JPH11211969A

JPH11211969A - 光学系可動部の支持装置

Info

Publication number: JPH11211969A
Application number: JP10013970A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Ikegame; 哲夫池亀
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1998-01-27
Filing date: 1998-01-27
Publication date: 1999-08-06
Anticipated expiration: 2018-01-27
Also published as: JP4112060B2; US6046866A

Abstract

(57)【要約】【課題】固定部材３１と可動部材３２とを回転自在に支
持する支持装置の可動部材の剛性を高めて変形を防止し
精度を向上させる。【解決手段】可動部材３２を支持する板材からなるバネ
３３，３４に板状の取付部である端子部５２形成し、こ
れらを可動部材３２の中心面に一体にモールドし、この
板状の端子部５２の面方向の曲げ剛性によりこの可動部
材３２の温度変化や外力による変形を防止し、またこの
変形を中心面すなわち端子部５２を中心とした対称の変
形とし、これにより精度を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学装置、たとえ
ば光磁気ディスクドライブ、追記形ディスクドライブ、
相変化形ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光
カード等の光記録媒体等に対して情報を記録および／ま
たは再生する情報記録再生装置や、光スキャナー等の光
学装置に使用する対物レンズやガルバノミラーのミラー
を移動または回転自在に支持する光学系可動部の支持装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記のような各種の光学装置には、内部
に可動部分を有する光学素子や、または移動自在に支持
された光学素子が使用されている。たとえばガルバノミ
ラー等の光学素子では、内部のミラー等の光学要素が回
転自在に支持されており、またフォーカス制御をなす対
物レンズ等の光学素子は所定の方向に移動自在に支持さ
れている。

【０００３】小形の光学要素または光学素子を移動自在
に支持する装置としては、バネによる支持装置が多く使
用されている。このような支持装置は、可動部分をバネ
により支持し、このバネの変形によりこの可動部分を所
定の軸まわりに回転自在または所定の方向に移動自在に
支持するものである。このような支持装置の例として
は、特開平７−９３７８３号に開示されているものがあ
る。

【０００４】図１７および図１８には、このような従来
の支持装置たとえばガルバノミラーのミラー支持装置の
概略的な構成を示す。図中の２０１は固定側の固定部材
であり、たとえば合成樹脂材料等の射出成型により形成
されており、全体として矩形のブロック状をなしてい
る。そして、この固定部材２０１の上面の中央部には、
凹部２０３が形成され、この凹部２０３の部分には可動
部材２０２がたとえば回転および移動自在に支持されて
いる。そして、この可動部材２０２に図示しないミラー
等が取付られる。

【０００５】この支持装置には、上記の可動部材２０２
を支持するためのバネ２０４が設けられている。このバ
ネ２０４は、バネ材料からなる薄板材から一体に形成さ
れたもので、枠状の固定側取付部２０５と可動側取付部
２０６とを備え、この可動側取付部２０６はたとえば細
幅の直線状のバネ部２０７により一体に連結されてい
る。そして、上記の固定側取付部２０５は、たとえば螺
子２０８等により固定部材２０１の上面に取付られ、ま
た可動側取付部２０６には接着等により上記の可動部材
２０２が取付られる。

【０００６】上記の可動部材２０２は、上記のバネ部２
０７がねじれ変形することにより、回転自在に支持され
ている。また、このバネ部２０７が曲げ変形することに
より、この可動部材２０２は上下方向に移動可能に支持
される。

【０００７】ところで、上記に例示した従来の支持装置
には以下のような不具合があった。すなわち、上記のバ
ネ２０４は、全体が小形のものであるとともに、そのバ
ネ部２０７も可能な限り小さいバネ定数で変形すること
が好ましく、このため薄板材で形成される。したがっ
て、このバネ２０４の固定側取付部２０５等は容易に変
形が可能であり、取付螺子の締め付け等の外力、または
温度変化による固定部材２０１の熱変形等により容易に
変形し、このような変形がバネ部２０７のバネ定数等に
影響を与え、可動部材２０２の支持精度や支持特性に悪
影響が生じる。

【０００８】特に、一般的に上記の固定部材２０１は合
成樹脂材料で形成され、熱膨張率が比較大きく、またバ
ネ２０４はたとえばベリリウム銅合金等の金属材料で形
成され、その熱膨張率が比較的小さい。したがって、両
者の熱膨張率の差により、この薄板材からなる固定側取
付部２０５等が変形しやすく、上記のようにこのガルバ
ノミラーの精度が低下する。

【０００９】また、前述のように固定部材２０１は合成
樹脂材料で形成されており、この合成樹脂材料は一般に
弾性係数が小さい。このため、取付の際の螺子の締め付
け等の外力により、この固定部材２０１が変形しやす
く、この変形が上記のようなバネ２０４の支持精度や支
持特性に悪影響を与える。したがって、この固定部材２
０１の不所望な変形を防止するには、この固定部材の各
部の寸法を大形化し、各部の剛性を高くする必要がある
が、このようにすると、このガルバノミラー等の光学素
子が大形化するという不具合を生じる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の事情に
基づいてなされたもので、薄板材からなるバネにより可
動部材を支持する装置において、このバネや固定部材等
の変形を防止して支持精度や支持特性を向上させ、また
より小形化することができる光学系の可動部の支持装置
を提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、固定部材と、少なくとも光学素子または光学要素が
装着される可動部材と、この可動部材を上記の固定部材
に対して変位可能に支持する支持機構とを備えた光学系
の可動部を支持する装置であって、上記の支持機構は、
板材を所定の形状に形成したバネを備えており、このバ
ネには変形することによって上記の可動部材を移動また
は回転自在に支持するバネ部と、このバネ部の一端部と
連続して形成された可動側取付部と、上記のバネ部の他
端部に連続して形成された板状の固定側補強部とを備え
ており、上記の可動側取付部は上記の可動部材に取付ら
れ、また上記の可動側取付部は上記の可動部材の略中心
面に沿って配置され、この可動部材と一体的に取付けら
れているものである。

【００１２】したがって、この一体化された可動側補強
部は、この可動部材の補強をなし、その剛性を高め、不
所望な変形を防止する。よって、このような不所望な変
形によるバネの支持精度や支持特性の低下を防止するこ
とができ、またこの可動部材を小形化することができ
る。

【００１３】また、この板状の可動側補強部は、可動部
材の略中心面に沿って配置されているので、この可動部
材が対称の構造となる。よって、この可動側補強部と可
動部材がたとえば金属と合成樹脂等、熱膨張率や弾性率
等の特性の相違する材料で形成されている場合であって
も、この固定部材が温度変化や外力で変形する場合に、
その変形が中心面の可動側補強部を中心とした対称な変
形となり、かつこの中心面すなわち変形の中心に可動側
補強部材が配置されているので、この可動側補強部材の
変形が小さくなり、バネの支持精度や支持特性を向上さ
せることができる。また、可動部材が合成樹脂材料で形
成されている場合に、この樹脂材料の射出成型の際にそ
の中心面に可動側補強部が配置されているので、射出成
型後の収縮等による変形も対称となり、上記のように精
度を向上させることができる。

【００１４】また、請求項２に記載の本発明は、前記の
固定部材は片持梁状のものであり、前記の固定側補強部
はこの固定部材の長手方向に沿って延長された細長状を
なし、この固定部材の略中心面に沿って配置されている
ものである。

【００１５】したがって、この固定部材は上記の可動部
材と同様に、変形が少なくなり、精度が向上する。ま
た、このような片持梁形の固定部材は、その剛性が低く
なり、また温度変化や外力による変形も大きくなるもの
であるが、この固定側補強部により、その剛性を高め、
かつ変形を防止して精度を向上させることができる。

