JP2011091076A - 電子部品の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】タイバーを所望の位置で確実に切断することができる電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】金属部材は、本体部30とタイバー24,26と枠部22a,22bとが一体に形成されている。基板12が取り付けられた本体部30が固定され、枠部22a,22bが切断装置の一対の把持部52,54の間に配置された状態で、把持部52,54が移動して、タイバー24,26及び枠部22a,22bを、本体部30とタイバー24,26との接続部分58s,58tを中心に繰り返し折り曲げて、金属材料を接続部分58s,58tで切断する。一方の把持部52又は54が枠部22a,22bの一方主面22s又は22tを押圧するとき、他方の把持部54又は52が枠部22a,22bの他方主面22t又は22sから離れているようにする。
【選択図】図8

Description

本発明は、電子部品の製造方法に関し、詳しくは、金属キャップ等の金属部品が取り付けられた電子部品を製造する方法に関する。
従来、金属キャップ等の金属部品が取り付けられた電子部品は、金属部品になる本体部にタイバーが接続された金属部材を用い、タイバーを本体部から切断することにより製造されている。
タイバーの切断方法としては、例えば図10の概略図に示す切断装置112を用いる方法が知られている。すなわち、切断装置112の封止樹脂層クランプ部113に、樹脂封止型半導体装置の封止樹脂層が固定される。そして、封止樹脂層から突出しているタイバー107の上下面が、切断装置112のチャック部114の把持部108の間に挟み込まれた状態で、チャック部114が垂直方向に上下移動して、タイバー114を振る。これによって、応力集中による疲労破壊を発生させて、封止樹脂層からタイバー107を分離する(例えば、特許文献1参照)。
特開平7-30032号公報
しかし、このような切断方法には、次のような問題点がある。
すなわち、タイバーを切断するとき、チャック部の把持部がタイバーを完全につかんで固定し、チャック部の把持部とタイバーとの間にすべりが生じないようになると、把持部の垂直運動がそのままタイバーに伝わる。この場合、タイバーが、例えば把持部に固定されている部分の近傍部分で変形すると、タイバーを所望の位置で切断できず、不要なタイバーの切れ端が最終製品側に残ってしまう。
また、切断装置のチャック部が、タイバーの上下面に対して垂直な方向に往復運動するとき、チャック部の把持部の上下移動に伴うタイバーの振れの中心位置が変動し、常に所定の切断位置を中心としてタイバーが振れるとは限らない。そのため、タイバーを所望の位置で切断できないことがある。
本発明は、かかる実情に鑑み、タイバーを所望の位置で確実に切断することができる電子部品の製造方法を提供しようとするものである。
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品の製造方法を提供する。
電子部品の製造方法は、基板と、該基板に取り付けられた金属部品とを備える電子部品を製造する方法である。電子部品の製造方法は、前記金属部品になる本体部と、一端に前記本体部が接続されたタイバーと、前記タイバーの他端に接続された枠部とを備え、金属の板材を用いて一体に形成された金属部材の前記本体部に前記基板が取り付けられた状態で、切断装置を用いて、前記金属部材の前記本体部と前記タイバー及び前記枠部とを相対的に移動させて、前記金属部材の前記本体部と前記タイバー及び前記枠部とを分離する切断工程を含む。前記切断装置は、前記金属部材の前記枠部の一方主面に対向するように配置される第1把持部と、前記金属部材の前記枠部の他方主面に対向するように配置される第2把持部とを備える。前記切断工程において、前記切断装置は、前記切断装置の前記第2把持部が前記金属部材の前記枠部の前記他方主面から離れた状態で、前記切断装置の前記第1把持部が前記金属部材の前記枠部の前記一方主面を押圧するように、前記金属部材の前記本体部に対して相対的に移動する第1動作と、前記切断装置の前記第1把持部が前記金属部材の前記枠部の前記一方主面から離れた状態で、前記切断装置の前記第2把持部が前記金属部材の前記枠部の前記他方主面を押圧するように、前記金属部材の前記本体部に対して相対的に移動する第2動作とを繰り返すことにより、前記金属部材を、前記金属部材の前記本体部と前記タイバーの前記一端とを接続する接続部分で繰り返し折り曲げ、該接続部分で前記金属部材を分離する。
