DE1571132A1 - Verfahren und Einrichtung zur Herstellung eines polymerisierten UEberzugs - Google Patents

Description

Verfahren und Einrichtung zur Herstellung eines polymeriaierten Überzugs.

Die Erfindung bezieht sich auf Verfahren und. auf Einrichtungen zur Herstellung eines polymerisieren Überzugs. Im einzelnen bezieht sich die Erfindung auf die Herstellung eines sehr dünnen derartigen Überzugs mit Hilfe einer Gasentladung und zwar auf die Herstellung eines solchen Überzugs auf einem beweglichen Träger, wobei der Überzug als elektrische Isolation, als Schutzüberzug-und^alfZwiS-ehenüberzug zur Erhöhung der Haftung dienen soll.

Außerordentlich dünne polymerisierte Schichten können auf einer geeigneten Unterlage dadurch erzeugt werden, daß man diese Unterlage in einer Atmosphäre eines Gases von geringem Molekulargewicht bringt, und daß man mittels einer Glimmentladung einen polymerisierten Überzug erzeugt. Es treten erhebliche Vorteile zusammen mit gewissen Problemen

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bei der Verwendung einer Glimmentladung zur Bildung eines Überzugs aus einem Grase auf. Biese Bildung eines Überzugs ist zu unterscheiden von der Bildung eines Niederschlags aus festen oder flüssigen Teilchen und ist ferner zu unterscheiden von der Benutzung einer Entladung zur Bildung von in Form größerer Körper auftretender Polymere, während es sich hier um die Bildung eines Überzugs handeln soll.

Die Erfindung ist auf die Herstellung einer größeren Zahl von Materialien anwendbar, beispielsweise auf die Bildung einer dünnen polymeren Schicht auf einer isolierenden unterlage, die ihrerseits schichtförmig ist und vorher hergestellt sowie flexibljsein soll. Es kann sich bei dieser letzteren Unterlage um einen dickeren polymeren Film handeln. Die Erfindung ist auch anwendbar auf die 3ildung eines polymeren Films auf einer Unterlage, welche eine leitende Oberfläche hat. Der gemäß der Erfindung hergestellte Überzug kann nach seiner Fertigstellung auf der Unterlage verbleiben, oder kann auch nachträglich von der Unterlage entfernt werden.. Unterlagen mit einer leitenden Oberfläche, auf welchen ein dielektrischer Film niedergeschlagen ist, sind insbesondere für die Fabrikation von Ladungsspeichern, beispielsweise gewöhnlichen Kondensatoren usw. verwendbar» wenn man eine zweite Elektrode auf dem Film anbringt. Nichtleitende Unterlagen dienen insbesondere für Verpackungszwecke.

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Bin Zweck der Erfindung besteht darin, Verfahren und Einrichtungen zu deren Aueübung anzugeben, bei welcher ein dünner polymerer ?ilm von sehr gleichmäßiger Stärke herge- , stellt werden kann.

Ein weiterer Zweck der Erfindung besteht darin, einen guten Wirkungsgrad in der Herstellung solcher Filme zu erreichen, so daß also eine Höchstmenge an Film mit einem vorgegebenen Aufwand an elektrischer Leistung hergestellt wird.

Es ist beispielsweise die Schwierigkeit aufgetreten, daß eine von dem Entladungsvorgang hervorgerufene Erwärmung auf die geladenen Seilchen des Gases, die auf der Unterlage als überzug polymerisiert werden, einwirkte, und daß durch diese Erwärmung der Überzug oder die Unterlage oder beides beschädigt wurden. Eine unerwünschte Wirkung, welche durch diese Erwärmung hervorgerufen werden kann, besteht darin, daß der Übersug und die Unterlage sich zu krümmen beginnt, und daß wegen dieser Krücaiungs effekte das hergestellte Produkt nur mit Schwierigkeiten weiterzuverarbeiten war. Ein weiterer Zweck der Erfindung besteht somit darin, eine solche Krümmung des Produktes zu vermeiden und andere unerwünschte Wirkungen einer Überhitzung zu verhindern.

Bei gewissen Ausführungsformen der Erfindung werden zwei langgestreckte bandförmige Unterlagen verwendet; welche zu-

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sanm.en ii: einem jewissen Abstand voneinander ablaufen. Diese beiden Bänder ourchl&ufen oeide eine uasatmosphäre einer χ-oly- n^ri2 icierbaren und einen überzug bildenden Substanz. Eb wird eine elektrische Spannung zwischen diesen beiden Ländern angelegt, se cö£ eich zv-icchen ihnen eine Si indent la dung ausbildet, 'VdS zu c er Urzeugung eines roller en Jberzu^s auf jedem Bande

Durch ^eeinflusaun^ 5er iorm ^hC -ege, welche von den Bär. ί er η iurcrlsufer. wer ö en, 'ferner durch Beeinflussung des trucks Jer jssfcrini^er. Substanz, der όχβηηυηα ζν,-ischen den ri;i.cern, '\=n dtroiadichte cer Entladung ur.c schlieiBlich des k'--a~ ϊΧ.Ί-ii cer li'Tiiar ktrr. eine jiusbildvn.j der Entladung an unerwünschten Stellen verhindert werden und in einem gewünschten 5ereier: eine beatirr.:..te Art von r.ehreren, an sich möglichen Zr^tisdungsar-ren e/z'.'.'-r.^en 'Aercer.. AuScrceni kann man die 3-e — scr.7.^;in-üi_v.keit cer Jil;;.heri":ellung :.öcei auf einen I-xchstv/er fc steiger::.

Au^ei-.'ej: kc.r.r. eine ungebührliche überhitzung vermieden .vercei. una eir. Tilrr. von sehr guter Zu-ie.stijkeit dadurch er-2'eicr.t verier., f&- r:sr. 5ie oben sngegebenen bedingungen sorgi.-llt.lg ü'cei-v.&oiit --zv;. v,t.hi"C, wobei es insbesondere auf die ■jeor.etiie üer vcr. ^Aar. beider. Bändern curcl i&uf enen 7Γβ£β anüUier^:. ^uI ven den üändern -\är.ie an bestimmten Stellen

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der üandwege abgeführt werden, wie in. ioj. genden noch genauer erläutert werden wird.

Im allgemeinen konnte festgestellt werden, daü die PoIymerisationsgeschwindigkeit proportional dem Strom ist, welcher durch die Glimmentladung fließt. Jedoch ließ sich außerdem feststellen, daß der Strom an einer bestimmten Stelle der Grli;r.mentlaöung nicht über einen bestimmten 7/ert hinaus gesteigert werden konnte, wenn eine funkenbildung vermieden v/erden sollte, welche das erzeugte Polymer ja beschädigen würde »'" Es* wurde auch festgestellt, daß bei gewissen JSlektrodenfornen äer Druck dee gasförmigen Monomers unter das sogenannte Paschen-Ivlinimum heruntergeregelt werden konnte, und daß die wirksame Fläche der glimmentladung und somit die Brzeugungsgeschwindigkeit des gewünschten Produktes sich erhöhen ließ. In anderen 'fällen ist es erwünscht, oberhalb des sogenannten Paschen—Minimums zu arbeiten. Der I-ruck mu£ jedoch erheblich niedriger sein als der ;^!<ert, bei welchem eine merkliche Polymerisation in dem G-asvolumen zwischen den beiden Bändern auftritt. Sine derartige im Saume vor sich gehende Polymerisation führt ziu der Bildung von festen teilchen im Räume zwischen den Bändern, wobei diese Seilchen dann unerwünschte Eigenschaften Desitzen.