【００１６】また、請求項３に記載の本発明は、前記の
固定部材は枠状のものであり、前記の固定側補強部は枠
状をなし、この固定部材の略中心面に沿って配置されて
いるものである。

【００１７】したがって、この固定部材は上記の可動部
材と同様に、変形が少なくなり、精度が向上する。ま
た、このような枠状の固定部材はその剛性が高く、温度
変化や外力による変形も比較的小さいものであるが、こ
の固定側補強部の補強により、その剛性をより高め、か
つ変形をより防止して精度をより向上させることができ
る。

【００１８】また、請求項４に記載の本発明は、前記の
固定部材は合成樹脂材料から形成され、前記の固定側補
強部はこの固定部材の略中心面に沿って配置され、この
固定部材内に一体的にモールドされているものである。
したがって、この固定部材が強固でかつ小形となり、ま
た組み立て等の工程も減少させることができる。

【００１９】また、請求項５に記載の本発明は、前記の
固定部材はその略中心面で互いに衝合する一対の固定部
材半部から構成されており、前記の固定側補強部は上記
の固定部材半部の間に挟まれてこれらの固定側半部と一
体的に取付られているものである。したがって、この固
定部材の材料に制限がなく、またこの固定部材を高い精
度に仕上げ、より高い精度を達成することができる。

【００２０】また、請求項６に記載の本発明は、固定部
材が合成樹脂材料で形成されているものにおいて、前記
の固定側補強部には透孔が形成され、これらの透孔内に
合成樹脂材料が充填されてこの固定側補強部の両側に位
置する固定部材の部分を互いに連結しているものであ
る。したがって、この固定側補強部材と固定部材とを確
実かつ強固に一体化することができる。

【００２１】また、請求項７に記載の本発明は、固定部
材が合成樹脂材料で形成されているものにおいて、前記
の固定側補強部の縁部の少なくとも一部は前記の固定部
材の側面から突出しており、この突出した縁部はこの固
定部材を射出成型する金型の衝合面の間に挟圧されるも
のである。したがって、合成樹脂材料が金型内に射出さ
れる際に、この金型内の固定側補強部がずれることがな
く、この固定側補強部の位置精度が向上する。

【００２２】また、請求項８に記載の本発明は、固定部
材が合成樹脂材料で形成されているものにおいて、前記
の固定部材の側面には、前記の固定側補強部の突出した
縁部を跨いで配置されこの固定側補強部の両側の固定部
材の部分を一体的に連結する連結リブ部が突設されてい
るものである。したがって、この固定側補強部に透孔を
形成することなくこの固定側補強部の両側の固定部材の
部分を連結することができ、この固定側補強部の剛性や
強度が低下することがない。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、図１ないし図１２を参照し
て本発明の第１の実施形態を説明する。この実施形態の
ものは、光磁気ディスクを記録媒体とする情報記録再生
装置の光ピックアップ装置に使用されるガルバノミラー
のミラーを含む可動部を支持する装置に本発明を適用し
た場合のものである。

【００２４】まず、図１を参照してこの光ピックアップ
装置の光学素子の概略的な配置を説明する。図中の１は
光磁気ディスクであって、この光磁気デイスク１の記録
面に沿ってアーム状のキヤリッジ２が設けられている。
このキヤリッジ１内には、後述する光学系が設けられ、
この光学系により光磁気ディスク１の記録面上に光スポ
ットＰを結び、情報の書き込みおよび読み出しを行う。

【００２５】上記のキヤリッジ２は、回転軸３を中心と
して図示しない駆動機構により回動され、その先端部を
機械的に移動させて粗アクセスを行う。また、上記の光
学系には、後述するガルバノミラー２０が設けられ、上
記の光スポットＰを光学的に移動させて微トラッキング
を行う。

【００２６】上記のキヤリッジ２は、具体的な構造は図
示していないが、たとえばマグネシウム合金のダイキャ
ストまたはプラスチックのモールド成型により形成した
もので、その内部に上述の光学系が内蔵されている。な
お、このキヤリッジ２は、上記のようなマグネシウム合
金のダイキャスト以外にも、アルミニウム合金のダイキ
ャスト、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、液晶プ
ラスチック（ＬＣＰ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）
等のプラスチックの成形でもよい。

【００２７】この光学系は、光源であるレーザダイオー
ド１１を備え、ここから出射した光はビームスプリッタ
１２の表面で一部の光が反射され、この反射光はコリメ
ートレンズ１３に入射して平行光となる。そして、この
平行光はリレーレンズ１４で集光される。また、この光
学系には、後述するガルバノミラー２０が設けられ、上
記のリレーレンズ１４で集光された光はその焦点位置の
少し手前でこのガルバノミラー２０のミラー２１で反射
され、コンバージョンレンズ１５により再び平行光とさ
れる。この平行光は上記のキヤリッジ２のアーム部分内
をその長手方向に沿って進み、このアーム部分の先端部
に設けられた固定ミラー１６で反射される。この反射光
は対物レンズ１７に入射し、前述の光磁気ディスク１の
記録面上に前記の光スポットＰを結ぶ。

【００２８】また、光磁気デイスク１の記録面からの反
射の戻り光の一部は、前記のビームスプリッタ１２を透
過し、フォトディテクター１８に入射する。そして、こ
のフォトディテクター１８からの出力により、情報再生
信号、フオーカシングエラー信号、トラッキングエラー
信号等の信号が得られる。そして、たとえば上記のフオ
ーカシングエラー信号、トラッキングエラー信号等は、
この光ピックアップ装置の制御回路（図示せず）に送ら
れ、この制御回路からの制御信号により上記のガルバノ
ミラー２０のミラー２１がそのミラー回転軸まわりに回
転し、これにより前記の光スポットＰの位置を光学的に
トラッキング方向に移動させて前述の微トラッキングを
行う。また、この制御回路からの制御信号により、上記
のリレーレンズ１４が図示しない駆動機構によりその光
軸方向に駆動され、前記の光磁気ディスク１上の光スポ
ットＰの焦点制御を行う。

【００２９】なお、この実施形態のものは、上記のレー
ザダイオード１１から上記の固定ミラー１６、およびフ
ォトディテクター１８に至る光路は、いずれも上記のキ
ヤリッジ２の回転面と平行な面内に配置されている。

【００３０】次に、この実施形態の光ピックアップ装置
に使用される上記のガルバノミラー２０の構成について
説明する。図２はこの実施形態のガルバノミラーを前方
側から見た斜視図、図３は後方側から見た斜視図、図４
は分解斜視図である。

【００３１】図中の２２はベース部材であって、このベ
ース部材２２はたとえば鋼板材をプレス成型して形成さ
れ、全体の形状は略有底円筒状をなしている。このベー
ス部材２２の底壁部２３の中央部には孔が形成されてリ
ング状をなしており、この底壁部２３の下面は球面状に
形成されてこのガルバノミラーを取付け調整するための
支承面２４に形成されている。この支承面２４の球面の
中心は、図１１に示すように、上記のミラー２１の反射
面上の入射光の光軸の位置Ｏと一致している。また、こ
のベース部材２２の周壁のうち、前記のミラー２１の前
面側は切り欠かれており、光が通過するための光路開口
２５が形成されている。

