JPH11291155A - 脆性材料研磨用定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置 - Google Patents
脆性材料研磨用定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置Info
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- JPH11291155A JPH11291155A JP9929498A JP9929498A JPH11291155A JP H11291155 A JPH11291155 A JP H11291155A JP 9929498 A JP9929498 A JP 9929498A JP 9929498 A JP9929498 A JP 9929498A JP H11291155 A JPH11291155 A JP H11291155A
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- brittle material
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- polishing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】脆性材料研磨用定盤の溝を短時間で掃除でき、
且つ、如何なる材質の定盤においても使用できる、脆性
材料研磨用定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置
を提供。 【解決手段】脆性材料研磨用定盤に形成された溝に洗浄
液を噴射しつつ、これにより溝から浮き上がった研磨剤
や脆性材料の削り粉及び異物を当該洗浄液とともに吸引
手段にて回収する。この方法を実施するのに有用な掃除
装置は、脆性材料研磨用定盤の溝の中へ向けられた洗浄
ノズルとこの洗浄ノズルの洗浄液噴射方向の側に並べら
れた吸引口を有したものである。この掃除装置を脆性材
料研磨用定盤本体に付帯させて研磨装置として提供でき
る。
且つ、如何なる材質の定盤においても使用できる、脆性
材料研磨用定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置
を提供。 【解決手段】脆性材料研磨用定盤に形成された溝に洗浄
液を噴射しつつ、これにより溝から浮き上がった研磨剤
や脆性材料の削り粉及び異物を当該洗浄液とともに吸引
手段にて回収する。この方法を実施するのに有用な掃除
装置は、脆性材料研磨用定盤の溝の中へ向けられた洗浄
ノズルとこの洗浄ノズルの洗浄液噴射方向の側に並べら
れた吸引口を有したものである。この掃除装置を脆性材
料研磨用定盤本体に付帯させて研磨装置として提供でき
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハなどの脆性
材料を研磨するための溝の付いた定盤においての、掃除
方法及びその装置並びに研磨装置の提供に関する。
材料を研磨するための溝の付いた定盤においての、掃除
方法及びその装置並びに研磨装置の提供に関する。
【０００２】
【従来の技術】脆性材料、例えば、半導体ウェハの研磨
（ラッピング）においては、研磨用定盤の溝に、研磨に
使用した研磨剤やウェハの削り粉及び異物が入り込んで
いる状態で、研磨を行うと、ウェハにキズ、カケ、ワレ
などの不良が発生し易くなるという問題がある。
（ラッピング）においては、研磨用定盤の溝に、研磨に
使用した研磨剤やウェハの削り粉及び異物が入り込んで
いる状態で、研磨を行うと、ウェハにキズ、カケ、ワレ
などの不良が発生し易くなるという問題がある。
【０００３】そこで、上記のような不良の発生を減らす
目的で、研磨の前に研磨用定盤の溝を掃除して、研磨剤
や削り粉及び異物を取り除くようにしている。この溝の
研磨剤やウェハの削り粉及び異物を取り除く掃除方法と
しては、次のような方法があった。シャワーノズルな
どにて水などの洗浄液を定盤の溝に流し当て、研磨剤や
ウェハの削り粉及び異物を流し出す方法、超音波を伝
播させたヘラにて定盤における溝の研磨剤やウェハの削
り粉及び異物を掻き出す方法。
目的で、研磨の前に研磨用定盤の溝を掃除して、研磨剤
や削り粉及び異物を取り除くようにしている。この溝の
研磨剤やウェハの削り粉及び異物を取り除く掃除方法と
しては、次のような方法があった。シャワーノズルな
どにて水などの洗浄液を定盤の溝に流し当て、研磨剤や
ウェハの削り粉及び異物を流し出す方法、超音波を伝
播させたヘラにて定盤における溝の研磨剤やウェハの削
り粉及び異物を掻き出す方法。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来技術によ
る定盤の掃除方法では、次のような問題があった。 シャワーなどで洗浄液を定盤の溝に流し当てる方法で
は、洗浄液を定盤の溝に流し当てることで、定盤の溝か
ら定盤上に浮き出した研磨剤やウェハの削り粉及び異物
を再び溝に入り込んでしまうことが多く、同じ溝に何度
も洗浄液を流し当てる必要があった。また、定盤の溝に
入っている研磨剤やウェハの削り粉及び異物を溝に沿っ
て定盤の外まで押し流す必要があり、定盤の外から遠い
部分では、研磨剤やウェハの削り粉及び異物を完全に取
り除くには、かなりの洗浄液と時間を費やすという問題
がある。
る定盤の掃除方法では、次のような問題があった。 シャワーなどで洗浄液を定盤の溝に流し当てる方法で