Fig. 1 zeigt eine teilweise im Schnitt dargestellte Einrichtung zur Ausübung des erfindungsgemäßen Verfahrens.

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Pig. 2 ist eine vergrößerte Darstellung des Bandtransportmechanisr/us in Fig. 1.

Pig. 3 zeigt im querschnitt ein ceta-llisier tes linterl&geband, auf v.elchem ein j olyrcerer PiIm gemäß der Erfindung erzeugt worden ist.

ii_. 3a zeigt iiB querschnitt ein nichtleitendes Band, auf welchem durch eine Jiin^nentlaGung ein ^olymerer ?ilm gemäß eier Erfindung erzeugt worden ist.

J?ij. 4 zeigt im querschnitt einen Teil zweier einander zugewendeter metallischer Bänder, welche in den iiinrichtungen nach Pi.^♦ 1 und 2 behandelt worden sind. I'ig. 4 zeigt dabei, daß die Piliijicke auch veränderlich sein kann..

pig. 5 enthält eine ähnliche Darstellung wie I¹Ig. 4* z-ui-gx jedoch die ",Virkung einer Bewegung der Bänder in entgegengesetzten

iig.6 zeigt eine Abwandlung desfür die Einrichtung nach Pig. 1.

Pig, 7 ist eine Darstellung der gewonnenen Fil&'e- bei verschiedenen Drucken unter Verwendung einer gebogenen-^IiSite'- gemäß Pig. 7a· - ^:'^{: v}

Pig. 7a ist eine schematische Darstellung einer Auaführungafοriu der üri'indung mit zwei Elektroden, welche einander ihre konvexen Seiten zukehren.

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Pig. 3 bis 10 zeigen den Charakter der bei verschiedenen Drucken in der Einrichtung nach Fig. 7 erzeugten Gasentladung.

Fig. 11 ist eine Darstellung einer anderen Ausführungsform der Erfindung mit einem Bandtransportmechanismus mit stationären konvexen Band führung skö'rpern nach Fig. 7a -

Fig. 12 ist eine Seitenansicht einer Ausführungsfarm der Erfindung, bei welcher zvei Unterlagestreifen einer Polymerisation während aufeinanderfolgender Entladungsvorgänge ausgesetzt werden.

iig. 13 ist eine Seitenansicht einer Ausführungsform der Erfindung, bei y/elcher die Herstellung von Filmen auf zwei Bändern rait nachfolgender Entfernung der Filme von den Bändern veranschaulicht ist.

Sine Einrichtung, eie sich zur Herstellung von sierten lürnen Filmen auf einer flexiblen Unterlage mit leitender oder nichtleitender Oberfläche mittels einer Grlinsentladunj eignet, ist in Tig. 1 dargestellt.

Die Einrichtung enthält ein im ganzen ir.it 6 bezeichnetes rechteckiges G-ehäuse, welches einer. Träger 4 für einer. Trar.srortEeexanissyu:: umschließt. L'as Jehause b besteht aus Seitenwänder« 501 und 302, einer Deckwenc 303» einer Bodenwand 2, einer Rückwand 304 und einer abnehmbaren Vorderhand 505. Mittels einer Dichtung wird die Vorderwand auf die übrigen

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erwähnten !eile des Gehäuses 6 aufgesetzt. Das Gehäuse 6 kann sodann entlüftet werden. An den Seitenwänden 301 und 302 sind Stützen 12 und 14 angebracht, welche mit einer Entlüftungsleitung 16 bzw. einer Förderleitung 18 für den in das Gehäuse 6 einzuführenden Stoff verbunden sind. Die Entlüftungsleitung ist über ein Ventil 20 mit einer Vakuumpumpe 22 verbunden und die Förderleitung 18 über ein Steuerventil 24 mit einem Behälter 26. Die Ventile 20 und 24 können sogenannte bekannte Nadelventile sein, die eine stoßfreie Regelung erlauben. Der Vorratsbehälter 26 enthält eine Quelle eines gasförmigen polymerisierbaren Stoffes und kann außerdem mit Heizvorrichtungen oder Kühlvorrichtungen ausgerüstet sein, um den Dampfdruck dieses Stoffes su beeinflussen. Mittels eines an einen Stutzen 31C in der Seitenwand 302 angeschlossenen Meßinstrumentes 19 kenn der Druck im iehau se 6 überwacht werden.

Leistung zur Urzeugung der Entladung wird über die leitungen 28 und 50 eingeführt, die luftdicht die Seitenwand 301 und iie Isolierscheiben 32 und 34 durchsetzen. Die Stromquelle 3 6 ist an die Leitungen 28 und 30 über einen Reihenwiderstand 37 und einen Strcmiresser 39 mittels der Leitungen 38 und 40 enje-scblosse.·:. Ein Volt.K'ter 3 erlaubt es die Glimmspannung zu überwachen. Inneii.&lb ces Gehäuses 6 wird die Leistung ir.itteis eier Leitungen 42 und 44 übertrager..

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Der Träger 4 kann aus Isoliermaterial bestehen, um die verschiedenen Teile des fransportmechanismus leicht voneinander isolieren zu können»

Gemäß Fig. 2 "besteht der im ganzen mit 46 bezeichnete IranSportmechanismus aus einem oberen und einem unteren Teil, von denen jeder zur Förderung eines flexiblen Bandes 66 bzw. 68 durch die Entladungszone hindurch dient. Die Bänder 66 und 68 können aus Metall bestehen oder auch aus Kunststoff, wenn dieser auf den einander zugekehrten Seiten der Bänder mit einem leitenden ^überzug versehen ist. Schließlich können die Bänder auch aus einem nichtleitenden Stoff bestehen. Die Bänder 66 und 68 werden von den Spulen 52 und 54 abgewickelt und dann über die einander zugewendeten Flächen der Elektroden 58 und 60 geführt, um schließlich die .Aufwickelspulen 70 und zu erreichen.

Bei Spannungszufuhr zu den Elektroden wird eine polymerisierende Entladung im Zwischenraum zwischen den Elektroden erzeugt. 3e± der Einrichtung nach Fig. 2 durchlaufen die Bänder praktisch ebene parallele Tvege durch die Entladungszone und ihr Abstand ist innerhalb dieser Zone praktisch konstant. Der kindestabstand ist nicht kritisch, solange der Abstand kleiner ist als derjenige v.ert, bei welchem sich eine unerwünschte Polymerisation im Zwischenraum zwischen den Bändern

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an Stelle der gewünschten Polymerisation auf der Oberfläche der Bänder einstellt. Abstände von der Größenordnung von 1 cm haben sich als geeignet erwiesen.

V/enn man polymere Filme auf Bändern erzeugen will, und wenn dabei diese Filme durch 7/ärme beschädigt werden oder wenn die Unterlagebänder selbst durch Wärme beschädigt werden, kann die Wirkungsweise der Einrichtung nach Fig. 2 dadurch verbessert werden, daß man ein Kühlmittel den Elektroden 58 und über die Rohre 59 zuführt, welches dann Kühlschlangen im Inneren dieser Elektroden durchläuft. Die Kühlmittelleitungen können gegenüber Erde durch aus Gummi bestehende Zwischenstücke isoliert werden.