【００３２】上記のようなガルバノミラー２０は、図１
１および図１２に示すように、上記のキヤリッジ２に形
成されたガルバノミラー収容部２８内に収容される。こ
のガルバノミラー収容部２８は、上記のようなガルバノ
ミラー２０の外形と略対応した形状、すなわち円形の凹
部である。また、このガルバノミラー収容部２８は、こ
のキヤリッジ２内の光路が配置される平面と垂直な方
向、たとえば上方に向けて開口されている。このガルバ
ノミラー収容部２８の開口方向は、このキヤリッジ２を
ダイカスト成型する際の金型の抜き方向でもある。

【００３３】そして、このガルバノミラー収容部２８の
底部には、リング状の支承座面２９が形成されている。
この支承座面２９は、このキヤリッジ２をダイカストに
より成型する際に、一体的に形成されたもので、円錐面
状をなしている。そして、このガルバノミラー収容部２
８内に挿入されたガルバノミラー２０は、その底部の支
承面２４がこの支承座面２９に当接した状態で傾き等が
調整され、所定の傾き位置に固定されている。

【００３４】上記のガルバノミラー２０の支承面２４の
中心軸線Ｓ、および上記の支承座面２９の中心軸線Ｓ´
は、いずれも上記のミラー２１の回転中心軸線であるミ
ラー回転軸Ｒと平行に配置されている。また、これらの
支承面２４と支承座面２９の中心軸線Ｓ，Ｓ´は、上記
のミラー２１の反射面内に含まれ、またこの反射面上の
入射光の光軸の位置を通過するように配置されている。

【００３５】そして、このベース部材２２内には、バネ
アセンブリ３０が収容されている。このバネアセンブリ
３０は、合成樹脂材料で形成され片持梁状をなした固定
側の部材である固定部材３１と、この固定部材３１の前
面側に回動自在に支持された合成樹脂材料からなる可動
側の部材である可動部材３２とから構成されている。こ
の可動部材３２は、上記の固定部材３１に対して、後に
詳述するバネ３３，３４により図２に示すようなＹ軸と
平行なミラー回転軸線Ｒまわりに回転自在に支承されて
いる。

【００３６】また、この可動部材３２の前面には、ミラ
ー２１が取付けられており、またこのミラー２１の周囲
を囲んで略四角形の可動コイル３７が取付けられてお
り、これら可動部材３２、ミラー２１および可動コイル
３７等により可動部が形成されている。なお、このミラ
ー２１に入射する入射光および反射した反射光の光路
は、前記の図２のＸ軸およびＺ軸を含む平面内に配置さ
れている。上記のミラー回転軸Ｒは、上記のようにＹ軸
と平行で、かつこれら可動部材３２、ミラー２１および
可動コイル３７等からなる可動部全体の重心点を通過し
ており、このミラー回転軸Ｒはこの可動部の慣性主軸と
一致している。

【００３７】なお、上記の可動部材３２の前面には、左
右一対、上下一対の合計４個の位置決突部３５，３６が
一体に突設されている。そして、上記のミラー２１の左
右側面および上下面は、これらの位置決突部３５，３６
の内側面に嵌合し、このミラー２１がこの可動部材３２
の前面に所定位置に位置決めされている。また、前記の
可動コイル３７は、その左右、上下の内周面が上記の位
置決突部３５，３６の外側面に嵌合し、この可動コイル
３７が所定位置に位置決めされている。よって、上記の
ミラー２１の外周と可動コイル３７の内周との間には、
上記の各位置決突部３５，３６が介在しており、これら
の間に所定の隙間が形成されている。

【００３８】そして、上記の可動部材３２、ミラー２
１、可動コイル３７は、上記の隙間内に充填された接着
材により互いに一体的に接着されている。したがって、
これらの部品からなる可動部は、全体の形状が四角形の
ブロック状となり、かつ接着材で互いに一体的に接合さ
れているので、この可動部自身の固有振動数が極めて高
くなり、この可動部が回動する際の共振が確実に防止さ
れる。

【００３９】なお、上記の固定部材３１、可動部材３２
はガラス繊維で強化された非導電性の合成樹脂材料、た
とえば液晶プラスチック（ＬＣＰ）、ポリフェニレンス
ルフィド（ＰＰＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、
ポリカーボネート（ＰＣ）等で形成されている。また、
上記のミラー２１は平面状のガラス基板の前面に反射率
の高い反射膜を形成したものである。また、上記の可動
コイル３７は直径０．０５ｍｍの導線を４層に巻回した
もので、その上下部からはそれぞれリード線３８が導出
されている。なお、この可動コイル３７への給電構造に
ついては後に説明する。

【００４０】また、上記のバネアセンブリ３０の平面形
状は、前述のごとく略四角形をなしており、このバネア
センブリ３０が円筒状のベース部材２２内に挿入される
ことにより、このバネアセンブリ３０の両側に空間が形
成される。なお、このバネアセンブリ３０の固定部材３
１の背面には、図３に示すように嵌合突部４６が形成さ
れている。また、上記のベース部材２２の周壁部の背面
側の上縁部には、上記の嵌合突部４６に対応して嵌合凹
部４７が形成されている。そして、上記の嵌合突部４６
がこの嵌合凹部４７内に嵌合することにより、このバネ
アセンブリ３０が位置決めされてこのベース部材２２内
に嵌合される。

【００４１】また、このバネアセンブリ３０の両側の空
間内には、略四角形ブロック状の固定側の永久磁石３９
が異極を対向させてそれぞれ収容されている。なお、こ
のベース部材３２の周壁のうちこれら永久磁石３９が収
容される部分は平面状の平面部２６に形成され、これら
永久磁石３９を安定して収容するように構成されてい
る。

【００４２】なお、上記のベース部材２２の平面形状は
略円形であり、また上記のバネアセンブリ３０および永
久磁石３９の平面形状は四角形である。したがって、こ
れらが上記のようにこのベース部材２２内に嵌合して収
容されることにより、これら永久磁石３９の後側には隙
間がそれぞれ形成される。これらの隙間は、後述するよ
うに、このガルバノミラー２０を調整して取付ける際の
取付工具の位置決ピンが挿入される隙間として使用され
る。

【００４３】次に、上記のバネアセンブリ３０および可
動部材３２を支持する装置の構成について説明する。図
５には、このバネアセンブリ３０の斜視図を示す。前記
の固定部材３１は、ビーム状の梁部４１と、この梁部４
１の上下両端部から前方に突出したアーム部４２，４３
とを有している。また、上記の可動部材３２の上下両端
部には、それぞれバネ取付部４４が一体に突設されてい
る。そして、上記のアーム部４２，４３とバネ取付部４
４との間は前述のバネ３３，３４により前記のミラー回
転軸Ｒまわりに回転自在に連結されている。そして、こ
れらのバネ３３，３４、固定部材３１、可動部材３２の
連結構造は以下のように構成されている。

【００４４】図６には、これらのバネ３３，３４の形
状、および固定部材３１、可動部材３２との配置関係を
示し、また図７にはこれらのバネ３３，３４を固定部材
３１や可動部材３２に組み込む前の打抜きブランク材の
状態を示す。これらのバネ３３，３４は、上記の可動部
材３２を回転自在に支持するための部材と、上記の固定
部材３１等の補強をなす補強部材と、前記の可動コイル
３７に給電をなす導電部材とを兼用している。

