JPH1126676A - リードフレームのトリミング装置 - Google Patents
リードフレームのトリミング装置Info
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- JPH1126676A JPH1126676A JP9188909A JP18890997A JPH1126676A JP H1126676 A JPH1126676 A JP H1126676A JP 9188909 A JP9188909 A JP 9188909A JP 18890997 A JP18890997 A JP 18890997A JP H1126676 A JPH1126676 A JP H1126676A
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- slider
- sheet
- driving
- trimming device
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数個のリードフレームがフレーム等により
支持されて連なった連状のリードフレームを、複数個、
繋ぎ部で支持した状態で、エッチングによる外形加工が
施された帯び状のシートないし枚葉のシートから、繋ぎ
部の薄肉部ないし貫通孔形成部分にて、各連毎に分離す
るリードフレームのトリミング装置で、シートからの連
状のリードフレームへの分離を、品質面でも問題なくで
きる装置を提供する。 【解決手段】 連状のリードフレーム部を上下から挟ん
で支持する押さえ部と、シートの連状のリードフレーム
部の外側領域部を、その先端を繋ぎ部に合わせて掴む掴
み部と、掴み部と連結部を介して一体となるスライダ部
と、スライダ部を駆動することにより掴み部を移動させ
る駆動部とを備えたもので、前記スライダ部は、駆動部
により駆動力を受け、繋ぎ部を中心とした円の円弧に沿
う所定の移動路にて、往復移動を行うもので、スライダ
を往復運動させることにより、繋ぎ部を中心として、前
記シートの外側領域部を円運動をさせて、繋ぎ部を切断
するものである。
支持されて連なった連状のリードフレームを、複数個、
繋ぎ部で支持した状態で、エッチングによる外形加工が
施された帯び状のシートないし枚葉のシートから、繋ぎ
部の薄肉部ないし貫通孔形成部分にて、各連毎に分離す
るリードフレームのトリミング装置で、シートからの連
状のリードフレームへの分離を、品質面でも問題なくで
きる装置を提供する。 【解決手段】 連状のリードフレーム部を上下から挟ん
で支持する押さえ部と、シートの連状のリードフレーム
部の外側領域部を、その先端を繋ぎ部に合わせて掴む掴
み部と、掴み部と連結部を介して一体となるスライダ部
と、スライダ部を駆動することにより掴み部を移動させ
る駆動部とを備えたもので、前記スライダ部は、駆動部
により駆動力を受け、繋ぎ部を中心とした円の円弧に沿
う所定の移動路にて、往復移動を行うもので、スライダ
を往復運動させることにより、繋ぎ部を中心として、前
記シートの外側領域部を円運動をさせて、繋ぎ部を切断
するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数個のリードフ
レームがフレーム等により支持されて連なった連状のリ
ードフレームを、複数個、繋ぎ部で支持した状態で、エ
ッチングによる外形加工が施された帯び状のシートない
し枚葉のシートから、各連状のリードフレームを分離す
るトリミング装置に関する。
レームがフレーム等により支持されて連なった連状のリ
ードフレームを、複数個、繋ぎ部で支持した状態で、エ
ッチングによる外形加工が施された帯び状のシートない
し枚葉のシートから、各連状のリードフレームを分離す
るトリミング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置は、電子機器の高性能
化と軽薄短小の傾向からＬＳＩはＡＳＩＣに代表される
ように、ますます高集積化、高機能化の一途をたどって
きている。多端子ＩＣ、特にゲートアレイやスタンダー
ドセルに代表されるＡＳＩＣあるいは、マイコン、ＤＳ
Ｐ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏ
ｒ）等をコストパーフォーマンス高くユーザに提供する
パッケージとしてリードフレームを用いたプラスチック
ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）が主流
となり、現在では３００ピンを超えるものまで実用化に
至ってきている。
化と軽薄短小の傾向からＬＳＩはＡＳＩＣに代表される
ように、ますます高集積化、高機能化の一途をたどって
きている。多端子ＩＣ、特にゲートアレイやスタンダー
ドセルに代表されるＡＳＩＣあるいは、マイコン、ＤＳ
Ｐ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏ
ｒ）等をコストパーフォーマンス高くユーザに提供する
パッケージとしてリードフレームを用いたプラスチック
ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）が主流
となり、現在では３００ピンを超えるものまで実用化に
至ってきている。
【０００３】ＱＦＰは、図６（ｂ）に示すリードフレー
ム６１０を用いたもので、図６（ａ）に示すように、ダ
イパッド６１１上に半導体素子６２０を搭載し、銀めっ
き等の表面処理がなされたインナーリード６１２先端部
と半導体素子６２０の端子６２１とをワイヤ６３０にて
