を提供
することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。即ち、モールド金型の複数
のポットに装填された樹脂をキャビティへ圧送可能なプ
ランジャを押動可能に支持する均等圧ユニットにおい
て、前記プランジャを取り付け可能な複数のピストンロ
ッドを軸線方向に移動可能にブロック体に複数箇所に支
持すると共に該ブロック体から突出する向きに付勢し、
前記ブロック体内に前記各ピストンロッド間を連通する
ように形成された液圧閉回路に封入された液体の流動に
より、前記プランジャの押動動作のばらつきを吸収して
均一となるように調整することを特徴とする。

【００１１】また、前記均等圧ユニットは、上端に前記
プランジャが連結され、下端が前記液圧閉回路に連結さ
れた第１のピストンロッドと、上端が前記液圧閉回路に
連結され、下端が前記ブロック体に弾装されたスプリン
グにより上方に付勢された第２のピストンロッドとを備
えているのが好ましく、前記スプリングにより付勢され
た前記第２のピストンロッドの初期圧は、前記プランジ
ャのポットとの摺動抵抗より大きくなるよう設定されて
いるのが望ましい。

【００１２】また、トランスファ機構においては、前記
均等圧ユニットと、前記均等圧ユニットを長手方向に着
脱可能に支持するトランスファプレートと、前記トラン
スファプレートを移動させることにより前記プランジャ
を押動可能なトランスファ駆動機構とを備えたことを特
徴とする。また、前記トランスファ駆動機構は、駆動源
として用いた電動モータにより前記ねじ軸を回動させ
て、該ねじ軸に螺合するナットに連結する前記トランス
ファプレートを昇降させて前記プランジャを上下動させ
るようにしても良い。また、前記プランジャの突き出し
停止位置は、前記ピストンロッドを介して前記マルチブ
ロックへ作用する反力を圧力センサにより検出して、前
記電動モータの駆動を制御することにより調整しても良
い。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の態様
を添付図面に基づいて詳細に説明する。本実施の態様
は、下型にプランジャを設置したロアープランジャ方式
によるもので、マルチポットタイプのモールド金型を備
えた樹脂封止装置に装備されるロアーマルチプランジャ
方式の均等圧ユニット及び該均等圧ユニットを備えたト
ランスファ機構について説明するものとする。図１
（ａ）（ｂ）（ｃ）はトランスファ機構の要部の構成及
び均等圧ユニットの動作説明図、図２（ａ）（ｂ）は均
等圧ユニットの正面図及び左側面図、図３はモールド金
型やその駆動機構などが装備されたプレスユニットの全
体構成を示す正面説明図、図４はプレスユニットの側面
説明図である。

【００１４】本実施例では、装置底部に基台上に単数又
は複数の被成形品（リードフレーム及び樹脂タブレッ
ト）を供給可能に収容するリードフレーム供給部、樹脂
タブレット供給部及び樹脂封止後のリードフレームを回
収して収容するリードフレーム収容部を装備した基本ユ
ニットに対して着脱可能なプレス機能のみ備えたプレス
ユニットを用いて説明するものとする。

【００１５】以下、上記プレスユニットの構成につい
て、図３及び図４を参照して具体的に説明する。１は型
締め機構であり、プレスベース２と可動プラテン３との
間をトグル機構４により連繋し、該トグル機構４を駆動
手段としての電動モータ（サーボモータ）５により駆動
して型開閉を行う（図４参照）。上記可動プラテン３の
うち、可動取付板６には下型７が装着されており、該下
型７は上記電動モータ５を駆動することにより昇降す
る。また、上型８は上固定プラテン９に固定されてい
る。上記可動プラテン３は、上記可動取付板６と可動ベ
ース板１０との間に支持ブロック１１が一体に設けられ
ており、これらがガイドポスト（図示せず）にガイドさ
れて昇降する。

【００１６】上記プレスベース２と可動ベース板１０と
の間には、これらの中央部にねじ軸１２が回動可能に立
設されており、該ねじ軸１２の下端に固定されたプーリ
１３と電動モータ５に装備されたサーボモータの出力軸
との間にベルトをかけわたされて駆動力が伝達される。
上記ねじ軸１２にはナット１４が螺合しており、該ねじ
軸１２が回ることにより上下に移動する。上記ナット１
４には可動プラテン３に連結するトグル機構４が連結さ
れており、該ナット１４の上下動にともなってトグル機
構４を介して可動プラテン３を昇降させ、これによって
型開閉を行う。

