JPH0792283A - 送り装置 - Google Patents
送り装置Info
- Publication number
- JPH0792283A JPH0792283A JP25751593A JP25751593A JPH0792283A JP H0792283 A JPH0792283 A JP H0792283A JP 25751593 A JP25751593 A JP 25751593A JP 25751593 A JP25751593 A JP 25751593A JP H0792283 A JPH0792283 A JP H0792283A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle
- block
- actuator
- micrometer head
- moved
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 超微細な位置決めを廉価に行う。
【構成】 １はベースステージ、３は連結ブロック２を
介してベースステージ１に固定され、シンブル４の回動
操作でスピンドル５が進退するマイクロメータヘッドで
ある。７はガイド部材８を介してベースステージ１に図
中矢印Ａ方向に摺動自在な移動ブロック、９は移動ブロ
ック７の側面部に固定された突当てブロックである。そ
して、スピンドル５の先端には、突当てブロック９に密
着する圧電アクチュエータ６が取り付けられている。
介してベースステージ１に固定され、シンブル４の回動
操作でスピンドル５が進退するマイクロメータヘッドで
ある。７はガイド部材８を介してベースステージ１に図
中矢印Ａ方向に摺動自在な移動ブロック、９は移動ブロ
ック７の側面部に固定された突当てブロックである。そ
して、スピンドル５の先端には、突当てブロック９に密
着する圧電アクチュエータ６が取り付けられている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学的検査装置や半導
体装置のリードの接続等において微細な送りを必要とさ
れる送り装置に関する。
体装置のリードの接続等において微細な送りを必要とさ
れる送り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種の送り装置として代表的
なものは、以下に挙げる３つのタイプがある。すなわ
ち、第１のタイプは、マイクロメータヘッドをベースス
テージに固定し、マイクロメータヘッドに進退自在なス
ピンドルの先端を移動ステージに密着させて、手動でマ
イクロメータヘッドを操作してスピンドルを進退させて
移動ステージを所定位置に移動させて位置決めするもの
である。
なものは、以下に挙げる３つのタイプがある。すなわ
ち、第１のタイプは、マイクロメータヘッドをベースス
テージに固定し、マイクロメータヘッドに進退自在なス
ピンドルの先端を移動ステージに密着させて、手動でマ
イクロメータヘッドを操作してスピンドルを進退させて
移動ステージを所定位置に移動させて位置決めするもの
である。
【０００３】第２のタイプは、移動ステージ側に設けた
ねじ部に螺合するボールねじをモータで正逆回転させ
て、ボールねじに沿って移動ステージの移動を制御する
方式である。第３のタイプは、圧電アクチュエータの一
端を移動ステージに固定し、圧電アクチュエータに電圧
を印加した際の圧電アクチュエータの伸縮により移動ス
テージを移動させる方法である。
ねじ部に螺合するボールねじをモータで正逆回転させ
て、ボールねじに沿って移動ステージの移動を制御する
方式である。第３のタイプは、圧電アクチュエータの一
端を移動ステージに固定し、圧電アクチュエータに電圧
を印加した際の圧電アクチュエータの伸縮により移動ス
テージを移動させる方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の第１のタイプのようにマイクロメータヘッドを
用いる方式では、移動ステージの分解能の限界が１μｍ
程度であり、さらに微細な分解能が要求された場合には
対応できない欠点があった。第２のタイプでは、モータ
とボールねじを組み合わせる等して電気的にステージを
移動制御するようにしているので、コストが高くなると
同時にステージ移動分解能が上述した第１のタイプと同
様に、１μｍ程度が限界であるといった欠点があった。
第３のタイプでは、圧電アクチュエータを用いているの
で、分解能は向上するものの、圧電アクチュエータの伸
縮量に限界があるので、移動ステージの移動範囲量に制
約が生じるといった欠点があった。
た従来の第１のタイプのようにマイクロメータヘッドを
用いる方式では、移動ステージの分解能の限界が１μｍ
程度であり、さらに微細な分解能が要求された場合には
対応できない欠点があった。第２のタイプでは、モータ
とボールねじを組み合わせる等して電気的にステージを
移動制御するようにしているので、コストが高くなると
同時にステージ移動分解能が上述した第１のタイプと同
様に、１μｍ程度が限界であるといった欠点があった。
第３のタイプでは、圧電アクチュエータを用いているの
で、分解能は向上するものの、圧電アクチュエータの伸
縮量に限界があるので、移動ステージの移動範囲量に制
約が生じるといった欠点があった。
【０００５】したがって、本発明は、上記した従来の欠