Eine polymerisierende Gasentladung wird in dem Zwischenraum zwischen aen Bändern 66 und 68 durch eine Spannung von 300 bis 400 YoIt oder mehr erzeugt. Die Spannungshöhe hängt von dem benutzten gasförmigen polymerisierbaren Stoff ab, ferner vom Betriebsdruck, dem Abstand der Elektroden und der gewünschten Stromdichte. Die Verbindungen zwischen den Elektroden 53 und 60 un<3 der Stromquelle 36 v/erden gemäß Fig. 2 mittels der Kontakte S3 und 90 hergestellt, v/elche an der Leitungen 42 und 44 liegen. Wenn leitende Bänder 66 und 68 verwendet werden, kann man die elektrische leistung mittelbar den Elektroden 58 und 60 zuführen. Wenn jedoch die Bänder

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nichtleitend sind, muß die Leistung von den Elektroden 58 und 60 kapazitiv auf die Oberfläche der Bänder übertragen werden. Als Elektroden 66-ηη&-€8 kann man auch rollende Elektroden verwenden, wenn die Bänder 66 und 68 eine leitende Oberfläche besitzen.

Die Antriebsvorrichtung bewegt ö.ie Bänder 66 und 68 mit der gleichen Geschwindigkeit durch die Entladungszone hindurch. Die Aufwickelspulen 70 und 72 werden über·die Sprossenräder 76 und 78 mittels eines Kettenrades 80* welches auf einer ',Velle 84 befestigt ist, angetrieben. Die Räder 76 und 78 sind von ihren Achsen durch Zwischenstücke 62 und 64 aus Isoliermaterial elektrisch getrennt. Die Welle 84 wird mittels eines Motors 86 angetrieben, der mit verschiedener Geschwindigkeit laufen kann und der außerhalb der Rückwand 304 des Gehäuses montiert wird. Uittels Bremseinrichtungen 89, beispielsweise mittels Reibungsbremsen wird eine zu schnelle Abwicklung der Bänder von den Vorratspulen 52 und 54 verhindert. Die Bänder stehen daher unter einer geeigneten Zugspannung beim Durchlauf durch die Entlaöunfiszone.

Als Beistiel sei erwähnt, öa£ Per auf zwei Aluniniur.r.filir.en vor. je 0,25 iv. ""icke von den Spüler 52 und 54 abgewickelt werden können ur.a über die LIektroden 56 unc. 60 auf die Spulen 70 una Ί2. suf_wev.ickeit werden, lie Vorderwano >0: %irö dann auf das Jer-äuse aufgesetzt unä die

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Vakuumpumpe 22 ir. Betrieb gesetzt. ",Venn ein ausreichendes Vakuum '';:■:.ielt icit, wird d&s Ventil 24 geöffnet und eine Mischung von monomeren Fluoräthylenen aus dem behälter 26 eingelassen. Durch geeignete einstellung (3er Ventile 20 und 24 Kann eine sts-ndige Förderung von polymerisierbarer Substanz in die VakuumkeuEer eingestellt und gleichzeitig der Druck in iieser Kammer auf einem gewünschten .Vert gehalten werden, ^e i einem Uiniiralabstanö von 1 cm zwischen den Bandoberflächen

kenr nan ceispielewei^e in einem Druckbereich von 0,7 bis J,9 mm ^ueoksilcersöule entsprechend dem Paschen-tlinimum arbeiter.. Eine zusätzliche Steuergröße kann noch dadurch eingeführt wercer, äsi man ceispiele'Aeise den gasförmigen polyrrerisierc&ren rluorkohlenstoff durch Pyrolyse eines Polymers ir. ie.,. Vorr-.: csgii"alt ^c _ev.innt, ca die tyrolysezahl und f.aher cer ^ruck ii.r.err.älo deb Yorrats^efäßos 26 durch Beeinflussung öer jieseir ^-efäß 26 zugeführten Värme geregelt werden kann.

J- "Air~ socanr. eir.e Spannung zwischen die Bänder. 66 und 6i gelegt unc die 3-iimmentlacu2:g z/zischen diesen Bändern her-

Jig. 4 zei^t, iai 5ie joljmerer. J^ila-e in ihrer Dicke ailir.er.lici zur.er.men, v.ährend sich aie harder 66 und 68 durch iie ir^l&iur.gczor.e :.inc: jrcr.ceweger., V/eger. Cas bei zunehmender Ticke :es "ieöerscr.la-'s .,zunehmenden ..i'ierit&ndes und somit

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abnehmenden Stromes nimmt die Dicke während des Eindurchlaufene durch die Entladungszone immer langsamer zu. Wenn eine gleichmäßige Zunahme der Dicke verlangt wird, kann die Einrichtung nach Fig. 2 auf eine Bandbewegung in entgegengesetzten Richtungen durch die "üJntla dungs zone hindurch umgestellt werden, wie in Fig. 5 dargestellt ist. Mit entgegengesetzter Bewegungsrichtung der Bänder ist der für den Bntladungsstrom maßgebende "Widerstand der Sntladungszone praktisch konstant, da die Summe der Dicken der niedergeschlagenen Filme an jedem Punkt oberhalb des Bandweges konstant bleibt.

Bei jeder Betriebsart, d.h. sowohl bei der Betriebsart nach rig. 4 als derjenigen nach J¹Ig. 5 kann die endgültige Dicke des Films auf dem Bande durch Änderung des Druckes der gasförmigen polymerisierbaren Substanz innerhalb der angegebenen Grenzen beeinflußt werden. Ferner kann man zur Beeinflussung der Dicke auch die zwischen die beiden Bänder gelegte Spannung verändern und außerdem die Geschwindigkeit, mit welcher die Bänder durch die Entladungszone hindurchlaufen. Die durch die Änderung der Spannung veränderte Stromstärke und die laufgeschwindigkeit der Bänder sind durch Funkenerscheinungen an den Bandoberflächen begrenzt.In manchen Fällen wird eine minimale Funkenerscheinung dann erhalten, wenn man die Einrichtung bei monomeren Drucken dicht unterhalb des Paschenminimums betreibt, während in anderen Fällen der Druck oberhalb

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des Pasche ran inimums liegen muß. Bei dem-im wesentlichen parallen Feldverlauf der Einrichtung nach Fig. 2 wird der Druck eingeregelt, um eine minimale Funkenbildung zu erreichen, während bei anderen Ausführungsformen, beispielsweise bei derjenigen nach Fig. 6 der Druck dazu benutzt wird, die Entladung an der richtigen Stelle stattfinden zu lassen und die !Funkenbildung möglichst klein zu halten.

