JPH11186424A - 光半導体素子収納用パッケージ - Google Patents
光半導体素子収納用パッケージInfo
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- JPH11186424A JPH11186424A JP35585097A JP35585097A JPH11186424A JP H11186424 A JPH11186424 A JP H11186424A JP 35585097 A JP35585097 A JP 35585097A JP 35585097 A JP35585097 A JP 35585097A JP H11186424 A JPH11186424 A JP H11186424A
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- Japan
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- optical semiconductor
- semiconductor element
- fixing member
- fixed
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
生し、光半導体素子と光ファイバとの光信号の良好な授
受や光半導体素子の長期間にわたる正常かつ安定な作動
ができなくなったりする。 【解決手段】 光半導体素子4の載置部1aを有する基
体1と、基体1に取着され、側部に貫通孔2aが設けら
れた枠体2と、貫通孔2aに挿入固定され、外側端部に
光ファイバ11が挿入固定される筒状の金属製固定部材9
と、金属製固定部材9の内側に挿入固定された円柱状レ
ンズ部材10と、枠体2の上面に取着される蓋体3とから
成る光半導体素子収納用パッケージであって、円柱状レ
ンズ部材10は中央部の外周面のみが金属製固定部材9の
内周面にろう材を介して固定されており、かつ金属製固
定部材9は貫通孔2aの内周面との間に間隙を有して固
定されている。円柱状レンズ部材10に応力が集中せずク
ラックが発生しない。
Description
容するための光半導体素子収納用パッケージに関し、特
にレンズ部材の固定構造を改良した光半導体素子収納用
パッケージに関するものである。
半導体素子収納用パッケージは、図3にその例を断面図
で示すように、一般に鉄−ニッケル−コバルト合金や銅
−タングステン合金等の金属から成り、上面中央部に光
半導体素子24がペルチェ素子25を介して載置される載置
部21aを有し、この載置部21a周辺に複数の外部リード
端子26が絶縁部材27を介して上面から下面に貫通するよ
うにして固定された基体21と、この基体21上に載置部21
aを囲繞するようにして取着され、側部に貫通孔22aを
有する鉄−ニッケル−コバルト合金等の金属から成る枠
体22と、この枠体22の貫通孔22a内に、その内側端部が
枠体22内部に突出するようにして挿通固定され、その外
側端部に光半導体素子24と外部との光信号の授受を行な
う光ファイバ30が挿入固定される鉄−ニッケル−コバル
ト合金等の金属から成る筒状の金属製固定部材29と、こ
の金属製固定部材29の内側端部に挿着され、枠体22の内
外を気密に仕切る円柱状レンズ部材31と、枠体22の上面
に接合され、光半導体素子24を気密に封止する蓋体23と
から構成されている。そして、基体21の載置部21aに光
半導体素子24を接着固定するとともにこの光半導体素子
24の各電極をボンディングワイヤ28を介して外部リード
端子26に電気的に接続し、しかる後、枠体22の上面に蓋
体23を接合させ、主に基体21と枠体22と蓋体23とから成
る容器内部に光半導体素子24を気密に収容するとともに
金属製固定部材29の内部に光ファイバ30を挿入固定させ
ることによって製品としての光半導体装置となる。
供給される駆動信号によって光半導体素子24に光を励起
させ、この励起した光を円柱状レンズ部材31を通して光
ファイバ30に授受させるとともに光ファイバ30内を伝達
させることによって高速光通信等に使用される光半導体
装置として機能する。
から外周部に向けて屈折率を変化させることによりレン
