JPH11224887A - セラミック基板 - Google Patents
セラミック基板Info
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- JPH11224887A JPH11224887A JP2372098A JP2372098A JPH11224887A JP H11224887 A JPH11224887 A JP H11224887A JP 2372098 A JP2372098 A JP 2372098A JP 2372098 A JP2372098 A JP 2372098A JP H11224887 A JPH11224887 A JP H11224887A
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K1/112—Pads for surface mounting, e.g. lay-out directly combined with via connections
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Abstract
要求を満たす。 【解決手段】 焼成前の低温焼成セラミック基板11の
表面にAg/Ptペーストでパッド14となるAg/P
t層15のパターンをスクリーン印刷し、このAg/P
t層15をビア導体13とセラミック基板11と共に1
000℃以下で同時焼成する。この後、Ag/Pt層1
5の表面にNiめっき被膜16を形成し、更に、このN
iめっき被膜16の表面にSnめっき被膜17を形成す
る。このようにして形成したパッド14の表面に、Pb
を含まないSn/Ag半田ペーストを印刷し、これをリ
フローさせて半球状の半田ボール18を形成する。この
場合、パッド14の導体として、Ag/Pdと比較して
導通抵抗値が小さいAg/Ptを用いることで、パッド
14を低抵抗化して高周波数化に対応できるようにする
と共に、Pbを含まない半田ボール18を用いることが
可能となる。
Description
田ボール(半田バンプ)を列設したセラミック基板に関
するものである。
化、高周波数化、多ピン化の要求を満たすために、BG
A(Ball Grid Array )基板の需要が急増している。セ
ラミック基板をBGA化する場合には、基板面にAg/
Pdペーストでパッドを形成し、そのパッドの表面にN
iめっきを下地としてSnめっきを施し、このSnめっ
き被膜の上にSn/Pb半田で半田ボールを形成するよ
うにしている。
ジタル信号処理を高速化するために、動作周波数が益々
高周波数化されるようになってきている。高周波数化に
伴って、パッドも高周波特性の良い導体で形成する必要
があるが、従来のパッドを形成するAg/Pdは導通抵
抗値が15〜20mΩ/□(Ag/Pd比=80/20
の場合)であり、最近の高周波数化の要求を満たすには
導通抵抗値が大きく、高周波特性を低下させる要因とな
っている。また、近年、地球環境保護の観点からPb不
使用(Pbレス化)の要求もあり、従来のSn/Pbの
半田ボールは使用できなくなってきている。
たものであり、従ってその目的は、高周波数化及びPb
不使用の要求を満たすことができるセラミック基板を提
供することにある。
に、本発明の請求項1のセラミック基板は、半田ボール
を形成するためのパッドをAg/Pt層で形成すると共
に、その表面にNiめっきを下地としてSnめっきを施
し、半田ボールをSn/Ag半田で形成したものであ
る。この場合、パッドを形成するAg/Ptは、導通抵
抗値が5mΩ/□以下(Ag/Pt比=99/1〜9
8.5/1.5の場合)であり、導通抵抗値が小さく、
最近の高周波数化にも十分に対応できる。しかも、パッ
ドの表面にNi/Snめっきが施されているため、Pb
を含まないSn/Ag半田で半田ボールを形成しても、
半田ボールとパッドとの接着強度を十分に確保すること
ができる。
るAg/Pt層の下にAg/Pd層が介在されていても
良い。一般に、耐半田食われ性は、Ag/PtよりもA
g/Pdの方が優れ、半田濡れ性は、Ag/Pdよりも
Ag/Ptの方が優れているため、パッドの下層をAg
/Pd層、上層をAg/Pt層とすることで、耐半田食
われ性と半田濡れ性とを共に向上できる。
の実施形態(1)を図1に基づいて説明する。セラミッ
ク基板11は、複数の低温焼成セラミック層を積層して
800〜1000℃で焼成した低温焼成セラミック多層
基板である。ここで、低温焼成セラミックとしてはCa
O−SiO2 −Al2 O3 −B2 O3 系ガラス50〜6
5重量%(好ましくは60重量%)とアルミナ50〜3
5重量%(好ましくは40重量%)との混合物を用い
る。この他、例えば、MgO−SiO2 −Al2 O3 −
B2 O3 系ガラスとアルミナとの混合物、SiO2 −B
2 O3 系ガラスとアルミナとの混合物、PbO−SiO
2 −B2 O3 系ガラスとアルミナとの混合物、コージェ
ライト系結晶化ガラス等の800〜1000℃で焼成で
きる低温焼成セラミック材料を用いても良い。
ク層に形成されたビアホール12には、Ag系のビア導
体13が充填されている。このビア導体13に用いるA
g系導体としては、Ag、Ag/Pt、Ag/Pd、A
g/Pd/Pt、Ag/Au等の中からいずれかを用い
れば良い。セラミック基板11の表面には、パッド14
がビア導体13の上端露出部をカバーするように形成さ
れている。
る。まず、焼成前のセラミック基板11の表面にAg/
PtペーストでAg/Pt層15のパターンをスクリー
ン印刷し、このAg/Pt層15をビア導体13、内層
導体(図示せず)、セラミック基板11と共に800〜
1000℃で同時焼成する。尚、Ag/Pt層15は低
抵抗化、マイグレーション抑制等のために、Ag/Pt