Fig. 3 veranschaulicht einen Teil eines flexiblen Kunststoffbandes 51 mit einer Metallschicht 49 und einer dünnen Schicht 48 aus einem festen Polymer, welches auf der leitenden Schicht 49 durch eine Glimmentladung gemäß der Erfindung hergestellt worden ist. Ein mit einer Metallschicht überzogenes Kunststoffband hat gegenüber einem vollständig aus Metall bestehenden Unterlageband den Vorteil, daß für die Herstellung von Kondensatoren Teile des leitenden Oberzugs entfernt werden können, um eine Isolierstelle für einen Leiteranschluß zu schaffen«

Ein Teil eines nichtleitenden Bandes,156 mit einem Überzug 158, der durch Polymerisation in einer"Glimmentladung gewonnen worden ist, ist in Fig. 3a dargestellt·

Fig. 6 veranschaulicht eine Ausführungsform der Erfindung, bei weloher eine Elektrode, welche zugleich das Band triigt,, auf jeder Seite der Entladungszone vorhanden ist. Diese Aus-

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führungsform erlaubt es, .eine nichtleitende oder leitende Unterlage mit einem Überzug zu versehen und erlaubt die Benutzung von Elektrodenformen und gegenseitigen Anordnungen von Elektroden, welche den höchsten Wirkungsgrad liefern. Außerdem können mit der Anordnung nach Fig. 6 dünne Filme "auf Bändern, welche zur überhitzung oder zur 7iölbung in der Entladungszone neigen, hergestellt werden, d.h. auf Bändern, die bei der AusführuKgsfonn naeh Fig. 1 oder 2 einen längs ihrer Sreite ungleichmäßigen Überzug annehmen wurden.

3ei der Ausführungsform nach lig. 6 werden flexible Bänder 98 und 100 von der. Vorratsspulen 102 und 104 geliefert und laufen auf die Aufwickeispulen 106 una 108 auf. Dazwischen passieren, die Bänder die Rollen 110 und 112 iu solcher .Yeise, da£ ihre zu überziehenden Flächen die EKtlaoungsEcne begrenzen. Ixe Rollen 110 und 112 können se ar.geord:.et werden, cai in ihrem funkte geringsten Abstandes die Bänder etv.a C xn voneinander entfernt sind. Bit Achsen der Roller. 110 ur.i 112 werden in iie üückplstte 114 eincesexst.

1% eine ui:ervü:,schte Zugbeanspruoi;ur.g 5er Bänder während der Auftrin^uiij -?er Übersüße zu verneifen, ist es wür.schensvvert, nicht nur 5ie Auf-.vicke!spulen 105'und 10£ anzutreiben, 3on:err. auch aie Ircr_ieli. 110 und 112, da die Bande:· sieh nixiich ieliner. können. La ric ."ri:..-:el;esar.v."iaäi>keiieii" Ser Vorratsspule?: "ar.:- Auf"»vickelspuler, vcn der „.enge des Bar..:es ^'^liär.^er., f,as iev.eiit;

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auf ihrer aufgewickelt χει, empfiehlt es sich die Trommeln 110 und 112 κit konstanter Geschwindigkeit anzutreiben und die dpulen mit variabler ieschwindigkeit derart anzutreiben, öaii sie mit konstanter Umfangsgeschwindigkeit laufen. Dem Inneren der.Iromseln 110 und 112 wird außerdem ein Kühlmittel über Leitungen 111 und \M> zugeführt. Das Kühlmittel kann durch die Kückplette 114 hindurch wieder abgeführt werden. Die Anschlüsse für öie iron.r.eln 110 ur.d 112 bestehen in den Leitungen 103 ure 105, w-eiche :-ie Kühlr..ittelieitungen 111 und 113 berühren. Viele tehr verschiedene Arten von Ländern können bei ier Au&führuni/3f orn r.&ci. Fig. 6 verwendet werfen und zwar εοwohl Bänder mit _erin^er als Bänder mit mittlerer als schließlich auch _;^r,aer mit hoher Leitfähigkeit. Man kann also εον-chl Isoiatcrer, sie auch £&lbieiter als auch schließlich jute Leiter für aie iikncer very.er.cer:. '.Venn man einen isolierender. Kui.3^£toff ocer einen isolierer.c en Kunststoff mit einer i^et&liEufia^e \ei-i.tr.:et, k&nr cie ^ewüntrchte Spannung zur Erze -JUr₀ ces i.rtl&cun^f.vcr^arige zwischen den einander zuge-"."er.feter isr jccerfl ioher ri:xfclo f-irer ficchfrequenzspennung zv.iicLer 5er .Vaizer 110 uiiä 112 erzeugt v/erder. Diese Spannung wird darr eurer. 'L^iazi itLtskor jlur^ euf die Ansatzpunkte der Lntladur^ an 5et fre_en ^ariflüchen übertragen.

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Die J?ig. 7 zeigt, welche Vorteile mit der Einrichtung nach Pig. 6 dadurch erreicht werden, daß die Einrichtung naoh Pig. 6 mit höheren stabilen Strömen arbeiten kann als Einrichtungen, welche ebene Elektroden verwenden. G-emäß Pig. ■ 7a werden, zwei halbzylin.dr.i§ßh§ Elektroden .benutzt, welche einander ihre konvexen Seiten zukehren, von denen jede'einen Radius von etwa 7|5 cm hat und die einen Abstand von etwa 0,6 mm besitzen, l'ie, Außenfläche ,jeder dieser Elektroden war mit einem Kunst^ stoffüberzug versehen, welcher eine leitende Oberfläche besaß. Der dazu benutzte Kunststoff .war Polyethylenterephthalat von ■' ■ 0,002 mm Dicke, auf welchem einseitig eine Aluminiumschicht aufgedampft war«, Die Kurven in 3?ig· 7 zeigen.die Menge des Polymers, welches längs der einen Unterlage niedergeschlagen worden war. Der. Fullpunkt in der kitte der horizontalen Achse in Pig. ist der Punktgeringsten Abstandes zwischen den beiden Unterlageflächen, pie polymerisierbare Substanz war"eine monomere Mi- ^! schung, welche durch Pryolyse von Polytetrafluoräthylen erzeugt wurde, wobei Probeläufe mit drei verschiedenen Drucken durchgeführt wurden.' Zunächst wurde ein Versuch zwischen 2,8 und 5,0 mm Hg durchgeführt, sodann ein Versuch zwischen 0,8 und 0,9 mm Hg und schließlich ein Versuch zwischen 0,25 und 0,3 min Eg. Diese Druckwerte wurden so ausgewählt, daß sie ober-' halb, etwa bei und unterhalb des Paschen-Minimums für den gewählten ilektrodenabstand und für das gewählte G-as lagen, d.h.

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daß derjenige Drück gewählt wurde, bei welchem eine .l^ntladung bei minimaler Spannung aufrechterhalten v/erden konnt.e,. JQie halbzylindrischen Elektroden wurden mit der Spannung von 350,, J₁ 300.bzw. 310 Volt gespeist und zwar bei einer Frequenz von _; 203 kHz. Bei Strömen von 85 mA, 50 mA bzw. 20 ml wurden die Filme mit der -in Fig. 7 dargestellten Dickenverteilung in 0,75 Minuten, 4 Minuten bz,w. £,'^;ij^u.;ten .hergestellt. Die Betriebs- . drucke können durch die Indexzahlen Q»65f 0,3 bzw. 0^2 für ,die Versuche cei hohe^, mittlerem bzw. niedrigem Druck.,beurteilt werden» Diese Indexzahlen sind der Quotient des niedergeschla- , genen Voluisene (gemessen in Einheiten von 0,02-5 inin.für konstante Filmbreite) dividiert durch die zugeführte elektrische. Ladung. Die zugeführte elektrische Ladung wurde aus uem Frodukt.des üingan^sstror-es in Milliampere und der Zeit in Minuten berechnet. JJiese Werbe galten für ein geschlossenes .3^ stem ohne eine^ Durchfluß eines Ilonomers, wobei das wichtigste Yersuchsergebnis darin bestar.d, daß die Verteilung des Niederschlags über,die Elektroden bei verschiedenen Drucken verschieden. ausfi§|.>jDi.e^ ■■ bei Qie'sen Vevsue-l^e-n-erzeugten riime hatten alle spezifische , Vi'iö er stände, -welche sich als Dielektrikum in Kondensator.en eigneterj, wobei der spezifische Aiders tend des^: hai der höcheter

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Stromdichte erzeugten i'llms etv.a 10 Oh.'n-c.m be.irug>e^ ·:-.-ι;.-,.- .;..,·

Die ΰ-limmentladung zwischen den Elektroden-hat währ&n^ra^;;f'^BL ciieöer Versuche C<in in iig. 8, 9 und 10 dargestellten Charakter.