結線し、封止用樹脂６４０で封止を行い、この後、ダム
バー部６１４をカットし、アウターリード６１３をガル
ウイング状に成形したものである。このように、ＱＦＰ
は、パッケージの４方向に外部回路と電気的に接続する
ためのアウターリード６１３を設けた構造で多端子化に
対応できるものとして開発されてきた。ここで用いられ
るリードフレーム６１０は、通常、４２合金（４２％ニ
ッケル−鉄合金）あるいは銅合金などの電気伝導率が高
く，且つ機械的強度が大きい金属材を素材とし、フォト
エッチング法かあるいはスタンピング法により、図６
（ｂ）に示すような形状に作製されていた。そして、通
常は、図６（ｃ）に示すように、図６（ｂ）に示すリー
ドフレーム６１０を複数個を面付けした状態でエッチン
グ等の外形加工を行った後、ワイヤボンディング等のた
めのメッキ処理や、半導体素子の搭載、樹脂封止を行
い、これを分離するという方法が採られている。尚、こ
こでは、図６（ｃ）に示すように、リードフレームを複
数個、面付けした状態のもの、即ち複数個のリードフレ
ームがフレーム等により支持されて連なった状態のもの
を連状のリードフレームと言い、この１組みを１連ない
し１フレームとも言う。
ム６１０を用いたもので、図６（ａ）に示すように、ダ
イパッド６１１上に半導体素子６２０を搭載し、銀めっ
き等の表面処理がなされたインナーリード６１２先端部
と半導体素子６２０の端子６２１とをワイヤ６３０にて
結線し、封止用樹脂６４０で封止を行い、この後、ダム
バー部６１４をカットし、アウターリード６１３をガル
ウイング状に成形したものである。このように、ＱＦＰ
は、パッケージの４方向に外部回路と電気的に接続する
ためのアウターリード６１３を設けた構造で多端子化に
対応できるものとして開発されてきた。ここで用いられ
るリードフレーム６１０は、通常、４２合金（４２％ニ
ッケル−鉄合金）あるいは銅合金などの電気伝導率が高
く，且つ機械的強度が大きい金属材を素材とし、フォト
エッチング法かあるいはスタンピング法により、図６
（ｂ）に示すような形状に作製されていた。そして、通
常は、図６（ｃ）に示すように、図６（ｂ）に示すリー
ドフレーム６１０を複数個を面付けした状態でエッチン
グ等の外形加工を行った後、ワイヤボンディング等のた
めのメッキ処理や、半導体素子の搭載、樹脂封止を行
い、これを分離するという方法が採られている。尚、こ
こでは、図６（ｃ）に示すように、リードフレームを複
数個、面付けした状態のもの、即ち複数個のリードフレ
ームがフレーム等により支持されて連なった状態のもの
を連状のリードフレームと言い、この１組みを１連ない
し１フレームとも言う。
【０００４】そして、エッチングによりリードフレーム
の外形加工を行う場合には、通常、帯び状のシートない
し枚葉のシートであるリードフレーム素材に、連状のリ
ードフレームを複数個、繋ぎ部で支持させた状態で、外
形加工が施され、各連状のリードフレームをシートか
ら、人手により分離する方法が採られていた。しかし、
人手による連状のリードフレームのシートからの分離作
業は、生産性の面、品質面でも問題が多く、近年、人手
作業に代わる機械化が検討されるようになり、図５に示
す装置を用いた連状のリードフレームのシートからの分
離方法も提案されている。図５に示す装置は、連状のリ
ードフレーム部５８０の上下を押さえ部５１０で押さ
え、連状のリードフレーム部の外側の領域をチャック５
２０でチャッキングし、これをエアシリンダ５４３で直
進上下運動させ、繋ぎ部にて疲労破壊させるものであ
る。しかし、この装置の場合、連状のリードフレーム部
の外側領域を滑らないようにチャック５２０でチャッキ
ングすると、リードフレームに張力がかかり、変形して
しまうことがあった。また、チャックによるチャッキン
グに代え、連状のリードフレーム部の外側領域をラフに
支持すると、外側領域と連状のリードフレーム部とが擦
れが起こり、連状のリードフレーム部のキズ発生の原因
となる。
の外形加工を行う場合には、通常、帯び状のシートない
し枚葉のシートであるリードフレーム素材に、連状のリ
ードフレームを複数個、繋ぎ部で支持させた状態で、外
形加工が施され、各連状のリードフレームをシートか
ら、人手により分離する方法が採られていた。しかし、
人手による連状のリードフレームのシートからの分離作
業は、生産性の面、品質面でも問題が多く、近年、人手
作業に代わる機械化が検討されるようになり、図５に示
す装置を用いた連状のリードフレームのシートからの分
離方法も提案されている。図５に示す装置は、連状のリ
ードフレーム部５８０の上下を押さえ部５１０で押さ
え、連状のリードフレーム部の外側の領域をチャック５
２０でチャッキングし、これをエアシリンダ５４３で直
進上下運動させ、繋ぎ部にて疲労破壊させるものであ
る。しかし、この装置の場合、連状のリードフレーム部
の外側領域を滑らないようにチャック５２０でチャッキ
ングすると、リードフレームに張力がかかり、変形して
しまうことがあった。また、チャックによるチャッキン
グに代え、連状のリードフレーム部の外側領域をラフに
支持すると、外側領域と連状のリードフレーム部とが擦
れが起こり、連状のリードフレーム部のキズ発生の原因
となる。
【０００５】また、複雑なカム機構を用い、連状のリー
ドフレーム部の外側の領域を支持し、繋ぎ部にて回転運
動させ、連状のリードフレーム部をシートから分離させ
る方法も提案されているが、この方法の場合、装置が複
雑になるばかりでなく、繋ぎ部近辺に回転の軸が必要
で、シートの供給等にも困難が伴うという問題がある。
