JPH11118013A - 摩擦駆動装置 - Google Patents
摩擦駆動装置Info
- Publication number
- JPH11118013A JPH11118013A JP28488897A JP28488897A JPH11118013A JP H11118013 A JPH11118013 A JP H11118013A JP 28488897 A JP28488897 A JP 28488897A JP 28488897 A JP28488897 A JP 28488897A JP H11118013 A JPH11118013 A JP H11118013A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- friction wheel
- friction
- linear member
- force
- linear
- Prior art date
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- Pending
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- Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】回転駆動力を直線駆動力に変換する駆動装置
で、簡単な構造で発塵を押さえる。 【解決手段】摩擦車１は、回転する駆動軸２がはめ込ま
れるボス３と外輪５の間に弾性体４が介在している。摩
擦車１と直線部材６の間には押付け力Ｐが予圧としてか
けられるように組み立てられ、その押付け力Ｐによって
摩擦車１と直線部材の間の摩擦面７に摩擦力が発生す
る。摩擦車１が駆動源８によってＫ方向に回転されると
直線部材には力Ｆが発生し、リニアガイドに支えられた
直線部材６が直線的に移動する。
で、簡単な構造で発塵を押さえる。 【解決手段】摩擦車１は、回転する駆動軸２がはめ込ま
れるボス３と外輪５の間に弾性体４が介在している。摩
擦車１と直線部材６の間には押付け力Ｐが予圧としてか
けられるように組み立てられ、その押付け力Ｐによって
摩擦車１と直線部材の間の摩擦面７に摩擦力が発生す
る。摩擦車１が駆動源８によってＫ方向に回転されると
直線部材には力Ｆが発生し、リニアガイドに支えられた
直線部材６が直線的に移動する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はモータなどの回転駆
動力を直線運動に変換する摩擦駆動装置であって、半導
体製造装置に使われる搬送装置や分析試料の位置決めの
ための試料ステージなどに適用できる摩擦駆動装置に関
する。
動力を直線運動に変換する摩擦駆動装置であって、半導
体製造装置に使われる搬送装置や分析試料の位置決めの
ための試料ステージなどに適用できる摩擦駆動装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】モータなどの回転駆動力を直線的な運動
に変える回転／直線変換機構として、ラック／ピニオン
機構やボールネジ機構などがよく知られている。また、
摩擦係数の大きいゴムなどのリングを外周に持つ摩擦車
と直線部材との組み合わせで摩擦車の回転運動を直線部
材の直線運動に変換する摩擦駆動機構も使用されてい
る。
に変える回転／直線変換機構として、ラック／ピニオン
機構やボールネジ機構などがよく知られている。また、
摩擦係数の大きいゴムなどのリングを外周に持つ摩擦車
と直線部材との組み合わせで摩擦車の回転運動を直線部
材の直線運動に変換する摩擦駆動機構も使用されてい
る。
【０００３】半導体の製造工程などでは埃や塵を極端に
嫌うので、ウエハの搬送装置のための回転／直線変換機
構においても発塵を押さえることが求められる。このた
めに、上述の摩擦駆動機構の一種として外輪にゴムなど
の柔らかい材料を使わず発塵の少ない堅い材料を用いて
外輪を構成し、バネなどによる予圧機構を用いて摩擦車
と直線部材との間に押付け力を発生し、それに基づく摩
擦力によって回転運動を直線運動に変換する摩擦駆動機
構が用いられる。
嫌うので、ウエハの搬送装置のための回転／直線変換機
構においても発塵を押さえることが求められる。このた
めに、上述の摩擦駆動機構の一種として外輪にゴムなど
の柔らかい材料を使わず発塵の少ない堅い材料を用いて
外輪を構成し、バネなどによる予圧機構を用いて摩擦車
と直線部材との間に押付け力を発生し、それに基づく摩
擦力によって回転運動を直線運動に変換する摩擦駆動機
構が用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】半導体の製造工程に使
用する駆動部などはできるだけ発塵を少なくする必要が
ある。上述した従来の回転／直線変換機構のうち、ラッ
ク／ピニオン機構やボールネジ機構は機械的にこすれる
部分があるので発塵が多く、摩擦車もゴムなどの柔らか
い材料を外輪として用いると発塵が多くなる。外輪に堅
い材料を用いれば発塵は少なくなるが、予圧を加えるた