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Der'Deutlichkeit Reiber sind diese ¥'ij. c bis 10 nicht ua&- stabs-erecht „eseiohnet worden. 6e± dem in i'l^. 9 ^. ar „,erteilten Versuch Iej der Druck ^enau oder wenigstens sehr nahe an des Pasch eE-kiniEiuir. Pivj. S zei^rt swei Bänder einer sichtbaren Jlicnentladung lan^s der Oberflächen, v.elche sieb in oer 5Tähe des kleine tan ijlektroäenabstandes ücerl&x-i-en. enn ein größerer Dlektroäen3bstan3 benutzt wird, berühren sich die ali^aentlaöuKgsgebiete in 3er -litte nicht, sondern haben dann cie i^orn: von zwei jratreruter Kreisbögen. Die J-licr.er.^lacun,^ nach χ ig. 1C •A'urde bei eir.sa; Druck ujiterhalb des iaschei:-Lii.i:r."uss beobachtet und zei^t, üa£ in 09,v l^itte eine Dunkeirone auftritt, wenn der Abstand ev,:lsc! er. Jen i'iektrcfenoberflachen kleiner ist als die mittlere ireie e^lär^e, welche nötig ist, ux eine ionisierte und leitende 7»e_ostreciie au: rechtzuerhalten. Die ^r.t— lacuii^ und cer liiederschlag der 5ila;e findet- hauptsächlich außerhalb dieser mittleren Zone statt. Die Bildung eines-Nieferschlags in der mittleren Dunkelzone (±1^. 7} ist offenbar auf die Diffusion aus den aktiven ir.tlaiunj^coijen :.-urü2kzufühien. ■.V'er.Ji ein größerer üj-^^trodei-ab^t-snd benutzt wird, 30 berühren sich auch hier die Hiian ent ladung s^ebie te nicht, sonderi. sir.5 bis ic die Γ the 5e3 Mittelpunktes zwischen der. ilektroder voneinander getrer.n"G. Die ii£. B zeigt eine iorr: der Jlis^ientladung, -velche bei einez: Truck etwas oberhalb fes laschenais auftritt. Hier ist die Jiirsieiitladunii auf ein ziesiiisn

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kleines Jebiet in der ITähe ces geringsten Elektrodenabstandes beschränkt, fiel paralleler ebenen L'lektroden mit konstanten¹. Abstand kann bei diesem hohen Druck keine stabile Entladung erzeugt v/erden, weil die Entladung sich auf einen engen Kanal zusammenzieht, welcher sich unregelmäßig über die ganze £lektrodenfläche bewegt. Bei eitter Verteilung des Elektroäenabstandes, v.ie er zwischen walzenförmigen Elektroden vorliegt, stellt .sich eine i.r.tlaaung unter hohem Druck auf die Stelle des minimalen Liektroderabstar.des ein und bleibt dort bestehen und can beobachtet einen stabilen Sntladungsvorgang mit hohem ..irkun_osgraä. Bei einer Steigerung der Spannung dehnt sich das aktive Lr.tlacun^sgebiet etwas in Hichtung größerer ilektrodenabsttnäe aus. Die Verteilung der Glimmentladung hängt in allen beschriebenen Fallen an; stärksten vom Druck und vom ilektrcäer-ycsteriä ab.

ir.
.em/der x.ir.rici.t-.r:g nach flg. 6 höhere Drucke als die

eben '--r.^e^ebenen Drucke verwendet werden, ni:nnt die Breite de= j-r.tlttfunjs^ebietes ab und das iintlöiungsijebiet wird schmäler ile es eriercierlich ist, um die vanze Breite der Unterla^ebänäer, v/eiche etv.a ^, 3 cc. beträgt, miz dec Niederschlag zu bedecken« Je^cofc verteilt sich ^ie iilciung iei .iiederschläge unter dieser, letzterer. "Jnständen auf ein größeres tfebiet, da nämlich cie 2r.^lacung die Eigenschaft hat, sich vorzugsweise

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dort auszubilden, wo der geringste Widerstand für den Gasentladungsstrom vqrhanden ist.

Die. Fig. 7 laßt auch erkennen, daß es in manchen Fällen wünschenswert ist, bei einem Druck unterhalb des Haschen-Minimums zu arbeiten, um ciie Vergrößerung der üntladeflache auszunutzen. Durch diese Vergrößerung der Entladefläche-wird eine Erhöhung, des Üntlade/stroflis möglich, ohne die kritische "Stromstärke zu erreichen, bei welcher sich Funken bilden. Man kann also die Herstellung der Niederschlage beschleunigen, ohne eine Funkenbildung befürchten zu müssen. Beispielsweise kann man bei der Einrichtung nach Fig. 6 den Druck so einregeln, daß die Entladung sich bis annähernd über die Hälfte der ein- ' ander.zugewendeten Oberflächen-der Elektroden 110 und 112 ausdehnt. ■ . - -

Die Fig. 11 veranschaulicht eine andere Ausführungsform der Erfindung, in welcher gekrümmte und konvexe feste Elektroden zur Führung von zwei flexiblen Bändern in der Bntladungszone dienen. Der Bandtransportmechanismus in Fig. 11 enthält zwei Vorratsspulen 120 urid' 122, welche die flexiblen Bänder 121 und 122 zur Aufwicklung auf den Spulen 124 und 126 liefern. Die freien Oberflächen der Bänder» nähern sich dabei allmählich aneinander an, bis sie in der iiitte ihren kleinsten gegenseitigen Abstand durchlaufen. Die gekrümmten Platten 128 und 130 haben also nicht nur die Aufgabe, den gegenseitigen Bandabstand

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beim Einlaufen der Bänder in die Entladungszone zu verkleinem_f sondern auch öie Aufgabe, die Bänder beim Einlauf in die Entlac'ungszone flach zu halten. Die Bonder 121 und "j23 können aus äem oben genannten Kunststoff bestehen und eine Dicke von 0,002 mm besitzen. Die einander zugekehrten i'lächen der Bänder sind bereits vorher mit einem Aluminiumüberzug versehen wqtrden. , Die gekrümmten Platten 128 und 130 können auch zur ^färmeab- , führung benutzt werden und können künstlieh gekühlt werden, um die Bänder beim Durchlauf durch die aktive Entladungszone vor einer zu starken Erhitzung zu bewahren. Bei einer, derartigen Kühlung kann man auch einen höheren Strom in der JSntladungszone verwenden. Zu diesem Zweck können in den Elektrodenplatten 128,, _ und 130 longitudinale Kanäle,(nicht mit dargestellt,) vga^f^jads.en^ werden, welche an ein geeignetes Kühlsystem, mittels.der.LeJ- .,-,,. tungen 136 und 138 angeschlossen werden kön£en~: DAe^ elektrische. Leistung wird den Elektrodenplatten über die Leitungen. 140 und 142 zugeführt, wobei die erforderl-ich-e Potentialäiffer^z zwischen den Bandoberflächen auf kapazitivem tfege durch den Kunststoff der Bänder auf deren leitende Oberflächen übertragen wird.

line Bewegung der Bänder \vird mittels.. ß.er 144 und 146 erzeugt, welche durch die Echneoken 146- us^ ΐξχΟ --auf der rYelle 152 angetrieben werden. Diese 'OeIIe kann tiureh einen·.. Motor 154 mit verschiedenen lieschwindigkeiten angetrieben werqan,.