ドフレーム部の外側の領域を支持し、繋ぎ部にて回転運
動させ、連状のリードフレーム部をシートから分離させ
る方法も提案されているが、この方法の場合、装置が複
雑になるばかりでなく、繋ぎ部近辺に回転の軸が必要
で、シートの供給等にも困難が伴うという問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、帯び状
のシートないし枚葉のシートであるリードフレーム素材
に、連状のリードフレームを複数個、繋ぎ部で支持させ
た状態で、エッチングによる外形加工が施されたシート
から、各連状のリードフレームを分離する場合には、種
々問題があり、その対応が求められていた。本発明は、
このような状況のもと、連状のリードフレームを複数
個、繋ぎ部で支持した状態で、エッチングによる外形加
工が施された帯び状のシートないし枚葉のシートから、
繋ぎ部の薄肉部ないし貫通孔形成部分にて、各連毎に分
離するリードフレームのトリミング装置で、シートから
の連状のリードフレームへの分離を、品質面でも問題な
くできるトリミング装置を提供しようとするものであ
る。
のシートないし枚葉のシートであるリードフレーム素材
に、連状のリードフレームを複数個、繋ぎ部で支持させ
た状態で、エッチングによる外形加工が施されたシート
から、各連状のリードフレームを分離する場合には、種
々問題があり、その対応が求められていた。本発明は、
このような状況のもと、連状のリードフレームを複数
個、繋ぎ部で支持した状態で、エッチングによる外形加
工が施された帯び状のシートないし枚葉のシートから、
繋ぎ部の薄肉部ないし貫通孔形成部分にて、各連毎に分
離するリードフレームのトリミング装置で、シートから
の連状のリードフレームへの分離を、品質面でも問題な
くできるトリミング装置を提供しようとするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のリードフレーム
のトリミング装置は、複数個のリードフレームがフレー
ム等により支持されて連なった連状のリードフレーム
を、複数個、繋ぎ部で支持した状態で、エッチングによ
る外形加工が施された帯び状のシートないし枚葉のシー
トから、繋ぎ部にて、各連状のリードレーム毎に分離す
るリードフレームのトリミング装置であって、連状のリ
ードフレーム部を上下から挟んで支持する押さえ部と、
シートの連状のリードフレーム部の外側領域部を、その
先端を繋ぎ部に合わせて掴む掴み部と、掴み部と連結部
を介して一体となるスライダ部と、スライダ部を駆動す
ることにより掴み部を移動させる駆動部とを備えたもの
で、前記スライダ部は、駆動部により駆動力を受け、繋
ぎ部を中心とした円の円弧に沿う所定の移動路にて、往
復移動を行うもので、スライダを往復運動させることに
より、繋ぎ部を中心として、前記シートの外側領域部を
円運動をさせて、繋ぎ部を切断するものであることを特
徴とするものである。そして、上記におけるスライダ
は、円弧状のレールを移動路とし、移動路にスライダの
一部を嵌合させて移動するもので、且つ、スライダへの
駆動部からの駆動力は、直進駆動する駆動部に固定され
た治具の直進方向に垂直な面からの力によるものである
ことを特徴とするものであり、その駆動源をエアシリン
ダとするものであることを特徴とするものである。そし
て、上記における押さえ部は、連状のリードフレーム部
を下から支持するテーブルと上から押さえる押さえ板か
らなることを特徴とするものである。そしてまた、上記
における掴み部は、吸着ないしチャッキングにて掴むも
のであることを特徴とするものである。尚、ここでは、
後述する図４（ｂ）に示すように、単位リードフレーム
１８５を複数個、面付けした状態のもの、即ち複数個の
単位リードフレームがフレーム１８６等により支持され
て連なった状態のものを連状のリードフレームと言い、
この１組みを１連ないし１フレームとも言う。
のトリミング装置は、複数個のリードフレームがフレー
ム等により支持されて連なった連状のリードフレーム
を、複数個、繋ぎ部で支持した状態で、エッチングによ
る外形加工が施された帯び状のシートないし枚葉のシー
トから、繋ぎ部にて、各連状のリードレーム毎に分離す
るリードフレームのトリミング装置であって、連状のリ
ードフレーム部を上下から挟んで支持する押さえ部と、
シートの連状のリードフレーム部の外側領域部を、その
先端を繋ぎ部に合わせて掴む掴み部と、掴み部と連結部
を介して一体となるスライダ部と、スライダ部を駆動す
ることにより掴み部を移動させる駆動部とを備えたもの
で、前記スライダ部は、駆動部により駆動力を受け、繋
ぎ部を中心とした円の円弧に沿う所定の移動路にて、往
復移動を行うもので、スライダを往復運動させることに
より、繋ぎ部を中心として、前記シートの外側領域部を
円運動をさせて、繋ぎ部を切断するものであることを特
徴とするものである。そして、上記におけるスライダ
は、円弧状のレールを移動路とし、移動路にスライダの
一部を嵌合させて移動するもので、且つ、スライダへの
駆動部からの駆動力は、直進駆動する駆動部に固定され
た治具の直進方向に垂直な面からの力によるものである
ことを特徴とするものであり、その駆動源をエアシリン
ダとするものであることを特徴とするものである。そし
て、上記における押さえ部は、連状のリードフレーム部
を下から支持するテーブルと上から押さえる押さえ板か
らなることを特徴とするものである。そしてまた、上記
における掴み部は、吸着ないしチャッキングにて掴むも
のであることを特徴とするものである。尚、ここでは、
後述する図４（ｂ）に示すように、単位リードフレーム
