JPH11185213A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ギャップが所定のアジマス角を有するＭ
ＩＧ型の磁気ヘッドにおいて、金属磁性膜の剥離等の無
い磁気ヘッド及びその製造方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 本発明の磁気ヘッドは、金属磁性膜が磁
性体上に形成されてなる第１の磁気コア半体と、金属磁
性膜が磁性体上に形成されてなる第２の磁気コア半体と
を、磁気ギャップとなる非磁性膜を介して突き合わせて
接合してなる。この磁気ヘッドは、第１及び第２の磁気
コア半体の、突き合わせ面の両側が切り欠かれて切り欠
き面とされているとともに、これらの切り欠き面のうち
の少なくとも一方が、少なくとも１箇所の屈曲部を有し
た屈曲面とされている。そして、第１の磁気コア半体と
第２の磁気コア半体とは、それぞれの切り欠き面が対向
するとともに磁気ギャップが所定のアジマス角を有する
ように突き合わされて接合されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属磁性膜が磁性
体上に形成されてなる一対の磁気コア半体を、磁気ギャ
ップとなる非磁性膜を介して突き合わせて接合してなる
磁気ヘッド及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年において、磁気記録の高記録密度化
に対する要請が益々高まりつつある。この要請に応える
有効な手法の一つとして、磁性基板上に当該磁性基板よ
りも高飽和磁束密度材料からなる金属磁性膜が形成され
た一対の磁気コア半体が、磁気ギャップとなる非磁性膜
を介して突き合わされ、融着ガラスにて接合一体化され
てなるいわゆるメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッド
（以下、ＭＩＧヘッドと称する。）が提案されている。

【０００３】以下、このようなＭＩＧヘッドの製造工程
について簡単に説明する。

【０００４】ＭＩＧヘッドを製造する際は、先ず、平面
研削盤等を用いてフェライト等からなる磁性基板の平面
出しを行う。次に、平面出しが行われた磁性基板に、ス
ライサ等を用いて巻線溝及びガラス溝を形成し、さらに
上記巻線溝及びガラス溝に略直交する方向にトラック幅
規制溝を形成する。次に、巻線溝、ガラス溝及びトラッ
ク幅規制溝が形成された磁性基板の表面に、ポリッシン
グ等により鏡面加工を施す。次に、磁性基板の表面にス
パッタ法等によって金属磁性膜を成膜し、さらに、金属
磁性膜の上にスパッタ法によって、磁気ギャップとなる
非磁性膜を成膜する。ここで、磁性基板及び金属磁性膜
は、完成されたＭＩＧヘッドにおいて磁気コアとして機
能するものである。

【０００５】次に、金属磁性膜及び非磁性膜が成膜され
た磁性基板を一対用意し、これらの磁性基板を、非磁性
膜を介して金属磁性膜が対向するように接合して磁気ヘ
ッドブロックとする。ここで、一対の磁性基板を接合す
る際は、円筒形状の低融点の融着ガラスを巻線溝とガラ
ス溝とにそれぞれ通し、これらの磁性基板を圧着しなが
ら５００℃〜７００℃に加熱する。これにより、一対の
磁性基板が接合されるとともに、トラック幅規制溝内が
融着ガラスによって埋められることとなる。次に、磁気
ヘッドブロックを平面研削盤等によって所定の厚みに形
成した上で、磁気ヘッドブロックに円筒研削を施して媒
体摺動面を形成する。次に、磁気ヘッドブロックに対し
て巻線ガイド加工や当たり幅加工等を施した上で、目的
とするＭＩＧヘッドのチップ厚、チップ長となるように
磁気ヘッドブロックを切断する。

【０００６】以上の工程により、磁性基板の突き合わせ
面に金属磁性膜が成膜されてなる一対の磁気コア半体
が、非磁性膜膜を介して当該金属磁性膜が対向するよう
に接合されてなるＭＩＧヘッドが完成する。

【０００７】ところで、一般に、磁気ヘッドが搭載され
ているビデオテープレコーダ等の磁気記録システムにお
いては、その消費電力を低値に抑えるために、当該磁気
ヘッドのいわゆる最適記録電流値を低くする必要があ
る。ＭＩＧヘッドの場合では、金属磁性膜の膜厚を大き
くすることが、最適記録電流値を低くするためには有効
である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記金
属磁性膜の膜厚を大きくすると、当該金属磁性膜の残留
歪みの影響により、一対の磁気コア半体を接合、切断す
る際に、融着ガラスのひび割れ、金属磁性膜の剥離等の
損傷が発生しやすくなり、製品の歩留まり及び信頼性の
著しい低下が生じるという問題がある。

【０００９】そこで、図２３に示すように、磁性基板１
００にトラック幅規制溝１０１を形成する際、トラック
幅規制溝の側面１０１ａの、傾斜角θを小さくして、ト
ラック幅規制溝１０１の側面１０１ａ部分に形成される
金属磁性膜１０２の厚みを薄くすることにより、金属磁
性膜１０２にかかる応力を小さくして、金属磁性膜１０
２の剥離、融着ガラスのひび割れ等を防止する方法が提
案されている。

【００１０】しかしながら、トラック幅規制溝の側面１
０１ａの傾斜角θを小さくした場合には、磁気ギャップ
が所定のアジマス角を有するように磁性基板１００を切
断すると、磁気ギャップ近傍を拡大した図２４に示すよ
うに、従来のＭＩＧヘッド１０３では、媒体摺動面にト
ラック幅規制溝１０１の底部の折り返し１０４が表れて
しまう。このように媒体摺動面にトラック幅規制溝１０
１の折り返し１０４が表れると、隣接トラックとのクロ
ストークが問題となる。

