JPH11251269A

JPH11251269A - スライスベース剥離装置

Info

Publication number: JPH11251269A
Application number: JP5239398A
Authority: JP
Inventors: Satoru Minami; 悟南; Kenichi Nakaura; 健一中浦
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1998-03-04
Filing date: 1998-03-04
Publication date: 1999-09-17
Anticipated expiration: 2018-03-04
Also published as: JP4022672B2

Abstract

(57)【要約】【課題】種類の異なる複数のインゴットを切断機で多数
枚同時に切断して得られたウェーハを各種類ごとにスラ
イスベースから剥離することができるスライスベース剥
離装置の提供。【解決手段】スライスベースＳａ〜Ｓｃに接着されたウ
ェーハＷａ〜Ｗｃを熱水槽１２内にセットする。そのセ
ットしたウェーハＷａ〜Ｗｃの各ロット間をロット検出
ユニット１６４によって検出し、仕切板１３４Ａ〜１３
４Ｃを挿入してゆく。挿入作業が終了したのち、剥離装
置１４によって順次ウェーハＷａ〜Ｗｃをスライスベー
スＳａ〜Ｓｃから剥離してゆく。そして、その剥離過程
で挿入した仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃを検出することに
より、剥離するロットの切り替わりを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はスライスベース剥離
装置に係り、特に種類の異なる複数本のインゴットをワ
イヤソーで多数枚同時切断して得られたウェーハを、そ
のウェーハが接着されているスライスベースから１枚ず
つ剥離するスライスベース剥離装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インゴットの切断装置の一つとしてワイ
ヤソーがある。ワイヤソーは、高速走行するワイヤ列に
インゴットを押し付け、その接触部にスラリを供給する
ことにより、ワイヤによる一種のラッピング作用によっ
てインゴットを多数枚のウェーハに切断する。

【０００３】ところで、ワイヤソーでインゴットを切断
する場合、通常は一回の切断に対して一本のインゴット
を切断するようにしているが、近年、その切断効率を上
げるために、マルチ方式と呼ばれる一度に複数本のイン
ゴットを同時に切断する切断方法が採用されるようにな
っている。このマルチ方式は、図１６に示すように、マ
ウンティングプレートＭに複数のインゴットＩａ、Ｉ
ｂ、Ｉｃを直列して接着し、この状態でマウンティング
プレートＭをワイヤソーに装着することによって各イン
ゴットＩａ、Ｉｂ、Ｉｃを同時に切断するものである。
この方法によれば、複数本のインゴットを一度にまとめ
て切断することができるため、効率的にインゴットを切
断することができるという利点がある。

【０００４】ところで、前記の如くワイヤソーでインゴ
ットを切断した場合、その切断されたウェーハは全てス
ライスベースに接着された状態で切り出される。このた
め、切断終了後にウェーハをスライスベースから剥離す
る必要があるが、このワイヤソーで切断されたウェーハ
をスライスベースから剥離する方法としては、従来二つ
の方法が用いられていた。一つはスライスベースに接着
されているウェーハを熱水中に浸漬させ、熱軟化による
自然剥離によってウェーハを一度に全部剥離する方法で
あり、他の一つは、ウェーハをパットで吸着し、そのパ
ットの揺動動作によってウェーハを一枚ずつ剥離する方
法である。そして、この剥離方法は、マルチ切断された
ウェーハを剥離する場合も同様であり、上記いずれかの
方法が用いられていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
剥離方法によってマルチ切断されたウェーハを剥離する
と、ウェーハが一度に或いは連続的に剥離されてしまう
ため、各種類ごとにウェーハを回収するということがで
きず、種類の異なるウェーハが混入して後工程に問題が
生じるという欠点があった。

【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、種類の異なる複数のインゴットを切断機で多
数枚同時に切断して得られたウェーハを各種類ごとにス
ライスベースから剥離することができるスライスベース
剥離装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、直列して配置された複数のインゴットを
切断機で多数枚同時に切断して得られたウェーハを、そ
のウェーハが接着されているスライスベースから一枚ず
つ剥離して枚葉化するスライスベース剥離装置におい
て、熱水が貯留される熱水槽と、前記ウェーハに接着さ
れているスライスベースを前記熱水中に浸漬させた状態
で保持する保持手段と、前記熱水槽に沿って配設された
ガイド部材と、前記ガイド部材に沿って走行する走行体
と、前記走行体に設けられ、前記熱水中に浸漬されてい
るスライスベースからウェーハを一枚ずつ剥離する剥離
手段と、前記ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、
前記走行体に押されて移動する複数の移動体と、前記各
移動体に設けられ、ウェーハのロット間に挿入される仕
切板と、前記各移動体と接続されることにより、前記各
移動体を前記ガイド部材に沿って移動させる移動体駆動
手段と、前記移動体駆動手段で前記各移動体を前記ガイ
ド部材に沿って移動させる過程で、前記スライスベース
に接着されているウェーハのロット間を検出するロット
検出手段と、前記剥離手段で前記ウェーハを剥離してゆ
く過程で、前記ウェーハのロット間に挿入された各仕切
板を検出する仕切板検出手段と、前記ロット検出手段か
ら出力される検出信号に基づいて前記仕切板を前記ウェ
ーハのロット間に挿入するとともに、前記仕切板検出手
段から出力される検出信号に基づいて前記仕切板を前記
ウェーハの間から退避させる仕切板挿入手段と、前記各
移動体と前記移動体駆動手段とを接続するとともに、前
記ロット検出手段から出力される検出信号に基づいて、
その接続を解除する接続手段と、からなることを特徴と
する。

【０００８】本発明の作用は、次の通りである。まず、
ウェーハが接着されたスライスベースを保持手段に保持
させる。これにより、スライスベースが熱水中に浸漬さ
れる。次に、移動体駆動手段と各移動体とを接続手段に
よって接続し、この状態で移動体駆動手段を駆動して各
移動体をガイド部材に沿って移動させる。この移動体が
ガイド部材に沿って移動すると、その移動過程において
前記スライスベースに接着されているウェーハのロット
間がロット検出手段によって検出される。仕切板挿入手
段は、このロット検出手段から出力される検出信号に基
づいて各仕切板を各ウェーハのロット間に挿入してゆ
く。また、この仕切板の挿入作業と同時に、接続手段は
ロット検出手段から出力される検出信号に基づいて、挿
入された仕切板が設けられた移動体と移動体駆動手段と
の接続を解除してゆく。以上の操作により、各ウェーハ
のロット間に仕切板が挿入される。そして、この仕切板
の挿入作業が終了したのち、剥離手段による剥離作業が
開始される。

【０００９】剥離手段によってスライスベースに接着さ
れたウェーハを順次剥離してゆくと、各ウェーハのロッ
ト間に挿入しておいた仕切板が現れる。この現れた仕切
板は仕切板検出手段によって検出され、これによってロ
ットの切り替わりを検出することができる。前記のごと
く仕切板が検出されると、仕切板挿入手段は仕切板をウ
ェーハから退避させる。そして、同様の手順で次のロッ
トのウェーハをスライスベースから順次剥離してゆく。

【００１０】なお、退避させた仕切板が設けられている
移動体は、走行体に押されながらガイド部材に沿って移
動してゆく。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るスライスベース剥離装置の好ましい実施の形態につい
て詳説する。なお、本実施の形態のスライスベース剥離
装置で剥離するウェーハは、図１６に示すように、種類
の異なる３本のインゴットＩａ、Ｉｂ、Ｉｃをワイヤソ
ーでマルチ切断したウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを対象と
する。このウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃは、おのおのスラ
イスベースＳａ、Ｓｂ、Ｓｃを介してマウンティングプ
レートＭに接着保持されており、このマウンティングプ
レートＭに接着保持された状態でワイヤソーから搬送さ
れてくる。

【００１２】図１、図２は、それぞれ本発明に係るスラ
イスベース剥離装置の実施の形態の構成を示す平面図と
正面図である。同図に示すように、前記スライスベース
剥離装置１０は、熱水槽１２、剥離装置１４、仕切装置
１６及び受渡装置１８を主要装置として構成されてい
る。まず、熱水槽１２の構成について説明する。熱水槽
１２は矩形の箱型に形成されており、その内部に熱水２
０が貯留されている。スライスベースＳａ〜Ｓｃから剥
離するウェーハＷａ〜Ｗｃは、この熱水槽１２内に設け
られたワーク保持部２２にセットされる。そして、この
ワーク保持部２２にセットされることにより、ウェーハ
Ｗａ〜Ｗｃに接着されたスライスベースＳａ〜Ｓｃが熱
水２０中に浸漬される。

【００１３】ワーク保持部２２は、図３及び図４に示す
ように、マウンティングプレートＭが載置されるテーブ
ル２４と、そのテーブル２４上に載置されたマウンティ
ングプレートＭをクランプするクランプユニット２６と
から構成されている。クランプユニット２６は、前記テ
ーブル２４上に立設された一対のストッパーピン２８、
２８と、そのストッパーピン２８、２８と対向するよう
に設置された一対のクランパ３０、３０とから構成され
ている。

【００１４】一対のクランパ３０、３０は共に回転軸３
２に固着されており、該回転軸３２は、両端部が熱水槽
１２に設けられた軸受３４、３４に回動自在に支持され
ている。また、この回転軸３２には図示しないロータリ
ーアクチュエータが連結されており、該ロータリーアク
チュエータを駆動することにより回動する。そして、こ
の回転軸３２が回動することにより、クランパ３０、３
０が揺動する。

