JPH11221519A - 気体混合物中で２つの電極の間で放電することにより基材を表面処理するための方法および装置 - Google Patents

気体混合物中で２つの電極の間で放電することにより基材を表面処理するための方法および装置

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JPH11221519A
JPH11221519A JP10313491A JP31349198A JPH11221519A JP H11221519 A JPH11221519 A JP H11221519A JP 10313491 A JP10313491 A JP 10313491A JP 31349198 A JP31349198 A JP 31349198A JP H11221519 A JPH11221519 A JP H11221519A
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アラン・ビレールメ
Francois Coeuret
フランソワ・クーレ
Panayotis Cocolios
パナヨティ・ココリオ
Bernd Martens
ベルント・マルテンス
Eckhard Prinz
エックハルト・プリンツ
Juergen Salge
ユルゲン・サルジェ
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Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
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Softal Elektronik GmbH
Air Liquide SA
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Abstract

(57)【要約】 【課題】放電を原因とする化学反応の結果としての副産
物の電極上の蓄積を防止することを可能とする方法およ
び装置を提供すること。 【解決手段】電極上に堆積され得る副産物（例えば粉
末）を発生させやすい気体混合物中で２つの電極の間の
放電により基材を表面処理するための装置および方法で
あって、その装置および方法において電極の１つはそれ
に対して基材が適用され得るローラーであり、ローラー
および基材を回転させ、電極の間に気体混合物を注入す
るための手段が与えられる装置および方法であり、装置
および方法は、第２の電極が、それに対して走行する基
材もまた適用され得るローラー電極であることが注目す
べきであり、このローラーは、適切な間隔を有して他の
ローラーに対して平行に配置される。この配置のため
に、基材は、それぞれの電極を保護し、処理の間に粉末
で覆われることを防止し、並びに、対応する汚染を防止
し、それにより装置を連続的に操業することを可能とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２つの電極の間で
制御された気体雰囲気において放電により走行する基材
を表面処理するための方法および装置であり、その気体
雰囲気は特に、放電電極上に蓄積し得るかおよび／また
は堆積され得る副産物を発生しやすい１以上の化合物を
含む。
【０００２】
【従来の技術】例示として、これらの副産物は、粉末の
ような（例えばシランについては）固体であり得るし、
または別に、ある種の炭化水素については（例えば、脂
肪族鎖を有する化合物が堆積することを引き起こす）液
体またはペースト状であり得る。
【０００３】その様な堆積物は、次いで電極上に蓄積
し、それらに変化を与え、より一般的には、システムの
操業に撹乱を与え得ることが理解されるべきである。
【０００４】意図される処理および意図される基材に依
存して、考えられる気体混合物は大きく変わり得るもの
であり、これらは一般的に不活性キャリヤ気体および還
元性および酸化性気体からの１以上の化合物を含み、そ
れゆえ、例えば、シランまたは炭化水素についての場合
であれば、混合物の成分の１つは放電電極上に蓄積し得
るかおよび／または堆積され得る副産物を発生しやすい
タイプのものである。
【０００５】本発明により意図される「基材」は、例え
ば、当該材料に依存して連続的であり得るかまたはあり
えないシートもしくはフィルム、またはフォーム製品の
形態であり得る。ここでの関心の対象の基材は、特に、
ポリマー材料、「製織または不織」テキスタイル材料、
紙材料等から作られた非導電基材である。
【０００６】ポリマーフィルムを例に取ると、その表面
を「活性」にするために、すなわち、粘着することを可
能とする、その上に情報をプリントすることを可能とす
るなどのために、これらのポリマーフィルム上に表面処
理を施すことがしばしば必要であることが知られる。プ
リントすることが可能であるために、最初はこのことは
一般的に問題ではなく、次いで表面の前処理が必要であ
るけれども、インクはポリマーフィルムの表面と共存し
得るものでなければならない。
【０００７】適切な処理を実施するために、ポリマーフ
