JPH11247955A - 摩擦駆動装置 - Google Patents
摩擦駆動装置Info
- Publication number
- JPH11247955A JPH11247955A JP4555198A JP4555198A JPH11247955A JP H11247955 A JPH11247955 A JP H11247955A JP 4555198 A JP4555198 A JP 4555198A JP 4555198 A JP4555198 A JP 4555198A JP H11247955 A JPH11247955 A JP H11247955A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- friction wheel
- friction
- linear
- drive
- Prior art date
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】回転駆動力を直線駆動力に変換する駆動装置を
クリーンでコンパクトな構造にする。 【解決手段】直線部材としてのレール４を摩擦車３とロ
ーラ５で挟みつけ予圧を与える。駆動源１によって駆動
軸２を介して摩擦車３が回転されると、レール４との間
の摩擦力によって摩擦車３はレール４に対して相対的に
直線運動する。摩擦車３とローラ５の断面形状はＶ字凹
形であり、レール４の断面形状はＶ字凸形であり、互い
に位置決めしている。そしてレール４が長手方向に精度
よく加工されているのでレール４が直線運動の案内機構
を兼ね、リニアガイドを必要としないのでコンパクトな
構造となる。
クリーンでコンパクトな構造にする。 【解決手段】直線部材としてのレール４を摩擦車３とロ
ーラ５で挟みつけ予圧を与える。駆動源１によって駆動
軸２を介して摩擦車３が回転されると、レール４との間
の摩擦力によって摩擦車３はレール４に対して相対的に
直線運動する。摩擦車３とローラ５の断面形状はＶ字凹
形であり、レール４の断面形状はＶ字凸形であり、互い
に位置決めしている。そしてレール４が長手方向に精度
よく加工されているのでレール４が直線運動の案内機構
を兼ね、リニアガイドを必要としないのでコンパクトな
構造となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はモータなどの回転駆
動力を直線運動に変換する摩擦駆動装置であって、半導
体製造装置に使われる搬送装置や分析試料の位置決めの
ための試料ステージなどに適用できる摩擦駆動装置に関
する。
動力を直線運動に変換する摩擦駆動装置であって、半導
体製造装置に使われる搬送装置や分析試料の位置決めの
ための試料ステージなどに適用できる摩擦駆動装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】モータなどの回転駆動力を直線的な運動
に変える回転／直線変換機構として、ラック・ピニオン
機構やボールネジ機構などがよく知られている。また、
摩擦係数の大きいゴムなどのリングを外周に持つ摩擦車
と直線部材との組み合わせで摩擦車の回転運動を直線部
材の直線運動に変換する摩擦駆動機構も使用されてい
る。
に変える回転／直線変換機構として、ラック・ピニオン
機構やボールネジ機構などがよく知られている。また、
摩擦係数の大きいゴムなどのリングを外周に持つ摩擦車
と直線部材との組み合わせで摩擦車の回転運動を直線部
材の直線運動に変換する摩擦駆動機構も使用されてい
る。
【０００３】半導体の製造工程などでは埃や塵を極端に
嫌うので、ウエハの搬送装置のための回転／直線変換機
構においても発塵を押さえることが求められる。このた
めに、上述の摩擦駆動機構の一種として外輪にゴムなど
の柔らかい材料を使わず発塵の少ない堅い材料を用いて
外輪を構成し、バネなどによる予圧機構を用いて摩擦車
と直線部材との間に押付け力を発生し、それに基づく摩
擦力によって回転運動を直線運動に変換する摩擦駆動機
構が用いられる。
嫌うので、ウエハの搬送装置のための回転／直線変換機
構においても発塵を押さえることが求められる。このた
めに、上述の摩擦駆動機構の一種として外輪にゴムなど
の柔らかい材料を使わず発塵の少ない堅い材料を用いて
外輪を構成し、バネなどによる予圧機構を用いて摩擦車
と直線部材との間に押付け力を発生し、それに基づく摩
擦力によって回転運動を直線運動に変換する摩擦駆動機
構が用いられる。
【０００４】また、直線運動の直線性や位置再現性の精
度を高めるためには、直線運動を案内するための精度よ
く作られた案内機構が上記駆動機構と組み合わせて用い
られている。
度を高めるためには、直線運動を案内するための精度よ
く作られた案内機構が上記駆動機構と組み合わせて用い
られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】半導体の製造工程に使