１８５を複数個、面付けした状態のもの、即ち複数個の
単位リードフレームがフレーム１８６等により支持され
て連なった状態のものを連状のリードフレームと言い、
この１組みを１連ないし１フレームとも言う。
【０００８】
【作用】本発明のリードフレームのトリミング装置は、
このような構成にすることにより、帯び状のシートない
し枚葉のシートであるリードフレーム素材に、連状のリ
ードフレームを複数個、繋ぎ部で支持させた状態で、エ
ッチングによる外形加工が施されたシートから、各連状
のリードフレームを分離する装置で、分離を、品質面で
も問題なくできる装置の提供を可能としている。詳しく
は、変形やキズの発生の少ないトリミングを、簡単な構
成の装置で行うことができるものとしている。特に、本
発明のトリミング装置においては、掴み部とスライダを
繋ぐ連結部（ステーとも言う）の形状は、自由に採れる
ので、掴み部の位置や形状を幅広い自由度をもって変更
でき、シートの連状のリードフレームの外側領域（枠部
とも言う）の狭い場合においても、トリミングを容易に
できるものとしている。具体的には、連状のリードフレ
ーム部を上下から挟んで支持する押さえ部と、シートの
連状のリードフレーム部の外側領域部を、その先端を繋
ぎ部に合わせて掴む掴み部と、掴み部と連結部を介して
一体となるスライダ部と、スライダ部を駆動することに
より掴み部を移動させる駆動部とを備えたもので、前記
スライダ部は、駆動部により駆動力を受け、繋ぎ部を中
心とした円の円弧に沿う所定の移動路にて、往復移動を
行うもので、スライダを往復運動させることにより、繋
ぎ部を中心として、前記シートの外側領域部を円運動を
させて、繋ぎ部を切断するものであることにより、これ
を達成している。更に具体的には、スライダは、円弧状
のレールを移動路とし、移動路にスライダの一部を嵌合
させて移動するもので、且つ、スライダへの駆動部から
の駆動力は、直進駆動する駆動部に固定された治具の直
進方向に垂直な面からの力によるものであることによ
り、これを達成している。特に、駆動部がエアシリンダ
を駆動源とするものであることにより、装置構成を比較
的簡単に実施できるものとしている。そして、移動機構
部は、エアシリンダ等の直進運動を、スライダに連動さ
せ、繋ぎ部分を中心とした円運動に変えるものであるこ
とにより、円運動を比較的簡単な構造で達成できるもの
としている。押さえ部としては、連状のリードフレーム
部を下から支持するテーブルと上から押さえる押さえ板
からなるものが挙げられ、掴み部としては、吸着ないし
チャッキングにて掴むものが挙げられるが、これに限定
されない。また、押さえ部に、処理する各種サイズの連
状のリードフレーム合わせることができるサイズ調整機
構を設けることで、各種サイズの連状のリードフレーム
の分離に対応できる。尚、サイズ調整機構による調整の
際、トリミング装置の各部は、これに合わせて、一体的
に移動できるものが好ましい。
このような構成にすることにより、帯び状のシートない
し枚葉のシートであるリードフレーム素材に、連状のリ
ードフレームを複数個、繋ぎ部で支持させた状態で、エ
ッチングによる外形加工が施されたシートから、各連状
のリードフレームを分離する装置で、分離を、品質面で
も問題なくできる装置の提供を可能としている。詳しく
は、変形やキズの発生の少ないトリミングを、簡単な構
成の装置で行うことができるものとしている。特に、本
発明のトリミング装置においては、掴み部とスライダを
繋ぐ連結部（ステーとも言う）の形状は、自由に採れる
ので、掴み部の位置や形状を幅広い自由度をもって変更
でき、シートの連状のリードフレームの外側領域（枠部
とも言う）の狭い場合においても、トリミングを容易に
できるものとしている。具体的には、連状のリードフレ
ーム部を上下から挟んで支持する押さえ部と、シートの
連状のリードフレーム部の外側領域部を、その先端を繋
ぎ部に合わせて掴む掴み部と、掴み部と連結部を介して
一体となるスライダ部と、スライダ部を駆動することに
より掴み部を移動させる駆動部とを備えたもので、前記
スライダ部は、駆動部により駆動力を受け、繋ぎ部を中
心とした円の円弧に沿う所定の移動路にて、往復移動を
行うもので、スライダを往復運動させることにより、繋
ぎ部を中心として、前記シートの外側領域部を円運動を
させて、繋ぎ部を切断するものであることにより、これ
を達成している。更に具体的には、スライダは、円弧状
のレールを移動路とし、移動路にスライダの一部を嵌合
させて移動するもので、且つ、スライダへの駆動部から
の駆動力は、直進駆動する駆動部に固定された治具の直
進方向に垂直な面からの力によるものであることによ
り、これを達成している。特に、駆動部がエアシリンダ
を駆動源とするものであることにより、装置構成を比較
的簡単に実施できるものとしている。そして、移動機構
部は、エアシリンダ等の直進運動を、スライダに連動さ
せ、繋ぎ部分を中心とした円運動に変えるものであるこ
とにより、円運動を比較的簡単な構造で達成できるもの
としている。押さえ部としては、連状のリードフレーム
部を下から支持するテーブルと上から押さえる押さえ板
からなるものが挙げられ、掴み部としては、吸着ないし
チャッキングにて掴むものが挙げられるが、これに限定
されない。また、押さえ部に、処理する各種サイズの連
状のリードフレーム合わせることができるサイズ調整機
構を設けることで、各種サイズの連状のリードフレーム
の分離に対応できる。尚、サイズ調整機構による調整の
際、トリミング装置の各部は、これに合わせて、一体的
に移動できるものが好ましい。
【０００９】