上記方法によれば、切断工程において、切断装置は、第1把持部又は第2把持部の一方の把持部のみが金属部材の枠部を押圧するように移動する。このとき、金属部材の枠部は、切断装置の他方の把持部に拘束されることなく、切断装置の一方の把持部に沿って移動することができる。金属部材の本体部とタイバーの一端との接続部分の断面をタイバーの他の部分の断面よりも小さくしておくなどの方法で接続部分の強度が他の部分よりも弱くなるようにしておくと、金属部材の本体部とタイバーの一端との接続部分に応力が集中して変形が生じるので、金属部材は、切断装置の第1動作及び第2動作によって、本体部とタイバーの一端との接続部分を支点として折れ曲がる。第1動作と第2動作の繰り返しにより、接続部分での折れ曲がりを繰り返すと、金属部材を接続部分で切断することができる。
上記方法によれば、金属部材の枠部が切断装置の第1把持部と第2把持部との間に固定される場合に比べ、金属部材が本体部とタイバーの一端との接続部を支点に折れ曲がるようにすることが簡単であり、金属部材が本体部とタイバーの一端との接続部で確実に切断されるようにすることができる。
好ましくは、前記切断工程において、前記切断装置は、前記第1動作及び前記第2動作のときに、前記切断装置の前記第1把持部と前記第2把持部との間隔が前記金属部材の前記枠部の前記一方主面と前記他方主面との間の厚みよりも大きくなるように前記切断装置の前記第1把持部と前記第2把持部とが離間して配置された状態を保ちながら、前記切断装置の前記第1把持部と前記第2把持部とが移動する。
この場合、第1動作及び第2動作のときに、切断装置の第1把持部又は第2把持部の一方の把持部により金属部材が押圧され、他方の把持部に拘束されることなく、金属部材が本体部とタイバーの一端との接続部分で折れ曲がり、切断されるようにすることができる。例えば第1動作及び第2動作のときに切断装置の第1把持部と第2把持部とが間隔を一定に保ったまま互いに相対移動することなく一体に移動するように構成すればよく、切断装置の構成を簡単にすることができる。
好ましくは、前記切断装置の前記第1把持部は、前記切断工程における前記第1動作のときに、前記切断装置の前記第1把持部が前記金属部材の前記枠部の前記一方主面を押圧する第1押圧面の面方向が、前記金属部材の前記本体部と前記タイバーの前記一端との前記接続部分を向くように、傾きながら移動する。前記切断装置の前記第2把持部は、前記切断工程における前記第2動作のときに、前記切断装置の前記第2把持部が前記金属部材の前記枠部の前記他方主面を押圧する第2押圧面の面方向が、前記金属部材の前記本体部と前記タイバーの前記一端との前記接続部分を向くように、傾きながら移動する。
この場合、金属部材を折り曲げるときの支点が、金属部材の本体部とタイバーの一端との接続部分からずれないようにすることできるので、金属部材を本体部とタイバーの一端との接続部分で確実に折れ曲げて切断することができる。
好ましくは、前記金属部材は、間隔を設けて一列に配置された複数の本体部と、前記本体部の列に沿って配置された少なくとも一つの前記枠部と、前記本体部と前記枠部との間に配置され前記本体部と前記枠部とをそれぞれ接続する複数の前記タイバーとを備える。 前記切断工程において、前記切断装置を用いて、前記本体部が間隔を設けて一列に配置された状態を保ったまま、前記金属部材を、前記金属部材の複数の前記本体部と複数の前記タイバーの前記一端との複数の前記接続部分で同時に繰り返し折り曲げて、該接続部分で前記金属部材を分離する。