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um die Bferiä^eschwinäirkeit in der polymerisierencei: i,iitlsdun~ zn beeinflussen. Littela einer Zu^brerse kann die erforderliche mechanische Spannung des Bandes 121 aufrechterhalten v.erden. Eine gleichartige ,Einrichtung karr, für das £and 123 vorgesehen werden.

Bei dieser ÄUdführimgsfor:n kann der Radius 5er Rihrungsplatten 128 und 150 un: ihr kieintixer Abstand ac ^ewänlt weroen, dais man eine aktive intlaöun^: in einem aebiet erhält, welches der Yerweilzeit cer z\x üfcerziehenien Lpnaer ar._oepa3t ist. Eabei i^t 5er maximale zuläss'ige Jir.tlaGestroin ur.d cie ir.axis".el zulässige I'einj.eratur unter äen ^c,.ebenen Kuhlungsverhältnissen zu berücksichtigen. L'a die Platxen geKrün::iit air,J, kann öle Einrichtung entweder oberhalb oder unterhalb ces dem pasoher.-üniiaun: entsprechenden Druckes arbeiten ur.5 die üntlaoung wir: oich an der Stelle gelingst er Acstar. äes 5er bei. en elektroden ausbilden. Wie oben besi.rochen, soll v.orzu^sv.-eise unterhalb des Pafc'chen-i.in 1 rates j^;=»rbeitet werden.

Ii.it Ausnarne der erwähnter. Einzelheiten ist cer Betrieb in den i in richtungen nach 'Fi^. ο ur.: 11 praktisch der gleiche. Tie Ausbildung :>r J-linr-entlsdungs^ebiete und der Jlinirrentladungsfcrmen ?."ird durch 3er: von den ^rxferr durchlaufenen ',Ve = beeinflußt. Weiu: die Krü^mun^ der Plättenelektroden fest^e-Ia^t ist, werden die Vorrats spul en ni.t ^eeijneten bändern bewickelt Uno .ledes dieser ßänier durchläuft dann die vor^ese::sre

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Bahn, um schließlich die Aufvvickelspule zu erreichen. Wenn der .Hrensfortir-echariisffius mit dem zu überziehenden Ueterial geladen ist, wird die Voröerwand auf des Gehäuse 6 in Pig. 1 aufgesetzt und das Gehäuse mittels der Vakuumpumpe 22 entlüftet. Sodann wire das Ventil 20 gedrosselt und das Ventil 24 &eöifrtfct, um die jasfcrici^ lolycerisierbare Substanz aus dem Behälter 26 in cas Gehäuse einzulassen. Pas Ventil 20 kann nstürlich aureh zwei Ventile ersetzt werden, von denen das eine zur schnellen Entlüftung ces Gehäuses 6 dient und das andere zur Absaugung etwaiger λonomerer Restgase bei einem verhältr.i3mä£i2 niedrigen Truck. Es haben sich viele gasförmige i.ol;irerisierfcare Substanzen für die Zwecke der Erfindung als brauchbar erwiesen. Beispielsweise konnten gasförmijes Styrol, letrailuorathylen, Eenzol, Siliziuirtetrafluorid, Iiin-eth^·lsi!ikon, Deuethvldichlorsilan usv/. ^ut verwendet werien. Viele anfere otoffe lesser, sich natürlich auch verwenden und ZV.ar insbesondere cenn, v/ern das gewünbchte Produkt keine hervrrrageriDer. f^elektrischen Ei^er.schsften besitzen muß. Kit Kille eines Druckr.es sers 19 und Kitt el ε des Ventils 20 kann ier Dr ;c>: ir. ^ehüuse 6 auf denjenigen Tert gehalten werden, cer eich für 5ie je-eiis zv verwendende Zr.tladung am besten eignet. Lie Ionisierung ε spannung wird der. Oberflächen der Lanier eus cer 2t.ar.r.un^squelle 3^ zugeführt. Grundsätzlich kann, zv.ar .-s.ov.-chl. eine jleichsjfannung wie eine Vi'echselspannung

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verwendet werden, jedoch treten bei vielen iiaterialien Schwierigkeiten in der Polymerisation mit Gleichspannung auf und man verwendet daher besser eine Wechselspannung von höherer Fre-* quenz, 7,^renn die Spannung der Entladungszone durch Kapazitätskopplung zugeführt wird, muß diese Frequenz hoch genug sein, um die Verluste in dem Bandmaterial klein zu. halten« i)er Sntladestrom kann an dem Stroinversorgungsgerät 36 eingestellt werden. Da der geeignete Äntladestrom eine Funktion sehr vieler 'Variablen ist, unter denen auch die Geometrie der Anordnungberücksichtigt werden muß·, müssen die optimalen Betriebsbe- *■'■ iingungen stets experimentell für jede gasförmige polymerisierbare Substanz und für bänder von erheblich verschiedenem 3ha-* rakter bestimmt werden, Es muß* ferner die Gefahr der Funken— bildung an den Bändern berücksichtigt werden, ferner eine tragbare !Degradation des niedergeschlagenen Polymers, der Yerluöt an polymerisierbarer bubstanz und die mit dem Oberzug zu versehende Fläche innerhalb der Bntladungszone. Schließlich Eiuis man noch die -Bandgeschwindigkeit durch die JSntladungs'zone, den Dampfdruck der gasförmigen polymerisierbaren Substanz und öie zulässige Temperaturerhöhung der Bänder berücksichtigen.

.Venn die Entladung eingeleitet und in der gewünschten ..eise eingeregelt ist, kann der Antriebsmotor zur Förderung der Bänder durch die üntladungszone eingeschaltet werden»

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In lig. 1£ ist noch eine weitere Ausführun^sform dargestellt, bei welcher die !Polymerisation eines Filmes auf einer isolierenden oder leitenden Oberfläche zweier Bänder dadurch erreicht v/irä, da;; man ei ie Länder durch ϊγ. ohr ere Slirncentlaäungszonen hindurahbewe^t, Mne derartige «norcnung eignet ' sich besonders zur üersteilung von überzügen einer bestimoijen gewüLseh fcer. I'icke . . ··■■■-