【００１５】前記のごとく構成されたワーク保持部２２
にウェーハＷａ〜Ｗｃをセットする場合は、次の通りで
ある。まず、各ウェーハＷａ〜ＷｃのスライスベースＳ
ａ〜Ｓｃが接着されているマウンティングプレートＭを
ワーク保持部２２のテーブル２４上に載置する。次い
で、図示しないロータリーアクチュエータを駆動して回
転軸３２を回転させる。これにより、クランパ３０、３
０がストッパーピン２８、２８に向かって揺動し、この
揺動したクランパ３０、３０によってマウンティングプ
レートＭがストッパーピン２８、２８に押し当てられて
挟持される。この結果、ウェーハＷａ〜Ｗｃが所定位置
に位置決めされてセットされる。

【００１６】次に、剥離装置１４の構成について説明す
る。剥離装置１４は、熱水槽１２内にセットされたウェ
ーハＷａ〜ＷｃをスライスベースＳａ〜Ｓｃから一枚ず
つ剥離する装置である。図１及び図２に示すように、前
記熱水槽１２の右側部近傍には、熱水槽１２に沿って一
対の第１ガイドレール３６、３６が配設されている。こ
の第１ガイドレール３６、３６上には、リニアガイド３
８、３８を介して第１スライドテーブル（走行体）４０
がスライド自在に支持されている。

【００１７】前記第１スライドテーブル４０の下面には
ナット部材４２が固着されており、該ナット部材４２
は、前記一対の第１ガイドレール３６、３６の間に配設
されたネジ棒４４に螺合されている。このネジ棒４４の
両端部は、軸受部材４６、４６によって回動自在に支持
されており、また、このネジ棒４４の一方端には、第１
ガイドレール３６、３６の一方端に設置された第１送り
モータ４８が連結されている。ネジ棒４８は、この第１
送りモータ４８を駆動することにより回動し、この結
果、第１スライドテーブル４０が第１ガイドレール３
６、３６に沿って移動する。

【００１８】前記第１スライドテーブル４０上には、ス
ライスベースＳａ〜ＳｃからウェーハＷａ〜Ｗｃを剥離
するための剥離ユニット５０が設けられている。この剥
離ユニット５０の構成は、以下のとおりである。図５〜
図７に示すように、第１スライドテーブル４０上には、
軸受ブロック５２が設けられており、該軸受ブロック５
２には、揺動フレーム５４の基端部に設けられた支軸５
６が揺動自在に支持されている。

【００１９】また、前記第１スライドテーブル４０上に
はブラケット５８を介して揺動用ロータリーアクチュエ
ータ６０が設置されており、該揺動用ロータリーアクチ
ュエータ６０の出力軸には駆動ギア６２が固着されてい
る。この駆動ギア６２には、従動ギア６４が噛合されて
おり、該従動ギア６４は回転軸６８の先端部に固着され
ている。回転軸６８は軸受部材７０によって回動自在に
支持されており、該軸受部材７０は、前記揺動用ロータ
リーアクチュエータ６０に固定された支持プレート７２
に支持されている。

【００２０】前記従動ギア６４には、円盤状に形成され
た回転プレート７４が同軸上に固着されており、該回転
プレート７４には、コネクティングロッド７６の一方端
がピン７８によって連結されている。そして、このコネ
クティングロッド７６の他方端は、前記揺動フレーム５
４にピン８０によって連結されている。以上の構成によ
り、前記揺動フレーム５４は揺動用ロータリーアクチュ
エータ６０を駆動することにより、その基端部に設けら
れた支軸５６を中心に揺動する。すなわち、前記揺動用
ロータリーアクチュエータ６０を駆動すると回転プレー
ト７２が１８０°の範囲で往復回転し、その往復回転が
コネクティングロッド７６を介して揺動フレーム５４に
伝達され、揺動フレーム５４が揺動する。

【００２１】前記揺動フレーム５４の上端部には、軸受
ユニット８２が設けられており、該軸受ユニット８２に
は二本の回転軸８６、８８が回動自在に支持されてい
る。この各回転軸８６、８８の先端部には、それぞれア
ーム９０、９２が固着されており、該アーム９０、９２
の先端は、互いにピン９４、９６を介してパット支持プ
レート９８に連結されている。パット支持プレート９８
には、所定の間隔をもって一対の剥離用吸着パット１０
０、１００が配設されており、この一対の剥離用吸着パ
ット１００、１００によってウェーハＷａ〜Ｗｃが真空
吸着されて保持される。

【００２２】また、前記揺動フレーム５４の背面部に
は、支持プレート１０２が取り付けられており、該支持
プレート１０２には昇降用ロータリーアクチュエータ１
０４が設置されている。この昇降用ロータリーアクチュ
エータ１０４の出力軸には、扇形状に形成された回転プ
レート１０６が固着されており、該回転プレート１０６
にはコネクティングロッド１０８の一方端がピン１１０
によって連結されている。そして、このコネクティング
ロッド１１０の他方端は、一方のアーム９０にピン１１
２によって連結されている。

【００２３】以上の構成により、前記パット支持プレー
ト９８に設けられた剥離用吸着パット１００、１００
は、昇降用ロータリーアクチュエータ１０４を駆動する
ことにより昇降移動する。すなわち、前記昇降用ロータ
リーアクチュエータ１０４を駆動すると回転プレート１
０６が１８０°の範囲で往復回転し、その往復回転がコ
ネクティングロッド１０８を介してアーム９０に伝達さ
れ、一方のアーム９０が上下方向に往復角運動を行う。
このアーム９０が往復角運動を行うと、他方側のアーム
９２も揺りテコとなって往復角運動を行い、この結果、
パット支持フレーム９８に設けられた剥離用吸着パット
１００、１００が昇降移動する。

【００２４】このように、ウェーハＷａ〜Ｗｃを吸着保
持する剥離用吸着パット１００、１００は、昇降用ロー
タリーアクチュエータ１０４を駆動することにより昇降
移動する。また、この剥離用吸着パット１００、１００
が設けられているパット支持フレーム９８は、アーム９
０、９２を介して揺動フレーム５４に接続されているの
で、揺動フレーム５４が揺動することにより前後方向に
揺動する。

【００２５】すなわち、剥離用吸着パット１００、１０
０は、揺動用ロータリーアクチュエータ６０を駆動する
ことにより前後方向に揺動し、昇降用ロータリーアクチ
ュエータ１０４を駆動することにより昇降移動する。そ
して、この剥離用吸着パット１００、１００でスライス
ベースＳａからウェーハＷａを剥離するときは、次のよ
うにして行う。

【００２６】まず、熱水槽１２内にセットされたウェー
ハＷａの端面を剥離用吸着パット１００、１００で吸着
保持する。次いで、揺動用ロータリーアクチュエータ６
０を駆動して剥離用吸着パット１００、１００を前後方
向（ウェーハの軸線に沿った方向）に揺動させる。ここ
で、前記ウェーハＷａとスライスベースＳａとを接着し
ている接着剤は、熱水２０中に浸漬されているため十分
に熱軟化している。このため、ウェーハＷａは、複数回
揺動が与えられると簡単にスライスベースＳａから剥離
される。

【００２７】ウェーハＷａがスライスベースＳａから剥
離されると、昇降用ロータリーアクチュエータ１０４が
駆動され、剥離したウェーハＷａを保持した状態で剥離
用吸着パット１００、１００が上方に向かって移動す
る。そして、所定の受渡位置が停止する。受渡位置に移
送されたウェーハＷａは、後述する受渡装置１８に受け
渡されたのち、該受渡装置１８によってシャトルコンベ
ア１７２に移送され、該シャトルコンベア１７２によっ
て次工程に搬送されてゆく。

【００２８】一方、ウェーハＷａの受渡の終了した剥離
用吸着パット１００、１００は、昇降用ロータリーアク
チュエータ１０４に駆動されて下方に移動し、元の剥離
作業位置に復帰する。ところで、ウェーハＷａ〜Ｗｃ
は、前記のごとくその端面を剥離用吸着パット１００、
１００によって揺動を与えることによりスライスベース
Ｓａ〜Ｓｃから剥離されるが、ウェーハＷａ〜Ｗｃの中
には剥離用吸着パット１００、１００で揺動を与える前
から、スライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離してしまって
いるものもある。この場合、ウェーハＷａ〜Ｗｃが前方
に倒れて回収不能になるおそれがある。このため、剥離
するウェーハＷａ〜Ｗｃの前方位置には、ウェーハＷａ
〜Ｗｃが前方に倒れるのを防止するための倒止板１１４
が配設されている。この倒止板１１４は、前記昇降用ロ
ータリーアクチュエータ１０４が設置された支持プレー
ト１０２に設けられており、前記剥離用吸着パット１０
０、１００と共に揺動する。

【００２９】なお、剥離用吸着パット１００、１００
は、前記倒止板１１４に形成された通路１１４ａを通っ
て昇降移動する。また、この倒止板１１４の上部には、
二枚取り防止板１１６が固着されており、スライスベー
スＳａ〜Ｓｃから剥離されたウェーハＷａ〜Ｗｃは、こ
の二枚取り防止板１１６に形成されたスリット１１６ａ
を通って所定の受渡位置まで移送される。このスリット
１１６ａは、ウェーハが丁度一枚通れる幅で形成されて
おり、これにより、例えば、ウェーハが二枚同時に剥離
されたような場合に、その二枚のウェーハが互いにくっ
ついて二枚同時に受渡位置まで移送されるのを防止する
ことができる。

【００３０】すなわち、スライスベースから二枚のウェ
ーハが同時に剥離され、互いにくっついた場合であって
も、二枚取り防止板１１６のスリット１１６ａを通過す
る際に、その一枚目のウェーハにくっついた二枚目のウ
ェーハが、スリット１１６ａを通過できずに落下するの
で、常に一枚ずつ受渡位置に移送することができる。な
お、この場合、スリット１１６ａを通過できずに落下し
たウェーハは、倒止板１１４によって前方に倒れるのを
防止されるので、次回の剥離時に確実に回収することが
できる。

