JPH0414419A - トランスファモールド装置 - Google Patents
トランスファモールド装置Info
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- JPH0414419A JPH0414419A JP11800690A JP11800690A JPH0414419A JP H0414419 A JPH0414419 A JP H0414419A JP 11800690 A JP11800690 A JP 11800690A JP 11800690 A JP11800690 A JP 11800690A JP H0414419 A JPH0414419 A JP H0414419A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/02—Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity
- B29C45/021—Plunger drives; Pressure equalizing means for a plurality of transfer plungers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はトランスファモールド装置に関する。
(従来の技#f)
第2図および第3図はトランスファモールド装置の従来
例を示す、第2図は上型にトランスファシリンダを設け
たシングルトランスファモールドプレス、第3図は下型
にマルチプランジャを設けたマルチトランスファモール
ドプレスである。
例を示す、第2図は上型にトランスファシリンダを設け
たシングルトランスファモールドプレス、第3図は下型
にマルチプランジャを設けたマルチトランスファモール
ドプレスである。
上記のシングルトランスファモールドプレスはトッププ
ラテン10上にトランスファシリンダ12を設け、ピス
トン14の突端にポット16に摺入するプランジャ18
を設けたものであって、ボトムプラテン20に固設した
型締シリンダ22によって可動プラテン24を押動して
上金型26と下金型28とを型締めした後、トランスフ
ァシリンダ12によって金型に溶融樹脂を充填させてモ
ールドする。
ラテン10上にトランスファシリンダ12を設け、ピス
トン14の突端にポット16に摺入するプランジャ18
を設けたものであって、ボトムプラテン20に固設した
型締シリンダ22によって可動プラテン24を押動して
上金型26と下金型28とを型締めした後、トランスフ
ァシリンダ12によって金型に溶融樹脂を充填させてモ
ールドする。
また、上記マルチトランスファモールドプレスは、下金
型28に複数個のポット16を設け、それぞれのポット
28にプランジャ18をプランジャホルダ30によって
支持して設置している。プランジャホルダ30はトラン
スファシリンダ12によって押動されるプランジャホル
ダ支持体32に摺動自在に支持される。プランジャホル
ダ30はそれぞれバネを介してプランジャホルダ支持体
32に支持され、トランスファシリンダ12によってプ
ランジャホルダ支持体32を押動した際に各プランジャ
18が等圧で溶融樹脂を押し出す等圧機構を構成してい
る。
型28に複数個のポット16を設け、それぞれのポット
28にプランジャ18をプランジャホルダ30によって
支持して設置している。プランジャホルダ30はトラン
スファシリンダ12によって押動されるプランジャホル
ダ支持体32に摺動自在に支持される。プランジャホル
ダ30はそれぞれバネを介してプランジャホルダ支持体
32に支持され、トランスファシリンダ12によってプ
ランジャホルダ支持体32を押動した際に各プランジャ
18が等圧で溶融樹脂を押し出す等圧機構を構成してい
る。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、上記従来のトランスファモールド装置には次
のような問題点がある。
のような問題点がある。
すなわち、第2図に示すような上金型にトランスファシ
リンダを設けたシングルトランスファモールドブレスの
場合は、リードフレームを金型にセットして型締めした
後に樹脂タブレットを供給するから成形サイクルタイム
に不利があること6樹脂タブレツトを供給するための投
入スペース34をとるため、プランジャ18をポット1