【００４５】これらのバネ３３，３４は、たとえばベリ
リウム銅合金の厚さ０．０３ｍｍの薄板材をエッチング
等に所定の形状に加工したもので、その表面には耐蝕性
および半田付け性を向上させるために０．２ミクロン程
度の厚さの金メッキが施されている。そして、これらの
バネ３３，３４は、たとえばＳ字状に屈曲したＳ字状バ
ネ部５１と、このＳ字状バネ部５１の一端部に連続して
形成され可動部材３２との取付部とを兼用する端子部５
２と、このＳ字状バネ部５１の他端部に連続して形成さ
れた補強導電部５４，５５と、これらの補強導電部５
４，５５の先端部に形成された端子部５６とを有してい
る。上記の端子部５２の先端部には、前述した可動コイ
ル３７のリード線３８が係合されるＶ字状の係合切欠５
３がそれぞれ形成されている。なお、下側のバネ３４の
補強導電部５５は、略Ｌ字状に形成されている。

【００４６】そして、上記のバネ３３，３４は、図２お
よび図５のＹ−Ｚ面と平行に配置され、その端子部５２
および補強導電部５４，５５は、これらの固定部材３１
および可動部材３２内の中心面かつ対称面に一体的に埋
設されている。上記の補強導電部材５４，５５は金属板
材であり、その面方向における曲げや剪断変形について
は高い剛性を有している。したがって、これらが固定部
材３１の梁部４１やアーム部４２，４３内に一体的に埋
設されていることにより、これらの部分の剛性を高め、
荷重による変形、この固定部材３１を射出成型した場合
の変形や、温度変化に伴う熱膨張による変形等を防止
し、バネアセンブリ３０の精度を高める。また、これら
端子部５２や補強導電部５４，５５等はこれら固定部材
３１や可動部材３２の中心面内に埋設されているので、
バネアセンブリ３０は中心面に対して左右対称の構造と
なり、不規則な変形をより効果的に防止し、精度をより
高くする。

【００４７】上方のバネ３３は、その端子部５２が可動
部材３２の上側のバネ取付部４４内に一体的に埋設され
ており、またこの端子部５２の先端部はこのバネ取付部
４４の先端面から突出している。そして、この先端部の
係合切欠５３に可動コイル３７の一方のリード線３８の
先端部が係合し、さらに半田付けにより接合されてい
る。また、このバネ３３の補強導電部５４は、固定部材
３１の上側のアーム部４２内に一体的に埋設されてい
る。そして、この補強導電部５４の先端の端子部５６
は、図３に示すように固定部材３１の背面に突出してい
る。そして、この図３および図１１に示すように、この
端子部５４にはプリント配線板６０の端子部が半田付け
されている。したがって、このプリント配線板６０、バ
ネ３３の補強導電部５４、Ｓ字状バネ部５１、端子部５
２、リード線３８を介してこの可動コイル３７に給電が
なされる。

【００４８】また、下方のバネ３４は、上記と同様にそ
の端子部５２が可動部材３２の下側のバネ取付部４４内
に埋設され、また係合切欠５３には可動コイル３７の他
方のリード線３８が係合して半田付けされている。ま
た、このバネ３４のＬ字状の補強導電部５５は、固定部
材３１の下側のアーム部４３および梁部４１内に連続し
て一体に埋設されている。そして、この補強導電部５５
の先端の端子部５６は固定部材３１の背面部に突出し、
前記と同様にプリント配線板６０の他方の端子部に半田
付けされており、前記と同様にこれらの部材を介して可
動コイル３７に給電がなされる。

【００４９】このようなバネアセンブリ３０は以下のよ
うにして組み立てられる。まず、前述したようなベリリ
ウム銅合金等の薄板材をエッチング加工して図７に示す
ようなバネのブランク材６０を製造する。このブランク
材６０は、枠状のフレーム部６１を有しており、このフ
レーム部６１内に前記のようなバネ３３，３４が所定の
配置関係で一体に形成されている。なお、これらバネ３
３，３４とフレーム部６１とは組み立て後に切断する切
断予定線Ｃの部分で連続している。また、このフレーム
部６１のたとえば４隅には、位置決めのための位置決孔
６３がそれぞれ形成されている。

【００５０】そして、このようなブランク材６０を一対
の金型（図示せず）の間に挟んでこれらの金型を衝合
し、この金型のキャビテイ内に樹脂材料を射出して前述
の固定部材３１および可動部材３２を形成し、これと同
時に上記のバネ３３，３４の部分をこれらの固定部材３
１や可動部材３２の金型衝合面である中心面に一体的に
埋設する。

【００５１】なお、この樹脂材料と上記のバネ３３，３
４の表面との間の接着力は非常に小さいので、これら埋
設されたバネ３３，３４が一体化されず、かつこれらの
部分で固定部材３１および可動部材３２が左右に割れて
しまうことがある。これを防止するために、これらバネ
３３，３４の適宜箇所には透孔６２が形成されており、
たとえば図８に示すようにこれらの透孔６２内に射出さ
れた樹脂が充填され、これら固定部材３１や可動部材３
２の左右の部分を連結するとともに、これらバネ３３，
３４を一体化している。

【００５２】また、上記の金型のキャビテイ内に樹脂材
料を射出する際に、その射出圧力によりバネ３３，３４
の各部がキャビテイ内で変形し、これらバネ３３，３４
の各部が中心からずれたり、変形したりすることがあ
る。このような不具合を防止するために、上記のバネ３
３，３４の適宜の部分、たとえば端子部５２の先端部、
補強導電部５４，５５の縁部、端子部５６等を金型の間
で挟圧し、これらの部分がキヤビテイ内で移動、変形す
るのを防止するように構成されている。したがって、上
記の金型の間に挟圧された部分は、図８および図９に示
すように上記の固定部材３１、可動部材３２の表面から
突出している。

【００５３】また、固定部材３１には図６の紙面両側方
向に孔９０が形成されており、これらの孔９０の部分の
バネ３３，３４を金型の間に挟圧できるように構成され
ている。また、固定部材３１には図６の紙面裏側方向に
のみ孔９１が形成されバネ３４を一方の金型にてサポー
トするように構成され、これらバネ３３，３４の固定部
材３１内に埋設された部分の移動、変形を防止してい
る。

【００５４】なお、上記の補強導電部５５は、固定部材
３１の梁部４１のほぼ全長に亘って埋設され、かつその
縁部がこの梁部４１のほぼ全長にわたって突出してい
る。したがって、この補強導電部５５の埋設部分では、
この梁部４１が左右に分割され、強度、剛性が低下す
る。このような不具合を防止するには、この補強導電部
５５に前述したような透孔を形成してこの透孔内に充填
された樹脂材料でこの梁部の左右の部分を連結すればよ
いが、このような透孔を形成すると、この補強導電部５
５の強度、剛性が低下する。このため、この梁部４１の
中央部には、これを横断する方向に連結リブ部６４が一
体に突設されている。この連結リブ部６４は、補強導電
部５５の突出した縁部を跨いでこの梁部４１の左右の部
分を連結している。したがって、この補強導電部５５に
透孔を形成することなくこの梁部４１の左右を連結する
ことができる。

【００５５】なお、この連結リブ部６４は、上記の可動
部材３２の背面に対向しており、この可動部材３２の最
大回動角度を規制するストッパを兼用している。

【００５６】そして、上述のようにしてこれらバネ３
３，３４を固定部材３１や可動部材３２内に一体に埋設
した後に、上述したような切断予定線Ｃの部分を切断
し、フレーム部６１からこれらバネ３３，３４を分離
し、このバネアセンブリ３０を完成する。

【００５７】次に、上記のＳ字状バネ部５１について説
明する。これらのＳ字状バネ部５１は、前述のように図
２および図５のＹ−Ｚ面と平行に配置されており、可動
部材３２を図２および図５のＹ軸と平行なミラー回転軸
Ｒまわりに回転自在に支承し、かつこれ以外の他の方向
については可動部材３２の移動を可能なかぎり防止する
支持部材として作用するものである。

