JPS59115140A - 精密位置決めテ−ブル - Google Patents

精密位置決めテ−ブル

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Publication number
JPS59115140A
JPS59115140A JP22425282A JP22425282A JPS59115140A JP S59115140 A JPS59115140 A JP S59115140A JP 22425282 A JP22425282 A JP 22425282A JP 22425282 A JP22425282 A JP 22425282A JP S59115140 A JPS59115140 A JP S59115140A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sliding block
slope
screw shaft
inclined surface
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22425282A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayuki Tsuruha
正幸 鶴羽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP22425282A priority Critical patent/JPS59115140A/ja
Publication of JPS59115140A publication Critical patent/JPS59115140A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/58Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は部品の加工1組立、検査等に使用される高精度
な位置設定が可能な位置決めテーブルに関するものであ
る。
従来例の構成とその問題点 従来の位置決めテーブルは第1図にその具体構成を示す
ように、本体1に両端を支持された一対の固定の案内軸
2,3を案内として左右に摺動可能に支持された移動テ
ーブル4を有し、該移動テーブルに取付けられたナツト
6にネジ係合され、両端を前記本体に回転自在に軸支さ
れたネジ軸6を有し、該ネジ軸と継手7を介して接続さ
れだノ(ルスモーター8が設けられていた0 この動作はパルスモータ−に設定された一定角度の回転
駆動が与えられると継手を介してネジ軸が回転し案内軸
に摺動自在に支持された移動テーブルが一定寸法移動す
る。
しかしながら上記のような構成では、移動テーブルを一
定寸法移動させて超精密に位置決めを行なおうとする場
合に、まずパルスモータ−のステップ角度を極力小さく
する必要があるが、このステップ角度は励磁方法を変え
ても一定角度以下に設定することはモーター特性上不可
能である。次にネジ軸のピッチを極力小さくすれば良い
が、このピッチも一定ピッチ以下はネジ強度の問題、加
工上の問題等で小さくすることはできない。またネジ軸
とナツトとの間のバックラッシュが必ず発生するため、
この様な構成では超精密に位置決めを行なうことは一定
の限界があるという欠点を有していた。
発明の目的 本発明は上記欠点に鑑み、前記従来例と同じくパルスモ
ータ−駆動でネジ軸を回転させ、しかも超精密な位置決
め精度を得る位置決めテーブルを提供するものである。
発明の構成 本発明は摺動可能に支持され、傾斜而を有する移動テー
ブルと、これに直角方向に摺動可能で前記傾斜而と当接
する傾斜面を有する摺動ブロックと、このブロックにネ
ジ係合された送りネジと駆動手段と、両傾斜面を当接さ
せるだめの加圧手段とから構成されており、パルスモー
タ−で一定角度回転駆動が与えられたネジ軸は摺動ブロ
ックを一定寸法移動させ、次に傾斜面の当接によって摺
動ブロックの何十分の−1あるいは何百分の−の寸法の
移動量が移動テーブルに与えられ移動テーブルに超精密
な位置設定が可能となるという特有の効果を有する。
実施例の説明 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
第2図は本発明の実施例における精密位置決めテーブル
の平面図、第3図は同じく正面図を示すものである。
第2図及び第3図において、9id固定の本体、10は
移動テーブルで、本体9に直線運動ベアリング11を介
して摺動自在に支持されている。12は前記移動テーブ
ル10の一部に設けられた傾斜面、13は本体9に摺動
自在に案内され、前記移動テーブル1oの移動方向に対
して直角に動く摺動ブロックで、前記移動テーブル1o
の傾斜面12に当接する他の傾斜面14を有する。15
は前記摺動ブロック13にネジ係合によって接続され、
本体9に取付けられた軸受16,17によって両軸を回
軸自在に軸支されたネジ軸、18は前記の両傾斜面12
.14を当接させる力を与えるだめの本体9と移動テー
ブル10間に設けられた引張りバネ、19はパルスモー
タ−120はパルスモータ−19からネジ軸16に回転
駆動を接続する継手である。
以上のように構成された精密位置決めテーブルについて
、以下その動作を説明する。
筐ずパルスモータ−19で一定角度回転駆動が与えられ
たネジ軸16はネジのかみ合いによって摺動ブロック1
3が一定寸法だけ移動する。次に摺動ブロック13の傾
斜面に当接した傾斜面をもつ移動テーブル10が摺動ブ
ロック13の移動方向に対して直角方向に傾斜の比だけ
縮小されて移動することになる。
以上のようにネジ軸15によって移動される摺動ブロッ
ク13に一定の微少な傾斜をもって移動テーブル1oが
当接する場合、摺動ブロック13の移動寸法に対して傾
斜角の比だけ縮少されて移動テーブル10に伝達される
ことにより、前記従来例の構成では実現が不可能であっ
た超精密位置決めも、当接する傾斜角の比を極力大きく
とれば容易に実現が可能となるものである。
発明の効果 以上のように本発明は傾斜面で当接して直角方向に変位
を伝達することにより、超精密位置決め及び微少送りが
可能となり、しかも傾斜角の比を任意に設定することに
より設定位置決め精度を自由に選択することができるも
ので、その効果は犬なるものがある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の位置決めテーブルの平面図、第9・・・
・・・本体、1o・・・・・移動テーブル、12・・・
・・・傾斜面、13・・・・・・摺動ブ[コック、14
・・・・・・傾斜面、15・・・・・・送りネジ、18
・・・・・・加圧手段、19・・・・・・駆動手段。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第3F54

