JPH10123428A - 回転ステージ機構 - Google Patents
回転ステージ機構Info
- Publication number
- JPH10123428A JPH10123428A JP27660896A JP27660896A JPH10123428A JP H10123428 A JPH10123428 A JP H10123428A JP 27660896 A JP27660896 A JP 27660896A JP 27660896 A JP27660896 A JP 27660896A JP H10123428 A JPH10123428 A JP H10123428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- worm gear
- worm wheel
- worm
- spring
- wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウォームギアとウォームホイールのかみ合わ
せのスムーズさを維持し、歯車の寿命を向上させるとと
もに、ウォームギアとウォームホイールの間のバックラ
ッシを少なくし、回転方向のバックラッシの少ない回転
ステージを提供する。 【解決手段】 ウォームギア及びウォームホイールを使
用して、回転台を回転させる回転ステージ機構におい
て、ウォームギアをウォームギア軸と直交する方向のみ
移動可能な案内機構と、ウォームギアをウォームホイー
ルに押し付けるバネ機構付加した構成の回転ステージ機
構。
せのスムーズさを維持し、歯車の寿命を向上させるとと
もに、ウォームギアとウォームホイールの間のバックラ
ッシを少なくし、回転方向のバックラッシの少ない回転
ステージを提供する。 【解決手段】 ウォームギア及びウォームホイールを使
用して、回転台を回転させる回転ステージ機構におい
て、ウォームギアをウォームギア軸と直交する方向のみ
移動可能な案内機構と、ウォームギアをウォームホイー
ルに押し付けるバネ機構付加した構成の回転ステージ機
構。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料を回転する回
転ステージの改良に関するものである。
転ステージの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来技術としては、例えば図２に示した
構造の回転ステージ機構が、一般的となっている。すな
わち、ベース１に取り付けられた内輪軸２に、１対のア
ンギュラ玉軸受３が挿入され、アンギュラ玉軸受３の外
輪側には、外輪ハウジング４が挿入され、外輪ハウジン
グ４には、ウォームホイール６と回転台７が取付けられ
ている。又、アンギュラ玉軸受３は、内輪軸２に取付け
られた予圧リング５のセットスクリュー１８により予圧
がかけられ、回転のガタを無くしている。一方ウォーム
ギア８は、アンギュラ玉軸受１０およびハウジング９に
より、軸方向のガタが無い様に、又、ウォームギア８と
ウォームホイール６が適性すきまでかみあう様に固定さ
れている。ウォームギア８の一端は、カップリング１１
を介し、モータ１２に連結されている。
構造の回転ステージ機構が、一般的となっている。すな
わち、ベース１に取り付けられた内輪軸２に、１対のア
ンギュラ玉軸受３が挿入され、アンギュラ玉軸受３の外
輪側には、外輪ハウジング４が挿入され、外輪ハウジン
グ４には、ウォームホイール６と回転台７が取付けられ
ている。又、アンギュラ玉軸受３は、内輪軸２に取付け
られた予圧リング５のセットスクリュー１８により予圧
がかけられ、回転のガタを無くしている。一方ウォーム
ギア８は、アンギュラ玉軸受１０およびハウジング９に
より、軸方向のガタが無い様に、又、ウォームギア８と
ウォームホイール６が適性すきまでかみあう様に固定さ
れている。ウォームギア８の一端は、カップリング１１
を介し、モータ１２に連結されている。
【０００３】モータ１２の回転力は、ウォームギア８を
介し、ウォームホイール６に伝達され、回転台７が回転
するしくみとなっている。
介し、ウォームホイール６に伝達され、回転台７が回転
するしくみとなっている。
【０００４】これは、アンギュラ玉軸受３の外輪が回転
するが、外輪軸側を固定とし、内輪側に、ウォームホイ
ールを取付け、内輪を回転させる構造のものもある。
するが、外輪軸側を固定とし、内輪側に、ウォームホイ
ールを取付け、内輪を回転させる構造のものもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術は、構
造が単純ではあるが、ウォームホイールの加工精度上の
問題で、ウォームホイールとウォームギアとのかみ合わ
せにすきまを設けないと、かみ合いがスムーズに行われ
ず、又、すきまを設けると、回転方向にバックラッシが
生ずる欠点があった。
造が単純ではあるが、ウォームホイールの加工精度上の
問題で、ウォームホイールとウォームギアとのかみ合わ
せにすきまを設けないと、かみ合いがスムーズに行われ
ず、又、すきまを設けると、回転方向にバックラッシが
生ずる欠点があった。
【０００６】本発明は、これらの欠点を除去し、かみ合
わせのスムーズさを維持しながら回転方向のバックラッ
シを少なくすることを目的とする。
わせのスムーズさを維持しながら回転方向のバックラッ
シを少なくすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、ウォームギアとこれを固定する軸受及び
モータを可動ベースに固定し、可動ベースを固定ベース
に対してウォームギアと直角方向にのみ移動可能とする
直線方向のガイドで連結し、可動ベースがウォームホイ
ール側に押しつけられる様にバネを設置したものであ
る。
達成するため、ウォームギアとこれを固定する軸受及び
モータを可動ベースに固定し、可動ベースを固定ベース
に対してウォームギアと直角方向にのみ移動可能とする
直線方向のガイドで連結し、可動ベースがウォームホイ