は、洗浄液を定盤の溝に流し当てることで、定盤の溝か
ら定盤上に浮き出した研磨剤やウェハの削り粉及び異物
を再び溝に入り込んでしまうことが多く、同じ溝に何度
も洗浄液を流し当てる必要があった。また、定盤の溝に
入っている研磨剤やウェハの削り粉及び異物を溝に沿っ
て定盤の外まで押し流す必要があり、定盤の外から遠い
部分では、研磨剤やウェハの削り粉及び異物を完全に取
り除くには、かなりの洗浄液と時間を費やすという問題
がある。
【０００５】一方、超音波を伝播させたヘラにて研磨
剤やウェハの削り粉及び異物を掻き出す方法では、複数
の溝の一本一本の全長にヘラを差し込み、研磨剤やウェ
ハの削り粉及び異物を掻き出す必要があるが、これには
相当な時間と手間がかかる。また、ヘラは、超音波が伝
播できる鉄などの堅い材質でなければならず、ガラス製
などの欠け易い材質の定盤の場合には、溝の縁が欠けて
しまうため、採用することが難しいという問題がある。
剤やウェハの削り粉及び異物を掻き出す方法では、複数
の溝の一本一本の全長にヘラを差し込み、研磨剤やウェ
ハの削り粉及び異物を掻き出す必要があるが、これには
相当な時間と手間がかかる。また、ヘラは、超音波が伝
播できる鉄などの堅い材質でなければならず、ガラス製
などの欠け易い材質の定盤の場合には、溝の縁が欠けて
しまうため、採用することが難しいという問題がある。
【０００６】このような問題は、ウェハと同様な脆性材
料の研磨用とする溝付きの定盤においても、同様に生じ
るものと思われる。
料の研磨用とする溝付きの定盤においても、同様に生じ
るものと思われる。
【０００７】そこで、本発明の解決すべき課題（目的）
は、脆性材料研磨用定盤の溝を短時間で掃除でき、且
つ、如何なる材質の定盤においても使用できる、脆性材
料研磨用定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置を
提供することにある。
は、脆性材料研磨用定盤の溝を短時間で掃除でき、且
つ、如何なる材質の定盤においても使用できる、脆性材
料研磨用定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明により提供する脆
性材料研磨用定盤の掃除方法は、脆性材料研磨用定盤に
形成された溝に洗浄液を噴射しつつ、これにより溝から
浮き上がった研磨剤や脆性材料の削り粉及び異物を当該
洗浄液とともに吸引手段にて回収する方法からなる。こ
のように、定盤の溝に洗浄液を噴射すると、溝に入り込
んだ研磨剤や脆性材料の削り粉及び異物は、噴射された
洗浄液と混ざり合い、且つ、洗浄液の噴射にて浮き上が
り、これらを吸引手段にて根こそぎ回収するため、同じ
溝に何度も掃除する必要がなく、短時間で溝に入り込ん
だ研磨剤や脆性材料及び異物を取り除くことが可能とな
る。また、洗浄液を使用するので、ガラスなどの欠け易
い定盤へも採用可能である。
性材料研磨用定盤の掃除方法は、脆性材料研磨用定盤に
形成された溝に洗浄液を噴射しつつ、これにより溝から
浮き上がった研磨剤や脆性材料の削り粉及び異物を当該
洗浄液とともに吸引手段にて回収する方法からなる。こ
のように、定盤の溝に洗浄液を噴射すると、溝に入り込
んだ研磨剤や脆性材料の削り粉及び異物は、噴射された
洗浄液と混ざり合い、且つ、洗浄液の噴射にて浮き上が
り、これらを吸引手段にて根こそぎ回収するため、同じ
溝に何度も掃除する必要がなく、短時間で溝に入り込ん
だ研磨剤や脆性材料及び異物を取り除くことが可能とな
る。また、洗浄液を使用するので、ガラスなどの欠け易
い定盤へも採用可能である。
【０００９】上記の方法を実施するために有用な脆性材
料研磨用定盤の掃除装置は、脆性材料研磨用定盤の溝の
中へ向けられた洗浄ノズルとこの洗浄ノズルの洗浄液噴
射方向の側に並べられた吸引口を有してなるものであ
る。
料研磨用定盤の掃除装置は、脆性材料研磨用定盤の溝の
中へ向けられた洗浄ノズルとこの洗浄ノズルの洗浄液噴
射方向の側に並べられた吸引口を有してなるものであ
る。
【００１０】さらに、本発明によれば、研磨装置、即
ち、脆性材料研磨用定盤本体と、この脆性材料研磨用定
盤の溝の中へ向けられた洗浄ノズルとこの洗浄ノズルの
噴き出し方向に並んで設けられた吸引口を有してなる掃
除装置を具備してなるものを提供することができる。
ち、脆性材料研磨用定盤本体と、この脆性材料研磨用定
盤の溝の中へ向けられた洗浄ノズルとこの洗浄ノズルの
噴き出し方向に並んで設けられた吸引口を有してなる掃
除装置を具備してなるものを提供することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施例にして、
脆性材料研磨用定盤としてウェハ研磨用定盤を示し、こ
のウェハ研磨用定盤に対する掃除装置先端部及びこの装
置による掃除方法を具体的に示している。
脆性材料研磨用定盤としてウェハ研磨用定盤を示し、こ
のウェハ研磨用定盤に対する掃除装置先端部及びこの装
置による掃除方法を具体的に示している。
【００１２】この実施例は、溝２を有したウェハ研磨用
定盤本体１の上に、掃除装置先端部１０の先端部をセッ
トする方法にして、掃除装置先端部１０は、二つの通路
を有するノズル状ボディからなっていて、一方の通路が
洗浄液供給管４を形成し、他方の通路が吸引管６を形成
している。
定盤本体１の上に、掃除装置先端部１０の先端部をセッ
トする方法にして、掃除装置先端部１０は、二つの通路
を有するノズル状ボディからなっていて、一方の通路が
洗浄液供給管４を形成し、他方の通路が吸引管６を形成
している。
【００１３】そして、当該先端部１０の端面側におい