ィルムの表面を、フレームブラッシング処理に、または
適切な化学物質での処理に、または別にコロナ処理に供
することが知られる。通常は、これらのコロナ処理は空
気中で実施され、その窒素および酸素分子は放電により
変化させられ、ポリマーの表面と化学的に反応する新た
な分子（ラジカル、イオンなど）を作り出す。
【０００８】米国特許第５，５７６，０７６号により記
載される様に、空気をシランを含む気体混合物と置換す
ることもまた提案されてきた。この活性気体混合物を放
電ゾーンに注入することは、高い処理レベルを得ること
を可能とし、したがって、ポリマーフィルムコンバータ
ーが遭遇する多数の問題を解決することを可能とする。
用いられる電極系は、（標準電極として）放電を作り出
すのみならず、放電ゾーンの中に処理気体の注入を管理
することにもまた寄与する。
【０００９】正確な処理レベルが得られることを可能と
する活性気体混合物はさまざまな組成を有し得るもので
あり、これらは本質的に処理されるポリマーフィルムの
意図される用途に依存する。従来、気体混合物は通常
は、キャリヤ気体としての窒素、酸化性気体および数百
ｐｐｍのシランを含むものであった。
【００１０】本出願人により達成された研究によれば、
このプロセスが前記の米国特許において記載されるよう
に実施されるとき、すなわち、シランおよび酸化剤を含
む活性気体混合物が放電ゾーンに注入されるとき、処理
の持続時間にわたって電極に蓄積するシリカ粉末が形成
されることを例証することを可能とした。処理の間の電
極のこの増大する汚染は、表面処理がほぼ１時間を超え
る長い時間にわたって適切な条件下で実施されることを
妨げ、一方、工業における通常の操業形態は２４時間連
続型である。
【００１１】電極上の粉末の蓄積はさまざまな現象の結
果である、すなわち、 −放電の物理および化学、すなわち、これは、形成され
るシリカ粉末は、放電の励起により気相において起こる
反応の生成物であるためである。操作条件（気体混合物
の組成、放電の電気的特性など）を変えることにより、
形成される粉末の量を変えることが可能である。
【００１２】−形成される粉末が電極との接触にもたら
されるプロセス、すなわち、これは、（前述の段落にし
たがって小さな最適量においてさえ）気相において粉末
が形成されるとき、もし粉末が電極との接触にもたらさ
れるならば蓄積のみが起こるためである。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は特に、処理雰囲気における放電を原因とする化学反応
の結果としての副産物（固体および／または液体および
／またはペースト状副産物）の電極上の蓄積を防止する
ことによりこの技術的問題が有利に解決されることを可
能とする方法および装置を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の適切な操業にと
って必要な条件の１つは、放電を作り出すのに用いられ
る電極の長さ全体にわたって気体混合物の均一な注入を
確保することを可能とする装置を作ることである。これ
は、厳密に均一な分布は、ポリマーフィルムの均一処理
を得るために本質的なことだからである。
【００１５】本発明によれば、２つの電極はそれに対し
て走行するフィルムが適用されるローラーであり、これ
らは適切な間隔を有して互いに対して平行であるように
配置され、従って、放電は２つのローラー電極の間で作
り出される。
【００１６】本発明によれば、電極の間に気体混合物を
注入するための手段が提供され、電極の１つはそれに対
して基材が適用され得るローラーであり、電極上に堆積
し得る副産物を発生させやすい、気体混合物中に２つの
電極の間に作り出される放電により走行する基材の表面
処理のためのプロセスは、そのとき、基材を処理するた
めに少なくとも１つのステージが用いられ、それぞれの
ステージは少なくとも１対のローラー電極およびローラ
ーの間に気体混合物を注入するための注入器を含み、基
材の処理は以下の様式において実施されるプロセスであ
る、すなわち、基材は、それが第１の表面処理を受ける
第１のローラー電極に対してそれを適用することにより
２つのローラー電極の間に第１回目に連続で通過させら
れ、次いで、それが第２の表面処理を受ける第２のロー
ラー電極に対してそれを適用することにより２つのロー
ラー電極に間に第２回目に通過がさせられる。
【００１７】
【発明の実施の形態】さらにその上、本発明による方法
は１以上の以下の特徴を有し得る、すなわち、 −基材の幅は少なくとも、放電の存在と副産物を発生し
やすい前記気体混合物の存在との組み合わせが観察され
る電極間スペースの長さに等しい。
【００１８】−デフレクタロール（ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ
ｒｏｌｌ）が用いられ、用いられるデフレクタロール
の数は、以下の様式において前記第１および第２の表面
処理が実施されることを可能とするのに少なくとも十分
である、すなわち、 ｉ）基材は、第１の対のデフレクタロールの第１のデフ
レクタロールに対して適用され、次いで、第１のローラ