比が99.5/0.5〜95/5、より好ましくは、9
9/1〜98.5/1.5のものを用いると良い。焼成
後、Ag/Pt層15の表面に、無電解Niめっき又は
電解NiめっきでNiめっき被膜16を形成し、更に、
このNiめっき被膜16の表面に、無電解Snめっき又
は電解SnめっきでSnめっき被膜17を形成する。
パッド14の表面(Snめっき被膜17)に、Pbを含
まないSn/Ag半田ペーストを印刷し、これをリフロ
ーさせて半球状の半田ボール18を形成する。ここで使
用するSn/Ag半田は、低融点化、低抵抗化、半田濡
れ性等を考慮して、Sn/Ag比が99/1〜94/
6、より好ましくは、98.5/1.5〜96.5/
3.5のものを用いると良い。尚、Ag/Pt層15
は、セラミック基板11の焼成後に、印刷・焼成するよ
うにしても良い。
は、Ag/Pt層15を直接、ビア導体13に接続する
構成としたが、図2に示す実施形態(2)では、パッド
14の下層をAg/Pd層20、上層をAg/Pt層1
5として、パッド14を二層構造とし、Ag/Pt層1
5をAg/Pd層20を介してビア導体13に接続して
いる。これ以外の構成は、前記実施形態(1)と同じで
ある。尚、Ag/Pd層20は低抵抗化、マイグレーシ
ョン抑制等のために、Ag/Pd比が95/5〜70/
30のものを用いると良い。
層15は、次の〜のいずれかの方法で形成すれば良
い。 焼成前のセラミック基板11にAg/Pd層20とA
g/Pt層15とを順に印刷して、これらを同時焼成す
る。 焼成前のセラミック基板11にAg/Pd層20を印
刷して、これらを同時焼成した後、該Ag/Pd層20
上にAg/Pt層15を印刷して焼成する。 セラミック基板11の焼成後に、該セラミック基板1
1にAg/Pd層20とAg/Pt層15とを順に印刷
して、これらを同時焼成する。 セラミック基板11の焼成後に、該セラミック基板1
1にAg/Pd層20を印刷して焼成した後、該Ag/
Pd層20上にAg/Pt層15を印刷して焼成する。
造について、半田ボールの接着強度、半田濡れ性、保管
性(パッド表面の外観の経時的変化)、リペア性(耐半
田食われ性)、導通抵抗を評価する試験を行ったので、
その試験結果を次の表1に示す。
1と同じく、パッドをAg/Pt層で形成して、その表
面にNi/Snめっきを施している。実施例2は、実施
形態(2)で説明した図2と同じく、パッドをAg/P
d層とAg/Pt層の二層構造として、その表面にNi
/Snめっきを施している。
し、めっきは施されていない。比較例2は、パッドをA
g/Pt層で形成し、めっきは施されていない。比較例
3は、パッドをAg/Pd層とAg/Pt層の二層構造
とし、めっきは施されていない。比較例4は、パッドを
Ag/Pd層で形成し、その表面にNi/Auめっきを
施している。比較例5は、パッドをAg/Pt層で形成
し、その表面にNi/Auめっきを施している。比較例
6は、パッドをAg/Pd層で形成し、その表面にNi
/Snめっきを施している。
いずれも、焼成前のセラミック基板表面に導体ペースト
でパッドの導体層を印刷して、この導体層をセラミック
基板と同時焼成している。また、実施例1,2及び比較
例1〜6は、いずれも、パッド上にSn/Ag半田(S
n/Ag比=97.5/2.5)で半田ボールを形成し
ている。以下、各評価項目について説明する。
ール法で行い、150℃で200時間エージングした後
に、半田ボールをパッドから引き剥がすのに要する力を
接着強度として測定し、要求される0.30kgf/m
m2 以上の接着強度があるか否かで、良(○)/不良
(×)を判定した。パッド表面がめっき処理されていな
い比較例1,2,3及びNi/Auめっき処理が施され
た比較例4,5は、パッドとSn/Ag半田との相性が
悪く、接着強度が要求値0.30kgf/mm2 に達し
なかった。これに対し、パッド表面にNi/Snめっき
を施した実施例1,2は、パッドとSn/Ag半田との
相性が良く、要求値0.30kgf/mm2 以上の接着
強度が確保された。
半田付けしたときに、パッドの面積の90%以上が半田
で濡れているか否かで、良(○)/不良(×)を判定し
た。半田濡れ性については、実施例1,2と比較例1〜
6の全てが良(○)であった。
化) 保管性の評価は、パッドに半田ボールを形成しない状態
で、室温(22〜28℃)、湿度40〜60%で6ケ月
以上放置したときに、パッド表面の外観が経時的変化し
たか否かで、不良(×)/良(○)を判定した。パッド
表面がめっき処理されていない比較例1,2,3は、パ
ッド表面が酸化されて変色し、保管性が不良(×)とな
ったが、パッド表面がめっき処理されている実施例1,
2及び比較例4,5,6は、いずれも、パッドの表面が
めっき被膜で保護され、保管性が良(○)と評価され
た。
性調整等により他の部品と付け替えるリペア作業を2回
数以上行っても、パッドが耐え得るか否かで、良(○)
/不良(×)を判定した。パッド表面がめっき処理され
ていない比較例1,2,3及びNi/Auめっき処理が
施された比較例4,5は、パッドとSn/Ag半田との
相性が悪いため、リペア作業によりパッドに半田食われ
が起こり、リペア性は不良(×)と評価された。これに
対し、パッド表面にNi/Snめっきを施した実施例
1,2は、パッドとSn/Ag半田との相性が良いた
め、2回以上のリペア作業を行っても、パッドに半田食
われが起こらず、リペア性が良(○)と評価された。
(○)/不良(×)を判定した。パッドの導体としてA
g/Pdを用いた比較例1,4,6は、導通抵抗値が大
きく、導通抵抗の評価が不良(×)となった。これに対
し、パッドの導体(少なくとも上層の導体)としてAg
/Ptを用いた実施例1,2及び比較例2,3,5は、
導通抵抗値が小さく、導通抵抗の評価が良(○)とな