Bei der einrichtung nach f'ig. 12 werden geringe Abstände zwischen den ianccberflächen .durch entsprechende Anordnung von an -o|;annung liegenden falzen o:er Irommeln erreicht; Das erst« ,laizenpaar ist π it 220 und 222 Gezeichnet und das zv/eite ".YaI zenpaar mit 224 unc¹ 226. -ie Abs tar. öe .zwischen den Walzen sine über Oie ^anze ..alzer.lünge konstsr.t, so äa£ üoer die genze üar.dbreite ein gleichmäßiger Mi;.: erzeugt wird. Die Bänder 228 und 230 laufen von cen Vorrats spul ar. 2"2 und 234 ab, welche zwec&cäßigerweise ir. einigem Abstand von den Slektrodenv/alzen 220 uni Z'-.d sngebr&cht 3in5, so daß ^edeg Β&.Π-5 vorzugsweise ir.ehr ala 180 5er betreffende κ Hlektrodenftalze umschlingt., Dia, ^ar.ä er erreichen dann lUer die tmlenkrolier, 2Jc un3. .23.3, die beicen i'rCustei: ^lektroSenwaizen 224 und 226. Die .'J-Tlepkrollen 236 un;> konnsn siis metall, beijpielsv.eisa- aus Alur.iniur.i oe_Tsterjen, ^eäoch !Luis cie mit 5em Film in Berührung komLende ViSleeno-berfla

.· - · :i <?iC gl&tt sein und curf keine Kratzer aufweisen. JSin Kunststoff-

überzug ist für diese jrülenkrollen somit am Jlatze. Jpie Xiurca

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messer und die Lage oer ümlerkrollen wird se gekühlt, -Is ~ die Bänder über möglichst kleine Strecken frei laufen rcüdsen und _oleichzeicig kein Entladimgsstror, zu der. ""Jr.kehrrollen fliegt. Schließlich erreichen die 3än3er die Auf-.vickelsj:ulen 24C und 242. Wie bei den Einrichtungen nach ?ig. 6, 12 und 1J können die balzen 220 i>ia 226 mit einem axial über die Leitungen 243, 245» 247 und 249 zugeführten Kühlmittel gespeist werden, u::: einen betrieb bei höherer Stromdichte ohne eine -Sefahrdung der bänder zu ermöglichen, liotigeirf alls können die Führun^sro .len und ür.-kehrrollen ebenfalls gekühlt v.eröer!. '.Yie bei den Ausflüirungsforinen nach Ji^. 2, 2a, 6 und 12 können zu^e^cfinlliche Bänder durch Antrieb aller umlaufenden Elemente vor einer übermäSijei: Zugbeanspruchung bewahrt werden. Die Spannung wird bei der ~£lx.~ riohtung nach Fi.:. 12 über die Leitungen 244, 2^6, 243 und 250 zu- und abgeführt. Diese sind bei der Sinricitui,;/ nach Pi₀. 12 unmittelbar an cie Kühlraittelleitungen ängsschloBsen. l'ie K'J.hlmittelleitunren sind dabei gegenüber 2rle isoliert. Bei der in Fig» 12 dargestellten Anordnung mit einer Mehrzahl vor. Talzen-.paaren stellt sich die Entladung stets z'iverläcsig auf :"ie Stelle des kleincter. üidetrodenabstsrides ein, se da2 nan zv einer hohen Irrvauktionsjeschwirdigkeit ko^zt.

Die EinricLtung r.ach ?ig. 12 kann ii. eine entlüftete Kammer nach Hg. 1 in der an Hand der rig. 11 erläuterten 'eise eingebaut werden.

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Die _Anzahl der aufeinanderfolgenden Polymerisationsvor- ^ange, die bei der Einrichtung nach i"ig. 12 möglich sind, hängt nur von der Zahl der aufein&nderfolgenden G-limmentladuiigsgebiete ab. Die endgültige Dicke des Überzugs auf dem fertigen Produkt hängt von der Iwenge des Polymers ab, die in jeder Zone niedergeschlagen werder. kann u#ö somit von der Anzahl der so erzeugten polymeren Schichten.

Die i'ig. 15 veranschaulicht eine andere Ausführungsform, in welcher zwei Bänder, die in einer Einrichtung ähnlich derjenigen nach rig. b beh&naelt worden sind und den in Fig. 3a dargestellten Charakter besitzen, nacheinander durch ein lösungsmittel hindurchbewegt v/erden, ur: das Unterlageband' zu entfernen.

In der Zinrichtung η sch -Fig. 13 wird eine flexible Unterlage, beispielsweise ein Film aus Polyäthylen von 0,02 mm Dicke auf zv,-ei Spulen 2^c vr.i 258 aufgewickelt. Diese Spulen liefern &iso die 2sncier 2^2 ur.ä 254 an die alzen 260 und 262. Zwischen diesen letzteren Talzen wird die polymerisieren de G-limmentle^ur.g erzeugt ;r: 5ie 2änder v.eroen dann in ein Gefäß mit einem Ic^urgsr-ittel 244» e.h. ir. cen behälter 266 eingeleitet. L"s einen ev.c-reichenäe.: Bandabstand innerhalb des Lösungsmittels sicnerzuot^llen, iurcLlfeuft das jand 252 hinter der Elektrodenv/alze 2 60 noch eine Um lenkrolle 280. Das Bed zur lösung des

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Polyäthylenbandes kann aus irgendeinem geeigneten Lösungsmittel bestehen, welches das Polyäthylen auflöst, ohne die Zusammensetzung des niedergeschlagenen Filmes zu beeinträchtigen. Wenn der polymerisierte Film aus Perfluorkarbon besteht, welcher gegenüber den meisten Lösungsmitteln unempfindlich ist,- macht die Auswahl eines geeigneten Lösungsmittels keine Schwierig-¹ keiten. Wenn Filme aus einem anderen Stoff von ihrer unterlage abge-trennt werden müssen, so muß man ein ,Bandmaterial wählen, welches in einem Lösungsmittel aufgelöst werden kann, das den betreffenden polymerisierten Überzug ηicirfc. angreift. Man .kann also gewöhnliche-s Polystyrol oder Polypropylen als ünterlageband für lerfluorlcarbonfilme verwenden. Für.-in einer Glimmentladung polymerisierte Filme aus kreuzverbundenem Styrol eignet sich als Lösungsmittel für die Bänder Toluol.

Bei dem Durchlauf durch das Lösungsmittel werden die Bänder 252 und .254-über Hollen 268, 270 und 272, 274 geführt. Each der abtrennung und Entfernung- des Bandmaterials in dem Lösungsmittel werd.en die polymerisierten Filme, die nun von ihrer unterlage gelöst sind auf die Spulen 276 und 278 aufgewickelt. ... ■ ' ■

. egen der lefalar, ö.ä£ sich die gasförmige polymerisierbare Substanz und cie aus dem Lösungsmittel aufsteigenden Dämpfe vermischen könnten, ist in der Einrichtung nach i'ig. 13 noch eine Trennwand eingebaut. Diese. Trennwand besteht einfach aus

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einem gegen die Dämpfe widerstandsfähigen Schirm 286, in welchen Dichtungen 288 und 290 für den Durchtritt der Bänder 252 und 254 eingesetzt sine. An ihren Kanten ist die Trennwand ebenfalls mi - Dichtungsstreifen 292 versehen.

