JPH0214413A - 滋気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ・　の１ 本発明は、ＶＴＲやフロッピーディスクドライブ等の磁
気記録再生装置に用いられる　磁気ヘッドに関するもの
であり、特に磁気ギャップ対向面が強磁性金属薄膜で形
成されたいわゆるメタル・イン・ギャップ磁気ヘッド（
以下ＭＩＧヘッドと略称する。）に関するものである。

従ｍ支術− 磁気記録の高密度化にともない、磁気記録媒体の抗磁力
が高められ、従来のＭｎ−Ｚｎ系フェライト等の酸化物
強磁性体コアよりなる磁気ヘッドでは、飽和磁束密度Ｂ
ｓが５．０００Ｇａｕｓｓ程度と小さいため十分な記録
が困難になり、これにかわって、Ｂｓが１０．０００Ｇ
ａｕｓｓ程度と高いセンダスト等の強磁性金属（以下メ
タルと略称する。）をコアに使った磁気ヘッドや、酸化
物強磁性体コアのギャップ対向面にセンダスト等のメタ
ルをスパソタリング等により薄膜形成したいわゆるＭＩ
Ｇヘッドが使用されるようになった。

センダスト等のメタルコアを使った磁気ヘッドは、耐磨
耗性が悪く、またコアの電気抵抗が低いため渦電流損が
大きく、現在あまり用いられず、耐磨耗性や渦電流損に
有利なＭＩＧヘッドが主に用いられるようになってきた
。

ＭＩＧヘッドは、当初、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等のコア
半休のギャップ対向面に単にセンダスト等のメタルをス
パッタリング等により１μｍ〜５μｍ程度の厚さ成膜し
、この半体どうしをギャップスペーサをはさんで突き合
わせ、形成していたため、磁気ギャップとメタル−フェ
ライト界面がギャップと平行な疑似ギャップとなり、不
都合であった。

これを改善するため、例えば特開昭［１ｌ−１３３００
４号、特開昭６１−１１０３０９号に示すようなメタル
−フェライト界面をギャップに非平行にしたＭＩＧヘッ
ドが開発されている。

ところで上述のように形成されたメタル−フェライト界
面を磁気ギャップ面と非平行にした磁気ヘッドにおいて
は、第５図（ａ）、（ｂ）に示すようにフェライトをギ
ャップスペーサ５の面に対して斜面に削った而６にセン
ダストを厚くスパッタした後このセンダストをギャップ
面に平行になるよう研磨するため、トラック幅の寸法を
規格どうりに作るのがむずかしく、歩留が悪いという問
題点があった。

・の 上記問題点を解決すると同時にメタル−フェライト界面
を、ギャップ面に非平行にするために、本発明では、メ
タル−フェライト界面をギャップ面に突き出す方向に凸
な曲面にする。

さらに本発明では、ギャップ面に凸な曲面を形成する方
法として、強磁性金属酸化物基板上に、ストライプ状の
レジストをパターンニングした後、ハードベークして上
記レジストの縁部をなだらかにして、さらにその後イオ
ンミリングにてレジストパターンを、上記基板面に転写
させる工法を採用する。

作ｌ− このように本発明では、メタル−フェライト界面を磁気
ギャップに突き出る方向に凸な曲面にすることにより、
疑似ギャップの不都合はなくなると同時に、トラック幅
を精度の良いダイシング加工により規制できるのでトラ
ック幅寸法精度が向上し、製造歩留も良（なる。

見息旌 以下、本発明の磁気ヘッドの一実施例を図面を参照しな
がら説明する。

第１図は本発明のＭＩＧヘッドの一実施例を示す外観斜
視図であり、第２図はその媒体摺接面の要部拡大平面図
である。

一対のコア半休１．２は例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライト
等の金属酸化物強磁性体により形成され、そのギャップ
対向面６はギャップスペーサ５の面に突き出す方向に凸
な曲面形状をなしている。この面に強磁性体金属である
センダスト等のメタル４を曲面６の頂部から１μｍ−１
０μｍ程度の厚さに設けである。

