JP3898521B2 - 光半導体素子収納用パッケージ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザ(LD),フォトダイオード(PD)等の光半導体素子を収納する光半導体素子収納用パッケージに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の光半導体素子収納用パッケージ(以下、光半導体パッケージともいう)を図2に示す。同図のように、光半導体パッケージは、上面にLD,PD等の光半導体素子105が載置される載置部101aを有する鉄(Fe)−ニッケル(Ni)−コバルト(Co)合金や銅(Cu)−タングステン(W)合金から成り、略四角形の板状体である基体101と、載置部101aを囲繞するようにして基体101上に銀ロウ等のロウ材を介して取着され、光信号の授受を行うための貫通孔102aを有する枠体102と、枠体102の上面に接合されて光半導体素子105を気密封止する蓋体104とから主に構成されている。
【0003】
また、枠体102の側部には、枠体102の貫通孔102aに嵌入接合された筒状の固定部材103が設けられている。また、固定部材103には、その枠体102外側の端面に外周部が接合されるとともに一端面中央部に円筒部103cを有する透光性部材103aの保持部材103cが設けられている。保持部材103cの円筒部の内側に集光レンズ等用の球状の透光性部材103aが取着されている。さらに、枠体102の他の側部には貫通孔または切欠きから成る入出力端子の取付部が形成されており、光半導体素子105に駆動用の高周波信号を入出力させるための入出力端子(セラミック端子)(図示せず)が取り付けられている。その入出力端子は、枠体102の内外を導出するメタライズ層から成る線路導体を有し、その線路導体の枠体102外側の部位に外部リード端子が接続されている。
【0004】
そして、基体102の載置部101aに回路基板等を搭載した基台108を介して光半導体素子105を接着固定するとともに、光半導体素子105の各電極をボンディングワイヤを介して入出力端子の線路導体に接続することにより外部リード端子に電気的に接続し、次に枠体102の上面に蓋体104を取着し、基体101と枠体102と蓋体104とから成る容器内部に光半導体素子105を収容し、最後に固定部材103に、光ファイバ106の端部に取着されたステンレススチールから成るフランジ107をYAGレーザ光の照射によるレーザ溶接によって接合し、光ファイバ106を固定部材103に固定することによって、製品としての光半導体装置になる。
【0005】
この光半導体装置は、外部電気回路から供給される駆動信号によって光半導体素子105に光を励起させ、励起された光を光ファイバ106を介して外部に伝達することによって高速通信等に使用される。
【0006】
なお、このような光半導体パッケージは、基体101や枠体102の表面に予め金(Au)メッキが施されており、基体101と枠体102の酸化腐食を有効に防止するとともに、光半導体素子105を載置部101aに強固に接合することができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の光半導体パッケージにおいては、保持部材103cの円筒部の枠体102外側となる他端面の開口が小さいため、保持部材103cに透光性部材103aを接合した状態でスパッタリング法等の薄膜形成法により、上記開口側から透光性部材103aに反射防止膜を形成することが困難であるという問題点があった。即ち、薄膜形成装置内において薄膜材料を上記開口側から入り込ませて反射防止膜を形成しようとしても、開口が小さいため透光性部材103aの表面に光を十分に透過させ得るような有効径の反射防止膜が形成されないのである。
【0008】