この場合、切断工程で金属部材から複数の本体部を一括して切断することができるので、効率がよい。
好ましくは、前記金属部品は、主壁部と、該主壁部の周縁の一部にのみ接続された側壁部とを有し、前記主壁部が前記基板の一方主面を覆い、前記側壁部が少なくとも前記主壁部と前記基板の前記一方主面との間に延在する金属キャップである。前記金属部材は、前記金属キャップの前記主壁部になる部分と前記タイバーとが同一面となるように形成され、前記金属キャップの前記主壁部の前記周縁のうち前記側壁部が接続される前記一部以外の他の一部になる部分に、前記タイバーの前記一端が接続される前記接続部分が形成される。
この場合、金属部材の切断部分は、金属キャップの主壁部の周縁の一部となり、主壁部と側壁部とが接続された部分に隣接して形成される。金属キャップの主壁部と側壁部とが接続された部分は折れ曲がっているため、主壁部とタイバーの一端との接続部分に比べて、剛性が高い。そのため、金属部材は接続部分での切断が容易になり、切断残りなどの発生を抑えることができる。
本発明によれば、タイバーを所望の位置で確実に切断することができる。
電子部品の断面図である。(実施例1) 電子部品の斜視図である。(実施例1) 金属部材の斜視図である。(実施例1) 切断装置の構成を示す概略図である。(実施例1) 切断装置の動作を示す斜視図である。(実施例1) 切断装置の動作を示す斜視図である。(実施例1) 切断装置の動作を示す斜視図である。(実施例1) 切断装置の動作を示す要部拡大図である。(実施例1) 切断装置の動作を示す要部拡大図である。(比較例) 切断装置を示す概略図である。(従来例)
以下、本発明の実施の形態について、図1〜図9を参照しながら説明する。
<実施例1> 実施例1の電子部品10の製造方法について、図1〜図8を参照しながら説明する。
図1は、電子部品10の断面図である。図2は、電子部品10を上下反転した状態の斜視図である。図1及び図2に示すように、電子部品10は、電子部品16,18が搭載された基板12に、金属部品である金属キャップ30が取り付けられたモジュール部品である。
基板12は、樹脂やセラミック等の絶縁材料を用いて形成されている。基板12は、単層基板でも、内部に電気回路が形成された多層基板でもよい。基板12の一方主面である上面12bには、半導体チップ16や、コンデンサ18等の電子部品が搭載されている。基板12の他方主面である下面12aには、図2に示すように、外部端子電極14が形成されている。外部端子電極14は、電子部品10が実装される不図示の他の回路基板の端子に、はんだバンプ等を介して接続される。
図1及び図2に示すように、金属キャップ30は、基板12の上面12bに実装された半導体チップ16やコンデンサ18等の電子部品を覆うように、基板12に取り付けられる。金属キャップ30は、基板12の上面12bを覆う矩形の主壁部32と、主壁部32の対向する2対の辺に沿ってそれぞれ形成された2対の側壁部34,36とを有する。主壁部32の対向する一対の辺に沿って形成された一対の側壁部34の上縁34tに基板12の上面12bが当接し、主壁部32の対向する他の一対の辺に沿って形成された一対の側壁部36の間に基板12が挿入され、側壁部36の上端36tから延長された延長部38の先端38tと、基板12の上面12bに形成された外部端子電極14a,14bとの間がはんだ40で接合されている。
金属キャップ30は、図2において斜線で示すタイバー24,26や枠部22a,22bとともに金属部材20に一体に形成された後、切断される。
すなわち、金属キャップ30は、図3の斜視図に示す形状の金属部材20から切断されることによって、形成される。図3に示すように、金属部材20は、互いに平行に配置された一対の帯状の一対の枠部22a,22bの間に、複数の金属キャップ30になる(以下、「本体部30」という。)と、本体部30と枠部22a,22bとを接続するタイバー24,26とを備えている。金属部材20は、例えば、フープと呼ばれる金属の板材に金型を用いて打ち抜き加工や折り曲げ加工などを行うことにより、枠部22a,22bとタイバー24,26と本体部30とが一体に形成される。