このように形成されたコア半休どうしを、ギャップスペ
ーサ５をはさんで突き合わせガラス３により溶着して本
発明の磁気ヘッドとなる。

ところで、この磁気ヘッドの特徴である曲面６の形成方
法を第３図（ａ）〜（ｈ）を参照しながら説明する。

先ず第３図（ａ）のどと＜　ｓ　Ｍ　ｎ　−Ｚ　ｎフェ
ライト等の基板７の上にレジストを塗布後フォトリソグ
ラフィー技術により、所定のトラック幅Ｔｗより少し大
きい幅Ｊｗを有するストライプ状のレジストパターン８
を形成する。レジストとしては例えばシラプレー社のＡ
Ｚ系レジストがある。これをＮ２もしくはＡｒ雰囲気中
で２００℃ないし２５０℃の温度でベーキングすると、
レジストのエツジ部からダレを生じ、最終的に第３図（
ｂ）のような半円柱状曲面をもつ、レジストパターン８
９が得られる。このようにレジストパターン８１の形成
された基板を、イオンミリング装置等のイオンエツチン
グ装置により、Ａ　ｒイオンを、レジストのエツチング
レートと基板のエツチングＯ レートが等しくなる入射角ｆ当でエツチングする。基板
がＭｎ−Ｚｎフェライトで、レジストがＡ″Ｌ系レジス
トであれば、第４図のエツチングレート対入射角のグラ
フから、Ａ　ｒ＋の入射角はほこのようにエツチングす
ると第３図（ｃ　）　（ＤＡ９、ＩＯのようにレジスト
の断面形状がそのまま基板の断面に切りきざまれ、第３
図（ｄ）の１２に示す凸状曲面１２が形成された基板１
１を得る。この基板の上に曲面１２の頂部高さｈより厚
いセンダスト等のメタル１３を第３図（ｅ）のどと（ス
パッタリング等により被着形成しこの表面を、平坦にな
るまで鏡面ラップして第３図（ｆ）のようにする。

次に第３図（ｇ）のごとり、トラック規制溝１５をダイ
シング等で研削形成する。この時第３図（ｆ）の平坦部
１４がトラック幅Ｔｗ内に残らないようにするのはもち
ろんのことである。この上に所定のギャップ長となるよ
うにギャップスペーサとなる５ｉ０２１Ｂ等を所定の厚
さスパッタリング等により被着形成する。

このように形成されたコア半体１７どうじを第３図（ｈ
）のごとく、突き合わせガラス２０を不活性ガス雰囲気
中で５００℃〜７００℃程度に加熱溶融して溶着する。

その後切断線１９に沿ってワイヤーソ等によりスライス
して第１図のような磁気ヘッドを得るのである。

髪匪Δ肱策 以上の説明からもわかるように、本発明の磁気ヘッド（
ＭＩＧヘッド）は、トラック幅を出すのに従来のフェラ
イトヘッドと同様ダイシング等の研削溝で実現できるた
め、トラック幅精度が高く、製造歩留りが良い。

またメタル−フェライト界面が曲面であるため、ギャッ
プ面と非平行となり疑似ギャップとならず、再生信号の
Ｓ／Ｎは良好なものとなる。

更に、フェライトの曲面部はエツチングにより形成され
ているため、フェライトの加工によるダメージがほとん
どなく、このメタル−フェライト界面での磁気抵抗が小
さく、記録ｅ再生効率も改善される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気ヘッドの一実施例の外観斜視図。 第２図はその媒体摺接面の要部拡大平面図。 第３図は、本発明の一実施例の磁気ヘッドを製造するた
めの製造工程順に示した断面図。 第４図は、イオンミリング装置のエツチングレートとイ
オン入射角の関係を示したグラフ。 第５図は、従来のＭＩＧヘッドの構成を示す媒体摺接面
の要部平面図である。 １．２・・・強磁性金属酸化物コア、 ３・・・溶着ガラス、 ４．１３・・・強磁性金属薄膜、 ５・・・ギャップスペーサ、 ６・・・強磁性金属薄膜と強磁性酸化物コアの界面、７
・・・強磁性金属酸化物基板、 １．２’　　７？ｌ＃ｆｉ在１・Ｌ金し〜酌？イ乙す勿
コア４　・ｙｔｊ４．桟会五導梗 富 図 （Ｑ） （ｂ） 富 図 手続補正書（方式） ％式％ 発明の名称 磁気ヘッドおよびその製造方法 補正をする者 事件の関係　特許出願人 〒５２０滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号関西日本電気
株式会社 代表取締役　　　荒木　　恒夫

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）強磁性金属酸化物よりなる磁気コアの磁気ギャッ
   プ対向面に、高飽和磁束密度を有する強磁性金属薄膜を
   形成した磁気ヘッドにおいて、 その強磁性金属酸化物と強磁性金属薄膜の界面が、磁気
   ギャップ面に突き出す方向に凸な曲面を有することを特
   徴とする磁気ヘッド。
2. （２）上記特許請求の範囲第１項に記載の磁気ギャップ
   面に突き出す方向に凸な曲面を形成するために、強磁性
   金属酸化物よりなる磁気コアの磁気ギャップ対向面に、
   ストライプ状のレジストをパターンニングした後、ハー
   ドベークして上記レジストの縁部をなだらかにして、さ
   らにその後、イオンミリングにてレジストパターンを上
   記対向面に転写させることを特徴とする磁気ヘッドの製
   造方法。