また、透光性部材103aを円筒部の内側に低融点ガラスで接合し、固定部材103の枠体102外側の端面103bに保持部材103cの外周部を低融点ロウ材で接合した際に、透光性部材103aに近い円筒部の外周面にロウ材溜まりが生じ易くなる。その結果、透光性部材103aにロウ材溜まりを介して大きな応力が加わり、透光性部材103aが外れたり光半導体パッケージ内の気密が破れるという問題点があった。また、透光性部材103aに加わる応力により透光性部材103aに歪みが生じ、透光性部材103aに複屈折あるいは屈折率の分布が生じて焦点等が変化し、光学特性が劣化するという問題点もあった。
【0009】
従って、本発明は上記問題点に鑑み完成されたもので、その目的は、透光性部材の表面に反射防止膜を十分な光量が透過できる有効径でもって確実に形成し、固定部材の端面に保持部材の外周部を低融点ロウ材で接合する際に応力がかかって透光性部材が外れたり、光半導体パッケージ内の気密が破れるという問題点を解消することである。また、透光性部材に加わる応力により透光性部材に歪みが生じ、透光性部材に複屈折あるいは屈折率の分布が生じて焦点等が変化して光学特性が劣化するのを防ぐことにより、光半導体素子から発振されたレーザ光等の光ファイバ内の伝送特性や光半導体パッケージ内部の気密性を良好にすることである。そして、光半導体素子を長期にわたり正常かつ安定に作動させ得る光半導体パッケージを提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、上面に光半導体素子が載置される載置部を有する基体と、側部に貫通孔を有するとともに前記基体の上面に前記載置部を囲繞するように取着された枠体と、前記貫通孔に嵌着された円筒状の固定部材と、該固定部材の前記枠体外側の端面に外周部が接合されるとともに一端面中央部に前記枠体内側に向けて突出した円筒部が形成されている略円板状の透光性部材の保持部材と、該保持部材の前記円筒部の内周面に接合された球状の透光性部材とを具備した光半導体素子収納用パッケージにおいて、前記保持部材は、前記円筒部の内周面と他端面との間の稜部が前記円筒部の内周面に対する角度が45°以上85°以下の面取り部とされており、かつ前記円筒部の外周面と前記固定部材の内周面との間の間隔が0.5mm以上3mm以下であることを特徴とする。
【0011】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、上記の構成により、透光性部材の表面に十分な光量を透過させ得る有効径でもって反射防止膜を確実に形成できるとともに、透光性部材を保持部材に低融点ガラスで接合してから固定部材の端面に保持部材の外周部を低融点ロウ材で接合する際に応力がかかって透光性部材が外れたり、光半導体パッケージ内の気密が破れるという問題点を解消できる。
【0012】
また、透光性部材に加わる応力により透光性部材に歪みが生じ、透光性部材に複屈折あるいは屈折率の分布が生じて焦点等が変化して光学特性が劣化するのを抑制することにより、光半導体素子から発振された光の光ファイバ内の伝送特性や光半導体パッケージ内部の気密性を良好にすることができる。その結果、光半導体素子を長期にわたり正常かつ安定に作動させ得る光半導体パッケージを提供することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の光半導体素子収納用パッケージについて以下に詳細に説明する。図1は本発明の光半導体パッケージの断面図である。同図に示すように、本発明の光半導体パッケージは、上面にLD,PD等の光半導体素子5が載置される載置部1aを有するFe−Ni−Co合金やCu−W合金から成り、略四角形の板状体である基体1と、載置部1aを囲繞するように基体1の上面に銀ロウ等のロウ材で取着され、光信号の授受を行うための貫通孔2aを有する枠体2と、枠体2の上面に接合されて光半導体素子5を気密封止する蓋体4とから主に構成される。
【0014】