6から離して上方に退避させる必要があり、これによっ
てプランジャ18の温度が下がること。ポット16に樹
脂タブレットを投入した後にプランジャ18がポット1
6に入り込むからポット1−6内の空気量が多くなり成
形品にボイドが発生しやすいこと等の問題点がある。
リンダを設けたシングルトランスファモールドブレスの
場合は、リードフレームを金型にセットして型締めした
後に樹脂タブレットを供給するから成形サイクルタイム
に不利があること6樹脂タブレツトを供給するための投
入スペース34をとるため、プランジャ18をポット1
6から離して上方に退避させる必要があり、これによっ
てプランジャ18の温度が下がること。ポット16に樹
脂タブレットを投入した後にプランジャ18がポット1
6に入り込むからポット1−6内の空気量が多くなり成
形品にボイドが発生しやすいこと等の問題点がある。
また、前記マルチトランスファモールドプレスの場合は
、可動プラテン24にトランスファシリンダ12を設置
するから、型締シリンダ22を複数本設置する構成とな
らざるを得ず、このため型締めをバランスさせることが
困難であること。プランジャ18の推力がバネの弾発力
によって決められるためプランジャの押圧力を一定に設
定することが困難であり、また動作中に推力をコントロ
ールすることができないこと。等圧機構を下金型に組み
込んだため金型が大形になり、取り付け、取り外しの操
作が困難であること。高速型締め、低圧型締め、高圧型
締めをコントロールする場合は大容量のポンプと広範囲
で可変となる油圧減圧弁が必要となり、1つの油圧系統
でこれを制御することが困難であること等の問題点があ
る。
、可動プラテン24にトランスファシリンダ12を設置
するから、型締シリンダ22を複数本設置する構成とな
らざるを得ず、このため型締めをバランスさせることが
困難であること。プランジャ18の推力がバネの弾発力
によって決められるためプランジャの押圧力を一定に設
定することが困難であり、また動作中に推力をコントロ
ールすることができないこと。等圧機構を下金型に組み
込んだため金型が大形になり、取り付け、取り外しの操
作が困難であること。高速型締め、低圧型締め、高圧型
締めをコントロールする場合は大容量のポンプと広範囲
で可変となる油圧減圧弁が必要となり、1つの油圧系統
でこれを制御することが困難であること等の問題点があ
る。
そこで1本発明は上記問題点を解消すべくなされたもの
であり、その目的とするところは、プランジャの推力の
コントロールが的確にでき、かつ型締め操作が安定して
でき、装置の小形化が図れるトランスファモールド装置
を提供するにある。
であり、その目的とするところは、プランジャの推力の
コントロールが的確にでき、かつ型締め操作が安定して
でき、装置の小形化が図れるトランスファモールド装置
を提供するにある。
(課題を解決するための手段)
本発明は上記目的を達成するため次の構成をそなえる。
すなわち、金型が固設されたトッププラテンおよび可動
プラテンと、プランジャを押動するトランスファシリン
ダと、可動プラテンを押動する型締シリンダとを有する
トランスファモールド装置において、前記可動プラテン
に、金型のポットに対応して設けたプランジャを押動す
る等圧シリンダを備えた等圧ユニットを設け、該等圧ユ
ニッ1−に当接して等圧ユニットを前記等圧シリンダの
軸線方向に押動するビス1−ンを鍔えたトランスファシ
リンダを設け、該トランスファシリンダの前記ピストン
を一端に突出入自在に内設した型締シリンダを前記トラ
ンスファシリンダと同心に連設し、該型締シリンダの基
端面に、型締シリンダと同心で軸線方向に型締シリンダ
を押動する高速シリンダを設けたことを特徴とする。
プラテンと、プランジャを押動するトランスファシリン
ダと、可動プラテンを押動する型締シリンダとを有する
トランスファモールド装置において、前記可動プラテン
に、金型のポットに対応して設けたプランジャを押動す
る等圧シリンダを備えた等圧ユニットを設け、該等圧ユ
ニッ1−に当接して等圧ユニットを前記等圧シリンダの
軸線方向に押動するビス1−ンを鍔えたトランスファシ
リンダを設け、該トランスファシリンダの前記ピストン
を一端に突出入自在に内設した型締シリンダを前記トラ
ンスファシリンダと同心に連設し、該型締シリンダの基
端面に、型締シリンダと同心で軸線方向に型締シリンダ
