JP5173588B2 - 樹脂モールド装置 - Google Patents

Description

本発明は樹脂モールド装置に関し、より詳細には、液状樹脂を用いて被成形品を樹脂モールドする際において好適な樹脂モールド装置に関する。

リードフレーム等に代表される被成形品をキャビティ部分でクランプし、ポット内に供給された樹脂タブレットを溶融させた後、プランジャにより押し出してキャビティ内に供給することにより被成形品を樹脂モールドする樹脂モールド装置が広く知られている。このような樹脂モールド装置はモールド用樹脂として樹脂タブレットを用いる方式のものが多いが、モールド用樹脂として液状樹脂を用いた樹脂モールド装置も提案されている（例えば、特許文献１）。
特開平１０−３０５４３８号公報

図１５は、特許文献１における樹脂モールド装置の概略構成を示す正面図である。図１５に示すように、ポット１７３に液状樹脂１２２を供給する際に、小型化するために吐出口１３６をひとつにしたディスペンサ１３０を用いているが、このようなディスペンサ１３０で複数のポット１７３に液状樹脂１２２を供給した場合、樹脂モールド金型１７０をクランプするまでの間において、ポット１７３に供給された液状樹脂１２２の状態にばらつきが生じるため、１ショットで同時に成形される樹脂モールド成形品の品質にばらつきを生じさせるおそれが高いといった課題がある。

また、特許文献１の変形例として、図１６に示すように、液状樹脂１２２を収容する容器１２０に連結されたディスペンサ１３０を用いると、容器１２０からディスペンサ１３０の吐出口１３６までの経路が長くなってしまう。このようなディスペンサ１３０を用いると、樹脂モールド金型１７０の温度の影響により、ディスペンサ１３０内の液状樹脂１２２が硬化してしまうおそれがあるといった課題や、ディスペンサ１３０内を洗浄処理する際に多大な手間がかかり、メンテナンス性が悪いといった課題がある。
また、吐出口１３６を複数有するディスペンサ１３０は、先端部分の重量が増えるため、ディスペンサ１３０を移動させるための移動装置が大型になり、取り扱いが不便であるという課題も有している。

本願発明は、モールド用樹脂として液状樹脂を用いる樹脂モールド装置において、液状樹脂をポットに供給する機構（ディスペンサ）を小型化するとともに、液状樹脂が収容されている容器から液状樹脂の吐出口までの経路を短くし、ディスペンサの経路内における液状樹脂の変質をなくすことによって、高品質な樹脂モールド成形品の製造が可能な樹脂モールド装置の提供を第１の目的としている。
また、１ショットで同時に成形される樹脂モールド成形品間の品質のばらつきを抑えることが可能な樹脂モールド装置の提供を第２の目的としている。

すなわち本発明は、複数ポットのそれぞれに供給された液状樹脂を、各ポットに収容されたプランジャにより対応するキャビティに押し出すことにより被成形品を樹脂モールドするマルチポット式の樹脂モールド装置であって、前記液状樹脂を前記各ポットに供給する樹脂供給手段として、前記液状樹脂を収容する容器と、前記各ポットの配設間隔と同じ配設間隔でシリンジ保持部に保持されたシリンジおよび該シリンジに装着されたピストンを備えて前記容器から前記液状樹脂を抽出可能に構成された複数の抽出体と、該抽出体を前記容器と前記ポットとの間で一括して移動させると共に、当該複数の抽出体を一括して駆動させる駆動部を備える抽出体駆動機構と、を有し、前記抽出体駆動機構は、前記容器から抽出した液状樹脂を、前記抽出体から前記各ポットに対して同量ずつ供給すべく、前記駆動部の動作を制御する樹脂供給制御手段を有することを特徴とする樹脂モールド装置である。

また、前記樹脂供給制御手段は、前記各抽出体により前記容器から前記液状樹脂を抽出する動作を同時に実行させるように制御することを特徴とする。これにより、容器からの液状樹脂の抽出時間を短縮することができると共に、抽出した液状樹脂の状態を均一条件に近づけることができる。

また、前記抽出体駆動機構は、シリンジとピストンとを一括して支持するシリンジ保持部とピストン保持部とを有し、前記樹脂供給制御手段は、液状樹脂の抽出と前記抽出した液状樹脂の前記各ポットに対する供給とにおいて前記シリンジ保持部と前記ピストン保持部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させるように制御することを特徴とする。これにより、抽出体の保持機構の動作制御を単純にすることができる。

また、前記樹脂供給制御手段は、前記抽出体に抽出させる液状樹脂の量が、一回の樹脂モールド成形に必要な量となるように前記抽出体駆動機構の動作を制御することを特徴とする。これにより、抽出体内に液状樹脂が残留することがないため、ポットに供給すべき液状樹脂の状態を常に新鮮にすることができるから、樹脂モールド製品の品質を高品位に維持することが可能である。