【００１１】本発明は上述したような従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、磁気ギャップが所定のアジマ
ス角を有するＭＩＧ型の磁気ヘッドにおいて、金属磁性
膜の剥離等の無い磁気ヘッド及びその製造方法を提供す
ることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
金属磁性膜が磁性体上に形成されてなる第１の磁気コア
半体と、金属磁性膜が磁性体上に形成されてなる第２の
磁気コア半体とを、磁気ギャップとなる非磁性膜を介し
て突き合わせて接合してなる磁気ヘッドである。そし
て、この磁気ヘッドは、第１の磁気コア半体の、第２の
磁気コア半体との突き合わせ面の両側が切り欠かれて切
り欠き面とされているとともに、これらの切り欠き面の
うちの少なくとも一方が、少なくとも１箇所の屈曲部を
有した屈曲面とされている。また、この磁気ヘッドは、
第２の磁気コア半体の、第１の磁気コア半体との突き合
わせ面の両側が切り欠かれて切り欠き面とされていると
ともに、これらの切り欠き面のうちの少なくとも一方
が、少なくとも１箇所の屈曲部を有した屈曲面とされて
いる。そして、第１の磁気コア半体と第２の磁気コア半
体とは、それぞれの切り欠き面が対向するとともに磁気
ギャップが所定のアジマス角を有するように突き合わさ
れて接合されている。

【００１３】この磁気ヘッドでは、第１及び第２の磁気
コア半体の突き合わせ面の両側が切り欠かれて切り欠き
面とされているので、この切り欠き面によりトラック幅
が規制される。また、これらの切り欠き面のうちの一方
が、少なくとも１箇所の屈曲部を有した屈曲面とされて
いるので、磁気ヘッドにかかる応力がこの屈曲部により
緩和されて、金属磁性膜が剥離しない。さらに、この磁
気ヘッドでは、磁気ギャップがアジマス角を有していて
も、媒体摺動面に溝の折り返しが表れない。

【００１４】さらに、本発明の磁気ヘッドは、上記第１
及び第２の磁気コア半体の突き合わせ面における金属磁
性膜と磁性体との境界面が、上記磁気ギャップに対して
非平行とされていることが好ましい。この磁気ヘッドで
は、金属磁性膜と磁性体との境界面が上記磁気ギャップ
に対して非平行とされているので、疑似ギャップによる
疑似出力が抑えられる。

【００１５】本発明の磁気ヘッドは、金属磁性膜が磁性
体上に形成されてなる第１の磁気コア半体と、金属磁性
膜が磁性体上に形成されてなる第２の磁気コア半体と
を、磁気ギャップとなる非磁性膜を介して突き合わせて
接合してなる磁気ヘッドである。そして、本発明の磁気
ヘッドでは、第１の磁気コア半体は、第２の磁気コア半
体との突き合わせ面の両側が切り欠かれているととも
に、一方の側の切り欠き面に形成された金属磁性膜が、
他方の側の切り欠き面に形成された金属磁性膜よりも薄
く形成されている。また、第２の磁気コア半体は、第１
の磁気コア半体との突き合わせ面の両側が切り欠かれて
いるとともに、一方の側の切り欠き面に形成された金属
磁性膜が、他方の側の切り欠き面に形成された金属磁性
膜よりも薄く形成されている。そして、第１の磁気コア
半体と第２の磁気コア半体とは、第１の磁気コア半体の
金属磁性膜が薄く形成された側の切り欠き面と、第２の
磁気コア半体の金属磁性膜が厚く形成された側の切り欠
き面とが対向し、且つ、第１の磁気コア半体の金属磁性
膜が厚く形成された側の切り欠き面と、第２の磁気コア
半体の金属磁性膜が薄く形成された側の切り欠き面とが
対向するとともに、磁気ギャップが所定のアジマス角を
有するように突き合わされて接合されている。

【００１６】上述したような本発明に係る磁気ヘッドで
は、第１及び第２の磁気コア半体の突き合わせ面の両側
が切り欠かれて切り欠き面とされているので、この切り
欠き面によりトラック幅が規制される。また、この磁気
ヘッドでは、一方の側の切り欠き面に形成された金属磁
性膜が、他方の側の切り欠き面に形成された金属磁性膜
よりも薄く形成されているので、金属磁性膜にかかる応
力が小さくなり、金属磁性膜が剥離しない。さらに、こ
の磁気ヘッドでは、磁気ギャップがアジマス角を有して
いても、媒体摺動面に溝の折り返しが表れない。

【００１７】本発明の磁気ヘッドの製造方法は、一対の
磁性基板に対して側面に少なくとも１箇所の屈曲部を有
する溝を複数形成する溝形成工程と、上記溝形成工程で
溝が形成された一対の磁性基板上に金属磁性膜を成膜す
る成膜工程と、上記成膜工程で金属磁性膜が成膜された
一対の磁性基板をそれぞれの磁性基板に成膜された金属
磁性膜が対向するように磁気ギャップとなる非磁性膜を
介して突き合わせて接合する接合工程と、上記接合工程
で接合された一対の磁性基板を磁気ギャップが所定のア
ジマス角を有するように切断する切断工程とを有するこ
とを特徴とする。

【００１８】上述したような本発明の磁気ヘッドの製造
方法では、溝形成工程において側面に少なくとも１箇所
の屈曲部を有する溝を形成するようにしているので、切
断工程において磁性基板にかかる応力が屈曲部により緩
和されて、金属磁性膜が剥離しない。また、溝形成工程
において側面に少なくとも１箇所の屈曲部を有する溝を
形成するようにしているので、磁気ギャップがアジマス
角を有するようにしても、媒体摺動面に溝の折り返しが
表れない。