を押動する高速シリンダを設けたことを特徴とする。
また、前記等圧シリンダが油圧によって押動制御され、
各等圧シリンダの油圧室が連通して設けられたことを特
徴とする。
各等圧シリンダの油圧室が連通して設けられたことを特
徴とする。
(作用)
被成形体を金型にセットし、高速シリンダを作動させて
可動プラテンを高速で移動させて型閉じし、型閉じ後は
型締シリンダによって所要圧力で型締めする。トランス
ファシリンダを作動させてピストンが等圧ユニットを押
動し、等圧ユニットに内蔵された等圧シリンダを介して
プランジャが押動され溶融樹脂を金型のキャビティに注
入する。
可動プラテンを高速で移動させて型閉じし、型閉じ後は
型締シリンダによって所要圧力で型締めする。トランス
ファシリンダを作動させてピストンが等圧ユニットを押
動し、等圧ユニットに内蔵された等圧シリンダを介して
プランジャが押動され溶融樹脂を金型のキャビティに注
入する。
(実施例)
以下本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
第1図は本発明に係るトランスファモールド装置の一実
施例の構成を示す説明図である。
施例の構成を示す説明図である。
本実施例のトランスファモールド装置はトッププラテン
10に上金型26を、可動プラテン24に下金型28を
固設し、ボトムプラテン20に可動プラテン24を押動
する型締シリンダ22を設けている。型締シリンダ22
はボトムプラテン20からピストン22aを突出させて
可動プラテン24を押動するもので、ピストン22aの
下部とシリンダ本体との間に高圧型締用の油圧室を設け
るとともに、ピストン22aの基部に高速型締めのため
の高速シリンダ40を設けている。
10に上金型26を、可動プラテン24に下金型28を
固設し、ボトムプラテン20に可動プラテン24を押動
する型締シリンダ22を設けている。型締シリンダ22
はボトムプラテン20からピストン22aを突出させて
可動プラテン24を押動するもので、ピストン22aの
下部とシリンダ本体との間に高圧型締用の油圧室を設け
るとともに、ピストン22aの基部に高速型締めのため
の高速シリンダ40を設けている。
この高速シリンダ40はピストン22aの基端面からピ
ストン22aの内部に向けて軸線方向に油圧室40aを
穿設し、前記型締シリンダ22のシリンダ部と一体に設
けたシリンダ体を油圧室40aに摺入させて成る。
ストン22aの内部に向けて軸線方向に油圧室40aを
穿設し、前記型締シリンダ22のシリンダ部と一体に設
けたシリンダ体を油圧室40aに摺入させて成る。
40bは油圧室40aと油圧回路とを連通させる連通路
、22cは油圧室22bと油圧回路とを連通させる連通
路である。
、22cは油圧室22bと油圧回路とを連通させる連通
路である。
上記型締シリンダ22のピストン22aの上端面は可動
プラテン24の下面に固設した加圧ブロック42に当接
する。
プラテン24の下面に固設した加圧ブロック42に当接
する。
また、上記ピストン22aの上部はメイントランスファ
シリンダ44を構成する。すなわち、メイントランスフ
ァシリンダ44はピストン22aの上部にピストン44
aを突出入自在に設け、ピストン22a内に油圧室44
bを形成するとともに、油圧室44bを連通路44cを
介して油圧回路に連通させたものである。
シリンダ44を構成する。すなわち、メイントランスフ
ァシリンダ44はピストン22aの上部にピストン44
aを突出入自在に設け、ピストン22a内に油圧室44
bを形成するとともに、油圧室44bを連通路44cを
介して油圧回路に連通させたものである。
このピストン44aは前記加圧ブロック42を貫通して
等圧ユニット46の支持ブロック下面に当接する。47
は等圧ユニット46の支持ブロックの下面に立設したガ
イドバーで、加圧ブロック42に設けたスライド穴に挿
通して等圧ユニット46の上下動を案内する。
等圧ユニット46の支持ブロック下面に当接する。47
は等圧ユニット46の支持ブロックの下面に立設したガ
イドバーで、加圧ブロック42に設けたスライド穴に挿
通して等圧ユニット46の上下動を案内する。
支持ブロック内には下金型28に設けたガフ816位置
の下方にそれぞれ等圧シリンダ48を設ける。各等圧シ
リンダ48に設ける油圧室48bは連通路48bを介し
て連通し、外部の油圧回路に連絡している。
の下方にそれぞれ等圧シリンダ48を設ける。各等圧シ