また、前記シリンジ保持部と前記ピストン保持部とは、前記シリンジと前記ピストンとのそれぞれを任意の位置で保持可能に形成されていることを特徴とする。これにより、抽出体の位置調整を容易に行うことができると共にポット数への対応も容易に行うことができる。

また、前記容器には液状樹脂の液面位置が常時所定の液面位置となるように容器に液状樹脂を補充する液状樹脂補充手段が設けられていることを特徴とする。
また、前記樹脂供給制御手段は、前記容器に収容されている液状樹脂の液面位置に合わせて前記抽出体を前記容器に接近させることを特徴とする。
これらにより、それぞれの抽出体による液状樹脂の抽出条件を均一にすることができ、抽出体に抽出される液状樹脂の量を等しくすることができるため好都合である。

また、前記容器には、前記抽出体による抽出時を除いて、容器内に収容されている液状樹脂の外気接触を遮蔽する遮蔽手段が設けられていることを特徴とする。
また、前記遮蔽手段には、不活性ガス注入装置、冷却装置、除湿装置のうちの少なくとも１つが設けられていることを特徴とする。
これらにより、液状樹脂を良好な状態で収容することができるため、ポットへの供給前における液状樹脂の劣化を最小限に抑えることができ、高品位な樹脂モールド成形品を製造することができる。

本発明の構成を採用することにより、液状樹脂をポットに供給する機構を小型化、かつ簡易な構成とすることができるため、樹脂モールド装置自体もコンパクトにすることができる。また、実際に液状樹脂と接触する液状樹脂が収容されている容器から吐出口までの経路が短くなり、抽出体内における液状樹脂の変質をなくすことができるため、樹脂モールド成形品の品質を向上させることができる。また、抽出体の洗浄処理も容易に行うことができる。
そして複数のポットに同量の液状樹脂を同時に供給することができるので、１ショットで得られる樹脂モールド成形品の品質のばらつきを抑えることもできる。

（第１実施形態）
（樹脂供給手段）
以下に、本発明の好適な実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本実施形態における樹脂供給手段が液状樹脂を収容する容器に接近した状態を示す正面図である。図２は、樹脂供給手段が液状樹脂を収容する容器から液状樹脂を抽出している状態を示す正面図である。図３は、図２中のＡ−Ａ線における端面図である。
図１に示すように、本実施形態における樹脂供給手段１０は、液状樹脂２２を収容する容器２０と、容器２０に収容された液状樹脂２２を抽出する抽出体３０と、抽出体３０を駆動（動作）させる駆動部４０と、駆動部４０の動作を制御する樹脂供給制御手段５０と、抽出体３０および駆動部４０とを保持する保持部６０と、を有している。

図４に示すように、ワーク供給部Ａは、供給マガジンＭＧに収納されたワーク（リードフレーム、樹脂基板などに半導体チップが搭載されたもの又は搭載用のもの）ＷをフレームインデックスＦＩへ載せた後、プレヒート部ＰＨへ向きを揃えて送り出される。プレヒート部ＰＨでプレヒートされたワークＷがローダ８０に受け渡される。また、液状樹脂補充部２６（図１参照）から送り出されて容器２０に装填された液状樹脂が、この容器２０を供給位置まで移動してローダ８０に搭載された抽出体３０によって抽出される。

増設レール部Ｃは、ワーク供給部Ａと成形品収納部Ｂとの間に挿脱可能に設けられている。増設レール部Ｃは、ワーク供給部Ａと成形品収納部Ｂとの間に増設される。ワーク供給部Ａ、成形品収納部Ｂ及び増設レール部Ｃは移動レール部ＲＬどうしを連絡するように連結され、移動レール部ＲＬ上をローダ８０及びアンローダ８０が各々共用して移動可能になっている。

プレス部ＰＤは本実施例では４箇所に並設されている。各プレス部ＰＤはモールド金型、公知の型開閉機構及びモールド金型のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。各プレス部１は、台座部に設けられており、必要に応じてモールド金型の金型面を覆うリリースフィルムを張設するフィルムユニット９が設けられていても良い。

ローダ８０は、プレヒート部ＰＨでワークＷを受け取って保持し、容器２０より液状樹脂を抽出体３０で抽出して保持したまま、移動レール部ＲＬ側から各プレス部ＰＤへ進退移動して搬入するようになっている。また、樹脂封止後の成形品はプレス部ＰＤにおいて離型され、アンローダＵＬにより成形品収納部Ｂへ搬出されるようになっている。