ー電極に対して適用されることにより２つのローラー電
極の間を通過し、ここでそれは前記第１の表面処理を受
ける、 ｊ）次に、基材は、第２の対のデフレクタロールの第２
のデフレクタロールに対して適用される前に第２の対の
デフレクタロールの第１のデフレクタロールに対して適
用される、 ｋ）ついで基材は、第２のローラー電極に対して適用さ
れることにより２つのローラー電極に間を再び通過し、
ここで、基材は、第１の対のデフレクタロールの第２の
デフレクタロールに対して適用される前に前記第２の表
面処理を受ける。
【００１９】−基材の前記第１の表面処理および基材の
前記第２の表面処理の間に、基材を処理するための２つ
のステージが用いられ基材の２つの付加的な表面処理が
実施され、以下の様式において第２の処理ステージにお
いて、 ｉ）前記第１の表面処理を受けた後、前記第２の表面処
理を受ける前、基材は、第２のステージの第１のローラ
ー電極に対してそれを適用することにより、第２のステ
ージの２つのローラー電極の間を第１回目に通過させら
れ、ここでそれは第１の付加的な表面処理を受ける、 ｊ）後に、基材は、第２のステージの第２のローラー電
極に対してそれを適用することにより第２のステージの
２つのローラー電極の間に２回目に通過させられ、ここ
で、それは第２の付加的な表面処理を受ける。
【００２０】−前記少なくとも１対の電極の少なくとも
１本の長さは処理される基材の幅に合わせられる。
【００２１】−気体混合物は、処理される基材の幅に実
質的に等しい注入長さにわたって、前記少なくとも１対
の２つのローラー電極の間に注入される。
【００２２】前述の部分を読むことにより理解されたで
あろうが、本発明は、「走行する」表面を処理するため
の方法の分野に関し、それゆえ、「開放」と呼ばれるプ
ラントに関し、したがって空気のある程度の取り込みの
存在、表面処理もまた、大気圧で、または大気圧に近い
圧力で実施されることが必要である。これは、本発明の
範囲から逸脱することなく、数十ミリバール、またはさ
らに数百ミリバールの大気圧の範囲内の圧力で働くこと
が可能であることが理解されるべきであるためである。
【００２３】本発明はまた、電極上に堆積され得る副産
物を発生させやすい気体混合物において２つの電極の間
に作り出される放電により走行する基材の表面処理をす
るための装置であって、その装置において電極の１つは
それに対して基材が適用され得るローラーであり、電極
の間に気体混合物を注入するための手段が与えられ、第
２の電極はそれに対して走行する基材もまた適用され得
るローラーであり、そのローラーは、基材が第１の表面
処理を受け得る、第１のローラー電極に対してそれを適
用することにより２つのローラー電極の間に１回目に基
材を通過させ、続いて、基材が第２の表面処理を受け得
る第２のローラー電極に対してそれを適用することによ
り２つのローラー電極の間に２回目に基材を通過させる
ることのできる手段を装置が含むという事実により適切
な間隔を有する他のローラーに対して平行であるように
配置される装置に関する。
【００２４】本発明による装置はまた１以上の以下の特
徴を採用し得る。
【００２５】−それは基材を処理するための少なくとも
１つのステージを具備するカバーを含み、それぞれのス
テージは１対のローラー電極およびローラー電極の間に
気体混合物を注入するための手段を具備する。
【００２６】−それは少なくとも２対のデフレクタロー
ルを含み、装置のデフレクタロールの対の数は、そこに
ローラー電極のそれぞれの対の一方の側について１対の
デフレクタロールが存在することを可能とするのに少な
くとも十分である。
【００２７】−気体混合物を注入するための手段は、ロ
ーラー電極のそれぞれの対について、関連するローラー
電極の少なくとも１つの１末端から他方まで連続的に伸
びる気体注入ノズルを具備する。
【００２８】−気体注入ノズルは、それにわたって気体
混合物が注入される長さを調整し限定し、例えば、電極
の一方または他方の長さに対してこの長さを合せること
を可能とするように前記ノズルの長さの一部を遮断する
ための手段を備える。
【００２９】−その、またはそれぞれの対の電極の少な
くとも１つの長さは処理される基材の幅に等しい。
【００３０】−前記遮断手段はノズルに対して横にちょ
うつがい付けされたスラットを具備し、それぞれはノズ
ルの注入スロットを閉じるために適切な曲がった末端を
備え、フックのような操作手段を備える。
【００３１】−装置は、放電により発生する気体性流出
物を吸い出し、走行移動により基材により連行される空
気を吸い出すためのサクションユニットを含む。
【００３２】−サクションユニットはローラー電極の下
に配置される１対のデフレクタロールの下に配置され
る。
【００３３】−サクションユニットは、前記の対のそれ
ぞれのデフレクタロールと関連する、サクションアセン
ブリおよびこのサクションアセンブリと当該デフレクタ
ロールとの間に挿入された介在アセンブリを含み、デフ
レクタロールの円筒形表面と結合した窪んだ表面を有
し、これらの表面の間に適切な間隔が存在し、それぞれ
のアセンブリにおいて与えられ、ロールおよび介在アセ