【実施の形態】本発明のリードフレームのトリミング装
置を図にそって説明する。図１（ａ）は本発明のリード
フレームのトリミング装置の実施の形態の１例を簡略化
して示した断面図で、図１（ｂ）（イ）はスライダ部の
拡大図で、図１（ｂ）（ロ）は図１（ｂ）（イ）のＡ５
−Ａ６における断面図で、図２は押さえ部と、連結部の
みを分かり易く示した斜視図で、図３はトリミング装置
の動作を説明するための図である。そして、図４はリー
ドフレームのエッチング加工状態を示した図であり、図
４（ａ）は、エッチングによる外形加工が施された帯び
状のシートの一部ないし枚葉のシートの状態を示した平
面図で、図４（ｂ）は連状のリードフレーム部と繋ぎ部
のみを示した図で、図４（ｃ）（イ）は繋ぎ部を拡大し
て示した図で、図４（ｃ）（ロ）は、図４（ｃ）（イ）
のＢ１−Ｂ２における断面図で、図４（ｄ）は繋ぎ部の
他の例を示した図である。尚、図１、図３においては、
分かり易く示すため、図で左側のみ駆動部を示してお
り、右側のスライダ部を駆動する駆動部は省いて示して
ある。また、図１中、Ａ０〜Ａ３は各部の動く方向を示
している。図１、図２、図３、図４中、１００はトリミ
ング装置、１１０は押さえ部、１１３はテーブル、１１
５は押さえ板、１２０は掴み部、１２１は吸着部、１２
５は連結部、１３０はスライダ部、１３１はスライダ駆
動用軸、１３３はレール嵌合部、１４０は駆動部、１４
３はエアシリンダ、１４４は軸、１４５は固定部、１４
７は滑り機構部、１４７Ａは孔部、１４７Ｓは面、１６
０は移動路（レール）、１７０はエッチング加工シー
ト、１８０は連状のリードフレーム、１８５は単位リー
ドフレーム、１８６はフレーム、１８７は繋ぎ部、１８
７Ａは薄肉部、１８９は外側領域部（枠部）である。図
１に示すトリミング装置１００は、図４に示す連状のリ
ードフレームを複数個、繋ぎ部１８７で支持した状態
で、エッチングによる外形加工が施されたシート１７０
から、繋ぎ部１８７の薄肉部１８７Ａにて、各連毎に分
離するリードフレームのトリミング装置である。図４
（ａ）に示すように、連状のリードフレーム１８０は、
その短辺側にのみ繋ぎ部１８７を設けており、図１に示
す装置は、図４の一点鎖線部領域を押さえ、繋ぎ部１８
７を分離して、個々の連状のリードフレーム１８０を得
るものである。 そして、図１に示す装置１００は、図
４に示すシート１７０の、連状のリードフレーム部１８
０を上下から挟んで支持する押さえ部１１０と、シート
の連状のリードフレーム部の外側領域部１８９を、その
先端を繋ぎ部１８７に合わせて掴む掴み部１２０と、掴
み部１２０と連結部１２５を介して一体となるスライダ
部１３０と、スライダ部１３０を駆動することにより掴
み部１２０を移動させる駆動部１４０とを備えたもの
で、スライダ部１３０は、駆動部１４０により駆動力を
受け、繋ぎ部１８７を中心とした円の円弧に沿う所定の
移動路（レール）１６０にて、往復移動を行うもので、
スライダ部１３０を往復運動させることにより、繋ぎ部
１８７を中心として、シート１７０の外側領域部１８９
を円運動をさせて、繋ぎ部１８７を切断するものであ
る。
置を図にそって説明する。図１（ａ）は本発明のリード
フレームのトリミング装置の実施の形態の１例を簡略化
して示した断面図で、図１（ｂ）（イ）はスライダ部の
拡大図で、図１（ｂ）（ロ）は図１（ｂ）（イ）のＡ５
−Ａ６における断面図で、図２は押さえ部と、連結部の
みを分かり易く示した斜視図で、図３はトリミング装置
の動作を説明するための図である。そして、図４はリー
ドフレームのエッチング加工状態を示した図であり、図
４（ａ）は、エッチングによる外形加工が施された帯び
状のシートの一部ないし枚葉のシートの状態を示した平
面図で、図４（ｂ）は連状のリードフレーム部と繋ぎ部
のみを示した図で、図４（ｃ）（イ）は繋ぎ部を拡大し
て示した図で、図４（ｃ）（ロ）は、図４（ｃ）（イ）
のＢ１−Ｂ２における断面図で、図４（ｄ）は繋ぎ部の
他の例を示した図である。尚、図１、図３においては、
分かり易く示すため、図で左側のみ駆動部を示してお
り、右側のスライダ部を駆動する駆動部は省いて示して
ある。また、図１中、Ａ０〜Ａ３は各部の動く方向を示
している。図１、図２、図３、図４中、１００はトリミ
ング装置、１１０は押さえ部、１１３はテーブル、１１
５は押さえ板、１２０は掴み部、１２１は吸着部、１２
５は連結部、１３０はスライダ部、１３１はスライダ駆
動用軸、１３３はレール嵌合部、１４０は駆動部、１４
３はエアシリンダ、１４４は軸、１４５は固定部、１４
７は滑り機構部、１４７Ａは孔部、１４７Ｓは面、１６
０は移動路（レール）、１７０はエッチング加工シー
ト、１８０は連状のリードフレーム、１８５は単位リー
ドフレーム、１８６はフレーム、１８７は繋ぎ部、１８
７Ａは薄肉部、１８９は外側領域部（枠部）である。図
１に示すトリミング装置１００は、図４に示す連状のリ
ードフレームを複数個、繋ぎ部１８７で支持した状態
で、エッチングによる外形加工が施されたシート１７０
から、繋ぎ部１８７の薄肉部１８７Ａにて、各連毎に分
離するリードフレームのトリミング装置である。図４
（ａ）に示すように、連状のリードフレーム１８０は、
その短辺側にのみ繋ぎ部１８７を設けており、図１に示
す装置は、図４の一点鎖線部領域を押さえ、繋ぎ部１８
７を分離して、個々の連状のリードフレーム１８０を得
るものである。 そして、図１に示す装置１００は、図
４に示すシート１７０の、連状のリードフレーム部１８
０を上下から挟んで支持する押さえ部１１０と、シート
の連状のリードフレーム部の外側領域部１８９を、その