【００１９】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法で
は、上記溝を、一方の側面が略平面であり、他方の側面
が少なくとも一箇所の屈曲部を有する屈曲面となるよう
に形成してもよい。このような磁気ヘッドの製造方法で
は、一方の側面が略平面であり、他方の側面が少なくと
も一箇所の屈曲部を有する屈曲面である溝が形成されて
いるので、切断工程において一対の磁性基板にかかる応
力が屈曲部により緩和されて、金属磁性膜が剥離しな
い。また、切断工程において、略平面とされた一方の側
面部分に成膜された金属磁性膜にかかる応力が小さくな
り、金属磁性膜が剥離しない。さらに、他方の側面が少
なくとも一箇所の屈曲部を有する屈曲面である溝が形成
されているので、磁気ギャップがアジマス角を有するよ
うにしても、媒体摺動面に溝の折り返しが表れない。

【００２０】さらに、本発明の磁気ヘッドの製造方法で
は、上記成膜工程の前に、上記溝形成工程で形成された
溝と溝との間の部分であって磁気ギャップとなる部分に
ついて、その上面が斜めとなるように上記一対の磁性基
板に加工を施すことが好ましい。このような磁気ヘッド
の製造方法では、上記成膜工程の前に、上記溝形成工程
で形成された溝と溝との間の部分であって磁気ギャップ
となる部分について、その上面が斜めとなるように上記
一対の磁性基板に加工を施すことで、成膜工程において
形成される金属磁性膜と磁性体との境界面が、上記磁気
ギャップに対して非平行とされて疑似ギャップの発生が
防止される。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００２２】〈第１の実施の形態〉図１に、本発明に係
る磁気ヘッドの一構成例を示す。

【００２３】この磁気ヘッド１は、磁気ギャップ部分に
金属磁性膜が配されたＭＩＧヘッドであり、金属磁性膜
２ａが磁性基板３ａ上に形成されてなる第１の磁気コア
半体４ａと、金属磁性膜２ｂが磁性基板３ｂ上に形成さ
れてなる第２の磁気コア半体４ｂとが、磁気ギャップｇ
１となる非磁性膜５を介して突き合わされて接合されて
なる。

【００２４】そして、これらの第１の磁気コア半体４ａ
と第２の磁気コア半体４ｂとの突き合わせ面には、それ
ぞれコイルを巻装させるための巻線溝６ａ，６ｂが設け
られており、また、これらの第１の磁気コア半体４ａお
よび第２の磁気コア半体４ｂの突き合わせ面の反対側の
面には、それぞれコイルを巻装させるための巻線ガイド
溝７ａ，７ｂが設けられている。

【００２５】磁性基板３ａ，３ｂには、例えばＭｎ−Ｚ
ｎフェライト等の酸化物磁性体が用いられる。

【００２６】金属磁性膜２ａ，２ｂには、磁性基板３
ａ，３ｂよりも高飽和磁束密度の材料が用いられる。金
属磁性膜２ａ，２ｂの材料として具体的には、例えばＦ
ｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｏ、
Ｆｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｎ、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ
−Ａｌ−Ｓｉ−Ｏ、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ−Ｎ等の結晶質磁
性材、Ｆｅ系微結晶材、Ｃｏ系微結晶材等が挙げられ
る。

【００２７】非磁性膜５の材料としては、ＳｉＯ₂、Ｔ
ａ₂Ｏ₅等の酸化物、Ｓｉ₃Ｎ₄等の窒化物、Ｃｒ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｐｔ等の金属又はそれらの合金を用いることが好
ましい。また、非磁性膜５をこれらの金属材料よりなる
金属膜を組み合わせた積層膜としてもよい。

【００２８】さらに、磁気ヘッド１では、金属磁性膜２
ａ，２ｂの下地として図示しない下地膜を配してもよ
い。下地膜を配することで、磁性基板３ａ，３ｂと金属
磁性膜２ａ，２ｂとの間の密着力が向上する。

【００２９】この下地膜の材料としては、ＳｉＯ₂、Ｔ
ａ₂Ｏ₅等の酸化物、Ｓｉ₃Ｎ₄等の窒化物、Ｃｒ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｐｔ等の金属又はそれらの合金を用いることが好
ましく、また、当該下地膜をこれらの金属材料よりなる
金属膜を組み合わせた積層膜とすることもできる。

【００３０】図２は、この磁気ヘッド１の媒体摺動面の
磁気ギャップｇ１近傍を拡大して示す平面図である。

【００３１】第１の磁気コア半体４ａは、第２の磁気コ
ア半体４ｂとの突き合わせ面の両側が切り欠かれて切り
欠き面８ａ，８ｂとされている。そして、切り欠き面８
ａ，８ｂは、一方の切り欠き面８ａが屈曲部９ａを有す
る屈曲面とされ、他方の切り欠き面８ｂが略平面とされ
ている。また、第２の磁気コア半体４ｂも同様に、第１
の磁気コア半体４ａとの突き合わせ面の両側が切り欠か
れて切り欠き面８ｃ，８ｄとされている。そして、切り
欠き面８ｃ，８ｄは、一方の切り欠き面８ｃ，が屈曲部
９ｂを有する屈曲面とされ、他方の切り欠き面８ｄが略
平面とされている。