ール側に押しつけられる様にバネを設置したものであ
る。
【０００８】その結果、ウォームギアは、ウォームギア
軸と直交する方向で、ウォームホイールに押しつけられ
バックラッシを取り除くことが出来る。又、ウォームホ
イール及びウォームギアの加工精度上の問題で、歯当た
り位置が変化しても、バネのたわみにより、ウォームギ
アがかみ合った状態で、ウォームギアがウォームホイー
ルから離れる方向に逃げるため、スムーズな回転を与え
ることができる。
軸と直交する方向で、ウォームホイールに押しつけられ
バックラッシを取り除くことが出来る。又、ウォームホ
イール及びウォームギアの加工精度上の問題で、歯当た
り位置が変化しても、バネのたわみにより、ウォームギ
アがかみ合った状態で、ウォームギアがウォームホイー
ルから離れる方向に逃げるため、スムーズな回転を与え
ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下この発明の一実施例を図１に
より説明する。
より説明する。
【００１０】ウォームギア８は、アンギュラ玉軸受１０
及びハウジング９により、軸方向にガタがない状態で可
動ベース１３に固定されている。又、モータ１２も可動
ベース１３に固定され、モータ１２とウォームギア８
は、カップリング１１を介して連結されている。一方可
動ベース１３は、クロスローラ１４を介し、ベース１に
ウォームギア８の軸と直角方向に移動可能な形で連結さ
れている。尚、クロスローラガイドは、移動方向と直交
する方向のガタがない様に調整されている。
及びハウジング９により、軸方向にガタがない状態で可
動ベース１３に固定されている。又、モータ１２も可動
ベース１３に固定され、モータ１２とウォームギア８
は、カップリング１１を介して連結されている。一方可
動ベース１３は、クロスローラ１４を介し、ベース１に
ウォームギア８の軸と直角方向に移動可能な形で連結さ
れている。尚、クロスローラガイドは、移動方向と直交
する方向のガタがない様に調整されている。
【００１１】可動ベース１３には、バネ受け１６が、ベ
ース１には、バネ受け１５が固定されており、バネ受け
１５とバネ受け１６の間に圧縮バネが閉込められてい
る。
ース１には、バネ受け１５が固定されており、バネ受け
１５とバネ受け１６の間に圧縮バネが閉込められてい
る。
【００１２】以下この動作について説明する。
【００１３】バネ１６の作用力により、ウォームギア８
は、常にウォームホイール６に対しバックラッシがなく
なる様に押しつけられている。
は、常にウォームホイール６に対しバックラッシがなく
なる様に押しつけられている。
【００１４】モータ１２の回転に伴い、ウォームギア８
は、回転し、ウォームホイール６に駆動力を伝達し、回
転台７が回転する。
は、回転し、ウォームホイール６に駆動力を伝達し、回
転台７が回転する。
【００１５】この回転に伴いウォームホイール６とアン
ギュラ玉軸受け３の心ずれ、ウォームホイール６又は、
ウォームギア８の歯面精度及びピッチ精度等に起因して
ウォームギア８とウォームホイール６の歯当たりにすき
まが生じ様とするが、バネ１６の作用により、このすき
まがなくなる方向に、可動ベースが移動する。又、回転
に伴いウォームホイール６とウォームギア８のかみ合い
がかたくなる場合には、バネ１６がたわみウォームギア
８がウォームホイール６から離れる方向に移動する。
ギュラ玉軸受け３の心ずれ、ウォームホイール６又は、
ウォームギア８の歯面精度及びピッチ精度等に起因して
ウォームギア８とウォームホイール６の歯当たりにすき
まが生じ様とするが、バネ１６の作用により、このすき
まがなくなる方向に、可動ベースが移動する。又、回転
に伴いウォームホイール６とウォームギア８のかみ合い
がかたくなる場合には、バネ１６がたわみウォームギア
８がウォームホイール６から離れる方向に移動する。
【００１６】尚、本実施例では、圧縮バネを使用してい
るが、これは、ウォームギアをウォームホイールに押し
つける方向に作用するもの、例えば引張りバネ、板バ
ネ、ゴム等を使用しても良い。
るが、これは、ウォームギアをウォームホイールに押し
つける方向に作用するもの、例えば引張りバネ、板バ
ネ、ゴム等を使用しても良い。
【００１７】又、ウォームギアの移動案内としてクロス
ローラガイドを使用しているが、これは、ウォームギア
がウォームギアの軸と直交する方向のみに移動可能な案
内機構、例えば、すべり案内、ボールの転がり案内等を
使用しても良い。
ローラガイドを使用しているが、これは、ウォームギア
がウォームギアの軸と直交する方向のみに移動可能な案
内機構、例えば、すべり案内、ボールの転がり案内等を
使用しても良い。
【００１８】さらに、回転台７の回転案内機構としてア
ンギュラ玉軸受けを使用したが、これは、軸のスラスト
方向及び回転方向のガタを取り除く案内機構、例えば、
回転式クロスローラガイド、深溝玉軸受とスラスト玉軸
受けの組合わせ等を使用しても良い。
ンギュラ玉軸受けを使用したが、これは、軸のスラスト
方向及び回転方向のガタを取り除く案内機構、例えば、
回転式クロスローラガイド、深溝玉軸受とスラスト玉軸
受けの組合わせ等を使用しても良い。
【００１９】
【発明の効果】以上述べた様に、本発明では、ウォーム
ギアが常にウォームホイールに押し付けられるため、回
転方向のバックラッシを少なくすることが出来る。又、
ウォームギアとウォームホイールのかみ合いがかたくな
ると、ウォームギアが、ウォームホイールから離れる方
向に逃げるため、スムーズな回転が得られると伴に、歯
車の歯面に過負荷が作用しないため、歯車の寿命を向上
することができる。
ギアが常にウォームホイールに押し付けられるため、回
転方向のバックラッシを少なくすることが出来る。又、
ウォームギアとウォームホイールのかみ合いがかたくな
ると、ウォームギアが、ウォームホイールから離れる方
向に逃げるため、スムーズな回転が得られると伴に、歯
車の歯面に過負荷が作用しないため、歯車の寿命を向上
することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す構造図。
【図２】従来技術の一例を示す構造図。
１：ベース、２：内輪軸、３：アンギュラ玉軸受、４：
外輪ハウジング、５：予圧リング、６：ウォームホイー
ル、７：回転台、８：ウォームギア、９：ハウジング、
１０：アンギュラ玉軸受、１１：カップリング、１２：
モータ、１３：可動ベース、１４：クロスローラガイ
ド、１５：バネ受け、１６：バネ受け、１７：圧縮コイ
ルバネ。
外輪ハウジング、５：予圧リング、６：ウォームホイー
ル、７：回転台、８：ウォームギア、９：ハウジング、
１０：アンギュラ玉軸受、１１：カップリング、１２：
モータ、１３：可動ベース、１４：クロスローラガイ
ド、１５：バネ受け、１６：バネ受け、１７：圧縮コイ
ルバネ。
Claims (2)
- 【請求項１】 内輪を固定した回転軸受の外輪にウォー
ムホイールを設置しウォームホイールをウォームギアで
回転させる回転ステージにおいて、ウォームギアをウォ
ームホイールに、ウォームギア軸と直交する方向に押し
つける機構を有したことを特徴とする回転ステージ機
構。 - 【請求項２】 内輪を固定した回転軸受の外輪にウォー
ムホイールを設置しウォームホイールをウォームギアで
回転させる回転ステージにおいて、ウォームギアにウォ
ームギア軸と直交する方向に直線的に移動可能なガイド
機構を連結し、ガイド機構可動部と固定部の間に設置し
たバネのバネ力によりウォームギアをウォームホイール
に押しつけるようにしたことを特徴とする回転ステージ
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27660896A JPH10123428A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 回転ステージ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27660896A JPH10123428A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 回転ステージ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10123428A true JPH10123428A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17571820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27660896A Pending JPH10123428A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 回転ステージ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10123428A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1308707A1 (fr) * | 2001-11-05 | 2003-05-07 | CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES (C.N.E.S.) Etablissement public, scientifique et | Dispositif de plateau tournant destiné à supporter et orienter une charge |
| WO2009091293A1 (fr) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Institute Of Applied Physics Ras | Dispositif destiné à la rotation de précision d'éléments optiques |
| CN110173557A (zh) * | 2019-06-11 | 2019-08-27 | 费勉仪器科技(南京)有限公司 | 一种超高真空旋转馈入装置 |
-
1996
- 1996-10-18 JP JP27660896A patent/JPH10123428A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1308707A1 (fr) * | 2001-11-05 | 2003-05-07 | CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES (C.N.E.S.) Etablissement public, scientifique et | Dispositif de plateau tournant destiné à supporter et orienter une charge |
| FR2831958A1 (fr) * | 2001-11-05 | 2003-05-09 | Centre Nat Etd Spatiales | Dispositif de plateau tournant destine a supporter et orienter une charge |
| WO2009091293A1 (fr) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Institute Of Applied Physics Ras | Dispositif destiné à la rotation de précision d'éléments optiques |
| CN110173557A (zh) * | 2019-06-11 | 2019-08-27 | 费勉仪器科技(南京)有限公司 | 一种超高真空旋转馈入装置 |
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