成形品収納部Ｂには、アンローダＵＬにより成形品が取り出される成形品取出部ＴＤ、成形品より不要樹脂が分離されるディゲート部ＤＧ及び成形品を収納するワーク収納部ＷＳが設けられている。成形品取出部ＴＤでは、いずれかのプレス部ＰＤからアンローダＵＬにより取出された成形品が下方に待機している移動テーブルＭＴへ受け渡される。アンローダＵＬは、成形品を移動テーブルＭＴへ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブルＭＴは成形品を載置したままディゲート部ＤＧへ搬送する。ディゲート部ＤＧは、移動テーブルＭＴにより搬送された成形品を押えて冷却すると共にワークＷをツイストすることによりゲートブレイクし不要樹脂を分離する。不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。移動テーブルＭＴは成形品のみを載置して受渡し位置まで搬送する。

保持部６０はＸ−Ｙ方向（いわゆる平面方向）に保持部６０を移動させる移動手段としての機能を具備したローダ８０によって移動可能となっており、駆動部４０を保持する保持部６０と移動手段とにより抽出体駆動機構が構成されている。移動手段の動作もまた、駆動部４０の動作と同様に樹脂供給制御手段５０により制御されている。

液状樹脂２２は、図１に示すように上面が開口する容器２０に収容されている。容器２０には容器２０に収容された液状樹脂２２の液面高さ位置を検出する液面センサ２４が配設されている。また、容器２０の底部には液状樹脂２２を補充する液状樹脂補充部２６が接続されている。液面センサ２４と液状樹脂補充部２６には補充制御部２８が接続され、補充制御部２８が液面センサ２４の検出値に基づいて液状樹脂補充部２６の動作を制御する。より詳細には、補充制御部２８は、液面センサ２４により検出された液面高さ位置と予め設定されている基準液面高さ位置とを比較して、容器２０内に収容されている液状樹脂２２の液面高さ位置を常時基準液面高さ位置となるように液状樹脂補充部２６による液状樹脂２２の供給動作を制御する。
本実施形態においては液面センサ２４を１つだけ配設した形態を示しているが、複数の液面センサ２４を配設し、それぞれの液面センサ２４が検出した液面高さ位置の平均値に基づいて補充制御部２８が液状樹脂補充部２６の動作を制御する形態とすることもできる。

図１、図３および図４に示すように、ローダ８０の保持部６０は枠状に形成されている。保持部６０はローダ８０により少なくともＸ−Ｙ方向に移動可能に設けられている。また、抽出体３０を作動（駆動）させるための駆動部４０は、保持部６０の内壁面に配設された上下の支持アーム６２，６４により保持された状態で保持部６０に取り付けられている。上支持アーム６２，６２どうしと下支持アーム６４，６４どうしとは、保持部６０の内壁面において互いに対向して延伸する状態で設けられている。保持部６０の内壁面には、レール６０Ａと、このレール６０Ａに沿って往復動可能なスライダ６０Ｂが配設されている。スライダ６０Bは図示しない駆動装置によりレール６０A上を往復動可能に設けられている。上支持アーム６２および下支持アーム６４は、スライダ６０Bを介して保持部６０の内壁面に保持され、スライダ６０Bと一体になって保持部６０内を上下動自在に設けられている。このようにして保持部６０の内部空間で保持されている上記各部材が保持部６０内で上下動可能に構成されている。

駆動部４０について詳細に説明する。
上支持アーム６２と下支持アーム６４とには鉛直方向に延伸するガイドロッド４１Ａ，４１Ｂがガイドロッド４１Ａ，４１Ｂの中心軸（鉛直軸）周りに回転可能に保持されている。図１に示すように、ガイドロッド４１Ａ，４１Ｂは同図中左右にそれぞれ設けられた上支持アーム６２と下支持アーム６４とに保持されている。それぞれのガイドロッド４１Ａの外周面には、螺旋条４１Ｚが形成されていて、螺旋条４１Ｚに螺合可能なナットである移動体４２が螺着されている。螺旋条４１Ｚは上支持アーム６２と下支持アーム６４との範囲に形成されているので、移動体４２は螺旋条４１Ｚ形成範囲内で上下方向に移動可能である。

図１中右側に配設されたガイドロッド４１Ａは、下支持アーム６４を貫通して、下支持アーム６４の下面からガイドロッド４１Ａの下端部がはみ出した状態で保持されている。ガイドロッド４１Ａが貫通している側の下支持アーム６４には、ガイドロッド４１Ａに隣接してサーボモータ等の駆動モータ４３が配設されている。駆動モータ４３は、出力軸４３Ａをガイドロッド４１Ａの軸線と平行となるようにすると共に、下方に向けた状態で下支持アーム６４に固定されている。出力軸４３Ａの先端部位置は、下支持アーム６４の下面から突出しているガイドロッド４１Ａの下端部の位置と同じ高さ位置とした。出力軸４３Ａおよびガイドロッド４１Ａの下端部分にはプーリ４４Ａ，４４Ｂがそれぞれ装着されていて、プーリ４４Ａ，４４Ｂ間には駆動ベルト４５Ａが掛け渡されている。
これに対してガイドロッド４１Ａ，４１Ｂの上端部には、いずれにも上支持アーム６２と螺旋条４１Ｚの上端部との間の高さ位置にプーリ４４Ｃ，４４Ｄが装着されていて、プーリ４４Ｃ，４４Ｄ間には動力伝達ベルト４５Ｚが掛け渡されている。