【００３１】次に、仕切装置１６の構成について説明す
る。仕切装置１６は、熱水槽１２内にセットされたウェ
ーハＷａ〜Ｗｃの各ロット間に仕切板を挿入し、この挿
入された仕切板をウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離過程で検出
することにより、各ロットの終了地点を認識する。この
仕切装置１６は、三台の仕切ユニット１２０Ａ、１２０
Ｂ、１２０Ｃと、その仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃ
を駆動する駆動ユニット１２２と、駆動ユニット１２２
と仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃとを接続する接続ユ
ニット１２４と、仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃを所
定位置に固定するブレーキユニット１２５とから構成さ
れている。

【００３２】まず、仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃの
構成について説明する。図１に示すように、上述した剥
離離置１４が設置された第１ガイドレール３６、３６上
には、三台のスライドプレート（移動体）１２６Ａ、１
２６Ｂ、１２６Ｃがスライド自在に支持されている。各
スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｂ上には、図８及び
図９に示すように、支持プレート１２８Ａ〜Ｃが垂直に
立設されており、該支持プレート１２８Ａ〜１２８Ｃの
頂部には、シリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃが水平に支持さ
れている。このシリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃのロッド先
端部には、Ｌ字状に形成された連結アーム１３２Ａ〜１
３２Ｃが固着されており、この連結アーム１３２Ａ〜１
３２Ｃの先端部に仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃが固着され
ている。

【００３３】各仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃは、シリンダ
１３０Ａ〜１３０Ｃを駆動することにより進退移動し、
このシリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃを駆動制御することに
よって仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃの挿入及び抜き取りを
制御する。すなわち、シリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃのロ
ッドを伸長させることによりウェーハＷａ〜Ｗｃの各ロ
ット間に仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃを挿入し、ロッドを
収縮させることによりウェーハＷａ〜Ｗｃから仕切板１
３４Ａ〜１３４Ｃを引き抜く。

【００３４】ここで、一枚目の仕切板１３４Ａと二枚目
の仕切板１３４Ｂは、図８及び図９に示すように、各ス
ライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃを互いに接合させた
ときに（図８の状態）、同一面上に位置するように、各
アーム１３２Ａ、１３２Ｂの長さと、高さ方向の設置位
置が設定されている。また、三枚目の仕切板１３４Ｃ
は、一枚目の仕切板１３４Ａと二枚目の仕切板１３４Ｂ
の直後に配置されるようにアーム１３２Ｃの長さが設定
されている。

【００３５】仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃは、以上
のように構成される。なお、以下、必要に応じて仕切ユ
ニット１２０Ａを第１仕切ユニット１２０Ａ、仕切ユニ
ット１２０Ｂを第２仕切ユニット１２０Ｂ、仕切ユニッ
ト１２０Ｃを第３仕切ユニット１２０Ａという。シリン
ダ１３０Ａ〜１３０Ｃ及び仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃに
ついても同様である。

【００３６】次に、前記仕切ユニット１２０Ａ〜２０４
Ｃを第１ガイドレール３６、３６に沿って移動させる駆
動ユニット１２２の構成について説明する。図１及び図
１０に示すように、熱水槽１２の左側部近傍には、熱水
槽１２に沿って一対の第２ガイドレール１３６、１３６
が配設されている。この第２ガイドレール１３６、１３
６上には、リニアガイド１３８、１３８を介して第２ス
ライドテーブル（第２走行体）１４０がスライド自在に
支持されている。

【００３７】前記第２スライドテーブル１４０の下面に
はナット部材１４２が固着されており、該ナット部材１
４２は、前記一対の第２ガイドレール１３６、１３６の
間に配設されたネジ棒１４４に螺合されている。このネ
ジ棒１４４の両端部は、軸受部材１４６、１４６によっ
て回動自在に支持されており、また、このネジ棒１４４
の一方端には、第２ガイドレール１３６、１３６の一方
端に設置された第２送りモータ１４８が連結されてい
る。ネジ棒１４４は、この第２送りモータ１４８を駆動
することにより回動し、この結果、第２スライドテーブ
ル１４０が第２ガイドレール１３６、１３６に沿って移
動する。

【００３８】次に、前記駆動ユニット１２２と仕切ユニ
ット１２０Ａ〜１２０Ｃとを接続する接続ユニット１２
４の構成について説明する。図８及び図９に示すよう
に、前記スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃの先端部
上方には、矩形状に形成された接続プレート１５０が所
定の隙間をもって配置されている。この接続プレート１
５０上には、所定の間隔をもって三台のピン挿入装置１
５１Ａ、１５１Ｂ、１５１Ｃが設置されている。

【００３９】ピン挿入装置１５１Ａ〜１５１Ｃは、ガイ
ドピンブッシュ１５２Ａ〜１５２Ｃ内に挿入された接続
ピン１５３Ａ〜１５３Ｃを、ピン挿入用シリンダ１５４
Ａ〜１５４Ｃを駆動することにより、接続プレート１５
０の下面から突出させる装置であり、この接続プレート
１５０の下面から突出させた接続ピン１５３Ａ〜１５３
Ｃを、各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃに形成さ
れている接続用ピン穴１５５Ａ〜１５５Ｃに挿入させる
ことにより、接続プレート１５０と各スライドプレート
１２６Ａ〜１２６Ｃとを接続する。

【００４０】ここで、図１及び図１０に示すように、前
記接続ユニット１２４の接続プレート１５０と、前記駆
動ユニット１２２の第２スライドテーブル１４０とは、
連結バー１５６を介して互いに連結されており、第２ス
ライドテーブル１４０が移動すると、それに伴って接続
プレート１５０も移動する。したがって、前記接続プレ
ート１５０と各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃと
を連結させた状態で、すなわち、各接続ピン１５３Ａ〜
１５３Ｃを各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃの接
続用ピン穴１５５Ａ〜１５５Ｃに挿入した状態で、第２
スライドテーブル１４０を移動させることにより、各ス
ライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃを移動させることが
できる。そして、このスライドプレート１２６Ａ〜１２
６Ｃを移動させるることにより、各仕切板１３４Ａ〜１
３４Ｃを熱水槽１２内にセットされているウェーハＷａ
〜Ｗｃの軸線に沿って移動させることができる。

【００４１】なお、前記連結バー１５６は、前記熱水槽
１２の下部に形成されている空間に配設されており、こ
の下部空間を移動する。次に、前記各仕切ユニット１２
０Ａ〜１２０Ｃを固定するブレーキユニット１２５の構
成について説明する。図１に示すように、前記第１ガイ
ドレール３６、３６の側部近傍には、第１ガイドレール
３６、３６に沿ってブレーキプレート１５７が配設され
ている。このブレーキプレート１５７は、図９に示すよ
うに、先端部が水平に折り曲げられた逆Ｌ字状に形成さ
れている。

【００４２】一方、前記スライドプレート１２６Ａ〜１
２６Ｃには、前記ブレーキプレート１５７の水平部を挟
むようにして一対のブレーキパッド１５８Ａ〜１５８
Ｃ、１５９Ａ〜１５９Ｃが配設されている（図９には第
１仕切ユニット１２０Ａにおけるブレーキユニットの構
成のみが図示されている。）。この一対のブレーキパッ
ド１５８Ａ〜１５８Ｃ、１５９Ａ〜１５９Ｃのうち、下
側のブレーキパッド１５９Ａ〜１５９Ｃは支持部材１６
０を介してスライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃに固定
されている。一方、上側のブレーキパッド１５８Ａ〜１
５８Ｃは、それぞれ前記スライドプレート１２６Ａ〜１
２６Ｃ上に設置されたブレーキ用シリンダ１６１Ａ〜１
６１Ｃのロッド先端部に固着されており、該ブレーキ用
シリンダ１６１Ａ〜１６１Ｃを駆動することにより、ス
ライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃの下面から突出す
る。

【００４３】前記のごとく構成されたブレーキユニット
１２５では、ブレーキ用シリンダ１６１Ａ〜１６１Ｃを
駆動して、一対のブレーキパッド１５８Ａ〜１５８Ｃ、
１５９Ａ〜１５９Ｃでブレーキプレート１５７を挟持す
ることにより、各仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃを固
定する。ところで、前記のごとく移動可能な仕切板１３
４Ａ〜１３４Ｃは、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に
挿入されて、ロットの切り替わりを認識するために用い
られるが、この仕切板１３４Ａ〜１３４Ｂを各ウェーハ
Ｗａ〜Ｗｃのロット間に自動で挿入するためには、各ウ
ェーハＷａ〜Ｗｃのロット間を自動で検出する必要があ
る。

【００４４】そこで、上記の仕切装置１６には、各ウェ
ーハＷａ〜Ｗｃのロット間を自動で検出するロット検出
ユニット１６４が設けられており、該ロット検出ユニッ
ト１６４は、次のように構成されている。図１及び図１
０に示すように、前記接続ユニット１２４と駆動ユニッ
ト１２２とを連結する連結バー１５６には、熱水槽１２
を挟んで一対の支持フレーム１６４Ｒ、１６４Ｌが垂直
に立設されている。この一対の支持フレーム１６４Ｒ、
１６４Ｌのうち一方の支持フレーム１６４Ｌの頂部に
は、投光センサ１６６Ｌが設置されており、他方の支持
フレーム１６４Ｒの頂部には、受光センサ１６６Ｒが設
置されている。

