JPS5850008A - 高精度移動テ−ブル装置 - Google Patents
高精度移動テ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS5850008A JPS5850008A JP14795581A JP14795581A JPS5850008A JP S5850008 A JPS5850008 A JP S5850008A JP 14795581 A JP14795581 A JP 14795581A JP 14795581 A JP14795581 A JP 14795581A JP S5850008 A JPS5850008 A JP S5850008A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving table
- movable
- piezoelectric effect
- table device
- drive mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D3/00—Control of position or direction
- G05D3/12—Control of position or direction using feedback
- G05D3/14—Control of position or direction using feedback using an analogue comparing device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はビデオディスク、超Ｌ５１１等の微細加工装置
の試料台として組込む（二好適なテーブルの位置精度が
高く、且つ簡単な構成で実用性の高い高精度移動テーブ
ル装置４＝ＴＩＡする。
の試料台として組込む（二好適なテーブルの位置精度が
高く、且つ簡単な構成で実用性の高い高精度移動テーブ
ル装置４＝ＴＩＡする。
ビデオディスク、超ＬＳＩ等の微細加工装置６二組込ま
れる移動テーブル装置では、１に試料を載置したテーブ
ルを横方向に一定速度で移動させながら、あるいは定位
置に位置決めして試料礪；黴細加工している。この場合
、上記テーブルの移動が長いストロークにわ九って円滑
Ｃ二、且つ高糟度喀；行われなければ試料の加工精度の
大幅な劣化を招く問題がある。
れる移動テーブル装置では、１に試料を載置したテーブ
ルを横方向に一定速度で移動させながら、あるいは定位
置に位置決めして試料礪；黴細加工している。この場合
、上記テーブルの移動が長いストロークにわ九って円滑
Ｃ二、且つ高糟度喀；行われなければ試料の加工精度の
大幅な劣化を招く問題がある。
しかしながら従来構造の移動テーブル装置１：あっては
、以下６：示す如き種々の問題があ抄、信頼性に乏しい
＠ 例えば、従来から仁のような目的に使用される移動テー
ブル装置として多くの場合１１１１ｉ１（：示すように
、回転制御されたモータｌを歯車１ｓｔ＝。
、以下６：示す如き種々の問題があ抄、信頼性に乏しい
＠ 例えば、従来から仁のような目的に使用される移動テー
ブル装置として多くの場合１１１１ｉ１（：示すように
、回転制御されたモータｌを歯車１ｓｔ＝。
よって減速し、送にネジ５を回転させる◎送）ネジｌｓ
社軸受４４二上って軸方向に支持されているからナツト
６は軸方°向−；移動する。このナツト６の動きを連結
棒７ぽ二よって移動テーブル８に連結し、案内９Ｍ＝よ
って支持されている移動テーブル８を移動制御している
。
社軸受４４二上って軸方向に支持されているからナツト
６は軸方°向−；移動する。このナツト６の動きを連結
棒７ぽ二よって移動テーブル８に連結し、案内９Ｍ＝よ
って支持されている移動テーブル８を移動制御している
。
この場合モータが精度よく回転制御されてい九としても
、伝達部品である歯車、軸受、送）ネジナツト等の機械
部品の加工と組立の精度Ｃ二よって送砂方向の速度ムラ
が発生すると一′１う欠点があつ九＠更（二これら部品
の加工及び組立の精度に祉限度があり、摩耗等ζ；よる
精度の劣化という点でも欠点があつ九０そして、このよ
うな駆動機構を移動テーブルと直接的１；連結してい友
丸め、移動テーブルの動作が、駆動機構の精度の影響を
大きく受けて、α１μｍ＠度の精度が要求される黴細廟
工（：大きな障害となっていた。
、伝達部品である歯車、軸受、送）ネジナツト等の機械
部品の加工と組立の精度Ｃ二よって送砂方向の速度ムラ
が発生すると一′１う欠点があつ九＠更（二これら部品
の加工及び組立の精度に祉限度があり、摩耗等ζ；よる
精度の劣化という点でも欠点があつ九０そして、このよ
うな駆動機構を移動テーブルと直接的１；連結してい友
丸め、移動テーブルの動作が、駆動機構の精度の影響を
大きく受けて、α１μｍ＠度の精度が要求される黴細廟
工（：大きな障害となっていた。
本発明は上記事情を考慮してこれらの欠点を解決すべく
なされたもので、その目的とするとζろは、テーブルの
移動精度が高く、且つ小型簡素化を図や得る微細加工装