Natürlich können auch andere Länder als des bei I1&. Yj besprochene Bans von den polymeren filmen abgelöst ·.·.erden. B-jispielsv.eise hat e3 sich als durchführbar erwiesen, ein niedergeschlagenes Polymer, beispielsweise das aus Toluole &j:pf niedergeschlagene Konouer von einem Polyäthylenband durch otrekkung des fandes abzulösen. D&s freie Polymer hat jedoch dann die iOi'ia von blättchen unä nicht die ^orm eines durchlauf enden tfilflis. Außerdem kann ein pol^merer PiIm unmittelbar auf der. Vt'alzen 110 ur.c. 112 in £±l· 6 niedergeschlagen werden, als somit dann als OnTerls.^- client und .nie einer Klinge von cietjen Walzer, tirj v.erien. ·-·-■.. -· ' ·.- ■

■." ■■ -:.·■ ei I τ . . . · ■:■·.- Die oben beschriebenen iuefuhru.ngsbeispiele f.er x;rxin:.un_o

haben ein weites Anwendungsgebiet. 2a sinf εβ·τ viele ^asförmigje Substanzen dafür geeignet in einer u-li.r^entls.iung polyaerisiert zu wer:.en ur.ä dünr.e iilme zu bilden"un5 Man kar.r. =.ehr visle verschiedene stoffe ala unteri&gebänjer für diese iil^e vei'Äenden. Leiüpi-lcv.oxj« k^n/: r:.&n auier ienjenijen ouiäte die sicL dazu eignen, iel-'kfcrische Schichten mit hoIjeh Ιώο-

'-inc und _aeviri_oen: Yerluatfaktor zu biicen euöh viele ai.Jere isuoffe verwenden ee, die sich für andere

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Anwendungsgebiete eignen. Beispielsweise kann ein silikonbaltiges Material, beisT-ielsweise Silikcn selbst dazu \erwer.det werden, eine Oberfläche herzustellen, die hervorragend wasserfest ist un-3 auf einem LLetall oder auf einem Kunststoff aufgebracht Werder kann, der selbst nicht wasserfest ist. Ebenso kann ein- Perfluorkarbcn, beispielsweise. Polytetrafluorethylen auf einer !detail oder auf einea Kunststoff aufgebracht werden, xxt: die Oberfläche o^e£^er- diejenigen cherischen Stoffe bestänäig zu machen, welche iertluorkarbon nicht angreifen. Ferner hat ein iünner überzug eines Polymers, das aus AkrylScuure-LIonomerdaajTjr hergestellt ist, ^ute lisftei^enschsf^er an warben unä polynerem Latex. Diese ü^enschaften v,&ren unabhänji.· von 5er Unterlage, 5a ixe H aft ν ng auf äeca volymerisierten PiIn: statt! ar.c» Typische Unterlagen -Acaren rclyüthylen un5 Polyrropylen.

üan kann genä£ cer -ürfinaunä auci"; iiine ocer überzüge von veränderlicher Dicke herstellen, iieis: ielsv.eise kanr. man einen ?iln von zunehr.ender Licke dadurch g6v,inr.eri, iz2, can aie £änier in der Breite innerhalb der Entlaäungssone ge^eneinanSer neict.

lufcerceE kann car, auch aui beiden Seiten eir.es -£.r/-es pol;.-.erisierte Filr..e ^ezä.3 der Srfiniun^ ■ anbringen. Zun: letzteren Zweck kann ran ein einseitig nit einer, tbernuj versehenes Band nochmals in un^äkahrter Lage durch die erste 3-lir.r_:er.tladungsEone Lindurchlauxen lasser, oder an eir.er späteren Stelle des Bar.dwegee eine sv.eite aiin:~8r.tladving32one durchlaufen lasser.,

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Claims (1)

1. _ -ρ —
   latentansprüche

   1.) Verfahren zur Herstellung eines polymerisieren Überzugs, σ s c u r c h £ e k e η ε ζ e i c" h. r e ΐ , daß ein bandförmiger Körper an einer .elektrode vorbeiläuft, daß zwischen dem Körper und der Elektrode in einem polymerisierbaren Gas eine iliamentlaruno Kit eine^ solchen ütrorr. erzeugt wird, daß sich ein fester Überzug von {/olvinerisierten Teilchen auf dem Ecr]er bildet.

   2.) Verfahrer: npcr. Anspruch 1, -Jaaurch gekennzeichnet, d&i: uie vili^^er.tl&üunc in einer Atmosphäre vor. /erir.jen; Druck erzeugt wird,, und daß der überzug einen Loher, elektrischen '.Vidersteiid besitzt.

   l.) Veri'&Lrer. nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η ζ e i c :. r. fc t , dai. ein ionisierb&res pol^merisierbares ^t*_uerial ir. Jlir;,.'entltcur:_o&bereicn verwendet v*irc., daß dort eir. ionisiertes üleaiu^ aus 2eilcheri ciesee Materials gebildet wird und diese leilcher: auf dem Unterlageband niedergeschlagen un„ :"crt rol; nerisiert v^er-aer.

   ü-,] Verrar.rf,-r. i:ur ^i":"r._o eines öieiektrischeri Überzugs aus eirer lol'jzr.er, cerin beste: er.ä, daß eine ilinu:;entladung in einer KasförEiger. Atircsjhare tir.es ior.isierbaren und pclymerisierbarer. I.Ieterials r.fcrres^eil: v.ird, cai ein bandiorn.iger Körper

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   mit einer leitenden Oberfläche an einer Elektrode in diesem Intladungsrauin vorbeiläuft, daß eine Spannung zwischen der Elektrode.und der leitenden Oberfläche zugeführt wird, um eine Glimmentladung zu erzeugen, daß die'Glimmentladung auf bestimmte Seile der leitenden Oberfläche konzentriert wird, so daß ein fortlaufender dielektrischer Überzug eines Polymers auf den ausgewählten Teilen der leitenden Oberfläche niedergeschlagen wird. -

   5.) Einrichtung zur Bildung eines polymerisierten Überzugs, gekennzeichnet durch eine Vakuumkammer, welche einen Jxeaktionsraum definiert, durch Mittel zum Vorschub eines bandförmigen Körpers durch diese Vakuumkammer, durch Mittel zur Einleitung einer Atmosphäre aus einem polymerisierbar en Material in den Reaktionsraum innerhalb der Vakuumkammer und zur Aufrechterhaltung dieser Atmosphäre bei einem geringeren Druck als Atmosphär endruck, durch eine Elektrode im äeaktionsrauia, durch eine Spannung an der Elektrode, welche eine Ionisierung von Teilchen des polymerisierbaren Materials erzeugt und eine Glimmentladung einleitet, während der bandförmige Körper durch den Seaktionsraum hindurchläuft.

   6.) Einrichtung zur Bildung eines polymerisierbaren Überzugs, bestehenö aus Eitteln, welche einen Reaktionsraum definieren, aus kittein zur förderung eines bandlörmigen Körpers längs eines Heges durch den Heaktionsraum, so daß dieser Körper den Weg

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   durchläuft, aus Mitteln zur Einführung einer gasförmigen Atmosphäre aus einem polymerisierbaren luaterial zur Ausbildung einer Jliüu^entlacung in den fieaktioneraum, aus zwei elektrisch leitenden Elementen, die im Reaktionsraum einen Abstand voneinander aufweisen, aus einer Bewegung des bandförmigen Körpers längs des erwäStten "=eges in der Ilähe eines der Elemente, aus Mitteln zur Zuführung einer Spannung zwischen die beiden leitenden L'lemer.te zur Erzeugung einer ionisierenden Grlimmentlöcung, um leuchen des polvcerisierbaren Laterials zu ionisieren, bo d&£ die ionisierten Teilchen auf dem bardförr.igen Laterial nieder_öeschlagen und polymerisiert werden.

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