駆動モータ４３が作動すると、出力軸４３Ａに固定されたプーリ４４Ａが回転し、駆動ベルト４５を介してプーリ４４Ｂが固定された一方のガイドロッド４１Ａ（図１中右側）が回転する。ガイドロッド４１Ａの回転によりプーリ４４Ｃも同期して回転し、動力伝達ベルト４５Ｚとプーリ４４Ｄを介して他方のガイドロッド４１Ｂが回転する。このように２本のガイドロッド４１Ａ，４１Ｂは互いに同期した状態でガイドロッド４１Ａ，４１Ｂの中心軸周りに回転することになるので、それぞれのガイドロッド４１Ａ，４１Ｂの螺旋条４１Ｚに螺着されている２つの移動体４２，４２もまた互いに同期した状態でガイドロッド４１Ａ，４１Ｂに沿って上下方向に移動する。

下支持アーム６４，６４には、後述する液状樹脂２２を容器２０から抽出すると共に後述するポット７３に吐出する抽出体３０を構成するシリンジ３２を一括して保持するためのシリンジ保持部４６が下支持アーム６４，６４の先端部分どうしを橋渡しした状態で取り付けられている。シリンジ３２はポット７３の配設間隔と同じ配設間隔となるようにシリンジ保持部４６に配設されている。
また、移動体４２，４２にはシリンジ３２内を往復動させるピストン３４を保持するためのピストン保持部４７が移動体４２，４２どうしを橋渡しした状態で取り付けられている。
すなわち、下支持アーム６４，６４に取り付けられているシリンジ保持部４６に一括保持されているシリンジ３２は、保持部６０が移動しない限りにおいては高さ位置が固定されているのに対し、移動体４２に固定されているピストン保持部４７およびピストン保持部４７に一括保持されているピストン３４は、駆動モータ４３の動作による移動体４２の移動に伴って上下方向に移動することが諒解される。続いて、スライダ６０Ｂを上方に移動させることによってシリンジ３２を保持部６０内に収納することにより、保持部６０は平面方向に移動可能な状態となる。

このように下支持アーム６４により高さ位置が固定されたシリンジ３２内をピストン３４が上下方向に動くことになり、シリンジ３２内に液状樹脂２２を抽出する動作や、シリンジ３２内の液状樹脂２２を吐出する抽出体３０としての動作が実行可能になる。
図１に示すように、シリンジ３２の先端部分を容器２０内の液状樹脂２２内に沈めた状態とし、先述のように駆動モータ４３を作動してガイドロッド４１Ａ，４１Ｂを同期させて所定の方向に回転させると、図２、図３に示すように移動体４２が同期した状態で上方に移動する。すなわち、移動体４２に取り付けられているピストン保持部４７がシリンジ保持部４６に対して平行状態を維持しながら移動することになる。これにより、ピストン保持部４７に一括して保持されているすべてのピストン３４が同期した状態で同じ距離ずつ上方に移動し、それぞれのシリンジ３２において同じ条件で容器２０内の液状樹脂２２を抽出することができる。

また、図３に示すように、本実施形態におけるシリンジ保持部４６およびピストン保持部４７は、コ字型断面形状に形成された２本のレール体６０Ａのそれぞれの開口部側を対向させて配設することにより構成されている。シリンジ３２およびピストン３４は、それぞれにおけるフランジ部分３２Ａ、３４Ａがシリンジ保持部４６およびピストン保持部４７を構成する２本のレール体の対向する開口部により挟持された状態で後述するポット７３（図５参照）の設けられた間隔と略同一の間隔で保持されている。
本実施形態においては、図２に示すように４本のシリンジ３２を一括に保持しているが、シリンジ３２どうしの配設間隔を調整することにより、シリンジ保持部４６が保持するシリンジ３２の本数を調整することが可能である。ピストン保持部４７が一括保持するピストン３４の保持本数の調整についても、シリンジ保持部４６と同様にすることで適宜調整可能である。すなわち、多種のマルチポット方式の樹脂モールド金型７０において各ポット７３への液状樹脂の供給方法に対して柔軟に対応することができるため好都合である。