枠体2の側部には、枠体2の貫通孔2aに嵌入接合されるとともに、略円板状の保持部材3cの外周部が端面3bに接合された筒状の固定部材3が設けられており、保持部材3cの円筒部の内側に集光レンズ等用の球状の透光性部材3aが取着されている。また、枠体2の他の側部には貫通孔または切欠きから成る入出力端子の取付部に、光半導体素子5に駆動用の高周波信号を入出力させるための入出力端子(セラミック端子)(図示せず)が取り付けられている。その入出力端子は、枠体2の内外を導通するメタライズ層から成る線路導体を有し、その線路導体の枠体2の外側の部位に外部リード端子が接合されている。
【0015】
そして、基体1の載置部1aに回路基板等を搭載した基台8を介して光半導体素子5を接着固定するとともに、光半導体素子5の各電極をボンディングワイヤを介して入出力端子の線路導体に接続することにより外部リード端子に電気的に接続し、次に枠体2の上面に蓋体4を取着し、基体1と枠体2と蓋体4とから成る容器内部に光半導体素子5を収容する。
【0016】
本発明の基体1は、Fe−Ni−Co合金やCu−Wの焼結材等から成り、そのインゴット(塊)に圧延加工や打ち抜き加工等の従来周知の金属加工法を施したり、射出成形と切削加工を施すことによって所定の形状に製作される。その上面の略中央部には、LD,PD等の光半導体素子5を基台8を介して載置するための載置部1aが設けられており、載置部1aには、光半導体素子5を半田等の接合材により上面に接合した基台8が接着剤、低融点ガラス、半田等を介して載置固定される。光半導体素子5は、その電極が入出力端子の線路導体にボンディングワイヤ等を介して電気的に接続されている。
【0017】
基体1は、その表面に耐蝕性に優れかつロウ材の濡れ性に優れる金属、具体的には0.5〜9μmのNi層と厚さ0.5〜5μmのAu層を順次メッキ法により被着させておくのがよく、基体1の酸化腐食を有効に防止できる。
【0018】
また、基体1の上面の外周部には載置部1aを囲繞するようにして枠体2が立設されており、枠体2は基体1とともにその内側に光半導体素子5を収容する空所を形成する。枠体2は基体1と同様にFe−Ni−Co合金やCu−Wの焼結材等の金属から成り、基体1と一体成形されることによって、または基体1に銀ロウ等のロウ材を介してろう付けされたり、シーム溶接法等の溶接法により接合されることによって、基体1の上面の外周部に立設される。また枠体2は、その表面に耐蝕性に優れかつロウ材の濡れ性に優れる金属、具体的には0.5〜9μmのNi層と厚さ0.5〜5μmのAu層を順次メッキ法により被着させておくのがよく、枠体2の酸化腐食を有効に防止できる。
【0019】
この枠体2の側部には入出力端子の取付部が形成されており、この取付部には、光半導体素子5と外部電気回路との高周波信号の入出力を行うとともに光半導体パッケージ内外を気密に塞ぐ機能を有する入出力端子が、これに形成されているメタライズ層を介して銀ロウ等のロウ材で接合される。
【0020】
また、枠体2は他の側部に貫通孔2aが設けられており、貫通孔2aに筒状の固定部材3が嵌着接合されている。この固定部材3は、外周面が銀ロウ等のロウ材により気密に接合されており、光ファイバ6が光半導体素子5と対向するようにフランジ7を介して接合され、これにより光ファイバ6と光半導体素子5との間で光信号の授受が行なわれる。この固定部材3は、Fe−Ni−Co合金やFe−Ni合金等から成り、枠体2外側となる端面3bに透光性部材3aの保持部材3cが接合され、保持部材3cの枠体2外側となる他端面にはフランジ7が固定される。保持部材3cは、Au−Sn(錫)合金等から成る低融点ロウ材で接合される。
【0021】
固定部材3は、その表面に耐蝕性に優れかつロウ材の濡れ性に優れる金属、具体的には0.5〜9μmのNi層と厚さ0.5〜5μmのAu層を順次メッキ法により被着させておくのがよく、固定部材3の酸化腐食を有効に防止できる。また、保持部材3cの円筒部の内側で枠体2内側の端部には、球状の透光性部材3aが低融点ガラスを介して接合されている。この透光性部材3aは、非晶質ガラスから成り、円筒部との接合部が低融点ガラスで接合されている。また、透光性部材3aの表面で光半導体素子5の光軸を中心とした略円形の光透過部には、透過する光信号の波長に合わせて厚さや屈折率が適宜選択された反射防止膜が施されている。