ズ機能を持たせたガラス材料から成り、金属製固定部材
29への挿着は、その外周面全面に例えばTi・Pt・A
uから成る金属薄膜を被着させておき、これを金属製固
定部材29内に挿入するとともに、円柱状レンズ部材31の
外周面に被着させた金属薄膜とこれと対向する金属製固
定部材29の内周面とを金−錫合金や金−銅合金等から成
るろう材を介してろう付けすることによって行なわれ
る。
来の光半導体素子収納用パッケージにおいては、金属製
固定部材29を構成する鉄−ニッケル−コバルト合金の熱
膨張係数(約6×10-6/℃)と円柱状レンズ部材31を構
成するガラスの熱膨張係数(約10×10-6/℃)とが大き
く異なること、および円柱状レンズ部材31の外周面の全
面がろう付けされること等から、円柱状レンズ部材31の
外周面を金属製固定部材29の内周面に金−錫合金等のろ
う材を介してろう付けする際に円柱状レンズ部材31と金
属製固定部材29との間に両者の熱膨張係数の相違に起因
して大きな熱応力が発生し、この熱応力が円柱状レンズ
部材31の外周面と端面との間の角部に直接作用する。す
ると、角部では応力が集中し易いことからこの角部に応
力が大きく集中するとともに応力がここに内在した状態
となり、これに光半導体素子24が作動時に発生する熱が
繰り返し印加されると、この熱応力が前記角部に内在し
た応力と相乗して円柱状レンズ部材31の外周面と端面と
の角部を起点として円柱状レンズ部材31にクラックを発
生させることとなる。その結果、光半導体素子24が励起
した光を円柱状レンズ部材31を介して光ファイバ30に伝
達させると、円柱状レンズ部材31において乱反射が起こ
り、光半導体素子24が励起した光を円柱状レンズ部材31
を介して光ファイバ30に良好に授受することが不可能と
なったり、あるいは、円柱状レンズ部材31に発生したク
ラックにより光半導体素子収納用パッケージの気密が破
れ、内部に収容する光半導体素子24を長期間にわたり正
常かつ安定に作動させることができなくなってしまうと
いう欠点を有していた。
であり、その目的は、内部に収容する光半導体素子が作
動時に発生する熱等が繰り返し印加されても円柱状レン
ズ部材にクラックを発生させることがなく、光半導体素
子が励起した光を円柱状レンズ部材を介して光ファイバ
に良好に授受させることができるとともに、内部に収容
する光半導体素子を長期間にわたり正常かつ安定に作動
させることができる光半導体素子収納用パッケージを提
供することにある。
納用パッケージは、上面に光半導体素子が載置される載
置部を有する基体と、この基体上面に前記載置部を囲繞
するように取着され、側部に貫通孔が設けられた枠体
と、前記貫通孔に挿入固定され、枠体の外側端部に光フ
ァイバが挿入固定される筒状の金属製固定部材と、該金
属製固定部材の内側に挿入固定された円柱状レンズ部材
と、前記枠体の上面に取着され、前記光半導体素子を気
密に封止する蓋体とから成る光半導体素子収納用パッケ
ージであって、前記円柱状レンズ部材はその中央部の外
周面のみが前記金属製固定部材の内周面にろう材を介し
て固定されており、かつ前記金属製固定部材は前記貫通
孔の内周面との間に間隙を有して固定されていることを
特徴とするものである。
ージは、上記構成の光半導体素子収納用パッケージにお
いて、前記金属製固定部材はその内周面に前記円柱状レ
ンズ部材の長さより短い幅のリング状突出部を有してお
り、このリング状突出部の内周面に前記円柱状レンズ部
材が固定されていることを特徴とするものである。
よれば、円柱状レンズ部材はその中央部の外周面のみが
ろう材を介して金属製固定部材の内周面に固定されてお
り、その両端近傍の外周面がろう付けされていないこと
から、円柱状レンズ部材を金属製固定部材にろう付けす
る際に発生する熱応力が円柱状レンズ部材の外周面と端
面との角部に直接作用することはなく、従ってこの角部
にろう付け時の応力が大きく集中して内在することはな
い。
貫通孔の内周面との間に間隙を有して固定されているこ
とから、光半導体素子が作動時に発生する熱等により金
属製固定部材および枠体ならびに円柱状レンズ部材が熱
膨張や熱収縮しても、枠体の熱膨張や熱収縮に伴う応力
は金属製固定部材の円柱状レンズ部材が固定されている