めの機構が必要になって、やや構成が複雑となる。
用する駆動部などはできるだけ発塵を少なくする必要が
ある。上述した従来の回転／直線変換機構のうち、ラッ
ク／ピニオン機構やボールネジ機構は機械的にこすれる
部分があるので発塵が多く、摩擦車もゴムなどの柔らか
い材料を外輪として用いると発塵が多くなる。外輪に堅
い材料を用いれば発塵は少なくなるが、予圧を加えるた
めの機構が必要になって、やや構成が複雑となる。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、発塵を押さえつつ構造が簡単な回転駆動
力を直線駆動力に変換する回転／直線変換駆動装置を提
供することを目的とする。
たものであり、発塵を押さえつつ構造が簡単な回転駆動
力を直線駆動力に変換する回転／直線変換駆動装置を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、回転駆動源と、この回転駆動源によって
回転される摩擦車と、この摩擦車と接触する直線部材を
有し、前記回転駆動源の回転運動を前記直線部材または
前記摩擦車の直線運動に変換する摩擦駆動装置におい
て、前記摩擦車内に弾性体を備え、この弾性体による押
付け力によって摩擦車と直線部材との間に摩擦力を発生
させることを特徴とする。
決するために、回転駆動源と、この回転駆動源によって
回転される摩擦車と、この摩擦車と接触する直線部材を
有し、前記回転駆動源の回転運動を前記直線部材または
前記摩擦車の直線運動に変換する摩擦駆動装置におい
て、前記摩擦車内に弾性体を備え、この弾性体による押
付け力によって摩擦車と直線部材との間に摩擦力を発生
させることを特徴とする。
【０００７】本発明の摩擦駆動装置は摩擦車内に備えら
れた弾性体が変形されたときの反発力が摩擦車の外輪と
直線部材を押付ける力となるので、予圧を与える特別な
構造を必要とすることなく簡単に回転駆動力を直線駆動
力に変換することができ、スリップがなく発塵を少なく
することができる。
れた弾性体が変形されたときの反発力が摩擦車の外輪と
直線部材を押付ける力となるので、予圧を与える特別な
構造を必要とすることなく簡単に回転駆動力を直線駆動
力に変換することができ、スリップがなく発塵を少なく
することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を、図面を
参照しながら説明する。図１（ａ）は正面図であり、図
１（ｂ）はその側面図である。電気モータなどの駆動源
８の駆動軸２は摩擦車１の中心のボス３にはめ込まれて
いる。ボス３と摩擦車１の外輪５の間は変形可能な弾性
体４でつながれている。直線部材６は図示していないリ
ニアガイドなどによって直線方向に自由に運動可能に支
えられており、一方、駆動源８はフレームなどに固定さ
れている。そうして直線部材６と摩擦車１の間には所定
の押付け力Ｐがかかるように組み付けられ、摩擦面７に
おいて互いに接している。駆動源８の回転運動によって
摩擦車１がＫ方向に回転すると、摩擦面７における摩擦
力によって直線部材６に力Ｆが発生し、直線部材６は直
線的に駆動される。
参照しながら説明する。図１（ａ）は正面図であり、図
１（ｂ）はその側面図である。電気モータなどの駆動源
８の駆動軸２は摩擦車１の中心のボス３にはめ込まれて
いる。ボス３と摩擦車１の外輪５の間は変形可能な弾性
体４でつながれている。直線部材６は図示していないリ
ニアガイドなどによって直線方向に自由に運動可能に支
えられており、一方、駆動源８はフレームなどに固定さ
れている。そうして直線部材６と摩擦車１の間には所定
の押付け力Ｐがかかるように組み付けられ、摩擦面７に
おいて互いに接している。駆動源８の回転運動によって
摩擦車１がＫ方向に回転すると、摩擦面７における摩擦
力によって直線部材６に力Ｆが発生し、直線部材６は直
線的に駆動される。
【０００９】図１に例示された摩擦車１をさらに説明す
る。中心のボス３と外周の外輪５は金属材料で肉厚に形
成されており、押付け力Ｐがかかってもほとんど変形し
ない。弾性体４は、外輪５およびボス３と同じ材料で薄
肉の板状に形成したものであり、変形可能な状態でバネ
のような作用を持ってボス３と外輪５の間を連結する。
この弾性体４は駆動源８と直線部材６の間に力を加える
ことによって変形するので、この二つの部材を組み立て
るときに押付け力Ｐがかかるようにして固定すると、そ
の後は常時摩擦車１と直線部材６との間に押付け力Ｐが
かかるようになる。したがって、摩擦車１と直線部材６
との間に特別な引きバネなどを設けることなく安定して
一定の押付け力Ｐを発生することができる。
る。中心のボス３と外周の外輪５は金属材料で肉厚に形
成されており、押付け力Ｐがかかってもほとんど変形し
ない。弾性体４は、外輪５およびボス３と同じ材料で薄
肉の板状に形成したものであり、変形可能な状態でバネ
のような作用を持ってボス３と外輪５の間を連結する。
この弾性体４は駆動源８と直線部材６の間に力を加える
ことによって変形するので、この二つの部材を組み立て
るときに押付け力Ｐがかかるようにして固定すると、そ