リンダ48に設ける油圧室48bは連通路48bを介し
て連通し、外部の油圧回路に連絡している。
等圧シリンダ48の上部にはプランジャホルダ50を介
してプランジャ18の下部を連結し、プランジャ18の
上端はポット16内に摺入させる。
してプランジャ18の下部を連結し、プランジャ18の
上端はポット16内に摺入させる。
52はポット16内に供給された樹脂タブレットである
。
。
続いて、上記実施例のトランスファモールド装置の動作
について説明する。
について説明する。
まず、型開き状態でリードフレームおよび樹脂タブレッ
トを下金型28上にセットする。ポット16は下金型2
8に設けているからリードフレームおよび樹脂タブレッ
トは同時に下金型28上に搬送してセットすることがで
きる。
トを下金型28上にセットする。ポット16は下金型2
8に設けているからリードフレームおよび樹脂タブレッ
トは同時に下金型28上に搬送してセットすることがで
きる。
続いて型締シリンダ等の各シリンダを作動させる。各シ
リンダの動作については第4図とともに説明する。同図
においては型締めから型開きの間における各シリンダの
高さ位置と、各シリンダの上昇方向に対する圧力を対応
して示している。
リンダの動作については第4図とともに説明する。同図
においては型締めから型開きの間における各シリンダの
高さ位置と、各シリンダの上昇方向に対する圧力を対応
して示している。
はじめに、まず高速シリンダ40に油がはいり高速型締
め及び低速型締めの動作を行う、高速型締めから低速型
締めへの切り換えは、流入する油の量を電流制御弁の開
度を切り換えて絞ることによって行う。
め及び低速型締めの動作を行う、高速型締めから低速型
締めへの切り換えは、流入する油の量を電流制御弁の開
度を切り換えて絞ることによって行う。
型締シリンダ22は高速シリンダ40によって持ち上げ
られ、型締シリンダ22のピストン22a下の油圧室に
は油タンクからの油が吸い上げられる。
られ、型締シリンダ22のピストン22a下の油圧室に
は油タンクからの油が吸い上げられる。
金型を閉じるまでの低速型締めは高速シリンダ40に低
圧の油を流入させて行う。高速シリンダ40はピストン
径を小さく設定しているから小さな力で金型を閉じるこ
とができる。上下の金型間に異物があったような場合は
、上下金型の隙間を検知する等により、高圧で異物を挟
む前に事前にプレスの動作を停止することができ、これ
によって金型の損傷を防止できるという利点がある。
圧の油を流入させて行う。高速シリンダ40はピストン
径を小さく設定しているから小さな力で金型を閉じるこ
とができる。上下の金型間に異物があったような場合は
、上下金型の隙間を検知する等により、高圧で異物を挟
む前に事前にプレスの動作を停止することができ、これ
によって金型の損傷を防止できるという利点がある。
上下金型間に異物がない場合には、高速シリンダ40と
型締シリンダ22にともに高圧の油が流入し、高圧で金
型を型締めする。
型締シリンダ22にともに高圧の油が流入し、高圧で金
型を型締めする。
高圧型締めが完rすると、メイントランスファシリンダ
44のピストン側に油が流入してメイントランスファシ
リンダ44が上昇し、その上部に設置した等圧シリンダ
48及びプランジャ18が上昇する。
44のピストン側に油が流入してメイントランスファシ
リンダ44が上昇し、その上部に設置した等圧シリンダ
48及びプランジャ18が上昇する。
プランジャ18によって押し」二げられた樹脂は金型か
ら熱を吸収し、溶融しながらキャビティ内に充填される
。メイントランスファシリンダ44の上昇速度は流入す
る油の量を流量制御弁の開度をコントロールすることに
よって多段に切り換えられる。
ら熱を吸収し、溶融しながらキャビティ内に充填される
。メイントランスファシリンダ44の上昇速度は流入す
る油の量を流量制御弁の開度をコントロールすることに
よって多段に切り換えられる。
樹脂充填中及びキュア中の樹脂圧力の制御は、等圧シリ
ンダ48のピストン側の油圧力を減圧弁によって制御す
ることによってなされる。樹脂圧力及び樹脂注入速度を
第4図のように多段に切り換えることによりボイド、未
充填、ワイヤ流れ等の無い良好な封止製品を得ることが
できる。
ンダ48のピストン側の油圧力を減圧弁によって制御す
ることによってなされる。樹脂圧力及び樹脂注入速度を