【００３２】そして、第１の磁気コア半体４ａと第２の
磁気コア半体４ｂとは、屈曲面とされた切り欠き面８
ａ，８ｃと、略平面とされた切り欠き面８ｂ，８ｄとが
互いに相対向するように突き合わせられ、磁気ギャップ
ｇ１となる非磁性膜５を介して接合されている。すなわ
ち、切り欠き面８ａと切り欠き面８ｄとが対向し、切り
欠き面８ｂと切り欠き面８ｃとが対向している。また、
このとき第１の磁気コア半体４ａと第２の磁気コア半体
４ｂとは、磁気ギャップｇ１が所定のアジマス角を有す
るように接合されている。また、第１の磁気コア半体４
ａ及び第２の磁気コア半体４ｂの切り欠かれた部分は融
着ガラス１０によって埋められており、これにより第１
の磁気コア半体４ａと第２の磁気コア半体４ｂとが接合
されている。

【００３３】この磁気ヘッド１では、第１の磁気コア半
体４ａと第２の磁気コア半体４ｂとの突き合わせ面の両
側が切り欠かれて切り欠き面８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄと
されているので、これらの切り欠き面８ａ，８ｂ，８
ｃ，８ｄによりトラック幅が規制される。また、切り欠
き面８ａ，８ｃが、それぞれ１箇所の屈曲部９ａ，９ｂ
を有した屈曲面とされているので、磁気ヘッド１にかか
る応力がこの屈曲部９ａ，９ｂにより緩和される。ま
た、磁気ヘッド１では、第１の磁気コア半体４ａと第２
の磁気コア半体４ｂとが、屈曲面とされた切り欠き面８
ａ，８ｃと、略平面とされた切り欠き面８ｂ，８ｄとが
互いに相対向するように突き合わせられているので、磁
気ヘッド１にかかる応力が均一に緩和される。磁気ヘッ
ド１にかかる応力がこの屈曲部９ａ，９ｂにより緩和さ
れると、金属磁性膜２ａ，２ｂの剥離や融着ガラス１０
のひび割れ等が防止されて、磁気ヘッド１の耐久性が向
上する。

【００３４】以下、上述したような磁気ヘッド１の製造
方法について説明する。

【００３５】磁気ヘッド１を製造する際には、まず、図
３に示すように、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の酸化物磁性
体よりなる略長方形の基板１１を用意し、平面研削盤等
を用いて、この基板１１の両面に対して平面出しを行
う。

【００３６】次に、図４に示すように、平面出しが行わ
れた基板１１の一主面側に、スライサ等を用いて、巻線
溝１２及びガラス溝１３を当該基板１１の長手方向に沿
って、互いに略平行となるように形成する。ここで、巻
線溝１２は、コイルを巻装させるための溝である。ま
た、ガラス溝１３は融着ガラスを流し込むための溝であ
る。

【００３７】次に、図５及び図６に示すように、スライ
サ等を用いて、上記巻線溝１２及びガラス溝１３と略直
交する方向、すなわち基板１１の短辺方向に、所定間隔
をもって複数のトラック幅規制溝１４を形成する。

【００３８】図６は、トラック幅規制溝１４の部分を拡
大して示す図である。本実施の形態では、側面に２箇所
の屈曲部１５ａ，１５ｂを有するトラック幅規制溝１４
を形成する。また、このとき、これらのトラック幅規制
溝１４を形成することにより、基板１１の主面上に、ト
ラック幅規制溝１４と平行に、上面に所定の磁気ギャッ
プ幅を有する突状部が形成される。これらのトラック幅
規制溝１４により、トラック幅が規制される。

【００３９】次に、ポリッシング等の手法により、基板
１１の主面上に鏡面加工を施した後、図７に示すよう
に、当該基板１１をその長手方向に沿って略２等分して
一対の磁気コア半体ブロック１６ａ，１６ｂを作製す
る。

【００４０】次に、図８に示すように、巻線溝１２、ガ
ラス溝１３及びトラック幅規制溝１４が形成された磁気
コア半体ブロック１６ａ，１６ｂの各対向面に、スパッ
タ法等の薄膜形成技術によって、例えばＦｅ−Ｒｕ−Ｇ
ａ−Ｓｉ等の高飽和磁束密度材料からなる金属磁性膜１
７を成膜する。このとき、金属磁性膜１７の下地として
例えばＳｉＯ₂等を材料とする下地膜を形成してもよ
い。次に、金属磁性膜１７が形成された一対の磁気コア
半体ブロック１６ａ，１６ｂの各対向面上に、磁気ギャ
ップとなる非磁性膜を、ＳｉＯ₂等を材料としてスパッ
タ法等の手法により成膜する。

【００４１】次に、図９に示すように、金属磁性膜１７
及び非磁性膜が成膜された一対の磁気コア半体ブロック
１６ａ，１６ｂを、それぞれの磁気コア半体ブロック１
６ａ，１６ｂに成膜された金属磁性膜１７が対向するよ
うに、磁気ギャップとなる非磁性膜を介して突き合わせ
て接合し、磁気ヘッドブロック１８を作製する。

【００４２】一対の磁気コア半体ブロック１６ａ，１６
ｂを接合するには、円筒形状の低融点の融着ガラスをガ
ラス溝１３と巻線溝１２とにそれぞれ通し、一対の磁気
コア半体ブロック１６ａ，１６ｂを突き合わせて圧着し
ながら５００℃〜７００℃に加熱する。これにより、一
対の磁気コア半体ブロック１６ａ，１６ｂが接合される
とともに、トラック幅規制溝１４の内部が融着ガラスに
よって埋められることとなる。

【００４３】次に、図１０に示すように、磁気ヘッドブ
ロック１８を平面研削盤等を用いて所定の厚みに形成し
た上で、磁気ヘッドブロック１８に対して円筒研削加工
を施し、媒体摺動面１８ａを形成する。