【００１７】上記トグル機構４は第１，第２，第３リン
ク部材４ａ，４ｂ，４ｃからなる。これら第１，第２，
第３リンク部材４ａ，４ｂ，４ｃは、図３に示すねじ軸
１２を挟んで両側に一対ずつ、図面奥側にも一対ずつ全
部で４箇所に装備されている。上記第１リンク部材４ａ
の一端はナット１４に軸１５ａを介して回動可能に連結
されており、他端は第２リンク部材４ｂに軸１５ｂを介
して回動可能に連結されている。また、第２リンク部材
４ｂの一端はプレスベース１０に軸１５ｃを介して回動
可能に連結されており、他端は第３リンク部材４ｃに軸
１５ｄを介して回動可能に連結されている。また、第３
リンク部材４ｃは可動プラテン３と軸１５ｅを介して回
動可能に連結されている。電動モータ５を駆動してねじ
軸１２を回動させてナット１４を上下動させることによ
り、第１リンク部材４ａにより第２，第３リンク部材４
ｂ，４ｃをそれぞれ上方向に伸長させたり折り畳むこと
で可動プラテン３が上下動して型開閉が行われる。

【００１８】１６は均等圧ユニットであり、上記下型７
の複数のポットに装填された樹脂をキャビティへ圧送可
能なプランジャ１７を押動可能に支持する。上記均等圧
ユニット１６はトランスファプレート１８に対して着脱
可能に支持されている。また、上記トランスファプレー
ト１８は、後述するトランスファ駆動機構１９により上
下動するようになっており、該トラスファプレート１８
を上下動させることにより上記プランジャ１７を上下動
させる。

【００１９】上記トランスファ駆動機構１９は、下型７
のポットに供給された樹脂をキャビティへ圧送すべくプ
ランジャ１７を上下動させる。図４に示すように、上固
定プラテン９には駆動手段としての電動モータ（サーボ
モータ）２０を装備している。また、図３に示すよう
に、可動プラテン３側には、ねじ軸２１とこれに連続す
るスプライン軸２２が回動可能に２か所に軸支されてお
り、上記可動プラテン３の昇降動作に伴って上下動す
る。また、上固定プラテン９側には軸カバー２３が回動
可能に２か所に軸支されている。上記軸カバー２３には
上記スプライン軸２２が上下動可能に嵌め込まれてお
り、上記スプライン軸２２の外周と軸カバー２３の内周
にそれぞれ形成された凹凸により係合して駆動力が伝達
される。

【００２０】上記電動モータ２０の出力軸と２本の軸カ
バー２３の上端に固定されたプーリ２４との間にはベル
ト２５がそれぞれかけわたされており、上記電動モータ
２０の駆動を軸カバー２３よりスプライン軸２２及びね
じ軸２１に２か所同時伝達する。また、上記２本のねじ
軸２１にはナット２６がそれぞれ螺合しており、該ナッ
ト２６はトラスファプレート１８に連繋している。ま
た、上記トラスファプレート１８上には、均等圧ユニッ
ト１６が取り付けられている。上記ナット２６はねじ軸
２１が回転駆動されるとトラスファプレート１８と共に
昇降し、該トラスファプレート１８に装着された均等圧
ユニット１６を昇降させることができる。

【００２１】次に、均等圧ユニット１６の構成について
詳述する。上記トランスファプレート１８上には、逆Ｔ
字状のレール溝が形成されたマルチプレート２７が取り
付けられている（図３参照）。このマルチプレート２７
のレール溝には、ブロック体であるマルチブロック２８
のレール部２９が嵌め込まれ、該マルチブロック２８を
取手２８ａを把持してプレスユニットの着脱方向手前側
へ引き出し可能になっている（図３参照）。

【００２２】上記均等圧ユニット１６を可動プラテン３
内に挿抜する場合には、後述する第１ピストンロッド３
０にはプランジャ１７を装着しない状態で行われる。即
ち、上記均等圧ユニット１６をトランスファプレート１
８に取り付け、下型７を可動プラテン３の所定位置にセ
ットした後、図示しないポットの上方からプランジャ１
７を差し入れることにより行われる。これによって、例
えば、モールド金型の品種を交換したり、メンテナンス
を行う場合に、必要最小限の部品の取り外しで足り、し
かも上記可動プラテン３内に十分な作業スペースが確保
できるので作業性が良い。