枠部22a,22bには、スプロケットを用いて金属部材20を搬送するため、貫通穴23が所定の間隔で形成されている。タイバー24,26は、一端24t,26tが本体部30に接続され、他端24s,26sが枠部22a,22bに接続されている。タイバー24,26の一端24t,26tは、金属キャップになる本体部30の主壁部32の周縁のうち、側壁部34,36に連続する部分以外の部分に接続されている。タイバー24,26の幅は、一端24t,26tから他端24s,26sに向かうにつれて次第に大きくなるように形成されている。切断部分の断面を小さくして切断を容易にするため、タイバー24,26の一端25には、不図示のノッチ溝が形成されている。
次に、電子部品10を製造する方法について、図4〜図8を参照しながら、説明する。
電子部品10の製造には、図4の概略図に示す連続処理システム70を用いる。
図4に示すように、コイル状に巻かれた金属部材20が所定形状に加工された後、矢印20aで示すように、ケーシング部72、はんだ塗布部74、リフロー部76、反転・印字部78、切断部79の順に搬送される。金属部材20の搬送と並行して、矢印92で示すように、電子部品16,18が実装された状態の基板12を収納したパレット90が供給される。
ケーシング部72において、パレット90から取り出された基板12が、金属部材20の本体部30に上から挿入される。空のパレット90は、矢印94で示すように、排出される。
本体部30に基板12が挿入された金属部材20は、はんだ塗布部74において所定位置にはんだが塗布され、リフロー部76において加熱されて、金属部材20の本体部30に基板12が接合される。
本体部30に基板12が接合された金属部材20は、反転・印字部78において、矢印20bで示すように上下が反転され、金属部材20の本体部30の主壁部32が上を向いた状態で主壁部32にレーザー印字される。レーザー印字された金属部材は、切断部79において、破線20cで示すように所定の長さに切断される。これにより、金属部材20から短冊状の切断片21が形成される。
金属部材20から切断された切断片21は、切断装置80で加工される。すなわち、切断装置80は、矢印20dで示すように、切断部79から切断テーブル48に切断片21を搬送し、切断テーブル48において、切断片21を本体部30とタイバー24,26との接続部分で切断して、基板12に金属キャップ30が取り付けられた電子部品10の個片を形成する。電子部品10の個片は、切断装置80により、矢印20eで示すように搬送されてパレット60に収納される。
電子部品10が満杯になったパレット60は、矢印20fで示すように、次工程82に搬送される。
次に、切断装置80の動作について、図5〜図8を参照しながら、さらに説明する。
図5〜図7は、切断装置80の動作を示す斜視図である。図8は、切断装置の動作を示す要部断面図である。
切断部79において所定の長さに切断された金属部材20の切断片21は、図5に示すように、吸着ヘッド40の本体部42の下部に設けられた樹脂製の複数の吸着ノズル44により、切断片21の複数の本体部30の天面30aがそれぞれ吸着された状態で搬送され、切断テーブル48に設けられた緩衝部材46の上に固定される。
すなわち、図8に示すように、吸着ヘッド40は、吸着ノズル44に吸着している切断片21を、切断テーブル48に設けられた緩衝部材46の上に載せ、吸着ノズル44で切断片21の本体部30の天面30aを上から押圧する。これによって、切断片21のうち、切断後に電子部品10の個片を構成する本体部30及び基板12が、緩衝部材46と吸着ヘッド40の吸着ノズル44との間に挟まれた状態で固定される。緩衝部材46は、切断片21が載置されるときの衝撃を吸収する。