【００４４】そして、磁気ヘッドブロック１７に巻線ガ
イド溝となる溝加工及び当たり幅加工等を施した後、図
１１に示すように、所定のチップ厚、チップ長となるよ
うに、磁気ヘッドブロック１８の長手方向と直交する方
向から所定のアジマス角だけ傾けて各ヘッドチップ１９
を切り出す。最後に、上記ヘッドチップ１９に所定の処
理を行うことにより図１に示すような磁気ヘッド１が完
成する。

【００４５】本発明の磁気ヘッドの製造方法では、側面
に２箇所の屈曲部１５ａ，１５ｂを有するトラック幅規
制溝１４が形成されているので、磁気ヘッドブロック１
８から各ヘッドチップ１９に切り出す際に、基板、融着
ガラス、金属磁性膜の材料の熱膨張率の差に起因して上
記融着ガラスや金属磁性膜１７にかかる応力が上記屈曲
部１５ａ，１５ｂにおいて緩和される。膜応力が上記屈
曲部１５ａ，１５ｂにおいて緩和されると、金属磁性膜
の剥離や融着ガラスのひび割れ等が防止され、加工スト
レスに対する耐久性が向上し、また、加工精度も向上す
る。さらに、トラック幅規制溝の側面が屈曲部を有する
屈曲面とされているので、磁気ギャップがアジマス角を
有するようにしても、媒体摺動面に溝の折り返しが表れ
ない。

【００４６】〈第２の実施の形態〉本実施の形態に係る
磁気ヘッドの一構成例を図１２に示す。ここで、磁気ヘ
ッド２０は、第１の実施の形態で述べた磁気ヘッド１と
ほぼ同様の構成を有するため、図１２では特徴となる媒
体摺動面の磁気ギャップ近傍のみを拡大して示す。

【００４７】この磁気ヘッド２０は、金属磁性膜２１ａ
が磁性基板２２ａ上に形成されてなる第１の磁気コア半
体２３ａと、金属磁性膜２１ｂが磁性基板２２ｂ上に形
成されてなる第２の磁気コア半体２３ｂとが、磁気ギャ
ップｇ２となる非磁性膜２４を介して突き合わせて接合
されてなる。

【００４８】第１の磁気コア半体２３ａは、第２の磁気
コア半体２３ｂとの突き合わせ面の両側が切り欠かれて
切り欠き面２５ａ，２５ｂとされている。そして、一方
の切り欠き面２５ａに形成された金属磁性膜２１ａが、
他方の切り欠き面２５ｂに形成された金属磁性膜２１ａ
よりも薄く形成されている。また、第２の磁気コア半体
２３ｂも同様に、第１の磁気コア半体２３ａとの突き合
わせ面の両側が切り欠かれて切り欠き面２５ｃ，２５ｄ
とされている。そして、一方の切り欠き面２５ｃに形成
された金属磁性膜２１ｂが、他方の切り欠き面２５ｄに
形成された金属磁性膜２１ｂよりも薄く形成されてい
る。

【００４９】そして第１の磁気コア半体２３ａと第２の
磁気コア半体２３ｂとは、第１の磁気コア半体２３ａの
金属磁性膜２１ａが薄く形成された側の切り欠き面２５
ａと、第２の磁気コア半体２３ｂの金属磁性膜２１ｂが
厚く形成された側の切り欠き面２５ｄとが対向し、且
つ、第１の磁気コア半体２３ａの金属磁性膜２１ａが厚
く形成された側の切り欠き面２５ｂと、第２の磁気コア
半体２３ｂの金属磁性膜２１ｂが薄く形成された側の切
り欠き面２５ｃとが対向するように、突き合わされて接
合されている。また、このとき第１の磁気コア半体２３
ａと第２の磁気コア半体２３ｂとは、磁気ギャップｇ２
が所定のアジマス角を有するように接合されている。ま
た、第１の磁気コア半体２３ａ及び第２の磁気コア半体
２３ｂの切り欠かれた部分は融着ガラス２６によって埋
められており、これにより第１の磁気コア半体２３ａと
第２の磁気コア半体２３ｂとが接合されている。

【００５０】磁気ヘッド２０では、第１及び第２の磁気
コア半体２３ａ，２３ｂの突き合わせ面の両側が切り欠
かれて切り欠き面２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄとさ
れているので、この切り欠き面２５ａ，２５ｂ，２５
ｃ，２５ｄによりトラック幅が規制される。また、この
磁気ヘッド２０では、切り欠き面２５ａ，２５ｃに形成
された金属磁性膜２１ａ，２１ｂが、切り欠き面２５
ｂ，２５ｄに形成された金属磁性膜２１ａ，２１ｂより
も薄く形成されているので、切り欠き面２５ａ，２５ｃ
に形成された金属磁性膜２１ａ，２１ｂにかかる応力が
小さくなる。また、第１の磁気コア半体２３ａと第２の
磁気コア半体２３ｂとは、金属磁性膜２１ａ，２１ｂが
薄く形成された切り欠き面２５ａ，２５ｃと、金属磁性
膜２１ａ，２１ｂが厚く形成された切り欠き面２５ｂ，
２５ｄとが対向するように接合されているので、金属磁
性膜２１ａ，２１ｂにかかる応力を均一に小さくするこ
とでできる。従って、磁気ヘッド２０では金属磁性膜２
１ａ，２１ｂにかかる応力が小さくなるので、金属磁性
膜２１ａ，２１ｂが剥離せず、耐久性が向上する。

【００５１】このような磁気ヘッド２０を製造する際
は、第１の実施の形態の磁気ヘッド１を製造する際とほ
ぼ同様にして製造されるが、図１３に示すように、磁性
基板２７にトラック幅規制溝２８を形成する際、一方の
側面２８ａを略平面とし、他方の側面２８ｂを１箇所の
屈曲部２９を有する屈曲面とする。