以上に説明したとおり、駆動部４０がシリンジ３２およびシリンジ３２内を往復動するピストン３４とからなる抽出体３０を作動させることにより、抽出体３０による液状樹脂２２の抽出動作が制御されていることが諒解される。本実施形態においては駆動部４０の動力源となる駆動モータ４３の動作と駆動部４０を保持する保持部６０とからなる抽出体駆動機構の動作は、樹脂供給制御手段５０により一括制御されている。樹脂供給制御手段５０は、記憶手段と記憶手段に記憶されている動作制御プログラム（いずれも図示せず）により構成することができ、一般的なパーソナルコンピュータを用いることもできる。

（樹脂モールド装置）
図５は、本実施形態における樹脂モールド金型の概略構成図である。図６は、樹脂モールド金型を型開きして被樹脂モールド成形品を下型にセットしている状態を示す概略側面図である。図７は、樹脂モールド金型を型開きして保持部をセットした状態を示す概略側面図である。図８は、図７中の矢印Ｂ方向から臨んだ概略正面図である。図９は、ポットに液状樹脂を吐出した状態を示す概略正面図である。図１０と図１１は、樹脂モールド成形時における樹脂モールド金型部分を示す側面図である。

本実施形態における樹脂モールド装置２００は、樹脂モールド金型７０と樹脂供給手段１０とを備えて構成されている。また、樹脂供給手段１０のうち、液状樹脂２２を収容する容器２０は、樹脂モールド金型７０が高温になり、液状樹脂２２の状態を不意に変化させてしまうおそれがあるため、金型温度の影響を受けないように、樹脂モールド金型７０とは離れた位置に配設されている（図４参照）。すなわち、樹脂供給手段１０は、図示しない移動手段により容器２０と樹脂モールド金型７０の間を移動可能に設けられている。
図５〜図１１には、樹脂供給手段１０の構成要素である容器２０、液面センサ２４、液状樹脂補充部２６、補充制御部２８は示されていない。

本実施形態における樹脂モールド金型７０は、筒状に形成されたポット７３に液状樹脂２２を供給した後、ポット７３内に収容されたプランジャ７５が液状樹脂２２を押し上げ、ランナ７４を介して複数のキャビティ７６に液状樹脂２２を充填させることによって樹脂モールド成形品を成形するものである。このような樹脂モールド金型７０として、本実施形態においては、図５（Ａ）に示すように、上型７２と下型７１とにより構成されて下型７１にポット７３およびプランジャ７５が等しい間隔で直列に４組配列されたマルチポット形式の樹脂モールド金型７０が用いられている。図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＺ−Ｚ線上の断面を矢印Ｙ方向側から臨んだ側面図である。本実施形態においては、図５（Ｂ）に示すように、各ポット７３に対して上型７２に２つのキャビティ７６，７６が形成された上キャビティ方式の樹脂モールド金型７０について説明を行うことにする。

まず、図６に示すように、ローダ８０の動作によりハンド８１が被成形品を受け取った後、ローダ８０の動作により抽出体３０が液状樹脂２２を容器から抽出する。つまり、被成形品と液状樹脂２２の両者はローダ８０の動作によりキャビティ７６に供給されている。ローダ８０はハンド８１によりキャビティ７６に被成形品を供給した後、抽出体３０から液状樹脂２２を吐出させる。図示しないが、下型７１のキャビティ７６対向位置に、被成形品９０を位置決めした状態でセットするためのセット凹部を形成しておいても良い。

下型７１の所定の位置に位置決めして被成形品９０がセットされると、図７および図８に示すように、ローダ８０は、容器２０内に収容されていた液状樹脂２２を同じ容量ずつ抽出した抽出体３０を保持する保持部６０を上型７２と下型７１との間に進入させ、それぞれのポット７３の直上位置にシリンジ３２の吐出口がセットされた状態にする。

図７および図８に示した状態になると、樹脂供給制御手段５０が駆動モータ４３を作動させて、プーリ４４Ａ〜４４Ｄと駆動ベルト４５Ａおよび動力伝達ベルト４５Ｚによりガイドロッド４１Ａ，４１Ｂを同期させた状態で鉛直軸周りに回転させる。これにより、螺旋条４１Ｚに螺合する移動体４２と移動体４２に固定されているピストン保持部４７は、シリンジ保持部４６との平行状態を維持しながらピストン保持部４７をシリンジ保持部４６に接近する。先にも説明したとおり、各シリンジ３２に抽出されている液状樹脂２２の容量は等しいため、一括して保持されたピストン３４が、同じく一括して保持されたシリンジ３２内を等しいストロークで吐出口に接近すると、シリンジ３２内部の液状樹脂２２が各ポット７３に吐出される量もそれぞれ等しくなる。本実施形態においては、図９に示すように、１ショット毎にシリンジ３２に抽出した液状樹脂２２のすべてをポット７３に供給し、ポット７３に吐出する液状樹脂２２の品質が均一になるようにしているが、容器２０からシリンジ３２に抽出する液状樹脂２２の容量は、２〜３ショット分の液状樹脂２２を抽出することもでき、特に限定されるものではない。