【００２３】図２において、上記均等圧ユニット１６
は、プランジャ１７を取り付け可能な第１，第２ピスト
ンロッド３０，３１を軸線方向に移動可能に上記マルチ
ブロック２８に支持すると共に該マルチブロック２８か
ら突出する向きに付勢している。具体的には、図１
（ａ）において、上記第１ピストンロッド３０は、上端
にプランジャ１７が連結され、下端が液圧閉回路３２に
連結されている。また、上記第２ピストンロッド３１
は、上端が上記液圧閉回路３２に連結され、下端が上記
マルチブロック２８内に弾装されたコイルスプリング３
３により上方に付勢されている。上記液圧閉回路３２に
封入される液体としては、油、グリセリン、水等が用い
られ、中でもグリセリンは圧縮性、耐熱性に優れている
ため好適である。

【００２４】上記第１ピストンロッド３０の下端部近傍
及び上記第２ピストンロッド３１の上端近傍はパッキン
３４によりシールされており、上記液圧閉回路３２に充
填された液体を密封している。上記液圧閉回路３２は、
上記マルチブロック２８に形成された前記各ピストンロ
ッド間を連通して形成されているので、上記プランジャ
１７とポット内壁面との摺動抵抗により突き出し位置が
ばらついても液圧連通路により液体が流動することによ
りばらつき量Ｓ１，Ｓ２を吸収してプランジャ先端位置
が均一となるように調整して樹脂圧を均等化することが
できる（図１（ｃ）参照）。

【００２５】また、図１（ａ）に示すように、上記コイ
ルスプリング３３により付勢された前記第２ピストンロ
ッド３１、即ちプランジャ１７の初期押圧力Ｐ１は、該
プランジャ１７のポット内壁との摺動抵抗Ｒより大きく
なるよう設定されている（Ｐ１≧Ｒ）。これによって、
上記プランジャ１７を剛体状に支持して樹脂を圧送する
ことができる。

【００２６】また、樹脂タブレットの樹脂量にばらつき
がある場合には、上記プランジャ１７の突き出し停止位
置、即ち最終樹脂圧がばらつくことから、上記第１，第
２ピストンロッド３０，３１を介して上記マルチブロッ
ク２８へ作用する反力をロードセル等の圧力センサによ
り検出して、前記トランスファ駆動機構１９に装備した
電動モータ２０の駆動を制御することにより、上記プラ
ンジャ１７の突き出し停止位置Ｑを調整する。図１
（ｂ）において、上記コイルスプリング３３は、最終樹
脂圧Ｐ３に到達する直前に縮んでワッシャ３９がマルチ
ブロック２８の段差部に突き当たるまで若干量押し下げ
られる。よって、上記プランジャ１７の最大押圧力Ｐ２
は最終樹脂圧Ｐ３と同じか小さくなる（Ｐ２≦Ｐ３）よ
うに上記コイルスプリング３３の弾性力は調整されてい
る。また、上記最大押圧力Ｐ２と上記最終樹脂圧Ｐ３の
差は小さい方が、該最終樹脂圧Ｐ３が加わったときの圧
力変化による影響が少なくできるので好ましい。尚、上
記最終樹脂圧Ｐ３は、上記トランスファ駆動機構１９の
電動モータ２０の出力トルクＴを調整することにより設
定される。

【００２７】樹脂封止を行う場合には、前述した型締め
機構１により被成形品をクランプした後、電動モータ２
０を駆動してマルチプレート１８を上動させることによ
りプランジャ１７を押動させて、下型７のポットに装填
された溶融樹脂をキャビティへ圧送することによって行
われる。尚、上記トランスファ駆動機構２０は、下型１
８に複数のチェイスが装備されている場合には、各チェ
イス毎に均等圧ユニット１６が装備されることはいうま
でもない。

【００２８】また、図４において、３５はエジェクタロ
ッドであり、型開きした際にキャビティの内面からエジ
ェクタピンを突出させるためのもので、型開きしたとき
に下型７に配置されたエジェクタピンプレート（図示せ
ず）の下面に当接する。上記エジェクタロッド３５は、
ベース２上に立設されて（図示せず）可動プラテン３を
型開閉方向に貫通して装着されており、型開きにともな
い該可動プラテン３が下動した際にエジェクタピンプレ
ートの下面が上記エジェクタロッド３５に当接し、さら
に上記可動プラテン３が下動することによりその上面よ
り上記エジェクタロッド３５の上端面が突出して上記エ
ジェクタピンプレートを押し上げるように作用する。ま
た、３６は制御部であり、型締め機構１を開閉させる電
動モータ５やトランスファ機構１９を昇降させる電動モ
ータ２０の駆動を制御したり、プレスユニットの着脱方
向手前側（図４の右側）に設けられた操作部３７より入
力された信号に基づき樹脂封止動作を制御したりする。