【００５２】トラック幅規制溝２８を、一方の側面２８
ａを略平面とし、他方の側面２８ｂを屈曲部を有する屈
曲面とすることで、図１４に示すように、金属磁性膜３
０を成膜する際、略平面の側面２８ａ部分に形成される
金属磁性膜３０の厚みが、屈曲面の側面２８ｂ部分に形
成される金属磁性膜３０の厚みよりも薄くなる。

【００５３】トラック幅規制溝２８の一方の側面２８ｂ
に屈曲部２９が設けられているので、磁気ヘッドコアブ
ロックを切断する際に、磁性基板２７にかかる応力が屈
曲部２９により緩和される。また、金属磁性膜３０にか
かる応力は、一般に膜厚の２乗に比例する。このため、
磁気ヘッドブロックを切断する際に、略平面とされた側
面２８ａ部分に成膜された金属磁性膜３０にかかる応力
が小さくなる。このため、金属磁性膜３０の剥離や融着
ガラスのひび割れ等が防止されるので、加工ストレスに
対する耐久性が向上するとともに、加工精度を向上する
ことができる。さらに、トラック幅規制溝の一方の側面
が屈曲部を有する屈曲面とされているので、磁気ギャッ
プがアジマス角を有するようにしても、媒体摺動面に溝
の折り返しが表れない。

【００５４】〈第３の実施の形態〉本実施の形態に係る
磁気ヘッドの一構成例を図１５に示す。ここで、磁気ヘ
ッド４０は、第１の実施の形態で述べた磁気ヘッド１と
ほぼ同様の構成を有するため、特徴となる媒体摺動面の
磁気ギャップ近傍のみを拡大して示す。

【００５５】この磁気ヘッド４０は、金属磁性膜４１ａ
が磁性基板４２ａ上に形成されてなる第１の磁気コア半
体４３ａと、金属磁性膜４１ｂが磁性基板４２ｂ上に形
成されてなる第２の磁気コア半体４３ｂとが、磁気ギャ
ップｇ３となる非磁性膜４４を介して突き合わせて接合
されてなる。

【００５６】第１の磁気コア半体４３ａは、第２の磁気
コア半体４３ｂとの突き合わせ面の両側が切り欠かれて
切り欠き面４５ａ，４５ｂとされているとともに、これ
らの切り欠き面４５ａ，４５ｂは、屈曲部４６ａ，４６
ｂを有する屈曲面とされている。また、第２の磁気コア
半体４３ｂは、第１の磁気コア半体４３ａとの突き合わ
せ面の両側が切り欠かれて切り欠き面４５ｃ，４５ｄと
されているとともに、これらの切り欠き面４５ｃ，４５
ｄは、屈曲部４６ｃ，４６ｄを有する屈曲面とされてい
る。また、第１の磁気コア半体４３ａの金属磁性膜４１
ａと磁性基板４２ａとの境界面４７ａ、及び第２の磁気
コア半体４３ｂの金属磁性膜４１ｂと磁性基板４２ｂと
の境界面４７ｂが上記磁気ギャップｇ３に対して非平行
とされている。

【００５７】そして、第１の磁気コア半体４３ａと第２
の磁気コア半体４３ｂとは、磁気ギャップｇ３が所定の
アジマス角を有するように突き合わされて接合されてい
る。また、第１の磁気コア半体４３ａ及び第２の磁気コ
ア半体４３ｂの切り欠かれた部分は融着ガラス４８によ
って埋められており、これにより第１の磁気コア半体４
３ａと第２の磁気コア半体４３ｂとが接合されている。

【００５８】この磁気ヘッド４０では、第１及び第２の
磁気コア半体４３ａ，４３ｂの突き合わせ面の両側が切
り欠かれて切り欠き面４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ
とされているので、この切り欠き面４５ａ，４５ｂ，４
５ｃ，４５ｄによりトラック幅が規制される。また、こ
れらの切り欠き面４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄは、
屈曲部４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄを有した屈曲面
とされているので、金属磁性膜４１ａ，４１ｂにかかる
応力がこの屈曲部４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄによ
り緩和される。また、この磁気ヘッド４０では、両方の
切り欠き面が屈曲面とされているので、一方の切り欠き
面のみを屈曲面とした場合よりも応力がより緩和され
る。金属磁性膜４１ａ，４１ｂにかかる応力がこの屈曲
部４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄにより緩和されるの
で、金属磁性膜４１ａ，４１ｂの剥離や、融着ガラス４
８のひび割れ等が防止されて磁気ヘッド４０の耐久性が
向上する。

【００５９】また、この磁気ヘッド４０では、上記第１
及び第２の磁気コア半体４３ａ，４３ｂの突き合わせ面
において、金属磁性膜４１ａと磁性基板４２ａとの境界
面４７ａ、及び金属磁性膜４１ｂと磁性基板４２ｂとの
境界面４７ｂが上記磁気ギャップｇ３に対して非平行と
されているので、疑似ギャップによる疑似出力を抑える
ことができる。疑似ギャップによる疑似出力が抑えられ
て磁気ヘッド４０の出力が安定化される。

【００６０】このような磁気ヘッド４０を製造する際
は、第１の実施の形態の磁気ヘッド１を製造する際とほ
ぼ同様にして製造されるため、特徴となる部分のみを述
べる。

【００６１】まず、図１６に示すように、磁性基板４９
にトラック幅規制溝５０を形成する。

【００６２】次に、図１７に示すように、２つのトラッ
ク幅規制溝５０の間の部分であって磁気ギャップとなる
部分４９ａについて、その上面が斜めとなるように磁性
基板４９に加工を施す。