【００５８】図１０は、このＳ字状バネ部５１を拡大し
て示したもので、一対の略半円形の湾曲部５１ａと、こ
れらの一端部の端部５１ｂと、これらの湾曲部５１ａの
他端部を互いに連結する略直線状の直線部５１ｃとが一
体に形成されているものである。そして、上記の端部５
１ｂは、前述のように固定部材３１側、および可動部材
３２側に固定されている。

【００５９】このＳ字状バネ部５１は、上記のような支
持部材としての作用を達成するために、以下のような薄
板の変形の特性を利用している。一般に、薄板材は、そ
の板厚に対して面方向の寸法が大であるため、その面方
向と直交する方向の単純な曲げ変形に対しては剛性が最
も小さく、ねじれ変形に対してはある程度剛性が高く、
面方向に沿う曲げ変形や剪断変形に対しては最も高い剛
性を示す。可動部材３２が固定部材３１に対してミラー
回転軸Ｒまわりに回動した場合には、このミラー回転軸
Ｒの近傍部分、すなわちこのＳ字状バネ部５１の端部５
１ｂの根元部、直線部５１ｃの中央部に生じる変形は面
方向と直交する方向の単純な曲げ変形であるが、この軸
Ｒから離れた部分ではねじれ変形が生じ、このねじれ変
形はこの軸Ｒから離れる程大きくなる。したがって、こ
れら軸Ｒに近い部分に集中して単純な曲げ変形が生じる
とともに、この軸Ｒから離れた部分は変形量が小さくな
り、かつこのＳ字状バネ部５１の全体の変形は軸Ｒを中
心とする軸対称の変形が生じる。したがって、このＳ字
状バネ部５１は、このミラー回転軸Ｒを中心として回動
するように可動部材３２を支持し、このミラー回転軸Ｒ
まわりの回転に伴う弾性力は小さい。

【００６０】一方、上記の可動部材３２がＹ軸方向、Ｚ
軸方向、およびＸ軸まわりに傾くように移動する場合に
は、上記のＳ字状バネ部５１にその面方向の曲げ変形や
剪断変形が生じる。このＳ字状バネ部５１は、このよう
な面方向の曲げ変形や剪断変形に対しては前述のように
剛性が高く、よってこれらの方向についての可動部材３
２の支持剛性は高い。特に、Ｚ軸方向の移動、およびＸ
軸まわりの傾動は、この可動部材３２に取付けられたミ
ラー２１で反射された光の焦点のずれ、光軸の傾き等の
光学的な誤差の原因となるが、これらの方向の支持剛性
は上記のように高いので、このような光学的な誤差を効
果的に排除することができる。

【００６１】なお、この可動部材３２がＸ軸の方向に移
動する場合、およびＺ軸まわりに傾動する場合には、上
記のＳ字状バネ部５１の端部５１ｂおよび直線部５１ｃ
にねじれ変形が生じ、湾曲部５１ａの中央部に単純な曲
げ変形が発生し、比較的剛性が低くなるが、これらの方
向の移動は、ミラー２１がその反射面に平行な方向に移
動するだけであり、実質的な反射面の変位は生じないの
で、光学的な誤差は発生しない。

【００６２】さらに、上記のように可動部材３２が光学
的な誤差の原因となるＺ軸方向への移動およびＸ軸まわ
りの傾動、すなわちＳ字状バネ５１の面方向の曲げ変形
や剪断変形のが可能な限り小さくなるように、上記のＳ
字状バネ部５１は以下のような形状に形成されている。
図１０に示すように、このＳ字状バネ部５１は、その端
部５１ｂおよび直線部５１ｃの幅Ｗ_２，Ｗ_３が狭く、湾
曲部５１ａの幅Ｗ_１が広くなるように設定されている。
たとえばこの実施形態では、上記の端部５１ｂおよび直
線部５１ｃの幅Ｗ_２，Ｗ_３はいずれも０．０８ｍｍ、湾
曲部５１ａの幅Ｗ_１は０．１６ｍｍに設定されている。

【００６３】このＳ字状バネ部５１の面方向の曲げ変形
や剪断変形の剛性を高くするには、このＳ字状バネ部５
１の各部の幅を広くすればよい。しかし、この幅を一様
に広くすると、この端部５１ｂや直線部５１ｃの部分の
面方向と直交する方向の単純な曲げの剛性も高くなり、
ミラー回転軸Ｒまわりの変形の剛性も高くなってしま
う。しかし、上記のように湾曲部５１ａの部分の幅Ｗ_１
を広くすれば、端部５１ｂや直線部５１ｃの部分の面方
向と直交する方向の単純な曲げ変形の剛性はほとんど変
わらないが、この湾曲部５１ａの部分の面方向の曲げ変
形や剪断変形の剛性は高くなり、このＳ字状バネ部５１
全体の面方向における曲げ変形や剪断変形の剛性は高く
なる。一方で、上記のミラー回転軸Ｒまわりの変形の際
には、このミラー回転軸Ｒの近傍の端部５１ｂおよび直
線部５１ｃが曲げ変形し、この軸Ｒから離れた位置にあ
る湾曲部５１ａの部分の変形は少ない。したがって、こ
の場合のミラー回転軸Ｒ回りの変形の剛性の増大はわず
かである。

【００６４】上記のＳ字状バネ部５１は、前述のように
ミラー回転軸Ｒまわりに回転自在な支承をなす部材とし
て作用するものであるから、その特性としては、この軸
Ｒまわりの変形の際の剛性Ｇ_Ｒに対して、それ以外の方
向すなわち図５のＺ軸方向の変形の際の剛性Ｇ_Ｚが大き
いこと、すなわちＧ_Ｚ／Ｇ_Ｒが大きい程好ましいもので
ある。

【００６５】次に、上記のような効果を確認するために
行った試験の結果を説明する。この場合に、上記のＳ字
状バネ部５１は、寸法が小さいものであるので、このＳ
字状バネ部５１の各方向の剛性を直接測定するのは困難
でかつ精度が低い。このような条件を考慮して、以下の
ような方法により上記のＧ_Ｚ／Ｇ_Ｒの剛性の比を間接的
に測定した。

【００６６】まず、比較例として、バネの板厚が０．０
３ｍｍ、Ｓ字状バネ部５１の全体が０．０８ｍｍの均一
な幅のものと、上述のように端部５１ｂおよび直線部５
１ｃの幅がいずれも０．０８ｍｍ、湾曲部５１ａの幅Ｗ
１が０．１６ｍｍの実施形態のバネを試作し、これらを
同じ固定部材３１や可動部材３２と一体化してバネアセ
ンブリ３０を製造した。