第4図のように多段に切り換えることによりボイド、未
充填、ワイヤ流れ等の無い良好な封止製品を得ることが
できる。
金型のキャビティに樹脂が充填された後、そのままで一
定時間樹脂の硬化を待つ。この間、型締めおよび樹脂圧
力は一定の値が維持される。
定時間樹脂の硬化を待つ。この間、型締めおよび樹脂圧
力は一定の値が維持される。
樹脂硬化完γ時に、メイントランスファシリンダ44を
わずかに下降させ、プランジャ]8先端の樹脂を引き離
す。
わずかに下降させ、プランジャ]8先端の樹脂を引き離
す。
次いで、型締シリンダ22のピストンロンド側に油を流
入させることにより、型締シリンダ22を下降させ、型
開きを行う。型開きの最初は低速で行い、上金型からの
離型時に封止製品にダメージを与えないようにする。
入させることにより、型締シリンダ22を下降させ、型
開きを行う。型開きの最初は低速で行い、上金型からの
離型時に封止製品にダメージを与えないようにする。
最後に、下金型から封止製品の離型操作が行われ1回の
成形工程が完了する。
成形工程が完了する。
本実施例のトランスファモールド装置は上記サイクルを
繰り返すことによって繰り返し成形を行う、なお、実際
の装置においては成形品の種類に応じて、型締め力、樹
脂充填時の速度制御、位置制御等を適宜設定して行えば
よい。
繰り返すことによって繰り返し成形を行う、なお、実際
の装置においては成形品の種類に応じて、型締め力、樹
脂充填時の速度制御、位置制御等を適宜設定して行えば
よい。
上記トランスファモールド装置を用いることによる効果
としては以下のような点をあげることができる。
としては以下のような点をあげることができる。
■ リードフレームと樹脂タブレットが同時搬送でき、
能率的に搬送できる。
能率的に搬送できる。
■ プランジャが常時金型内にあるから、プランジャの
温度降下がない。
温度降下がない。
■ プラテンが常時ポット内にあるからボン1〜内に入
り込む空気量が少なく、ボイドの発生を少なくできる。
り込む空気量が少なく、ボイドの発生を少なくできる。
■ 等圧シリンダで樹脂注入圧力をコントロールするか
ら、より的確な成形ができる。
ら、より的確な成形ができる。
■ 高速型締め、低圧型締め、高圧型締めの動作を容易
に切り換えて成形でき、成形サイクルを短縮して確実で
安定的な成形を行うことができる。
に切り換えて成形でき、成形サイクルを短縮して確実で
安定的な成形を行うことができる。
■ 高速シリンダ、型締シリンダ、メイントランスファ
シリンダを連携させて一直線上に配置したことにより、
装置をコンパクト化でき、また、型締め力の偏りをなく
すことができる。
シリンダを連携させて一直線上に配置したことにより、
装置をコンパクト化でき、また、型締め力の偏りをなく
すことができる。
■ 金型と等圧ユニットを分離しているから、金型部分
がコンパクト化することができ、金型の取り付けや取り
外しが容易にでき、取り扱いが容易になる。
がコンパクト化することができ、金型の取り付けや取り
外しが容易にでき、取り扱いが容易になる。
以上1本発明について好適な実施例を挙げて種々説明し
たが1本発明は」;記実施例に限定されるものではなく
、種々タイプのトランスファモールド装置に適用するこ
とができるものであり、発明の精神を逸脱しない範囲内
で多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
たが1本発明は」;記実施例に限定されるものではなく
、種々タイプのトランスファモールド装置に適用するこ
とができるものであり、発明の精神を逸脱しない範囲内
で多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
(発明の効果)
本発明に係るトランスファモールド装置によれば、上述
したように構成したことにより、成形サイクルが短縮で
き、かつ偏りのない型締めによって安定した樹脂モール
ドを行うことができる。また、装置が小形化でき、装置
の取り扱い操作を容易にすることができる。また6等圧
ユニットを設けたことによって、均等な圧力で樹脂モー
ルドできさらに確実な成形を行うことができる等の著効
を奏する。
したように構成したことにより、成形サイクルが短縮で
き、かつ偏りのない型締めによって安定した樹脂モール
ドを行うことができる。また、装置が小形化でき、装置
の取り扱い操作を容易にすることができる。また6等圧