【００６３】次に、図１８に示すように、トラック幅規
制溝５０の一方の側面５０ａに対して加工を施し、２箇
所の屈曲部５１を形成する。これにより、一方の側面５
０ａは２箇所の屈曲部５１を有する屈曲面とされ、他方
の側面５０ｂは略平面とされる。そしてこのトラック幅
規制溝５０は、屈曲面の側面５０ａが対向するように形
成される。

【００６４】次に、図１９に示すように、トラック幅規
制溝５０等が形成された磁性基板４９上に金属磁性膜５
２を形成する。このとき、トラック幅規制溝５０が、一
方の側面５０ａが２箇所の屈曲部５１を有する屈曲面と
され、他方の側面５０ｂが略平面とされているので、略
平面とされた側面５０ｂ部分に形成される金属磁性膜５
２の厚みが、屈曲面とされた側面５０ａ部分に形成され
る金属磁性膜５２の厚みよりも薄くなる。

【００６５】次に、図２０に示すように、金属磁性膜５
２が形成された磁性基板４９の上面を研磨した後、トラ
ック幅規制溝５０部分にガラス材５３を流し込む。

【００６６】次に、図２１に示すように、ガラス材５３
の表面に平面研削を行った後、補強溝５４及び図示しな
い巻線溝等を形成する。なお、この補強溝５４は、磁性
基板４９を補強するとともに、融着用のガラス材が流し
込まれて一対の磁性基板４９を接合する。

【００６７】次に、図２２に示すように、ガラス材５３
の上面を研磨して鏡面とする。これにより、金属磁性膜
５２と磁性基板４９との境界面５５を磁気ギャップとな
る上面５６に対して非平行とすることができる。

【００６８】磁性基板４９を切断する際に、磁性基板４
９にかかる応力が屈曲部５１により緩和される。また、
金属磁性膜５２にかかる応力は、一般に膜厚の２乗に比
例するので、略平面とされた一方の側面５０ｂの部分に
成膜された金属磁性膜５２にかかる応力が小さくなる。
このため、金属磁性膜５２の剥離や融着ガラスのひび割
れが防止されるので、加工ストレスに対する耐久性が向
上するとともに、加工精度を向上することができる。ま
た、トラック幅規制溝５０の側面５０ａが屈曲部５１を
有する屈曲面とされているので、磁気ギャップがアジマ
ス角を有するようにしても、媒体摺動面にトラック幅規
制溝５０の折り返しが表れない。

【００６９】さらに、金属磁性膜５２と磁性基板４９と
の境界面を磁気ギャップとなる上面５６に対して非平行
とすることで、疑似ギャップによる疑似出力のない安定
な磁気ヘッド４０を得ることができる。

【００７０】

【発明の効果】本発明の磁気ヘッドでは、一対の磁気コ
ア半体の突き合わせ面の両側が切り欠かれて切り欠き面
とされ、これらの切り欠き面のうちの一方が、少なくと
も１箇所の屈曲部を有した屈曲面とされているので、磁
気ヘッドにかかる応力がこの屈曲部により緩和されて、
金属磁性膜の剥離が防止される。

【００７１】また、本発明の磁気ヘッドでは、一対の磁
気コア半体の突き合わせ面の両側が切り欠かれて切り欠
き面とされ、一方の側の切り欠き面に形成された金属磁
性膜が、他方の側の切り欠き面に形成された金属磁性膜
よりも薄く形成されているので、金属磁性膜にかかる応
力が小さくなり、金属磁性膜が剥離しない。

【００７２】従って、本発明の磁気ヘッドでは、金属磁
性膜の剥離の無い、耐久性に優れた、信頼性の高い磁気
ヘッドを実現することができる。

【００７３】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法で
は、溝形成工程で側面に少なくとも１箇所の屈曲部を有
する溝が形成されているので、切断工程において一対の
磁性基板にかかる応力が屈曲部により緩和されて、金属
磁性膜が剥離しない。また、溝形成工程で側面に少なく
とも１箇所の屈曲部を有する溝が形成されているので、
磁気ギャップがアジマス角を有するようにしても、媒体
摺動面に溝の折り返しが表れない。

【００７４】従って、本発明の磁気ヘッドの製造方法で
は、加工時に金属磁性膜が剥離しないので、加工ストレ
スに対する耐久性が高まるとともに、加工精度を高める
ことができ、信頼性の高い磁気ヘッドを製造することが
できる。また、製品の歩留まりも向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドの一構成例を示す斜視図で
ある。

【図２】図１の磁気ヘッドの磁気ギャップ近傍を拡大し
て示す平面図である。

【図３】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、磁
性基板の一例を示す斜視図である。

【図４】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、磁
性基板に巻線溝及びガラス溝が形成された状態を示す斜
視図である。

【図５】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、磁
性基板にさらにトラック幅規制溝が形成された状態を示
す斜視図である。

【図６】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、ト
ラック幅規制溝の部分を拡大して示す斜視図である。

【図７】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、磁
性基板が２つに切断された状態を示す斜視図である。

【図８】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、金
属磁性膜が形成されたトラック幅規制溝の部分を拡大し
て示す斜視図である。

【図９】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、磁
気ヘッドブロックの一例を示す斜視図である。

【図１０】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
媒体摺動面が形成された状態を示す斜視図である。

【図１１】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
磁気ヘッドブロックを切断した状態を示す斜視図であ
る。

【図１２】本発明の磁気ヘッドの他の一例を示す図であ
り、磁気ヘッドの磁気ギャップ近傍を拡大して示す平面
図である。

【図１３】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
磁性基板にトラック幅規制溝が形成された状態を拡大し
て示す斜視図である。