【００４５】前記投光センサ１６６Ｌと受光センサ１６
６Ｒは、互いに対向するように設置されており、投光セ
ンサ１６６Ｌから投光された光が、受光センサ１６６Ｒ
によって受光されるように構成されている。また、投光
センサ１６６Ｌと受光センサ１６６Ｒは、図８に示すよ
うに、各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃを互いに
接合させたときに、一枚目の仕切板１３４Ａと同一の平
面上に位置するように配置されている。

【００４６】以上のように構成されたロット検出ユニッ
ト１６４は、次のようにして各ウェーハＷａ〜Ｗｃ間の
ロットを検出する。ロット検出ユニット１６４は連結バ
ー１５６上に設置されているので、駆動ユニット１２２
の第２スライドテーブル１４０を移動させることによ
り、ウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動する。

【００４７】そこで、まず、図１１に示すように、ロッ
ト検出ユニット１６４を第３ロットであるウェーハＷｃ
の後段部に位置させる（図中（ａ）の位置）。そして、
投光センサ１６６Ｌから受光センサ１６６Ｒに向けて光
と投光させる。このとき、投光センサ１６６Ｌから投光
された光は、前を遮るものが何もないので、そのまま受
光センサ１６６Ｒで受光される。

【００４８】次いで、駆動ユニット１２２の第２スライ
ドテーブル１４０を移動させることにより、ロット検出
ユニット１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移
動させる。この結果、前記投光センサ１６６Ｌから投光
された光は、第３ロットであるウェーハＷａによって遮
られ、受光センサ１６６Ｒで受光されなくなる（図中
（ｂ）の位置）。

【００４９】図示しない制御装置は、前記受光センサ１
６６Ｒで光が受光されなくなったことを検出すると、第
２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そし
て、仕切板１３４Ｃの挿入操作を行う。なお、この仕切
板１３４Ｃの挿入操作は後に更に詳述する。前記仕切板
１３４Ｃの挿入後、図示しない制御装置は、再び第２ス
ライドテーブル１４０を移動させて、ロット検出ユニッ
ト１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動させ
る。

【００５０】ここで、前記のごとく第２スライドテーブ
ル１４０を移動させても、投光センサ１６６Ｌから発光
された光は、ウェーハＷｃによって遮られるため、受光
センサ１６６Ｒでは光が受光されない状態が続く。しか
し、前記第３ロットと第２ロットとの間には、一定の間
隔が開いているので、この地点をロット検出ユニット１
６４が通過すると、再び受光センサ１６６Ｒで光が受光
されるようになる（図中（ｃ）の位置）。制御装置は、
受光センサ１６６Ｒで再び光が受光されたことを検出す
ると、第２スライドテーブル１４０の移動を停止させ
る。そして、仕切板１３４Ｂの挿入操作を行う。

【００５１】前記仕切板１３４Ｂの挿入後、図示しない
制御装置は、再び第２スライドテーブル１４０を移動さ
せて、ロット検出ユニット１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃ
の軸線に沿って移動させる。前記第３ロットと第２ロッ
トの間を通過すると、前記投光センサ１６６Ｌから発光
された光は、第２ロットであるウェーハＷｂによって遮
られるため、再び受光センサ１６６Ｒで光が受光されな
くなる（図中（ｄ）の位置）。

【００５２】しかし、前記同様第２ロットと第１ロット
との間には、一定の間隔が開いているので、この地点を
ロット検出ユニット１６４が通過すると、再び受光セン
サ１６６Ｒで光が受光されるようになる（図中（ｅ）の
位置）。制御装置は、受光センサ１６６Ｒで再び光が受
光されたことを検出すると、第２スライドテーブル１４
０の移動を停止させる。そして、仕切板１３４Ａの挿入
操作を行う。

【００５３】以上のように、ロット検出ユニット１６４
は、投光センサ１６６Ｌから発光された光を受光センサ
１６６Ｒで検出することにより、各ウェーハＷａ〜Ｗｃ
のロット間の検出を行う。そして、このロット検出ユニ
ット１６４の検出結果に基づいて各仕切板１３４Ａ〜１
３４Ｃを各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入してい
く。

【００５４】なお、投光センサ１６６Ｌから発行される
光の幅は、スライスベースＳａに接着されているウェー
ハの間隔（カーフロスの幅）よりも広く設定し、各ロッ
ト間の間隔よりも狭く設定する。これにより、たとえ
ば、ウェーハの隙間から一部の光が通過して、受光セン
サ１６６Ｒで検出されたとしても、投光センサ１６６Ｌ
から投光された光の全てが受光センサ１６６Ｒで受光さ
れていないことを理由に、誤検出を防止することができ
る。

【００５５】また、この場合、複数の投光センサ１６６
Ｌを横方向に配置するとともに（但し、各ロット間の間
隔よりも狭くなるように配置する。）、これに対向する
ように複数の受光センサ１６６Ｒを設置し、全ての受光
センサ１６６Ｒで光が受光されたことを検出することに
よって、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間を検出するよ
うにしても、同様に誤検出を防止することができる。

【００５６】各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間の検出は
以上のように行われ、これに基づいて仕切板１３４Ａ〜
１３４Ｂの挿入が行われるが、その各ウェーハＷａ〜Ｗ
ｃのロット間に挿入された仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃの
検出は、次の機構によって検出する。図５、図７及び図
８に示すように、前記剥離装置１４の第１スライドテー
ブル４０上には、第１タッチセンサ１６８が設けられて
いる。一方、前記第１仕切ユニット１２０Ａのスライド
プレート１２６Ａ上には、この第１タッチセンサ１６８
Ａに当接する第１接触子１７０Ａが設置されている。

【００５７】また、前記第１仕切ユニット１２０Ａのス
ライドプレート１２６Ａ上には、第２タッチセンサ１６
８Ｂが設けられており、前記第２仕切ユニット１２０Ｂ
のスライドプレート１２６Ｂ上には、この第２タッチセ
ンサ１６８Ｂに当接する第２接触子１７０Ｂが設置され
ている。更に、前記第２仕切ユニット１２０Ｂのスライ
ドプレート１２６Ｂ上には、第３タッチセンサ１６８Ｃ
が設けられており、前記第３仕切ユニット１２０Ｃのス
ライドプレート１２６Ｃ上には、この第３タッチセンサ
１６８Ｃに当接する第３接触子１７０Ｃが設置されてい
る。

【００５８】図示しない制御装置は、各タッチセンサ１
６８Ａ〜１６８Ｃの作動信号を入力することにより、各
ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入された仕切板１３
４Ａ〜１３４Ｃを検出する。すなわち、ウェーハを剥離
する剥離用吸着パット１００は、第１スライドテーブル
４０を移動させることにより、ウェーハＷａ〜Ｗｃの軸
線に沿って移動する。そして、この剥離用吸着パット１
００が、第１仕切板１３４Ａの設置位置まで移動する
と、第１スライドテーブル４０上に設置された第１タッ
チセンサ１６８Ａが、スライドプレート１２６Ａ上に設
置された第１接触子１７０Ａに接触する。この第１タッ
チセンサ１６８Ａは、第１接触子１７０Ａに接触するこ
とにより作動し、この第１タッチセンサ１６８Ａの作動
信号を受けることにより、制御装置は第１仕切板１３４
Ａを検出する。

【００５９】また、第１仕切板１３４Ａの検出後、更に
第１スライドテーブル４０を移動させて剥離用吸着パッ
ト１００を移動させると、第１スライドテーブル４０に
押されてスライドプレート１２６Ａが移動する。そし
て、前記剥離用吸着パット１００が、第２仕切板１３４
Ｂの設置位置まで移動すると、スライドプレート１２６
Ａ上に設置された第２タッチセンサ１６８Ｂが、スライ
ドプレート１２６Ｂ上に設置された第２接触子１７０Ｂ
に接触する。この第２タッチセンサ１６８Ｂは第２接触
子１７０Ｂに接触することにより作動し、この第２タッ
チセンサ１６８Ｂの作動信号を受けることにより、制御
装置は第２仕切板１３４Ｂを検出する。

【００６０】また、第２仕切板１３４Ｂの検出後、更に
第１スライドテーブル４０を移動させて剥離用吸着パッ
ト１００を移動させると、第１スライドテーブル４０に
押されて移動するスライドプレート１２６Ａに押されて
スライドプレート１２６Ｂが移動する。そして、前記剥
離用吸着パット１００が、第３仕切板１３４Ｃの設置位
置まで移動すると、スライドプレート１２６Ｂ上に設置
された第３タッチセンサ１６８Ｃが、スライドプレート
１２６Ｃ上に設置された第３接触子１７０Ｃに接触す
る。この第３タッチセンサ１６８Ｃは第３接触子１７０
Ｃに接触することにより作動し、この第３タッチセンサ
１６８Ｃの作動信号を受けることにより、制御装置は第
３仕切板１３４Ｃを検出する。

【００６１】このように、各タッチセンサ１６８Ａ〜１
６８Ｃは、剥離用吸着パット１００が各仕切板１３４Ａ
〜１３４Ｃの設置点まで移動すると、順次作動し、これ
により、各ウェーハＷａ〜Ｗｃ間に挿入されている仕切
板１３４Ａ〜１３４Ｃを検出することができる。次に、
受渡装置１８の構成について説明する。受渡装置１８
は、剥離装置１４の剥離用吸着パット１００によってス
ライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離されたウェーハＷａ〜
Ｗｃを剥離用吸着パット１００から受け取り、シャトル
コンベア１７２に受け渡す装置である。この受渡装置１
８は、図１及び図２に示すように、駆動ユニット１２２
の第２スライドテーブル１４０上に設けられており、第
２送りモータ１４８を駆動することにより、第２ガイド
レール１３６、１３６に沿って移動する。具体的な構成
は、以下のとおりである。