次いで、固定されている切断片21の両側から、一対の把持部52,54を有するチャック部50a,50bが、一対の把持部52,54の間が大きく開いた状態で接近し、把持部52,54の間に切断片21の枠部22a,22bが挿入されると停止する。
次いで、チャック部50a,50bの把持部52,54の間の間隔が狭くなる。このとき、把持部52,54の間の間隔が小さくなるだけであり、把持部52,54の上下面52s,52tの間には、十分に大きい空間56が形成されている。すなわち、上側の把持部52の下面52sと切断片21の枠部22a,22bの上面22sとの間に間隔が設けられ、かつ、下側の把持部54の上面54sと切断片21の枠部22a,22bの下面22tとの間に間隔が設けられるように、把持部52,54の上下面52s,54s間の間隔は、切断片21の枠部22a,22bの上下面22s,22t間の厚みよりも十分に大きい。
次いで、チャック部50a,50bは、把持部52の下面52sと把持部54の上面54sとの間隔を保ったまま、図5及び図8において矢印58a,58bで示すように所定の振れ角範囲内で移動する。このとき、チャック部50a,50bは、切断片21の本体部30とタイバー24,26の一端24t,26tとの接続部分58s,58tを中心に、傾きながら移動する。
すなわち、チャック部50a,50bが図8において下に向かって移動する第1動作のとき、チャック部50a,50bは、上側の把持部52の下面52sの面方向が接続部分58s,58tを向くように傾き角を変えながら、移動する。一方、チャック部50a,50bが図8において上に向かって移動する第2動作のとき、チャック部50a,50bは、下側の把持部54の上面54sの面方向が接続部分58s,58tを向くように傾き角を変えながら、移動する。
第1動作のとき、上側の把持部52の下面52sが、切断片21の枠部22a,22bを押し下げる。第2動作のとき、下側の把持部54の上面54sが切断片21の枠部22a,22bを押し上げる。これにより、切断片21のタイバー24,26及び枠部22a,22bは、接続部分58s,58tを中心に折れ曲がる。第1動作と第2動作を繰り返して切断片21の折り曲げを繰り返し、接続部分58s,58tにおいて応力が集中して疲労破壊が発生すると、切断片21は、接続部分58s,58tで切断される。
チャック部50a,50bの上側の把持部52の下面52sと下側の把持部54の上面54sとの間隔は、チャック部50a,50bが上下に移動するときに、チャック部50a,50bの上側の把持部52の下面52s又は下側の把持部54の上面54sのいずれか一方のみが、切断片21の枠部22a,22bに接するように、切断片21の枠部22a,22bの厚み、すなわち上面22sと下面22tとの間の距離よりも十分に大きくする。
すなわち、チャック部50a,50bが図8において下向きに移動する第1動作のとき、チャック部50a,50bの下側の把持部54の上面54sが切断片21の枠部22a,22bの下面22tから離れた状態で、チャック部50a,50bの上側の把持部52の下面52sが、切断片21の枠部22a,22bの上面22sを押し下げ、一方、チャック部50a,50bが図8において上向きに移動する第2動作のとき、チャック部50a,50bの上側の把持部52の下面52sが切断片21の枠部22a,22bの上面22sから離れた状態で、チャック部50a,50bの下側の把持部54の上面54sが、切断片21の枠部22a,22bの下面22tを押し上げるようにする。
例えば、上下面22s,22t間の厚みが80〜100μmの金属部材20の枠部22a,22bに対して、チャック部50a,50bの上側の把持部52の下面52sと下側の把持部54の上面54sとの間隔を600μmとし、上下に合計500μm程度の隙間が設けられるようにする。
このようにすると、タイバー24,26及び枠部22a,22bは、一方の把持部の移動に伴って折れ曲がるときに、他方の把持部から何ら拘束を受けないため、切断テーブル48と吸着ノズル44との間に固定され、切断後に電子部品10の個片になる部分12,30に加わる荷重が小さくなる。そのため、切断後の電子部品10の信頼性が向上する。