ンブリの表面の間を流動する気体性雰囲気を吸い出すた
めのスロットが存在し、このスロットがサクションアセ
ンブリにおいて現れるシステムを具備する。
【００３４】前述の部分を読んで理解されたであろう様
に、装置は、フィルムが装置にわたって適切に走行する
ことを可能とし、それゆえ特に、基材が放電ゾーンにも
たらされ、そこから除去されることを可能とし、または
実際に、装置がいくつかの処理ステージを有するとき、
基材がステージの間を移動することを可能とする手段も
また具備し得る。
【００３５】基材を「運搬する」これらの手段は、事例
が極めて一般的であるものとして、例えば、ポリマーフ
ィルムの表面を処理するためのプラントについては、デ
フレクタロールであり得る。
【００３６】もし装置が２つの処理ステージを具備する
ならば、第２の放電はなされていないかまたはなされて
いるかのいずれかであり得るし、このことは、基材が２
回または４回処理され得ることを意味する。このこと
は、基材は、第１の放電ゾーンにより処理される第１の
放電ステージをまず通過し得るものであり、次いで、フ
ィルムがデフレクタロールを超えて通過した後に、（も
し後者が起動されているならば）基材が第２の放電ゾー
ンにより再び処理され得る第２の放電ステージを通過し
得るためである。他のロールにより転向された後に、フ
ィルムは第２の放電ゾーンを２回通過し、次いで、デフ
レクタロールの後に、第１の放電ゾーンをまた通過す
る。
【００３７】前述の部分を読んで理解されたであろう様
に、一方で、対の２つの電極の長さは等しい必要がな
く、他方で、本発明によれば、電極および基材の一方ま
たは他方の間の寸法の比は選択され得る。本発明によれ
ば、処理される基材の寸法に関する気体注入幅を選択す
ることもまた可能である。
【００３８】従って、採用される形状の選択に依存し
て、もし処理気体混合物が、（シランについての事例の
ように）放電の励起の下で副産物の形成に導きやすい気
体を含むのであれば、電極は処理の持続時間にわたって
基材それ自体により保護されたままである、と言うの
は、基材はそれぞれの放電ゾーンにおいて電極の表面、
すなわちその「機能」表面の全体または部分を被覆する
からであり、電極上の副産物堆積の形成は、実際、放電
の存在と副産物を発生させやすい気体混合物の存在との
両方の結果である。
【００３９】単純に、本発明をより明確に例示するため
に、すなわち、走行する基材が互いに向かい合うローラ
ー電極の対の２つの電極に対して適用されるのに従うこ
の特徴について、ここでは走行する基材の所定の部位Ｘ
を考察し、それは１ステージの装置で処理される、すな
わち、部位Ｘは第１回目に２つのローラー電極を通過
し、次いで、第１のローラー電極に対して適用され、こ
こでそれは第１の表面処理を受け（この時、それに面す
る第２の電極は走行する基材の下流部位、すなわち、走
行においてＸに先行する部位により覆われる）、次い
で、Ｘは２つのローラー電極の間を２回目に通過し、対
の第２のローラー電極に対して適用され、そこでそれは
第２の表面処理を受ける（この時、前述の第１の電極
は、走行する基材の上流部位、すなわち走行においてＸ
に続く部位により覆われる）。
【００４０】再び、発明を明確にするために、 ｉ）もし対の電極の少なくとも１つの長さが基材の幅に
合わせられるならば、この電極はそれゆえ副産物の堆積
から保護されるであろう、というのはそれは基材により
覆われるからである。それに面する第２の電極に関して
は、 −もしこれが第１の電極と同じ長さを有するならば、そ
れゆえそれもまた保護され、 −およびもし第２の電極の長さがより大きいならば、も
ちろん、覆われることにより基材の幅全体にわたって保
護され、第１の電極についてのその付加された長さに関
しては、これはこの付加された長さについての放電が欠
けているために副産物の堆積により影響されない。
【００４１】ｊ）以前に見られた様に、気体注入長さを
処理される基材の幅に合わせることもまた可能であり、
そのとき、電極と基材との間の寸法比がいかなるもので
あろうとも、電極もまた副産物の堆積から保護されるで
あろう。なぜならば、 −それゆえ、基材により覆われる電極のその部分が保護
されるためであり、 −（より大きな長さが選ばれたために）基材により覆わ
れないであろう電極のその部分もまた、当該部分に関し
て副産物の形成に導きやすい気体混合物の欠如のために
保護されるからである。
【００４２】すべての場合において、このように形成さ
れた副産物は、電極上に蓄積することなく、カバーおよ
び／または走行する基材の表面で覆われたサクションシ
ステムにより即座に除かれる。これらの条件の下で、シ
ステムは１日２４時間実際に連続的に操業し得る。
【００４３】
【実施例】本発明の他の特徴および利点は、発明を限定
しない例としてその２つの態様を例示する添付された図
面を参照して、続く記載の中で明らかになるであろう。
【００４４】図１は本発明によるポリマーフィルムの表
面処理のための装置の１つの態様の単純化された端面図
である。
【００４５】図２は、図１の平面に対して垂直な平面に
おける装置の部分的長手側正面図であり、装置のある種