点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、超微細な位置決めを廉価で実現する送り装置を提供
することにある。
点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、超微細な位置決めを廉価で実現する送り装置を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係る送り装置は、進退自在のスピンドルを
有するマイクロメータヘッドと、このマイクロメータヘ
ッドのスピンドルの先端部に取り付けた圧電アクチュエ
ータとからなる。また、本発明に係る送り装置は、進退
自在のスピンドルを有するマイクロメータヘッドと、こ
のマイクロメータヘッドのスピンドルの先端部に取り付
けた圧電アクチュエータと、前記マイクロメータヘッド
が固定されるベースステージと、このベースステージに
移動自在に支持された移動ステージとからなり、前記移
動ステージに突当て部材を取り付けるとともに、この突
当て部材に前記スピンドルの先端を密着させたものであ
る。
に、本発明に係る送り装置は、進退自在のスピンドルを
有するマイクロメータヘッドと、このマイクロメータヘ
ッドのスピンドルの先端部に取り付けた圧電アクチュエ
ータとからなる。また、本発明に係る送り装置は、進退
自在のスピンドルを有するマイクロメータヘッドと、こ
のマイクロメータヘッドのスピンドルの先端部に取り付
けた圧電アクチュエータと、前記マイクロメータヘッド
が固定されるベースステージと、このベースステージに
移動自在に支持された移動ステージとからなり、前記移
動ステージに突当て部材を取り付けるとともに、この突
当て部材に前記スピンドルの先端を密着させたものであ
る。
【０００７】
【作用】本発明によれば、マイクロメータヘッドを操作
してスピンドルを進退させることにより移動ステージが
微細送りの必要な領域まで移動し、しかるのち、圧電ア
クチュエータに電圧を印加して伸縮させることにより微
細送りが行われる。
してスピンドルを進退させることにより移動ステージが
微細送りの必要な領域まで移動し、しかるのち、圧電ア
クチュエータに電圧を印加して伸縮させることにより微
細送りが行われる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。図１は本発明に係る送り装置の平面図である。同
図において、１はベースステージ、２はベースステージ
１の側面部に取り付けられた連結ブロック、３は連結ブ
ロック２を介してベースステージ１に固定され、シンブ
ル４を回動操作することによりスピンドル５が進退する
マイクロメータヘッド、６はスピンドル５の先端に取り
付けられた圧電アクチュエータ、７はガイド部材８を介
してベースステージ１に図中矢印Ａ方向に摺動自在な移
動ステージである移動ブロック、９は移動ブロック７の
側面部に固定され、前記圧電アクチュエータ６の先端に
密着された突当て部材である突当てブロックである。
する。図１は本発明に係る送り装置の平面図である。同
図において、１はベースステージ、２はベースステージ
１の側面部に取り付けられた連結ブロック、３は連結ブ
ロック２を介してベースステージ１に固定され、シンブ
ル４を回動操作することによりスピンドル５が進退する
マイクロメータヘッド、６はスピンドル５の先端に取り
付けられた圧電アクチュエータ、７はガイド部材８を介
してベースステージ１に図中矢印Ａ方向に摺動自在な移
動ステージである移動ブロック、９は移動ブロック７の
側面部に固定され、前記圧電アクチュエータ６の先端に
密着された突当て部材である突当てブロックである。
【０００９】次に、このような構成の送り装置の動作を
説明する。先ず、マイクロメータヘッド３のシンブル４
を回動操作すると、スピンドル５は矢印Ａ方向に進退し
て、圧電アクチュエータ６もこれと一体的に移動する。
この圧電アクチュエータ６の移動にともない、圧電アク
チュエータ６に密着した突当てブロック９も移動するこ
ととなり、突当てブロック９が固定されている移動ブロ
ック７とマイクロメータヘッド３が固定されて連結され
ているベースステージ１とがガイド部材８を介して相対
運動する。
説明する。先ず、マイクロメータヘッド３のシンブル４
を回動操作すると、スピンドル５は矢印Ａ方向に進退し
て、圧電アクチュエータ６もこれと一体的に移動する。
この圧電アクチュエータ６の移動にともない、圧電アク
チュエータ６に密着した突当てブロック９も移動するこ
ととなり、突当てブロック９が固定されている移動ブロ
ック７とマイクロメータヘッド３が固定されて連結され
ているベースステージ１とがガイド部材８を介して相対
運動する。
【００１０】このようにして、マイクロメータヘッド３
の移動量伝達作用により、移動ブロック７は微細送りが
必要な領域まで移動されることとなる。しかるのち、圧
電アクチュエータ６に電圧を印加すると、圧電アクチュ
エータ６は微細量の伸縮動作を行い、これにともない、
前述の移動量伝達作用と同様な作用により移動ブロック
７とベースステージ１とが微細な相対運動を行う。この
ように、微細送りが必要な領域までは、高価な電気制御
を必要とせずにマイクロメータヘッド３の手動操作によ
り行い、微細送りを０．０１μｍ単位の分解能をもつ圧
電アクチュエータ６により行うようにしたので、廉価で
かつ超微細な移動ブロック７の移動が可能となる。
の移動量伝達作用により、移動ブロック７は微細送りが