部位には印加されず、従って、これら応力が円柱状レン
ズ部材に印加されることはない。
いて詳細に説明する。図1および図2は、本発明の光半
導体素子収納用パッケージの実施の形態の一例を示す断
面図であり、同図中、1は基体、2は枠体、3は蓋体で
ある。主にこれらで光半導体素子4を収容するための容
器が構成される。
の支持部材として機能し、その上面の略中央部に光半導
体素子4を載置するための載置部1aを有し、載置部1
aには光半導体素子4が間にペルチェ素子5等を挟んで
金−シリコンろう材の接着剤により接着固定される。
銅−タングステン合金等の金属材料から成り、例えば、
鉄−ニッケル−コバルト合金から成る場合であれば、鉄
−ニッケル−コバルト合金のインゴットに圧延加工や打
ち抜き加工等の従来周知の金属加工を施すことによって
製作される。
れ、かつろう材との濡れ性に優れる金属、具体的には厚
さ2〜6μmのニッケル層と厚さ0.5 〜5μmの金層を
順次めっき法により被着させておくと、基体1が酸化腐
食するのを有効に防止することができるとともに光半導
体素子4の下部に配されるペルチェ素子5等を基体1の
上面に強固に接着固定させることができる。従って、基
体1は、その外表面に厚さ2〜6μmのニッケル層と厚
さ0.5 〜5μmの金層を順次めっき法により被着させて
おくことが好ましい。
れる載置部1aの周辺に基体1を貫通する複数個の外部
リード端子6がガラス等の絶縁部材7を介して固定され
ている。
極を外部電気回路に電気的に接続する作用をなし、その
一端に光半導体素子4の電極がボンディングワイヤ8を
介して接続され、また他端側は半田を介して外部電気回
路基板の配線導体に接続される。
ルト合金や鉄−ニッケル合金等の金属材料から成り、基
体1への固定は、基体1に外部リード端子6より若干大
きな径の孔をあけておき、この孔にリング状のガラスか
ら成る絶縁部材7と外部リード端子6とを挿通させ、し
かる後、ガラスから成る絶縁部材7を加熱溶融させるこ
とによって行なわれる。
ケルめっき層や金めっき層等の耐食性に優れ、かつボン
ディングワイヤ8との接続性および半田との濡れ性に優
れる金属層を1〜20μmの厚みに被着させておくと、外
部リード端子6の酸化腐食が有効に防止されるとともに
外部リード端子6とボンディングワイヤ8との接続およ
び外部リード端子6と外部電気回路との接続を容易かつ
強固なものとなすことができる。従って、外部リード端
子6は、その表面にニッケルめっき層や金めっき層等の
耐食性に優れ、かつボンディングワイヤ8との接続性お
よび半田との濡れ性に優れるめっき金属層を1〜20μm
の厚みに被着させておくことが好ましい。
が載置される載置部1aを囲繞するようにして枠体2が
接合されており、この枠体2の内側に光半導体素子4を
収容するための空所が形成される。
鉄−ニッケル合金等の金属材料から成り、例えば鉄−ニ
ッケル−コバルト合金等のインゴットに圧延加工やプレ
ス加工等の金属加工を施すことにより所定の枠状に形成
され、枠体2の基体1への取着は、基体1の上面と枠体
2の下面とを銀ろう等のろう材を介しろう付けすること
によって行なわれる。
けてあり、貫通孔2aには例えば鉄−ニッケル−コバル
ト合金や鉄−ニッケル合金等の金属材料から成る筒状の
金属製固定部材9が挿入固定されている。
部材10が、例えば枠体2の側部と一致する位置に挿入固
定されており、また外側端部からは光ファイバ11が挿入
固定される。光ファイバ11は円柱状レンズ部材10を介し
て光半導体素子4と対向するようにして挿入固定され、
これにより光ファイバ11と光半導体素子4との間で光信
号の授受を行ない得るようになっている。
と一致する位置に円柱状レンズ部材10を挿入固定された
場合には、金属製固定部材9の内側端部を枠体2内に大
きく突出させる必要はなく、従って、その分基体1およ
び枠体2を小さいものとして光半導体装置の小型化を実
現することができる。
心軸に向けて全周にわたり所定高さで突出し、かつ円柱
状レンズ部材10の長さより短い幅のリング状の突出部9
aが設けてあり、円柱状レンズ部材10は中央部の外周面
のみが金−錫合金等のろう材を介してこの突出部9aの
内周面に固定されている。
レンズ部材10の長さより短い幅のリング状の突出部9a