用する駆動部などはできるだけ発塵を少なくし、かつ、
精度のよい直線駆動機構が必要である。上述した従来の
回転／直線変換機構のうち、ラック・ピニオン機構やボ
ールネジ機構は機械的にこすれる部分があるので発塵が
多く、摩擦車もゴムなどの柔らかい材料を外輪として用
いると発塵が多くなる。また、精度の高い直線駆動のた
めには駆動機構とは別の案内機構が必要であって、機構
が複雑でコストがかかり、コンパクトさに欠けるもので
あった。
用する駆動部などはできるだけ発塵を少なくし、かつ、
精度のよい直線駆動機構が必要である。上述した従来の
回転／直線変換機構のうち、ラック・ピニオン機構やボ
ールネジ機構は機械的にこすれる部分があるので発塵が
多く、摩擦車もゴムなどの柔らかい材料を外輪として用
いると発塵が多くなる。また、精度の高い直線駆動のた
めには駆動機構とは別の案内機構が必要であって、機構
が複雑でコストがかかり、コンパクトさに欠けるもので
あった。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、発塵を押さえつつ構造が簡単でコンパク
トな回転駆動力を直線駆動力に変換する回転／直線変換
駆動装置を提供することを目的とする。
たものであり、発塵を押さえつつ構造が簡単でコンパク
トな回転駆動力を直線駆動力に変換する回転／直線変換
駆動装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、回転駆動源と、この回転駆動源によって
回転される摩擦車と、この摩擦車と接触する直線部材を
有し、前記回転駆動源の回転運動を前記直線部材または
前記摩擦車の直線運動に変換する摩擦駆動装置におい
て、前記摩擦車と前記直線部材はその接触部分の断面形
状の一方がＶ字凹形であり他方がＶ字凸形であって、前
記直線部材が前記直線運動の案内を兼ねていることを特
徴とする。
決するために、回転駆動源と、この回転駆動源によって
回転される摩擦車と、この摩擦車と接触する直線部材を
有し、前記回転駆動源の回転運動を前記直線部材または
前記摩擦車の直線運動に変換する摩擦駆動装置におい
て、前記摩擦車と前記直線部材はその接触部分の断面形
状の一方がＶ字凹形であり他方がＶ字凸形であって、前
記直線部材が前記直線運動の案内を兼ねていることを特
徴とする。
【０００８】本発明の摩擦駆動装置は断面形状がＶ字凹
形とＶ字凸形をしている摩擦車と直線部材を接触させて
その摩擦力によって駆動するので発塵は少ない。そして
摩擦駆動のための直線部材が直線運動の精度をよくする
ための案内部材を兼ねているために、駆動機構とは別の
直線案内機構を必要とせず小型軽量でコンパクトなもの
とすることができる。
形とＶ字凸形をしている摩擦車と直線部材を接触させて
その摩擦力によって駆動するので発塵は少ない。そして
摩擦駆動のための直線部材が直線運動の精度をよくする
ための案内部材を兼ねているために、駆動機構とは別の
直線案内機構を必要とせず小型軽量でコンパクトなもの
とすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を、図面を
参照しながら説明する。図１（ａ）は摩擦駆動装置の要
部の正面図であり、図１（ｂ）はそれを右方からみた側
面図である。
参照しながら説明する。図１（ａ）は摩擦駆動装置の要
部の正面図であり、図１（ｂ）はそれを右方からみた側
面図である。
【００１０】電気モータなどからなる駆動源１の駆動軸
２は摩擦車３の中心にはめ込まれている。摩擦車３とそ
れに対向するローラ５は図示していないバネなどの弾性
部材を用いて一体的にレール４を挟みつけて予圧を与
え、摩擦車３とレール４との間に摩擦力が働くようにな
っている。また、他のローラ６と７も対向して同じく図
示していないバネなどの弾性部材を用いて一体的にレー
ル４を挟みつけている。なお、摩擦車３とレール４との
間に予圧を与えるためのバネは必ずしも必要なものでは
なく、単に組み付けの力で予圧を与えるようにしてもよ
い。
２は摩擦車３の中心にはめ込まれている。摩擦車３とそ
れに対向するローラ５は図示していないバネなどの弾性
部材を用いて一体的にレール４を挟みつけて予圧を与
え、摩擦車３とレール４との間に摩擦力が働くようにな
っている。また、他のローラ６と７も対向して同じく図
示していないバネなどの弾性部材を用いて一体的にレー
ル４を挟みつけている。なお、摩擦車３とレール４との
間に予圧を与えるためのバネは必ずしも必要なものでは
なく、単に組み付けの力で予圧を与えるようにしてもよ
い。
【００１１】摩擦車３およびローラ５，６，７の断面形
状は図１（ａ）にみられるようにＶ字凹形をしており、
レール４の断面形状はＶ字凸形に加工され、その２つの
形状が組み合わされて接触している。３つのローラ５，
６，７と摩擦車３および駆動源１は例えば一つのブロッ
クに組み付けられているものであり一体となっている。