り、良好な高周波特性が得られた。
(×)となったが、実施例1,2のパッド導体構造(図
1及び図2のパッド導体構造)では、半田ボールの接着
強度、半田濡れ性、保管性、リペア性、導通抵抗の全て
の項目について良(○)の評価が得られ、高周波数化に
も十分に対応できる品質の良いパッド導体構造となる。
しかも、半田ボールを、Pbを含まないSn/Ag半田
で形成できるので、Pb不使用の要求を満たすことがで
きる。
体を印刷焼成する場合には、セラミック基板として、ア
ルミナ基板、窒化アルミニウム基板等の高温焼成セラミ
ック基板を用いるようにしても良い。また、半田ボール
の形成方法も上記実施形態に限定されず、公知の種々の
半田ボールの形成方法を採用しても良い。
によれば、パッドの少なくとも上層を導通抵抗値の小さ
いAg/Pt層で形成し、その表面にNi/Snめっき
を施し、その上にSn/Ag半田ボールを形成したの
で、近年の重要な技術的課題である高周波数化及びPb
不使用の要求を満たすことができる。
ボール部分の構造を模式的に示す縦断面図
ボール部分の構造を模式的に示す縦断面図
ド、15…Ag/Pt層、16…Niめっき被膜、17
…Snめっき被膜、18…半田ボール、20…Ag/P
d層。
Claims (2)
- 【請求項1】 基板面に多数の半田ボールを列設したセ
ラミック基板において、 前記半田ボールを形成するためのパッドをAg/Pt層
で形成すると共に、その表面にNiめっきを下地として
Snめっきを施し、 前記半田ボールをSn/Ag半田で形成したことを特徴
とするセラミック基板。 - 【請求項2】 前記Ag/Pt層の下にAg/Pd層が
形成されていることを特徴とする請求項1に記載のセラ
ミック基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2372098A JP3677983B2 (ja) | 1998-02-05 | 1998-02-05 | セラミック基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2372098A JP3677983B2 (ja) | 1998-02-05 | 1998-02-05 | セラミック基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11224887A true JPH11224887A (ja) | 1999-08-17 |
JP3677983B2 JP3677983B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=12118177
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2372098A Expired - Lifetime JP3677983B2 (ja) | 1998-02-05 | 1998-02-05 | セラミック基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3677983B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100449752C (zh) * | 2005-01-31 | 2009-01-07 | 三洋电机株式会社 | 电路装置及其制造方法 |
KR100941849B1 (ko) | 2002-04-17 | 2010-02-11 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 반도체장치 및 그 제조방법, 전자장치 및 그 제조방법 |
JPWO2014115358A1 (ja) * | 2013-01-25 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | モジュールおよびその製造方法 |
CN112951730A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-11 | 北京遥感设备研究所 | 一种基板三维堆叠工艺方法 |
-
1998
- 1998-02-05 JP JP2372098A patent/JP3677983B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100941849B1 (ko) | 2002-04-17 | 2010-02-11 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 반도체장치 및 그 제조방법, 전자장치 및 그 제조방법 |
CN100449752C (zh) * | 2005-01-31 | 2009-01-07 | 三洋电机株式会社 | 电路装置及其制造方法 |
JPWO2014115358A1 (ja) * | 2013-01-25 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | モジュールおよびその製造方法 |
CN112951730A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-11 | 北京遥感设备研究所 | 一种基板三维堆叠工艺方法 |
CN112951730B (zh) * | 2021-01-26 | 2024-03-29 | 北京遥感设备研究所 | 一种基板三维堆叠工艺方法 |
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JP3677983B2 (ja) | 2005-08-03 |
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