シリンジ３２内の液状樹脂２２をピストン３４により押し出して、シリンジ３２に抽出した液状樹脂２２のすべてをポット７３内に供給すると、保持部６０はローダ８０の動作により上下の金型７１，７２間から退避する。引き続き保持部６０はローダ８０の動作により、上下の金型７１，７２の平面位置から離間する位置に配設されている容器２０の位置まで移動し、先に説明した動作により、抽出体３０であるシリンジ３２およびピストン３４が容器２０内の液状樹脂２２の抽出動作を実行する。

保持部６０が上下の金型７１，７２間から退避すると、図示しない金型駆動手段により上型７２と下型７１とを接近させ、キャビティ７６内の被成形品９０を上型７２と下型７１によりクランプさせる。次いで、図１０に示すように、プランジャ７５をポット７３内で上昇させてポット７３内に供給された液状樹脂２２を各キャビティ７６に充填する。

キャビティ７６内に充填された液状樹脂２２は、樹脂モールド金型７０の温度により熱硬化する。このようにしてキャビティ７６内の被成形品９０が樹脂モールドされる（液状樹脂２２が熱硬化する）と、図１１に示すように樹脂モールド金型７０を型開きして上型７２と下型７１とを離反させ、ローダ８０はアンローダ８２により樹脂モールド成形品９２と不要樹脂９４を取り出す。樹脂モールド成形品９２と不要樹脂９４を取り出した後は、上型７２および下型７１の金型面をクリーニングして一回分の樹脂モールド工程が終了する。取り出された樹脂モールド成形品９２と不要樹脂９４はディゲートされて、樹脂モールド成形品９２のみが成形品収納部（図示せず）に収納される。

このようにして樹脂モールド成形品９２を得ることができる。本実施形態における樹脂モールド装置２００によれば、１ショットで２つの樹脂モールド成形品９２を同時に得ることができるが、液状樹脂２２が各ポット７３に同時かつ同一容量で抽出体３０により供給されているため、１ショット内で成形される樹脂モールド成形品９２どうしの品質を均一にすることができる。このような特性は、１つのポット７３に対して配設されたキャビティ７６の数が増加するほど好適に作用する。

（第２実施形態）
先の実施形態においては、容器２０に収容されている液状樹脂２２が樹脂モールド金型７０の熱による影響を回避するために、樹脂モールド金型７０から離れた場所にセットした形態について説明したが、容器２０を周辺環境から隔離するための遮断手段を配設すれば、樹脂モールド金型７０との離間距離を短縮することができ、樹脂モールド装置２００を小型化することができるため好都合である。また、容器２０に収容されている液状樹脂２２も好条件下で管理することができるためなお好適である。
図１２は、第２実施形態における樹脂供給手段の概略構成を示す正面図である。図１３は、遮蔽手段の形態例を示す正面図である。

本実施形態における容器２０は、樹脂供給制御手段５０により動作が制御され、抽出体３０による抽出時を除いて容器２０内の液状樹脂２２が外気接触を防止して外気からの湿気の吸収を防止するための遮蔽手段１１０をさらに有している点で先の実施形態と異なる。
本実施形態における遮蔽手段１１０は、樹脂モールド金型７０の熱による効果を防ぐため、断熱性を有する材料により容器２０を覆う箱型に形成されている。また、遮蔽手段１１０には、窒素等の不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段１１２や、遮蔽手段１１０の内部空間における温度および湿度を調整する冷却装置１１４、除湿装置１１６などが配設されていて、遮蔽手段１１０内の閉塞空間が、液状樹脂２２に対して好適な条件（熱硬化しない温度および低湿度）となるように維持可能になっている。

また、遮蔽手段１１０の上面１１８は、容器２０内の液状樹脂２２を抽出する際において、樹脂供給手段１０のうち少なくともシリンジ３２の進入を許容するように、開閉可能に形成されている。例えば、図１３（Ａ），（Ｂ）に示すように、抽出体３０による液状樹脂２２の抽出時において、遮蔽手段１１０の上面１１８の全体を矢印Ｃの方向に開閉させたり、スライドさせることにより開放させる形態や、図１３（Ｃ）に示すようにシリンジ３２が通過可能な通過孔１１８ａ，１１８ｂを有する固定板１１８Ａと移動板１１８Ｂとを用い、液状樹脂２２の抽出時においてのみ、移動板１１８Ｂを矢印Ｃの方向にスライドさせて、固定板１１８Ａと移動板１１８Ｂの通過孔１１８ａ，１１８ｂの位置を一致させることにより、シリンジ３２のみを通過孔１１８ａ，１１８ｂから遮蔽手段１１０の内部空間に進入させる形態のいずれの形態であってもよい。いずれの形態を採用する場合においても、液状樹脂２２の抽出時以外においては、遮蔽手段１１０の上面１１８における気密がシール部材等により維持されているのはもちろんである。