【００２９】また、図４において、プレスユニットを図
示しない基本ユニットに設けられたプレスユニット着脱
部へ着脱する場合には、該プレスユニット着脱部のユニ
ット支持面とほぼ同じ高さを有する移動台車３８に載置
して行っても良い。この移動台車３８は底部にキャスタ
ー３８ｂを有し、積載面にローラ３８ａが設けられてい
る。プレスユニットは、上記ローラ３８ａに底部を支持
されるよう移動台車３８に積載されてスリーブボルト３
９により固定された状態で、図示しない基本ユニットへ
搬送されて受け渡されて装着される。尚、プレスユニッ
トを基本ユニットより分離するときは、モールド金型は
装着してあっても、取り外してあっても良い。

【００３０】上記構成によれば、トランスファ機構に装
備した均等圧ユニット１６は、プランジャ１７を取り付
け可能な第１，第２ピストンロッド３０，３１を軸線方
向に移動可能にマルチブロック２８に複数箇所で支持す
ると共に該マルチブロック２８から突出する向きに付勢
し、上記各ピストンロッド間を上記マルチブロック２８
内に形成された液圧閉回路３２により連通したので、樹
脂タブレットの樹脂量がばらついても或いは各プランジ
ャ１７の摺動抵抗にばらつきが生じても、上記液圧閉回
路３２に封入した液体の流動により該プランジャ１７の
突き出し位置のばらつきを吸収して均一となるように調
整できる。また、上記プランジャ１７の突き出し位置の
ばらつきを補正できるので、キャビティへ圧送される樹
脂の速度も安定させることも可能である。また、上記プ
ランジャ１７の突き出し停止位置は、上記第１，第２ピ
ストンロッド３０，３１を介して上記マルチブロック２
８へ作用する反力を圧力センサにより検出して、トラン
スファ駆動機構１９の電動モータ２０の駆動を制御する
ことにより、樹脂タブレットの樹脂量がばらついた場合
に、最終樹脂圧がばらつくのを有効に防止できる。よっ
て、従来上記プランジャ１７がスプリングのみに支持さ
れている場合や液圧閉回路のみにより支持されている場
合の均等圧ユニットの課題を相互に補完することで解消
し、安定した樹脂圧及び安定した送り速度で樹脂封止を
行うことができ、成形品の成形品質を向上させることが
できる。

【００３１】上記実施例は、樹脂封止装置の一例とし
て、プレス機能のみを有し、基本ユニットに対して着脱
可能なプレスユニットを用いて説明したが、プレス機構
の他に被成形品の搬入機構や成形品の取り出し機構等を
一体に装備した樹脂封止装置についても適用可能であ
る。また、樹脂封止装置は、上下一対のモールド金型と
その駆動機構を装備している場合に限らず、個別動作可
能な複数のモールド金型とその駆動機構を装備していて
も良い。また、トランスファ機構は、プレス部の数、被
成形品の種類（リードフレーム、樹脂基板（ＢＧＡ（Ｂ
ａｌｌ・Ｇｒｉｄ・Ａｒｒａｙ），テープなど）、装置
形態（独立タイプ，インラインタイプ，複数成形タイプ
（例えば成形を２度に分けて行うタイプ）等が異なる様
々な樹脂封止装置について適用可能である等、発明の精
神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るの
はもちろんのことである。