先端を繋ぎ部１８７に合わせて掴む掴み部１２０と、掴
み部１２０と連結部１２５を介して一体となるスライダ
部１３０と、スライダ部１３０を駆動することにより掴
み部１２０を移動させる駆動部１４０とを備えたもの
で、スライダ部１３０は、駆動部１４０により駆動力を
受け、繋ぎ部１８７を中心とした円の円弧に沿う所定の
移動路（レール）１６０にて、往復移動を行うもので、
スライダ部１３０を往復運動させることにより、繋ぎ部
１８７を中心として、シート１７０の外側領域部１８９
を円運動をさせて、繋ぎ部１８７を切断するものであ
る。
【００１０】図１に示す装置１００においては、押さえ
部１１０は、連状のリードフレーム部１８０を下から支
持するテーブル１１３と上から押さえる押さえ板１１５
からなる。また、押さえ部１１０に、処理する各種サイ
ズの連状のリードフレームに合わせることができるサイ
ズ調整機構（図示していない）を設けることで、各種サ
イズの連状のリードフレームの分離に対応できる。サイ
ズ調整機構による調整の際、トリミング装置の各部は、
これに合わせて、一体的に移動できることが好ましい。
例えば、テーブル１１３と一体となって、各部が動くよ
うにする。
部１１０は、連状のリードフレーム部１８０を下から支
持するテーブル１１３と上から押さえる押さえ板１１５
からなる。また、押さえ部１１０に、処理する各種サイ
ズの連状のリードフレームに合わせることができるサイ
ズ調整機構（図示していない）を設けることで、各種サ
イズの連状のリードフレームの分離に対応できる。サイ
ズ調整機構による調整の際、トリミング装置の各部は、
これに合わせて、一体的に移動できることが好ましい。
例えば、テーブル１１３と一体となって、各部が動くよ
うにする。
【００１１】また、図１に示す装置１００においては、
掴み部１２０は、シート１７０の外側領域１８９の面に
沿い、且つ繋ぎ部１８７に合わせ、吸着部１２１にて吸
着して掴むものであるが、チャッキングにて掴む方式と
しても良い。スライダ部１３０と掴み部１２０は、図１
に示すような形状の連結部１２５により一体となってい
るが、これに限定はされない。要は、掴み部１２０スラ
イダ部１３０との位置関係が常に保たれるように、剛性
をなす構造ならば良いが、移動させるため軽い方がより
良い。
掴み部１２０は、シート１７０の外側領域１８９の面に
沿い、且つ繋ぎ部１８７に合わせ、吸着部１２１にて吸
着して掴むものであるが、チャッキングにて掴む方式と
しても良い。スライダ部１３０と掴み部１２０は、図１
に示すような形状の連結部１２５により一体となってい
るが、これに限定はされない。要は、掴み部１２０スラ
イダ部１３０との位置関係が常に保たれるように、剛性
をなす構造ならば良いが、移動させるため軽い方がより
良い。
【００１２】また、図１に示す装置１００においては、
駆動部１４０は、エアシリンダ１４３の直進運動を、軸
１４４に固定された固定部１４５を介してスライダ部１
３０のスライダ駆動用軸１３１に伝達して、繋ぎ部１８
７を中心とした円運動に変えるものである。スライダ部
１３０は、図１（ｂ）（ロ）に示すように、円弧状のレ
ールを移動路１６０とし、移動路に嵌合部１３３にて嵌
合しながら移動するものであり、スライダ部１３０のス
ライダ駆動用軸１３１への駆動部１４０からの駆動力
は、駆動部１４０の直進移動する軸１４３に固定された
固定部に保持された滑り機構部１４７にて伝達される。
詳しくは、滑り機構部１４７の、エアシリンダ１４３の
直進方向に垂直な面１４７Ｓからの力によるものであ
る。そして、スライダ駆動用軸１３１は、滑り機構部１
４７の孔部１４７Ａ内を上下方向に滑り移動できる。
駆動部１４０は、エアシリンダ１４３の直進運動を、軸
１４４に固定された固定部１４５を介してスライダ部１
３０のスライダ駆動用軸１３１に伝達して、繋ぎ部１８
７を中心とした円運動に変えるものである。スライダ部
１３０は、図１（ｂ）（ロ）に示すように、円弧状のレ
ールを移動路１６０とし、移動路に嵌合部１３３にて嵌
合しながら移動するものであり、スライダ部１３０のス
ライダ駆動用軸１３１への駆動部１４０からの駆動力
は、駆動部１４０の直進移動する軸１４３に固定された
固定部に保持された滑り機構部１４７にて伝達される。
詳しくは、滑り機構部１４７の、エアシリンダ１４３の
直進方向に垂直な面１４７Ｓからの力によるものであ
る。そして、スライダ駆動用軸１３１は、滑り機構部１
４７の孔部１４７Ａ内を上下方向に滑り移動できる。
【００１３】ここで、図１に示す装置１００の動作を図
３を用いて、簡単に説明しておく。先ず、掴み部１２０
にて、シート１７０の外側領域部（枠部）１８９を掴
み、その先端を繋ぎ部１８７の薄肉部１８７Ａにほぼ合
わせた状態にする。（図３（ａ））次いで、エアシリン
ダ１４３の移動に伴い、固定部１４５を直線的にの位
置に移動させると、図３（ｂ）に示すようになる。ま
た、エアシリンダ１４３の移動に伴い、固定部１４５を
直線的にの位置に移動させると、図３（ｃ）に示すよ
うになる。掴み部１２０とスライダ部１３０との距離が
ほぼ一定であるため、固定部１４５の位置が、、の
位置にあるときは、いずれも、駆動部１４０の軸１４４
に固定された固定部１４５に保持された滑り機構部１４
７の孔部１４７Ａ内におけるスライダ駆動用軸１３１の
位置は、固定部１４５の位置がである場合の、図３
（ａ）に示す位置よりも上方向に孔部１４７Ａ内を滑り
移動する。このように、スライダ部１３０のスライダ駆
動用軸１３１は、駆動部１４０の固定部１４５に保持固
定された滑り機構部１４７により、いつでも繋ぎ部１８