【００６７】そして、上記の可動部材３２の各方向の固
有振動数を測定した。まず、均一な幅の比較例のもの
は、ミラー回転軸Ｒまわりの可動部材３２の固有振動数
ｆ_Ｒと、この可動部材３２のＺ軸方向の固有振動数ｆ_Ｚ
を測定した結果、ｆ_Ｒ＝１２８Ｈｚ、ｆ_Ｚ＝７１８Ｈｚ
であった。一方、上記の実施形態のものについても同様
に可動部材の固有振動数を測定した結果、ｆ_Ｒ＝１５９
Ｈｚ、ｆ_Ｚ＝１４１４Ｈｚであった。そして、これらの
比を算出した結果、均一な幅の参考例のものは、そのｆ
_Ｚ／ｆ_Ｒが５．６であるのに対して、実施形態のもの
は、このｆ_Ｚ／ｆ_Ｒが８．９であった。そして、このＳ
字状バネ部の剛性の比は、（ｆ_Ｚ／ｆ_Ｒ）^２であるか
ら、上記の参考例のものは、上記の（ｆ_Ｚ／ｆ_Ｒ）^２す
なわちミラー回転軸まわりの剛性とＺ軸方向の剛性の比
Ｇ_Ｚ／Ｇ_Ｒが約３１であるのに対して、この実施形態の
ものは、Ｇ_Ｚ／Ｇ_Ｒが約７９であった。したがって、こ
の実施形態のものは、このＧ_Ｚ／Ｇ_Ｒが参考例の約２．
６倍である。よって、この実施形態のものは、ミラー回
転軸Ｒまわりの剛性をＧ_Ｒを参考例と等しく設定すれ
ば、Ｚ軸方向の剛性Ｇ_Ｚは２．６倍となる。つまり、た
とえば共振や振動によって可動部分３２が移動する量、
すなわちミラー２１で反射される光のずれは１／２．６
となり、より高精度のガルバノミラーと安定したトラッ
キング特性が得られる。

【００６８】また、上記の支持部材の形状として、上記
のようなＳ字状バネ５１を用いている。ガルバノミラー
２０の支持部材であるバネは、消費電力を小さくし、支
持部材に発生する最大応力を小さくして支持部材の信頼
性を向上させるために、そのバネの有効長は長い方が好
ましい。しかし、支持部材ミラー回転軸Ｒ方向に長くす
ると、ガルバノミラー２０の寸法が非常に大きくなり、
装置の小形化の障害となってしまう。そのために本実施
形態では、支持部材であるバネをＳ字状とし、バネの両
端の端部５１ｂ、５１ｂの間のバネ長を長くし、２つの
端部５１ｂ，５１ｂの間の直線距離を短くしている。

【００６９】さらに、本実施形態においては、端部５１
ｂの固定部材３１への取付け、および端部５１ｂの可動
部材３２への取付けをミラー回転軸Ｒ方向に対して垂直
方向であるＺ方向に位置させた。そのため、支持部材で
あるＳ字状バネ５１の取付部を含めたミラー回転軸Ｒ方
向の寸法を非常に小さく構成することができる。そのた
め、ガルバノミラー２０のミラー回転軸Ｒ方向の寸法を
小さくし、消費電力を低減し、かつ支持部材に発生する
最大応力を小さくして信頼性を向上させることができ
る。

【００７０】また、上記のように可動部材３２はバネ３
３，３４のＳ字状バネ部５１の変形により、ミラー回転
軸Ｒまわりに回転自在に支承されており、このＳ字状バ
ネ部５１はこのミラー回転軸Ｒまわりの変形に対して所
定のバネ定数を有しているため、この可動部材３２はこ
のミラー回転軸Ｒまわりに振動する。そして、このよう
な可動部材３２の振動を減衰するために、以下のような
減衰機構が設けられている。

【００７１】すなわち、図５ないし図６に示すように、
上記の固定部材３１のアーム部４２，４３の先端部に
は、前記のバネ３３，３４のＳ字状バネ部５１の一方の
端部５１ｂを囲むようにして上下１対ずつの突部７１，
７２がそれぞれ突設されている。また、上記の可動部材
３２のバネ取付部４４にも、それぞれ突部７３が突設さ
れてこのバネ取付部４４がＵ字状に形成され、Ｓ字状バ
ネ部５１の他方の端部５１ｂを囲むように構成されてい
る。また、上記の突部７２と７３とにより、このＳ字状
バネ部５１の直線部５１ｃを囲むように構成されてい
る。

【００７２】そして、これらの突部７１，７２の間に形
成された凹部、および上記の突部７２，７３の間の間隙
には、それぞれダンピング材７４，７５が充填されてお
り、上記のＳ字状バネ部５１の端部５１ｂはこのダンピ
ング材７４内に埋没され、またＳ字状バネ部５１の直線
部５１ｃは上記のダンピング材７５内に埋没されてい
る。これらのダンピング材７４，７５は、たとえば未硬
化の熱硬化シリコーンゲル材をこれらの凹部および隙間
内に所定量ずつ注入保持させた後に、このバネアセンブ
リ３０全体をオーブン内でたとえば７０°Ｃで３０分間
加熱し、この未硬化のゲル材を硬化させて所定の粘性を
有するシリコーンゲル材としたものである。

【００７３】したがって、上記の可動部材３２がミラー
回転軸Ｒまわりに回転した場合に、このＳ字状バネ部５
１の端部５１ｂおよび直線部５１ｃがこれらのダンピン
グ材７４，７５中で変形することにより、その粘性抵抗
により所定の減衰力が発生し、この可動部材３２の振動
を減衰する。

【００７４】上記の未硬化のダンピング材７４，７５を
注入保持させる際には、その表面張力により自由表面が
最小となるような凝集力が働く。したがって、上記の未
硬化のダンピング材７４の液塊は、一対の突部７１，７
２の間に形成される凹部の奥部に保持され、Ｓ字状バネ
部５１の端部５１ｂを中心部に埋没させた所定の位置に
保持される。また、上記の未硬化のダンピング材７５の
液塊も、突部７２，７３の間に保持されるとともに、Ｓ
字状バネ部５１の直線部５１ｃをその中心に埋没させる
ように保持される。

【００７５】上記の一対の突部７１，７２の互いに対向
する２つの面の間に形成された間隙は上記のようにこの
ダンピング材７４を保持するダンピング材保持間隙Ｇと
して形成されるものである。この場合、このダンピング
材保持間隙Ｇは、固定部材３１に形成された一対の突部
７１，７２の間に形成されているので、このダンピング
材保持間隙Ｇは任意の形状とすることができる。したが
って、たとえばこの実施形態のように、このダンピング
保持間隙Ｇを奥壁部を有するＵ字状の凹部とすることが
でき、注入された未硬化のダンピング材をその表面張力
により上記のように奥部に確実に保持させることがで
き、このダンピング材７４を正確な位置に確実に保持さ
せることができる。なお、可動部材３２のバネ取付け部
４４の突部７３で形成されたダンピング材保持間隙Ｇも
同様である。

【００７６】また、突部７２，７３の間にも、これらの
対向する２つの面の間にダンピング材保持間隙Ｇが形成
される。この場合には、可動部材３２の回転により、こ
れらの２つの面が相対的に移動するとともに、Ｓ字状バ
ネ部５１も変形するため、これらの両方に対してダンピ
ング材７５が減衰力を与え、より大きな減衰力を得るこ
とができる。

【００７７】ただし、この突部７２，７３の互いに対向
する面が平行な平面であると、このダンピング材７５の
液塊が図６の左右方向すなわち図５のＺ方向に移動して
も、上記の直線部５１ｃの断面形状はＺ軸方向に一定で
あるので、その自由表面は変化しない。このため、この
ダンピング材７５の液塊は、このＺ方向の任意の位置に
移動可能となり、その保持位置が一定しない。このよう
な不具合を防止するため、この実施形態では、これら突
部７２，７３の互いに対向する面には、Ｘ軸方向に連続
する断面山形の突条部７６がそれぞれ形成されており、
これらの突条部７６が対向する部分では、このダンピン
グ材保持間隙Ｇの幅が狭くなっており、狭隘部Ｎが形成
されている。したがって、このダンピング材７５の液塊
がＺ軸方向に移動すると、この液塊の両側の自由表面の
面積に差が生じて表面張力に差が発生し、この液塊は両
側の自由表面の表面張力が釣合う位置まで、すなわちこ
の断面山形の突条部７６に対してＺ軸方向に対称の位置
まで移動し、この位置、すなわち狭隘部Ｎで安定して保
持される。よって、このダンピング材７５を所定の位置
に正確に保持させることができる。