を有していることから、後述するように円柱状レンズ部
材10を金属製固定部材9内にろう材を介して挿着する際
に円柱状レンズ部材10の両端を突出部9aからはみ出さ
せて中央部の外周面のみをろう付け固定することによ
り、円柱状レンズ部材10の両端近傍外周面をろう付けし
ないで固定することが容易となる。
部材10の熱膨張係数に近似する熱膨張係数を有する材料
で形成しておくと、金属製固定部材9に円柱状レンズ部
材10を金−錫合金等のろう材を介して固定する際に、円
柱状レンズ部材10に印加される熱応力を小さいものとな
すことができる。従って、金属製固定部材9は、円柱状
レンズ部材10の熱膨張係数に近似する熱膨張係数を有す
る材料で形成することが好ましく、具体的には50Ni−
Fe合金等の熱膨張係数が10×10-6/℃程度の金属材料
を使用することが好ましい。
ケルや金等の耐食性に優れる金属層をめっき法により1
〜20μmの厚みに被着させておくと、金属製固定部材9
が酸化腐食するのを有効に防止することができる。従っ
て、金属製固定部材9はその表面にニッケルや金等の耐
食性に優れる金属を1〜20μmの厚みに被着させておく
ことが好ましい。
レンズ部材10は、ガラスから成り、その屈折率を中心軸
から外周側に向けて小さくなるように変化させることに
よりレンズ機能を持たせたものであり、金属製固定部材
9の内側空所を塞いで容器の封止の気密性を保持すると
ともに容器内部に収容された光半導体素子4の励起する
光を透過集光させて光ファイバ11に授受させる作用をな
す。
金属製固定部材9のリング状突出部9aからはみ出すよ
うにして金属製固定部材9内に挿入固定されており、そ
の両端近傍を除いた中央部の外周面のみが金属製固定部
材9のリング状突出部9aの内周面に金−錫合金等のろ
う材を介してろう付け固定されている。
周面がろう付けされていないことから、円柱状レンズ部
材10を金属製固定部材9にろう付けする際にろう付けの
応力が円柱状レンズ部材10の端面と外周面との間の角部
に直接印加されることはない。従って、この角部に大き
な応力が集中して内在するようなことはなく、光半導体
素子4が作動時に発生する熱による応力が繰り返し印加
されたとしても、この応力が前記内在する応力と相乗し
て円柱状レンズ部材10にクラックを発生させることはな
い。
材9にろう付けするには、円柱状レンズ部材10の外周面
にTi・Pt・Auから成る金属薄膜を従来周知の蒸着
法・スパッタリング法等の薄膜形成技術を採用して順次
被着させるとともに、この金属薄膜と金属製固定部材9
のリング状突出部9aの内周面とを金−錫合金等のろう
材を介してろう付けする方法が採用される。
金属製固定部材9のリング状突出部9aからはみ出す幅
が0.3 mm未満であると、円柱状レンズ部材10を金属製
固定部材9にろう付けする際にろう材の溜りが円柱状レ
ンズ部材10の端面と外周面との間の角部に達し、その結
果、ろう付けの応力がこの角部に直接作用して大きく内
在し、これが光半導体素子4が作動時に発生する熱によ
る熱応力と相乗して円柱状レンズ部材10にクラックを発
生させてしまい易い傾向にある。従って、円柱状レンズ
部材10は、その両端が金属製固定部材9のリング状突出
部9aから0.3mm以上はみ出すようにしてろう付け固
定されることが好ましい。
レンズ部材10の中央部の外周面のみをろう材を介して固
定するには、必ずしもリング状突出部9aを設けなけれ
ばならないものではなく、従来の金属製固定部材のよう
にリング状突出部を有しない内周面に中央部の外周面の
みを直接にろう材を介して固定してもよいことは勿論で
ある。この場合、例えば円柱状レンズ部材10の中央部の
外周面のみに前記金属薄膜を被着させておき、金−錫合
金等のろう材を付与した金属製固定部材9の内周面に挿
入して円柱状レンズ部材10の外周面と金属製固定部材9
の内周面とを当接させてろう付けすればよい。
の固定は、例えば光ファイバ11に金属製フランジ11aを
予め取着しておくとともにこのフランジ11aを金属製固
定部材9の外側端部にレーザ溶接すること等によって行
なわれる。
枠体2の貫通孔2aの内径より0.1〜1mm程度小さく
なっており、枠体2の貫通孔2a内面との間に0.05〜0.