７からの距離がほぼ一定となるように、その位置を変化
させる。そして、固定部１４５のエアシリンダ１４３の
直進移動とともに、滑り部機構部１４７の孔部１４７Ａ
の、直進移動と直交する面１４７Ｓから移動方向に力を
受け、移動路（レール）１６０に沿い、スライダ部１３
０を動かすものである。この際、移動路（レール）１６
０を所定の位置に設けておくことにより、掴み部１２
０、連結部１２５、スライダ部１３０を一体として円運
動として動かし、結果、スライダ部１３０の掴み部１２
０部に掴まれた、シート１７０の外側領域１８９を、繋
ぎ部１８７を中心とする円運動として動かすものであ
る。
３を用いて、簡単に説明しておく。先ず、掴み部１２０
にて、シート１７０の外側領域部（枠部）１８９を掴
み、その先端を繋ぎ部１８７の薄肉部１８７Ａにほぼ合
わせた状態にする。（図３（ａ））次いで、エアシリン
ダ１４３の移動に伴い、固定部１４５を直線的にの位
置に移動させると、図３（ｂ）に示すようになる。ま
た、エアシリンダ１４３の移動に伴い、固定部１４５を
直線的にの位置に移動させると、図３（ｃ）に示すよ
うになる。掴み部１２０とスライダ部１３０との距離が
ほぼ一定であるため、固定部１４５の位置が、、の
位置にあるときは、いずれも、駆動部１４０の軸１４４
に固定された固定部１４５に保持された滑り機構部１４
７の孔部１４７Ａ内におけるスライダ駆動用軸１３１の
位置は、固定部１４５の位置がである場合の、図３
（ａ）に示す位置よりも上方向に孔部１４７Ａ内を滑り
移動する。このように、スライダ部１３０のスライダ駆
動用軸１３１は、駆動部１４０の固定部１４５に保持固
定された滑り機構部１４７により、いつでも繋ぎ部１８
７からの距離がほぼ一定となるように、その位置を変化
させる。そして、固定部１４５のエアシリンダ１４３の
直進移動とともに、滑り部機構部１４７の孔部１４７Ａ
の、直進移動と直交する面１４７Ｓから移動方向に力を
受け、移動路（レール）１６０に沿い、スライダ部１３
０を動かすものである。この際、移動路（レール）１６
０を所定の位置に設けておくことにより、掴み部１２
０、連結部１２５、スライダ部１３０を一体として円運
動として動かし、結果、スライダ部１３０の掴み部１２
０部に掴まれた、シート１７０の外側領域１８９を、繋
ぎ部１８７を中心とする円運動として動かすものであ
る。
【００１４】尚、図４に示すリードフレームをエッチン
グ加工したシート１７０における、連状のリードフレー
ム１８０をシートに保持固定させる繋ぎ部１８７の形状
は、図４（ｃ）、図４（ｄ）に限定されない。例えば、
加工するシート１７０の板厚に応じて、あるいは加工す
るリードフレームのサイズに対応して、図４（ｃ）に示
す繋ぎ部１８７の幅Ｗを長くしたり、短かくしても良い
し、場合によっては、繋ぎ部同志が連結するようにして
もよい。また、薄肉部１８７Ａの形状や孔部１８７Ｂの
形状についても、これに限定されない。
グ加工したシート１７０における、連状のリードフレー
ム１８０をシートに保持固定させる繋ぎ部１８７の形状
は、図４（ｃ）、図４（ｄ）に限定されない。例えば、
加工するシート１７０の板厚に応じて、あるいは加工す
るリードフレームのサイズに対応して、図４（ｃ）に示
す繋ぎ部１８７の幅Ｗを長くしたり、短かくしても良い
し、場合によっては、繋ぎ部同志が連結するようにして
もよい。また、薄肉部１８７Ａの形状や孔部１８７Ｂの
形状についても、これに限定されない。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、上記のように、帯び状のシー
トないし枚葉のシートであるリードフレーム素材に、連
状のリードフレームを複数個、繋ぎ部で支持させた状態
で、エッチングによる外形加工が施されたシートから、
各連状のリードフレームを分離する場合において、分離
を、品質面でも問題なくできるトリミング装置の提供を
可能とするものである。
トないし枚葉のシートであるリードフレーム素材に、連
状のリードフレームを複数個、繋ぎ部で支持させた状態
で、エッチングによる外形加工が施されたシートから、
各連状のリードフレームを分離する場合において、分離
を、品質面でも問題なくできるトリミング装置の提供を
可能とするものである。
【図１】本発明のトリミング装置の実施の形態の１例の
概略構成図
概略構成図
【図２】トリミング装置の押さえ部、連結部を分かり易
く示した斜視図
く示した斜視図
【図３】トリミング装置の動作を説明するための図
【図４】リードフレームの加工形態を説明するための図
【図５】従来の分離装置を示した断面図
【図６】半導体装置とリードフレームの図
１００ トリミング装置 １１０ 押さえ部 １１３ テーブル １１５ 押さえ板 １２０ 掴み部 １２５ 連結部 １３０ スライダ部 １３１ スライダ駆動用軸 １３３ 嵌合部 １４０ 駆動部 １４３ エアシリンダ １４４ 軸 １４５ 固定部 １４７ 滑り機構部 １４７Ａ 孔部 １４７Ｓ 面 １６０ 移動路（レール） １７０ エッチング加工シート １８０ 連状のリードフレーム １８５ 単位リードフレーム １８６ フレーム １８７ 繋ぎ部 １８７Ａ 薄肉部 １８７Ｂ 孔部 １８９ 外側領域部（枠部） ５１０ 押さえ部 ５２０ チャック ５４３ エアシリンダ ５８０ 連状のリードフレーム
部 ６１０ リードフレーム ６１１ ダイパッド ６１２ インナーリード ６１３ アウターリード ６１４ ダムバー ６１５ フレーム（枠）部 ６２０ 半導体素子 ６２１ 端子（パッド） ６３０ ワイヤ ６４０ 封止樹脂