【００７８】なお、上記のダンピング材７４，７５とし
ては、前記のような材料の他に、たとえば紫外線硬化シ
リコーンゲル、アクリルゲル、溶剤により液状になった
ブチルゴム、アクリルの粘着材など、その他の減衰特性
のある任意の材料を使用することができる。

【００７９】次に、上述したような構成のガルバノミラ
ー２０を前記の固定部材すなわちキヤリッジ２のガルバ
ノミラー収容部２８内に装着するとともに、その傾き等
を調整して所定の位置に取付ける取付装置の作用を図１
１および図１２を参照して説明する。

【００８０】まず、前述のように、ガルバノミラー２０
のベース２２の底面に形成されている球面状の支承面２
４は、その中心軸線Ｓが前記のミラー回転軸Ｒと平行で
かつミラー２１の反射面内に含まれている。また、この
支承面２４の球面の中心点は、上記のミラー２１の反射
面上の入射光の光軸の位置Ｏと一致している。また、上
記のキヤリッジ２のガルバノミラー収容部２８の底部に
形成されている円錐面状の支承座面２９は、その中心軸
線Ｓ´が前記のミラー回転軸Ｒと平行でかつミラー２１
の反射面内に含まれており、かつ上記のミラー２１の反
射面上の入射光の光軸の位置Ｏを通過している。

【００８１】そして、図１２に示すように、まずこのガ
ルバノミラー２０を取付工具８０により保持する。この
取付工具８０は、その下端部が倒立Ｕ字状をなし、その
荷担部にはたとえば４本の位置決ピン８１が突設されて
いる。また、この取付工具８０内には、図示しない電磁
石が内蔵されている。

【００８２】このような取付工具８０は、このガルバノ
ミラー２０の上方からこれに近接して嵌合し、上記の電
磁石を励磁することにより、このガルバノミラー２０を
磁気的に吸着保持する。この場合に、上記の位置決ピン
８１は、このガルバノミラー２０の永久磁石３９の後側
に形成された隙間内と前側に挿入され、これらの位置決
ピン８１によりこれら永久磁石３９の前後面が挟まれて
保持される。これによって、このガルバノミラー２０は
この取付工具８０に対して所定の位置に位置決めして保
持される。

【００８３】次に、この取付工具８０に保持されたガル
バノミラー２０を、ガルバノミラー収容部２８内にその
上端開口部から挿入する。この挿入方向は、上記のミラ
ー回転軸Ｒと平行な方向、すなわち支承面２４の中心軸
線Ｓおよび支承座面２９の中心軸線Ｓ´と平行な方向で
ある。このようにして挿入されたガルバノミラー２０
は、図１１に示すようにその支承面２４が支承座面２９
に着座して当接し、これらの中心軸線Ｓ，Ｓ´が一致す
る。

【００８４】この状態で、このガルバノミラー２０を取
付工具８０により下方に所定の押圧力たとえば１００ｇ
ｆ程度の押圧力で押圧し、支承面２４と支承座面２９と
を当接させた状態に維持し、これらを摺動させつつこの
ガルバノミラー２０の傾き、たとえば上記のミラー回転
軸ＲまわりすなわちＹ軸まわり、および前記のＸ軸まわ
りに回動させ、光学系の光軸に対してミラー２１の反射
面と平行なＺ軸まわりの傾きを調整する。なお、このよ
うな調整は、このガルバノミラー２０のミラー２１にレ
ーザーダイオード１１からの光を入射し、キヤリッジ２
の基準面に対する固定ミラー１ｂからの出射光の傾きを
オートコリメータによって検出し、図示しない制御装置
等により、上記の取付工具８０の傾きを自動的に制御し
て行われる。

【００８５】そして、上記のような傾きの調整作業が終
了したら、このガルバノミラー２０をその位置に保持
し、このガルバノミラー２０とガルバノミラー収容部２
８の内面との間、たとえばベース部材２２の前縁部およ
び両側面部とガルバノミラー収容部２８の内面との間、
または支承面２４と支承座面２９との間に接着剤Ａを注
入して硬化させ、このガルバノミラー２０をキヤリッジ
２に対して所定の取付位置に固定する。そして、この後
に、上記の取付工具８０を上方に抜き去る。

【００８６】なお、本発明は上記の第１の実施形態には
限定されない。たとえば、上記の第１の実施形態では、
２つのバネ３３，３４を使用し、これらを導電部材とし
て兼用したが、たとえば可動部材３２に永久磁石を取り
付け、コイルを固定部材３１側に設けたものでは、これ
らバネ３３，３４を導電部材として兼用する必要はな
い。したがって、図１３に示す第２の実施形態のよう
に、これらのバネ３３，３４を一体に形成したバネ１３
３を使用することができる。

【００８７】この第２の実施形態のものは、両方のＳ字
状バネ部５１が連続した固定側の補強部１５５および可
動側の補強部１５６で一体に連結されたものである。そ
して、この補強部１５５は、上記の固定部材３１の梁部
４１およびアーム部４２，４３の略中心面に沿って連続
して一体に埋設されている。また、補強部１５６も可動
部材３２内の略中心面に沿って連続して一体に埋設され
ている。このような実施形態のものは、固定部材３１お
よび可動部材３２の剛性をより高め、その不所望な変形
をより効果的に防止することができる。

【００８８】なお、この実施形態のものは、上記の点以
外は前記の第１の実施形態と同様の構成であり、図１３
中第１の実施形態と対応する部分には同じ符号を付して
その説明を省略する。

【００８９】また、図１４および図１５には本発明の第
３の実施形態を示し、このものは枠状の固定部材を備え
たガルバノミラーのミラー支持装置である。図中の１０
１は枠状の固定部材であって、たとえば合成樹脂材料で
形成されている。そして、その中央部には可動部材収容
部１０４が形成されている。そして、この可動部材収容
部１０４内には合成樹脂材料からなる可動部材１０２が
設けられ、この可動部材１０２にはたとえばミラー１０
３が取付られている。

【００９０】また、図中の１０５はこの可動部材１０２
を支持するバネである。このバネ１０５はたとえばベリ
リウム銅等の金属材料の薄板材から一体に形成されたも
ので、枠状の固定側取付部１０６、可動側取付部１０
７、およびこれらを連結するＳ字状バネ部１０８とから
構成されている。そして、前述の第１の実施形態と同様
に、上記のＳ字状バネ部１０８が変形することにより、
この可動部材１０２が回転自在に支持される。

【００９１】そして、上記のバネ１０５の固定側補強部
１０６、および可動側取付部１０７は、それぞれ固定部
材１０１、および可動部材１０２内に一体にモールドさ
れている。上記のバネ１０５の固定側補強部１０６およ
び可動側取付部１０７は、図１５に示すようにこれらの
部材の中心面、すなわちこの場合のようにこれらを合成
樹脂材料で形成する場合には、その金型の衝合面に沿っ
て配置されている。