の後は常時摩擦車１と直線部材６との間に押付け力Ｐが
かかるようになる。したがって、摩擦車１と直線部材６
との間に特別な引きバネなどを設けることなく安定して
一定の押付け力Ｐを発生することができる。
【００１０】図２は本発明の摩擦駆動装置に利用できる
摩擦車の他の例である。図２（ａ）はボス３と外輪５の
間を波形の板バネからなる弾性体１０で連結したもので
ある。この図では４本の弾性体１０が描かれているがこ
の数に限定されるものではない。図２（ａ）はボス３と
外輪５の間をゴムのような弾性材料で充填したものであ
る。このように摩擦車１内の弾性体は種種の変形例が考
えられるが、要はボス３と外輪５の間を弾性的に結合す
るものであればよい。
摩擦車の他の例である。図２（ａ）はボス３と外輪５の
間を波形の板バネからなる弾性体１０で連結したもので
ある。この図では４本の弾性体１０が描かれているがこ
の数に限定されるものではない。図２（ａ）はボス３と
外輪５の間をゴムのような弾性材料で充填したものであ
る。このように摩擦車１内の弾性体は種種の変形例が考
えられるが、要はボス３と外輪５の間を弾性的に結合す
るものであればよい。
【００１１】
【発明の効果】本発明の摩擦駆動装置は、摩擦車のボス
と外輪との間に配置された弾性体を利用して摩擦車と直
線部材との間に予圧をかけ、その結果発生する摩擦力に
よって摩擦車と直線部材が相対的に移動するので、発塵
が少なく、しかも構成が簡単である。
と外輪との間に配置された弾性体を利用して摩擦車と直
線部材との間に予圧をかけ、その結果発生する摩擦力に
よって摩擦車と直線部材が相対的に移動するので、発塵
が少なく、しかも構成が簡単である。
【図１】本発明の一実施の形態である摩擦駆動装置を示
す。
す。
【図２】摩擦車の変形実施例である。
１…摩擦車 ２…駆動軸 ３…ボス ４…弾性体 ５…外輪 ６…直線部材 ７…摩擦面 ８…駆動源 １０…弾性体 １１…弾性体
Claims (1)
- 【請求項１】 回転駆動源と、この回転駆動源によって
回転される摩擦車と、この摩擦車と接触する直線部材を
有し、前記回転駆動源の回転運動を前記直線部材または
前記摩擦車の直線運動に変換する摩擦駆動装置におい
て、前記摩擦車内に弾性体を備え、この弾性体による押
付け力によって摩擦車と直線部材との間に摩擦力を発生
させることを特徴とする摩擦駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28488897A JPH11118013A (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | 摩擦駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28488897A JPH11118013A (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | 摩擦駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11118013A true JPH11118013A (ja) | 1999-04-30 |
Family
ID=17684345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28488897A Pending JPH11118013A (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | 摩擦駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11118013A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7458914B2 (en) | 2002-03-29 | 2008-12-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for a low cost and high force transmission using elastically deformable driving element for friction drive |
-
1997
- 1997-10-17 JP JP28488897A patent/JPH11118013A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7458914B2 (en) | 2002-03-29 | 2008-12-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for a low cost and high force transmission using elastically deformable driving element for friction drive |
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