【００６２】図１２〜図１４に示すように、前記駆動ユ
ニット１２２の第２スライドテーブル１４０上には、支
柱１７４が垂直に立設されている。この支柱１７４の頂
部には、支持フレーム１７６が垂直に立設されており、
該支持フレーム１７６には旋回用ロータリーアクチュエ
ータ１７８が水平に設置されている。前記旋回用ロータ
リーアクチュエータ１７８の出力軸には駆動ギア１８０
が噛合されており、該駆動ギア１８０には旋回軸１８４
に固着された従動ギア１８２が噛合されている。旋回軸
１８４は、前記支持フレーム１７６の頂部に設置された
軸受ユニット１８６に回動自在に支持されており、前記
旋回用ロータリーアクチュエータ１７８を駆動すること
により１８０°の範囲で回動する。

【００６３】前記旋回軸１８４の基端部には、旋回フレ
ーム１８８が固着されており、該旋回フレーム１８８に
は回転軸１９０が回動自在に支持されている。この回転
軸１９０の基端部には、旋回フレーム１８８に設置され
た方向転換用ロータリーアクチュエータ１９２の出力軸
が固着されており、該方向転換用ロータリーアクチュエ
ータ１９２を駆動することにより、９０°の範囲で回動
する。

【００６４】前記回転軸１９０の先端部には、Ｌ字状に
形成された旋回アーム１９４が固着されており、該旋回
アーム１９４の先端部には支持プレート１９６が固着さ
れている。この支持プレート１９６にはパット進退用シ
リンダ１９８が設けられており、該パット進退用シリン
ダ１９８のロッド先端部には、受渡用吸着パット２００
が設けられている。前記剥離装置１４の剥離用吸着パッ
ト１００、１００によって剥離されたウェーハＷａ〜Ｗ
ｃは、所定の受渡位置まで搬送されたのち、この受渡用
吸着パット２００に受け渡される。

【００６５】以上のように構成された受渡装置１８にお
いて、受渡用吸着パット２００に吸着保持されたウェー
ハＷａ〜Ｗｃは、旋回用ロータリーアクチュエータ１７
８を駆動することにより、垂直面上を１８０°の範囲で
旋回し（図１２参照）、方向転換用ロータリーアクチュ
エータ１９２を駆動することにより、垂直状態から水平
状態に方向転換される。

【００６６】なお、仕切装置１４で剥離したウェーハＷ
ａ〜Ｗｃの受け取り、及び、その受け取ったウェーハＷ
ａ〜Ｗｃのシャトルコンベア１７２上への受け渡しは、
次のように行う。前述したように、スライスベースＳａ
〜Ｓｃから剥離されたウェーハＷａ〜Ｗｃは、剥離用吸
着パット１００、１００に吸着保持された状態で上昇し
て所定の受渡位置に移送される。この受渡位置には、す
でに受渡用吸着パット２００が待機しており、ウェーハ
Ｗａ〜Ｗｃは、この受渡用吸着パット２００の軸心と同
軸上に位置する。

【００６７】前記ウェーハＷａ〜Ｗｃが受渡位置に移送
されると、次いで、パット進退用シリンダ１９８が駆動
されて、受渡用吸着パット２００がウェーハＷａに向か
って所定量前進する。この結果、ウェーハＷａの端面に
受渡用吸着パット２００が密着する。次に、受渡用吸着
パット２００が駆動され、該受渡用吸着パット２００に
よってウェーハＷａが吸着保持される。この受渡用吸着
パット２００にウェーハＷａが吸着保持されると、次い
で、剥離用吸着パット１００の駆動が停止され、これに
より、ウェーハＷａが剥離用吸着パット１００から受渡
用吸着パット２００に受け渡される。

【００６８】ウェーハＷａを受け取った受渡用吸着パッ
ト２００は、パット進退用シリンダ１９８が駆動され
て、剥離用吸着パット１００から後退する。一方、ウェ
ーハＷａを受け渡した剥離用吸着パット１００は、下降
して元の剥離作業位置に復帰する。前記受渡用吸着パッ
ト２００が後退すると、次いで、旋回用ロータリーアク
チュエータ１７８が駆動されて、旋回アーム１９４が１
８０°旋回する。この結果、ウェーハＷａがシャトルコ
ンベア１７２の上方位置に移送される。

【００６９】ここで、シャトルコンベア１７２の上方に
移送されたウェーハＷａは、シャトルコンベア１７２に
対して直交した状態にあるので、移送後、方向転換用ロ
ータリーアクチュエータ１９２が駆動されて、旋回アー
ム１９４が回転軸１９０を中心に９０°回転する。この
結果、ウェーハＷａがシャトルコンベア１７２から所定
高さの位置に水平な状態で位置する。

【００７０】前記方向転換用ロータリーアクチュエータ
１９２の駆動後、パット進退用シリンダ１９８が駆動さ
れて、受渡用吸着パット２００がシャトルコンベア１７
２に向かって所定量前進する。この結果、ウェーハＷａ
が、シャトルコンベア１７２上に載置される。ウェーハ
Ｗａが、シャトルコンベア１７２上に載置されると、受
渡用吸着パット２００の駆動が停止される。そして、パ
ット進退用シリンダ１９８が駆動されて受渡用吸着パッ
ト２００がシャトルコンベア１７２から後退する。

【００７１】以上により、ウェーハＷａの受け渡し作業
は終了し、受渡用吸着パット２００は、上記と逆の動作
で元の受渡位置に復帰する。一方、ウェーハＷａが受け
渡されたシャトルコンベア１７２は、図示しない駆動手
段に駆動されて、その受け渡されたウェーハＷａを次工
程に搬送する。本実施の形態のスライスベース剥離装置
１０は、以上のように構成される。なお、このスライス
ベース剥離装置１０の駆動は、全て図示しない制御装置
によって自動制御されており、この制御装置から出力さ
れる駆動信号に基づいて各構成装置が作動する。

【００７２】次に、前記のごとく構成された本実施の形
態のスライスベース剥離装置１０の作用について説明す
る。始動前の状態において、剥離ユニット５０が設置さ
れた第１スライドテーブル４０は、第１ガイドレール３
６の一方端（図１において下端）に位置している（この
位置を剥離作業開始位置という。）。一方、受渡装置１
８が設置された第２スライドテーブル１４０は、第２ガ
イドレール１３６の他方端（図１において上端）に位置
している（この位置を仕切作業開始位置という。）。そ
して、接続装置の接続プレート１５０には、ピン挿入装
置１５１Ａ〜１５１Ｃによって各スライドプレート１２
６Ａ〜１２６Ｃが接続されている。

【００７３】まず、ワイヤソーでマルチ切断されたウェ
ーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを熱水槽１２内に設置されたワー
ク保持部２２にセットする。これにより、各ウェーハＷ
ａ〜Ｗｃが接着されたスライスベースＳａ〜Ｓｃが熱水
槽１２内に貯留された熱水２０中に浸漬される。なお、
ウェーハＷａ〜Ｗｃのセッティングは、オペレータが手
動で行ってもよいし、図示しないマニピュレータによっ
て自動でワーク保持部２２に搬送して、自動でセットす
るようにしてもよい。

【００７４】ウェーハＷａ〜Ｗｃが熱水槽１２内にセッ
トされると、制御装置は、まず、第２送りモータ１４８
を駆動して第２スライドテーブル１４０を図１中下側に
向けて移動させる。これと同時に、制御装置は、ロット
検出ユニット１６４の受光センサ１６６Ｒから受光信号
の入力を開始する。第２スライドテーブル１４０の移動
開始から所定の間は、光を遮るものが何もないので、投
光センサ１６６Ｌから発光された光は、そのまま受光セ
ンサ１６６Ｒで受光される。

【００７５】しかし、ロット検出ユニット１６４が第３
ロットのウェーハＷｃに到達すると、前記投光センサ１
６６Ｌから投光された光は、ウェーハＷｃに遮られるた
め、受光センサ１６６Ｒでは光が受光されなくなる。制
御装置は、前記受光センサ１６６Ｒで光が受光されなく
なったことを検出すると、第２スライドテーブル１４０
の移動を停止させる。そして、第３仕切ユニット１２０
Ｃのブレーキ用シリンダ１６１Ｃを駆動して第３仕切ユ
ニット１３０Ｃを固定する。

【００７６】第３仕切ユニット１３０Ｃを固定後、制御
装置は、シリンダ１３０Ｃを駆動して、第３仕切板１３
４Ｃを前進させる。これにより、第３ロット（ウェーハ
Ｗｃ）の後段位置に第３仕切板１３４Ｃが挿入される。
また、制御装置は、前記第３仕切板１３４Ｃの挿入後、
接続プレート１５０と第３スライドプレート１２６Ｃと
の接続を解除する。すなわち、ピン挿入装置１５１Ｃの
ピン挿入用シリンダ１５４Ｃを駆動して、第３スライド
プレート１２６Ｃに形成されている接続用ピン穴１５５
Ｃから接続ピン１５３Ｃを抜き取る。これにより、接続
プレート１５０と第３スライドプレート１２６Ｃとの接
続が解除され、第２スライドテーブル１４０を移動させ
ても、第３スライドプレート１２６Ｃが移動しなくな
る。

【００７７】制御装置は、前記第３スライドプレート１
２６Ｃと接続プレート１５０との接続を解除したのち、
再び第２スライドテーブル１４０を移動させて、ロット
検出ユニット１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿っ
て移動させる。ここで、前記のごとく第２スライドテー
ブル１４０を移動させても、光はウェーハＷｃによって
遮られるため、受光センサ１６６Ｒでは光が受光されな
い状態が続く。