5 mm程度の間隙を有するようにして、鉄−ニッケル−
コバルト合金等の金属からなるリング状の接合用金具12
を介して枠体2にろう付け固定されている。
内周面との間に0.05〜0.5 mm程度の間隙を有するよう
にして固定されていることから、光半導体素子4が作動
時に発生する熱等により枠体2が熱膨張や熱収縮しても
この熱膨張や熱収縮による応力は、金属製固定部材9の
円柱状レンズ部材10が固定された部位に印加されること
はない。従って、この応力が円柱状レンズ部材10を金属
製固定部材9にろう付け固定する際に円柱状レンズ部材
10に内在される応力等と相乗して円柱状レンズ部材10に
クラックを発生させることはない。
2aの内周面との間の間隙が0.05mm未満であると、金
属製固定部材9を枠体2にろう付け固定する際にろう材
の一部が毛管現象により金属製固定部材9の外周面と枠
体2の貫通孔2aの内周面との間隙に入り込んでこの間
隙を埋めてしまう危険性が大きなものとなる傾向があ
る。従って、金属製固定部材9と枠体2の貫通孔2aの
内周面との間の間隙は、0.05mm以上であることが好ま
しい。
るには、金属製固定部材9を枠体2の貫通孔2a内に挿
入するとともに金属製固定部材9の外側端部と接合用金
具12とを、および接合用金具12と枠体2の外側面とを銀
ろう等のろう材を介してろう付けすることによって貫通
孔2aの内面との間に0.05〜0.5 mm程度の間隙を有す
るようにして固定される。
け固定する場合、必ずしも接合用金具12を介在させる必
要はない。この場合、例えば金属製固定部材9の外側端
部に金属製固定部材9の中心軸から外側に向けて広がる
ようなフランジ部を一体成型により形状としておくとと
もにこのフランジ部を枠体2の外周面に銀ろう等のろう
材を介してろう付け固定するようにしてもよい。
ケル−コバルト合金や鉄−ニッケル合金等の金属材料か
ら成る蓋体3が接合され、これによって基体1と枠体2
と蓋体3とから成る容器の内部に光半導体素子4が気密
に封止されることとなる。
えばシームウエルド法等の溶接法によって行なわれる。
ケージによれば、基体1の載置部1aに光半導体素子4
を間にペルチェ素子5等を挟んで載置固定するとともに
光半導体素子4の各電極をボンディングワイヤ8を介し
て外部リード端子6に電気的に接続し、次に枠体2の上
面に蓋体3を接合させ、基体1と枠体2と蓋体3とから
成る容器内部に光半導体素子4を収容し、最後に枠体2
に挿入固定された金属製固定部材9に光ファイバ11を挿
入固定することによって最終製品としての光半導体装置
となり、外部電気回路から供給される駆動信号によつて
光半導体素子4に光を励起させ、この励起した光を円柱
状レンズ部材10を通して光ファイバ11に集光授受させる
とともに光ファイバ11内を伝達させることによって高速
光通信等に使用される。
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であ
れば種々の変更は可能である。例えば、上述の実施の形
態の例では外部リード端子6を基体1に固定したが、こ
れを枠体2に固定してもよい。
によれば、円柱状レンズ部材は、その中央部の外周面の
みが金属製固定部材の内周面にろう材を介して固定され
ており、その両端近傍の外周面がろう付けされていない
ことから、円柱状レンズ部材を金属製固定部材にろう付
けする際にろう付けに伴う応力が円柱状レンズ部材の外
周面と端面との間の角部に直接作用することはない。従
って、この角部に応力が大きく集中して内在することは
ない。さらに、金属製固定部材は枠体の貫通孔の内周面
との間に間隙を有して固定されていることから、光半導
体素子が作動時に発生する熱等により金属製固定部材お
よび枠体ならびに円柱状レンズ部材が熱膨張や熱収縮し
ても、枠体の熱膨張や熱収縮に伴う応力は金属製固定部
材の円柱状レンズ部材が固定されている部位には印加さ
れず、従って、これが円柱状レンズ部材に印加されるこ
とはない。このため、これに光半導体素子が作動時に発
生する熱が繰り返し印加されたとしても、この熱による
応力が前記内在する応力と相乗して円柱状レンズ部材に
クラックを発生させることはない。その結果、光半導体
素子が励起した光を円柱状レンズ部材を介して光ファイ
バに良好に授受させることができるとともに内部に収容