【００３２】

【発明の効果】本発明は前述したように、トランスファ
機構に装備した均等圧ユニットは、プランジャを取り付
け可能な複数のピストンロッドを軸線方向に移動可能に
ブロック体に複数箇所に支持すると共に該ブロック体か
ら突出する向きに付勢し、前記各ピストンロッド間を前
記ブロック体内に形成された液圧閉回路により連通した
ので、樹脂タブレットの樹脂量がばらついても或いは各
プランジャの摺動抵抗にばらつきが生じても、前記液圧
閉回路に封入した液体の流動により該プランジャの突き
出し位置のばらつきを吸収して均一となるように調整で
きる。また、前記プランジャの突き出し停止位置は、前
記ピストンロッドを介して前記ブロック体へ作用する反
力を圧力センサにより検出して、トランスファ駆動機構
の電動モータの駆動制御することにより、樹脂タブレッ
トの樹脂量がばらついた場合に、最終樹脂圧がばらつく
のを有効に防止できる。よって、従来前記プランジャが
スプリングのみに支持されている場合や液圧閉回路のみ
により支持されている場合の均等圧ユニットの課題を相
互に補完して解消し、安定した樹脂圧及び安定した送り
速度で樹脂封止を行うことができ、成形品の成形品質を
向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】トランスファ機構の要部の構成及び均等圧ユニ
ットの動作説明図である。

【図２】均等圧ユニットの正面図及び左側面図である。

【図３】モールド金型やその駆動機構などが装備された
プレスユニットの全体構成を示す正面説明図である。

【図４】プレスユニットの側面説明図である。

【図５】従来の均等圧ユニットの説明図である。

【図６】従来の均等圧ユニットの説明図である。

【符号の説明】

１ 型締め機構 ２ プレスベース ３ 可動プラテン ４ トグル機構 ４ａ，４ｂ，４ｃ 第１，第２，第３リンク部材 ５，２０ 電動モータ ６ 可動取付板 ７ 下型 ８ 上型 ９ 上固定プラテン １０ 可動ベース板 １１ 支持ブロック １２，２１ ねじ軸 １３，２４ プーリ １４，２６ ナット １５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ 軸 １６ 均等圧ユニット １７ プランジャ １８ トランスファプレート １９ トランスファ駆動機構 ２２ スプライン軸 ２３ 軸カバー ２７ マルチプレート ２８ マルチブロック ２９ レール部 ３０ 第１ピストンロッド ３１ 第２ピストンロッド ３２ 液圧閉回路 ３３ コイルスプリング ３４ パッキン ３５ エジェクタロッド ３６ 制御部 ３７ 操作部 ３８ 移動台車 ３９ スリーブボルト

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 モールド金型の複数のポットに装填され
   た樹脂をキャビティへ圧送可能なプランジャを押動可能
   に支持する均等圧ユニットにおいて、 前記プランジャを取り付け可能な複数のピストンロッド
   を軸線方向に移動可能にブロック体に複数箇所に支持す
   ると共に該ブロック体から突出する向きに付勢し、前記
   ブロック体内に前記各ピストンロッド間を連通するよう
   に形成された液圧閉回路に封入された液体の流動によ
   り、前記プランジャの押動動作のばらつきを吸収して均
   一となるように調整することを特徴とした均等圧ユニッ
   ト。
2. 【請求項２】 上端に前記プランジャが連結され、下端
   が前記液圧閉回路に連結された第１のピストンロッド
   と、 上端が前記液圧閉回路に連結され、下端が前記ブロック
   体に弾装されたスプリングにより上方に付勢された第２
   のピストンロッドと、を備えたことを特徴とする請求項
   １記載の均等圧ユニット。
3. 【請求項３】 前記スプリングにより付勢された前記第
   ２のピストンロッドの初期圧は、前記プランジャのポッ
   トとの摺動抵抗より大きくなるよう設定されていること
   を特徴とする請求項２記載の均等圧ユニット。
4. 【請求項４】 前記請求項１〜請求項３のうちいずれか
   １項記載の均等圧ユニットと、 前記均等圧ユニットを長手方向に着脱可能に支持するト
   ランスファプレートと、 前記トランスファプレートを移動させることにより前記
   プランジャを押動可能なトランスファ駆動機構と、 を備えたことを特徴とするトランスファ機構。
5. 【請求項５】 前記トランスファ駆動機構は、駆動源と
   して用いた電動モータにより前記ねじ軸を回動させて、
   該ねじ軸に螺合するナットに連結する前記トランスファ
   プレートを昇降させて前記マルチプランジャが上下動す
   ることを特徴とする請求項４記載のトランスファ機構。
6. 【請求項６】 前記プランジャの突き出し停止位置は、
   前記ピストンロッドを介して前記ブロック体へ作用する
   反力を圧力センサにより検出して、前記電動モータの駆
   動を制御することにより調整することを特徴とする請求
   項４又は請求項５記載のトランスファ機構。