【００７８】しかし、前記第３ロットと第２ロットの間
には一定の間隔が開けられているので、この第３ロット
と第２ロットの間をロット検出ユニット１６４が通過す
ると、再び受光センサ１６６Ｒで光が受光されるように
なる。制御装置は、受光センサ１６６Ｒで再び光が受光
されたことを検出すると、第２スライドテーブル１４０
の移動を停止させる。そして、第２仕切ユニット１２０
Ｂのブレーキ用シリンダ１６１Ｂ（図示せず）を駆動し
て第２仕切ユニット１３０Ｂを固定する。

【００７９】第２仕切ユニット１２０Ｂを固定後、制御
装置は、シリンダ１３０Ｂを駆動して、第２仕切板１３
４Ｂを前進させる。これにより、第２ロット（ウェーハ
Ｗｂ）と第３ロット（ウェーハＷｃ）の間に第２仕切板
１３４Ｂが挿入される。また、制御装置は、前記同様に
第２仕切板１３４Ｂの挿入後、接続プレート１５０と第
２スライドプレート１２６Ｂとの接続を解除する。すな
わち、ピン挿入装置１５１Ｂのピン挿入用シリンダ１５
４Ｂを駆動して、第２スライドプレート１２６Ｂに形成
されている接続用ピン穴１５５Ｂから接続ピン１５３Ｂ
を抜き取る。これにより、接続プレート１５０と第２ス
ライドプレート１２６Ｂとの接続が解除され、第２スラ
イドテーブル１４０を移動させても、第２スライドプレ
ート１２６Ｂが移動しなくなる。

【００８０】制御装置は、前記第２スライドプレート１
２６Ｂと接続プレート１５０との接続を解除したのち、
再び第２スライドテーブル１４０を移動させて、ロット
検出ユニット１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿っ
て移動させる。ここで、前記同様、第２スライドテーブ
ル１４０を移動させても、光はウェーハＷｂによって遮
られるため、受光センサ１６６Ｒでは光が受光されない
状態が続く。

【００８１】しかし、前記同様、第２ロットと第１ロッ
トの間には、一定の間隔が開けられているので、この第
２ロットと第１ロットの間をロット検出ユニット１６４
が通過すると、再び受光センサ１６６Ｒで光が受光され
るようになる。制御装置は、受光センサ１６６Ｒで再び
光が受光されたことを検出すると、第２スライドテーブ
ル１４０の移動を停止させる。そして、第１仕切ユニッ
ト１２０Ａのブレーキ用シリンダ１６１Ａを駆動して第
１仕切ユニット１３０Ａを固定する。

【００８２】第１仕切ユニット１２０Ｂを固定後、制御
装置は、シリンダ１３０Ａを駆動して、第１仕切板１３
４Ａを前進させる。これにより、第２ロット（ウェーハ
Ｗｂ）と第１ロット（ウェーハＷａ）との間に第１仕切
板１３４Ａが挿入される。また、制御装置は、前記同様
に第１仕切板１３４Ａの挿入後、接続プレート１５０と
第１スライドプレート１２６Ａとの接続を解除する。す
なわち、ピン挿入装置１５１Ａのピン挿入用シリンダ１
５４Ａを駆動して、第１スライドプレート１２６Ａに形
成されている接続用ピン穴１５５Ａから接続ピン１５３
Ａを抜き取る。これにより、接続プレート１５０と第１
スライドプレート１２６Ａとの接続が解除され、第２ス
ライドテーブル１４０を移動させても、第１スライドプ
レート１２６Ａが移動しなくなる。

【００８３】図１５に示すように、以上一連の操作によ
り、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に仕切板１３４Ａ
〜１３４Ｃが挿入される。制御装置は、前記第１スライ
ドプレート１２６Ａと前記接続プレート１５０との接続
を解除すると、再び第２スライドテーブル１４０を図１
中下側に向けて移動させ、その第２スライドテーブル１
４０を所定の受渡作業開始位置に位置させる。そして、
この第２スライドテーブル１４０が受渡作業開始位置に
位置したところで、ウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離作業が開
始する。

【００８４】まず、制御装置は、第１送りモータ４８と
第２送りモータ１４８を同期させて駆動し、第１スライ
ドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を前進さ
せる（図１中上方向に移動させる）。ここで、前記第１
スライドテーブル４０上に設けられた剥離装置１４の倒
止板１１４には、図示しない非接触接触式の位置センサ
が設けられており、該位置センサは、ウェーハＷａの端
面までの距離が所定距離に達すると作動する。制御装置
は、この位置センサの作動信号を入力することにより、
第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８の駆動を停
止し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブ
ル１４０とを停止させる。この結果、前記第１スライド
テーブル４０上に設けられた剥離装置１４の剥離用吸着
パット１００、１００がウェーハＷａの端面に当接す
る。制御装置は、ウェーハＷａの端面に当接した剥離用
吸着パット１００、１００を駆動し、該剥離用吸着パッ
ト１００、１００にウェーハＷａを吸着保持させる。

【００８５】制御装置は、次いで、揺動用ロータリーア
クチュエータ６０を駆動して揺動フレーム５４を前後に
揺動させ、剥離用吸着パット１００、１００を前後（ウ
ェーハの軸線に沿った方向）に揺動させる。ここで、前
記ウェーハＷａとスライスベースＳａとを接着している
接着剤は、熱水２０中に浸漬されているため十分に熱軟
化している。また、剥離用吸着パット１００、１００
は、ウェーハＷａとスライスベースＳａとの接着部近傍
を揺動中心として揺動している。このため、ウェーハＷ
ａは、剥離用吸着パット１００、１００によって複数回
揺動が与えられると簡単にスライスベースＳａから剥離
される。

【００８６】制御装置は、前記剥離用吸着パット１０
０、１００を所定回数揺動させたところで揺動用ロータ
リーアクチュエータ６０の駆動を停止する。そして、こ
れによりウェーハＷａがスライスベースＳａから剥離さ
れる。制御装置は、次いで、昇降用ロータリーアクチュ
エータ１０４を駆動してアーム９０、９２を上方に旋回
させ、剥離用吸着パット１００、１００を上方に移動さ
せる。

【００８７】この際、剥離用吸着パット１００、１００
に吸着保持されたウェーハＷａは、倒止板１１４の上部
に固着された二枚取り防止板１１６のスリット１１６ａ
を通過することにより、二枚取りが防止される。すなわ
ち、吸着パット１００、１００で吸着保持したウェーハ
Ｗａ₁に、次に剥離するウェーハＷａ₂がくっついてき
た場合であっても、前記スリット１１６ａを通過する際
に、くっついてきたウェーハＷａ₂が、スリット１１６
ａを通過する際に剥がされるので、常に吸着パット１０
０、１００で吸着しているウェーハＷａ一枚のみを取り
出すことができる。

【００８８】また、スリット１１６ａを通過できずに落
下したウェーハは、倒止板１１４によって前方に倒れる
のを防止されるので、次回の剥離時に確実に回収するこ
とができる。前記のごとく上方に移動した剥離用吸着パ
ット１００、１００は、所定の受渡位置で停止する。こ
の受渡位置には、受渡装置１８の受渡用吸着パット２０
０が待機しており、剥離用吸着パット１００、１００に
吸着保持されたウェーハＷａは、この受渡用吸着パット
２００の軸心と同軸上に位置する。

【００８９】制御装置は、剥離用吸着パッド１００、１
００が所定の受渡位置で停止すると、次いで、パット進
退用シリンダ１９８を駆動して、受渡用吸着パット２０
０をウェーハＷａに向かって所定量前進させる。この結
果、ウェーハＷａの端面に受渡用吸着パット２００が密
着する。制御装置は、次いで、受渡用吸着パット２００
を駆動して、該受渡用吸着パット２００でウェーハＷａ
の端面を吸着保持する。そして、剥離用吸着パット１０
０の駆動を停止し、ウェーハＷａを受渡用吸着パット２
００に受け渡させる。

【００９０】前記剥離用吸着パット１００の駆動を停止
すると、次いで、制御装置は、パット進退用シリンダ１
９８を駆動して、受渡用吸着パット２００を剥離用吸着
パット１００から後退させる。また、前記パット進退用
シリンダ１９８の駆動後、制御装置は、昇降用ロータリ
ーアクチュエータ１０４を駆動してアーム９０、９２を
下方に旋回させ、剥離用吸着パット１００、１００を下
方に移動させて、元の剥離作業位置に復帰させる。

【００９１】これと同時に、制御装置は、前記パット進
退用シリンダ１９８の駆動後、旋回用ロータリーアクチ
ュエータ１７８を駆動して、旋回アーム１９４を１８０
°旋回させ、ウェーハＷａをシャトルコンベア１７２の
上方位置に移送する。そして、移送後、方向転換用ロー
タリーアクチュエータ１９２を駆動して、旋回アーム１
９４を回転軸１９０を中心に９０°回転させる。これに
より、ウェーハＷａがシャトルコンベア１７２に対して
平行な状態になる。制御装置は、パット進退用シリンダ
１９８を駆動して、受渡用吸着パット２００をシャトル
コンベア１７２に向けて前進させる。この結果、ウェー
ハＷａが、シャトルコンベア１７２上に載置されるの
で、次いで、制御装置は、受渡用吸着パット２００の駆
動を停止して、ウェーハＷａをシャトルコンベア１７２
に受け渡す。

【００９２】受渡用吸着パット２００の駆動を停止した
のち、制御装置は、パット進退用シリンダ１９８を駆動
して受渡用吸着パット２００をシャトルコンベア１７２
から後退させるとともに、シャトルコンベア１７２を駆
動してウェーハＷａを次工程（洗浄工程等）に搬送す
る。また、制御装置は、パット進退用シリンダ１９８を
駆動後、方向転換用ロータリーアクチュエータ１９２及
び旋回用ロータリーアクチュエータ１７８を駆動して受
渡用吸着パット２００を元の受渡位置に復帰させる。