置−−組込む１；好適な実用性の高い高精度移動テーブ
ル装置を提供する１；ある。
なされたもので、その目的とするとζろは、テーブルの
移動精度が高く、且つ小型簡素化を図や得る微細加工装
置−−組込む１；好適な実用性の高い高精度移動テーブ
ル装置を提供する１；ある。
以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明す
る。
る。
第２図・；概略構成を示す・回転制御され九モータ１１
、減速−車１２．１３、軸受１４、送にネジ１５、ナラ
）１６、案内１９は第１ｉｉ！ｌζ二示す従来用し九黴
動変位素子２１の内部構造は図では省略しているが、内
部の圧電素子が電気的入力に応じて微少変位して動作す
るものである。一方、検出器２（Ｈ二よ−って移動テー
ブル１８の軸方向の変化とか送度ムラ等を検出し、夫々
の目標値と比較し丸差を電気的入力として圧電効果を利
用した微動変位素子２１を駆動し移動テーブル１８の動
作を補正制御するものである。
、減速−車１２．１３、軸受１４、送にネジ１５、ナラ
）１６、案内１９は第１ｉｉ！ｌζ二示す従来用し九黴
動変位素子２１の内部構造は図では省略しているが、内
部の圧電素子が電気的入力に応じて微少変位して動作す
るものである。一方、検出器２（Ｈ二よ−って移動テー
ブル１８の軸方向の変化とか送度ムラ等を検出し、夫々
の目標値と比較し丸差を電気的入力として圧電効果を利
用した微動変位素子２１を駆動し移動テーブル１８の動
作を補正制御するものである。
かくして、上述し九構造の高精度移動テーブル装置Ｃ二
よれば゛、機械部品で構成された駆動機構の送）精度は
圧電効果を利用した微動変位素子の補正能力以内であれ
ば十分であるからロングストロークの駆動機構が容易に
でき、その全ストローク４；わ九？て圧電効果を利用し
た微動変位素子で微小補正が可能であるから０．１μｍ
以下の送）精度を。
よれば゛、機械部品で構成された駆動機構の送）精度は
圧電効果を利用した微動変位素子の補正能力以内であれ
ば十分であるからロングストロークの駆動機構が容易に
でき、その全ストローク４；わ九？て圧電効果を利用し
た微動変位素子で微小補正が可能であるから０．１μｍ
以下の送）精度を。
保証する信頼性の高いロングストロークの高精度移動テ
ーブルが効果的−二実現することになる◎尚、本発明は
上記実施例−二のみ限定されるものではない・例えば駆
動機構として、モータ、歯車軸受、送ｐネジ等の構成部
品は他の部品４ｎｉｌき換えても、まえ検出６醇の針側
系の構成も種々変形しても、本発明の効果は変わらない
。−更櫨二は、本装置をビデオディスク、超Ｌ８Ｉ以外
の機器に組込むこと４可能である。要するＣ：本発明は
その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施すること
が可能である。
ーブルが効果的−二実現することになる◎尚、本発明は
上記実施例−二のみ限定されるものではない・例えば駆
動機構として、モータ、歯車軸受、送ｐネジ等の構成部
品は他の部品４ｎｉｌき換えても、まえ検出６醇の針側
系の構成も種々変形しても、本発明の効果は変わらない
。−更櫨二は、本装置をビデオディスク、超Ｌ８Ｉ以外
の機器に組込むこと４可能である。要するＣ：本発明は
その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施すること
が可能である。
以上詳述しえように本発明によれば、従来装置の欠点を
解消し、長いストロークにわたってテーブルの高精度で
信頼性の高い移動制御が行え、且つ小型形状の実用性の
高い高精度移動テーブル装置をζζ６二提供することが
できる０
解消し、長いストロークにわたってテーブルの高精度で
信頼性の高い移動制御が行え、且つ小型形状の実用性の
高い高精度移動テーブル装置をζζ６二提供することが
できる０
第１図は従来の移動テーブル装置の構造の１例を示す構
成図、Ｈｚ図は本発明の一実施例の移動テーブル装置の
構造を示す構成図である０１．１１・・・峰−夕
４．１４・・・軸受２４−ＩＬ１３・・・歯車 Ｌ
ｌｌ）・・送ｐネジ６．１番・・ナツト ９．１
１）・・案内１．１１・・・連結棒 ２０・・・
検出器８．１８−・・移動テーブル
成図、Ｈｚ図は本発明の一実施例の移動テーブル装置の
構造を示す構成図である０１．１１・・・峰−夕
４．１４・・・軸受２４−ＩＬ１３・・・歯車 Ｌ
ｌｌ）・・送ｐネジ６．１番・・ナツト ９．１
１）・・案内１．１１・・・連結棒 ２０・・・
検出器８．１８−・・移動テーブル
Claims (1)
- 移動方向の案内機構（＝よって移動可能なよう櫨；支持
されたテーブルと、これを駆動するため４：ＪＩ：−タ
や機械部品で構成され九テーブル駆動機構と、このテー
ブル駆動機構と前記テーブルとの連結部に、圧電効果を
利用し九黴動変位素子と上記テーブルの位置検出器とを
具備して、移動テーブルの動作を高精度６二制御したこ