そして駆動源としてのモータ１が回転し、駆動軸２を介
して摩擦車3が回転すると、摩擦車3とレール４との間に
摩擦力が働き、摩擦車３などが組み付けられているブロ
ックとレール４とが相対的に直線運動を起こす。このと
きレール４を固定しておけば駆動源１や摩擦車3などが
組み付けられたブロックが図１（ｂ）の左右方向に直線
運動をして、反対に、このブロックが固定されていれば
レール４が図１（ｂ）の左右方向に直線運動をすること
になる。
状は図１（ａ）にみられるようにＶ字凹形をしており、
レール４の断面形状はＶ字凸形に加工され、その２つの
形状が組み合わされて接触している。３つのローラ５，
６，７と摩擦車３および駆動源１は例えば一つのブロッ
クに組み付けられているものであり一体となっている。
そして駆動源としてのモータ１が回転し、駆動軸２を介
して摩擦車3が回転すると、摩擦車3とレール４との間に
摩擦力が働き、摩擦車３などが組み付けられているブロ
ックとレール４とが相対的に直線運動を起こす。このと
きレール４を固定しておけば駆動源１や摩擦車3などが
組み付けられたブロックが図１（ｂ）の左右方向に直線
運動をして、反対に、このブロックが固定されていれば
レール４が図１（ｂ）の左右方向に直線運動をすること
になる。
【００１２】レール４は長手方向（図１（ｂ）の左右方
向）に長く伸びる形状をしており、この長手方向にはう
ねりや曲りがないように精度よく加工されている。摩擦
車３、ローラ５，６，７およびレール４は金属製であ
り、それらが互いに接する接触面はなめらかな表面に加
工されている。このレール４は摩擦車との接触により駆
動力を発生するとともに上述のように精度よく仕上げら
れた直線部材であり、直線運動の案内機構の役目も果た
すものである。
向）に長く伸びる形状をしており、この長手方向にはう
ねりや曲りがないように精度よく加工されている。摩擦
車３、ローラ５，６，７およびレール４は金属製であ
り、それらが互いに接する接触面はなめらかな表面に加
工されている。このレール４は摩擦車との接触により駆
動力を発生するとともに上述のように精度よく仕上げら
れた直線部材であり、直線運動の案内機構の役目も果た
すものである。
【００１３】上述の実施の形態では、摩擦車がＶ字凹形
をしておりレール４の断面形状をＶ字凸形としたが、こ
の関係は反対であってもよい。すなわち、図２に要部を
示すように、駆動源からのびる駆動軸２は断面形状がＶ
字凸形をした摩擦車８に接続されそれを回転する。摩擦
車８に接するレール９の断面形状はＶ字凹形となってい
る。このとき図１に示すローラ５，６，７に相当するロ
ーラも摩擦車８と同様に断面がＶ字凸形とされている。
をしておりレール４の断面形状をＶ字凸形としたが、こ
の関係は反対であってもよい。すなわち、図２に要部を
示すように、駆動源からのびる駆動軸２は断面形状がＶ
字凸形をした摩擦車８に接続されそれを回転する。摩擦
車８に接するレール９の断面形状はＶ字凹形となってい
る。このとき図１に示すローラ５，６，７に相当するロ
ーラも摩擦車８と同様に断面がＶ字凸形とされている。
【００１４】さらに、摩擦車とレールとが接触する面積
を少なくするために、図３に示すような形状にしてもよ
い。すなわち、図３の形状は図１と比較してレール１０
下端の形状が異なるものであり、Ｖ字凸形状の下端部分
を面取りして摩擦車３との接触部分を少なくしたもので
ある。摩擦車３の断面形状は図１と同様にＶ字凹形であ
る。このように接触部分を減少させると直線運動がなめ
らかになる。
を少なくするために、図３に示すような形状にしてもよ
い。すなわち、図３の形状は図１と比較してレール１０
下端の形状が異なるものであり、Ｖ字凸形状の下端部分
を面取りして摩擦車３との接触部分を少なくしたもので
ある。摩擦車３の断面形状は図１と同様にＶ字凹形であ
る。このように接触部分を減少させると直線運動がなめ
らかになる。
【００１５】
【発明の効果】本発明の摩擦駆動装置は、摩擦車とレー
ルの断面形状の一方がＶ字凹形であり他方がＶ字凸形を
しており、その間で発生する摩擦力で回転運動を直線運
動に変換するので発塵が少ない。そして、駆動力を発生
するためのレールが直線案内部材を兼ねているので構成
が簡単でありコンパクトである。
ルの断面形状の一方がＶ字凹形であり他方がＶ字凸形を
しており、その間で発生する摩擦力で回転運動を直線運
動に変換するので発塵が少ない。そして、駆動力を発生
するためのレールが直線案内部材を兼ねているので構成
が簡単でありコンパクトである。
【００１６】この摩擦駆動装置を用いて半導体製造装置
などの搬送装置を構成するとコンパクトでクリーンな搬
送が行える装置を実現することができる。
などの搬送装置を構成するとコンパクトでクリーンな搬
送が行える装置を実現することができる。
【図１】本発明の一実施の形態である摩擦駆動装置を示
す。
す。
【図２】摩擦車とレールの変形実施例である。