【0022】
保持部材3cは、図3に示すように、円筒部の内周面と枠体2外側の主面との間の稜部が円筒部の内周面に対する角度θが45°以上の面取り部とされている。45°未満では、透光性部材3aの表面に十分な光量を透過させ得る有効径でもって反射防止膜を確実に形成するのが困難になる。また、角度θは85°以下がよく、85°を超えると、面取り部が保持部材3cの枠体2外側となる他端面に略平行になるため、有効径となるような反射防止膜を形成することが困難になる。
【0023】
また、保持部材3cの円筒部の外周面と固定部材3の内周面との間の間隔Xは0.5mm以上である。0.5mm未満では、透光性部材3aを保持部材3cに低融点ガラスで接合した後、固定部材3の端面3bに保持部材3cの外周部を低融点ロウ材で接合する際に、保持部材3cの円筒部の外周面と固定部材3の内周面との間にロウ材溜まりが形成されてこの隙間がロウ材で埋まってしまい易くなる。すると、固定部材3と保持部材3cと低融点ロウ材の熱膨張係数の違いにより発生した応力が透光性部材3aに加わり、透光性部材3aが外れたり、透光性部材3aにクラックが発生する。その結果、光半導体パッケージ自体の気密性が破れることになる。また、間隔Xは3mm以下がよく、3mmを超えると、光半導体パッケージ自体の大型重量化につながり易くなる。
【0024】
【実施例】
本発明の光半導体素子収納用パッケージの実施例を以下に説明する。
先ず、図1の本発明の光半導体パッケージを以下の工程[1]〜[6]のようにして作製した。
【0025】
[1]縦約13mm×横約30mm×厚さ約1mmのCu−W合金から成る略四角形の基体1の上面の外周部に、載置部1aを囲むように、縦約13mm×横約20mmのFe−Ni−Co合金から成る平面視形状が略四角形の枠体2を銀ロウで接合した。なお、基体1および枠体2の表面には厚さ約2μmのNiメッキ層および厚さ約0.5μmのAuメッキ層が順次被着されており、また枠体2の側部には入出力端子の取付部、その側部に隣接する他の側部に円形の貫通孔2aが形成されている。
【0026】
[2]枠体2の入出力端子の取付部に、アルミナセラミックスから成るとともに、枠体2内外を導通するようにMo−Mnのメタライズ層上に厚さ約2μmのNiメッキ層および厚さ約0.5μmのAuメッキ層を順次被着して成る線路導体を形成した入出力端子を、銀ロウで嵌着接合した。
【0027】
[3]枠体2の貫通孔2aにFe−Ni−Co合金からなる円筒状の固定部材3を銀ロウで嵌着接合し、固定部材3の枠体2外側の端面3bに、円筒部の内側に非晶質ガラスから成る球状の透光性部材3aを低融点ガラスで接合した保持部材3cの外周部を、Au−Sn合金ロウ材で接合した。なお、固定部材3の表面には、厚さ約2μmのNiメッキ層および厚さ約0.5μmのAuメッキ層を順次被着してある。
【0028】
[4]LDである光半導体素子5を、載置部1a上に接着されたアルミナセラミックスから成る基台8の上面にAu−Siロウ材で載置接合するとともに、光半導体素子5の電極を入出力端子の線路導体の枠体2内側にボンディングワイヤで接続した。
【0029】
[5]固定部材3の端面3bに接合された保持部材3における枠体2外側の端面に、光ファイバ6の一端部が樹脂接着剤で接着されたホルダ7を、YAGレーザ溶接で接合し、光半導体パッケージと成した。
【0030】
[6]枠体2の上面にFe−Ni−Co合金から成る蓋体4をシーム溶接法で接合し、光半導体装置と成した。
【0031】
上記工程[3]のようにして、直径約2mmの球状の透光性部材3aを低融点ガラスで接合した個体の保持部材3cについて、図3に示した面取り部の角度θが35°(サンプルA),40°(サンプルB),45°(サンプルC),50(サンプルD)°,55°(サンプルE)である5種の保持部材3cを各10個ずつ作製した。これらの保持部材3cについて、反射防止膜を透光性部材3aの両側(枠体2内側および枠体2外側)に形成して、反射防止膜の形成状態を確認した。その結果、サンプルC〜Eでは、10個中10個について、両側とも有効径(約1mm)以上となるような大きな面積で反射防止膜が良好に形成された。サンプルA,Bでは、透光性部材3aの枠体2外側の表面に反射防止膜を10個中10個とも形成できなかった。
