JPH11163178A - イントレーハンドラーの位置決め装置 - Google Patents
イントレーハンドラーの位置決め装置Info
- Publication number
- JPH11163178A JPH11163178A JP33184697A JP33184697A JPH11163178A JP H11163178 A JPH11163178 A JP H11163178A JP 33184697 A JP33184697 A JP 33184697A JP 33184697 A JP33184697 A JP 33184697A JP H11163178 A JPH11163178 A JP H11163178A
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- JP
- Japan
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- tray
- shafts
- claw
- pulleys
- shaft
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のイントレーハンドラーの位置決め装置
は、各ピンを各エアシリンダで駆動させていたため、構
成が複雑で、形状の小型化が難しく、コストダウンが困
難であった。 【解決手段】 本発明によるイントレーハンドラーの位
置決め装置は、テーブル(9)に設けた複数の爪軸(21)を
ロータリーアクチュエータ(24)とプーリ(22,25)とベル
ト(23)によって同時回転させてトレー(30)の位置決め及
び保持を行う構成である。
は、各ピンを各エアシリンダで駆動させていたため、構
成が複雑で、形状の小型化が難しく、コストダウンが困
難であった。 【解決手段】 本発明によるイントレーハンドラーの位
置決め装置は、テーブル(9)に設けた複数の爪軸(21)を
ロータリーアクチュエータ(24)とプーリ(22,25)とベル
ト(23)によって同時回転させてトレー(30)の位置決め及
び保持を行う構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、イントレーハンド
ラーの位置決め装置に関し、特に、爪軸をロータリーア
クチュエータで同時に回転させてトレーの位置決めを行
うための新規な改良に関する。
ラーの位置決め装置に関し、特に、爪軸をロータリーア
クチュエータで同時に回転させてトレーの位置決めを行
うための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＩＣをトレーに入れたままマーキ
ングするイントレーハンドラーにおいて、マーキングす
る位置の精度を上げるために、エアシリンダでピンを押
してトレイの位置決めをしていた。
ングするイントレーハンドラーにおいて、マーキングす
る位置の精度を上げるために、エアシリンダでピンを押
してトレイの位置決めをしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来は以上のように構
成されていたため、次のような課題が存在していた。す
なわち、複数のピン毎にエアシリンダを設けるため、コ
ストアップ及び形状の小型化が困難となっていた。
成されていたため、次のような課題が存在していた。す
なわち、複数のピン毎にエアシリンダを設けるため、コ
ストアップ及び形状の小型化が困難となっていた。
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、各爪軸をロータリーアクチ
ュエータで同時に回転させてトレイの位置決めを行うイ
ントレーハンドラーの位置決め装置を提供することを目
的とする。
めになされたもので、特に、各爪軸をロータリーアクチ
ュエータで同時に回転させてトレイの位置決めを行うイ
ントレーハンドラーの位置決め装置を提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によるイントレー
ハンドラーの位置決め装置は、テーブル上に、多数の電
子部品を収容したトレーを位置決め載置し、前記テーブ
ルを傾動させて前記各電子部品を前記トレー内で整列さ
せるようにしたイントレーハンドラーにおいて、前記テ
ーブルには回転自在な複数の爪軸が設けられ、前記各爪
軸はロータリーアクチュエータとベルトとプーリを介し
て同時回転されて前記トレーを位置決め保持する構成で
あり、また、前記爪軸は、上部にテーパを有する凹部を
有し、前記凹部により前記トレーの周縁を位置決めする
構成であり、さらに、前記テーブル上の前記爪軸の近傍
位置には、円錐状をなす円錐ピンが設けられ、前記トレ
ーの位置決め案内を前記円錐ピンにて行う構成である。
ハンドラーの位置決め装置は、テーブル上に、多数の電
子部品を収容したトレーを位置決め載置し、前記テーブ
ルを傾動させて前記各電子部品を前記トレー内で整列さ
せるようにしたイントレーハンドラーにおいて、前記テ
ーブルには回転自在な複数の爪軸が設けられ、前記各爪