とを特徴とする高精度移動テーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14795581A JPS5850008A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 高精度移動テ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14795581A JPS5850008A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 高精度移動テ−ブル装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2047324A Division JPH0757457B2 (ja) | 1990-03-01 | 1990-03-01 | 移動テーブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5850008A true JPS5850008A (ja) | 1983-03-24 |
Family
ID=15441857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14795581A Pending JPS5850008A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 高精度移動テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5850008A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60116506U (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-07 | 日本精工株式会社 | テ−ブルの超精密位置決め機構 |
| JPS6165427A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-04 | Toshiba Corp | 移動ステ−ジ装置 |
| JPH0792283A (ja) * | 1993-09-22 | 1995-04-07 | Nec Corp | 送り装置 |
| JP2019089142A (ja) * | 2017-11-10 | 2019-06-13 | 国立大学法人 鹿児島大学 | 工作機械および工作機械の制御方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49101812A (ja) * | 1973-01-31 | 1974-09-26 | ||
| JPS51146357A (en) * | 1975-06-11 | 1976-12-15 | Hitachi Ltd | Rolling mill |
| JPS5287584A (en) * | 1976-01-16 | 1977-07-21 | Hitachi Ltd | Fine positioning apparatus |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP14795581A patent/JPS5850008A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49101812A (ja) * | 1973-01-31 | 1974-09-26 | ||
| JPS51146357A (en) * | 1975-06-11 | 1976-12-15 | Hitachi Ltd | Rolling mill |
| JPS5287584A (en) * | 1976-01-16 | 1977-07-21 | Hitachi Ltd | Fine positioning apparatus |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60116506U (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-07 | 日本精工株式会社 | テ−ブルの超精密位置決め機構 |
| JPS6165427A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-04 | Toshiba Corp | 移動ステ−ジ装置 |
| JPH0574226B2 (ja) * | 1984-09-07 | 1993-10-18 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
| JPH0792283A (ja) * | 1993-09-22 | 1995-04-07 | Nec Corp | 送り装置 |
| JP2019089142A (ja) * | 2017-11-10 | 2019-06-13 | 国立大学法人 鹿児島大学 | 工作機械および工作機械の制御方法 |
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