【図１４】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
金属磁性膜が形成されたトラック幅規制溝の部分を拡大
して示す斜視図である。

【図１５】本発明の磁気ヘッドの他の一例を示す図であ
り、磁気ヘッドの磁気ギャップ近傍を拡大して示す平面
図である。

【図１６】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
磁性基板にトラック幅規制溝が形成された状態を拡大し
て示す斜視図である。

【図１７】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
磁性基板の上面が斜めに加工された状態を拡大して示す
斜視図である。

【図１８】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
トラック幅規制溝の一方の側面が屈曲面とされた状態を
拡大して示す斜視図である。

【図１９】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
金属磁性膜が形成されたトラック幅規制溝の部分を拡大
して示す斜視図である。

【図２０】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
トラック幅規制溝にガラス材が流し込まれた状態を拡大
して示す斜視図である。

【図２１】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
補強溝が形成された状態を拡大して示す斜視図である。

【図２２】磁気ヘッドの製造方法を説明する図であり、
ガラス材が研磨された状態を拡大して示す斜視図であ
る。

【図２３】従来の磁気ヘッドの製造方法を説明する図で
あり、金属磁性膜が形成されたトラック幅規制溝の部分
を拡大して示す斜視図である。

【図２４】従来の磁気ヘッドの一例を示す図であり、磁
気ヘッドの磁気ギャップ近傍を拡大して示す平面図であ
る。

【符号の説明】

１，２０，４０ 磁気ヘッド、 ２ａ，２ｂ，２１ａ，
２１ｂ ４１ａ，４１ｂ 金属磁性膜、 ３ａ，３ｂ，
２２ａ，２２ｂ，４２ａ，４２ｂ 磁性基板、３ａ，３
ｂ，２２ａ，２２ｂ，４２ａ，４２ｂ 磁気コア半体

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属磁性膜が磁性体上に形成されてなる
   第１の磁気コア半体と、金属磁性膜が磁性体上に形成さ
   れてなる第２の磁気コア半体とを、磁気ギャップとなる
   非磁性膜を介して突き合わせて接合してなる磁気ヘッド
   において、 第１の磁気コア半体は、第２の磁気コア半体との突き合
   わせ面の両側が切り欠かれて切り欠き面とされていると
   ともに、これらの切り欠き面のうちの少なくとも一方
   が、少なくとも１箇所の屈曲部を有した屈曲面とされて
   おり、 第２の磁気コア半体は、第１の磁気コア半体との突き合
   わせ面の両側が切り欠かれて切り欠き面とされていると
   ともに、これらの切り欠き面のうちの少なくとも一方
   が、少なくとも１箇所の屈曲部を有した屈曲面とされて
   おり、 第１の磁気コア半体と第２の磁気コア半体は、それぞれ
   の切り欠き面が対向するとともに磁気ギャップが所定の
   アジマス角を有するように突き合わされて接合されてい
   ることを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 上記第１及び第２の磁気コア半体は、そ
   れらの突き合わせ面における金属磁性膜と磁性体との境
   界面が、上記磁気ギャップに対して非平行とされている
   ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 金属磁性膜が磁性体上に形成されてなる
   第１の磁気コア半体と、金属磁性膜が磁性体上に形成さ
   れてなる第２の磁気コア半体とを、磁気ギャップとなる
   非磁性膜を介して突き合わせて接合してなる磁気ヘッド
   において、 第１の磁気コア半体は、第２の磁気コア半体との突き合
   わせ面の両側が切り欠かれているとともに、一方の側の
   切り欠き面に形成された金属磁性膜が、他方の側の切り
   欠き面に形成された金属磁性膜よりも薄く形成されてお
   り、 第２の磁気コア半体は、第１の磁気コア半体との突き合
   わせ面の両側が切り欠かれているとともに、一方の側の
   切り欠き面に形成された金属磁性膜が、他方の側の切り
   欠き面に形成された金属磁性膜よりも薄く形成されてお
   り、 第１の磁気コア半体と第２の磁気コア半体とは、第１の
   磁気コア半体の金属磁性膜が薄く形成された側の切り欠
   き面と、第２の磁気コア半体の金属磁性膜が厚く形成さ
   れた側の切り欠き面とが対向し、且つ、第１の磁気コア
   半体の金属磁性膜が厚く形成された側の切り欠き面と、
   第２の磁気コア半体の金属磁性膜が薄く形成された側の
   切り欠き面とが対向するとともに、磁気ギャップが所定
   のアジマス角を有するように突き合わされて接合されて
   いることを特徴とする磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 一対の磁性基板に対して、側面に少なく
   とも１箇所の屈曲部を有する溝を複数形成する溝形成工
   程と、 上記溝形成工程で溝が形成された一対の磁性基板上に金
   属磁性膜を成膜する成膜工程と、 上記成膜工程で金属磁性膜が成膜された一対の磁性基板
   を、それぞれの磁性基板に成膜された金属磁性膜が対向
   するように、磁気ギャップとなる非磁性膜を介して突き
   合わせて接合する接合工程と、 上記接合工程で接合された一対の磁性基板を、磁気ギャ
   ップが所定のアジマス角を有するように切断する切断工
   程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
5. 【請求項５】 上記溝は、一方の側面が略平面であり、
   他方の側面が少なくとも一箇所の屈曲部を有する屈曲面
   とされていることを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッ
   ドの製造方法。
6. 【請求項６】 上記成膜工程の前に、上記溝形成工程で
   形成された溝と溝との間の部分であって磁気ギャップと
   なる部分について、その上面が斜めとなるように上記一
   対の磁性基板に加工を施すことを特徴とする請求項４記
   載の磁気ヘッドの製造方法。