軸はロータリーアクチュエータとベルトとプーリを介し
て同時回転されて前記トレーを位置決め保持する構成で
あり、また、前記爪軸は、上部にテーパを有する凹部を
有し、前記凹部により前記トレーの周縁を位置決めする
構成であり、さらに、前記テーブル上の前記爪軸の近傍
位置には、円錐状をなす円錐ピンが設けられ、前記トレ
ーの位置決め案内を前記円錐ピンにて行う構成である。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明によるイ
ントレーハンドラーの位置決め装置の好適な実施の形態
について説明する。図１において符号１で示されるもの
は基台であり、この基台１上には支柱２が垂直に設けら
れ、この支柱２の上部にはこの支柱２を貫通する状態で
支軸３が設けられている。この支軸３の両端には軸受４
が設けられ、この支軸３の上方に設けられた円板状の保
持体５の下部はこの各軸受４を介して支軸３に対して傾
動自在（約３０度から５０度）に設けられている。この
保持体５の下部には図２で示される扇形の有限角ギヤ６
が一体に形成され、前記基台１上に設けられたサーボモ
ータ等からなる駆動モータ７の駆動ギヤ８が前記有限角
ギヤ６と噛合することによって前記保持体５の傾動が行
われる構成である。前記支軸３と軸受４により軸支部４
０を構成している。また、この有限角ギヤ６は図３で示
されるように、圧縮ばね５０により駆動ギヤ８側に付勢
されて噛合されている。
ントレーハンドラーの位置決め装置の好適な実施の形態
について説明する。図１において符号１で示されるもの
は基台であり、この基台１上には支柱２が垂直に設けら
れ、この支柱２の上部にはこの支柱２を貫通する状態で
支軸３が設けられている。この支軸３の両端には軸受４
が設けられ、この支軸３の上方に設けられた円板状の保
持体５の下部はこの各軸受４を介して支軸３に対して傾
動自在（約３０度から５０度）に設けられている。この
保持体５の下部には図２で示される扇形の有限角ギヤ６
が一体に形成され、前記基台１上に設けられたサーボモ
ータ等からなる駆動モータ７の駆動ギヤ８が前記有限角
ギヤ６と噛合することによって前記保持体５の傾動が行
われる構成である。前記支軸３と軸受４により軸支部４
０を構成している。また、この有限角ギヤ６は図３で示
されるように、圧縮ばね５０により駆動ギヤ８側に付勢
されて噛合されている。
【０００７】前記保持体５上には長方形をなすテーブル
９が丸孔９ａを保持体５の丸突起５ａに相対回転自在に
嵌合されており、この保持体５及びテーブル９には、図
１、図４、図５、図８で示されるように、円状に配列さ
れた複数の取付孔５ｂ，９ｂが設けられていると共に、
各孔５ｂ，９ｂを軸方向に貫通する状態で各々固定ボル
ト１０が挿入螺合されている。従って、この各固定ボル
ト１０によって保持体５とテーブル９は一体状に形成さ
れ、有限角ギヤ８もこのテーブル９の下部に一体状に形
成されることになる。
９が丸孔９ａを保持体５の丸突起５ａに相対回転自在に
嵌合されており、この保持体５及びテーブル９には、図
１、図４、図５、図８で示されるように、円状に配列さ
れた複数の取付孔５ｂ，９ｂが設けられていると共に、
各孔５ｂ，９ｂを軸方向に貫通する状態で各々固定ボル
ト１０が挿入螺合されている。従って、この各固定ボル
ト１０によって保持体５とテーブル９は一体状に形成さ
れ、有限角ギヤ８もこのテーブル９の下部に一体状に形
成されることになる。
【０００８】前記保持体５とテーブル９とは、互いに相
対回転自在であるため、この固定ボルト１０を除去して
任意の相対回転角度位置として再びこの固定ボルト１０
で固定することにより、例えば、０度の場合には図５で
示すようにテーブル９の傾動軸心１１がテーブルの長手
方向の両端を横切る位置になり、この両端が傾動するこ
とになる。また、図８で示すように、保持体５とテーブ
ル９の相対回転角度を３０度とした場合には、テーブル
９の対角線とほぼ等しい状態に傾動軸心１１が位置し、
この状態でテーブル９を傾動させると、ほぼ対角線を中
心として往復傾動する。
対回転自在であるため、この固定ボルト１０を除去して
任意の相対回転角度位置として再びこの固定ボルト１０
で固定することにより、例えば、０度の場合には図５で
示すようにテーブル９の傾動軸心１１がテーブルの長手
方向の両端を横切る位置になり、この両端が傾動するこ
とになる。また、図８で示すように、保持体５とテーブ
ル９の相対回転角度を３０度とした場合には、テーブル
９の対角線とほぼ等しい状態に傾動軸心１１が位置し、
この状態でテーブル９を傾動させると、ほぼ対角線を中
心として往復傾動する。
【０００９】前記テーブル９の角部には、軸受２０を介
して爪形状をなす爪軸２１が回転自在に設けられてお
り、この各爪軸２１の下部に設けられたプーリ２２には
ベルト２３が張設されている。前記テーブル９の裏側に
はステー２３Ａを介して複数のロータリーアクチュエー
タ２４が取付けられ、この各ロータリーアクチュエータ
２４の軸のプーリ２５は前記ベルト２３と連動して構成
され、各ロータリーアクチュエータ２４の作動によっ