このような容器２０の形態を採用することにより、樹脂モールド装置２００の小型化が可能になるため好都合である。また、空気と接触することによる液状樹脂２２の劣化を極力抑えることができるため、より好条件の下で樹脂モールド成形を行うことができ、高品質な樹脂モールド成形品９２を製造することができる。

以上に、本願発明にかかる樹脂モールド装置２００について、樹脂供給手段１０について詳細に説明をしてきたが、本発明における樹脂供給手段１０やこれを具備する樹脂モールド装置２００は、以上に説明した実施形態に限定されるものではない。例えば、以上の実施形態においては、樹脂供給手段１０において、容器２０に収容されている液状樹脂２２を抽出体３０に抽出する際においては、液面センサ２４により検出した液面位置に抽出体３０を接近させる形態について説明したが、液状樹脂２２を収容した容器２０を抽出体３０に接近させる形態とすることもできる。この構成においては、上記の実施形態の構成に、容器２０を昇降させるための昇降装置を配設し、昇降装置の昇降動作を樹脂供給制御手段５０により制御する形態とすればよい。
また、ピストン保持部４７を固定し、ピストン保持部４７に対してシリンジ保持部４６を接離動させる形態や、シリンジ保持部４６とピストン保持部４７の両者を互いに接離動させることで抽出体３０の液状樹脂２２の抽出・吐出動作を制御する形態を採用することももちろん可能である。

また、以上の実施形態においては、抽出体３０を動作させる駆動部４０の動力源にサーボモータ等の駆動モータ４３を採用した実施形態について説明している。このように駆動モータ４３にサーボモータを採用することで、ピストン３４のストロークを精密に制御することが可能になるが、トランスファ成形におけるキャビティ内への樹脂の供給は多少のばらつきがあっても樹脂モールド成形品９２に与える影響は僅かであるため、駆動モータ４３に替えて、流体シリンダ等による駆動源を採用してもよいのはもちろんである。

また、第２実施形態においては、液状樹脂２２を収容する容器２０を遮蔽する遮蔽手段１１０には不活性ガス供給手段１１２、冷却装置１１４、除湿装置１１６のそれぞれが配設された形態について説明しているが、必ずしもこれらすべてを接続する必要はなく、液状樹脂２２の特性や、容器２０の外部環境に応じてこれらを適宜選択して組み合わせることで遮蔽手段１１０として構成する形態であってもよい。また、不活性ガス供給手段１１２、冷却装置１１４、除湿装置１１６のうちのいずれか１つのみを選択して遮蔽手段１１０とする形態としてもよいのはもちろんである。

以上の実施形態においては、樹脂モールド金型７０に対して液状樹脂２２を直接樹脂モールド金型７０に供給する形態について説明しているが、図１４に示すように、リリースフィルムＬＦを用いた樹脂モールド金型７０（樹脂モールド装置２００）であっても本願発明を適用することができる。リリースフィルムＬＦは図示しないエア吸着孔によるエア吸着によりキャビティ７６表面にセットされる。
また、本実施形態においては、補充制御部２８と樹脂供給制御手段５０とをそれぞれ独立させた形態について説明しているが、樹脂供給制御手段５０に補充制御部２８の制御動作を実行させる形態とすることももちろん可能である。

また、ポット７３およびプランジャ７５が均等間隔で直列に４組配列されたマルチポット形式の樹脂モールド金型７０を用いる形態について説明しているが、ポット７３およびプランジャ７５は必ずしも直列に配列されている必要はない。例えば、ポット７３およびプランジャ７５を千鳥配列となるように配設して、シリンジ３２およびピストン３４がその間隔と略同一の間隔（すなわちポット７３の位置に対応する平面位置）となるように保持した状態で一括してこれらを移動させる構成を採用することもできる。
そして本発明は、以上に説明した第１および第２実施形態と、他の実施形態について、各構成の組み合わせのすべてについては具体的な説明を行っていないが、いずれの組み合わせであっても本発明の技術的範囲に含まれるものであることはもちろんである。

本実施形態における樹脂供給手段が液状樹脂を収容する容器に接近した状態を示す正面図である。 樹脂供給手段が液状樹脂を収容する容器から液状樹脂を抽出している状態を示す正面図である。 図２中のＡ−Ａ線における端面図である。 本実施形態における樹脂モールド装置の概略構成図である。 本実施形態における樹脂モールド金型の概略構成図である。 樹脂モールド金型を型開きして保持部をセットした状態を示す概略正面図である。 樹脂モールド金型を型開きして保持部をセットした状態を示す概略正面図である。 図７中の矢印Ａ方向から臨んだ概略正面図である。 ポットに液状樹脂を吐出した状態を示す概略正面図である。 樹脂モールド成形時における樹脂モールド金型部分を示す正面図である。 樹脂モールド成形時における樹脂モールド金型部分を示す正面図である。 実施形態における樹脂供給手段の概略構成を示す正面図である。 遮蔽手段の形態例を示す正面図である。 他の実施形態の一例を示す正面図である。 特許文献１における樹脂モールド装置の概略構成を示す正面図である。 従来技術におけるディスペンサの変形例を示す正面図である。