の要素は図面を単純化することを目的として示されてい
ない。
【００４６】図３は、図１および２の装置の下方部分の
拡大された規模の部分正面図である。
【００４７】図４は図３の詳細について規模を拡大した
部分断面図である。
【００４８】図５はローラー電極の第２の態様の単純化
された平面図である。
【００４９】示された装置は、例えばモノシランを含む
気体混合物において処理の間に副産物の形成を起こしや
すい気体混合物において２つの電極の間の放電により例
えばポリマーフィルムの基材の表面処理を意図する。
【００５０】ここで示された態様は、ポリマーフィルム
３の表面を処理するための２つの重ねられたステージ
（またはゾーン）１、２、上方処理ステージ２の下に配
置されたサクションアセンブリ４および処理の結果出て
くる気体性流出物を吸い出し、除去するための第２のア
センブリ５を含み、前記第２のアセンブリは第１の処理
ステージ１の下に配置される。
【００５１】システム全体はカバー６の中に含まれ、フ
ィルムは、サクションアセンブリ５およびデフレクタロ
ール２１とデフレクタロール１９のそれぞれの間に置か
れた空間を経由してシステムに入りそして出て行く。
【００５２】示された態様の場合において、それぞれの
処理すなわち放電ステージ１、２は、その長手軸を水平
にした、互いに平行で近接するように配置された２つの
ローラー電極９、１１を含む。従って、これらのローラ
ー９、１１は、適切な金属材料から作られた２つの電極
を形成する。それらは、少なくともそれらの１つの事例
において、適切な誘電体で覆われ得る。図示されていな
い、それ自体公知の手段が、電極の間に放電を起こさせ
るように電極９、１１に高電圧（数千ボルト）を与える
ために備えられる。この事例においては、パワーシリン
ダー１２、１３がそれぞれのローラー９、１１の末端に
配置され、関連するローラー１１、９が前後に動かされ
ることを可能とする。この態様はシステムを操作する可
能な方式の１つの単なる例示であり、実際には固定され
たローラーを用いても操作され得るであろう。
【００５３】電極を通過する垂直平面においてローラー
電極９、１１のそれぞれの対の上に位置するものは、注
入器１４（図２における３２を参照のこと）の上に位置
する気体チャンバー１５から来る気体混合物を注入する
ための注入器１４であり、その注入器および関連するチ
ャンバー１５はそれぞれのローラー９、１１の全長にわ
たって伸びることが好ましい。
【００５４】ローラー９、１１は、カバー６の対向する
側壁１６、１７によりその末端で支持され、フィルム３
により回転され得るものであり、後者それ自体はモータ
ー駆動システム（図示せず）により駆動される。
【００５５】例示として、システムは、モーターによ
り、または単にフィルムそれ自体により（当該フィルム
およびその機械的強度特性に依存する）駆動されるロー
ラー電極で等しく良好に操業し得ることを指摘すべきで
ある。
【００５６】この事例においては、２つのデフレクタロ
ール１９、２１は第１の処理ステージ１の下に配置され
る。デフレクタロールの第２の対２２、２３は第１の放
電ゾーン１の上に配置され、最後に、２つのデフレクタ
ロール２４、２５は第２の放電ゾーン２のローラー電極
９、１１の上に固定される。
【００５７】それぞれのデフレクタロール（１９、２
１、２２、２３など）は、フィルム３がより容易に走行
するようにモーター（図示せず）によりここでは駆動さ
れる。ここではまた、ある種の事例においてはデフレク
タロールはフィルムそれ自体により駆動され得るであろ
う。
【００５８】図１においてみられ得る様に、フィルム３
はロール２１と後に記載されるアセンブリ４４との間に
形成されるスロットを経由してカバー６に入り、そのと
き、第１のデフレクタロール２１に対して適用され、次
いで、第１の放電ステージ１の２つの電極９、１１の間
を通過し、そこからフィルム３は放電ステージ１の上に
位置するデフレクタロール２３を超えて走行し、次いで
上方ステージ２のローラー電極９に対して適用され、次
いで上方デフレクタロール２５に対して適用される。次
いで、フィルムはデフレクタロール２４によりローラー
電極１１に送り戻され、次いでデフレクタロール２２に
対して適用され、そこからそれは第１のステージのロー
ラー電極１１に送り戻される。この後に、フィルムは、
下方デフレクタロール１９とサクションアセンブリ４４
との間に形成される出口スロットを経由して除去され
る。
【００５９】この様に、２つの放電ゾーンすなわちステ
ージ１、２を具備するこの態様において、フィルム３
は、２つのステージの電極９、１１の間の例えばコロナ
放電のような放電による処理の４つの連続相を受ける。
【００６０】しかしながら、装置が２つの放電ステージ
１、２を含むことは明らかに絶対的に必須ではないこと
は理解されるであろうし、単一のステージ１が適した数
の適用として十分であることは可能である。その様な、
単純化されたワンステージ形態において、フィルム３
は、デフレクタロール１９を経由してカバーから出てい
く前に、それが第２の表面処理を受ける電極間スペース