て、各プーリ２２，２５とベルト２３を介して爪軸２１
を図５及び図８で示すように、実線と点線で示す位置に
９０度回転させることができ、実線の位置でトレー３０
を解放し、点線の位置でトレー３０を位置決め・チャッ
キングすることができるように構成されている。すなわ
ち、図７のＡからＢで示すように各爪軸２１と円錐ピン
３１によりトレー３０が位置決め保持される。
して爪形状をなす爪軸２１が回転自在に設けられてお
り、この各爪軸２１の下部に設けられたプーリ２２には
ベルト２３が張設されている。前記テーブル９の裏側に
はステー２３Ａを介して複数のロータリーアクチュエー
タ２４が取付けられ、この各ロータリーアクチュエータ
２４の軸のプーリ２５は前記ベルト２３と連動して構成
され、各ロータリーアクチュエータ２４の作動によっ
て、各プーリ２２，２５とベルト２３を介して爪軸２１
を図５及び図８で示すように、実線と点線で示す位置に
９０度回転させることができ、実線の位置でトレー３０
を解放し、点線の位置でトレー３０を位置決め・チャッ
キングすることができるように構成されている。すなわ
ち、図７のＡからＢで示すように各爪軸２１と円錐ピン
３１によりトレー３０が位置決め保持される。
【００１０】前記爪軸２１は、図示されているように上
部にテーパ２１ａを有する切欠状の凹部２１ｂを有して
おり、このテーパ２１ａによってトレー３０をテーブル
９の表面側に案内し、凹部２１ｂにて位置決めしてい
る。また、テーブル９の角部に設けられた前記爪軸２１
の近傍位置には、ほぼ円錐状をなす円錐ピン３１が設け
られ、前記トレー３０の周縁は、位置決め動作の際に、
この円錐ピン３１の円柱面に沿って位置決めされる。
部にテーパ２１ａを有する切欠状の凹部２１ｂを有して
おり、このテーパ２１ａによってトレー３０をテーブル
９の表面側に案内し、凹部２１ｂにて位置決めしてい
る。また、テーブル９の角部に設けられた前記爪軸２１
の近傍位置には、ほぼ円錐状をなす円錐ピン３１が設け
られ、前記トレー３０の周縁は、位置決め動作の際に、
この円錐ピン３１の円柱面に沿って位置決めされる。
【００１１】前記駆動モータ７は、図示しないモータド
ライバによってその回転が制御されるように構成されて
おり、例えば、一定振幅、一定周期の正弦波からなる信
号すなわち位置指令信号からなる振動信号が駆動信号に
重畳されるように、前記モータドライバのＣＰＵの動作
プログラム中で制御されている。従って、駆動モータ７
のロータは、この振動信号によって微少な往復動作を伴
いつつ回転するため、テーブル９は微少振動しつつ傾動
することになる。
ライバによってその回転が制御されるように構成されて
おり、例えば、一定振幅、一定周期の正弦波からなる信
号すなわち位置指令信号からなる振動信号が駆動信号に
重畳されるように、前記モータドライバのＣＰＵの動作
プログラム中で制御されている。従って、駆動モータ７
のロータは、この振動信号によって微少な往復動作を伴
いつつ回転するため、テーブル９は微少振動しつつ傾動
することになる。
【００１２】次に、動作について述べる。まず、図示し
ないマニピュレータ等の搬送手段で搬送された皿状のト
レー３０（内部に電子部品であるＩＣが多数収容されて
いる）が、テーブル９上の実線で示す位置の各爪軸２１
の内側位置に載置される。この状態で、各ロータリーア
クチュエータ２４を作動させて、各プーリ２２、２５及
びベルト２３を介して各爪軸２１を点線の位置に回動さ
せると、トレー３０はテーブル９上の所定位置に位置決
め固定される。
ないマニピュレータ等の搬送手段で搬送された皿状のト
レー３０（内部に電子部品であるＩＣが多数収容されて
いる）が、テーブル９上の実線で示す位置の各爪軸２１
の内側位置に載置される。この状態で、各ロータリーア
クチュエータ２４を作動させて、各プーリ２２、２５及
びベルト２３を介して各爪軸２１を点線の位置に回動さ
せると、トレー３０はテーブル９上の所定位置に位置決
め固定される。
【００１３】次に、駆動モータ７を前述のモータドライ
バによって振動信号を重畳させた周知の駆動信号を用い
てプログラム制御しつつ作動させると、テーブル９は微
振動を伴いつつ前述の０度（図５）又は３０度（図８）
の傾動軸芯１１の状態で傾動するため、トレー３０内の
電子部品は何れかの側に整列させられる。この傾動動作
を数回反覆した後に、水平位置で停止することによっ
て、整列された電子部品を有するトレー３０が水平状態
で保たれ、内部の各電子部品が整列される。この状態
で、位置整列された各電子部品に対して図示しないレー
ザによってマーキングが行われる。
バによって振動信号を重畳させた周知の駆動信号を用い
てプログラム制御しつつ作動させると、テーブル９は微
振動を伴いつつ前述の０度（図５）又は３０度（図８）
の傾動軸芯１１の状態で傾動するため、トレー３０内の
電子部品は何れかの側に整列させられる。この傾動動作
を数回反覆した後に、水平位置で停止することによっ
て、整列された電子部品を有するトレー３０が水平状態
で保たれ、内部の各電子部品が整列される。この状態