【0032】
次に、上記工程[1]〜[6]によって作製した光半導体装置について、面取り部の角度θが45°(サンプルC)である保持部材3cであって、その円筒部の外周面と固定部材3の内周面との間の間隔Xが0.3mm(サンプルF),0.4mm(サンプルG),0.5mm(サンプルH),0.6mm(サンプルI),0.7mm(サンプルJ)である5種(各10個)の保持部材3cを用いた光半導体装置を用意した。
【0033】
これらの光半導体装置について、Heリーク試験(MIL−STD−883)による気密性を評価した。その結果、サンプルH〜Jは気密不良は皆無であった。サンプルFは10個中2個に気密不良が発生した。サンプルGは10個中1個に気密不良が発生した。
【0034】
なお、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を施すことは何ら差し支えない。
【0035】
【発明の効果】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、筒状の固定部材の枠体外側の端面に外周部が接合された略円板状の透光性部材の保持部材は、その円筒部の内周面と枠体外側となる他端面との間の稜部が円筒部の内周面に対する角度が45°以上85°以下の面取り部とされており、かつ円筒部の外周面と固定部材の内周面との間の間隔が0.5mm以上3mm以下であることにより、透光性部材の表面に十分な光量を透過させ得る有効径でもって反射防止膜を確実に形成できるとともに、透光性部材を保持部材に低融点ガラスで接合してから固定部材の端面に保持部材の外周部を低融点ロウ材で接合する際に応力がかかって透光性部材が外れたり、光半導体パッケージ内の気密が破れるという問題点を解消できる。
【0036】
また、透光性部材に加わる応力により透光性部材に歪みが生じ、透光性部材に複屈折あるいは屈折率の分布が生じて焦点等が変化して光学特性が劣化するのを抑制することにより、光半導体素子から発振された光の光ファイバ内の伝送特性や光半導体パッケージ内部の気密性を良好にすることができる。その結果、光半導体素子を長期にわたり正常かつ安定に作動させ得る光半導体素子収納用パッケージを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光半導体素子収納用パッケージについて実施の形態の例を示す断面図である。
【図2】従来の光半導体素子収納用パッケージの例の断面図である。
【図3】図1の光半導体素子収納用パッケージにおける固定部材および保持部材を示す部分拡大断面図である。
【符号の説明】
1:基体
1a:載置部
2:枠体
2a:貫通孔
3:固定部材
3a:透光性部材
3b:端面
3c:保持部材
5:光半導体素子
Claims (1)
- 上面に光半導体素子が載置される載置部を有する基体と、側部に貫通孔を有するとともに前記基体の上面に前記載置部を囲繞するように取着された枠体と、前記貫通孔に嵌着された円筒状の固定部材と、該固定部材の前記枠体外側の端面に外周部が接合されるとともに一端面中央部に前記枠体内側に向けて突出した円筒部が形成されている略円板状の透光性部材の保持部材と、該保持部材の前記円筒部の内周面に接合された球状の透光性部材とを具備した光半導体素子収納用パッケージにおいて、前記保持部材は、前記円筒部の内周面と他端面との間の稜部が前記円筒部の内周面に対する角度が45°以上85°以下の面取り部とされており、かつ前記円筒部の外周面と前記固定部材の内周面との間の間隔が0.5mm以上3mm以下であることを特徴とする光半導体素子収納用パッケージ。
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