必要な領域まで移動されることとなる。しかるのち、圧
電アクチュエータ６に電圧を印加すると、圧電アクチュ
エータ６は微細量の伸縮動作を行い、これにともない、
前述の移動量伝達作用と同様な作用により移動ブロック
７とベースステージ１とが微細な相対運動を行う。この
ように、微細送りが必要な領域までは、高価な電気制御
を必要とせずにマイクロメータヘッド３の手動操作によ
り行い、微細送りを０．０１μｍ単位の分解能をもつ圧
電アクチュエータ６により行うようにしたので、廉価で
かつ超微細な移動ブロック７の移動が可能となる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る送り装
置は、進退自在のスピンドルを有するマイクロメータヘ
ッドと、このマイクロメータヘッドのスピンドルの先端
部に取り付けた圧電アクチュエータとからなり、微細送
りが必要な領域まではマイクロメータヘッドを操作して
粗位置決めを行い、しかるのちに圧電アクチュエータに
より微細送りを行うようにしたので、廉価でかつ超微細
な移動位置決めが可能となる。
置は、進退自在のスピンドルを有するマイクロメータヘ
ッドと、このマイクロメータヘッドのスピンドルの先端
部に取り付けた圧電アクチュエータとからなり、微細送
りが必要な領域まではマイクロメータヘッドを操作して
粗位置決めを行い、しかるのちに圧電アクチュエータに
より微細送りを行うようにしたので、廉価でかつ超微細
な移動位置決めが可能となる。
【図１】本発明に係る送り装置の平面図である。
１ ベースステージ ２ 連結ブロック ３ マイクロメータヘッド ４ シンブル ５ スピンドル ６ 圧電アクチュエータ ７ 移動ブロック ８ ガイド部材 ９ 突当てブロック
Claims (2)
- 【請求項１】 進退自在のスピンドルを有するマイクロ
メータヘッドと、このマイクロメータヘッドのスピンド
ルの先端部に取り付けた圧電アクチュエータとからなる
ことを特徴とする送り装置。 - 【請求項２】 進退自在のスピンドルを有するマイクロ
メータヘッドと、このマイクロメータヘッドのスピンド
ルの先端部に取り付けた圧電アクチュエータと、前記マ
イクロメータヘッドが固定されるベースステージと、こ
のベースステージに移動自在に支持された移動ステージ
とからなり、前記移動ステージに突当て部材を取り付け
るとともに、この突当て部材に前記スピンドルの先端を
密着させたことを特徴とする送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25751593A JPH0792283A (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25751593A JPH0792283A (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 送り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0792283A true JPH0792283A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=17307376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25751593A Pending JPH0792283A (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792283A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020188865A1 (ja) * | 2019-03-15 | 2020-09-24 | ビブリロォス株式会社 | マイクロヘッド及びこれを用いたステージ機構 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5850008A (ja) * | 1981-09-21 | 1983-03-24 | Toshiba Corp | 高精度移動テ−ブル装置 |
| JPS6162110A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-03-31 | Canon Inc | 精密試料移動装置 |
-
1993
- 1993-09-22 JP JP25751593A patent/JPH0792283A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5850008A (ja) * | 1981-09-21 | 1983-03-24 | Toshiba Corp | 高精度移動テ−ブル装置 |
| JPS6162110A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-03-31 | Canon Inc | 精密試料移動装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020188865A1 (ja) * | 2019-03-15 | 2020-09-24 | ビブリロォス株式会社 | マイクロヘッド及びこれを用いたステージ機構 |
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