符号の説明

１０ 樹脂供給手段
２０ 容器
２２ 液状樹脂
２４ 液面センサ
２６ 液状樹脂補充部
２８ 補充制御部
３０ 抽出体
３２ シリンジ
３４ ピストン
４０ 駆動部
４１Ａ，４１Ｂ ガイドロッド
４１Ｚ 螺旋条
４２ 移動体
４３ 駆動モータ
４３Ａ 出力軸
４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄ プーリ
４５Ａ 駆動ベルト
４５Ｚ 動力伝達ベルト
４６ シリンジ保持部
４７ ピストン保持部
５０ 樹脂供給制御手段
６０ 保持部
６２ 上支持アーム
６４ 下支持アーム
７０ 樹脂モールド金型
７１ 上型
７２ 下型
７３ ポット
７４ ランナ
７５ プランジャ
７６ キャビティ
８０ ローダ
８１ ハンド
８２ アンローダ
９０ 被成形品
９２ 樹脂モールド成形品
１１０ 遮蔽手段
１１２ 不活性ガス供給手段
１１４ 冷却装置
１１６ 除湿装置
１１８ 上面
１１８ 固定板
１１９ 移動板
１１８Ａ，１１９Ａ 通過孔
２００ 樹脂モールド装置

Claims (9)

1. 複数ポットのそれぞれに供給された液状樹脂を、各ポットに収容されたプランジャにより対応するキャビティに押し出すことにより被成形品を樹脂モールドするマルチポット式の樹脂モールド装置であって、
   前記液状樹脂を前記各ポットに供給する樹脂供給手段として、
   前記液状樹脂を収容する容器と、前記各ポットの配設間隔と同じ配設間隔でシリンジ保持部に保持されたシリンジおよび該シリンジに装着されたピストンを備えて前記容器から前記液状樹脂を抽出可能に構成された複数の抽出体と、
   該抽出体を前記容器と前記ポットとの間で一括して移動させると共に、当該複数の抽出体を一括して駆動させる駆動部を備える抽出体駆動機構と、を有し、
   前記抽出体駆動機構は、前記容器から抽出した液状樹脂を、前記抽出体から前記各ポットに対して同量ずつ供給すべく、前記駆動部の動作を制御する樹脂供給制御手段を有することを特徴とする樹脂モールド装置。
2. 前記樹脂供給制御手段は、前記各抽出体により前記容器から前記液状樹脂を抽出する動作を同時に実行させるように制御することを特徴とする請求項１記載の樹脂モールド装置。
3. 前記抽出体駆動機構は、シリンジとピストンとを一括して支持するシリンジ保持部とピストン保持部とを有し、
   前記樹脂供給制御手段は、液状樹脂の抽出と前記抽出した液状樹脂の前記各ポットに対する供給とにおいて前記シリンジ保持部と前記ピストン保持部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させるように制御することを特徴とする請求項１または２記載の樹脂モールド装置。
4. 前記樹脂供給制御手段は、前記抽出体に抽出させる液状樹脂の量が、一回の樹脂モールド成形に必要な量となるように前記抽出体駆動機構の動作を制御することを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の樹脂モールド装置。
5. 前記シリンジ保持部と前記ピストン保持部とは、前記シリンジと前記ピストンとのそれぞれを任意の位置で保持可能に形成されていることを特徴とする請求項３または４記載の樹脂モールド成形装置。
6. 前記容器には液状樹脂の液面位置が常時所定の液面位置となるように容器に液状樹脂を補充する液状樹脂補充手段が設けられていることを特徴とする請求項１〜５のうちのいずれか一項に記載の樹脂モールド装置。
7. 前記樹脂供給制御手段は、前記容器に収容されている液状樹脂の液面位置に合わせて前記抽出体を前記容器に接近させることを特徴とする請求項６記載の樹脂モールド装置。
8. 前記容器には、前記抽出体による抽出時を除いて、容器内に収容されている液状樹脂の外気接触を遮蔽する遮蔽手段が設けられていることを特徴とする請求項１〜７のうちのいずれか一項に記載の樹脂モールド装置。
9. 前記遮蔽手段には、不活性ガス注入装置、冷却装置、除湿装置のうちの少なくとも１つが設けられていることを特徴とする請求項８記載の樹脂モールド装置。

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