また、切断片21の枠部22a,22bの上下面22s,22tの両方が同時にチャック部50a,50bで拘束されることがないため、切断テーブル48と吸着ノズル44との間に固定されている部分12,30は、チャック部50a,50bの移動に伴って持ち上げられない。そのため、切断片の折り曲げ角度を大きくすることができ、図10のように垂直運動で切断する場合よりも大きな応力を切断点に加えることができ、効率よく切断することができる。
なお、第1動作及び第2動作のときに把持部52,54の上下面52s,54s間の間隔が変動しても構わないが、第1動作及び第2動作のときに把持部52,54の上下面52s,54s間の間隔を一定に保つようにすれば、チャック部50a,50bの構成が簡単になる。
<比較例> 図9は、比較例についての要部断面図である。比較例では、図9において実線で示すように、チャック部50p,50qの間に、金属部材の枠部22a,22bを完全に挟み込んでいる。すなわち、チャック部50p,50qの下面50sは枠部22a,22bの上面22sに当接し、かつチャック部50p,50qの上面50tは枠部22a,22bの下面22tに当接している。
このように、チャック部50p,50qの間に切断片21の枠部22a,22bが挟持され固定される場合には、チャック部50p,50qの移動に伴うタイバー24,26の回転中心58p,58qを、所望の切断位置であるタイバー24,26と本体部30との接続部分58s,58tに一致させることは、非常に困難である。タイバー24,26の回転中心58p,58qと所望の切断位置58s,58tとが一致しないと、タイバー24,26は、例えば図9において破線58xで囲んだ部分のように湾曲してしまい、切断までにチャック部50p,50qの往復移動を繰り返す時間が長くなったり、タイバー24,26を所望位置で切断できずに、不要なタイバーの切れ端が残ったりする。
これに対し、実施例のようにすると、切断に要する時間が長くなることはなく、確実に所望位置で切断することができる。また、不要なタイバーの切れ端が残ることがない。
<まとめ> 以上に説明したように、把持部の上下面と枠部の上下面との間に十分な隙間を設けた状態で、チャック部を移動させることにより、タイバーを所望の位置で確実に切断することができる。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
例えば、同一の金属部材に寸法形状が異なる複数の本体部を形成し、本体部に応じて異なる基板を取り付けた後に、金属部材を切断して、種類が異なる電子部品を製造するようにしてもよい。このとき、把持部の上下面と枠部の上下面との間に十分な隙間を設けておくことによって、金属材料の本体部とタイバーとが切断される箇所が一列に並んでいなくても、一括して切断することが可能である。
また、金属部材の枠部を押圧する把持部の押圧面の面方向が把持部の所望の切断部分を向くように、把持部が傾きながら移動する代わりに、把持部が一定の傾きを保ったまま移動するようにしてもよい。この場合においても、把持部の上下面と枠部の上下面との間に十分な隙間を設けておき、一方の把持部が金属部材の枠部を押圧するときに、他方の把持部が金属部材の枠部から離れるようにすれば、金属部材を所望位置で折り曲げて切断することが可能である。
10 電子部品
12 基板
20 金属部材
21 切断片
22a,22b 枠部
22s 上面(一方主面)
22t 下面(他方主面)
24,26 タイバー
24t,26t 一端
30 本体部、金属キャップ
32 主壁部
34,36 側壁部
52 把持部
52s 下面(押圧面)
54 把持部
54s 上面(押圧面)
58s,58t 切断位置
58s,58t 接続部分
80 切断装置

Claims (5)

  1. 基板と、該基板に取り付けられた金属部品とを備える電子部品を製造する方法であって、