【００９３】以上一連の工程で一枚目のウェーハＷａの
剥離作業が終了する。制御装置は、第１送りモータ４８
と第２送りモータ１４８を同期させて駆動し、第１スラ
イドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を所定
量前進させる。これにより、剥離用吸着パット１００、
１００が、二枚目に剥離するウェーハＷａ₂の端面に当
接する。制御装置は、この二枚目のウェーハＷａ₂を上
記同様の方法で剥離する。

【００９４】以上のようにしてスライスベースＳａに接
着されているウェーハＷａ、Ｗａ、…を順次剥離し、次
工程に搬送してゆく。ここで、第１ロットのウェーハＷ
ａの剥離が全て終了したとする。制御装置は、この段階
では第１ロットの剥離が終了したことを認識することが
できず、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８を
駆動して、第１スライドテーブル４０と第２スライドテ
ーブル１４０を前進させようとする。

【００９５】しかしながら、第１ロットのウェーハＷａ
と第２ロットのウェーハＷｂとの間には、第１仕切板１
３４Ａが挿入されているので、前記第１スライドテーブ
ル４０を前進させると、その第１スライドテーブル４０
上に設置された第１タッチセンサ１６８Ａが、前記第１
仕切板１３４Ａが設置されている第１スライドプレート
１２６Ａ上に設置された第１接触子１７０Ａに接触して
作動する。制御装置は、この第１タッチセンサ１６８Ａ
の作動信号を入力することにより、第１ロットのウェー
ハＷａの剥離が全て終了したことを検出する。そして、
制御装置は、第１ロットのウェーハＷａの剥離が全て終
了したことを次工程以降の各装置（洗浄装置やウェーハ
格納装置等）に情報として流す。

【００９６】これにより、次工程以降の各装置では、次
にシャトルコンベア１７２から搬送されてくるウェーハ
Ｗｂは、種類の異なる第２ロットのウェーハＷｂである
ことを認識することができ、種類の異なるウェーハを混
入させることなく処理、回収等することができる。ま
た、制御装置は、前記第１タッチセンサ１６８Ａの作動
信号を入力すると、第１送りモータ４８と第２送りモー
タ１４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル４０
と第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そ
して、第１シリンダ１３０Ａを駆動して、第１仕切板１
３０Ａを後退させる。

【００９７】また、制御装置は、第１仕切板１３０Ａを
後退させたのち、第１仕切ユニット１２０Ａのブレーキ
用シリンダ１６１Ａの駆動を停止して第１仕切ユニット
１３０Ａのロックを解除する。前記のごとく次工程以降
の各装置に第１ロットのウェーハＷａの剥離が終了した
ことの情報を流したあと、制御装置は、再び第１送りモ
ータ４８と第２送りモータ１４８を同期させて駆動し、
第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４
０を前進させる（図１中上方向に移動させる）。このと
き、第１スライドテーブル４０は、第１仕切板１３４Ａ
が設置された第１スライドプレート１２６Ａを押しなが
ら前進する。

【００９８】前記第１ロットのウェーハＷａを剥離した
ときと同様に、第２ロットのウェーハＷｂまでの距離が
所定の距離に達すると倒止板１１４に設置された図示し
ない位置センサが作動する。そして、この作動信号を入
力することにより、制御装置は、第１送りモータ４８と
第２送りモータ１４８の駆動を停止し、第１スライドテ
ーブル４０と第２スライドテーブル１４０とを停止させ
る。この結果、剥離装置１４の剥離用吸着パット１０
０、１００が第２ロットのウェーハＷｂの端面に当接す
る。

【００９９】制御装置は、ウェーハＷｂの端面に当接し
た剥離用吸着パット１００、１００を駆動し、該剥離用
吸着パット１００、１００に第２ロットのウェーハＷｂ
を吸着保持させる。以下、前記第１ロットのウェーハＷ
ａを剥離したときと同様の手順でスライスベースＷｂに
接着されているウェーハＷｂを順次剥離して、次工程に
搬送してゆく。

【０１００】ここで、第２ロットのウェーハＷｂの剥離
が全て終了したとする。前記同様、制御装置は、この段
階では第２ロットのウェーハＷｂの剥離が終了したこと
を認識することができず、第１送りモータ４８と第２送
りモータ１４８を駆動して、第１スライドテーブル４０
と第２スライドテーブル１４０を前進させようとする。

【０１０１】しかしながら、第２ロットのウェーハＷｂ
と第３ロットのウェーハＷｃとの間には、第２仕切板１
３４Ｂが挿入されているので、前記第１スライドテーブ
ル４０を前進させると、その第１スライドテーブル４０
に押されて移動する第１スライドプレート１２６Ａ上に
設置された第２タッチセンサ１６８Ｂが、前記第２仕切
板１３４Ｂが設置されている第２スライドプレート１２
６Ｂ上に設置された第２接触子１７０Ｂに接触して作動
する。制御装置は、この第２タッチセンサ１６８Ｂの作
動信号を入力することにより、第２ロットのウェーハＷ
ｂの剥離が全て終了したことを検出する。そして、制御
装置は、前記第１ロットの場合と同様に、第２ロットの
ウェーハＷｂの剥離が全て終了したことを次工程以降の
各装置に情報として流す。

【０１０２】これにより、次工程以降の各装置では、次
にシャトルコンベア１７２から搬送されてくるウェーハ
Ｗｃは、種類の異なる第３ロットのウェーハＷｃである
ことを認識することができ、種類の異なるウェーハを混
入させることなく処理、回収等することができる。ま
た、制御装置は、前記第２タッチセンサ１６８Ｂの作動
信号を入力すると、第１送りモータ４８と第２送りモー
タ１４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル４０
と第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そ
して、第２シリンダ１３０Ｂを駆動して、第２仕切板１
３４Ｂを後退させる。

【０１０３】また、制御装置は、第２仕切板１３０Ｂを
後退させたのち、第２仕切ユニット１２０Ｂのブレーキ
用シリンダ１６１Ｂの駆動を停止して第２仕切ユニット
１３０Ｂのロックを解除する。前記のごとく次工程以降
の各装置に第２ロットのウェーハＷｂの剥離が終了した
ことの情報を流したあと、制御装置は、再び第１送りモ
ータ４８と第２送りモータ１４８を同期させて駆動し、
第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４
０を前進させる（図１中上方向に移動させる）。このと
き、第１スライドテーブル４０は、第１仕切板１３４Ａ
が設置された第１スライドプレート１２６Ａと第２仕切
板１３４Ｂが設置された第２スライドプレート１２６Ｂ
とを押しながら前進する。

【０１０４】前記第２ロットのウェーハＷｂを剥離した
ときと同様に、第３ロットのウェーハＷｃまでの距離が
所定の距離に達すると倒止板１１４に設置された図示し
ない位置センサが作動する。そして、この作動信号を入
力することにより、制御装置は、第１送りモータ４８と
第２送りモータ１４８の駆動を停止し、第１スライドテ
ーブル４０と第２スライドテーブル１４０とを停止させ
る。この結果、剥離装置１４の剥離用吸着パット１０
０、１００が第３ロットのウェーハＷｃの端面に当接す
る。

【０１０５】制御装置は、ウェーハＷｃの端面に当接し
た剥離用吸着パット１００、１００を駆動し、該剥離用
吸着パット１００、１００に第３ロットのウェーハＷｃ
を吸着保持させる。以下、前記第２ロットのウェーハＷ
ｂを剥離したときと同様の手順でスライスベースＷｂに
接着されているウェーハＷｂを順次剥離して、次工程に
搬送してゆく。

【０１０６】ここで、第３ロットのウェーハＷｃの剥離
が全て終了したとする。前記同様、制御装置は、この段
階では第３ロットのウェーハＷｂの剥離が終了したこと
を認識することができず、第１送りモータ４８と第２送
りモータ１４８を駆動して、第１スライドテーブル４０
と第２スライドテーブル１４０を前進させようとする。

【０１０７】しかしながら、第３ロットのウェーハＷｃ
の直後には、第３仕切板１３４Ｂがセットされているの
で、前記第１スライドテーブル４０を前進させると、そ
の第１スライドテーブル４０に押されて移動する第２ス
ライドプレート１２６Ｂ上に設置された第３タッチセン
サ１６８Ｃが、前記第３仕切板１３４Ｃが設置されてい
る第３スライドプレート１２６Ｃ上に設置された第３接
触子１７０Ｃに接触して作動する。制御装置は、この第
３タッチセンサ１６８Ｃの作動信号を入力することによ
り、第３ロットのウェーハＷｃの剥離、すなわち、全て
のウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離が終了したことを検出す
る。そして、制御装置は、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃの
剥離が終了したことを次工程以降の各装置に情報として
流す。

【０１０８】次工程以降の各装置では、これにより１サ
イクルの剥離作業が終了したことを認識することができ
る。また、制御装置は、前記第３タッチセンサ１６８Ｃ
の作動信号を入力すると、第１送りモータ４８と第２送
りモータ１４８の駆動を停止して、第１スライドテーブ
ル４０と第２スライドテーブル１４０の移動を停止させ
る。そして、第３シリンダ１３０Ｃを駆動して、第３仕
切板１３４Ｃを後退させる。

【０１０９】また、制御装置は、第３仕切板１３０Ｃを
後退させたのち、第３仕切ユニット１２０Ｃのブレーキ
用シリンダ１６１Ｃの駆動を停止して第３仕切ユニット
１３０Ｃのロックを解除する。前記のごとく次工程以降
の各装置に第３ロットのウェーハＷｃの剥離が終了した
こと、すなわち、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離が終
了したことの情報を流したあと、制御装置は、再び第１
送りモータ４８と第２送りモータ１４８を同期させて駆
動し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブ
ル１４０を前進させる（図１中上方向に移動させる）。
このとき、第１スライドテーブル４０は、第１仕切板１
３４Ａが設置された第１スライドプレート１２６Ａと第
２仕切板１３４Ｂが設置された第２スライドプレート１
２６Ｂ、及び第３仕切板１３４Ｃが設置された第３スラ
イドプレート１２６Ｃを押しながら前進する。