に送り戻される前にデフレクタロール２３からデフレク
タロール２２に直接通過する。
【００６１】それぞれのチャンバー１５は、その末端の
少なくとも１つにおいて、カバー６の壁を通過する管を
経由して気体混合物が供給される。この区画から、気体
混合物は、ここでは気体チャンバー１５およびローラー
電極の一方の末端から他方に連続的に伸びる注入ノズル
１４に入る。ノズル１４は、当業者にとって既知のいず
れか適切な手段によりチャンバー１５の下に固定され得
る。
【００６２】更にその上、ここでの気体注入ノズルは、
極めて好都合なことに、気体混合物が注入される長さを
限定するようにこのノズルの長さの一部が遮断されるこ
とを可能とする手段を備える。これは、この時、このフ
ィルムの幅がローラー電極９の長さより短いとき、処理
されるフィルム３の幅にこの気体注入長さを合わせるこ
とが可能であるからである。従って、図２および５は、
その末端がカバー６の側壁１６、１７により支持される
長手シャフト３４により保持されるローラー電極を形成
するローラー１１ａを示し、そのときローラー１１ａの
長さは処理されるフィルム３の幅に等しい。
【００６３】有効気体注入長さをフィルム３の幅に合わ
せるために、前述の手段は、例えばこの事例において、
ノズル３２にちょうつがい付けされたスラット３６を具
備し得るものであり、それぞれは、ノズル３２の注入ス
ロットを閉じるために曲がった末端を備え、操作用フッ
ク３８を備える。後者の上方末端は、保持部材にホック
で留められ得る。
【００６４】従って、いくつかのスラット３６は、その
有効注入長さを調節するように注入器３２に沿って離間
され得る。
【００６５】最後に、処理装置は、デフレクタロール１
９、２１の下の、その下方部分において、放電から発生
する気体性流出物を吸い出すためのおよびその変位によ
りフィルム３の表面に連行された空気を吸い出すための
ユニット４２（図１および３）を備える。サクションユ
ニット４２は、それぞれのロール１９／２１と関連し
て、アセンブリ４３およびアセンブリ４３とロール（１
９、２１）との間に挿入された介在アセンブリ４４を具
備する。それぞれの介在アセンブリ４４は、アセンブリ
４３の末端に載り、平坦面であり得る下方面４５及び関
連するロール（１９、２１）の円筒形表面と接合した円
筒形部分を形成する凹面の上方面４６を有する。適切な
間隔ｅ（図４）は、ロール１９、２１の表面と円筒形表
面４６との間に与えられ、それぞれのロール１９、２１
の表面に対して適用されて保持されるフィルム３はこの
間隔を通過する。
【００６６】処理の結果の気体性流出物を吸い出し、そ
の走行移動によりフィルムにより連行される空気を吸い
出すためのそれぞれのスロット４７、４８は、それぞれ
のアセンブリ４４において用意され、このスロット４
７、４８はアセンブリ４３の中に存在する。２つのスロ
ット４７、４８は、ロール２１および１９のそれぞれに
対向して配置される。
【００６７】従って、空気および気体性流出物をアセン
ブリ４３に吸い出すことは可能であり、アセンブリはサ
クションおよび除去ファン（図示せず）に接続されてい
る。
【００６８】気体混合物を注入するための手段について
は、例えばチャンバーとノズルとの間の損失水頭を作り
出すことにより、例えば多孔性物体または適切な織物を
使用することにより、注入器の全長のわたって気体混合
物の均一な拡散を得るように努めることが好ましいであ
ろう。
【００６９】本発明は特定の態様に関連させて記載され
てきたが、本発明は、それによりいかなる意味でも限定
されるものではなく、しかし、それどころか、当業者に
とって明らかである様な改良および変更を許容するもの
である。
【００７０】従って、例えば、図面およびテキストの明
確さを目的として、図１は、最も特別に、放電ゾーンお
よびしたがって空間を通るフィルムの移動の垂直配列を
記載するが、放電ゾーンのいずれか他のタイプの配列
（垂直的、水平的または混合配列）が考えられることが
想像され得るであろうし、したがって特に、装置がそれ
ぞれの放電ゾーンの間を基材を輸送するようにいくつか
の放電ゾーンを具備するとき、全体の配列は、処理され
る基材を放電ゾーンにもたらすために必要であるデフレ
クタロールを提供するものである。
【００７１】同様に、２つの処理の間に実施される操作
は上記で詳細には記載されてこなかったが、例えば、上
記のカバー構造を開放する前に、および処理のために用
いられた雰囲気の性質に依存して、不活性気体を用いて
パージを行うことが有利であるとみなされるものであ
り、パージ／サクションの組み合わせは、通常の事例で
ある場合には、標準的に推奨される安全条件に見合うこ
とを保証する。
【図面の簡単な説明】
【図１】ポリマーフィルムの表面処理のための装置の単
純化された端面図である。
【図２】図１の平面に対して垂直な平面における装置の
部分的長手側正面図である。
【図３】図１および図２の装置の下方部分の拡大された
部分正面図である。
【図４】図３の詳細の拡大された部分断面図である。
【図５】ローラー電極の単純化された平面図である。
【符号の説明】