【図３】摩擦車とレールの他の変形実施例である。
１…駆動源 ２…駆動軸 ３…摩擦車 ４…レール ５…ローラ ６…ローラ ７…ローラ ８…摩擦車 ９…レール １０…レール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 博幸 京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会 社島津製作所三条工場内
Claims (1)
- 【請求項１】 回転駆動源と、この回転駆動源によって
回転される摩擦車と、この摩擦車と接触する直線部材を
有し、前記回転駆動源の回転運動を前記直線部材または
前記摩擦車の直線運動に変換する摩擦駆動装置におい
て、前記摩擦車と前記直線部材はその接触部分の断面形
状の一方がＶ字凹形であり他方がＶ字凸形であって、前
記直線部材が前記直線運動の案内を兼ねていることを特
徴とする摩擦駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4555198A JPH11247955A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 摩擦駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4555198A JPH11247955A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 摩擦駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11247955A true JPH11247955A (ja) | 1999-09-14 |
Family
ID=12722508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4555198A Pending JPH11247955A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 摩擦駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11247955A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6648509B2 (en) * | 2001-08-15 | 2003-11-18 | Nikon Corporation | Friction-drive stage |
| EP1821000A2 (en) | 2006-02-20 | 2007-08-22 | Isel Co., Ltd. | Friction drive unit |
| CN102328840A (zh) * | 2010-07-12 | 2012-01-25 | 南通瑞和船舶配件有限公司 | 用于大直径缠绕垫片送料的辅助压轮 |
| KR101189719B1 (ko) | 2011-05-12 | 2012-10-10 | 한국표준과학연구원 | 교체 가능한 샘플 이송 및 고정 장치 |
| DE102014008254A1 (de) * | 2014-06-05 | 2015-12-17 | Grob GmbH | Antrieb für Schubkette |
-
1998
- 1998-02-26 JP JP4555198A patent/JPH11247955A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6648509B2 (en) * | 2001-08-15 | 2003-11-18 | Nikon Corporation | Friction-drive stage |
| EP1821000A2 (en) | 2006-02-20 | 2007-08-22 | Isel Co., Ltd. | Friction drive unit |
| CN102328840A (zh) * | 2010-07-12 | 2012-01-25 | 南通瑞和船舶配件有限公司 | 用于大直径缠绕垫片送料的辅助压轮 |
| KR101189719B1 (ko) | 2011-05-12 | 2012-10-10 | 한국표준과학연구원 | 교체 가능한 샘플 이송 및 고정 장치 |
| DE102014008254A1 (de) * | 2014-06-05 | 2015-12-17 | Grob GmbH | Antrieb für Schubkette |
| DE102014008254B4 (de) * | 2014-06-05 | 2017-10-05 | Grob GmbH | Antrieb für Schubkette |
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