で、位置整列された各電子部品に対して図示しないレー
ザによってマーキングが行われる。
【００１４】
【発明の効果】本発明によるイントレーハンドラーの位
置決め装置は、以上のように構成されているため、次の
ような効果を得ることができる。すなわち、テーブルに
設けた各爪軸をロータリーアクチュエータ、プーリ、ベ
ルトを介して同時に回転させ、各爪軸によってトレーを
簡単にかつ確実に位置決め保持することができ、全体形
状の小型化及びコストダウンを達成することができる。
置決め装置は、以上のように構成されているため、次の
ような効果を得ることができる。すなわち、テーブルに
設けた各爪軸をロータリーアクチュエータ、プーリ、ベ
ルトを介して同時に回転させ、各爪軸によってトレーを
簡単にかつ確実に位置決め保持することができ、全体形
状の小型化及びコストダウンを達成することができる。
【図１】本発明によるイントレーハンドラーの位置決め
装置を示す断面図である。
装置を示す断面図である。
【図２】図１の側断面図である。
【図３】図２の拡大詳細図である。
【図４】図１の裏面図である。
【図５】図１の支柱に対するテーブルの回転角度０度の
場合の平面図である。
場合の平面図である。
【図６】図５のトレーがテーブル上に位置決めされた要
部を示す平面図である。
部を示す平面図である。
【図７】トレーの位置決めを示す説明図である。
【図８】図１の支柱に対するテーブルの回転角度３０度
の場合の平面図である。
の場合の平面図である。
【図９】図１の爪軸を示す拡大図である。
５ 保持体 ６ 有限角ギヤ ９ テーブル ７ 駆動モータ ２１ 爪軸 ２２，２５ プーリ ２３ ベルト ２４ ロータリーアクチュエータ ３０ トレー ２１ａ テーパ ２１ｂ 凹部 ４０ 軸支部
Claims (3)
- 【請求項１】 テーブル(9)上に、多数の電子部品を収
容したトレー(30)を位置決め載置し、前記テーブル(9)
を傾動させて前記各電子部品を前記トレー(30)内で整列
させるようにしたイントレーハンドラーにおいて、前記
テーブル(9)には回転自在な複数の爪軸(21)が設けら
れ、前記各爪軸(21)はロータリーアクチュエータ(24)と
ベルト(23)とプーリ(22,25)を介して同時回転されて前
記トレー(30)を位置決め保持することを特徴とするイン
トレーハンドラーの位置決め装置。 - 【請求項２】 前記爪軸(21)は、上部にテーパ(21a)を
有する凹部(21b)を有し、前記凹部(21b)により前記トレ
ー(30)の周縁を位置決めすることを特徴とする請求項１
記載のイントレーハンドラーの位置決め装置。 - 【請求項３】 前記テーブル(9)上の前記爪軸(21)の近
傍位置には、円錐状をなす円錐ピン(31)が設けられ、前
記トレー(30)の位置決め案内を前記円錐ピン(31)にて行
うことを特徴とする請求項１又は２記載のイントレーハ
ンドラーの位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33184697A JPH11163178A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | イントレーハンドラーの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33184697A JPH11163178A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | イントレーハンドラーの位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11163178A true JPH11163178A (ja) | 1999-06-18 |
Family
ID=18248319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33184697A Pending JPH11163178A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | イントレーハンドラーの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11163178A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014038905A (ja) * | 2012-08-13 | 2014-02-27 | Showa Shinku Co Ltd | 封止装置 |
-
1997
- 1997-12-02 JP JP33184697A patent/JPH11163178A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014038905A (ja) * | 2012-08-13 | 2014-02-27 | Showa Shinku Co Ltd | 封止装置 |
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