１，２…放電ステージ ３…フィルム ４，５，４３，４４…サクションアセンブリ ６…カバー ９，１１，１１ａ…ローラー電極 １２，１３…パワーシリンダー １４…注入器 １５…気体チャンバー １６，１７…側壁 １９，２１，２２，２３，２４，２５…デフレクタロー
ル ３２…ノズル ３６…スラット ３８…操作用フック ４２…ユニット ４４…介在アセンブリ ４５…下方面 ４６…上方面 ４７，４８…スロット ｅ…間隔
フロントページの続き (71)出願人 598156402 ソフタル・エレクトロニック・ゲーエムベ ーハー ＳＯＦＴＡＬ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｇ ｍｂＨ ドイツ連邦共和国、21107 ハンブルク、 ケーニヒ−ゲオルグ−シュティーク−１ (72)発明者 アラン・ビレールメ フランス国、78220 ビロフレイ、リュ・ ウェルシンジェル、５ (72)発明者 フランソワ・クーレ フランス国、78280 ギュイヤンコルト、 レジダンス・レ・サンフォニー、ブールバ ール・ベトベンヌ、63 (72)発明者 パナヨティ・ココリオ フランス国、78830 ビュリオン、リュ・ ドゥ・ラキズィスィヨン、92 (72)発明者 ベルント・マルテンス ドイツ連邦共和国、21107 ハンブルク、 ケーニヒ−ゲオルグ−シュティーク−１、 ソフタル・エレクトロニック・ゲーエムベ ーハー内 (72)発明者 エックハルト・プリンツ ドイツ連邦共和国、21107 ハンブルク、 ケーニヒ−ゲオルグ−シュティーク−１、 ソフタル・エレクトロニック・ゲーエムベ ーハー内 (72)発明者 ユルゲン・サルジェ ドイツ連邦共和国、21107 ハンブルク、 ケーニヒ−ゲオルグ−シュティーク−１、 ソフタル・エレクトロニック・ゲーエムベ ーハー内

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 大気圧に等しいかまたは大気圧に近い圧
    力で、電極上に堆積され得る副産物を発生させやすい気
    体混合物中で２つの電極の間に作り出された放電により
    走行する基材を表面処理するための方法であって、電極
    の１つはそれに対して基材が適用され得るローラーであ
    り、電極の間に気体混合物を注入するための手段が設け
    られ、基材を処理するための少なくとも１つのステージ
    が用いられ、それぞれのステージは少なくとも１対のロ
    ーラー電極およびローラーの間に気体混合物を注入する
    ための注入器を具備し、基材の処理は以下の様式で実施
    される、すなわち、基材は、それが第１の表面処理を受
    ける対の第１のローラー電極に対してそれを適用するこ
    とにより２つのローラー電極の間に最初に連続で通過さ
    せられ、次いで、それが第２の表面処理を受ける対の第
    ２のローラー電極に対して基材を適用することにより２
    つのローラー電極の間に２回目に通過させられることを
    特徴とする、放電により走行する基材を表面処理するた
    めの方法。
  2. 【請求項２】 処理される基材の幅が、放電の存在と副
    産物を発生させやすい前記気体混合物の存在との組み合
    わせが観察される電極間スペースの長さに少なくとも等
    しい請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 デフレクタロールが用いられ、用いられ
    るデフレクタロールの数が、前記第１および第２の表面
    処理が以下の様式で実施されることを可能とするのに少
    なくとも十分である、すなわち、 −基材は、第１の対のデフレクタロールの第１のデフレ
    クタロールに対して適用され、次いで、基材が前記第１
    の表面処理を受ける前記対の第１のローラー電極に対し
    て適用されることにより２つのローラー電極の間を通過
    し、 −次に、基材は、第２の対のデフレクタロールの第２の
    デフレクタロールに対して適用される前に第２の対のデ
    フレクタロールの第１のデフレクタロールに対して適用
    され、 −ついで、基材は、第１の対のデフレクタロールの第２
    のデフレクタロールに対して適用される前に、それが前
    記第２の表面処理を受ける前記対の第２のローラー電極
    に対して適用されることにより２つのローラー電極の間
    を再び通過する、請求項１または２に記載の方法。
  4. 【請求項４】 基材を処理するための２つのステージが
    用いられ、基材の２つの付加的な表面処理が、基材の前
    記第１の表面処理と基材の前記第２の表面処理との間に
    実施され、第２の処理ステージにおいては以下の様式
    で、すなわち、 −前記第１の表面処理を受けた後で、前記第２の表面処
    理を受ける前に、基材は、それが第１の付加的な表面処
    理を受ける第２のステージの第１のローラー電極に対し
    てそれが適用されることにより、第２のステージの２つ
    のローラー電極の間を１回目に通過させられ、 −続いて、基材は、それが第２の付加的な表面処理を受