て、洗浄液供給管４の開口部に洗浄ノズル３がウェハ研
磨用定盤の溝に対して斜めに向くように所定の角度でセ
ットされ、この洗浄ノズル３の洗浄液噴射方向の側に並
んで吸引管６の開口つまり吸引口７を設けている。９は
ゴムパッドにして、掃除装置先端部１０がウェハ研磨用
定盤２の面に直接当たらないようにクッションの機能を
果たしている。
て、洗浄液供給管４の開口部に洗浄ノズル３がウェハ研
磨用定盤の溝に対して斜めに向くように所定の角度でセ
ットされ、この洗浄ノズル３の洗浄液噴射方向の側に並
んで吸引管６の開口つまり吸引口７を設けている。９は
ゴムパッドにして、掃除装置先端部１０がウェハ研磨用
定盤２の面に直接当たらないようにクッションの機能を
果たしている。
【００１４】さて、以上のようにしてセットされている
掃除装置による掃除要領を説明すると、先ず、掃除装置
先端部１０の洗浄液供給管４へ供給された洗浄液（水な
ど）が洗浄ノズル３より符号５のようにウェハ研磨用定
盤の溝２に向け勢い噴射される。
掃除装置による掃除要領を説明すると、先ず、掃除装置
先端部１０の洗浄液供給管４へ供給された洗浄液（水な
ど）が洗浄ノズル３より符号５のようにウェハ研磨用定
盤の溝２に向け勢い噴射される。
【００１５】上記のような洗浄液５の噴射によって、溝
２内に有したウェハ研磨剤やウェハの削り粉及び異物を
符号８のように浮き上がらせる。この溝２より浮き上が
った研磨剤や削り粉及び異物８は、噴射した洗浄液５と
ともに、吸引口７より吸引管６内に根こそぎ吸い込ま
れ、装置本体側に回収され排水される。
２内に有したウェハ研磨剤やウェハの削り粉及び異物を
符号８のように浮き上がらせる。この溝２より浮き上が
った研磨剤や削り粉及び異物８は、噴射した洗浄液５と
ともに、吸引口７より吸引管６内に根こそぎ吸い込ま
れ、装置本体側に回収され排水される。
【００１６】このような洗浄液５の供給・噴射と吸引の
動作を連続させながら、掃除装置先端部１０をウェハ研
磨用定盤の溝２に沿って動かして行くことにより、ウェ
ハ研磨用定盤の溝より研磨剤や削り粉及び異物８を短時
間で取り除くことができるようになった。
動作を連続させながら、掃除装置先端部１０をウェハ研
磨用定盤の溝２に沿って動かして行くことにより、ウェ
ハ研磨用定盤の溝より研磨剤や削り粉及び異物８を短時
間で取り除くことができるようになった。
【００１７】尚、以上の実施例は本発明の好ましい具体
例として示しており、これに限定されることなく、本発
明の特許請求の範囲の中で種々の変形が可能である。例
えば、洗浄ノズル及び吸引口は、どんな形状でもあって
も良く、何個でも良い。また、どのような配置としても
良く、洗浄ノズルと吸引口を別体としても良い。要は研
磨用定盤の溝に洗浄液を噴射し、これを吸引できる機能
を有していれば良い訳である。
例として示しており、これに限定されることなく、本発
明の特許請求の範囲の中で種々の変形が可能である。例
えば、洗浄ノズル及び吸引口は、どんな形状でもあって
も良く、何個でも良い。また、どのような配置としても
良く、洗浄ノズルと吸引口を別体としても良い。要は研
磨用定盤の溝に洗浄液を噴射し、これを吸引できる機能
を有していれば良い訳である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したような本発明によれば、脆
性材料研磨用定盤の溝を短時間で掃除でき、且つ、如何
なる材質の定盤においても使用できる、脆性材料研磨用
定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置を提供する
という所期の課題（目的）を達成することができ、脆性
材料研磨用定盤の掃除を効率よく短時間で行えること
で、研磨装置の稼働率を向上させることができる。
性材料研磨用定盤の溝を短時間で掃除でき、且つ、如何
なる材質の定盤においても使用できる、脆性材料研磨用
定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置を提供する
という所期の課題（目的）を達成することができ、脆性
材料研磨用定盤の掃除を効率よく短時間で行えること
で、研磨装置の稼働率を向上させることができる。
【図１】本発明の実施例にして、ウェハ研磨用定盤及び
掃除装置（先端部）並びにこの装置による掃除方法を示
す断面的説明図。
掃除装置（先端部）並びにこの装置による掃除方法を示
す断面的説明図。
１ 脆性材料研磨用定盤本体 ２ 溝 ３ 洗浄ノズル ４ 洗浄液供給管 ５ 洗浄液 ６ 吸引管 ７ 吸引口 ８ 研磨剤、ウェハの削り粉、異物 ９ 掃除装置先端部
Claims (3)
- 【請求項１】脆性材料研磨用定盤に形成された溝に洗浄
液を噴射しつつ、これにより溝から浮き上がった研磨剤
や脆性材料の削り粉及び異物を当該洗浄液とともに吸引
手段にて回収する、脆性材料研磨用定盤の掃除方法。 - 【請求項２】脆性材料研磨用定盤の溝の中へ向けられた
洗浄ノズルとこの洗浄ノズルの洗浄液噴射方向の側に並
べられた吸引口を有してなる、脆性材料研磨用定盤の掃
除装置。 - 【請求項３】脆性材料研磨用定盤本体と、この脆性材料
研磨用定盤の溝の中へ向けられた洗浄ノズルとこの洗浄
ノズルの噴き出し方向に並んで設けられた吸引口を有し