部 ６１０ リードフレーム ６１１ ダイパッド ６１２ インナーリード ６１３ アウターリード ６１４ ダムバー ６１５ フレーム（枠）部 ６２０ 半導体素子 ６２１ 端子（パッド） ６３０ ワイヤ ６４０ 封止樹脂
Claims (5)
- 【請求項１】複数個のリードフレームがフレーム等によ
り支持されて連なった連状のリードフレームを、複数
個、繋ぎ部で支持した状態で、エッチングによる外形加
工が施された帯び状のシートないし枚葉のシートから、
繋ぎ部にて、各連状のリードレーム毎に分離するリード
フレームのトリミング装置であって、連状のリードフレ
ーム部を上下から挟んで支持する押さえ部と、シートの
連状のリードフレーム部の外側領域部を、その先端を繋
ぎ部に合わせて掴む掴み部と、掴み部と連結部を介して
一体となるスライダ部と、スライダ部を駆動することに
より掴み部を移動させる駆動部とを備えたもので、前記
スライダ部は、駆動部により駆動力を受け、繋ぎ部を中
心とした円の円弧に沿う所定の移動路にて、往復移動を
行うもので、スライダを往復運動させることにより、繋
ぎ部を中心として、前記シートの外側領域部を円運動を
させて、繋ぎ部を切断するものであることを特徴とする
リードフレームのトリミング装置。 - 【請求項２】 請求項１におけるスライダは、円弧状の
レールを移動路とし、移動路にスライダの一部を嵌合さ
せて移動するもので、且つ、スライダへの駆動部からの
駆動力は、直進駆動する駆動部に固定された治具の直進
方向に垂直な面からの力によるものであることを特徴と
するリードフレームのトリミング装置。 - 【請求項３】 請求項１ないし２における駆動部は、エ
アシリンダを駆動源とするものであることを特徴とする
リードフレームのトリミング装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし３における押さえ部は、
連状のリードフレーム部を下から支持するテーブルと上
から押さえる押さえ板からなることを特徴とするリード
フレームのトリミング装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし４における掴み部は、吸
着ないしチャッキングにて掴むものであることを特徴と
するリードフレームのトリミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9188909A JPH1126676A (ja) | 1997-07-01 | 1997-07-01 | リードフレームのトリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9188909A JPH1126676A (ja) | 1997-07-01 | 1997-07-01 | リードフレームのトリミング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1126676A true JPH1126676A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16232019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9188909A Withdrawn JPH1126676A (ja) | 1997-07-01 | 1997-07-01 | リードフレームのトリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1126676A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007301617A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Nippon Steel Corp | 圧着素材分離装置及び圧着素材分離方法 |
| JP2011091076A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
| KR20180090027A (ko) * | 2017-02-02 | 2018-08-10 | 서인원 | 연성회로기판용 보강판 자동 테이핑장치 |
| JP2020019189A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | キョーラク株式会社 | 構造体の製造方法 |
-
1997
- 1997-07-01 JP JP9188909A patent/JPH1126676A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007301617A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Nippon Steel Corp | 圧着素材分離装置及び圧着素材分離方法 |
| JP2011091076A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
| KR20180090027A (ko) * | 2017-02-02 | 2018-08-10 | 서인원 | 연성회로기판용 보강판 자동 테이핑장치 |
| JP2020019189A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | キョーラク株式会社 | 構造体の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040907 |