【００９２】なお、これら固定側補強部１０６および可
動側取付部１０７の一部の縁部１０９，１１０は、これ
ら固定部材１０１および可動部材１０２の側面から突出
しており、これらを射出成型する際に、これらの縁部１
０９，１１０は金型の衝合面の間に挟圧固定され、これ
ら固定側補強部１０６および可動側取付部１０７が金型
内でずれるのを防止する。また、これら固定側補強部１
０６および可動側取付部１０７には、適宜の間隔で透孔
１１１，１１２が形成され、これらの透孔１１１，１１
２内に樹脂材料が充填され、これら固定側補強部１０６
および可動側取付部１０７の両側の部分を連結してい
る。

【００９３】このような実施形態のものは、固定部材１
０１および固定側補強部１０６が枠状をなしており、こ
れら自体が剛性および強度の高い形状をなしているの
で、より剛性が高く、また精度も高い。

【００９４】また、図１６には本発明の第４の実施形態
を示す。このものは、固定部材および可動部材をそれぞ
れ２つの部分から構成し、これらの間にバネの固定側補
強部および可動側取付部を挟圧して一体化したものであ
る。

【００９５】すなわち、上記の枠状の固定部材１０１お
よび可動部材１０２は、その中心面で分割されたそれぞ
れ２つの固定部材半部１０１ａ、１０１ｂ、可動部材半
部１０２ａ，１０２ｂから形成されている。また、これ
らの間には、バネ１８５の枠状の固定側補強部１８６お
よび可動側取付部１８７は、これらの固定部材１０１と
可動部材１０２と同一の形状、寸法をなしている。

【００９６】そして、このバネ１８５の固定側補強部１
８６および可動側取付部１８７はこの固定部材１０１の
固定部材半部１０１ａ，１０１ｂ、可動部材１０２の可
動部材半部１０２ａ，１０２ｂの衝合面の間、すなわち
固定部材１０１と可動部材１０２の中心面に介在されて
いる。そして、螺子１９０，１９２およびナット１９１
等によりこれらを締め付け、バネ１８５はこれらの半部
の間で挟圧されて固定されている。

【００９７】この実施形態のものは、固定部材１０１お
よび可動部材１０２はそれぞれ別体の半部から形成さ
れ、バネ１８５はこれらの間に挟圧されて機械的に固定
されるものであるから、これら固定部材１０１や可動部
材１０２の材料に制約がなく、これらをセラミック、金
属、その他の任意の材料で形成することができる。ま
た、これら半部を切削等により精密に加工することもで
き、精度をさらに向上させることができる。

【００９８】なお、本発明は上記の実施形態には限定さ
れない。たとえば、バネの可動側取付部と可動部材との
取付構造は必ずしも上記の実施形態のものには限定され
ず、任意の取付構造でもよい。また、たとえば固定部
材、可動部材、バネ等の形状は必ずしも上記の形状には
限定されない。

【００９９】さらに、本発明は上記のようなガルバノミ
ラーのミラーを支持する装置には限らず、その他の任意
の光学素子または光学要素を移動または回動自在に支持
する装置に適用可能であることはもちろんである。

【０１００】

【発明の効果】上述の如く本発明は、固定部材と一体化
されたバネの固定側補強部により、この固定部材が補強
されてその剛性が大きくなり、温度変化による熱膨張、
取付の際の外力、その他による不所望な変形が小さくな
り、バネの支持精度や支持特性が向上する。また、この
固定側補強部は、固定部材の略中心面に沿って配置され
て一体化されているので、この固定部材がこの中心面に
対して対称の構造となる。よって、温度変化や外力によ
る変形も対称な変形となり、この変形の対称の中心に固
定側補強部が配置されているので、この固定側補強部自
体の変形が極めて小さくなり、より高い精度が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態の光ピックアップ装置
の構成を示す概略的な斜視図。

【図２】第１の実施形態のガルバノミラーを前方から見
た斜視図。

【図３】第１の実施形態のガルバノミラーを後方から見
た斜視図。

【図４】第１の実施形態のガルバノミラーの分解斜視
図。

【図５】第１の実施形態のガルバノミラーのバネアセン
ブリの斜視図。

【図６】第１の実施形態のガルバノミラーのバネアセン
ブリの概略的な側面図。

【図７】第１の実施形態のバネのブランク材の平面図。

【図８】図６の８−８線に沿う断面図。

【図９】図６の９−９線に沿う断面図。

【図１０】バネのＳ字状バネ部の概略的な側面図。

【図１１】ガルバノミラー収容部とその内部に収容され
たガルバノミラーの縦断面図。

【図１２】ガルバノミラーの取付状態を示す分解斜視
図。

【図１３】第２の実施形態の支持装置の側面図。

【図１４】第３の実施形態の支持装置の側面図。

【図１５】図１４の１５−１５線に沿う断面図。

【図１６】第４の実施形態の図１５に相当する断面図。

【図１７】従来の支持装置の側面図。

【図１８】図１７の１８−１８線に沿う断面図。

【符号の説明】

２キヤリッジ２０ガルバノミラー２１ミラー３０バネアセンブリ３１固定部材３２可動部材３３，３４バネ５１Ｓ字状バネ部５２端子部（可動側取付部）５４，５５導電補強部（固定側補強部）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】固定部材と、少なくとも光学素子または
光学要素が装着される可動部材と、この可動部材を上記
の固定部材に対して変位可能に支持する支持機構とを備
えた光学系の可動部を支持する装置であって、上記の支持機構は、板材を所定の形状に形成したバネを
備えており、このバネには変形することによって上記の
可動部材を移動または回転自在に支持するバネ部と、こ
のバネ部の一端部と連続して形成された可動側取付部
と、上記のバネ部の他端部に連続して形成された板状の
固定側補強部とを備えており、上記の可動側取付部は上
記の可動部材に取付られ、またこの可動側取付部は上記
の可動部材の略中心面に沿って配置され、この可動部材
と一体的に取付られていることを特徴とする光学系可動
部の支持装置。
【請求項２】前記の固定部材は片持梁状のものであ
り、前記の固定側補強部はこの固定部材の長手方向に沿
って延長された細長状をなし、この固定部材の略中心面
に沿って配置されていることを特徴とする請求項１の光
学系可動部の支持装置。
【請求項３】前記の固定部材は枠状のものであり、前
記の固定側補強部は枠状をなし、この固定部材の略中心
面に沿って配置されていることを特徴とする請求項１の
光学系可動部の支持装置。
【請求項４】前記の固定部材は合成樹脂材料から形成
され、前記の固定側補強部はこの固定部材の略中心面に
沿って配置され、この固定部材内に一体的にモールドさ
れていることを特徴とする請求項１の光学系可動部の支
持装置。
【請求項５】前記の固定部材はその略中心面で互いに
衝合する一対の固定部材半部から構成されており、前記
の固定側補強部は上記の固定部材半部の間に挟まれてこ
れらの固定側半部と一体的に取付られていることを特徴
とする請求項１の光学系可動部の支持装置。
【請求項６】前記の固定側補強部には透孔が形成さ
れ、これらの透孔内に合成樹脂材料が充填されてこの固
定側補強部の両側に位置する固定部材の部分を互いに連
結していることを特徴とする請求項４の光学系可動部の
支持装置。
【請求項７】前記の固定側補強部の縁部の少なくとも
一部は前記の固定部材の側面から突出しており、この突
出した縁部はこの固定部材を射出成型する金型の衝合面
の間に挟圧されるものであることを特徴とする請求項４
の光学系可動部の支持装置。
【請求項８】前記の固定部材の側面には、前記の固定
側補強部の突出した縁部を跨いで配置されこの固定側補
強部の両側の固定部材の部分を一体的に連結する連結リ
ブ部が突設されていることを特徴とする請求項７の光学
系可動部の支持装置。