する光半導体素子を長期間にわたり正常かつ安定に作動
させることができる。
ージによれば、円柱状レンズ部材を枠体の側部と一致す
る位置に固定した場合には、枠体の熱膨張や熱収縮に伴
う応力が円柱状レンズ部材に印加されることがない状態
でこの円柱状レンズ部材が固定される金属製固定部材の
内側端部を枠体内に大きく突出させる必要がないものと
できるので、その分枠体内の空所を広いものとすること
ができ、基体および枠体を小さなものとすることができ
る。
の形態の一例を示す断面図である。
部拡大断面図である。
である。
Claims (2)
- 【請求項1】 上面に光半導体素子が載置される載置部
を有する基体と、該基体上面に前記載置部を囲繞するよ
うに取着され、側部に貫通孔が設けられた枠体と、前記
貫通孔に挿入固定され、枠体の外側端部に光ファイバが
挿入固定される筒状の金属製固定部材と、該金属製固定
部材の内側に挿入固定された円柱状レンズ部材と、前記
枠体の上面に取着され、前記光半導体素子を気密に封止
する蓋体とから成る光半導体素子収納用パッケージであ
って、前記円柱状レンズ部材はその中央部の外周面のみ
が前記金属製固定部材の内周面にろう材を介して固定さ
れており、かつ前記金属製固定部材は前記貫通孔の内周
面との間に間隙を有して固定されていることを特徴とす
る光半導体素子収納用パッケージ。 - 【請求項2】 請求項1記載の光半導体素子収納用パッ
ケージにおいて、前記金属製固定部材はその内周面に前
記円柱状レンズ部材の長さより短い幅のリング状突出部
を有しており、該リング状突出部の内周面に前記円柱状
レンズ部材が固定されていることを特徴とする光半導体
素子収納用パッケージ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35585097A JP3502756B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 光半導体素子収納用パッケージ |
US09/163,080 US6031253A (en) | 1997-09-30 | 1998-09-29 | Package for housing photosemiconductor device |
FR9812235A FR2769100B1 (fr) | 1997-09-30 | 1998-09-30 | Boitier pour dispositif photosemi-conducteur |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35585097A JP3502756B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 光半導体素子収納用パッケージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH11186424A true JPH11186424A (ja) | 1999-07-09 |
JP3502756B2 JP3502756B2 (ja) | 2004-03-02 |
Family
ID=18446055
Family Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007273822A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の接続構造 |
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1997
- 1997-12-24 JP JP35585097A patent/JP3502756B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007273822A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の接続構造 |
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JP3502756B2 (ja) | 2004-03-02 |
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