    前記金属部品になる本体部と、一端に前記本体が接続されたタイバーと、前記タイバーの他端に接続された枠部とを備え、金属の板材を用いて一体に形成された金属部材の前記本体部に前記基板が取り付けられた状態で、切断装置を用いて、前記金属部材の前記本体部と前記タイバー及び前記枠部とを相対的に移動させて、前記金属部材の前記本体部と前記タイバー及び前記枠部とを分離する切断工程を含み、
    前記切断装置は、前記金属部材の前記枠部の一方主面に対向するように配置される第1把持部と、前記金属部材の前記枠部の他方主面に対向するように配置される第2把持部とを備え、
    前記切断工程において、前記切断装置は、前記切断装置の前記第2把持部が前記金属部材の前記枠部の前記他方主面から離れた状態で、前記切断装置の前記第1把持部が前記金属部材の前記枠部の前記一方主面を押圧するように、前記金属部材の前記本体部に対して相対的に移動する第1動作と、前記切断装置の前記第1把持部が前記金属部材の前記枠部の前記一方主面から離れた状態で、前記切断装置の前記第2把持部が前記金属部材の前記枠部の前記他方主面を押圧するように、前記金属部材の前記本体部に対して相対的に移動する第2動作とを繰り返すことにより、前記金属部材を、前記金属部材の前記本体部と前記タイバーの前記一端とを接続する接続部分で繰り返し折り曲げて、該接続部分で前記金属部材を分離することを特徴とする、電子部品の製造方法。
  2. 前記切断工程において、前記切断装置は、前記第1動作及び前記第2動作のときに、前記切断装置の前記第1把持部と前記第2把持部との間隔が前記金属部材の前記枠部の前記一方主面と前記他方主面との間の厚みよりも大きくなるように前記切断装置の前記第1把持部と前記第2把持部とが離間して配置された状態を保ちながら、前記切断装置の前記第1把持部と前記第2把持部とが移動することを特徴とする、請求項1に記載の電子部品の製造方法。
  3. 前記切断装置の前記第1把持部は、前記切断工程における前記第1動作のときに、前記切断装置の前記第1把持部が前記金属部材の前記枠部の前記一方主面を押圧する第1押圧面の面方向が前記金属部材の前記本体部と前記タイバーの前記一端との前記接続部分を向くように傾きながら、移動し、
    前記切断装置の前記第2把持部は、前記切断工程における前記第2動作のときに、前記切断装置の前記第2把持部が前記金属部材の前記枠部の前記他方主面を押圧する第2押圧面の面方向が前記金属部材の前記本体部と前記タイバーの前記一端との前記接続部分を向くように傾きながら、移動することを特徴とする、請求項1又は2に記載の電子部品の製造方法。
  4. 前記金属部材は、間隔を設けて一列に配置された複数の本体部と、前記本体部の列に沿って配置された少なくとも一つの前記枠部と、前記本体部と前記枠部との間に配置され前記本体部と前記枠部とをそれぞれ接続する複数の前記タイバーとを備え、
    前記切断工程において、前記切断装置を用いて、前記本体部が間隔を設けて一列に配置された状態を保ったまま、前記金属部材を、前記金属部材の複数の前記本体部と複数の前記タイバーの前記一端との複数の前記接続部分で同時に繰り返し折り曲げて、該接続部分で前記金属部材を分離することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一つに記載の電子部品の製造方法。
  5. 前記金属部品は、主壁部と該主壁部の周縁の一部にのみ接続された側壁部とを有し、前記主壁部が前記基板の一方主面を覆い、前記側壁部が少なくとも前記主壁部と前記基板の前記一方主面との間に延在する金属キャップであり、
    前記金属部材は、前記金属キャップの前記主壁部になる部分と前記タイバーとが同一面となるように形成され、前記金属キャップの前記主壁部の前記周縁のうち前記側壁部が接続される前記一部以外の他の一部になる部分に、前記タイバーの前記一端が接続される前記接続部分が形成されることを特徴とする、請求項1乃至4に記載の電子部品の製造方法。
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