    ける第２のステージの第２のローラー電極に対してそれ
    を適用することにより第２のステージの２つのローラー
    電極の間を２回目に通過させられる、請求項１ないし３
    のいずれか１項記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記少なくとも１対の少なくとも１つの
    電極の長さが処理される基材の幅に合わせられている請
    求項１ないし４のいずれか１項記載の方法。
  6. 【請求項６】 気体混合物が、処理される基材の幅に実
    質的に等しい注入長さにわたって前記少なくとも１対の
    ２つのローラー電極の間に注入される請求項１ないし５
    のいずれか１項記載の方法。
  7. 【請求項７】 電極上に堆積され得る副産物を発生させ
    やすい気体混合物中で２つの電極の間に作り出される放
    電により走行する基材を表面処理するための装置であっ
    て、その装置において、電極の一つはそれに対して基材
    が適用され得るローラーであり、電極の間に気体混合物
    を注入するための手段が与えられ、第２の電極は、それ
    に対して走行する基材もまた適用されるローラーであ
    り、そのローラーは、適切な間隔を有して他のローラー
    に対して平行であるように配置され、装置は、基材が第
    １の表面処理を受け得る第１のローラー電極に対してそ
    れを適用することにより２つのローラー電極の間を１回
    目に基材を通過させ、続いて、基材が第２の表面処理を
    受け得る第２のローラー電極に対してそれを適用するこ
    とにより２つのローラー電極の間に２回目に基材を通過
    させることができる手段を具備するという事実による、
    放電により走行する基材を表面処理するための装置。
  8. 【請求項８】 基材を処理するための少なくとも１つの
    ステージを具備するカバーを具備し、それぞれのステー
    ジは１対のローラー電極およびローラー電極の間に気体
    混合物を注入するための手段を具備する請求項７記載の
    装置。
  9. 【請求項９】 少なくとも２対のデフレクタロールを含
    み、装置のデフレクタロールの対の数は、それぞれの対
    のローラー電極のいずれかの側について１対のデフレク
    タロールが存在することを可能とするのに少なくとも十
    分である請求項７または８に記載の装置。
  10. 【請求項１０】 気体混合物を注入するための手段は、
    ローラー電極のそれぞれの対について、関連するローラ
    ー電極の少なくとも１つの１末端から他方に連続的に伸
    びる気体注入ノズルを具備する請求項７ないし９のいず
    れか１項記載の装置。
  11. 【請求項１１】 気体注入ノズルは、気体混合物が注入
    される長さを限定することが可能であるように前記ノズ
    ルの長さの一部を遮断するための手段を備え、したがっ
    て、もし必要とされるならば、この長さを電極の一方ま
    たは他方の長さに合せることが可能であることを許容す
    る請求項１０記載の装置。
  12. 【請求項１２】 前記遮断手段はノズルに横にちょうつ
    がい付けされたスラットを具備し、それぞれは、ノズル
    の注入スロットを閉じるために適切な曲がった末端を備
    え、フックのような操作手段を備える、請求項１１記載
    の装置。
  13. 【請求項１３】 その対またはそれぞれの対の電極の少
    なくとも１本の長さは処理される基材の幅に等しい請求
    項７ないし１２のいずれか１項記載の装置。
  14. 【請求項１４】 放電により発生する気体性流出物を吸
    い出し、その走行移動により基材により連行される空気
    を吸い出すためのサクションユニットを含む請求項７な
    いし１３のいずれか１項記載の装置。
  15. 【請求項１５】 サクションユニットがローラー電極の
    下に配置された１対のデフレクタロールの下に配置され
    る請求項１４記載の装置。
  16. 【請求項１６】 サクションユニットは、前記対のそれ
    ぞれのデフレクタロールと関連して、サクションアセン
    ブリおよびこのサクションアセンブリと当該デフレクタ
    ロールとの間に挿入された介在アセンブリを含み、デフ
    レクタロールの円筒表面と結合した凹状表面を有するシ
    ステムを具備し、これらの表面の間には適切な間隔が存
    在し、それぞれのアセンブリにおいて備えられた、ロー
    ルと介在アセンブリの表面との間に流れる気体性雰囲気
    を吸い出すためのスロットが存在し、このスロットはサ
    クションアセンブリの中に存在する請求項１５記載の装
    置。
JP10313491A 1997-11-05 1998-11-04 気体混合物中で２つの電極の間で放電することにより基材を表面処理するための方法および装置 Pending JPH11221519A (ja)

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