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 本体に対して直線に摺動可能に支持され、一部分に傾斜
    面を有する移動テーブルと、この移動テーブルの移動方
    向に対して直角方向に摺動可能で、前記移動テーブルの
    傾斜面と当接する他の傾斜面を有する摺動ブロックと、
    との摺動ブロックにネジ係合され、かつ本体に回転自在
    に軸支された送りネジと、この送りネジに一定角度の回
    転駆動を与える駆動手段と、前記移動テーブルを前記摺
    動ブロックに当接させるための加圧手段とを備えた精密
    位置決めテーブル。
JP22425282A 1982-12-20 1982-12-20 精密位置決めテ−ブル Pending JPS59115140A (ja)

Priority Applications (1)

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JP22425282A JPS59115140A (ja) 1982-12-20 1982-12-20 精密位置決めテ−ブル

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JP22425282A JPS59115140A (ja) 1982-12-20 1982-12-20 精密位置決めテ−ブル

Publications (1)

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JPS59115140A true JPS59115140A (ja) 1984-07-03

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Family Applications (1)

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JP22425282A Pending JPS59115140A (ja) 1982-12-20 1982-12-20 精密位置決めテ−ブル

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2648069A1 (fr) * 1989-06-07 1990-12-14 Alsthom Gec Butee de reaction pour outillage d'usinage
KR20030006756A (ko) * 2001-07-14 2003-01-23 주식회사 져스텍 일렬로 배치되어 직선운동하는 두 이동부재를 이용한작업대 이동장치
JP2008208870A (ja) * 2007-02-23 2008-09-11 Kayaba Ind Co Ltd 緩衝器のバルブ構造
JP2009506269A (ja) * 2005-08-24 2009-02-12 ツェットエフ フリードリッヒスハーフェン アーゲー 振動ダンパ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5746102U (ja) * 1980-09-01 1982-03-13

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5746102U (ja) * 1980-09-01 1982-03-13

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2648069A1 (fr) * 1989-06-07 1990-12-14 Alsthom Gec Butee de reaction pour outillage d'usinage
KR20030006756A (ko) * 2001-07-14 2003-01-23 주식회사 져스텍 일렬로 배치되어 직선운동하는 두 이동부재를 이용한작업대 이동장치
JP2009506269A (ja) * 2005-08-24 2009-02-12 ツェットエフ フリードリッヒスハーフェン アーゲー 振動ダンパ
JP2008208870A (ja) * 2007-02-23 2008-09-11 Kayaba Ind Co Ltd 緩衝器のバルブ構造

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