てなる掃除装置を具備してなる、脆性材料研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9929498A JPH11291155A (ja) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | 脆性材料研磨用定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9929498A JPH11291155A (ja) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | 脆性材料研磨用定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11291155A true JPH11291155A (ja) | 1999-10-26 |
Family
ID=14243627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9929498A Pending JPH11291155A (ja) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | 脆性材料研磨用定盤の掃除方法及びその装置並びに研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11291155A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001252329A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-18 | Sankyo Reijakku Kk | ノズル構造 |
| KR100904278B1 (ko) * | 2001-11-12 | 2009-06-25 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판처리장치 |
| KR20170073689A (ko) * | 2014-10-24 | 2017-06-28 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 유체를 스프레이 바디들 아래로, 그리고 유입 포트들을 향해 지향시키도록 배향된 유체 배출구들을 이용하는 연마 패드 세정 시스템, 및 관련 방법 |
| WO2017183360A1 (ja) * | 2016-04-21 | 2017-10-26 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
| CN116652787A (zh) * | 2023-07-31 | 2023-08-29 | 沈阳和研科技股份有限公司 | 一种砂轮划片机 |
-
1998
- 1998-04-10 JP JP9929498A patent/JPH11291155A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001252329A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-18 | Sankyo Reijakku Kk | ノズル構造 |
| KR100904278B1 (ko) * | 2001-11-12 | 2009-06-25 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판처리장치 |
| KR20170073689A (ko) * | 2014-10-24 | 2017-06-28 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 유체를 스프레이 바디들 아래로, 그리고 유입 포트들을 향해 지향시키도록 배향된 유체 배출구들을 이용하는 연마 패드 세정 시스템, 및 관련 방법 |
| CN107078045A (zh) * | 2014-10-24 | 2017-08-18 | 应用材料公司 | 使用定向成在喷洒主体下方且向入口端口引导流体的流体出口的抛光垫清洗系统及相关方法 |
| JP2017532790A (ja) * | 2014-10-24 | 2017-11-02 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 流体をスプレー本体の下方へ且つ入口ポートへ向けて誘導するように方向付けられた流体出口を採用する研磨パッド洗浄システム、及びそれに関連する方法 |
| WO2017183360A1 (ja) * | 2016-04-21 | 2017-10-26 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
| JPWO2017183360A1 (ja) * | 2016-04-21 | 2019-02-21 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
| TWI733780B (zh) * | 2016-04-21 | 2021-07-21 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 基板處理裝置 |
| CN116652787A (zh) * | 2023-07-31 | 2023-08-29 | 沈阳和研科技股份有限公司 | 一种砂轮划片机 |
| CN116652787B (zh) * | 2023-07-31 | 2023-10-20 | 沈阳和研科技股份有限公司 | 一种砂轮划片机 |
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