ユニットを設けたことによって、均等な圧力で樹脂モー
ルドできさらに確実な成形を行うことができる等の著効
を奏する。
第1図は本発明に係るトランスファモールド装置の一実
施例を示す説明図、第2図および第3図はトランスファ
モールド装置の従来例を示す説明図、第4図は各シリン
ダの動作を示す説明図である。 10・・・トッププラテン、 16・・・ポット、
18・・・プランジャ、 20・・・ボトムプラ
テン、 22・・・型締シリンダ、 22a・・・ピス
トン、 24・・・可動プラテン、26・・・上金型
、 28・・・下金型、 40・・・高速シリンダ、
40a・・・油圧室、42・・・加圧シリンダ、 44
・・・メイントランスファシリンダ、 46・・・等圧
ユニット、48・・−等圧シリンダ、 52・・・樹
脂タブレット。
施例を示す説明図、第2図および第3図はトランスファ
モールド装置の従来例を示す説明図、第4図は各シリン
ダの動作を示す説明図である。 10・・・トッププラテン、 16・・・ポット、
18・・・プランジャ、 20・・・ボトムプラ
テン、 22・・・型締シリンダ、 22a・・・ピス
トン、 24・・・可動プラテン、26・・・上金型
、 28・・・下金型、 40・・・高速シリンダ、
40a・・・油圧室、42・・・加圧シリンダ、 44
・・・メイントランスファシリンダ、 46・・・等圧
ユニット、48・・−等圧シリンダ、 52・・・樹
脂タブレット。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、金型が固設されたトッププラテンおよび可動プラテ
ンと、プランジャを押動するトランスファシリンダと、
可動プラテンを押動する型締シリンダとを有するトラン
スファモールド装置において、 前記可動プラテンに、金型のポットに対応して設けたプ
ランジャを押動する等圧シリンダを備えた等圧ユニット
を設け、 該等圧ユニットに当接して等圧ユニットを前記等圧シリ
ンダの軸線方向に押動するピストンを備えたトランスフ
ァシリンダを設け、該トランスファシリンダの前記ピス
トンを一端に突出入自在に内設した型締シリンダを前記
トランスファシリンダと同心に連設し、該型締シリンダ
の基端面に、型締シリンダと同心で軸線方向に型締シリ
ンダを押動する高速シリンダを設けたことを特徴とする
トランスファモールド装置。 2、前記等圧シリンダが油圧によって押動制御され、各
等圧シリンダの油圧室が連通して設けられたことを特徴
とする請求項1記載のトランスファモールド装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11800690A JPH0414419A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | トランスファモールド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11800690A JPH0414419A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | トランスファモールド装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0414419A true JPH0414419A (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=14725719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11800690A Pending JPH0414419A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | トランスファモールド装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0414419A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1990
- 1990-05-08 JP JP11800690A patent/JPH0414419A/ja active Pending
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