【０１１０】前記第２スライドテーブル１４０が、所定
の仕切作業開始位置に到達すると（仕切作業開始位置に
到達したことは図示しないタッチセンサ等で検出す
る。）、制御装置は、第１送りモータ４８と第２送りモ
ータ１４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル４
０と第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。
これにより、第２スライドテーブル１４０と各仕切板１
３４Ａ〜１３４Ｃが設置されたスライドプレート１２６
Ａ〜１２６Ｃは初期位置に復帰する。制御装置は、各ピ
ン挿入装置１５１Ａ〜１５１Ｃのピン挿入用シリンダ１
５４Ａ〜１５４Ｃを駆動して、各スライドプレート１２
６Ａ〜１２６Ｃに形成されている接続用ピン穴１５５Ａ
〜１５５Ｃに接続ピン１５３Ａ〜１５３Ｃを挿入し、各
スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃを接続プレート１
５０に接続して次の剥離作業のために待機する。

【０１１１】また、制御装置は、前記第２スライドテー
ブル１４０を所定の仕切作業開始位置に復帰させると、
その後、第１送りモータ４８のみを駆動して、第１スラ
イドテーブル４０を後退させる（図１中下側の方向に移
動させる。）。前記第１スライドテーブル４０が、所定
の剥離作業開始位置に到達すると（剥離作業開始位置に
到達したことは図示しないタッチセンサ等で検出す
る。）、制御装置は、第１送りモータ４８の駆動を停止
して、第１スライドテーブル４０の移動を停止させる。
これにより、第１スライドテーブル４０が初期位置に復
帰する。

【０１１２】以上により、１サイクルの剥離作業が終了
する。オペレータ若しくは図示しないマニピュレータ
は、熱水槽１２内に残留しているスライスベース付マウ
ンティングプレートＭを熱水槽１２内から取り出す。そ
して、次の剥離作業を続行する場合は、熱水槽１２内の
ワーク保持部２２に新たなウェーハＷａ〜Ｗｃをセット
し、同様の手順で剥離作業を行う。

【０１１３】このように本実施の形態のスライスベース
剥離装置によれば、マルチ切断された種類の異なるウェ
ーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを互いに混入させることなく剥離
し、処理してゆくことができる。また、本実施の形態の
スライスベース剥離装置では、仕切板１３４Ａ〜１３４
Ｂの挿入から剥離、次工程への搬送を全て全自動で行う
ことができるため、効率的な剥離作業を行うことができ
る。

【０１１４】また、仕切板１３４Ａ〜１３４Ｂは、各ウ
ェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入されることにより、
各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間の検出にのみ使用され
るのではなく、倒れ止めとしても作用する。すなわち、
例えば最後の一枚のウェーハを剥離しようとする場合
に、その最後の一枚のウェーハが前進してきた剥離用吸
着パット１００、１００に押されて後方に倒れてしまう
ことがあるが、このような場合であっても、仕切板１３
４Ａ〜１３４Ｃがあることにより、後方に倒れたウェー
ハが支えられ、回収不能になることが防止される。

【０１１５】なお、本実施の形態のスライスベース剥離
装置では、仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃの設置数を３枚と
したが、これに限定されるものではなく、剥離するウェ
ーハのロット数に応じて適宜変更して使用することがで
きる。また、本実施の形態のように仕切板１３４Ａ〜１
３４Ｂの数が３枚の剥離装置でロット数が２のウェーハ
を剥離する場合は、第２仕切板１３４Ｂを使用せず、第
１仕切板１３４Ａと第３仕切板１３４Ｃのみを使用して
仕切作業を行うようにする（図１参照）。

【０１１６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
種類の異なる複数のインゴットを同時に切断して得られ
たウェーハを剥離する場合であっても、互いの種類を混
入させることなく剥離し、処理することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】スライスベース剥離装置の全体構成を示す平面
図

【図２】スライスベース剥離装置の全体構成を示す正面
図

【図３】熱水槽の構成を示す正面断面図

【図４】熱水槽の構成を示す側面断面図

【図５】剥離装置の構成を示す平面図

【図６】剥離装置の構成を示す正面図

【図７】剥離装置の構成を示す側面図

【図８】仕切ユニットの構成を示す平面図

【図９】仕切ユニットの構成を示す正面図

【図１０】仕切装置の構成を示す正面図

【図１１】ロット検出ユニットによるロット検出方法の
説明図

【図１２】受渡装置の正面図

【図１３】受渡装置の側面図

【図１４】受渡装置の平面図

【図１５】スライスベース剥離装置の作用の説明図

【図１６】マルチ切断による切断方法を説明する説明図

【符号の説明】

１０…スライスベース剥離装置１２…熱水槽１４…剥離装置１６…仕切装置１８…受渡装置２２…ワーク保持部３６…第１ガイドレール４０…第１スライドテーブル４８…第１送りモータ５０…剥離ユニット５４…揺動フレーム６０…揺動用ロータリーアクチュエータ９０、９２…アーム１００…剥離用吸着パット１０４…昇降用ロータリーアクチュエータ１１４…倒止板１２０Ａ〜１２０Ｃ…仕切ユニット１２２…駆動ユニット１２４…接続ユニット１２５…ブレーキユニット１２６Ａ〜１２６Ｃ…スライドプレート１３０Ａ〜１３０Ｃ…シリンダ１３４Ａ〜１３４Ｃ…仕切板１３６…第２ガイドレール１４０…第２スライドテーブル１４８…第２送りモータ１５０…接続プレート１５１Ａ〜１５１Ｃ…ピン挿入装置１５３Ａ〜１５３Ｃ…接続ピン１５５Ａ〜１５５Ｃ…接続用ピン穴１６４…ロット検出ユニット１６６Ｌ…投光センサ１６６Ｒ…受光センサ１６８Ａ〜１６８Ｃ…タッチセンサ１７０Ａ〜１７０Ｃ…接触子１７２…シャトルコンベア１７８…旋回用ロータリーアクチュエータ１９４…旋回アーム１９８…パット進退用シリンダ２００…受渡用吸着パットＷａ〜Ｗｃ…ウェーハＳａ〜Ｓｃ…スライスベースＭ…マウンティングプレート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】直列して配置された複数のインゴットを
切断機で多数枚同時に切断して得られたウェーハを、そ
のウェーハが接着されているスライスベースから一枚ず
つ剥離して枚葉化するスライスベース剥離装置におい
て、熱水が貯留される熱水槽と、前記ウェーハに接着されているスライスベースを前記熱
水中に浸漬させた状態で保持する保持手段と、前記熱水槽に沿って配設されたガイド部材と、前記ガイド部材に沿って走行する走行体と、前記走行体に設けられ、前記熱水中に浸漬されているス
ライスベースからウェーハを一枚ずつ剥離する剥離手段
と、前記ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、前記走行
体に押されて移動する複数の移動体と、前記各移動体に設けられ、ウェーハのロット間に挿入さ
れる仕切板と、前記各移動体と接続されることにより、前記各移動体を
前記ガイド部材に沿って移動させる移動体駆動手段と、前記移動体駆動手段で前記各移動体を前記ガイド部材に
沿って移動させる過程で、前記スライスベースに接着さ
れているウェーハのロット間を検出するロット検出手段
と、前記剥離手段で前記ウェーハを剥離してゆく過程で、前
記ウェーハのロット間に挿入された各仕切板を検出する
仕切板検出手段と、前記ロット検出手段から出力される検出信号に基づいて
前記仕切板を前記ウェーハのロット間に挿入するととも
に、前記仕切板検出手段から出力される検出信号に基づ
いて前記仕切板を前記ウェーハの間から退避させる仕切
板挿入手段と、前記各移動体と前記移動体駆動手段とを接続するととも
に、前記ロット検出手段から出力される検出信号に基づ
いて、その接続を解除する接続手段と、からなることを
特徴とするスライスベース剥離装置。
【請求項２】前記移動体駆動手段は、前記熱水槽を挟んで前記ガイド部材の反対位置に配設さ
れた第２ガイド部材と、前記第２ガイド部材に沿って走行する第２走行体と、か
らなり、前記接続手段を介して前記各移動体と分離可能
に接続されることを特徴とする請求項１記載のスライス
ベース剥離装置。
【請求項３】前記接続手段は、前記熱水槽の下部空間に配設され、一方端を前記第２走
行体に連結された接続部材と、前記接続部材に設けられ、前記各移動体に形成されたピ
ン穴に挿入されることにより、前記接続部材と前記移動
体とを接続するピンと、前記ピンを前記各移動体に形成されたピンに挿入するピ
ン挿入手段と、からなることを特徴とする請求項２記載
のスライスベース剥離装置。
【請求項４】前記ロット検出手段は、前記接続手段に
設けられ、前記熱水槽を挟んで互いに対向するように配
設された投光手段と受光手段とからなり、前記投光手段
から投光された光が前記受光手段で受光されたことを検
出することにより、前記スライスベースに接着されてい
るウェーハのロット間を検出することを特徴とする請求
項３記載のスライスベース剥離装置。
【請求項５】前記仕切板検出手段は、前記走行体と前
記移動体の接触及び前記移動体同士の接触を検出するこ
とにより、前記ウェーハのロット間に挿入された各仕切
板を検出することを特徴とする請求項１記載のスライス
ベース剥離装置。